CN1970412A - 可直角转向输送基板的基板输送装置 - Google Patents

可直角转向输送基板的基板输送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1970412A
CN1970412A CNA2006101449441A CN200610144944A CN1970412A CN 1970412 A CN1970412 A CN 1970412A CN A2006101449441 A CNA2006101449441 A CN A2006101449441A CN 200610144944 A CN200610144944 A CN 200610144944A CN 1970412 A CN1970412 A CN 1970412A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
mentioned
frame
frame portion
delivery device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006101449441A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1970412B (zh
Inventor
文熙锡
李硕周
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WEIHAI DMS OPTICAL ELECTROMECHANICAL Co.,Ltd.
DMS Co Ltd
Original Assignee
Display Manufacturing Services Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Display Manufacturing Services Co Ltd filed Critical Display Manufacturing Services Co Ltd
Publication of CN1970412A publication Critical patent/CN1970412A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1970412B publication Critical patent/CN1970412B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种在基板处理线之间直角转向输送基板的基板输送装置，该装置安装在基板处理线的直角转向部中，其包括：框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装于上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，一体安装于上述框架部上，为输送基板向转动辊部施加转动力并控制转动速度；框架驱动部，可转动地结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态送到上述框架部上时，直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板。

Description

可直角转向输送基板的基板输送装置
技术领域
本发明涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种在基板倾斜设置的状态下，同时进行输送和转动动作，由此在两组基板处理线之间，可有效地直角转向输送基板的基板输送装置。
背景技术
通常，处理基板的流水线，如图1所示，安装有使基板按直角方向转向的基板输送装置。
即，从装载盒C中送出的基板G，通过一侧基板处理线P1，提供到另一侧基板处理线P2。而通过在这些基板处理线P1、P2之间安装的输送装置1，可改变基板的输送方向。
以前在这种输送装置1中，将基板G直角转向时，通过分别使用升降式或倾斜式输送机和固定式输送机的方式来改变基板输送方向。
但是，采用这种升降式输送机方式的输送装置时，为了停止高速进入的基板，需要用固定式输送机来减速，并通过升降式输送机使已停止的基板上下移动后再予以加速，因此存在输送时间增加的问题。
而且，这种装置需要安装升降式和固定式两个输送机，因此其结构复杂，而且存在制作费用及处理时间增加的问题。
另外，当利用倾斜式输送机来进行倾斜输送时，为达到基板的直角转向输送，需要改变倾斜式输送机的位置以使其水平，因此存在降低使药液落下的效果的问题。
而且，这种结构的输送装置，由于需要进行升降及倾斜动作，因此无法适用双辊轴，由此很难做到有效地使基板减速。
发明内容
本发明针对上述问题而完成，其目的在于提供一种在基板倾斜设置的状态下，能够同时进行输送和转动的基板直角转向输送装置。
另外，本发明的另一个目的在于提供一种一体具备用于输送基板的转动辊部和用于驱使该转动辊部旋转的驱动部，由此使基板直角转向输送装置的结构简化而能够减少维护及制造时间。
另外，本发明的另一个目的在于提供一种以倾斜的状态输送基板，因此能够使药液落下的基板直角转向输送装置。
为实现如上所述的目的，本发明的一个较佳实施例提供了一种基板直角转向输送装置，该装置安装在直角转向部中，其包括：框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装在上述框架部上，并输送基板；辊驱动部，连接在上述框架部上，且为输送基板而向转动辊部施加转动力并用于控制转动速度；框架驱动部，结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态送入上述框架部上时，可直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板。
另外，本发明的基板直角转向输送装置的另一个较佳实施例如下。该装置安装在直角转向部，其包括：框架部，具有相对放置的二框架，且其上端水平平行；转动辊部，可转动地安装在上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，连接在上述框架部上，且为输送基板而向转动辊部施加转动力，并用于控制转动速度；框架驱动部，可旋转地结合于上述一对框架部的底部，当基板以倾斜状态送入上述框架部上时，上述框架部直角转动，并从另一侧送出基板；以及倾斜单元，安装在上述转动辊部的底部，而且抬起上述框架部的一侧而使其倾斜。
采用本发明，通过一体设置用于输送基板的框架部和用于转动该框架部的框架驱动部来简化结构，从而不仅能够减少维护及制造时间，还能够节约制造成本。
另外，当直角转向输送基板时，在基板倾斜配置的状态，同时实现输送和转动，因此可以减少输送时间，而且由于基板以倾斜状态被传送，因此具有使药液落下的效果。
附图说明
图1是通常的基板处理线示意图。
图2是表示本发明的较佳实施例所涉及的当安装在两个基板处理线之间的基板直角转向输送装置输送基板时的工作状态示意图。
图3是图2所示的基板直角转向输送装置的立体图。
图4是图3所示的基板直角转向输送装置的立体分解图。
图5是图3所示的基板直角转向输送装置的侧视图。
图6是本发明另一个较佳实施例所涉及的采用倾斜单元的基板直角转向输送装置的立体分解图。
图7是图6所示的基板直角转向输送装置的侧视图。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明一个较佳实施例所涉及的基板直角转向输送装置。
如图1所示，本发明的基板直角转向输送装置，安装在以倾斜状态输送基板的一侧基板处理线P1和另一侧基板处理线P2的连接位置上，而且接收从一侧基板处理线P1送入的倾斜配置的基板G后90度转向，从另一侧的基板处理线P2送出基板。
这种基板G输送装置，如图2至图4所示，可转动地安装在底座3上，从而能够进行直角转向输送。
具体来说，上述基板输送装置包括：框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架的垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；转动辊部5，可转动地安装在上述框架部上且用于输送基板G；辊驱动部，一体安装在上述框架部上，为输送基板G对转动辊部5施加转动力，并用于控制转速；框架驱动部7，可转动地结合在上述框架部的底部，当基板G以倾斜状态送入上述框架部时，直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板G。
具有上述结构的基板输送装置中，上述框架部由一对相互平行且对置的框架11、13构成。在一对框架11、13之间安装有多个输送辊R。此时，上述框架部中，一侧框架11高于另一侧框架13。
从而，上述框架部呈倾斜状，而且多个输送辊R也呈一定的倾斜状态。
而且，上述输送辊R可通过驱动部以一定速度转动。即，上述辊驱动部由安装在一侧框架部11上的电机机组17和连接上述电机机组17与多个输送辊R的传动带21构成。
因此，当上述电机机组17被驱动时，通过传动带21驱动多个输送辊R进行旋转。
总之，通过以倾斜状态转动的多个输送辊R，可使置放在其上面的基板G在倾斜状态下移动。
上述实施例中，说明了将框架部配制成一侧框架11高于另一侧框架13而使其倾斜的输送装置。但是，本发明不限于此，在两侧框架11、13保持同一高度的状态下，可以将输送辊R配置成其一端高于另一端，以此使其倾斜。
并且，通过安装在上述框架部上部的一对双辊轴(Double RollerShaft)14、15，降低送入的基板G的速度。
上述一对双辊轴14、15是由安装于入口处的双辊轴15和安装于出口处的双辊轴14构成。
另外，在上述一对双辊轴14、15上设有辊子16，而上述辊子16是由橡胶(Rubber)等材质构成，当其与基板G接触时，可以产生适当的摩擦力。
因此，当基板G以倾斜状态被送入时，入口处的双辊轴15开始与基板G上表面相接触，通过摩擦力第一次降低基板G的送入速度，并且通过出口处的双辊轴14对基板G施加更大的摩擦力来第二次降低基板G的速度以使其停止。
此时，如图2至图4所示，送入上述基板G的转动辊部5为转动状态，因此当基板G被一对双辊轴14、15完全停止时，基板G已转向另一侧基板处理线P2。
另外，安装上述输送装置的槽B的长度L大于转动辊部5的长度，因此即使转动辊部5在槽B内转动，也可避免与槽B的内侧发生干涉。
如图3至图5所示，转动辊部5中，在一对框架11、13底部安装有连接杆23。并且通过该连接杆23，转动辊部5可转动地与框架驱动部7相连接。
即上述框架驱动部7，包括：驱动电机33，安装在上述底座3的垫板9上；转动盘37，安装在上述驱动电机33上端并与上述转动辊部5底部下面的连接杆的相连接；上部轴承25，固定在上述转动辊部5的底部下面；下部轴承31，固定在上述垫板9的上面，而且其内部可转动地结合有上述上部轴承25。
具有上述结构的框架驱动部中，上述转动盘37固定在驱动电机33的转动轴35上端，并且通过形成于其边缘上的连接孔39，用螺栓等连接部件与连接杆23相连接。
因此，当上述驱动电机33驱动时，随着转动盘37的转动，所述转动辊部5也将随之转动。
而且，上述下部轴承31，包括圆筒状的轴承，且安装在垫板9上并向上方凸出一定距离。
还有，上述上部轴承25，也包括圆筒状的轴承，且安装在连接杆23的底部下面并向下方凸出一定距离。
上部轴承25的边缘27形成有多个贯通孔29，而通过该贯通孔29，可用螺栓与连接杆23相连接，以此使上部轴承25一体固定在转动辊部5的底部下面。
此时，上述上部轴承25的直径小于下部轴承31直径，即具有结合于下部轴承31后可转动的直径。
因此，当上述转动辊部5通过驱动电机33转动时，因被上部轴承25及下部轴承31所支撑，由此可稳定地转动。
上面，将上部轴承25插入于下部轴承31内部为例进行了说明，但本发明不限于此，与此相反，可采用将下部轴承31插入到上部轴承25内的结构。
下面说明利用具有上述结构的基板直角转向输送装置来输送基板的过程。如图2及图4所示，首先，基板G从一侧基板处理线P1送到输送装置的输送辊R上。
此时，上述输送装置的转动辊部5具有向一侧倾斜一定角度的形状。因此，送到输送装置的基板G也随之倾斜。
如此，当基板G以倾斜状态到达输送辊R的入口处时，因基板G的上表面与入口处的双辊轴15相接触，由此通过摩擦力降低其输送速度。
此时，框架驱动部7的驱动电机33开始转动，并使上述框架部逐渐向另一侧基板处理线P2的方向转动。
结果，基板G在转动辊部5的输送辊R上移动的同时进行转动。
从而，可以克服以往技术中由于分开进行基板G的输送和转动而导致输送时间增加的问题。
如此，当基板G在输送辊轴R上输送到出口处双辊轴14时，因更大的摩擦力作用于基板G上，而降低基板G的输送速度。而且，上述入口处及出口处的双辊轴15、14，对基板G的上部施加压力，从基板G转动时的离心力作用来看，也起到稳定支撑基板G的作用。
此时，框架部处于以倾斜状态完全向另一侧基板处理线P2方向转动的状态。
从而，在基板G倾斜的状态下同时进行基板G的输送和转动。而随着输送辊R的转动，框架部上的基板G，无需停止而可顺利地向另一侧基板处理线P2传送。即，上述基板G在转动期间不被停止而保持减速状态。
在此过程中，由于以倾斜状态输送基板G，因此残留于基板G上的洗净液等杂质，可在重力作用下落下而被除去。
另外，图6及图7中表示了适用倾斜单元的上述基板直角转向输送装置的另一实施例。
如图所示，本实施例用倾斜单元(Tilting Unit)54来使框架部50倾斜，这一点与上述实施例不同。
即，上述倾斜单元54包括：底板(Base plate)60，通过上述框架部50的框架驱动部62能够转动；倾斜部件(Tilting Member)58，安装在底板60的一侧，且用于驱使上述框架部50上下移动以使其倾斜；铰接件(Hinge Member)56、69，用于将上述框架部50铰接于上述底板60。
具有上述结构的倾斜单元中，上述倾斜部件58最好采用气缸。即，倾斜部件58包括设置在和底座52相连的支撑垫板66上的缸体68和安装在上述缸体68上的活塞67。并且，上述活塞67的上端通过铰接件56、69中的第二铰接件69，与框架部50的底部相连接。
此时，上述第一铰接件56用于铰接框架部50的一侧底部下面和底板60的上表面。
从而，当上述气缸被驱动时，活塞上升，框架部50的另一侧也随之上升，由此能够适当地控制倾斜角使其达到一定的角度。即，能够使框架部50保持水平状态或具有一定角度的倾斜状态。
总之，这种框架部50可在倾斜部件58保持一定的倾斜状态时，通过多个输送辊R输送及转动基板G。
另外，用以转动该框架部50的框架驱动部62及其他结构要素，具有和上述第一实施例中的框架驱动部相同的结构，因此在此省略对其的详细说明。
上述说明将倾斜部件限定于气缸，但本发明并不限于此，也可采用油缸等。
下面来说明一下通过使用具有上述倾斜单元的基板输送装置来直角转向输送基板G的过程。如图2、图6、图7所示，首先，从一侧基板处理线P1将基板G输送至本输送装置的输送辊R上。
此时，倾斜部件58被驱动而使活塞67上升，以此向上抬起上述框架部50的另一侧，由此使整个框架部50倾斜。
在此状态下，送入框架部50的基板G也保持倾斜状态。而且，当基板G到达输送辊轴R的入口处时，基板G的上表面与入口处双辊轴64相接触，并通过摩擦力降低基板G的输送速度。
此时，在框架驱动部62的驱动下，驱使上述框架部50逐渐向另一侧基板处理线P2方向开始转动。
结果，基板G在框架部50的输送辊R上，以倾斜状态移动的同时进行转动。
如此，当基板G在输送辊R上被输送到出口处双辊轴65时，基板G因有更大的摩擦力作用于其上而被停止。
此时，框架部50处于已完全转向于另一侧基板处理线P2方向的状态。
从而，同时实现对基板G的输送及转动，而且，因输送辊R的转动能够使框架部50上的基板G向另一侧基板处理线P2输送。此时基板G以倾斜状态被输送，因此具有使药液落下的效果。
如上所述，通过水平式或倾斜式基板输送装置，在每个基板处理线之间，可稳定地改变方向来输送基板。
上述内容只是对本发明较佳实施例的说明，但本发明并不限于此，在本发明的技术思想的基础上，本领域技术人员可做各种改变及修改，毋庸置疑，这也应该属于本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1、一种基板输送装置，该装置安装在基板处理线的直角转向部中，其特征在于，包括：
框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；
转动辊部，可转动地安装在上述框架部上，并用于输送基板；
辊驱动部，连接在上述框架部上，且为输送基板而向转动辊部施加转动力并用于控制转速；
框架驱动部，结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态送到上述框架部时，可直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板。
2、根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：
上述框架部以通过倾斜单元抬起其一侧的状态被倾斜支撑，而且通过上述倾斜单元能够调整框架部的倾斜角度。
3、根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：
上述框架部由相对放置且相互平行的一对框架构成，而且安装在该一对框架上的转动辊部，其一侧高于另一侧而使之倾斜。
4、根据权利要求1至3中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于：
上述转动辊部由可转动地安装在上述框架部上的多个输送辊轴和用于降低已送入的基板输送速度的双辊轴构成。
5、根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于：
上述双辊轴由安装在上述框架部的入口处的用于第一次降低基板输送速度的入口处双辊轴和安装在出口处的用于第二次降低基板输送速度的出口处双辊轴构成。
6、根据权利要求1至3中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于：
上述辊驱动部由向上述转动辊轴传递转动力的传动带和向上述传动带施加转动力及控制其转动速度的电机机组构成。
7、根据权利要求1至3中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于：
上述框架驱动部在所送到框架部的基板被输送的同时，旋转所述框架部，并在基板被送出时，结束90度旋转。
8、根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：
上述框架驱动部包括，
驱动电机，安装在设置于底座上的垫板上；
转动盘，安装在上述驱动电机的上端，并与安装在上述转动辊部底部下面的连接杆相连接；
上部轴承，固定在上述转动辊部的底部下面；
下部轴承，固定在底座的上面，且在其内部可转动地结合上述上部轴承。
9、根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于：
上述框架驱动部包括，
驱动电机，安装在设置于底座上的垫板上；
转动盘，安装在上述驱动电机上端，并与配置于上述转动辊部底部下面的底板相连接；
上部轴承，固定在上述转动辊部的底部下面；
下部轴承，固定在底座的上面，且在其内部可转动结合上述上部轴承。
10、根据权利要求9所述的基板输送装置，其特征在于：
上述倾斜单元包括，
底板，安装在上述框架驱动部转动盘的上部；
倾斜部件，安装在上述底板的一侧，用于使上述框架部上下移动，以使其倾斜；
铰接件，将上述框架部铰接在底板上。
11、根据权利要求10所述的基板输送装置，其特征在于：
上述倾斜部件，包括安装在与上述底座相连接的支撑垫板上的缸体和安装在上述缸体上且其上端连接在上述框架部底部下面的活塞所构成的气缸或油缸，而且通过上述活塞升降上述框架部并使其倾斜。
12、根据权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于：
上述铰接件包括，
将上述框架部的一侧底部下面和底板的上面相连接的第一铰接件；
将上述框架部的另一侧底部下面和上述活塞的上端相连接的第二铰接件。
CN2006101449441A 2005-11-22 2006-11-22 可直角转向输送基板的基板输送装置 Active CN1970412B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050111714A KR100729430B1 (ko) 2005-11-22 2005-11-22 직각 반송이 가능한 기판 반송장치
KR1020050111714 2005-11-22
KR10-2005-0111714 2005-11-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1970412A true CN1970412A (zh) 2007-05-30
CN1970412B CN1970412B (zh) 2012-06-06

Family

ID=38111474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006101449441A Active CN1970412B (zh) 2005-11-22 2006-11-22 可直角转向输送基板的基板输送装置

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100729430B1 (zh)
CN (1) CN1970412B (zh)
TW (1) TWI322788B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104609165A (zh) * 2014-11-12 2015-05-13 苏州泓翰成自动化系统设备有限公司 中途回转机构
CN105947526A (zh) * 2016-07-07 2016-09-21 广东勇记水产有限公司 一种便于打包的电动辊子传输装置
CN107128693A (zh) * 2017-06-27 2017-09-05 盐城市宁润玻璃制品有限公司 一种玻璃片中转台架
CN108163443A (zh) * 2017-12-13 2018-06-15 苏州金峰物流设备有限公司 自适应偏转球分拣装置
TWI656077B (zh) * 2018-04-27 2019-04-11 寶偉精密工業股份有限公司 Circuit substrate carrier

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101913300B1 (ko) * 2012-02-27 2018-10-30 주성엔지니어링(주) 기판 이송 장치 및 그 제어 방법
CN105384122B (zh) * 2015-12-22 2018-10-23 苏州频发机电科技有限公司 一种托盘自动装卸输送装置
CN105417112A (zh) * 2015-12-22 2016-03-23 苏州频发机电科技有限公司 一种带有中转部的滚轮输送装置
TWI649248B (zh) * 2018-06-19 2019-02-01 竑偉科技有限公司 岩棉條縱向橫向轉向運載系統

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09232268A (ja) * 1996-02-19 1997-09-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH1092902A (ja) 1996-09-17 1998-04-10 Toshiba Corp ウエハ飛び出し防止機構を有するキャリアエレベータ装置
JP3916891B2 (ja) 2001-06-19 2007-05-23 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び現像処理装置
CN1288050C (zh) * 2003-03-19 2006-12-06 大日本网目版制造株式会社 基板输送装置
JP4307876B2 (ja) 2003-03-19 2009-08-05 大日本スクリーン製造株式会社 基板搬送装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104609165A (zh) * 2014-11-12 2015-05-13 苏州泓翰成自动化系统设备有限公司 中途回转机构
CN105947526A (zh) * 2016-07-07 2016-09-21 广东勇记水产有限公司 一种便于打包的电动辊子传输装置
CN107128693A (zh) * 2017-06-27 2017-09-05 盐城市宁润玻璃制品有限公司 一种玻璃片中转台架
CN108163443A (zh) * 2017-12-13 2018-06-15 苏州金峰物流设备有限公司 自适应偏转球分拣装置
TWI656077B (zh) * 2018-04-27 2019-04-11 寶偉精密工業股份有限公司 Circuit substrate carrier

Also Published As

Publication number Publication date
TWI322788B (en) 2010-04-01
TW200720171A (en) 2007-06-01
KR20070053904A (ko) 2007-05-28
KR100729430B1 (ko) 2007-06-15
CN1970412B (zh) 2012-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1970412B (zh) 可直角转向输送基板的基板输送装置
EP2655225B1 (en) Adjustable conveyor
CN104487367B (zh) 独立卸货分选输送机
CN1861499B (zh) 链式传送带系统
CN109132552B (zh) 用于玻璃基板的传送过渡装置
CN101023010A (zh) 沿着处理线路输送工件的设备和方法
EP3472072B1 (en) Motor driven roller support
CN101512748B (zh) 基板运送装置以及基板运送方法
CN108033270A (zh) 玻璃基板传送装置及其操作方法与玻璃基板传送系统
KR20140135890A (ko) 무인반송대차의 구동장치
KR20090006984A (ko) 이중 롤러를 이용한 디버터 컨베이어
CN210102826U (zh) 一种瓷砖的连续式翻转装置
CN210259887U (zh) 一种玻璃传送装置
JP4269838B2 (ja) 物品の方向変更装置
CN217023990U (zh) 自动理瓶机
CN213386501U (zh) 一种姿态调整机构及传输系统
CN112357584B (zh) 一种平板玻璃斜坡转向输送装置
CN109867107A (zh) 一种输送装置
CN216104892U (zh) 一种豆芽翻转传送机
JP2003261219A (ja) 払い出し装置
JPS63127914A (ja) 形鋼類の姿勢変換装置
CN219313903U (zh) 一种硅片翻转机构
CN215711756U (zh) 饮品杯翻转机构
CN208513247U (zh) 托辊清洁装置及系统
CN113562050A (zh) 一种用于物流的搬运平稳装置及使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: WEIHAI DIANMEISHI OPTO-MECHATRONICS CO., LTD.

Effective date: 20140226

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20140226

Address after: Gyeonggi Do, South Korea

Patentee after: Display Production Service Co., Ltd.

Patentee after: Weihai dianmei Shiguang electromechanical Co Ltd

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Patentee before: Display Production Service Co., Ltd.

CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 264205 No. 88-1, Bekaert Road, Weihai Economic and Technological Development Zone, Weihai City, Shandong Province

Patentee after: WEIHAI DMS OPTICAL ELECTROMECHANICAL Co.,Ltd.

Patentee after: DMS Co.,Ltd.

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Patentee before: DMS Co.,Ltd.

Patentee before: WEIHAI DMS OPTICAL ELECTROMECHANICAL Co.,Ltd.