CN1806934A - 缝隙嘴 - Google Patents

缝隙嘴 Download PDF

Info

Publication number
CN1806934A
CN1806934A CNA200610006134XA CN200610006134A CN1806934A CN 1806934 A CN1806934 A CN 1806934A CN A200610006134X A CNA200610006134X A CN A200610006134XA CN 200610006134 A CN200610006134 A CN 200610006134A CN 1806934 A CN1806934 A CN 1806934A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mouth
reserving portion
coating liquid
halfbody
mentioned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA200610006134XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN1806934B (zh
Inventor
高濑真治
山口和伸
中西达
楫间淳生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ameco Technology Co ltd
Process Equipment Business Division Preparation Co.,Ltd.
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd filed Critical Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Publication of CN1806934A publication Critical patent/CN1806934A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1806934B publication Critical patent/CN1806934B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/044—Slits, i.e. narrow openings defined by two straight and parallel lips; Elongated outlets for producing very wide discharges, e.g. fluid curtains
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0283—Flat jet coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material is projected from the outlet as a cohesive flat jet in direction of the work

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

本发明提供一种缝隙嘴，该缝隙嘴可使在基板上形成的涂膜厚度均一。在嘴半体(1)的与嘴半体(2)相面对的面上形成有涂敷液的第1蓄留部(4)以及第2蓄留部(5)。第1蓄留部(4)按如下方式形成山形，即：宽度方向的中央部最高而两端变低，变得最高的中央部是与涂敷液供给孔(6)相连通的。此外，在变得最高的中央部上连通有排气孔(7)。在上述第1蓄留部(4)的下侧连续形成有第2蓄留部(5)，它的深度是以嘴半体(1)的厚度方向为基准而浅于上述第1蓄留部(4)。将该第2蓄留部(5)的下边设计成嘴半体(1)的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面(8)。

Description

缝隙嘴
技术领域
本发明涉及缝隙嘴，该缝隙嘴(slit nozzle)在基板表面上按一定的宽度对涂敷液进行涂敷。
背景技术
作为在玻璃基板等表面上对光致抗蚀剂等涂敷液进行涂敷的方法来说，有一种方法是，从通常的嘴向着基板表面滴下涂敷液，此后进行旋转以使厚度均一。然而，所涂敷的涂敷液的90％以上会飞溅而造成大量浪费。为此近来一直使用如下方法，即：使用缝隙嘴在基板上按一定的宽度对涂敷液进行涂敷，此后进行某种程度的旋转，从而使涂膜的厚度均一，或是使用缝隙嘴在基板上按一定的宽度对涂敷液进行涂敷，于是结束涂敷工序。
为了降低上述涂敷液的浪费，作为条件就是要尽可能不使基板旋转而让涂膜的厚度均一。为此，有必要使在缝隙嘴上，沿着缝隙状排出口从排出口排出的涂敷液的量均一。为了确保该均一性，在现有技术中提出了各种提案。
在特许文献1中提出了如下提案，即：在构成缝隙嘴的一方的半体上，沿着上下相间隔地设置2个涂敷液蓄留部，在这2个涂敷液蓄留部的连通部分内，相当于缝隙嘴的宽度方向的中央部的地方设置遮断部，从而可确保涂敷量的均一性。
在特许文献2中提出了如下提案，即：在槽(缝隙状流道)内沿着涂敷液的流向分割成2层槽状单体，使各槽状单体的开口互异以控制涂敷液的压力损失，这样就可确保涂敷量的均一性。
在特许文献3中提出了如下提案，即：在构成缝隙嘴的一方的半体上设置涂敷液的蓄留部，在该蓄留部的下侧连续形成整压部，经该整压部将涂敷液供给到排出口，从而使涂敷液沿着排出口均一排出。
在特许文献4中提出了如下提案，即：在构成缝隙嘴的一方的半体上设置涂敷液的蓄留部，在该蓄留部中配置嘴内流道形成用的部件，从而使涂敷量达到均一。
(特许文献1)特开平7-326564号公报
(特许文献2)特开2000-051777号公报
(特许文献3)特开2002-086045号公报
(特许文献4)特开2002-370057号公报
如特许文献2及特许文献3中公开的缝隙嘴所述，在蓄留部与其下侧处设置整压部，这样就不能充分地进行某种程度的均一涂敷。
此外，如特许文献1及特许文献4中公开的缝隙嘴所述，蓄留部是山形，在蓄留部的下方设有遮断部或是在蓄留部内配置嘴内流道形成用的部件，此时如图6所示，在宽度方向的中央部的涂敷液的流下量变少，偏离中央部的两侧处的涂敷液的流下量变多，而且两端部的涂敷液的流下量还有变少的趋势。
发明内容
本发明为了解决上述课题而提供一种缝隙嘴，该缝隙嘴的结构是这样的：在2个嘴半体的结合状态下，该缝隙嘴形成向下方开口的缝隙状排出口，在上述2个嘴半体中的一方上形成涂敷液的第1蓄留部，在与该第1蓄留部相连续的下侧形成第2蓄留部，该第2蓄留部以嘴半体的厚度方向为基准而浅于上述第1蓄留部，在与该第2蓄留部相连续的下侧设置平坦面，在平坦面与另一方的嘴半体之间形成下端为缝隙状排出口的开口，上述第1蓄留部按如下方式形成山形，即：与形成在嘴半体的宽度方向的中央部上的涂敷液供给孔相连通的地方最高而两端变低，此外，上述第2蓄留部的下边形成嘴半体的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面。
另外，优选的情况是，以上述V字状倾斜面的两端的始点，作为当上述第2蓄留部的下边为直线状时涂敷液的流下量变得最多的点。
通过采用上述结构，可使沿着排出口的宽度方向从缝隙状排出口流下的涂敷液的量成为均一。因而在基板上涂敷的涂敷液的厚度成为均一，所以可实现制品成品率的提高。
如上述说明所示，通过本发明所述的缝隙嘴，可使从沿嘴的宽度方向延伸的缝隙状排出口流出的涂敷液的流下量，无论在何处都会变得相等，从而使在基板上形成的涂膜的厚度成为均一。
特别是可将光致抗蚀剂的膜厚准确控制在10～20μm的范围内。例如，应用集成电路形成技术，可在IC图形面上容易地形成高度准确的凸起(突起状电极)。此外，也可利用在将替代金属丝连接的金属柱设置在集成电路片上的作业中。
附图说明
图1是本发明所述的缝隙嘴整体的立体图。
图2是沿图1的A-A线的截面图。
图3是沿图2的B-B的向视方向图。
图4是形成蓄留部的嘴半体的截面放大图。
图5是嘴下端部的截面放大图。
图6是已有缝隙嘴的不良状态的说明图。
符号说明：
1、2嘴半体
1a、2a嘴半体的下部倾斜面
3螺栓
4第1蓄留部
5第2蓄留部
6涂敷液供给孔
7排气孔
8V字状倾斜面
8a倾斜面的端部
9平坦面
10缝隙状排出口
11、12端板
具体实施方式
下面，基于附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明所述的缝隙嘴整体的立体图，图2是沿图1的A-A线的截面图，图3是沿图2的B-B的向视方向图，图4是形成蓄留部的嘴半体的截面放大图，图5是嘴下端部的截面放大图。
缝隙嘴是按如下方式构成的，即：对接左右的嘴半体1、2，用螺栓3将它们结合成一体，一方的嘴半体1的与嘴半体2相面对的面上形成有涂敷液的第1蓄留部4以及第2蓄留部5。
第1蓄留部4被设置在穿到嘴半体1的厚度方向(图2的左右方向)的大约将近一半的深度的地方，它的截面形状是：宽度相同，倾斜而成并随着深度不断变深而变得越来越高。此外，如图3所示，在第1蓄留部4的嘴半体1的与嘴半体2相面对的面上设有开口部分，该开口部分形成为宽度方向(图3的左右方向)的中央部最高、两端变低的山形形状，变得最高的中央部处是与涂敷液供给孔6相连通的。此外，在变得最高的中央部上连通有排气孔7。
在上述第1蓄留部4的下侧连续形成第2蓄留部5，它的深度是以嘴半体1的厚度方向为基准而小于上述第1蓄留部4。将该第2蓄留部5的下边设计成为嘴半体1的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面8，形成的中央部比倾斜面8的两端8a、8a低0.5～3mm。
上述V字状倾斜面8的两端可以延伸到嘴的两端，但是在该实施例中，使倾斜面8的两端8a、8a从嘴的两端起位于内侧。具体而言，两端8a、8a是将根据作为现有技术的图6中所示的流下量的大小关系而得出的流下量变多的点，选定为当第2蓄留部5的下边为水平时涂敷液的流下量变得最多的点。这样就可使涂敷更加均一。
此外，在第2蓄留部5的下侧连续形成平坦面9，在该平坦面9与另一方的嘴半体2之间形成开口，在该开口的下端形成缝隙状排出口10。
此外，为了防止从第1蓄留部4、第2蓄留部5以及开口漏出涂敷液，可在嘴的两端安装端板11、12，此外，在设定嘴半体1、2的下部倾斜面1a、2a的角度时，与水平面所成的夹角大约为30～60°。
如上所述，由于第1蓄留部4是山形，所以从涂敷液供给孔6流入第1蓄留部4中的涂敷液，也就是现有技术中常集中在中央部的涂敷液会均等分配在左右，而且流入第2蓄留部5中。
若该第2蓄留部5的下边为水平时，则有流下量在两侧比其它地方变多的倾向，然而将第2蓄留部5的下边做成V字状倾斜面后，这样就可使流下量均一。

Claims (2)

1、一种缝隙嘴，在2个嘴半体的结合状态下，该缝隙嘴形成向下方开口的缝隙状排出口，其特征在于，在上述2个嘴半体中的一方上形成涂敷液的第1蓄留部，在与该第1蓄留部相连续的下侧形成第2蓄留部，该第2蓄留部以嘴半体的厚度方向为基准而浅于上述第1蓄留部，在与该第2蓄留部相连续的下侧设置平坦面，在平坦面与另一方的嘴半体之间形成下端为缝隙状排出口的开口，上述第1蓄留部按如下方式形成山形，即：与形成在嘴半体的宽度方向的中央部上的涂敷液供给孔相连通的地方最高而两端变低，此外，上述第2蓄留部的下边形成嘴半体的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面。
2、如权利要求1所述的缝隙嘴，其特征在于，以上述V字状倾斜面的两端的始点，作为当上述第2蓄留部的下边为直线状时涂敷液的流下量变得最多的点。
CN200610006134XA 2005-01-19 2006-01-19 缝隙嘴 Active CN1806934B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005012000 2005-01-19
JP2005-012000 2005-01-19
JP2005012000A JP4619139B2 (ja) 2005-01-19 2005-01-19 スリットノズル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1806934A true CN1806934A (zh) 2006-07-26
CN1806934B CN1806934B (zh) 2010-08-11

Family

ID=36839134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200610006134XA Active CN1806934B (zh) 2005-01-19 2006-01-19 缝隙嘴

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4619139B2 (zh)
KR (1) KR101223766B1 (zh)
CN (1) CN1806934B (zh)
TW (1) TWI344863B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101199961B (zh) * 2006-12-12 2011-02-09 东京应化工业株式会社 狭缝喷嘴
CN104174547A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 三星Sdi株式会社 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的狭缝涂覆设备
CN104174548A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 三星Sdi株式会社 用于确定狭缝喷嘴的形状的设备及方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100867893B1 (ko) * 2007-08-10 2008-11-10 주식회사 디엠에스 슬릿 노즐 및 이 노즐을 구비한 코팅 장치
KR101357979B1 (ko) * 2012-02-11 2014-02-05 이인영 수지코팅막 성형장치의 코팅액 균일 분사노즐

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5234330A (en) * 1991-06-14 1993-08-10 Eastman Kodak Company Dies
JPH0550004A (ja) * 1991-08-24 1993-03-02 Hitachi Maxell Ltd 塗布液の塗布方法および塗布装置
JP4458385B2 (ja) * 2000-01-26 2010-04-28 大日本印刷株式会社 塗布ヘッド
JP2002086045A (ja) * 2000-09-20 2002-03-26 Tatsumo Kk 液状物塗布装置
JP3838990B2 (ja) * 2003-04-14 2006-10-25 東京応化工業株式会社 スリットノズル及びそのスリットノズルを用いた処理液供給装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101199961B (zh) * 2006-12-12 2011-02-09 东京应化工业株式会社 狭缝喷嘴
CN104174547A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 三星Sdi株式会社 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的狭缝涂覆设备
CN104174548A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 三星Sdi株式会社 用于确定狭缝喷嘴的形状的设备及方法
CN104174547B (zh) * 2013-05-24 2018-05-11 三星Sdi株式会社 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的狭缝涂覆设备

Also Published As

Publication number Publication date
TW200630166A (en) 2006-09-01
JP4619139B2 (ja) 2011-01-26
KR20060084378A (ko) 2006-07-24
CN1806934B (zh) 2010-08-11
JP2006198501A (ja) 2006-08-03
KR101223766B1 (ko) 2013-01-17
TWI344863B (en) 2011-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1806934A (zh) 缝隙嘴
JP5202838B2 (ja) スリットノズル
JP5514764B2 (ja) スクリーン印刷方法及びその装置
TWI513593B (zh) 網印網版
CN1143906C (zh) 在衬底上淀积材料层的工艺
US20170342583A1 (en) Dynamic modulation of cross flow manifold during elecroplating
US20010027990A1 (en) Electrically conductive elevation shaping tool
CN101038898A (zh) 半导体器件及其制造方法
JP2011235519A (ja) スクリーン印刷方法及びその装置
JP2002097598A (ja) 電解メッキ装置
US6695962B2 (en) Anode designs for planar metal deposits with enhanced electrolyte solution blending and process of supplying electrolyte solution using such designs
CN1087198C (zh) 基体涂漆或涂膜用的装置和方法
JP4960191B2 (ja) 電子部品の実装方法及び装置
US7586118B2 (en) Micro device and manufacturing method thereof
TW200808461A (en) Slit coater
JP5099989B2 (ja) インクの塗布方法
CN1541779A (zh) 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置
JP3868298B2 (ja) 配線形成方法、配線形成装置および配線基板
JP7065706B2 (ja) 塗布器及び塗布方法
TW508777B (en) Stencil printing apparatus
CN112822844B (zh) 一种电路板及其制作方法
JP2005058869A (ja) 薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置
JP2008000925A (ja) はんだ印刷用スキージ、はんだ印刷機及びはんだ印刷方法
JPH0982735A (ja) スクリーンマスク
JP2006181448A (ja) ダイヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20230529

Address after: Kanagawa, Japan

Patentee after: Process Equipment Business Division Preparation Co.,Ltd.

Address before: Kawasaki, Japan

Patentee before: TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD.

Effective date of registration: 20230529

Address after: Ibaraki

Patentee after: Ameco Technology Co.,Ltd.

Address before: Kanagawa, Japan

Patentee before: Process Equipment Business Division Preparation Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right