JP2006284196A - ビーム照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体レーザ100からのレーザ光は、レンズアクチュエータ300に支持された照射レンズに入射される。照射レンズを通過したレーザ光は、レンズアクチュエータ300の駆動に応じて、Y−Z平面方向に出射角度が変化する。これにより、目標領域におけるレーザ光のスキャンが行われる。このとき、DSP制御回路10は、レーザ光が目標照射領域に一定間隔で照射されるよう、アクチュエータ駆動回路40から正弦波による制御信号を出力するよう制御し、前記制御信号に対応するタイミングにてレーザ光を照射するようレーザ駆動回路を制御する。
【選択図】 図1
Description
(実施例1)
まず、図1に実施の形態に係るビーム照射装置の構成を示す。図示の如く、ビーム照射装置は、DSP(Digital Signal Processor)制御回路10と、DAC(Digital Analog
Converter)20と、レーザ駆動回路30と、アクチュエータ駆動回路40と、ビーム照射ヘッド50を備えている。
(実施例2)
本実施形態に係るビーム照射装置は、半導体レーザ100から出射されたレーザ光をモニタし、目標領域との差分を検出し、この結果に基づいて出射レーザ光を補正する。
かかるビーム照射装置の構成を図8に示す。同図が示すように、実施例1の構成に加えて、PSD(Position Sensitive Detector)信号処理回路60と、ADC(Analog Digital Converter)70を備えている。
P’(x',y')であるとする。ここで、目標軌道上の収束位置P’(x',y')は、DSP制御回路10内に設定された軌道テーブルから取得される。具体的には、照射レーザ光のスキャン位置に対応する収束位置が軌道テーブルから取得される。
Ey=y−y’を演算し、演算結果をもとに、Ex=0、Ey=0になるよう、アクチュエ
ータ駆動回路40にサーボ信号を供給する。これにより、照射レーザ光のスキャン位置は、当該タイミングにおいてスキャン軌道上にあるべきスキャン位置方向に引き戻される。これに応じて、分離光の収束位置も、当該タイミングにおいて目標軌道上にあるべき収束位置P’(x',y')の方向に引き込まれる。かかるサーボ動作によって、照射レーザ光は所期のスキャン軌道に追従するようスキャンされる。
Ex=0、Ey=0になるよう、アクチュエータ駆動回路40にサーボ信号を供給する。こうすると、照射レーザ光のスキャン位置を次に予定されているスキャン位置に円滑に引き込むことができ、効率的なスキャン動作を実現することができる。
30 レーザ駆動回路
40 アクチュエータ駆動回路
50 ビーム照射ヘッド
100 半導体レーザ
300 レンズアクチュエータ
301 照射レンズ
Claims (10)
- レーザ光を出射する光源と、
目標領域に前記レーザ光が所定の間隔で照射されるように前記光源を制御する光源制御手段と、
この光源から出射されたレーザ光を目標領域に向けて照射するレンズと、
このレンズを少なくとも前記レーザ光の光軸に直交する方向に変位させる変位手段と、
前記変位手段を駆動して前記レーザ光を前記目標領域内にて走査させる走査手段とを有する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 前記走査手段は、前記レーザ光が目標領域内を水平方向に走査するよう前記変位手段を駆動し、
前記目標領域を水平方向に走査している間、前記光源制御手段は、この目標領域に対して所定の間隔でレーザ光が照射されるように制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のビーム照射装置。 - 前記所定の間隔は、前記目標領域内を一定の大きさに分割したときのブロック単位である、
ことを特徴とする請求項1あるいは2に記載のビーム照射装置。 - 前記所定の間隔は、一定の時間間隔である、
ことを特徴とする請求項1あるいは2に記載のビーム照射装置。 - 前記変位手段は、前記走査手段からの所定の信号に基づいて駆動される
ことを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のビーム照射装置。 - 前記所定の信号は、正弦波信号である、
ことを特徴とする請求項5に記載のビーム照射装置。 - 前記所定の信号は、矩形波信号である、
ことを特徴とする請求項5に記載のビーム照射装置。 - 前記所定の信号は、のこぎり波信号である、
ことを特徴とする請求項5に記載のビーム照射装置。 - 前記所定の信号は、山形波信号である、
ことを特徴とする請求項5に記載のビーム照射装置。 - さらに、
前記レンズを通過したレーザ光の一部を分離する分離手段と、
前記分離手段によって分離されたレーザ光を受光するとともに受光面上における前記分離光の受光位置を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された受光位置に基づいて前記目標領域に照射されるレーザ光の走査位置を補正する補正手段とを有する、
ことを特徴とする請求項1ないし9の何れかに記載のビーム照射装置。
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