CN1934655A - 探测半导体存储器中电阻开路缺陷的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种探测半导体存储器中延迟故障的方法。在一个实施方案(100)中，根据用于测试半导体存储器的测试图案产生地址位和数据位(110)。验证地址位和数据位(120)并将其提供给半导体存储器的输入端口(130)。然后开始存储器操作(140，150，160，170)，使得地址位和数据位的提供与存储器操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。这种时序确保了适当地在时间上给地址解码器和读出/写入电路施加压力，能够探测较小的延迟故障。

Description

探测半导体存储器中电阻开路缺陷的方法
本申请要求2004年3月26日提交的名称为“A New EfficientSolution to Cover Resistive-Open Defects for SemiconductorMemories”的临时专利申请(S/N 60/556,706)的优先权，其全部在这里结合作为参考。
技术领域
本发明涉及半导体存储器的测试领域，尤其涉及一种半导体存储器中电阻开路缺陷的方法。
背景技术
集成电路的系统自动测试变得越来越重要。随着每个新一代的集成电路元件密度，系统功能数和时钟速度也显著增加。集成电路已经达到了这样的复杂性和速度，即，即使使用最完善最昂贵的常规测试方案都不能再探测到处理缺陷。然而，用户不会接受在操作使用过程中表现出隐藏缺陷的产品，由此使得例如生命支持系统或飞机控制系统变得不可靠。
目前，对于SRAM，内置半导体存储器以达到2ns的时钟周期高速工作，或者对于临界尺寸达到了90纳米数量级的新一代CMOS，时钟周期甚至更短。一般通过嵌入式自测试(BIST)或使用扫描测试模式的测试器来执行嵌入式半导体存储器的测试。在嵌入式或测试器中，根据预定的行进式测试(march test)，产生连续的测试图案来执行存储器的读出和写入操作。行进式测试在本领域中是公知的，且通常认为对半导体存储器进行了充分的测试。
电阻开路缺陷不仅导致半导体存储器的静态故障行为，其很容易被探测到，而且还在数据通路或地址通路中导致动态故障行为，其公知为“缓慢上升”和“缓慢下降”。根据缺陷的电阻——缺陷尺寸——，延迟变化相当大。很容易探测到静态故障行为中产生的大的延迟。探测对应于小尺寸缺陷的小延迟要求使用BIST或扫描测试的高速测试。理想地，半导体存储器需要在工作频率下进行测试。如果不在工作频率下测试半导体存储器，则即使使用正确的测试图案，也不会探测到小尺寸的电阻开路缺陷。然而，因为BIST的输出分析器所需的延迟、综合所需的额外时间、以及高速BIST所需的额外面积，所以高速BIST不容易结合进存储器的版图中。增大BIST的速度意味着显著增加BIST的面积，这对于大多数应用来说是不能接受的。此外，由于连续进行扫描入数据和扫描出数据，所以使用扫描测试模式来测试嵌入式半导体存储器需要额外的测试时间，因此对于具有大量引脚的大存储器来说增加了测试时间。
随着现代制造工序从基于铝的互连转变到基于铜的互连，电阻开路缺陷变为主导性的缺陷。例如，在铝工序中，电阻金属桥接比电阻开路更加普遍。相反，在铜工序中，电阻开路更加普遍。
然而，如上所述，以低于半导体存储器工作频率的频率测试导致了不可探测到的延迟缺陷，例如由电阻开路缺陷、电阻桥、和电容耦合表现出来的那些缺陷。
这就需要提供一种方法，其使用以比半导体存储器工作频率低的频率的BIST或测试器来可靠地探测新一代半导体存储器中的延迟缺陷。
发明内容
已经发现本发明在探测半导体存储器中的电阻开路缺陷有效。这些电阻开路缺陷本身表现为在存储器地址解码器、预充电电路、写入数据线、本地全局输入端/输出端、以及在存储器单元矩阵中的缓慢上升和缓慢下降行为的延迟缺陷。
通过使用以低于半导体存储器工作频率的频率工作的BIST(嵌入式自测试)或测试，本发明提供了一种用于探测这些延迟缺陷的可靠方法。
在依照本发明的一个实施方案中，本发明提供了一种探测半导体存储器中延迟故障的方法。该方法包括：根据适合用于测试半导体存储器的测试图案产生地址位和数据位。验证地址位和数据位。为半导体存储器的输入端口提供地址位和数据位。根据地址位开始存储器操作，其中地址位和数据位的提供与存储器操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。
在依照本发明的另一个实施方案中，本发明进一步提供了一种探测半导体存储器中延迟故障的方法。该方法包括：依照适合用于测试半导体存储器的测试图案产生有效地址位和数据位。验证地址位和数据位。为半导体存储器的输入端提供地址位和数据位。根据地址位，将数据位写入半导体存储器中，其中地址位和数据位的提供与写入操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。根据测试图案产生第二地址位。验证第二地址位。根据第二地址位，从半导体存储器中读出第二数据位，其中地址位的提供与读出操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。将第二数据位与预定数据做比较，从而获得比较结果，如果所述比较结果表示匹配，则就表示操作是无故障的。
在依照本发明的再一个实施方案中，本发明提供了一种用于测试半导体存储器中延迟故障的测试电路，包括：地址和数据产生电路，用于根据适合用于测试半导体存储器的测试图案来产生地址位和数据位。具有验证电路，用于验证地址位和数据位。与半导体存储器通信的连接电路，用于为半导体存储器提供该地址位和数据位。定时电路，用于提供时间信号，该时间信号确定地址位和数据位的提供以及存储器操作的开始的时序，使得地址位和数据位的提供与存储器操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。
本发明的上述概述并不意在代表每个公开的实施方案、或本发明的每个方面。在下面的附图和详细描述中提供了其他的方面和实施方案。
附图说明
通过下面结合附图的本发明各个实施方案的详细描述，可更彻底地理解本发明，其中：
图1是依照本发明一个实施方案的测试存储器的流程图；
图2是示意性示出BIST中地址和数据建立时间的图；
图3是示意性示出半导体存储器测试的模拟结果的图；
图4示出了在X地址解码器的最低位处具有插入的开路缺陷的半导体测试的模拟结果；
图5是示意性示出图4中所示图的放大部分的图；和
图6是示意性示出使用依照本发明所述方法的半导体测试的模拟结果的图。
具体实施方式
下面，为了简单起见结合BIST描述本发明。显而易见的是，还可使用扫描测试模式的测试器来实现本发明。
BIST的频率对延迟故障探测具有显著的影响。通过探测例如由电阻开路缺陷导致的小的延迟故障，高速测试提高了延迟故障的探测。然而，以高测试频率执行BIST在大多数应用中是不可行的。
BIST用相应的地址产生数据，并按照增大和减小的地址顺序运行连续的写入和读出操作。在读出操作的情形中，BIST的输出分析器将读出的数据与预定的逻辑值相比较。如果读出的数据与逻辑值相匹配，则存储器是无故障的，否则存储器就存在故障。参照图2，图2示出了与由测试时钟CL提供的信号有关的数据和地址产生221，231的波形。地址和数据建立时间定义为地址产生(222，223)和数据产生(232，233)与测试时钟CL的正边沿之间的时间。
图1中显示了BIST的工序步骤100。根据行进式测试，BIST产生地址和数据背景110。BIST保持存储器的状态，从而使数据位和地址位变为有效120。将地址和数据背景传输到存储器输入130。使用测试时钟的正/负边沿，开始存储器操作140。存储器操作可以是读出或写入。根据写入使能信号，数据背景被写入存储器或从存储器读出160。将读出数据与预定逻辑值比较170。
根据测试图案的复杂性和存储器大小，重复上面的步骤。当准备信号与表示被测试器件无故障或有故障的第二标记一起被传输时，由BIST报告测试结束。
图2显示了利用存储器时钟(CL)210的地址产生230和数据产生220的波形。地址和数据的建立时间225，235是地址和数据背景产生(221，231)与时钟的正/负边沿之间存在的时间(其包括保持时间222，232和数据有效间隔223，233)。
一般，以低于当前半导体存储器工作频率的频率执行地址和数据产生。因而，当在存储器操作开始——时钟信号的正/负边沿之前相对长的时间，将测试图案——地址位和数据位——传输到存储器输入端时，掩蔽了延迟故障。以50MHz工作的BIST需要20ns来产生地址位和数据位、以及在读出操作情形中用于输出分析器的数据比较。因此，需要大约10ns来产生并给存储器输入端传输一组地址位和数据位。例如，半导体存储器以2ns时钟周期工作，如果在时钟信号的正/负边沿之前大约10ns就将地址位和数据位传输到存储器，则在时钟信号的正/负边沿之前存储器的外围电路就已经处于基本稳定的状态。因此，由于在时钟信号的正/负边沿之前10ns的延迟掩盖了延迟故障，所以在应用测试图案过程中没有探测到由存储器外围中的缺陷导致的延迟故障。
如今，存储器是自定时的，即根据外部时钟信号的正/负边沿产生用于控制读出/写入操作的内部时钟。自定时技术避免了不完全读出/写入操作的发生。对于测试延迟故障，在内部时钟的正/负边沿之前存储器电路的状态是很关键的。当由于延迟故障导致存储器电路的状态仍是不稳定时，探测到小的延迟故障。当外部时钟信号的正/负边沿准时的时候，产生存储器的内部时钟信号，存储器电路仍旧是不稳定的。因而，延迟故障对存储器行为具有影响并且被探测。因此，将正/负时钟边沿与存储器输入端的传输分隔开的时间间隔是很关键的。当提供地址位和数据位与正/负时钟边沿之间的时间间隔与存储器时钟周期相比很大时，在正/负时钟边沿启动读出/写入操作之前，地址解码器、写入电路、读出放大器、预充电和放电电路就已经稳定了。
参照图3，显示了具有六个输出320引脚q[0，…，5]的存储器的行进式测试的模拟结果300。存储器以2ns的时钟周期工作，同时BIST以50MHz-20ns的时钟周期执行行进式测试。因而地址和数据建立时间大约为10ns。绘出了输出引脚320和时钟310。
图4示出了在X地址解码器的最低位处，具有插入的开路缺陷在相同条件下执行的模拟结果400。该开缺陷导致了缓慢上升的故障，其由V(a_2_open)图的波形415表示。该缓慢上升故障425在图5中所示的放大部分中可更加清楚地看到。引脚a_2_以5ns的延迟达到了410逻辑值一，同时存储器以2ns的时钟周期工作。然而，当BIST以低于半导体存储器的工作频率的频率工作时，没有探测到这个缺陷。参照图5，在曲线500中放大了该缓慢上升故障425，引脚a_2_(510)是没有电阻缺陷的引脚。引脚a_2_open(520)在5ns之后才达到了逻辑一。
在依照本发明一个实施方案的探测半导体存储器中延迟故障的方法中，为了探测延迟故障，通过移动正/负时钟边沿或地址和数据验证，来减小地址位和数据位传输到存储器输入端与存储器开始操作之间的时间。
在依照本发明探测半导体存储器中延迟故障的另一个方法中，根据测试图案，如行进式测试，来产生数据位和地址位。然后验证地址位和数据位。在验证之后，地址位和数据位传输到存储器输入端。测试时钟的正/负边沿根据写入使能信号来开始存储器操作——读出或写入。地址位和数据位的传输以及存储器操作的开始被确定时序，以便它们之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。通过适当确定地址和数据验证的时序，或可选择地通过适当确定测试时钟的正/负边沿的时序，来获得适当的时间间隔。在读出存储器操作的情形中，数据位从存储器中被读出并与预定的逻辑值比较。通过产生数据位和地址位，并例如以增大或减小的地址顺序运行连续的写入和读出操作来重复上面的步骤。在无延迟故障的存储器的情形中，读出的数据位与预定值相匹配；否则，例如如果一个数据位不与预定值相匹配，则就确定存储器存在故障。
上述用于探测半导体存储器中延迟故障的方法非常有益，其能使用以低于半导体存储器工作频率的频率工作的BIST来探测延迟故障。例如，以200MHz工作的半导体存储器需要以相同的频率来测试，或者没有探测到更小的延迟故障。使用常规的BIST在50MHz或甚至150MHz下测试半导体存储器不能探测到小的延迟故障。通过确定地址位和数据位的传输以及存储器操作的开始的时序，使得它们之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期，可适当地在时间上给地址解码器和读出/写入电路施加压力，从而能够探测小的延迟故障。此外，依照本发明的方法还可使用内部存储器时钟信号的正/负边沿来用于测试自定时的半导体存储器。
这避免了需要BIST以存储器的工作频率来工作，显著减小了存储器芯片的BIST面积。在一个实施方案中，BIST被实现为使得其以最大可能的频率——最大可能折中(trade off)面积——来工作，且通过适当确定地址位和数据位的传输以及存储器操作的开始的时序来补偿BIST频率与存储器工作频率之间的频率间隙。
图6示出了以依照本发明一个实施方案设置的时序与图4类似的模拟。模拟600显示了当施加地址位和数据位的传输以及存储器操作的开始的适当时序时，探测到延迟故障。存储器输出端q_1和q_2在50ns下提供了未预料到的逻辑值620，同时所有存储器输出端在240ns下提供了不正确的逻辑值630。
在常规的BIST电路或测试器电路中很容易实现依照本发明的方法，其在测试时能使BIST或测试器以低于存储器工作频率的频率来工作，同时能探测到小的延迟故障。
在不脱离由所附权利要求确定的本发明的精神和范围的情况下，本发明众多其他的实施方案对于本领域熟练技术人员来说是显而易见的。

Claims (19)

1.一种探测半导体存储器中延迟故障的方法(100)，包括：根据适合用于测试半导体存储器的测试图案来提供(110，120)地址位和数据位；为半导体存储器的输入端口提供(130)地址位和数据位；和根据地址位开始(140，150)存储器操作，其中地址位和数据位的提供与存储器操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。
2.根据权利要求1中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中提供地址位和数据位包括：产生地址位和数据位；在为半导体存储器的输入端口提供地址位和数据位之前验证该地址位和数据位。
3.根据权利要求1中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中存储器操作包括将数据位写入半导体存储器中。
4.根据权利要求3中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中存储器操作包括从半导体存储器读出(160)数据位。
5.根据权利要求4中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，进一步包括：根据测试图案重复所述步骤。
6.根据权利要求5中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，进一步包括：将读出的数据与预定数据做比较(170)，从而获得至少一个比较结果；如果所述至少一个比较结果表示匹配，则提供表示半导体存储器无故障的信号。
7.根据权利要求6中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中通过适当确定地址和数据验证的时序来确定所述时间间隔。
8.根据权利要求6中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中通过适当确定存储器操作的开始的时序来确定所述时间间隔。
9.根据权利要求6中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中测试图案是行进式测试。
10.一种探测半导体存储器中延迟故障的方法，包括：依照适合用于测试半导体存储器的测试图案提供有效地址位和数据位；为半导体存储器的输入端口提供该有效地址位和有效数据位；根据该有效地址位将有效数据位写入半导体存储器中，其中有效地址位和有效数据位的提供与写入操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期；根据测试图案提供第二有效地址位；为半导体存储器的输入端口提供该第二有效地址位；根据该第二有效地址位从半导体存储器中读出第二数据位，其中第二有效地址位的提供与读出操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期；并且，将该第二数据位与预定数据做比较，从而获得比较结果，如果所述比较结果表示匹配，则表示操作是无故障的。
11.根据权利要求10中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中提供有效地址位和有效数据位包括：产生地址位和数据位；验证地址位和数据位从而提供该有效地址位和有效数据位；其中提供第二有效地址位包括：根据测试图案产生第二地址位；验证第二地址位从而提供第二有效地址位。
12.根据权利要求10中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，包括：根据测试图案重复所述步骤。
13.根据权利要求12中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中测试图案是行进式测试。
14.根据权利要求13中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中通过适当确定地址和数据验证的时序来确定所述时间间隔。
15.根据权利要求13中所述的探测半导体存储器中延迟故障的方法，其中通过适当确定存储器操作的开始的时序来确定所述时间间隔。
16.一种用于测试半导体存储器中延迟故障的测试电路，包括：地址和数据产生电路，用于根据适合用于测试半导体存储器的测试图案来产生地址位和数据位；与半导体存储器通信的连接电路，用于为半导体存储器提供该地址位和数据位；以及定时电路，用于提供时间信号，该时间信号用于确定地址位和数据位的提供以及存储器操作的开始的时序，使得地址位和数据位的提供与存储器操作的开始之间的时间间隔大约等于半导体存储器的工作时钟周期。
17.根据权利要求16所述的用于探测半导体存储器中延迟故障的测试电路，包括：用于验证地址位和数据位的验证电路。
18.根据权利要求16所述的用于探测半导体存储器中延迟故障的测试电路，包括比较电路，用于将读出的数据与预定数据做比较，从而获得比较结果，并且如果所述比较结果表示匹配，则表示操作是无故障的。
19.根据权利要求18所述的用于探测半导体存储器中延迟故障的测试电路，其中地址和数据产生电路、验证电路、连接电路、定时电路和比较电路集成在包括半导体存储器的芯片中。
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