CN202907410U - 元件供给装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种元件供给装置，其能够缩短在将可装载多个堆叠的料盘的托盘以沿着上下方向排列多个的状态收纳于储料器使用时的托盘更换时间。元件供给装置（10）具备：使储料器（12）升降的储料器升降装置（60）；使托盘搬运装置（40）升降的托盘升降装置（70）。由此，例如能够使托盘搬运装置下降并使储料器上升。此外，在最上层的料盘到达了元件取用高度时，能够使托盘搬运装置及储料器的上升停止。由此，与以往那样仅使托盘搬运装置升降而进行托盘更换的时间相比，本实施方式的使托盘搬运装置（40）及储料器（12）升降而进行托盘更换的时间较短，能够提高生产效率并能够实现节能化。

Description

元件供给装置

技术领域

本实用新型涉及对料盘收容的元件进行供给的元件供给装置。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种具备能够将堆叠的多个料盘顶起的储料器（元件供给部）的元件供给装置。该元件供给装置以使堆叠的料盘的最上层位于元件取出位置的方式将堆叠的料盘顶起，通过吸头从最上层的料盘将元件取出而移载到搬运带上，并通过搬运带将移载的元件搬运而供给到元件供给位置。并且，在最上层的料盘内的全部的元件的取出完成而该料盘变空之后，通过吸头对空的料盘进行吸附移动而将其废弃，以使下一级的料盘位于元件取出位置的方式将堆叠的料盘顶起，与上述同样地供给元件。

另外，例如，在专利文献2中公开了一种元件供给装置（料盘供料器），其具备：能够收纳多个托盘的储料器（料仓），该托盘能够装载多个堆叠的料盘；从该储料器拉出托盘而搬运的可升降的托盘搬运装置（拉出部）。该元件供给装置使托盘搬运装置升降而定位在由储料器收纳的托盘中的需要的托盘的位置，通过托盘搬运装置拉出该托盘而搬运到元件供给位置（拾取位置）。

专利文献

专利文献1：日本特开2001-24389号公报（段落编号0016，图1）

专利文献2：日本特开2001-24387号公报（段落编号0008，图1）

在专利文献1记载的元件供给装置中，需要从最上层依次使用堆叠的多个料盘。因此，需要将多个料盘按照使用顺序堆叠于储料器的作业，比较麻烦，而且，在料盘的使用顺序发生错误而堆叠的情况下，会产生产品不良。另一方面，在专利文献2记载的元件供给装置中，将托盘搬运装置构成为能够升降，因此无需将多个托盘按照使用顺序排列收纳于储料器。然而，在使用收纳于储料器的托盘时，例如使托盘搬运装置下降而定位在要使用的托盘的位置，将该托盘从储料器取出而搬运到元件供给位置。并且，使托盘搬运装置上升而将最上层的料盘定位在元件取用高度上。在全部的料盘的元件取用完成之后，使托盘搬运装置下降而定位在收纳托盘的位置，将该托盘收纳于储料器。需要对于储料器所收纳的各托盘进行以上的动作。由此，伴随着托盘更换的托盘搬运装置的升降时间有变长的倾向。

实用新型内容

本实用新型鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种元件供给装置，其能够缩短将可装载多个堆叠的料盘的托盘以沿着上下方向排列多个的状态收纳于储料器而使用时的托盘更换时间。

为了解决上述课题，本实用新型的第一方面涉及一种元件供给装置，对排列并收容有多个料盘元件的料盘进行收纳，将所述料盘搬运到元件供给位置而供给所述料盘元件，其特征在于，具备：壳体；储料器，以能够升降的方式架设在所述壳体内，且能够以沿着上下方向排列多个托盘的状态对所述托盘进行收纳，所述托盘能够装载多个堆叠起来的所述料盘；储料器升降装置，使所述储料器进行升降；托盘搬运装置，以能够升降的方式架设于所述壳体，且在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘；及托盘升降装置，使所述托盘搬运装置进行升降。

本实用新型的第二方面以第一方面为基础，其中，具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元通过所述储料器升降装置对所述储料器进行定位，使得所述托盘位于所述壳体的固定位置，通过所述托盘升降装置对所述托盘搬运装置进行定位，使得该托盘搬运装置与位于所述固定位置的托盘一致，并通过所述托盘搬运装置在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。

本实用新型的第三方面以第一方面为基础，其中，具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元通过所述储料器升降装置对所述储料器进行定位，使得堆叠装载于所述托盘上的多个所述料盘中的最上层料盘位于所述壳体的固定位置，通过所述托盘升降装置对所述托盘搬运装置进行定位，使得该托盘搬运装置与堆叠装载有多个所述料盘的所述托盘一致，并通过所述托盘搬运装置在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。

本实用新型的第四方面以第一至第三方面中任一方面为基础，其中，具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元以所述储料器升降装置引起的所述储料器的动作、所述托盘搬运装置引起的所述托盘的搬运动作及所述托盘升降装置引起的所述托盘搬运装置的动作中的一部分动作同时进行的方式进行控制，从而在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。

本实用新型的第五方面以第一至第四方面中任一方面为基础，其中，所述储料器能够以沿着水平方向排列多个托盘的状态对所述托盘进行收纳，所述托盘搬运装置由能够分别向所述储料器搬入或从所述储料器搬出各个所述托盘的多台托盘搬运装置构成，所述托盘升降装置由能够分别使各个所述托盘搬运装置升降的多台托盘升降装置构成。

本实用新型的第六方面以第三方面为基础，其中，在将堆叠装载的多个所述料盘的高度不同的多个所述托盘以按照使用顺序排列后的状态收纳于所述储料器的情况下，如下地排列所述托盘：对堆叠装载于最初使用的所述托盘上的所述料盘的高度与堆叠装载于最后使用的所述托盘上的所述料盘的高度进行比较，使较高的所述托盘处于所述储料器的下方的位置。

本实用新型的第七方面以第三方面为基础，其中，第一所述料盘收容有能够从被搬运到所述元件供给位置的所述料盘直接取用的第一料盘元件，第二所述料盘收容有从被搬运到所述元件供给位置的所述料盘取用之后需要翻转而交接的第二料盘元件，在将载置有第一所述料盘的第一所述托盘及载置有第二所述料盘的第二所述托盘以按照使用顺序排列后的状态收纳于所述储料器的情况下，将所述最上层料盘被定位的所述固定位置设定为第一所述料盘用的第一固定位置，并设定为比所述第一固定位置向下方离开了所述翻转所需的距离的第二所述料盘用的第二固定位置；相对于所述第一固定位置，从所述储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序来排列第一所述托盘，相对于所述第二固定位置从所述储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序来排列第二所述托盘。

实用新型效果

根据本实用新型的第一方面，元件供给装置具备使储料器升降的储料器升降装置和使托盘搬运装置升降的托盘升降装置。由此，在使用由储料器收纳的托盘时，例如使托盘搬运装置下降并使储料器上升。在托盘搬运装置到达使用的托盘的位置时，使托盘搬运装置的下降及储料器的上升停止。将该托盘向托盘搬运装置取出而向元件供给位置搬运。并且，使托盘搬运装置及储料器同步上升，在最上层的料盘到达了元件取用高度时，使托盘搬运装置及储料器的上升停止。在全部的料盘的元件取用完成之后，使托盘朝向储料器搬运，由此即便不使托盘搬运装置及储料器升降，也能够收纳于该托盘的收纳位置。使以上的动作相对于收纳于储料器的各托盘进行。由此，与以往那样仅使托盘搬运装置升降而进行托盘更换的时间相比，使托盘搬运装置及储料器升降而进行托盘更换的时间较短，从而能够提高生产效率并能够实现节能化。

根据本实用新型的第二方面，托盘存取控制单元以托盘位于壳体的固定位置的方式通过储料器升降装置将储料器定位。由此，与堆叠于托盘的料盘的级数无关地能够使来自储料器的托盘的取出位置为一定，能够容易地进行储料器的定位。

根据本实用新型的第三方面，托盘存取控制单元以托盘上堆叠装载的多个料盘的最上层的料盘位于壳体的固定位置的方式通过储料器升降装置将储料器定位，通过托盘升降装置将托盘搬运装置定位成与该托盘一致。由此，能够通过使储料器升降而使因级数而不同的最上层的料盘的位置一致，因此能够将最上层的料盘的位置定位在元件取用高度。

根据本实用新型的第四方面，托盘存取控制单元对储料器的升降动作、托盘的搬运动作、托盘搬运装置的升降动作进行关联控制。由此，将托盘搬运装置定位在由储料器收纳的托盘，在使托盘搬运装置与储料器同步上升的期间，将该托盘从储料器向托盘搬运装置卸下而向元件供给位置搬运，能够将最上层的料盘定位在元件取用高度。并且，在全部的料盘的元件取用完成之后，将托盘朝向储料器搬运，由此，即便不使托盘搬运装置及储料器升降，也能够收纳在收纳有该托盘的位置。以上的动作能够相对于收纳于储料器的各托盘进行。由此，能够进一步缩短托盘更换时间。

根据本实用新型的第五方面，储料器能够将托盘以沿着水平方向排列多个的状态收纳，托盘搬运装置由能够分别相对于储料器搬入搬出各托盘的多台装置构成，托盘升降装置由分别能够使各托盘搬运装置升降的多台装置构成。由此，在沿着水平方向排列多个的各托盘上堆叠的料盘中，例如能够将种类不同的元件按种类分开收纳。由此，与通过1台托盘升降装置将托盘一个个拉出而搬运的装置相比较，能够缩短托盘更换时间。

根据本实用新型的第六方面，以如下方式排列托盘：将最初使用的托盘上堆叠装载的料盘的高度与最后使用的托盘上堆叠装载的料盘的高度相比较，使较高的托盘处于储料器的下方的位置。由此，例如，与排列成料盘的高度低的托盘处于储料器的下方的位置的情况相比较，能够缩短托盘的升降距离，从而能够缩短托盘更换时间。

根据本实用新型的第七方面，将最上层的料盘被定位的固定位置设定为第一料盘用的第一固定位置，并设定为比第一固定位置向下方离开了翻转所需的距离的第二料盘用的第二固定位置，相对于第一固定位置，将第一托盘从储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序排列，相对于第二固定位置，将第二托盘从储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序排列。由此，即便直接从料盘能够取用的第一料盘元件与从料盘取用之后需要翻转而交接的第二料盘元件混杂，也能够缩短托盘的升降距离，从而能够缩短托盘更换时间。

附图说明

图1是表示具备本实用新型的元件供给装置的一实施方式的元件安装装置的立体图。

图2是表示以图1的元件安装装置为主的元件供给装置的简要侧视图。

图3是表示图1的元件供给装置的托盘存取控制装置的框图。

图4（A）、（B）、（C）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第一托盘存取控制动作的第一图。

图5（A）、（B）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第一托盘存取控制动作的第二图。

图6（A）、（B）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第一托盘存取控制动作的第三图。

图7（A）、（B）、（C）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第二托盘存取控制动作的第一图。

图8（A）、（B）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第二托盘存取控制动作的第二图。

图9（A）、（B）、（C）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第三托盘存取控制动作的图。

图10（A）、（B）、（C）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第四托盘存取控制动作的图。

图11中（A）是表示由第四托盘存取控制动作产生的托盘的移动距离的图，（B）是表示比较例的托盘的移动距离的图。

图12（A）、（B）、（C）、（D）是表示通过翻转元件吸嘴吸附了倒装晶片切割元件之后进行翻转的动作的图。

图13（A）、（B）、（C）是表示由图3的托盘存取控制装置引起的第五托盘存取控制动作的图。

图14（A）是表示由第五托盘存取控制动作产生的托盘的移动距离的图，（B）是表示由第五托盘存取控制动作产生的托盘的最短的移动距离的图。

图15（A）是表示对混杂有料盘元件、直接晶片切割元件及倒装晶片切割元件的托盘进行存取控制时的使用顺序的一例的图，（B）是表示（A）所示的使用顺序下的托盘的移动距离的图。

图16中（A）-（a）、（b）是表示本实用新型的元件供给装置的变形例的托盘的第一存取控制动作的图，（B）-（a）、（b）是表示本实用新型的元件供给装置的变形例的托盘的第二存取控制动作的图。

图17（A）~（G）是表示以往的元件供给装置的托盘的存取控制动作的图。

标号说明

1…元件安装装置，10、80…元件供给装置，11…壳体，12、81…储料器，20…基板搬运装置，30…元件移载装置，362…元件吸嘴，365…翻转元件吸嘴，40、82a、82b、82c…托盘搬运装置，50…托盘存取控制装置，60…储料器升降装置，70、83a、83b、83c…托盘升降装置，P…托盘，T…料盘，TP…料盘元件，DP…直接晶片切割元件，FP…倒装晶片切割元件，B…基板，S…元件供给位置，HP…元件取用高度，HPP…第二元件取用高度。

具体实施方式

以下，说明具备本实用新型的元件供给装置的一实施方式的元件安装装置。如图1及图2所示，元件安装装置1具备：设置在基框2的一侧（装置前方侧），并供给由料盘T收容的料盘元件TP作为向基板B安装的元件的元件供给装置10；设置在基框2上而搬运基板B的基板搬运装置20；设置在基框2的上方，并取用由元件供给装置10供给的料盘元件TP而向由基板搬运装置20支承的基板B安装的元件移载装置30。需要说明的是，在以下的说明中，将基板B的搬运方向称为X轴方向，将水平面内与X轴方向垂直的方向称为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向垂直的方向称为Z轴方向。

如图1及图2所示，元件供给装置10具备：壳体11；设置在壳体11内并收纳托盘P的储料器12，该托盘P可装载多个堆叠的料盘T；设置于壳体11，并在储料器12与元件供给位置S之间搬运托盘P的托盘搬运装置40；对托盘P的存取进行控制的托盘存取控制装置50（参照图3）。

在壳体11的一侧（装置前方侧）的大致中央部设有托盘存取口13，该托盘存取口13将装载有收容了料盘元件TP的料盘T的托盘P取入，将料盘元件TP的取用完成而料盘T废弃从而变空的托盘P取出。在托盘存取口13设有临时载置要存取的托盘P的托盘载置台14。并且，在托盘载置台14设有第一托盘存取装置15，该第一托盘存取装置15将托盘P钩挂于销15a，并通过托盘存取口13而在托盘载置台14与储料器12之间存取托盘P。

在壳体11的一侧（装置前方侧）的下部设有将废弃的空的料盘T排出的料盘排出口16。在料盘排出口16的内部设有暂时保管废弃的空的料盘T的料盘保管部17和通过杆18a将废弃的空的料盘T从料盘保管部17向外部推出的料盘推出装置18。并且，在料盘排出口16设有暂时载置排出的料盘T的料盘载置台19。

储料器12构成为能够将托盘P以沿着上下方向排列多个的状态收纳。即，储料器12形成为箱状，在储料器12的左右侧板12b、12b的内壁面上，沿着水平方向在整个宽度上延伸的多个引导槽12a、12a分别对置形成。托盘P的左右端以可滑动的方式与所述引导槽12a、12a卡合。由此，在储料器12的内部，能够将多个托盘P保持在与堆叠的料盘T的级数对应的位置。并且，通过使托盘P沿着引导槽12a、12a滑动，能够相对于托盘载置台14及托盘搬运装置40进行存取。

托盘搬运装置40构成为能够将托盘P沿着Y轴方向搬运。即，托盘搬运装置40大致由如下部件构成：水平配置的基台41；在该基台41上相互平行对置而分别以水平地沿着Y轴方向延伸的方式并列设置，且对搬运的托盘P进行引导的一对导轨42、42；并列设置于各导轨42、42，支承并搬运托盘P的一对传送带43、43；具备驱动传送带43、43的电动机及齿轮机构的带驱动部44；设置在基台41的储料器12侧，将托盘P钩挂于销45a而在储料器12与传送带43、43之间存取托盘P的第二托盘存取装置45。

储料器12以能够通过储料器升降装置60沿着Z轴方向升降的方式架设在壳体11内。托盘搬运装置40以能够通过托盘升降装置70而沿着Z轴方向升降的方式架设于壳体11中。即，储料器12构成为能够通过储料器升降装置60独立升降，托盘搬运装置40构成为能够通过托盘升降装置70独立升降。

储料器升降装置60大致由沿着Z轴方向延伸地配置的进给丝杠61、设置于储料器12且能够与进给丝杠61螺合的进给螺母62、具备使进给丝杠61绕轴旋转的电动机及齿轮机构的储料器升降驱动部63构成。托盘升降装置70大致由沿着Z轴方向延伸配置的进给丝杠71、设置于托盘搬运装置40且能够与进给丝杠71螺合的进给螺母72、具备使进给丝杠71绕轴旋转的电动机及齿轮机构的托盘升降驱动部73构成。

如图3所示，托盘存取控制装置50具有微型计算机50A，微型计算机50A具备经由总线而分别连接的输入输出接口、CPU、RAM及ROM（均未图示）。在该微型计算机50A上连接有显示装置51、通信装置52、存储装置53、储料器升降控制部54、第一托盘存取控制部55、第二托盘存取控制部56、托盘搬运控制部57、托盘升降控制部58及料盘推出控制部59。显示装置51显示托盘信息、料盘信息、元件信息、警告等。通信装置52经由LAN（未图示）而与主机（未图示）连接，收发信号。存储装置53存储从主机发送的托盘信息等。

储料器升降控制部54连接有储料器升降驱动部63，使储料器升降驱动部63的电动机ON（启动）/OFF（停止），使储料器12升降而定位控制在规定位置。第一托盘存取控制部55连接有第一托盘存取装置15，使第一托盘存取装置15的销15a沿着Y轴方向移动，在托盘载置台14与储料器12之间控制托盘P的存取。第二托盘存取控制部56连接有第二托盘存取装置45，使第二托盘存取装置45的销45a沿着Y轴方向移动，在储料器12与传送带43、43之间控制托盘P的存取。

托盘搬运控制部57连接有带驱动部44，使带驱动部44的电动机ON/OFF，使传送带43、43转动，搬运托盘P而定位控制在规定位置。托盘升降控制部58连接有托盘升降驱动部73，使托盘升降驱动部73的电动机ON/OFF，使托盘搬运装置40升降而定位控制在规定位置。料盘推出控制部59连接有料盘推出装置18，使料盘推出装置18的杆18a突出，控制托盘P从料盘保管部17向料盘载置台19的推出。

如图1所示，作为一例，基板搬运装置20由将同一结构的2台搬运装置21、21并列设置的双输送机构成。搬运装置21大致由以相互平行对置而分别水平地沿着X轴方向延伸的方式并列设置在基框2上且对搬运的基板B进行引导的一对导轨22、22、并列设置于各导轨22、22且对基板B进行支承而搬运的未图示的一对传送带、驱动传送带的具备电动机及齿轮机构的未图示的带驱动部、将搬运到规定的元件安装位置的基板B抬起并夹紧的未图示的夹紧装置构成。

如图1所示，元件移载装置30由架设在基框2上部且配置在基板搬运装置20及托盘搬运装置40的上方的XY机器人构成。元件移载装置30具备借助Y轴伺服电动机31Y沿着Y轴方向移动的Y轴滑动件32Y、借助X轴伺服电动机31X沿着X轴方向移动的X轴滑动件32X。该X轴滑动件32X由Y轴滑动件32Y以能够沿着X轴方向移动的方式引导。在X轴滑动件32X上安装有将料盘元件TP向基板B安装的元件安装头34。

在元件安装头34安装有从头本体35向下方突出设置的吸嘴支架部361、设置在该吸嘴支架部361的下端部而吸附保持料盘元件TP的元件吸嘴362、从头本体35向下方突出设置且为了识别基板位置而拍摄基板B的基板摄像机37。元件吸嘴362安装在吸嘴支架部361的下端部，该吸嘴支架部361以能够通过伺服电动机（未图示）沿着Z轴方向升降且能够绕吸嘴轴旋转的方式支承于元件安装头34。并且，元件吸嘴362与未图示的真空泵连接，以便于能够通过吸嘴前端吸引元件。而且，对由元件吸嘴362吸附保持的料盘元件TP进行拍摄的元件摄像机38设置在基板搬运装置20与托盘搬运装置40之间。

接下来，参照图4~图6，说明由托盘存取控制装置50引起的第一托盘存取控制动作。作为一例，说明将托盘P1上堆叠有3个的料盘T1的料盘元件TP1及托盘P2上堆叠有9个的料盘T2的料盘元件TP2按照该顺序使用（安装）的情况。需要说明的是，设在初始状态下，储料器12位于壳体11内的最上方，托盘搬运装置40位于壳体11侧的上方。

托盘存取控制装置50对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12下降，定位成托盘P2用的储料器12的引导槽12a、12a与托盘载置台14一致。并且，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使载置于托盘载置台14的托盘P2水平移动而与储料器12的引导槽12a、12a卡合。同样地，对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12下降，定位成托盘P1用的储料器12的引导槽12a、12a与托盘载置台14一致。并且，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使载置于托盘载置台14的托盘P1水平移动而与储料器12的引导槽12a、12a卡合（参照图4（A））。

托盘存取控制装置50对托盘升降驱动部73进行驱动控制，使托盘搬运装置40下降，并且对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，在托盘搬运装置40达到托盘P1的位置时，使托盘搬运装置40的下降及储料器12的上升停止（参照图4（B））。然后，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并对第二托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P1水平移动直至钩挂于传送带43、43为止（参照图4（C））。

托盘存取控制装置50使导轨42、42引导托盘P1使传送带43、43支承托盘P1，而搬运到元件供给位置S（参照图5（A））。并且，对托盘升降驱动部73及储料器升降驱动部63进行同步控制而使托盘搬运装置40及储料器12上升，在托盘P1上堆叠装载的3个料盘T1的最上层的料盘T1到达元件取用高度HP时，使托盘搬运装置40及储料器12的上升停止（参照图5（B））。

这里，安装料盘元件TP1的基板B由基板搬运装置20的导轨22、22引导且由传送带搬运到元件安装位置，通过夹紧装置定位夹紧在元件安装位置（参照图6（A））。在托盘P1上堆叠装载的3个料盘T1的最上层的料盘T1的料盘元件TP1由借助Y轴滑动件32Y及X轴滑动件32X移动的元件安装头34的元件吸嘴362来吸附保持（参照图6（A）-（a））。并且，吸附保持的料盘元件TP1的保持位置通过元件摄像机38识别（参照图6（A）-（b）），在料盘元件TP1没有特别问题时，将料盘元件TP1向基板B安装（参照图6（A）-（c））。

在托盘P1的最上层的料盘T1的全部的料盘元件TP1的向基板B的安装完成之后，将元件安装头34的元件吸嘴362更换成料盘吸嘴363。并且，托盘P1的最上层的变空的料盘T1由元件安装头34的料盘吸嘴363吸附保持，移动到壳体11附近的料盘废弃位置而解除吸附（参照图6（A）-（d））。由此，托盘P1的最上层的变空的料盘T1如图示虚线箭头所示，朝向料盘保管部17落下。然后，托盘存取控制装置50对料盘推出装置18进行驱动控制，将变空的料盘T1从料盘排出口16向料盘载置台19推出。

托盘存取控制装置50对托盘升降驱动部73及储料器升降驱动部63进行同步控制而使托盘搬运装置40及储料器12上升，在托盘P1上堆叠装载的下一级的料盘T1到达了元件取用高度HP时，使托盘搬运装置40及储料器12的上升停止。然后，执行上述的料盘元件TP1的安装及料盘T1的废弃。然后，在托盘P1变空之后，托盘存取控制装置50对带驱动部44进行驱动控制而使传送带43、43转动，使导轨42、42引导空的托盘P1且使传送带43、43支承空的托盘P1，而使托盘P1水平移动直到钩挂于储料器12的引导槽12a、12a为止。然后，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使空的托盘P1与储料器12的引导槽12a、12a卡合。通过以上步骤完成托盘P1的处理。并且，对于下一托盘P2也执行同样的处理。

如以上所述，根据第一托盘存取控制动作，与以往那样仅使托盘搬运装置升降而进行托盘更换的时间相比，使本实施方式的托盘搬运装置40及储料器12升降而进行托盘更换的时间较短。即，如图17所示，以往使位于上方的托盘搬运装置91下降而定位在使用的托盘PP的位置（参照图17（A）、（B）、（C）），将该托盘PP从储料器92取出而向元件供给位置S搬运（参照图17（D））。然后，使托盘搬运装置91上升而将最上层的料盘TT定位在元件取用高度HP（参照图17（E））。在全部的料盘TT的元件取用完成之后，使托盘搬运装置91下降而定位在收纳了托盘PP的位置（参照图17（F）），将该托盘PP收纳于储料器92（参照图17（G））。需要对于由储料器92收纳的各托盘PP进行以上的动作。

然而，与以往的仅使托盘搬运装置91下降而将托盘搬运装置91定位在托盘PP的位置上的动作时间（参照图17（B）、（C））相比，本实施方式的使托盘搬运装置40下降且使储料器12上升而将托盘搬运装置40定位在托盘P的位置上的动作时间（参照图4（B））较短。而且，与以往的使托盘搬运装置91上升而将最上层的料盘TT定位在元件取用高度HP上的动作时间（参照图17（E））相比，本实施方式的使托盘搬运装置40上升且使储料器12上升而将最上层的料盘T定位在元件取用高度HP上的动作时间（参照图5（B））较短。并且，本实施方式的托盘搬运装置40及储料器12能够在停止的状态下将托盘P收纳于储料器12（参照图6（B）），相对于此，以往需要使托盘搬运装置91下降，在将托盘搬运装置91定位在收纳了托盘PP的位置上之后将托盘PP收纳于储料器92（参照图17（F））。由此，与以往那样仅使托盘搬运装置升降来进行托盘更换的时间相比，本实施方式的使托盘搬运装置40及储料器12升降而进行托盘更换的时间较短，能够提高生产效率并能够实现节能化。

接下来，参照图7及图8，说明托盘存取控制装置50引起的第二托盘存取控制动作。该第二托盘存取控制动作是如下动作：以使托盘P上堆叠装载的多个料盘T的最上层的料盘T位于壳体11的固定位置、本例中为元件取用高度HP的方式定位储料器12，将托盘搬运装置40定位成与堆叠装载有多个料盘T的托盘P一致而对托盘P进行存取控制。作为一例，说明将托盘P1上堆叠有3个的料盘T1的料盘元件TP1及托盘P2上堆叠有9个的料盘T2的料盘元件TP2按照该顺序使用（安装）的情况。需要说明的是，在初始状态下，储料器12位于壳体11内的最下方，托盘搬运装置40位于壳体11侧的最下方。

托盘存取控制装置50对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，将储料器12的引导槽12a、12a定位成与托盘载置台14一致。然后，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使载置于托盘载置台14的托盘P2水平移动而与储料器12的引导槽12a、12a卡合。同样地，对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，将储料器12的引导槽12a、12a定位成与托盘载置台14一致。然后，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使载置于托盘载置台14的托盘P1水平移动而与储料器12的引导槽12a、12a卡合（参照图7（A））。

托盘存取控制装置50对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，以使托盘P1的最上层的料盘T1位于元件取用高度HP的方式定位储料器12，并且对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40上升，将托盘搬运装置40定位成与托盘P1一致（参照图7（B））。然后，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并对第二托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P1水平移动到钩挂于传送带43、43为止。

托盘存取控制装置50使导轨42、42引导托盘P1且使传送带43、43支承托盘P1而搬运到元件供给位置S（参照图7（C））。由此，托盘P1的最上层的料盘T1在元件供给位置S上已经被定位于元件取用高度HP，因此能够直接执行上述的料盘元件TP1的安装。

托盘存取控制装置50对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12下降，以使托盘P2的最上层的料盘T2位于元件取用高度HP的方式定位储料器12，并且对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40下降，将托盘搬运装置40定位成与托盘P2一致（参照图8（A））。然后，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并且对第二托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P2水平移动到钩挂于传送带43、43为止。

托盘存取控制装置50使导轨42、42引导托盘P2且使传送带43、43支承托盘P2而搬运到元件供给位置S（参照图8（B））。由此，托盘P2的最上层的料盘T2在元件供给位置S上已经被定位在元件取用高度HP，因此能够直接执行上述的料盘元件TP2的安装。

如以上所述，根据第二托盘存取控制动作，托盘存取控制装置50以使托盘P上堆叠装载的多个料盘T的最上层的料盘T位于元件取用高度HP的方式通过储料器升降装置60定位储料器12，并通过托盘升降装置70将托盘搬运装置40定位成与该托盘P一致。由此，通过使储料器12升降而能够使因级数而不同的最上层的料盘T的位置一致，因此能够将最上层的料盘T的位置定位在元件取用高度HP。需要说明的是，能够与托盘P上堆叠的料盘T的级数无关地使来自储料器12的托盘P的取出位置为一定，例如设定为壳体11的大致中央高度，因此能够容易地进行储料器12的定位。

接下来，参照图9，说明托盘存取控制装置50引起的第三托盘存取控制动作。该第三托盘存取控制动作是使储料器升降装置60引起的储料器12的动作、托盘搬运装置40引起的托盘P的搬运动作、托盘升降装置70引起的托盘搬运装置40的动作中的一部分同时进行而对托盘P进行存取控制的动作。例如是如下动作：将堆叠有9个料盘T的托盘P从储料器12取出并搬运而到达了元件供给位置S时，以托盘P的最上层的料盘T到达元件取用高度HP的方式对托盘P进行存取控制。

托盘存取控制装置50对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40下降并对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，在托盘搬运装置40到达托盘P的位置时，使托盘搬运装置40的下降及储料器12的上升停止（参照图9（A））。

托盘存取控制装置50在对托盘升降驱动部73及储料器升降驱动部63进行同步控制而使托盘搬运装置40及储料器12上升的期间，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并对第二托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P水平移动到钩挂于传送带43、43（参照图9（B））。

此外，托盘存取控制装置50继续进行托盘升降驱动部73及储料器升降驱动部63的同步控制而使托盘搬运装置40及储料器12上升的期间，使导轨42、42引导托盘P且使传送带43、43支承托盘P而进行搬运。然后，在托盘P到达元件供给位置S且托盘P的最上层的料盘T到达了元件取用高度HP之后，使储料器升降驱动部63、托盘升降驱动部73及带驱动部44的驱动控制停止（参照图9（C））。然后，执行上述的料盘元件TP的安装。

如上所述，根据第三托盘存取控制动作，托盘存取控制装置50对储料器12的升降动作、托盘P的搬运动作、托盘搬运装置40的升降动作进行关联控制。由此，将托盘搬运装置40定位于由储料器12收纳的托盘P，在使托盘搬运装置40与储料器12同步上升的期间，将该托盘P从储料器12向托盘搬运装置40卸下而向元件供给位置S搬运，从而能够将最上层的料盘T定位于元件取用高度HP。并且，在全部的料盘T的元件取用完成之后，将托盘P朝向储料器12搬运，由此即便不使托盘搬运装置40及储料器12升降，也能够收纳在收纳有该托盘P的位置。以上的动作可以相对于由储料器12收纳的各托盘P进行。由此，能够进一步缩短托盘更换时间。

接下来，参照图10及图11，说明托盘存取控制装置50引起的第四托盘存取控制动作。该第四托盘存取控制动作是如下动作：在第二托盘存取控制动作下，在将堆叠装载的多个料盘T的高度不同的多个托盘P从储料器12按照使用顺序存取时，在最短的储料器12的升降距离下对托盘P进行存取控制。这种情况下，将最初使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度与最后使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度进行比较，以排列成高的托盘P处于储料器12的下方的位置的状态由储料器12收纳。

作为一例，说明将托盘P1上堆叠有2个的料盘T1的料盘元件TP1、托盘P2上堆叠有4个的料盘T2的料盘元件TP2及托盘P3上堆叠有9个的料盘T3的料盘元件TP3按照该顺序使用（安装）的情况。这种情况下，将最初使用的托盘P1上堆叠装载的料盘T1的高度hs与最后使用的托盘P3上堆叠装载的料盘T3的高度he进行比较，以排列成高的托盘P3位于储料器12的下方的位置的状态收纳于储料器12（参照图10（A））。

托盘存取控制装置50与第二托盘存取控制动作同样地对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，以使托盘P1的最上层的料盘T位于元件取用高度HP的方式定位储料器12，并对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40上升，将托盘搬运装置40定位成与托盘P1一致。并且，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并对第二托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P1水平移动到钩挂于传送带43、43为止。并且，使导轨42、42引导托盘P1且使传送带43、43支承托盘P1而搬运到元件供给位置S（参照图10（A））。

托盘存取控制装置50对于托盘P2及托盘P3也反复进行同样的动作（参照图10（B）、（C））。如图11（A）所示，此时的储料器12的上升距离L1成为托盘P1的最上层的料盘T1与托盘P3的最上层的料盘T3的距离，即包括2个料盘T1的高度和4个料盘T2的高度在内的距离。另一方面，如图11（B）所示，以排列成高的托盘P3处于储料器12的上方的位置的状态由储料器12收纳时的储料器12的上升距离L2成为托盘P3的最上层的料盘T3与托盘P1的最上层的料盘T1的距离，即包括9个料盘T3的高度和4个料盘T2的高度在内的距离。由此，与比较例的储料器12的上升距离L2相比，本实施方式的储料器12的上升距离L1缩短了9个料盘T3的高度与2个料盘T1的高度的差量。

如以上所述，根据第四托盘存取控制动作，托盘存取控制装置50以如下方式排列托盘P：将最初使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度与最后使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度相比较，使较高的托盘P处于储料器12的下方的位置。由此，例如，与排列成料盘T的高度低的托盘P处于储料器12的下方的位置的情况相比较，能够缩短托盘P的升降距离，从而能够缩短托盘更换时间。

需要说明的是，不进行由托盘升降驱动部73引起的托盘搬运装置40的驱动控制而将托盘P以固定高度搬运到元件供给位置时，与上述的收纳顺序相反地，以将托盘P排列成如下方式的状态由储料器12收纳：将最初使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度与最后使用的托盘P上堆叠装载的料盘T的高度相比较，使较高的托盘P处于储料器12的上方的位置，从而能够得到与上述同样的效果。

接下来，参照图12~图15，说明托盘存取控制装置50引起的第五托盘存取控制动作。该第五托盘存取控制动作是如下动作：在第二托盘存取控制动作中，载置了收容有能够从搬运到元件供给位置S的料盘T直接取用的第一料盘元件的料盘T的托盘P、及载置了收容有从搬运到元件供给位置S的料盘T取用之后需要进行翻转而交接的第二料盘元件的料盘T的托盘P从储料器12按使用顺序存取时，以最短的储料器12的升降距离对托盘P进行存取控制。

这里，作为第一料盘元件，除了已述的料盘元件TP之外，还有在晶片的表面整个面形成多个同一元件，按各元件切割而能够通过元件吸嘴36直接吸附的直接晶片切割元件DP。而且，作为第二料盘元件，有如图12所示，在晶片的表面整个面形成多个同一元件，按各元件进行切割，由安装于第二吸嘴支架部364的翻转元件吸嘴365吸附之后需要进行翻转而向元件吸嘴362交接的倒装晶片切割元件FP。需要说明的是，收容有直接晶片切割元件DP及倒装晶片切割元件FP的料盘T基本上不在托盘P上堆叠多个，而是仅装载一个。

如已述那样，在堆叠了多个收纳有料盘元件TP的料盘T的托盘P的情况下，在元件供给位置S上以最上层的料盘T位于元件取用高度HP作为第一固定位置的方式将储料器12定位。而且，在装载了一个收纳有直接晶片切割元件DP的料盘T的托盘P的情况下，在元件供给位置S上以料盘T位于元件取用高度HP作为第一固定位置的方式将储料器12定位。另一方面，在堆叠了多个收纳有倒装晶片切割元件FP的料盘T的托盘P的情况下，在元件供给位置S上以最上层的料盘T位于第二元件取用高度HPP作为比第一固定位置向下方离开了翻转所需的距离的第二固定位置的方式将储料器12定位。

第二吸嘴支架部364及翻转元件吸嘴365与吸嘴支架部361及元件吸嘴362同样地构成，安装在能够绕设置于元件安装头34的轴转动的转动轴部366。并且，翻转元件吸嘴365在朝向垂直下方时，以能够从位于第二元件取用高度HPP的料盘T吸附倒装晶片切割元件FP的方式（参照图12（A）），另外，在朝向垂直上方时，以使吸附的倒装晶片切割元件FP位于元件取用高度HP的方式（参照图12（B），即，以元件吸嘴362能够吸附该倒装晶片切割元件FP的方式（参照图12（C）、（D）），从元件吸嘴362向垂直下方离开规定距离而配置。

这种情况下，相对于元件取用高度HP，将第一料盘元件的托盘P从储料器12的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序排列，相对于第二元件取用高度HPP（第二固定位置），将第二料盘元件的托盘P从储料器12的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序排列，在该状态下收纳于储料器12。作为一例，说明如图13所示托盘P1上堆叠有4个的料盘T1的料盘元件TP1、托盘P2上装载有1个的料盘T2的直接晶片切割元件DP、及托盘P3上装载有1个的料盘T3的倒装晶片切割元件FP按照该顺序使用（安装）的情况。这种情况下，相对于元件取用高度HP排列成最初使用的托盘P1相对于接下来使用的托盘P2位于储料器12的下方的位置，相对于第二元件取用高度HPP排列成设置有最初使用的托盘P3，在该状态下收纳于储料器12。

托盘存取控制装置50与第二托盘存取控制动作同样地，对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12上升，以托盘P1的最上层的料盘T1位于元件取用高度HP的方式将储料器12定位，并且，对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40上升，将托盘搬运装置40定位成与托盘P1一致。并且，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并且，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P1水平移动至钩挂于传送带43、43。并且，使导轨42、42引导托盘P1且使传送带43、43支承托盘P1而搬运到元件供给位置S（参照图13（A））。由此，托盘P1的最上层的料盘T1在元件供给位置S上已经被定位在元件取用高度HP，因此能够直接执行上述的料盘元件TP1的安装。并且，对于托盘P2也执行同样的动作（参照图13（B））。

托盘存取控制装置50对储料器升降驱动部63进行驱动控制而使储料器12下降，以托盘P3的料盘T3位于第二元件取用高度HPP的方式将储料器12定位，并且，对托盘升降驱动部73进行驱动控制而使托盘搬运装置40下降，将托盘搬运装置40定位成与托盘P3一致。并且，对带驱动部44进行驱动控制，使传送带43、43转动，并且，对第一托盘存取装置15进行驱动控制，使与储料器12的引导槽12a、12a卡合的托盘P3水平移动至钩挂于传送带43、43。并且，使导轨42、42引导托盘P3且使传送带43、43支承托盘P3而搬运至元件供给位置S（参照图13（C））。并且，通过朝向垂直下方的翻转元件吸嘴365从料盘T3吸附倒装晶片切割元件FP，使翻转元件吸嘴365转动而朝向垂直上方，将该倒装晶片切割元件FP向元件吸嘴362交接。

如图14（A）所示，此时的储料器12的下降距离成为距离L11与距离L12之和的距离L11+L12，该距离L11是托盘P1的最上层的料盘T1与托盘P2的料盘T2的距离，即，是从将托盘P1的最上层的料盘T1定位在元件取用高度HP上的位置到将托盘P2的料盘T2定位在元件取用高度HP上的距离，该距离L12是从将托盘P2的料盘T2定位在元件取用高度HP上的位置到将托盘P3的料盘T3定位在第二元件取用高度HPP上的距离。而且，如图14（B）所示，将托盘P2的料盘T2定位在元件取用高度HP上时，以将托盘P3的料盘T3定位在第二元件取用高度HPP的方式调整托盘P2与托盘P3的距离，由此，储料器12的下降距离仅成为托盘P1的最上层的料盘T1与托盘P2的料盘T2的距离L11，从而能够进一步缩短，而能够使托盘更换时间缩短。

另外，作为另一例，如图15所示，说明托盘P11上装载有1个的料盘T11的直接晶片切割元件、托盘P12上装载有1个的料盘T12的倒装晶片切割元件、托盘P13上堆叠有4个的料盘T13的料盘元件、托盘P14上装载有1个的料盘T14的倒装晶片切割元件、托盘P15上装载有1个的料盘T15的直接晶片切割元件、托盘P16上装载有1个的料盘T16的倒装晶片切割元件按照该顺序使用（安装）的情况（参照图15（A））。

这种情况下，相对于元件取用高度HP，将最初使用的托盘P11、接着使用的托盘P13、再接着使用的托盘P15排列成按照该顺序从储料器12的下方朝向上方，相对于第二元件取用高度HPP，最初使用的托盘P12、接着使用的托盘P14、再接着使用的托盘P16排列成按照该顺序从储料器12的下方朝向上方，在该状态下收纳于储料器12（参照图15（B））。

由此，托盘存取控制装置50首先以托盘P11的最上层的料盘T11位于元件取用高度HP的方式将储料器12定位（参照图15（B）（a）），从托盘P11搬运到元件供给位置S而将料盘元件安装于基板B。接下来，以托盘P12的最上层的料盘T12位于元件取用高度HPP的方式使储料器12下降而定位（参照图15（B）（b）），从托盘P 12搬运到元件供给位置S而将倒装晶片切割元件向基板B安装。如此，仅通过使储料器12下降，就能够从托盘11到托盘16依次搬运到元件供给位置S而将各元件向基板B安装。此时的储料器12的下降距离L21成为托盘P11的料盘T11与托盘P15的料盘T15的距离，即包括1个料盘T11的高度、4个料盘T13的高度、及1个料盘T15的高度在内的距离。另一方面，将从托盘11到托盘16以排列成从储料器12的下方朝向上方的状态收纳于储料器12的比较例的情况下，根据各托盘11~16而元件取用高度HP与第二元件取用高度HPP不同，因此必须使储料器12上下移动。由此，与比较例的储料器12的上升下降距离相比，本实施方式的储料器12的下降距离L21大幅缩短。

接下来，参照图16，说明元件供给装置的变形例。该元件供给装置80具备：能够将托盘P以沿着水平方向排列多个（在本例中，为3个）的状态收纳的储料器81；由能够分别相对于储料器81搬入搬出各托盘P21、P22、P23的多台（在本例中，为3台）装置构成的托盘搬运装置82a、82b、82c；由能够使各托盘搬运装置82a、82b、82c分别升降的多台（在本例中，为3台）装置构成的托盘升降装置83a、83b、83c。储料器81、各托盘搬运装置82a、82b、82c及各托盘升降装置83a、83b、83c与已述的储料器12、托盘搬运装置40及托盘升降装置70为大致同一结构。

根据这种结构的元件供给装置80，例如，在堆叠于各托盘P21、P22、P23上的料盘T21、T22、T23中，例如能够将种类不同的元件按种类分开收纳（参照图16（A）），因此与通过1台托盘升降装置40将托盘P21、P22、P23一个个拉出而搬运的装置相比，能够缩短托盘更换时间，能够提高生产效率并能够实现节能化。而且，即便堆叠于各托盘P21、P22、P23的料盘T21、T22、T23的个数按照托盘P21、P22、P23而不同，也能够将搬运到元件供给位置S时的最上层的各料盘T21、T22、T23的高度形成为同一元件取用高度HP。由此，元件吸嘴362在托盘P21、P22、P23间移动时，无需为了避免与料盘T21、T22、T23的碰撞而较大地移动，能够缩短元件吸嘴362的移动时间。

另外，例如，将收纳有同一种类的多个料盘元件TP的各料盘T21、T22、T23以同一级数堆叠于1个托盘P（参照图16（B）），由此，对各托盘搬运装置82a、82b、82c进行同步控制而将1个托盘P从储料器81向元件安装位置S搬运，对各托盘升降装置83a、83b、83c进行同步控制而使1个托盘P升降，从而能够使最上层的各料盘T21、T22、T23分别与元件取用高度HP一致。由此，能够将同一种类的多个料盘元件TP连续地向基板B安装，能够提高生产效率。

Claims (8)

1.一种元件供给装置，对排列并收容有多个料盘元件的料盘进行收纳，将所述料盘搬运到元件供给位置而供给所述料盘元件，其特征在于，具备： 

壳体； 

储料器，以能够升降的方式架设在所述壳体内，且能够以沿着上下方向排列多个托盘的状态对所述托盘进行收纳，所述托盘能够装载多个堆叠起来的所述料盘； 

储料器升降装置，使所述储料器进行升降； 

托盘搬运装置，以能够升降的方式架设于所述壳体，且在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘；及 

托盘升降装置，使所述托盘搬运装置进行升降。 

2.根据权利要求1所述的元件供给装置，其特征在于， 

具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元通过所述储料器升降装置对所述储料器进行定位，使得所述托盘位于所述壳体的固定位置，通过所述托盘升降装置对所述托盘搬运装置进行定位，使得该托盘搬运装置与位于所述固定位置的托盘一致，并通过所述托盘搬运装置在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。 

3.根据权利要求1所述的元件供给装置，其特征在于， 

具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元通过所述储料器升降装置对所述储料器进行定位，使得堆叠装载于所述托盘上的多个所述料盘中的最上层料盘位于所述壳体的固定位置，通过所述托盘升降装置对所述托盘搬运装置进行定位，使得该托盘搬运装置与堆叠装载有多个所述料盘的所述托盘一致，并通过所述托盘搬运装置在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。 

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件供给装置，其特征在于， 

具备托盘存取控制单元，该托盘存取控制单元以所述储料器升降装置引起的所述储料器的动作、所述托盘搬运装置引起的所述托盘的搬运动作及所述托盘升降装置引起的所述托盘搬运装置的动作中的一部分动作同时进行的方式进行控制，从而在所述储料器与所述元件供给位置之间搬运所述托盘。 

5.根据权利要求1～3中任一项所述的元件供给装置，其特征在于， 

所述储料器能够以沿着水平方向排列多个托盘的状态对所述托盘进行收纳， 

所述托盘搬运装置由能够分别向所述储料器搬入或从所述储料器搬出各个所述托盘的多台托盘搬运装置构成， 

所述托盘升降装置由能够分别使各个所述托盘搬运装置升降的多台托盘升降装置构成。 

6.根据权利要求4所述的元件供给装置，其特征在于， 

所述储料器能够以沿着水平方向排列多个托盘的状态对所述托盘进行收纳， 

所述托盘搬运装置由能够分别向所述储料器搬入或从所述储料器搬出各个所述托盘的多台托盘搬运装置构成， 

所述托盘升降装置由能够分别使各个所述托盘搬运装置升降的多台托盘升降装置构成。 

7.根据权利要求3所述的元件供给装置，其特征在于， 

在将堆叠装载的多个所述料盘的高度不同的多个所述托盘以按照使用顺序排列后的状态收纳于所述储料器的情况下，如下地排列所述托盘： 

对堆叠装载于最初使用的所述托盘上的所述料盘的高度与堆叠装载于最后使用的所述托盘上的所述料盘的高度进行比较，使较高的所述托盘处于所述储料器的下方的位置。 

8.根据权利要求3所述的元件供给装置，其特征在于， 

第一所述料盘收容有能够从被搬运到所述元件供给位置的所述料盘直接取用的第一料盘元件，第二所述料盘收容有从被搬运到所述元件供给位置的所述料盘取用之后需要翻转而交接的第二料盘元件，在将载置有第一所述料盘的第一所述托盘及载置有第二所述料盘的第二所述托盘以按照使用顺序排列后的状态收纳于所述储料器的情况下， 

将所述最上层料盘被定位的所述固定位置设定为第一所述料盘用的第一固定位置，并设定为比所述第一固定位置向下方离开了所述翻转所需的距离的第二所述料盘用的第二固定位置；相对于所述第一固定位置，从所述储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序来排列第一所述托盘，相对于所述第二固定位置从所述储料器的下方及上方中的一方朝向另一方按照使用顺序来排列第二所述托盘。 

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