CN111285031B - 一种旋转台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种旋转台，涉及机械设备技术领域。该旋转台包括底座、载台组件和驱动机构，还包括气浮支撑机构和气浮导向机构，所述气浮导向机构包括：导套组件，所述导套组件安装在所述底座上；导轴组件，所述导轴组件的一端与所述载台组件相连，所述导轴组件的另一端穿过所述导套组件并通过所述气浮支撑机构的支撑气膜支撑于所述底座上，所述导轴组件与所述导套组件之间形成导向气膜，所述驱动机构驱动所述导轴组件相对所述导套组件旋转。该旋转台能进行无接触的旋转运动而没摩擦，能进行整周旋转来满足大行程旋转要求，精度高，运动可靠，使用灵活，调试方便，系统更可控。

Description

一种旋转台

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种旋转台。

背景技术

目前典型的旋转平台设备如图1所示，驱动单元10为驱动电机，导向单元20为接触式轴承或圆弧导轨，工作台30固定在导向单元20的运动侧，在驱动单元10的驱动下工作台30作旋转运动。该结构存在以下缺点：

1.由于接触式轴承或圆弧导轨不可避免的存在间隙，从而导致运动精度较低，尤其当工作台30尺寸较大时，精度更差；

2.接触式轴承或圆弧导轨存在摩擦力，负载越大，摩擦力越大，导致驱动单元10出力较大，同时产生的摩擦力对于控制系统也造成干扰，影响控制精度；

3.接触式轴承或圆弧导轨需要定期加注润滑脂，对净化间环境会造成一定程度的影响；

4.垂向刚度是根据负载质量和选型的接触式轴承或圆弧导轨保证，无法根据现场调试结果进行调整。

因此，如何对现有的旋转台进行改进，使其克服上述问题是本领域技术人员亟待解决的一个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种旋转台，该旋转台能进行无接触的旋转运动而没摩擦，能进行整周旋转来满足大行程旋转要求，精度高，运动可靠，使用灵活，调试方便，系统更可控。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种旋转台，包括底座、载台组件和驱动机构，还包括气浮支撑机构和气浮导向机构，所述气浮导向机构包括：

导套组件，所述导套组件安装在所述底座上；

导轴组件，所述导轴组件的一端与所述载台组件相连，所述导轴组件的另一端穿过所述导套组件并能够通过所述气浮支撑机构的支撑气膜支撑于所述底座上，所述导轴组件与所述导套组件之间能够形成导向气膜，所述驱动机构驱动所述导轴组件相对所述导套组件旋转。

可选地，所述气浮支撑机构包括：

气浮支撑组件，其设置在所述导轴组件与所述底座之间，并在两者之间形成所述支撑气膜；

预紧组件，所述预紧组件被配置为在所述底座与所述载台组件和/或所述导轴组件之间产生预紧力。

可选地，所述气浮支撑组件包括：

气浮垫，所述气浮垫设置在所述导轴组件的朝向所述底座的一端，并在所述气浮垫的远离所述导轴组件的一侧形成所述支撑气膜。

可选地，所述气浮支撑组件还包括：

固定件，其与所述导轴组件(52)相连，且与所述气浮垫球铰接。

可选地，所述气浮垫上设置有进气口及出气口，所述进气口与气源相连通，所述出气口与所述进气口相连通，且所述出气口面向所述底座设置。

可选地，所述气浮垫的朝向所述底座的一侧设置有槽道，且所述槽道与所述出气口相连通。

可选地，所述预紧组件为磁预载组件，所述磁预载组件包括第一磁件及第二磁件，所述第一磁件设置在所述底座上，所述第二磁件设置在所述载台组件和/或所述导轴组件上，以在所述底座与所述载台组件和/或所述导轴组件之间产生磁吸力。

可选地，所述预紧组件为真空预载组件，所述真空预载组件与所述载台组件和/或所述导轴组件相连，且所述真空预载组件与所述底座之间形成真空腔，以在所述底座与所述载台组件和/或所述导轴组件之间产生真空吸力。

可选地，还包括：

辅助气浮支撑组件，其设置在所述载台组件和所述底座之间，并能够与所述载台组件和/或所述底座之间形成辅助支撑气膜，以使所述载台组件支撑于所述底座上。

可选地，所述载台组件包括载台部、载台调整部及载台支撑部，所述载台调整部设置在所述载台部和所述载台支撑部之间，以调节所述载台部的位置、角度及平面度，所述载台支撑部与所述导轴组件相连。

可选地，所述驱动机构包括定子组件和转子组件，所述定子组件和所述转子组件中的一个连接在所述导套组件上，另一个连接在所述载台组件或所述导轴组件上。

本发明的有益效果：

本发明提供了一种旋转台，该旋转台包括底座、载台组件、气浮支撑机构、气浮导向机构和驱动机构。其中，气浮导向机构包括导套组件和导轴组件，导套组件安装在底座上，导轴组件的一端与载台组件相连，导轴组件的另一端穿过导套组件并通过气浮支撑机构的支撑气膜支撑于底座上，导轴组件与导套组件之间形成导向气膜，驱动机构驱动导轴组件相对导套组件旋转。该旋转台在支撑气膜及导向气膜的协同下，作旋转运动的构件与静止构件之间没有任何接触，能够进行无接触的旋转运动而没摩擦，能进行整周旋转来满足大行程旋转要求，精度高，运动可靠，使用灵活，调试方便，系统更可控。

附图说明

图1是现有技术中的旋转平台设备的结构示意图；

图2是本发明提供的旋转台的结构示意图；

图3是图2沿A-A的剖视图；

图4是本发明提供的旋转台的部分结构的结构示意图；

图5是本发明提供的旋转台的导轴及气浮支撑机构的结构示意图；

图6是本发明提供的旋转台的真空吸盘的结构示意图；

图7是本发明提供的旋转台的辅助气浮支撑组件的结构示意图。

图中：

10、驱动单元；20、导向单元；30、工作台；40、固定底座；

100、导向气膜；200、支撑气膜；300、辅助支撑气膜；

1、底座；2、载台组件；21、载台部；22、载台调整部；23、载台支撑部；3、驱动机构；4、气浮支撑机构；41、气浮支撑组件；411、第一安装部；412、第一气浮垫；42、预紧组件；421、第二安装部；422、真空吸盘；5、气浮导向机构；51、导套组件；511、导套；512、导套连接部；52、导轴组件；521、导轴；522、导轴连接部；6、辅助气浮支撑组件；61、第二气浮垫；611、第二进气口；612、第二出气口；613、第二槽道；62、第二固定件；7、测量机构；71、读头；72、刻度尺。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

本发明提供了一种旋转台，如图2、3所示，该旋转台包括底座1、载台组件2、驱动机构3、气浮支撑机构4和气浮导向机构5；其中，底座1作为支撑旋转台的基础位于旋转台的最下方，气浮导向机构5包括导套组件51和导轴组件52，导套组件51安装在底座1上，导轴组件52的一端与载台组件2相连，导轴组件52的另一端穿过导套组件51并能够通过气浮支撑机构4的支撑气膜200支撑于底座1上，导轴组件52与导套组件51之间能够形成导向气膜100，驱动机构3驱动导轴组件52相对导套组件51旋转。

在实际应用时，将该旋转台与外部气源相连，通气时所产生的支撑气膜200及导向气膜100分别使导轴组件52与底座1之间、导轴组件52与导套组件51之间形成气膜间隔。因此，该旋转台在支撑气膜200及导向气膜100的协同下，作旋转运动的构件与静止构件之间没有任何接触，从而能够在驱动机构3的驱动电机的驱动下进行无接触的旋转运动而没摩擦，能进行整周旋转来满足大行程旋转要求，精度高，运动可靠，使用灵活，调试方便，系统更可控。

具体地，如图4所示，该旋转台的底座1为具有一定厚度的块体结构，在该块体结构的上设置了容置槽，例如但不限于设置在该块体结构的中间区域，将气浮导向机构5置于该容置槽内，且使得其顶端高于底座1的表面，将气浮支撑机构4也置于该容置槽内，气浮支撑机构4的支撑气膜200受到容置槽的槽底的支撑，能够保持良好的稳定性，进而实现平稳支撑导轴组件52的效果，而且内置式结构能使旋转台结构紧凑。

如图3、4所示，导套组件51包括导套511及导套连接部512，导套511部分设置在底座1的容置槽内，且其顶端高于底座1的表面，导套511与底座1固定连接。导套连接部512包括主体部，该主体部为圆环结构，且该主体部的朝向载台组件2的一侧的周圈设置有的环形凸起，将导套连接部512设置在导套511的顶端并使其主体部与导套511连接。此外，为便于导套511的安装和后期维护，沿导套511的外壁的周向设置了凸肩结构，通过紧固部件将凸肩结构与底座1连接。这里的连接以及以下叙述的内容中的连接均可以通过紧固部件的锁紧来实现，常见的紧固部件可以是螺柱螺母或铆钉等，紧固效果良好，且便于后期的拆卸维护。

如图3、4所示，导轴组件52包括导轴521及导轴连接部522，导轴521穿设在导套511内，将导轴连接部522设置在导轴521的顶端并与导轴521连接。

进一步地，导套511的主体上设置有与外部气源相连通的进气通道，以向导套511与导轴521之间通入高压气体，形成具有一定刚度的导向气膜100。

可选地，驱动电机可以为旋转电机或直线电机。在本实施例中，驱动电机采用直线电机，其包括定子组件和转子组件，定子组件为直线电机的定子，转子组件为直线电机的动子。由于转子组件上常常连接有较多的布线，将转子组件设置为静态构件有利于布线及对线缆的保养维护。进一步地，驱动电机的转子组件或定子组件中的一个连接在导套组件51上，驱动电机的定子组件和转子组件中的另一个连接在载台组件2或导轴组件52上。

本实施例中，转子组件连接在导套连接部512的主体部的环形凸起上，这样导套组件51与转子组件静止，定子组件连接在导轴组件52上，具体地，定子组件连接在导轴连接部522的顶端，载台组件2连接在定子组件的顶端。因此，在驱动电机的驱动下导轴组件52、载台组件2及定子组件将相对导套组件51及转子组件绕气浮导向机构5的中心作旋转运动，能够提高系统的结构刚度。

在本实施例中，导轴521和导套511均设置为圆筒结构，可以降低旋转台的重量。在其他实施例中，可以采用更为简单的结构，具体地，将导轴组件52和载台组件2相连，驱动电机的定子组件和载台组件2相连，也能实现在驱动电机的驱动下导轴组件52、载台组件2及定子组件将相对导套组件51及转子组件绕气浮导向机构5的中心作旋转运动。在另一实施例中，定子组件和转子组件可以调换位置，即定子组件与导套连接部512的主体部相连，转子组件与导轴连接部522或载台组件2相连，驱动电机带动转子组件绕定子组件旋转，转子组件为动态构件，布线较为繁琐，不利于线缆的保养维护。

本实施例中，如图3、5所示，气浮支撑机构4包括气浮支撑组件41及预紧组件42，气浮支撑组件41设置在导轴组件52与底座1之间，并能够在两者之间形成支撑气膜200，从而避免导轴组件52的底部与底座1之间发生接触；预紧组件42能够在底座1与载台组件2和/或导轴组件52之间产生预紧力，预紧力能够限制导轴组件52与底座1之间距离，从而提高支撑气膜200的刚度，进而保证载台组件2更平稳地在底座1上方旋转。

具体地，气浮支撑组件41包括气浮垫，气浮垫设置在导轴组件52的朝向底座1的一端，并在气浮垫的朝向底座1的一侧形成支撑气膜200。为便于区分，此处的气浮垫即第一气浮垫412。第一气浮垫412可以设置多个，以增大支撑气膜200的支撑面积。

更为具体地，第一气浮垫412包括第一进气口及第一出气口，其中第一进气口与外部气源相连通，第一出气口与第一进气口相连通，且第一出气口面向底座1设置，在通入高压气体时在底座1与第一气浮垫412之间形成支撑气膜200。此外，第一气浮垫412的朝向底座1的一侧还设置有第一槽道，且第一槽道与第一出气口相连通，使得支撑气膜200的面积更大也更均匀，进而提高支撑稳定性。第一槽道包括圆形槽道以及设置在圆形槽道内的纵横交错直线型槽道，使支撑气膜200范围增大。

为便于一次性安装多个第一气浮垫412，气浮支撑组件41还包括第一安装部411，将多个第一气浮垫412相对第一安装部411的中心均匀布设在第一安装部411上，提高安装效率，保证支撑均匀。本实施例中第一气浮垫412设置了四个。

为便于第一安装部411与导轴521的安装，在导轴521的内壁上沿周向设置有朝向导轴521的轴线方向凸出的凸肩结构，将第一安装部411设置在凸肩结构的朝向底座1的一侧上并与该凸肩结构固定连接。此外，为了减轻旋转台的重量，可以在第一安装部411上设置多个减重通孔，优选多个减重通孔相对第一安装部411的中心均匀布设，使得重量均匀，保证旋转平稳。

优选地，气浮支撑组件41还包括第一固定件，每个第一气浮垫412都有与之对应的第一固定件，并且两者之间球铰接，再将第一固定件安装在第一安装部411上，并使第一气浮垫412在远离导轴521的一侧形成支撑气膜200。利用球铰接的可自适应接触面面型的特点，易于使每个第一气浮垫412的底面都能自调节到底座1的容置槽的槽底上，使支撑气膜200均匀地铺展在底座1上，通过简单的球铰接结构就能够降低对加工精度的要求，便于旋转台的加工制作。本实施例中第一固定件为螺柱和螺母，螺柱的一端与第一气浮垫412之间采用球铰接，螺柱的另一端穿过第一安装部411，并通过螺母将第一固定件锁紧在第一安装部411上，结构简单，拆装方便。

为进一步保证旋转台的载台组件2在旋转过程中的平稳性，该旋转台还包括辅助气浮支撑组件6，其设置在载台组件2和底座1之间，并与载台组件2和/或底座1之间能够形成辅助支撑气膜300，以使载台组件2支撑于底座1上。

具体地，如图7所示，辅助气浮支撑组件6包括第二气浮垫61，当第二气浮垫61朝向载台组件2时，辅助支撑气膜300铺展在载台组件2上，当第二气浮垫61朝向底座1时，辅助支撑气膜300铺展在底座1上。优选地，第二气浮垫61朝向载台组件2，以使载台组件2在旋转中更平稳，支撑效果更直接。

优选地，辅助气浮支撑组件6还包括第二固定件62，第二固定件62设置在底座1上并位于气浮导向机构5的外侧，第二固定件62与第二气浮垫61相连，使第二气浮垫61在远离第二固定件62的一侧形成辅助支撑气膜300，进一步保证载台组件2的旋转平稳性，适合于面积较大的载台组件2。更为优选地，第二固定件62与第二气浮垫61球铰接，便于自调平。上述结构的辅助气浮支撑组件6可以设置多个，多个辅助气浮支撑组件6均为布设在底座1上并位于气浮导向机构5的外侧，具体数量可以根据载台组件2的实际面积进行选择，在此不作限定。

具体地，如图7所示，第二气浮垫61上设置有第二进气口611及第二出气口612，第二进气口611与外部气源相连通，第二出气口612与第二进气口611相连通，且第二出气口612面向载台组件2设置，在通入高压气体时在载台组件2与第二气浮垫61之间能够形成辅助支撑气膜300。优选地，第二气浮垫61的朝向载台组件2的一侧还设置有第二槽道613，且第二槽道613与第二出气口612相连通，使得辅助支撑气膜300的面积更大也更均匀，进而提高支撑稳定性。本实施例中第一气浮垫412的结构与第二气浮垫61的结构相同，但不限于此。

在本实施例中，为了提升旋转台的稳定度，底座1的上表面、下表面及容置槽的槽底平行设置，且优选为设置在水平方向上。

可选地，预紧组件42可以为磁预载组件，也可以是真空预载组件，两者都能够实现非接触式预紧效果，通过磁吸力或真空吸力使得载台组件2平稳地在底座1上方旋转。

具体地，当采用磁预载时，磁预载组件包括第一磁件及第二磁件，第一磁件设置在底座1上，第二磁件设置在载台组件2和/或导轴组件52上，以在底座1与载台组件2和/或导轴组件52之间产生磁吸力，从而实现预紧作用。可选地，磁预载组件可以包括磁铁件和导磁件的组合，也可以包括电磁铁和电磁铁的组合。当选用磁铁件和导磁件的组合时，优选将磁铁件安装在导轴组件52上，将导磁件安装在底座1上，具体地，磁铁件为环形结构，将环形磁铁件安装在导轴521的底端并与导轴521同轴设置，将导磁件设置在底座1的与环形磁铁件对应的位置上，只需将磁铁件及导磁件沿竖直方向对应设置，两者之间产生的磁吸力就不会在水平向上产生分力，从而使运动稳定可靠，控制系统可控性更高。当设置多个导磁件时，需要将多个导磁件沿底座1的中心均匀布设，以使磁吸力均为对称的分布在底座1与导轴521之间。优选导磁件的材质为不锈铁件，质量可靠。

当采用真空预载时，预紧组件42为真空预载组件，真空预载组件与载台组件2和/或导轴组件52相连，且真空预载组件与底座1之间形成真空腔，以在底座1与载台组件2和/或导轴组件52之间产生真空吸力。优选地，真空预载组件与导轴组件52相连，以便安装，节约空间。

本实施例采用了真空预载方式，如图5、6所示，真空预载组件包括第二安装部421及真空吸盘422，第二安装部421设置在导轴521的底部并与导轴521固定连接，真空吸盘422安装在第二安装部421的朝向底座1的一侧，只要保证真空吸盘422的底面水平设置，真空吸力就不会在水平向上产生分力，从而使运动稳定可靠，控制系统可控性更高。具体地，真空吸盘422的结构如图6所示，该真空吸盘422内设置有抽气通道，底部设置有与抽气通道相连通的凹槽，凹槽朝向背离底座1的一侧凹陷，以在凹槽的槽底与底座1之间形成具有一定高度的缝隙空间，通过抽气通道将缝隙空间内的空气抽出而产生真空，利用负压形成底座1与导轴521之间的真空吸力。实际操作时，只需要通过调节抽气力度，就能实现真空吸力可调的功能。

为进一步扩大载台组件2的可承载面积，本实施例中，旋转台的载台组件2包括载台部21、载台调整部22及载台支撑部23，载台调整部22设置在载台部21和载台支撑部23之间，以调节载台部21的位置、角度及平面度，载台支撑部23可以通过直线电机的定子组件/转子组件与导轴521固定连接，也可以直接与导轴521相连。

具体地，载台调整部22可以根据载台部21的面积大小设置多个，多个载台调整部22均匀布设在载台支撑部23上，在实际应用中，根据实际测试的载台部21的面型数据对载台部21的位置、角度及平面度进行调整，使载台部21的平面度及三坐标符合实际要求，调整完成后可以通过锁定载台调整部22的状态将载台部21锁定在最佳状态下。

此外，该旋转台还包括测量机构7，测量机构7能够测量导轴组件52的旋转角度，以反馈载台组件2的位置状态。本实施例中，如图2、3所示，测量机构7为测量光栅尺，测量光栅尺包括读头71及刻度尺72，将刻度尺72安装在导套组件51上，优选为安装在导套连接部512的外周，将读头71通过载台支撑部23固定，并使读头71朝向刻度尺72设置，通过读头71与刻度尺72的配合，能够直接测量出载台组件2的旋转弧长，进而测量出旋转角度，实现位置反馈，以便及时纠偏。

本实施例中的导向气膜100、支撑气膜200以及辅助支撑气膜300均是通过通入压缩空气而获得，压缩空气通过与外部气源相连的压缩空气气管供给，在压缩空气气管上设置气流调节阀，以便调节。关于气管在产生气膜的构件上的布设可以根据需要进行设置，在此不作限定。

以上实施方式只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施方式限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种旋转台，包括底座(1)、载台组件(2)和驱动机构(3)，其特征在于，还包括气浮支撑机构(4)和气浮导向机构(5)，所述气浮导向机构(5)包括：

导套组件(51)，所述导套组件(51)安装在所述底座(1)上；

导轴组件(52)，所述导轴组件(52)的一端与所述载台组件(2)相连，所述导轴组件(52)的另一端穿过所述导套组件(51)，并能够通过所述气浮支撑机构(4)的支撑气膜(200)支撑于所述底座(1)上，所述导轴组件(52)与所述导套组件(51)之间能够形成导向气膜(100)，所述驱动机构(3)驱动所述导轴组件(52)相对所述导套组件(51)旋转；

所述气浮支撑机构(4)包括：气浮支撑组件(41)，其设置在所述导轴组件(52)与所述底座(1)之间，并在两者之间形成所述支撑气膜(200)；

所述气浮支撑组件(41)包括：第一气浮垫(412)，所述第一气浮垫(412)设置在所述导轴组件(52)的朝向所述底座(1)的一端，并在所述第一气浮垫(412)的远离所述导轴组件(52)的一侧形成所述支撑气膜(200)，所述第一气浮垫(412)上设置有第一进气口及第一出气口，所述第一进气口与气源相连通，所述第一出气口与所述第一进气口相连通，且所述第一出气口面向所述底座(1)设置，所述第一气浮垫(412)的朝向所述底座(1)的一侧设置有第一槽道，所述第一槽道包括圆形槽道以及设置在所述圆形槽道内的纵横交错直线型槽道，且所述第一槽道与所述第一出气口相连通；

气浮支撑组件(41)还包括第一安装部(411)，将多个所述第一气浮垫(412)相对所述第一安装部(411)的中心均匀布设在所述第一安装部(411)上。

2.根据权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述气浮支撑机构(4)还包括：

预紧组件(42)，所述预紧组件(42)被配置为在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生预紧力。

3.根据权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述气浮支撑组件(41)还包括：

固定件，其与所述导轴组件(52)相连，且与所述第一气浮垫(412)球铰接。

4.根据权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述预紧组件(42)为磁预载组件，所述磁预载组件包括第一磁件及第二磁件，所述第一磁件设置在所述底座(1)上，所述第二磁件设置在所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)上，以在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生磁吸力。

5.根据权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述预紧组件(42)为真空预载组件，所述真空预载组件与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)相连，且所述真空预载组件与所述底座(1)之间形成真空腔，以在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生真空吸力。

6.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，还包括：

辅助气浮支撑组件(6)，其设置在所述载台组件(2)和所述底座(1)之间，并能够与所述载台组件(2)和/或所述底座(1)之间形成辅助支撑气膜(300)，以使所述载台组件(2)支撑于所述底座(1)上。

7.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，所述载台组件(2)包括载台部(21)、载台调整部(22)及载台支撑部(23)，所述载台调整部(22)设置在所述载台部(21)和所述载台支撑部(23)之间，以调节所述载台部(21)的位置、角度及平面度，所述载台支撑部(23)与所述导轴组件(52)相连。

8.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，所述驱动机构(3)包括定子组件和转子组件，所述定子组件和所述转子组件中的一个连接在所述导套组件(51)上，另一个连接在所述载台组件(2)或所述导轴组件(52)上。

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