CN1808174A - 光束照射装置 - Google Patents

Abstract

来自半导体激光器(100)的激光，入射到由透镜执行元件(300)支撑的照射透镜。已通过照射透镜的激光，根据透镜执行元件(300)的驱动，在Y－Z平面方向上其出射角度变化。由此，实施在目标领域中的激光的扫描。已通过照射透镜的激光，通过光束分离器(400)其一部分被反射而被分离。分离的光，通过聚光透镜(500)在PSD(600)上被聚焦。DSP控制电路(10)，以来自PSD600的信号为基准，将已通过照射透镜的激光的扫描位置进行监视。因此，在照射位置从扫描轨道偏离时，控制执行元件驱动电路(40)，将照射位置牵引到扫描轨道。根据该光束照射装置，在简单朴素的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。

Description

光束照射装置

技术领域：

本发明涉及一种光束照射装置；例如，是适合于车间检测器或距离检测器等上所利用的装置。

背景技术：

这些年，利用激光的车间检测器或距离检测器在各种各样的领域被采用。车间检测器，是通过检测从车辆前方将激光进行照射时的反射光，来测量障碍物的有无和至障碍物的距离的装置。这时，激光纵横方向地扫描预先在前方空间上所设定的目标区域。而且，在各扫描位置中，测定激光的照射定时和反射光的受光定时的时间差，从其测定结果计算出至各扫描位置前方上的障碍物的距离。

在这些检测器中，采用了使激光纵横方向地扫描的同时对目标区域进行照射的、所谓光束照射装置。在此，激光的扫描是利用：利用了多面反射镜的扫描机构、或利用了透镜执行元件(actuator)的扫描机构而进行的。

在利用了多面反射镜的扫描机构中，在使多面反射镜旋转的同时，使激光照射在多面反射镜侧面。多面反射镜，其截面为多角形、且在各侧面上形成有反射镜。通过在使多面反射镜旋转的同时将激光照射在其侧面，相对于各侧面的激光的入射角度发生变化。由此，反射光扫描于多面反射镜的旋转方向。

但是，在此扫描机构中，在和反射镜旋转轴平行的方向上将光束进行扫描变得困难。在此方向的扫描，例如，其他还需要使反射镜旋转轴的倾斜度变化的机构。或者，有必要使相对于反射镜旋转轴的各侧面的倾斜角预先变化。再有，在此扫描机构中，反射镜面的平面精度或反射镜的旋转状态对光束的扫描状态影响大。因此，为了实现精度优良的扫描动作，高精度的平面加工技术成为必要；而且，也有必要利用高性能电机。

对此，例如在特开平11-83988号公报上，示出对利用了透镜执行元件的扫描机构。在该扫描机构中，因为通过透镜驱动而实施光束扫描，所以在比较简朴的构成下，能实现2维方向的扫描动作。再有，在该扫描机构中，因为不需使用高精度的平面加工技术或高性能电机等，所以与利用多面反射镜的情况相比，能谋求成本降低。

但是，在该扫描机构中，由于振动或外界干扰等在透镜上容易产生不期望的变位。其结果，有可能引起激光的扫描轨道从期望的扫描轨道偏离的问题。由此，在该扫描机构中，有不能将目标区域无漏地扫描之虞。这时，产生障碍物的漏检等不好的情况。在将光束照射装置利用于车间检测器时，障碍物的漏检有和事故牵连之虞。由此，特别在将光束照射装置利用于车间检测器时，必须实现在其光束照射装置中的稳定的扫描动作。

发明内容：

本发明，其目的在于提供一种光束照射装置，其在简朴的构成下、能实现平滑且稳定了的扫描动作。

与本发明的一个方面涉及的光束照射装置，其特征在于，具有：出射激光的光源；透镜，其将从该光源出射的激光朝目标区域照射；变位机构，其使该透镜至少朝垂直于所述激光的光轴的方向变位；扫描机构，其驱动所述变位机构而使所述激光在所述目标区域内扫描；分离机构，其将已通过所述透镜的激光的一部分进行分离；检测机构，其将通过分离机构分离的激光进行受光的同时检测出在受光面上的所述分离光的受光位置；和修正机构，其基于通过该检测机构检测出的受光位置而修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

根据本发明，因为目标区域中的激光的照射位置和受光面上的分离光的受光位置一一对应，就能拿分离光的受光位置来监控激光的照射位置。由此，通过基于由检测机构检测出的受光位置而修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置，能使激光的扫描轨道追随于期望的扫描轨道。

该方面涉及的光束照射装置，可以构成为进一步具有：调整机构，其将所述扫描期间中的所述激光的出射功率作为第1强度进行设定的同时，在由所述检测机构检测出的受光位置达到与所述目标区域内的特定位置对应的位置时，使所述激光的出射功率变化到与所述第1强度相异的强度。

这样，因为在扫描期间中使激光持续出射，所以能使激光的扫描轨道逐次追随于期望的扫描轨道。此外，通过在特定位置上使出射功率的强度变化，能将特定位置和这以外的扫描位置进行顺利地区别。再有，〖特定位置〗，是指在目标区域内，例如是为了实施障碍物的检测或距离的检测等而被设定的位置。

在此，所述功率调整机构，可以构成为：由所述检测机构检测出的受光位置到达与所述目标区域内的特定位置相对应的位置时，使所述激光的出射功率的强度以脉冲状地增加。

这样，能抑制无效地照射激光。其结果，例如能削减消费电力、或谋求激光光源的长寿命。

再有，所述修正机构，可以构成为：在使所述激光沿期望的扫描轨道扫描时，保持在所述受光面上呈现的所述分离光的受光位置的移动轨迹作为基准移动轨迹，将该基准移动轨迹和由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置进行比较，以使该检测出的受光位置靠近所述基准移动轨迹的方向，修正激光的扫描位置。

如果这样地构成，能使激光的扫描轨道顺利地追随于期望的扫描轨道。

在此，所述修正机构，可以构成为：使在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近该扫描定时Tn中的所述基准移动轨迹上的受光位置，修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

如果这样地构成，能将激光的扫描位置顺利地拉回到所期望的扫描位置，能实现正确的扫描动作。

再有，所述修正机构，使在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近在比该扫描定时Tn行进了仅ΔT期间的扫描定时Tn+ΔT中的所述校正移动轨迹上的受光位置，修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

如果这样地构成，能将激光的扫描位置顺利地拉回到下一个预定的扫描位置，能实现有效的扫描动作。

根据如上所述的本发明，能提供一种光束照射装置，其在简朴的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。

本发明的前述以及其他的目的和新的特征，如果将以下所示的实施方式的说明，结合如下的附图而进行阅读，就会更完全清楚。

附图说明

图1表示实施方式涉及的光束照射装置的构成。

图2表示实施方式涉及的光束照射头的构成。

图3是说明照射激光的出射角度和分离光的聚焦位置的关系的图。

图4表示实施方式涉及的PSD600的构造。

图5A、B是说明PSD600的构造和位置检测电压的变动的图。

图6A、B、C是说明实施方式涉及的扫描动作的图。

图7是说明实施方式涉及的轨道随动系统的操作方法的图。

图8是表示实施方式涉及的扫描动作的流程图。

图9是说明其他的实施方式涉及的轨道随动系统的操作方法的图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式参照附图进行说明。

首先，图1表示实施方式涉及的光束照射装置的构成。如图示，光束照射装置，具备：DSP(Digital Signal Processor)控制电路10、DAC(DigitalAnalog Converter)20、激光驱动电路30、执行元件驱动电路40、光束照射头50、PSD(Position Sensitive Detector)信号处理电路60、和ADC(AnalogDigital Converter)70。

DSP控制电路10，将用于驱动控制激光驱动电路30及执行元件驱动电路40的数字信号输出于DAC20。DAC20，将从DSP控制电路10输出的数字信号转换为模拟信号(控制信号)后输出于激光驱动电路30及执行元件驱动电路40。激光驱动电路30，根据从DAC20输入的控制信号，驱动光束照射头50内的半导体激光器100。执行元件驱动电路40，根据从DAC20输入的控制信号，驱动光束照射头50内的透镜执行元件300。

光束照射头50，使在前方空间上设定的目标区域中将激光扫描的同时照射。如图1所示，光束照射头50，备有：半导体激光器100、光圈200、透镜执行元件300、光束分离器400、聚光透镜500、和PSD600。

从半导体激光器100出射的激光，通过光圈200整形于期望的形状后，入射于由透镜执行元件300支撑的照射透镜。在此，照射透镜，以使在图1的Y-Z平面方向上可变位，通过透镜执行元件300而被支撑。因而，已通过照射透镜的激光，根据透镜执行元件300的驱动，在Y-Z平面方向上出射角度进行变化。由此，实施目标区域中的激光的扫描。

已通过照射透镜的激光，其一部分被光束分离器400反射，从照射激光(目标区域上被照射的激光)中分离。分离的激光(分离光)，通过聚光透镜500而聚焦于PSD600上。PSD600，具有在图1的X-Y平面上平行的受光面，输出与在该受光面上的分离光的聚焦位置对应的电流。在此，在受光面上的分离光的聚焦位置和在目标区域中的所述照射激光的照射位置一一对应。由此，从PSD60输出的电流，成为与在目标区域上的所述照射激光的照射位置对应的电流。此外，有关PSD600的构成及电流的输出动作，一边参照图4及图5A、B一边接着详细叙述。

从PSD600输出的电流输入于PSD信号处理电路60。PSD信号处理电路60，将从输入的电流对分离光的聚焦位置进行表示的电压信号输出于ADC70。ADC70，将输入的电压信号转换为数字信号而输出于DSP控制电路10。DSP控制电路10，将输入的电压信号为基准，检测出受光面上的分离光的聚焦位置。

此外，在DSP控制电路10上，配备有：扫描表格(scan table)，其是用于使激光的照射位置在目标区域内扫描的表格；和轨道表格，其是根据扫描表格使激光扫描时的、表示受光面上的分离光的聚焦位置的轨道的表格(轨道表格)。

DSP控制电路10，在激光的扫描动作过程中，在参照扫描表格的同时将用于控制执行元件驱动电路40的信号输出于DAC20。而且，同时地，将从ADC70输入的信号为基准、检测出受光面上的分离光的聚焦位置，将检测出的位置和在轨道表格上规定的所期望的聚焦位置进行比较，以检测位置引入到所期望的聚焦位置那样，将用于控制执行元件驱动电路40的信号输出于DAC20。通过涉及的随动系统(servo)动作，照射激光，以便沿扫描表格中规定的轨道对目标区域内进行扫描。此外，随动系统(servo)动作的详细，在参照图7的同时接着详细叙述。

再有，DSP控制电路10，在激光的扫描动作过程中，将用于使半导体激光器100的出射功率设定为低强度Pwa的信号，通过DAC20在激光驱动电路30上输出。而且，与此同时，监视受光面上的分离光的聚焦位置，并使该聚焦位置，到达了预先设定的、作为用于实施障碍物检测或距离检测等的位置(发光点)、的定时(timing)，将用于使半导体激光器100的出射功率设定为仅在一定期间在脉冲状、高强度Pwb的信号，通过DAC20在激光驱动电路30上输出。在此，功率Pwa，至少设定为将所述受光面上的分离光的位置检测程度的电流成为从PSD600输出程度的电流那样的功率。而且，功率Pwb，设定为将所期望的障碍物检测或距离检测等实施时充分的功率。但是，照射激光，将目标区域内在低功率下扫描的同时，在到达了发光点的定时而发光为高功率。

在图2中，示出透镜执行元件300的构成(分解立体图)。

参照图2，照射透镜301，安装于透镜支架302中央的开口。在透镜支架302上，在其4个侧面上安装着各自的线圈；在各线圈内轭303中央的突出部如图2中的箭头那样被插入。各轭303，两侧的舌片嵌入于一对轭固定部件305的凹部。而且，在各自的轭固定部件305上，以夹持轭303的舌片而使磁铁304固定。在该状态下，轭固定部件305和磁铁304一起被安装于底部(图中未示)。

再有，在底部上安装有一对电线固定部件306，在该电线固定部件306上通过电线307透镜支架302被弹性支撑。在透镜支架302上其四角上设置有用于嵌入电线307的孔。在该孔上将各自的电线307嵌入后，将电线307的两端在电线固定部件306上固定安装。由此，透镜装置302通过电线307在电线固定部件306上被弹性支撑。

在驱动时，在透镜支架302上安装的各线圈上，供给来自所述执行元件驱动电路40的驱动信号。由此，产生电磁驱动力，二维驱动照射透镜301和透镜支架。

图3是表示在驱动透镜执行元件300而使照射透镜301朝一个方向变位时的、照射激光的出射角度和PSD受光面上的分离光(在图3上作为监控光来示出)的聚焦位置的关系的图。如图3所示，分离光的变位量与照射激光的出射角度成比例地增加。此外，在图3的特性图上产生波纹，是因为通过将照射透镜二维驱动，在PSD受光面上的分离光上产生像差。

在图4中，示出PSD600的构造。此外，图4是表示在图1中将PSD600从Y轴方向观察时的构造图。

如图4所示，PSD600成为：在N型高电阻硅基板的表面上，形成了将受光面和电阻层兼顾的P型低电阻层的构造。在电阻层表面上，形成着：电极X1、X2，其用于将图1的X方向中的光电流输出；和电极Y1、Y2，其用于将图1的Y方向中的光电流输出。而且，在背面侧上形成有共同电极。

如果在受光面上分离光被聚焦，则在聚焦位置上产生与光通量成比例的电荷。该电荷作为光电流到达于电阻层，反比于到各电极的距离而被分割，从电极X1、X2、Y1、Y2输出。在此，从电极X1、X2、Y1、Y2输出的电流，具有反比于从分离光的聚焦位置到各电极的距离而被分割的大小。由此，以从电极X1、X2、Y1、Y2输出的电流值为基准，能检测出受光面上的聚焦位置。

图5A是表示PSD600的有效受光面的图。再有，图5B是表示以从电极X1、X2、Y1、Y2输出的电流为基准在PSD信号处理电路60上生成的位置检测电压、和在有效受光面上的分离光的聚焦位置的关系图。此外，在图5A中将有效受光面设为正方形。再有，在图5B中，将有效受光面的中心位置作为基准位置(0位置)，表示相对基准位置的聚焦位置的X方向及Y方向的变位量和输出电压的关系。

所述PSD信号处理电路60，以从电极X1、X2、Y1、Y2输出的电流为基准，生成与聚焦位置的X方向变位量对应的电压Xout、和与Y方向变位量对应的电压Yout，通过ADC70输出于DSP控制电路10。DSP控制电路10，从输入的电压Xout和Yout将聚焦位置的X方向变位量和Y方向变位量检测出。

参照图6A、B、C，对本实施例中的扫描动作进行说明。

如图6A所示，将在光束照射装置的前方空间上设定的目标区域分割成矩阵状时，照射激光，以将全部的矩阵轮流地照射的方式进行扫描。在此，矩阵的扫描顺序能任意设定。例如，如图6B所示，能设定为从左上边的矩阵位置依次，以使每一线进行扫描。另外，扫描轨道(扫描顺序)，如所述，由DSP控制电路10内的扫描表格规定。

如图6B那样进行扫描时，在PSD600的受光面上的分离光的聚焦位置，沿图6C所示的轨道移动。在此，图6C的轨道，与图6B的扫描轨道一一对应。从而，能从图6C的轨道上的聚焦位置将照射激光的扫描位置识别。此外，这时，图6C的轨道，如所述，则成为顺从于DSP控制电路10内的轨道表格的轨道。

在光束照射装置中，沿图6B所示的扫描轨道照射激光进行扫描是最理想的。但是，通常，因为对于光束照射装置不期望的振动或外部干扰等被附加，所以照射激光的扫描位置从期望的扫描轨道偏离。这时，根据涉及的扫描位置的偏离，在有效受光面上的分离光的聚焦位置也从图6C所示的轨道偏离。

图7是表示在有效受光面上的分离光的检测点(spot)轨道的一个示例的图。这时，DSP控制电路10，如所述，以将分离光的聚焦位置牵引到目标轨道，向执行元件驱动电路40供给随动系统(servo)信号。

现在，分离光的聚焦位置在P(x，y)；这时，在目标轨道上应该有的聚焦位置为P′(x′，y′)。在此，目标轨道上的聚焦位置P′(x′，y′)，从DSP控制电路10内所设定的轨道表格取得。

这时，DSP控制电路10，以P(x，y)和P′(x′，y′)为基准，运算Ex＝x-x′和Ey＝y-y′；以运算结果为基准，以使Ex＝0、Ey＝0，向执行元件驱动电路40供给随动系统信号。由此，照射激光的扫描位置，被引回到在该定时(timing)中的扫描轨道上应该有的扫描位置方向。与此对应，分离光的聚焦位置，也被引回到在该定时(timing)中的目标轨道上应该有的聚焦位置P′(x′，y′)方向。通过涉及的随动系统动作，照射激光被扫描以追随于期望的扫描轨道。

这样在将随动系统工作的同时而进行扫描动作之间，DSP控制电路10，如所述，监视分离光的聚焦位置，是否到达作为用于实施障碍物检测或距离检测等的位置而预先设定的位置。因此，聚焦位置在到达了发光点的定时，将半导体激光器100的出射功率设定为仅在一定期间脉冲状地高强度Pwb。

在此，聚焦位置是否已到达发光点的判别，是通过聚焦位置和发光点之间的距离差比预先设定的距离差变小来执行的。由此，即使聚焦位置从目标轨道多少有一点偏离，在期望的聚焦位置近旁，也能进行高功率的发光。

在图8中，示出扫描动作时的流程图。如果在S101上开始扫描动作，则在S102上出射来自半导体激光器100的低功率(Pwa)激光。此后，在S103上照射激光的照射位置朝原位置(home position)移动。此外，原位置，例如，在图6B所示的矩阵中、设定为在左端且在上下方向位于中央的矩阵位置。再有，在S104上相对于照射激光的轨道随动系统为接通(ON)后，在S105上开始扫描动作。

接着，在S106上判别扫描位置已到达发光点。如果没有到达发光点，在S108上判别扫描动作已结束后，返回S105；在轨道随动系统接通的状态下执行持续扫描动作。另一方面，在扫描位置到达发光点的情况下，在S107上半导体激光器100的出射激光功率被设定为仅在一定期间脉冲状的高功率Pwb，高功率的照射激光在目标区域上进行照射。此时，通过受光来自目标区域的反射光，在搭载该光束照射装置的检测器中，进行障碍物测定或距离测定等的处理。

然后，在S108上判别扫描动作是否已结束；如果未结束，返回S105；重复所述的扫描动作(通过低功率Pwa)。另一方面，如果扫描动作结束，在S109上轨道随动系统为断开(OFF)后，在S110上半导体激光器则为断开。此外，在扫描动作期间，实施所述图7所示的扫描位置的牵引控制。

如以上，根据本发明，即使照射激光的扫描位置从期望的扫描轨道偏离，也能将其顺利地引回到该扫描轨道。由此，即使在不期望的振动或外部干扰附加于光束照射装置的情况下，也能实现稳定的扫描动作。

此外，本发明并非限定于所述实施方式，不用说是可变更为其他种种方式的。

例如，在所述实施方式中，如参照图7已说明的那样，虽然将分离光的聚焦位置P(x，y)以使牵引到该定时中的目标轨道上应该有的聚焦位置P′(x′，y′)而使随动系统工作，但在其他的随动处理中，也能将分离光的聚焦位置牵引到目标轨道上。例如，如图9所示，也能牵引到比该定时经过仅ΔT的定时中的目标轨道上应该有的聚焦位置P′(xa′，ya′)。这时，DSP控制电路10，以P(x，y)和P′(xa′，ya′)为基准，将Ex＝x-xa′和Ey＝y-ya′进行运算；以运算结果为基准，以保持Ex＝0和Ey＝0，向传动驱动电路40供给随动系统信号。这样，能将激光的扫描位置朝下一个预定的扫描位置顺利地牵引，能实现有效地扫描动作。

另外，在上述中，在光束照射装置上附加了无法想象大小的振动或外部干扰的情况下，有可能引起随动系统偏离产生而激光的扫描位置从期望的扫描位置较大地偏离的情况。这样的情况下，例如，图6B的扫描方式中，将扫描位置在随动偏离产生时返回到扫描途中的线的前头位置，也可从该位置将以后的扫描处理继续进行。这时，在该线上的发光点上，对于通过随动偏离前的扫描而来自光功率激光的发光动作已经结束的情况，也可以使再一次的高功率发光省略。

此外，将振动或外部干扰进行预测，如果兼作所谓的外部干扰观察器(observer)而适用，则能将照射激光的轨道追随更加顺利地进行。这时，即使在无法想象大小的振动或外部干扰在光束照射装置上附加的情况下，能有效地抑制随动系统偏离的产生。

再有，所述实施的方式中，虽然以使照射透镜在图2的y-z平面上变位，但也可在垂直于x方向上通过将透镜倾斜而使光束扫描。

再有，在所述实施的方式中，虽然利用光束分离器400而以使照射激光的一部分引导至PSD600，但代替光束分离器400而利用不附带反射防止模式(code)的玻璃，也能将照射激光的一部分引导至PSD600。通常，PSD600，即使在该程度的强度下也可输出对位置检测充分的信号。

此外，本发明的实施方式，只要在本发明所述的技术思想的范围内，适宜的、各种各样的变更是可能的。

Claims (12)

1、一种光束照射装置，其中具有：

光源，其将激光出射；

透镜，其将从该光源出射的激光朝目标区域照射；

变位机构，其使所述透镜至少朝垂直于所述激光的光轴的方向变位；

扫描机构，其驱动所述变位机构而使所述激光在所述目标区域内扫描；

分离机构，其将已通过所述透镜的激光的一部分进行分离；

检测机构，其将通过分离机构分离的激光进行受光的同时检测出在受光面上的所述分离光的受光位置；和

修正机构，其基于通过该检测机构检测出的受光位置而修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

2、根据权利要求1所述的光束照射装置，其中进一步具有：

功率调整机构，其将所述扫描期间中的所述激光的出射功率作为第1强度进行设定的同时，在由所述检测机构检测出的受光位置达到与所述目标区域内的特定位置对应的位置时，使所述激光的出射功率变化到与所述第1强度相异的强度。

3、根据权利要求2所述的光束照射装置，其中：

所述功率调整机构，在由所述检测机构检测出的受光位置到达与所述目标区域内的特定位置相对应的位置时，使所述激光的出射功率的强度以脉冲状地增加。

4、根据权利要求3所述的光束照射装置，其中：

所述修正机构，在使所述激光沿期望的扫描轨道扫描时，保持在所述受光面上呈现的所述分离光的受光位置的移动轨迹作为基准移动轨迹，将该基准移动轨迹和由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置进行比较，以使该检测出的受光位置靠近所述基准移动轨迹的方向，来修正激光的扫描位置。

5、根据权利要求4所述的光束照射装置，其中：

所述修正机构，使在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近该扫描定时Tn中的所述基准移动轨迹上的受光位置的方式修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

6、根据权利要求4所述的光束照射装置，其中：

所述修正机构，在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近在比该扫描定时Tn行进了仅ΔT期间的扫描定时Tn+ΔT中的所述校正移动轨迹上的受光位置的方式修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

7、所述的光束照射装置中，其中具有：

光源，其将激光出射；

透镜，其将从所述光源出射的激光朝目标区域照射；

变位机构，其使所述透镜至少朝垂直于所述激光的光轴的方向变位；

扫描机构，其驱动所述变位机构而使所述激光在所述目标区域内扫描；

分离机构，其将已通过所述透镜的激光的一部分进行分离；

检测机构，其将通过分离机构分离的激光进行受光的同时检测出在受光面上的所述分离光的受光位置；和

修正机构，其基于通过该检测机构检测出的受光位置而修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

8、根据权利要求7所述的光束照射装置，其中进一步具有：

功率调整机构，其将所述扫描期间中的所述激光的出射功率作为第1强度进行设定的同时，在由所述检测机构检测出的受光位置达到与所述目标区域内的特定位置对应的位置时，使所述激光的出射功率变化到与所述第1强度相异的强度。

9、根据权利要求8所述的光束照射装置，其中：

所述功率调整机构，由所述检测机构检测出的受光位置到达与所述目标区域内的特定位置相对应的位置时，使所述激光的出射功率的强度以脉冲状地增加。

10、根据权利要求7、8或9所述的光束照射装置，其中：

所述修正控制电路，在使所述激光沿期望的扫描轨道扫描时，保持在所述受光面上呈现的所述分离光的受光位置的移动轨迹作为基准移动轨迹，将该基准移动轨迹和由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置进行比较，以使该检测出的受光位置靠近所述基准移动轨迹的方向的方式修正激光的扫描位置。

11、根据权利要求10所述的光束照射装置，其中：

所述修正控制电路，在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近该扫描定时Tn中的所述基准移动轨迹上的受光位置的方式修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

12、根据权利要求10所述的光束照射装置，其中：

所述修正控制电路，在扫描定时Tn中的由所述检测机构实际上检测出的所述分离光的受光位置，以靠近在比该扫描定时Tn行进了仅ΔT期间的扫描定时Tn+ΔT中的所述校正移动轨迹上的受光位置的方式修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。

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