CN1962266A - 喷出量测定方法、图案形成方法、器件、电光学装置 - Google Patents

Abstract

本发明的液状体的喷出量测定方法包含：根据计测用喷出数据驱动液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定喷出数，把液状体作为液滴从喷嘴喷出的计测用喷出步骤(步骤S2)；计测所喷出的液状体的喷出量的计测步骤(步骤S3)；从计测的喷出量和喷出数计算平均喷出量的运算步骤(步骤S4)。作为计测用喷出数据，使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据。提供接近形成描绘图案时的喷出量的计测方法。

Description

喷出量测定方法、图案形成方法、器件、电光学装置

技术领域

本发明涉及液滴喷出法的喷出量测定方法、图案形成方法、器件、电光学装置、电子仪器。

背景技术

提出应用喷墨打印机中使用的喷墨方式(液滴喷出法)，形成液晶显示装置的滤色器或有机EL显示装置的发光层的方法。

在这样的液滴喷出法中，有必要把从液滴喷出头喷出的液滴的量调整为适当的值。例如，在滤色器的形成方法中，包含喷出的着色材料的液滴的量不适合时，透过滤色器的光的配色过浓或过淡，配色的偏差大，成为质量不稳定的滤色器。

在专利文献1中提出使液滴的喷出量适当的方法。根据它，介绍使测定液滴的喷出量的环境和对工件喷出液滴时的环境相同，减少温度或湿度的带来的影响，从而使实际的液滴的喷出量适当。

可是，在专利文献1中，没有对工件喷出液滴的喷出定时和图案的记载。通常从液滴喷出头的多个喷嘴连续喷出液滴，进行测定。但是，基于该测定方法的液滴的喷出量与选择多个喷嘴喷出液滴的实际描绘图案的形成时的液滴的喷出量有时不同。即难以减少对工件喷出液滴的描绘图案引起的液滴的喷出量的变动。

[专利文献1]特开2004-209429号公报(15～17页，图10～图11)。

发明内容

本发明是鉴于所述课题而提出的，其目的在于，提供接近形成描绘图案时的状态的液滴的喷出量测定方法、使用它的图案形成方法、器件、电光学装置、电子仪器。

本发明的喷出量测定方法测定从液滴喷出头的喷嘴喷出的液状体的喷出量，其特征在于，包括：根据计测用喷出数据，驱动液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定喷出数，把液状体从喷嘴作为液滴喷出的计测用喷出步骤；计测所喷出的液状体的喷出量的计测步骤；从计测的喷出量和喷出数计算平均喷出量的运算步骤；计测用喷出数据使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据。

从液滴喷出头的喷嘴连续喷出液滴时、间歇喷出时，喷出的液滴的量不同。作为理由，考虑到驱动液滴喷出头的驱动装置和驱动的液滴喷出头之间的阻抗匹配的状态变化。还考虑到从收容喷出的液状体的容器向液滴喷出头连接的流道内的液状体的流阻根据驱动的液滴喷出头的数量变化。根据该方法，在计测用喷出步骤中，作为计测用喷出数据，使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据，进行液状体的喷出。因此，与单纯从喷嘴连续喷出液滴时相比，能求出更接近实际对描绘图案喷出描绘的状态的液滴的喷出量。

其特征在于：在所述计测步骤中，作为喷出的液状体的喷出量，计测重量。根据它，喷出的液状体的喷出量由它的重量计测。喷出的液滴在落下后难以变为稳定的形状，与计测体积时相比，能容易测定液状体的喷出量。此外，广泛使用把重量的测定值进行电变换的器件，通过把重量进行电变换，计测电学量，能以高精度计测喷出量。

此外，所述液滴喷出头具有多个喷嘴，在计测用喷出步骤中，从多个喷嘴喷出液状体，在计测步骤中，计测从液滴喷出头的多个喷嘴喷出的液状体的喷出量。据此，从多个喷嘴喷出液滴，汇总计测喷出量。因此，与分别计测从各喷嘴喷出的液滴的量时相比，能减少计测的次数。结果，能生产性良好地计测。

此外，所述计测用喷出数据包含从全部多个喷嘴不喷出液状体的全喷嘴不喷出信息，在全喷嘴不喷出信息连续时，希望删除连续的全喷嘴不喷出信息的一部分而使用。据此，因为删除连续的全喷嘴不喷出信息的一部分而使用，所以能缩短为了计测而喷出液滴所需的时间。

此外，所述计测用喷出数据包含具有多个喷嘴中连续不喷出的喷嘴信息的第一计测用喷出数据、具有从不喷出的喷嘴连续喷出液状体的喷嘴信息的第二计测用喷出数据，在计测用喷出步骤中，至少使用第一计测用喷出数据和第二计测用喷出数据，驱动液滴喷出头，变为可测定的量地设定喷出数，把液状体作为液滴喷出。

从多个喷嘴喷出液状体，形成描绘图案时，同时使用的喷嘴数或分布状态不同，据此，对喷出的液滴的喷出量带来影响。根据本方法，依据实际的喷出数据，使用包含具有多个喷嘴中连续不喷出的喷嘴信息的第一计测用喷出数据、具有从不喷出的喷嘴连续喷出液状体的喷嘴信息的第二计测用喷出数据的计测用喷出数据，所以从全部喷嘴喷出给定的喷出数液滴，并且能更正确地求出喷出量。

进一步，所述液滴喷出头具有由多个喷嘴构成的至少两个喷嘴列，计测用喷出工序中，至少两个喷嘴列的每一个使用第一计测用喷出数据和第二计测用喷出数据，驱动液滴喷出头。因此，即使液滴喷出头具有所谓多连的喷嘴列，喷嘴列的每一个使用第一计测用喷出数据和第二计测用喷出数据，驱动液滴喷出头。从而能求出喷嘴列每一个的正确的液滴的喷出量。

本发明的图案形成方法在工件上形成由功能性材料构成的描绘图案，其特征在于，包括：使用所述发明的喷出量测定方法，推测从液滴喷出头喷出的包含功能性材料的功能液的平均喷出量的喷出量推测步骤；根据推测结果，判定是否调整从液滴喷出头喷出的功能液的喷出量的判定步骤；在调整必要时，变更液滴喷出头的驱动条件，调整喷出量的调整步骤；与使工件和液滴喷出头相对移动的主扫描同步，从液滴喷出头的喷嘴把功能液作为液滴喷出描绘的描绘步骤；使喷出描绘的功能液凝固，形成描绘图案的图案形成步骤。

根据该方法，在喷出量推测步骤中，使用所述发明的喷出量测定方法，推测作为液状体的功能液的平均喷出量，根据推测结果，在判定步骤判定是否调整喷出量。而且，在调整必要时，在调整步骤中，变更液滴喷出头的驱动条件，调整喷出量。因此，在描绘步骤中，在把液滴的喷出量适当化的状态下，喷出描绘功能液，如果喷出描绘的功能液凝固，就能在工件上形成液滴的喷出量的变动引起的膜厚不均匀少的描绘图案。

在所述描绘步骤中，使用多个液滴喷出头喷出描绘功能液，在计测用喷出步骤中，在多个液滴喷出头的每个喷出功能液，在计测步骤中，计测由多个液滴喷出头的每个喷出的功能液的喷出量，在调整步骤中，以减少多个液滴喷出头之间的平均喷出量的差的方式进行调整。据此，能形成多个液滴喷出头之间的平均喷出量的差引起的膜厚不均匀少的描绘图案。

此外，在所述计测用喷出步骤中，根据从描绘步骤的主扫描时的液滴喷出头和工件的相对位置信息、在工件上配置液滴的配置数据生成的计测用喷出数据，从液滴喷出头喷出功能液。据此，从描绘步骤的主扫描时的液滴喷出头和工件的相对位置信息、在工件上配置液滴的配置数据生成计测用喷出数据。因此，对于实际的描绘步骤的喷出描绘，在大致同等的喷出定时进行计测用喷出。即能更接近对描绘图案喷出描绘时的状态，预先调整液滴的喷出量。

进一步，液滴喷出头具有多个喷嘴，在描绘步骤中，进行多次是使工件和液滴喷出头相对移动的主扫描，并且在多次主扫描之间，在与主扫描的方向正交的方向进行使多个液滴喷出头移动的副扫描，在计测用喷出步骤中，使用包含伴随着副扫描在第一计测用喷出数据中变更多个喷嘴中连续不喷出的喷嘴信息的第三计测用喷出数据、具有从第三计测用喷出数据中不喷出的喷嘴喷出功能液的喷嘴信息的第四计测用喷出数据的计测用喷出数据。

根据本方法，在描绘步骤中，执行进行使工件和液滴喷出头相对移动的主扫描和副扫描，喷出描绘功能液的复杂的喷出控制。因此，伴随着副扫描，多个喷嘴中连续不喷出的喷嘴变化。在计测用喷出步骤中，根据喷出的喷嘴数变化的所谓喷嘴的使用率所对应的第三计测用喷出数据、具有从第三计测用喷出数据中不喷出的喷嘴喷出功能液的喷嘴信息的第四计测用喷出数据的计测用喷出数据，进行计测用喷出。因此，在调整步骤中，能考虑喷嘴的使用率引起的液滴的喷出量的变动，设定液滴喷出头的驱动条件。即能进一步减少液滴的喷出量的变动，形成描绘图案。

本发明的器件具有由功能性材料构成的描绘图案，其特征在于：使用所述发明的图案形成方法，制造描绘图案。根据本结构，使用能形成液滴的喷出量的变动引起的膜厚不均匀少的描绘图案的图案形成方法。因此，能提供具有稳定的特性的器件。当器件为滤色器时，能使着色层的光学特性为所需的透过率、色度、彩度。此外，器件为有机EL(场致发光)元件时，能使为了形成空穴注入层、发光层、电子注入层而涂敷的功能液的量为所需的量，所以能成为具有适当的厚度的层的元件构造。结果，能提供具有高的发光效率的有机EL元件。

本发明的电光学装置的特征在于：具有所述的发明的器件。据此，设置具有稳定特性的器件，所以能提供具有稳定的电光特性的电光学装置。例如，器件为滤色器时，能成为具有着色层的光学特性如所期待的滤色器的电光学装置。

本发明的电子仪器的特征在于：具有所述的发明的电光学装置。据此，能提供实现具有稳定的电光特性的高质量的电子仪器。

附图说明

下面简要说明附图。

图1是表示液滴喷出装置的构造的概略立体图。

图2是表示滑架上的液滴喷出头的配置的平面图。

图3是表示液滴喷出头的要部构造的概略剖视图。

图4是表示电子天平的结构的概略剖视图。

图5是表示液滴喷出装置的电控制系统的框图。

图6是表示滤色器的概略平面图。

图7是表示滤色器的制造方法的概略图。

图8是表示功能液的喷出方法的概略图。

图9是表示功能液的喷出定时的概略图。

图10是表示喷出量测定的电控制系统的框图。

图11是表示实施例3的液滴喷出头的概略平面图。

图12(a)和(b)是表示实施例3的液状体的喷出方法的概略图。

图13(c)和(d)是表示实施例3的液状体的喷出方法的概略图。

图14(a)和(b)是表示实施例3的计测用喷出数据的位图。

图15(a)是表示液晶显示装置的构造的概略平面图，(b)是在(a)的H-H′线切开的剖视图。

图16是表示个人电脑的概略立体图。

符号的说明。

1-作为电光学装置的液晶显示装置；12R、12G、12B-作为描绘图案的着色层；31-40-液滴喷出头；42-喷嘴；42A、42B-喷嘴列；44R、44G、44B-作为液状体和功能液的颜色材料液；80-作为电子仪器的个人电脑；N1～N9-喷嘴列；W-作为工件的基板。

具体实施方式

本发明的实施例以在作为工件的基板上涂敷包含着色层形成材料的作为液状体的功能液，形成3色的着色层的滤色器的制造方法为例，进行说明。作为在基板上涂敷功能液的方法，使用能把功能液作为液滴喷出描绘的液滴喷出装置。

首先，说明液滴喷出装置。图1是表示液滴喷出装置的构造的概略立体图。如图1所示，液滴喷出装置20具有：大致长方体形状的基台21、在基台21上配置为能在Y轴方向移动的状态的载置台23、与载置台23相对并且能在X轴方向可移动的滑架30。在滑架30搭载多个(9个)液滴喷出头31～39(参照图2)。此外，在基台21的侧面部，设置接受从多个液滴喷出头31～39喷出的液状体，计测喷出量的作为计测装置的电子天平50。

在基台21的上表面21a，跨Y轴方向全部宽度凸出设置在Y轴方向延伸的一对导轨22a、22b。载置台23成为通过沿着一对导轨22a、22b在Y轴方向延伸的丝杠轴(驱动轴)、具有与丝杠轴螺旋配合的球状螺母的丝杠式直动机构、接收给定的脉冲信号并且使丝杠轴正反旋转的Y轴电机(不图示)，在Y轴方向移动的结构。即如果对Y轴电机提供与给定的步数对应的驱动信号，Y轴电机就正转或反转，能使载置台23按照相当于同一步数的量，沿着Y轴方向以给定速度前往或返回。这时，把使滑架30和载置台23相对，使载置台23向Y轴方向移动称作主扫描。

进一步，在基台21的上面21a，与一对导轨22a、22b并列而配置主扫描位置检测装置24，能计测载置台23的Y轴方向的位置。

在载置台23的载置面25设置不图示的吸引式的基板夹紧机构，能把载置面25上载置的作为工件的基板W定位固定在给定位置。

基台21具有从侧面部直立设的一对支承台26a、26b，在一对支承台26a、26b，在X轴方向跨基台21地架设引导构件27。引导构件27比基台21的X轴方向的宽度还长地延伸，配置为其一端向支承台26a一侧伸出。

在引导构件27的下侧，跨X轴方向全部宽度凸出设置在X轴方向延伸的导轨29。而在引导构件27的上侧配置收容液状体的收容容器28，能从收容容器28向多个液滴喷出头31～39供给液状体。

滑架30通过沿着导轨29在X轴方向延伸的丝杠轴(驱动轴)、具有与丝杠轴螺旋配合的球状螺母的丝杠式直动机构、接收给定的脉冲信号并且使丝杠轴正反旋转的X轴电机(未图示)，在X轴方向沿着导轨29移动的结构。而且，如果对X轴电机提供相当于给定的步数的驱动信号，X轴电机就正转或反转，能使滑架30按照相当于同一步数的量，在X轴方向前往或返回。这时，把使滑架30和载置台23相对，滑架30向X轴方向移动称作副扫描。在引导构件27和滑架30之间配置副扫描位置检测装置53，能计测滑架30的X轴方向的位置。因此，计测从多个液滴喷出头31～39喷出的液状体的喷出量时，驱动X轴电机，使滑架30向支承台26a一侧移动，把多个液滴喷出头31～39和电子天平50相对配置。

图2是表示滑架上的液滴喷出头的配置的平面图。具体而言，是从载置台23一侧观察的平面图。

如图2所示，在滑架30的头配置面30a，在X轴方向和Y轴方向，每次3个，设置第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39。液滴喷出头31设置具有多个喷嘴42以大致等间隔排列的喷嘴列N1的喷嘴板P1。其他液滴喷出头32～39也同样。这时，在X轴方向排列的3个液滴喷出头31、32、33搭载在滑架30上，使得从Y轴方向观察对应的各喷嘴列N1、N2、N3，多个喷嘴42以大致等间隔连续。在其他液滴喷出头34、35、36、液滴喷出头37、38、39，也同样。因此，相对于滑架30，基板W一边在Y轴方向相对移动，一边从各液滴喷出头31、32、33喷出液滴时，喷出的液滴在X轴方向以大致等间隔涂敷。

此外这时，对第一液滴喷出头31～第三液滴喷出头33供给包含红(R)的着色层形成材料的功能液。同样，对第四液滴喷出头34～第六液滴喷出头36供给包含绿(G)的着色层形成材料的功能液。对第七液滴喷出头37～第九液滴喷出头39供给包含蓝(B)的着色层形成材料的功能液。即成为几乎能同时喷出3色不同的功能液的结构。

图3是表示液滴喷出头的要部构造的概略剖视图。如图3所示，例如液滴喷出头31具有：与喷嘴列N1的各喷嘴42连通的多个腔43、经由振动板45配置在与多个腔43对应的位置的多个压电元件46。

而且，如果收到用于驱动压电元件46的喷嘴驱动信号，压电元件46就伸展，使振动板45在上下方向振动，对腔43内填充的功能液加压。结果，功能液从液滴喷出头31的喷嘴列N1作为液滴喷出。其他液滴喷出头32～39的构造也同样。

因此，在第一液滴喷出头31～第三液滴喷出头33的各腔43填充包含红(R)的着色层形成材料的作为功能液的颜色材料液44R，从喷嘴列N1～N3作为微小液滴47R喷出。在第四液滴喷出头34～第六液滴喷出头36的各腔43填充包含绿(G)的着色层形成材料的作为功能液的颜色材料液44G，从喷嘴列N4～N6作为微小液滴47G喷出。在第七液滴喷出头37～第九液滴喷出头39的各腔43填充包含蓝(B)的着色层形成材料的作为功能液的颜色材料液44B，从喷嘴列N7～N9作为微小液滴47B喷出。

须指出的是，对在这样的液滴喷出头31～39中填充的液状体加压的结构并不局限于压电元件46，还可以采用：静电吸附振动板45，使其振动的静电方式；由电热变换元件把液状体加热，产生气泡，据此，把液状体加压，作为液滴从喷嘴42喷出的阀门(bubble)方式。

图4是表示电子天平的结构的概略剖视图。如图4所示，电子天平50包含：具有重量检测机构和把检测的重量变换为电信号的变换部的主体51、承受被计量物的计量台52。在计量台52的上面设置按各液滴喷出头31～39接受作为被计量物的功能液的9个测定用托盘M1～M9。

在测定用托盘M1～M9铺设海绵状的吸收体，可靠地接受从各喷嘴列N1～N9喷出的液滴，防止从测定用托盘M1～M9向外飞散。

这时，电子天平50的最小计量单位是1mg。而喷出的液滴是ng水平，所以变为可测定的功能液的量地把喷出数设定为2000～3000，驱动各液滴喷出头31～39，从各喷嘴列N1～N9，将功能液作为液滴喷出。这样的计测用喷出当然由液滴喷出头31～39的每一个进行。

下面说明液滴喷出装置20的电控制系统。图5是表示液滴喷出装置的电控制系统的框图。如图5所示，液滴喷出装置20具有：作为处理器，进行各种运算处理的CPU(运算处理装置)54；存储各种信息的存储器55。

头位置控制装置56、基板位置控制装置57、主扫描驱动装置58、副扫描驱动装置59、主扫描位置检测装置24、副扫描位置检测装置53、驱动液滴喷出头31～39的头驱动电路60经由输入输出接口61和总线62与CPU54连接。输入装置63、显示器64、电子天平50也经由输入输出接口61和总线62与CPU54连接。

存储器55是包含RAM、ROM等半导体存储器、硬盘、CD-ROM等外部存储装置的概念。在功能上设定为存储记述液滴喷出装置20的动作的控制步骤的程序软件的存储区、用于存储在基板W的所需区域配置液滴的配置数据的存储区、用于存储主扫描方向(Y轴方向)的基板W的主扫描移动量的存储区、用于CPU54的工作区或作为临时文件工作的存储区、其他各种存储区。

CPU54按照存储器55内存储的程序软件，进行用于对基板W的表面的给定位置喷出功能液的控制。作为具体的功能实现部，具有进行用于实现使用电子天平50的重量测定的运算的重量测定运算部67、进行用于由液滴喷出头31～39喷出液滴的运算的喷出运算部68。

如果详细说明喷出运算部68，则具有：用于在开始液滴的喷出的初始位置配置液滴喷出头31～39的喷出开始位置运算部69、运算用于使基板W以给定速度向主扫描方向移动的控制的主扫描控制运算部70、运算用于使液滴喷出头31～39以给定的副扫描量向副扫描方向移动的控制的副扫描控制运算部71。喷出运算部68具有：进行用于控制选择液滴喷出头31～39内的多个喷嘴42中的哪个喷出功能液的运算的喷嘴喷出控制运算部72等各种功能运算部。

须指出的是，使用CPU54，用程序软件实现所述的各功能，但是，能由不使用CPU的单独的电子电路(硬件)实现所述的各功能时，能使用这样的电子电路。

(实施例1)

下面说明本发明的器件的一个实施例的滤色器及其制造方法。图6是表示滤色器的概略平面图。

如图6所示，本实施例的滤色器具有在基板W上把多个描绘区A划分为矩阵状的隔壁部(围堰)15、在划分的多个描绘区A内形成的RGB3色的着色层。该滤色器是同一颜色的着色层在同一方向直线配置的所谓条纹方式。

隔壁部15由公开的材料和方法形成。例如能列举在基板W上涂敷感光性树脂材料，通过光刻法形成的方法。希望透过基板W的光由隔壁部15遮光，可以在构图的具有遮光性的金属材料薄膜上形成由感光性树脂材料构成的隔壁部15。

使用所述液滴喷出装置20，从对应的各液滴喷出头31～39对多个描绘区A喷出包含着色层形成材料的3色的颜色材料液44R、44G、44B，形成RGB3色的着色层。

图7是表示滤色器的制造方法的概略图。如图7所示，本实施例的作为器件的滤色器的制造方法具有：把形成隔壁部15的基板W在液滴喷出装置20中设置，进行液滴喷出装置20的初始设定的基板设置步骤(步骤S1)；从液滴喷出头31～39，设定喷出数，喷出液滴的计测用喷出步骤(步骤S2)；计测喷出的功能液的喷出量的作为计测步骤的喷出量计测步骤(步骤S3)；从喷出量的测定值和喷出数(喷出次数)计算平均喷出量的作为运算步骤的平均喷出量运算步骤(步骤S4)。用步骤S2～步骤S4的步骤能推测来自各液滴喷出头31～39的喷出量，所以把这3个步骤合称为喷出量推测步骤。此外，具有：判定从各液滴喷出头31～39喷出的液滴的喷出量的调整是否必要的判定步骤(步骤S5)；在判定为调整必要时，变更各液滴喷出头31～39的驱动条件，调整功能液的喷出量的作为调整步骤的喷出量调整步骤(步骤S6)；把颜色材料液44R、44G、44B作为液滴在基板W的描绘区中喷出描绘的描绘步骤(步骤S7)；使喷出描绘的颜色材料液44R、44G、44B干燥，形成RGB3色的着色层的作为图案形成步骤的干燥步骤(步骤S8)。

图7的步骤S1是基板设置步骤。在步骤S1中，如图1所示，在液滴喷出装置20的载置台23上载置固定基板W。接着，使滑架30移动到电子天平50的上方，把测定用托盘M1～M9(参照图4)和液滴喷出头31～39相对配置。然后，测定喷出液滴之前的测定用托盘M1～M9的重量，把它作为“0”复位。然后，进入步骤S2。

图7的步骤S2是计测用喷出步骤。在步骤S2中，在把滑架30固定在电子天平50上的状态下，与后面的描绘步骤(步骤S7)同样使载置台23在主扫描方向移动。而液滴喷出头31～39的每一个即喷嘴列N1～N9的每一个，向电子天平50的测定用托盘M1～M9喷出液滴。在滑架30配置第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39，但是为了容易理解动作的说明，用第一液滴喷出头31的动作说明。

图8是表示功能液的喷出方法的概略图。具体而言，是表示后面的描绘步骤(步骤S7)的功能液的喷出方法的概略图。如图8所示，在基板W上配置使从喷嘴列N1～N9喷出的液滴落下的红色(R)的描绘区A、绿色(G)的描绘区A、蓝色(B)的描绘区A。对一个红色(R)的描绘区A，红色的颜色材料液44R的液滴从3个喷嘴42三次喷出，涂敷。

如果着眼于喷嘴列N1向红色(R)的描绘区A喷出的动作，则当喷嘴列N1通过红色(R)的描绘区A时，液滴从喷嘴42对红色(R)的描绘区A喷出3次。对绿色(G)的描绘区A和蓝色(B)的描绘区A以及描绘区A之间(即隔壁部15)，不喷出液滴，再度通过红色(R)的描绘区A之上时，3次喷出液滴。伴随着基板W和滑架30的相对移动，喷出动作在主扫描方向(Y轴方向)重复。因此，从一个喷嘴42喷出的液滴的落下预定位置75在红色(R)的描绘区A中设定3处。在基板W上，在绿色(G)的描绘区A和蓝色(B)的描绘区A中没有落下预定位置75，在接着的红色(R)的描绘区A中设定3处。

图9是表示功能液的喷出定时的概略图。如图9所示，在滑架30配置对红色(R)的描绘区A喷出液滴的第一液滴喷出头31、第二液滴喷出头32、第三液滴喷出头33。第一液滴喷出头31的喷嘴列N1到液滴从喷嘴列N1最初喷出的红色(R)的描绘区A的中心的距离为L1。第二液滴喷出头32的喷嘴列N2到液滴从喷嘴列N2最初喷出的红色(R)的描绘区A的中心的距离为L2。同样，第三液滴喷出头33的喷嘴列N3到液滴从喷嘴列N3最初喷出的红色(R)的描绘区A的中心的距离为L3。

喷嘴列N1和喷嘴列N3在X轴方向位于大致同一直线上，与红色(R)的描绘区A大致平行配置，所以L1和L3变为大致相同的距离。喷嘴列N1和喷嘴列N2在Y轴方向隔开给定距离平行配置，所以L1和L2之间的距离成为给定的距离。

着眼于喷嘴列N1～N3对红色(R)的描绘区A喷出的动作。基板W和滑架30在Y轴方向相对移动，喷嘴列N1和喷嘴列N3到达红色(R)的描绘区A时，喷出液滴。这时，喷嘴列N2未到达红色(R)的描绘区A，不喷出液滴。基板W和滑架30在Y轴方向相对移动，在喷嘴列N2到达红色(R)的描绘区A的时刻，从喷嘴列N2喷出液滴。这时，喷嘴列N1和喷嘴列N3通过红色(R)的描绘区A，从喷嘴列N1和喷嘴列N3不喷出液滴。因此，从第一液滴喷出头31和第三液滴喷出头33在相同的定时喷出液滴，从第二液滴喷出头32以与第一液滴喷出头31不同的定时喷出液滴。

如图1所示，在基台21和载置台23之间配置主扫描位置检测装置24。滑架30和载置台23上载置的基板W的相对位置由主扫描位置检测装置24计测。

在步骤S2的计测用喷出步骤中，CPU54的副扫描控制运算部71对副扫描驱动装置59发送滑架移动位置数据，副扫描驱动装置59使滑架30在电子天平50的上方的位置移动。CPU54的主扫描控制运算部70对主扫描驱动装置58发送台移动位置数据，主扫描驱动装置58使载置台23在主扫描方向移动。主扫描位置检测装置24对CPU54的喷出控制运算部72发送载置台23的位置数据。喷嘴列N1的位置和落下预定位置75(参照图8)的相对位置在X轴方向变为同一线上的载置台23的位置时，喷出控制运算部72对头驱动电路60发送喷出液滴的作为计测用喷出数据的信号，从喷嘴列N1喷出液滴。与载置台23的移动同步，反复对红色(R)的描绘区A的落下预定位置75喷出液滴的动作，在喷出规定的喷出数液滴的时刻结束喷出。即，基于基板W的主扫描方向的相对位置信息、和以基板W的相对移动所对应的定时对规定的描绘区A配置液滴的配置数据，喷出计测用的液滴。然后，进入步骤S3。

图7的步骤S3是喷出量计测步骤。在步骤S3中，测定对电子天平50的测定用托盘M1～M9喷出的液滴的重量。从在步骤S1中测定的喷出前的测定用托盘M1～M9的重量测定值与喷出后的测定用托盘M1～M9重量测定值的差，计测喷出量。如上所述，实际上从对应的各液滴喷出头31～39喷出3色的颜色材料液44R、44G、44B。因此，对液滴喷出头31～39的每一个实施步骤S2和步骤S3，计测喷嘴列N1～N9的每一个喷出的功能液的喷出量。因此，重复9次步骤S2和步骤S3。然后，进入步骤S4。

图7的步骤S4是平均喷出量运算步骤。在步骤S4中，从步骤S3中测定的功能液的喷出量和步骤S2中喷出的喷出数(喷出次数)计算平均喷出量。平均喷出量的计算方法能组合四则运算来计算。例如，在本实施例中，采用把测定用托盘M1的喷出前后的重量差除以液滴喷出头31喷出的喷出数的计算方法。这里计算第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39的每一个喷出1次的功能液(液滴)的平均喷出量。然后，进入步骤S5。

图7的步骤S5是判定步骤。在步骤S5中，把步骤S4中计算的各液滴喷出头31～39的平均喷出量与给定的喷出量比较，判定是否有必要调整。例如，在本实施例中，对红色(R)的描绘区A总共喷出9滴的颜色材料液44R。因此，比较液滴喷出头31的平均喷出量的9滴量和形成所需的光学特性(透过率、色度、彩度)的膜(红色的着色层)所必要的给定喷出量，判定是否有必要调整。这时，液滴喷出头31的平均喷出量的9滴量和所述给定喷出量的差相对于所述给定喷出量，脱离±3％的允许范围时，判定为有必要调整。比较喷出同一颜色的颜色材料液44R的各液滴喷出头31、32、33的平均喷出量，判定是否有必要调整。例如，各液滴喷出头31、32、33的平均喷出量相对于平均值，脱离±1％的允许范围时，判定为有必要调整。在其他液滴喷出头34～39中也同样。而且，在步骤S5中判定为有必要调整时，进入步骤S6。判定为不要调整时，进入步骤S7。

图7的步骤S6是喷出量调整步骤。在步骤S6中，调整第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39的每一个的喷出量。喷出量的调整把压电元件46(参照图3)的驱动电压波形的电压振幅调整，进行。电压振幅和喷出量的关系为如果增大电压振幅，喷出量就增多，如果减小电压振幅，喷出量就减小。使用该关系，调整第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39的每一个的喷出量。喷出量的调整以接近所需的喷出量的方式进行调整，并且以喷出同一颜色的颜色材料液的液滴喷出头之间的喷出量的差减少的方式进行调整。这时，以变为所述的允许范围内的方式进行调整。因此，为了变为所需的喷出量，再重复步骤S2～步骤S4，验证。

图7的步骤S7是描绘步骤。在步骤S7，驱动载置台23和滑架30，从第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39的喷嘴列N1～喷嘴列N9分别喷出并涂敷基板W的红色(R)的描绘区A、绿色(G)的描绘区A、蓝色(B)的描绘区A所对应的颜色材料液44R、44G、44B的液滴。液滴的描绘区A的配置如上所述。对各描绘区A赋予给定量的颜色材料液44R、44G、44B的液滴，浸湿扩散。然后，进入步骤S8。

图7的步骤S8是干燥步骤。在步骤S8中，把喷出描绘的颜色材料液44R、44G、44B统一干燥，凝固，形成3色的着色层。作为干燥方法，希望是能使颜色材料液44R、44G、44B中包含的溶剂均匀蒸发的减压干燥。据此，能形成具有更均匀的膜厚的着色层。

所述实施例1的效果如下所述。

(1)从喷嘴42喷出的液滴在连续喷出时、间歇喷出时，喷出的液滴的量不同。作为理由，考虑到在连续驱动压电元件46时、间歇驱动压电元件46时，对于头驱动电路60和压电元件46的交流成分的信号的阻抗匹配的适合性不同。还考虑到连续喷出液滴时、间歇喷出液滴时，流过从收容液状体的收容容器28到各液滴喷出头31～39的流道的液状体的流阻不同。

在所述实施例1的喷出量测定步骤中，以与描绘步骤中对基板W的红色(R)的描绘区A喷出的定时相同的定时喷出液滴，计测所喷出的液滴的重量，除以喷出数，按液滴喷出头31～39的每一个计算一次喷出的平均喷出量。此外，比较液滴喷出头31～39的每一个的平均喷出量和所需的喷出量，喷出量的调整必要时，在调整步骤中，调整为喷出所需的喷出量。然后，对作为工件的基板W喷出描绘液滴而形成三种颜色的着色层。并且计测从喷嘴42喷出的液滴的喷出量时，与连续喷出液滴，计测喷出量时相比，能进行接近实际对基板W喷出液滴时的喷出量的计测。结果，能使对基板W喷出的液滴的喷出量为接近所需的喷出量的喷出量。

(2)从一个液滴喷出头的全部喷嘴42同时喷出液滴时、从比这少的数量的喷嘴喷出液滴时，有时喷出的液滴的量不同。作为理由，考虑到在全部同时驱动液滴喷出头的压电元件46时、驱动少数的压电元件46时，头驱动电路60和压电元件46的阻抗匹配的适合性不同。还考虑到在从全部液滴喷出头喷出时、从少数的液滴喷出头喷出时，流过从收容容器28到各液滴喷出头3 1～39的流道的液状体的流阻不同。

在所述实施例1的喷出量推测步骤中，在液滴喷出装置20设置多个(9个)液滴喷出头31～39，测定从各液滴喷出头31～39喷出的液滴的喷出量时，计测以各液滴喷出头31～39对基板W的描绘区A喷出的定时从各喷嘴列N1～N9喷出的液滴的喷出量。因此，计测从喷嘴列N1～N9喷出的液滴的喷出量时，与从全部的液滴喷出头31～39喷出液滴，计测喷出量时相比，能进行更接近对基板W喷出时的喷出量的计测。结果，能把对基板W喷出的液滴的喷出量调整为接近所需的喷出量的喷出量。

(3)在所述实施例1的滤色器的制造方法中，在调整步骤中，调整从各液滴喷出头31～39喷出的液滴的喷出量时，调整为接近所需的喷出量，并且调整为喷出同一颜色的颜色材料液的多个(3个)液滴喷出头之间的喷出量的差减小。据此，从喷出同一颜色的颜色材料液的多个(3个)液滴喷出头喷出的液滴的喷出量变为大致相同。因此，喷出液滴的基板W上的多个描绘区A之间能抑制喷出量变动，能形成光学特性(透过率、色度、彩度)的差少的同一颜色的着色层。

(实施例2)

下面，按照图10说明本发明的喷出量测定方法的其他实施例。图10是表示喷出量测定的电控制系统的框图。

如图10所示，液滴喷出装置20具有模拟位置值发生装置77。此外是与所述实施例1的图5所示的液滴喷出装置的电控制系统的框图相同的结构。

在所述实施例1中，CPU54的主扫描控制运算部70对主扫描驱动装置58发送台移动位置数据，主扫描驱动装置58驱动载置台23。主扫描位置检测装置24对CPU54的喷嘴喷出控制运算部72发送载置台23的位置数据，喷嘴喷出控制运算部72根据所述位置数据和存储器55中记录的液滴的配置数据，对头驱动电路60以喷出液滴的定时发送喷出信号。

在本实施例中，代替主扫描位置检测装置24发送载置台23的位置数据，模拟位置值发生装置77生成模拟位置数据，对喷嘴喷出控制运算部72发送，喷嘴喷出控制运算部72根据所述模拟位置数据和所述配置数据，对头驱动电路60发送喷出液滴的喷出信号。头驱动电路60接收喷出信号，对第一液滴喷出头31～第九液滴喷出头39发送驱动压电元件46的驱动信号，喷出液滴。

模拟位置值发生装置77可以由产生位置数据的电路构成，存储在使载置台23和滑架30相对移动的主扫描中从主扫描位置检测装置24输出的载置台23的位置数据，再现并输出所存储的位置数据。

根据所述实施例2的喷出量测定方法，除了所述实施例1的效果，还具有以下的效果。

(1)由模拟位置值发生装置77生成模拟位置数据，对CPU54的喷嘴喷出控制运算部72发送，喷嘴喷出控制运算部72根据模拟位置数据和存储器55中记录的液滴的配置数据，生成喷出液滴的喷出信号(定时信号)。因此，与为了从主扫描位置检测装置24取得载置台23的位置数据，驱动载置台23的方法相比，喷嘴喷出控制运算部72能容易判断喷出液滴的定时，能发送喷出信号。结果，不使载置台23移动，用很少的能量就能计测喷出量。

(实施例3)

下面按照图11～图14说明本发明的喷出量测定方法的其他实施例。图11是表示实施例3的液滴喷出头的概略平面图，图12和图13是表示实施例3的液状体的喷出方法的概略图，图14是表示计测用喷出数据的概略图。

如图11所示，本实施例的液滴喷出头40具有由多个(180个)喷嘴42构成的2个喷嘴列42A、42B。各喷嘴列42A、42B分别以大致等间隔的喷嘴间隔P排列多个喷嘴42，并且喷嘴列42A、42B彼此以半喷嘴间隔错开的状态排列。

不使用位于各喷嘴列42A、42B的两端的10个喷嘴42，有效喷嘴数分别变为160个。

此外这时，液滴喷出装置20的滑架30上配置的液滴喷出头40的数和配置与图2所示的同样。须指出的是，滑架30上搭载的液滴喷出头40并不局限于9个，可以是与3色颜色材料液44R、44G、44B对应的3个的结构。

在作为本实施例的器件的滤色器中，形成RGB3色的着色层的描绘区A的配置与图6所示的同样，尺寸比所述实施例1大。因此，对描绘区A赋予的所需的液滴的数增加。本实施例表示包含基于假定这样的情形时的液状体的喷出方法的喷出量测定方法的滤色器的制造方法。

本实施例的滤色器的制造方法的液状体的喷出方法是相对于所述实施例1，改变计测用喷出步骤和描绘步骤的结构。具有：描绘步骤，通过组合使液滴喷出头40和基板W在Y轴方向相对移动的多次主扫描、在多次主扫描之间使液滴喷出头40在X轴方向移动的副扫描的喷出控制，而对描绘区A，把给定量的液状体作为液滴喷出描绘。

图12(a)和(b)表示在描绘工序中，基于最初的主扫描的向描绘区A的液滴的配置。例如，从液滴喷出头40，作为液状体(功能液)，喷出红色的颜色材料液44R时，喷嘴列42A首先到达红色(R)的描绘区A，接着喷嘴列42B到达。

如图12(a)所示，对喷嘴列42A的有效喷嘴按顺序赋予编号#11～#170。在描绘区A的尺寸和与它有关的喷嘴列42A的位置关系中，产生有效喷嘴中对描绘区A连续喷出液滴的喷嘴42、不喷出的喷嘴42。此外，当然对绿色(G)和蓝色(B)的描绘区A不喷出液滴，所以全部的有效喷嘴成为不喷出。例如，在有效喷嘴的两端侧中，喷嘴编号11A、12A的喷嘴对于一方的红色(R)的描绘区A，成为喷出喷嘴，喷嘴编号169A、170A的喷嘴对于另一方的红色(R)的描绘区A，成为喷出喷嘴。此外，喷嘴编号13A、168A的喷嘴成为不喷出喷嘴。

接着如图12(b)所示，对另一方的喷嘴列42B的有效喷嘴按顺序赋予编号#11～#170。在喷嘴列42B中，也产生有效喷嘴中对描绘区A连续喷出液滴的喷嘴42、不喷出的喷嘴42。例如，在有效喷嘴的两端，喷嘴编号11B、12B的喷嘴对于一方的红色(R)的描绘区A，成为喷出喷嘴，喷嘴编号168B、169B的喷嘴对于另一方的红色(R)的描绘区A，成为喷出喷嘴。此外，喷嘴编号13B、170B的喷嘴成为不喷出喷嘴。这样的主扫描的喷出数据与各喷嘴列42A、42B对应，作为纵轴表示喷嘴编号、横轴表示喷出定时的位图，对液滴喷出装置20输入，存储到存储器55。

如图12(a)和(b)所示，对于描绘区A，以多个液滴落下的方式喷出，颜色材料液44R不足时，同样重复主扫描，在主扫描方向，对同一位置赋予液滴，但是产生赋予的液滴的偏移，所以希望改变到达描绘区A的多个喷嘴42的位置，喷出。

图13(c)和(d)是表示进行使液滴喷出头40在X轴方向移动的副扫描，改变到达描绘区A的多个喷嘴42的位置，进行主扫描，喷出不足的液滴的状态的概略图。

如图13(c)所示，在液滴喷出头40的喷嘴列42A中，对液滴喷出头40进行副扫描，使得喷嘴编号13A、14A的喷嘴到达一方的描绘区A，则这次在刚才的主扫描中喷出的喷嘴编号11A、12A、15A的喷嘴变为不喷出喷嘴。

接着如图13(d)所示，在喷嘴列42B中也同样改变喷出喷嘴和不喷出喷嘴的选择。这样的副扫描后的主扫描的喷出数据与各喷嘴列42A、42B对应，作为纵轴表示喷嘴编号、横轴表示喷出定时的位图，对液滴喷出装置20输入，存储到存储器55。

在本实施例的喷出量测定方法中，如上所述，在描绘工序中，与喷出喷嘴和不喷出喷嘴根据各主扫描变化对应，生成计测用喷出数据，从而能计测更接近喷出描绘实际的着色层的状态的液滴的喷出量。

图14是表示实施例3的计测用喷出数据的位图。如图14(a)所示，本实施例的喷出量测定方法中，计测用喷出数据包含具有多个喷嘴42中连续不喷出的喷嘴信息的作为第一计测用喷出数据的第一位图、具有从不喷出的喷嘴连续喷出液状体的喷嘴信息的作为第二计测用喷出数据的第二位图，在计测用喷出步骤中，至少使用第一位图和第二位图，驱动液滴喷出头40，以变为可测定的量的方式设定喷出数，把液状体作为液滴喷出。

此外，在计测用喷出步骤中，对2个喷嘴列42A、42B的每一个，使用第一位图和第二位图，驱动液滴喷出头。

然后，如图14(b)所示，在计测用喷出步骤中，使用包含伴随着副扫描在第一位图中变更多个喷嘴中连续不喷出的喷嘴信息的作为第三计测用喷出数据的第三位图、和具有从第三位图中不喷出的喷嘴喷出功能液的喷嘴信息的作为第四计测用喷出数据的第四位图的计测用喷出数据。另外，按两个喷嘴列42A、42B的每一个生成它，使用，在计测工序中，计测喷嘴42A、42B的每一个的液滴的喷出量。

第一和第二位图根据图12(a)和(b)所示的主扫描的喷出数据，反映喷出喷嘴相对于有效喷嘴数的比即喷嘴使用率。

第三和第四位图根据图13(c)和(d)所示的副扫描后的主扫描的喷出数据，一边反映喷嘴使用率，一边与进行喷出的喷嘴选择的变化对应。

在生成计测用喷出数据时，如果原封不动反映描绘步骤的喷出数据，则多个喷嘴42的全部变为不喷出的全喷嘴不喷出信息与不喷出描绘的描绘区A的配置对应，连续发生。因此，为了削减计测用喷出步骤中不进行喷出的无用时间，在本实施例的位图1～4中，删除全喷嘴不喷出信息的一部分，作为计测用喷出数据。

须指出的是，在纵轴表示喷嘴编号、横轴表示喷出定时的位图中，“1”表示选择，“0”表示非选择。此外，在选择时，对与液滴喷出头40的各喷嘴42对应的压电元件46提供与1次喷出对应的驱动信号，但是可以连续提供多个驱动信号。此外，横轴的喷出定时可以像所述实施例2中说明的那样，也可以根据作为工件的基板W的主扫描的基板位置信息。

所述实施例3的效果如下所述。

(1)在所述实施例3的喷出量测定方法中，把反映描绘步骤中的喷嘴使用率的第一～第四位图作为计测用喷出数据使用。因此，从全部喷嘴42喷出给定喷出数的液滴，并且能进行反映实际的描绘步骤的喷出状态的计测用喷出。因此，能计测更接近实际的液状体的喷出描绘的状态的液滴的喷出量。

(2)在所述实施例3的喷出量测定方法中，对液滴喷出头40的各喷嘴列42A、42B的每一个，生成作为计测用喷出数据的第一～第四位图，进行计测用喷出。因此，对喷嘴列42A、42B的每一个，能计测更接近实际的液状体的喷出描绘的状态的液滴的喷出量。

(3)在所述实施例3的喷出量测定方法中，在描绘步骤的喷出数据中局部删除全喷嘴不喷出信息，生成作为计测用喷出数据的第一～第四位图。因此，在计测用喷出步骤中，能削减不喷出液滴的无用时间，高效进行计测用喷出。

(4)所述实施例3的滤色器的制造方法通过使用第一～第四位图的喷出量测定方法，把从各液滴喷出头40喷出的液滴的喷出量适当化。因此，在描绘步骤中，对各描绘区A赋予适当量的颜色材料液44R、44G、44B，在干燥步骤后，能形成膜厚不均匀少的RGB3色的着色层。

(实施例4)

下面说明本发明的电光学装置的一个实施例的液晶显示装置。图15是表示液晶显示装置的构造的概略图，图15(a)是主视图，图(b)是在图(a)的H-H′线切开的剖视图。

如图15(a)和(b)所示，本实施例的液晶显示装置1具有：成对的TFT阵列基板2和对置基板3、接合两基板2、3的光硬化性的密封材料即密封材料4、封入由密封材料4划分的区域内的液晶5。密封材料4在基板面内的区域中，形成封闭的框状，成为不具有液晶注入口，没有由密封材料密封的痕迹的结构。

在密封材料4的形成区的内侧的区域形成由遮光性材料构成的周边切边6。在密封材料4的外侧的区域，沿着TFT阵列基板2的一边形成数据线驱动电路7和安装端子8，沿着与这一边相邻的2边，形成扫描线驱动电路9。在TFT阵列基板2的剩下的一边设置用于连接图像显示区的两侧设置的扫描线驱动电路9之间的多条布线10。此外，在对置基板3的角部的至少一处，配置用于在TFT阵列基板2和对置基板3之间取得电导通的基板间导通材料11。

须指出的是，代替在TFT阵列基板2上形成数据线驱动电路7和扫描线驱动电路9，可以经由各向异性导电膜而电/机械连接安装驱动用LSI的TAB(Tape Automated Bonding)基板和TFT阵列基板2的周边部形成的端子群。须指出的是，在液晶显示装置1中，按照使用的液晶5的种类即TN(Twisted Nematic)模式、STN(Super Twisted Nematic)模式等动作模式、常白模式/常黑模式的不同，在给定方向配置相位差板和偏振片，但是这里省略图示。

此外，在对置基板3中，在与后面描述的TFT阵列基板2的各像素电极相对的区域中，形成具有作为描绘图案的红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的着色层12R、12G、12B的滤色器、保护膜。使用所述实施例1～3所示的滤色器的制造方法中的任意一个，制造着色层12R、12G、12B。在滤色器的TFT阵列基板2一侧配置对置电极13。

在具有这样的构造的液晶显示装置1的图像显示区中，多个像素构成m行n列的矩阵状，并且在这些各个像素中形成像素开关用的TFT(ThinFilm Transistor)元件。供给像素信号的数据线与TFT的源极电连接，供给扫瞄信号的扫瞄线与TFT的栅极电连接，在TFT的漏极电连接像素电极14。

在TFT的栅极电连接扫瞄线，在给定的定时，以脉冲形式对扫瞄线外加扫瞄信号。

像素电极14与TFT的漏极电连接，通过使开关元件即TFT仅在一定期间为导通状态，在给定的定时把从数据线供给的像素信号对各像素写入。经由像素电极14对液晶写入的给定电平的像素信号在与对置基板3的对置电极13之间保持一定期间。按照像素信号的电平，液晶5的光透过量变化，液晶显示装置1具有滤色器，所以液晶显示装置1能显示彩色图像。

所述实施例4的效果如下所述。

(1)所述实施例4的液晶显示装置1中，对置基板3的滤色器可以使用所述实施例1～所述实施例3中表示的滤色器的制造方法中的任意一个制造。因此，具有膜厚不均匀少的3色的着色层12R、12G、12B，能稳定地确保给定光学特性(透过率、色度、彩度)。因此，液晶显示装置1具有颜色不均匀少的高显示质量。

(实施例5)

下面说明本发明的电子仪器的一个实施例的个人电脑。图16是表示个人电脑的概略立体图。作为本实施例的电子仪器的个人电脑(PC)80作为显示信息的显示部，具有显示装置81。在显示装置81配置所述实施例4的液晶显示装置1。

所述实施例5的效果如下所述。

(1)所述实施例5的PC80搭载具有颜色不均匀少的高显示质量的液晶显示装置1，所以能提供能可靠确认包含颜色信息的图像信息的PC80。

以上说明本发明的实施例，但是在所述的实施例中，在不脱离本发明的宗旨的范围追，能追加各种变形。例如所述的实施例以外的变形例如下所述。

(变形例1)在所述的实施例1中，在喷出量的计测中使用电子天平50，计测液滴的重量，但是并不局限于此，可以计测液滴的体积，计测喷出量。例如可以用对相同宽度的沟喷出液滴，从占据沟的液状体的长度推测体积的方法计测体积。

(变形例2)在所述的实施例1中，对液滴喷出头31～39的每一个配置电子天平50的测定用托盘M1～M9，测定从液滴喷出头31～39的各喷嘴列N1～N9喷出的液滴的喷出量，但是可以对喷嘴42的每一个配置测定用托盘，测定从喷嘴42喷出的液滴的喷出量。通过对喷嘴42的每一个调整喷出量，能减少喷嘴间的喷出量的差。

(变形例3)在所述的实施例2中，喷嘴喷出控制运算部72根据模拟位置数据和配置数据，对头驱动电路60发送喷出液滴的喷出信号。在模拟位置数据中连续包含不是喷出的位置的数据时，删除不是喷出的位置的数据的一部分，减少模拟位置数据的数据量。在删除不是喷出的位置的数据的一部分时，希望通过删除，喷出变为不连续。通过删除不喷出的数据，能缩短与给定的喷出数有关的时间。

(变形例4)应用所述的实施例1～所述的实施例3中的喷出量测定方法的滤色器的制造方法并不限定于具有RGB3色的着色层的滤色器的制造方法。例如，也能应用于在RGB3色加上其他颜色的多色滤色器的制造方法。此外，RGB3色的着色层的配置并不限定于条纹方式，也能应用三角方式、镶嵌方式。具体而言，根据在基板W的描绘区A配置液滴的喷出数据，生成计测用喷出数据。

(变形例5)所述的实施例1～所述的实施例3的喷出量测定方法并不限定于应用于形成滤色器时的图案形成方法。例如，在具有有机EL(场致发光)元件的显示装置中，也能应用于构图形成构成作为发光元件的有机EL元件的空穴注入层、发光层、电子注入层的方法中。据此，从液滴喷出头的喷嘴喷出描绘包含形成各层的材料的液状体，能把空穴注入层、发光层、电子注入层的各层的厚度形成所需的厚度。此外，能减少有机EL元件的空穴注入层、发光层、电子注入层的各层厚度的偏差，所以能使发光元件的发光效率均匀，能成为发光时不均匀少的显示装置。

(变形例6)具有作为所述实施例5的电光学装置的液晶显示装置1的电子仪器并不局限于个人电脑80。例如，适合作为电子书、移动电话、数字相机、液晶电视、寻像器或监视器直视型的录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、电子计算器、字处理器、工作站、电视电话、POS终端、触摸屏等电子仪器的图像显示部件使用。任何时候，都能提供显示不均匀少的电子仪器。

Claims (12)

1.一种喷出量测定方法，测定从液滴喷出头的喷嘴喷出的液状体的喷出量，

包括：

计测用喷出步骤，根据计测用喷出数据，驱动所述液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定喷出数，从所述喷嘴喷出所述液状体作为液滴；

计测步骤，计测所喷出的所述液状体的喷出量；和

运算步骤，从所计测的所述喷出量和所述喷出数计算平均喷出量；

所述计测用喷出数据使用与对描绘图案喷出描绘时大致同样的喷出数据。

2.根据权利要求1所述的喷出量测定方法，其特征在于：

在所述计测步骤中，作为所喷出的液状体的喷出量，计测重量。

3.根据权利要求1或2所述的喷出量测定方法，其特征在于：

所述液滴喷出头具有多个喷嘴；

在所述计测用喷出步骤中，从所述多个喷嘴喷出液状体；

在所述计测步骤中，计测从所述液滴喷出头的所述多个喷嘴喷出的液状体的喷出量。

4.根据权利要求3所述的喷出量测定方法，其特征在于：

所述计测用喷出数据包含没有从全部的所述多个喷嘴喷出所述液状体的全喷嘴不喷出信息，在所述全喷嘴不喷出信息连续时，删除所连续的所述全喷嘴不喷出信息的一部分而使用。

5.根据权利要求3或4所述的喷出量测定方法，其特征在于：

所述计测用喷出数据包含：

第一计测用喷出数据，具有所述多个喷嘴中连续没有喷出的喷嘴信息；和

第二计测用喷出数据，具有从所述没有喷出的喷嘴连续喷出所述液状体的喷嘴信息；

在所述计测用喷出步骤中，至少使用所述第一计测用喷出数据和所述第二计测用喷出数据，驱动所述液滴喷出头，以变为可测定的量的方式设定所述喷出数，喷出所述液状体作为液滴。

6.根据权利要求5所述的喷出量测定方法，其特征在于：

所述液滴喷出头具有由多个喷嘴构成的至少2个喷嘴列；

在所述计测用喷出步骤中，对所述至少2个喷嘴列的每一个使用所述第一计测用喷出数据和所述第二计测用喷出数据，驱动所述液滴喷出头。

7.一种图案形成方法，在工件上形成由功能性材料构成的描绘图案，

包括：

喷出量推测步骤，使用权利要求1～6中任一项所述的喷出量测定方法，推测从液滴喷出头喷出的包含所述功能性材料的功能液的平均喷出量；

判定步骤，根据推测结果，判定是否调整从所述液滴喷出头喷出的所述功能液的喷出量；

调整步骤，在调整必要时，变更所述液滴喷出头的驱动条件，调整所述喷出量；

描绘步骤，与使所述工件和所述液滴喷出头相对移动的主扫描同步，从所述液滴喷出头的喷嘴将所述功能液作为液滴喷出描绘；和

图案形成步骤，使所喷出描绘的所述功能液凝固，形成所述描绘图案。

8.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于：

在所述描绘步骤中，使用多个液滴喷出头喷出描绘所述功能液；

在所述计测用喷出步骤中，所述多个液滴喷出头的每一个喷出所述功能液；

在所述计测步骤中，计测所述多个液滴喷出头的每一个喷出的所述功能液的喷出量；

在所述调整步骤中，以减少所述多个液滴喷出头之间的所述平均喷出量的差的方式进行调整。

9.根据权利要求7或8所述的图案形成方法，其特征在于：

在所述计测用喷出步骤中，根据由所述描绘步骤的所述主扫描时的所述液滴喷出头和所述工件之间的相对位置信息、和在所述工件上配置液滴的配置数据所生成的所述计测用喷出数据，从所述液滴喷出头喷出所述功能液。

10.根据权利要求7～9中任意一项所述的图案形成方法，其特征在于：

所述液滴喷出头具有多个喷嘴；

在所述描绘步骤中，进行多次使所述工件和所述液滴喷出头相对移动的主扫描，并且在所述多次主扫描之间，在与所述主扫描的方向正交的方向进行使所述多个液滴喷出头移动的副扫描；

在所述计测用喷出步骤中使用所述计测用喷出数据，其包含：第三计测用喷出数据，具有伴随着所述副扫描在所述第一计测用喷出数据中变更所述多个喷嘴中连续没有喷出的喷嘴的喷嘴信息；和第四计测用喷出数据，具有从所述第三计测用喷出数据中没有喷出的喷嘴喷出所述功能液的喷嘴信息。

11.一种器件，具有由功能性材料构成的描绘图案，

使用权利要求7～10中任意一项所述的图案形成方法来制造所述描绘图案。

12.一种电光学装置，具有权利要求11所述的器件。

13.一种电子仪器，具有权利要求12所述的电光学装置。

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