CN1541779A - 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。本发明涉及按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴，前述狭缝喷嘴1采用左右半体(2)、(3)合并构成，其中一边的材质为金属材料、另一边的材质为树脂材料，另外具有该狭缝喷嘴的处理液供给装置，在调温的处理液的循环回路(8)的设定部位设置前述狭缝喷嘴。

Description

狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置

[技术领域]

本发明涉及左右半体材质不同的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。

[背景技术]

过去，众知喷嘴本身开设定宽度的涂布液喷出口，通过对被处理物相对地移动喷嘴而在被处理物表面按设定宽度涂布涂布液的狭缝喷嘴。若使用有这种设定宽度的涂布液喷出口的狭缝喷嘴，则不浪费涂布液且有效地进行涂布。

然而，随着被处理物的大型化，一条狭缝喷嘴其供给时间及供给量有限制。例如，处理液从供给开始到供给结束所用时间太长时产生处理不均匀。这在较厚地供给处理液时也引起同样的现象。

因此，提出了较厚地供给处理液时，使用两个左右半体部件合并的涂布头(即、狭缝喷嘴)，在涂布对象物上涂布2次涂布液的方法。(特许文献1)

另外，提出了为了不仅涂膜的中央部分、而且在限定涂膜端部的窄范围内不产生处理不均而形成所设定的膜厚轮廓形状，通过使用两个狭缝宽度不同的左右半体的部件合并的涂头模头(即，狭缝喷嘴)，横向涂布液的涂布位置移动后涂布面积不同，结果可形成横向的膜厚轮廓。(特许文献2)

又，提出了由两个左右半体部件合并的涂布模头同时在被涂布部件上涂布涂布液使涂布器喷出的涂布液不在被涂布部件上重叠。(特许文献3)

[特许文献1]

特许第3236703号(第4页-第6页，图9)

[特许文献2]

特开平2000-102759号公报(第5页-第10页，图4)

[特许文献3]

特开平2001-907号公报(第4页-第8页，图2)

然而，因实际喷出处理液的狭缝喷嘴的喷出口及喷出宽度相当精密，故狭缝喷嘴使用硬质不锈钢或SUS这种金属材料高精度地加工制成。这种加工耗用相当多的时间和劳力，价格很高。

此外，即使无止境地提高加工精确度，但因为扩宽狭缝喷嘴的宽度也仅在合并的面形成一部分极微小的间隙，由该间隙引起毛细管现象渗入处理液。这种极微小的处理液固化后成为粒子等。

[发明内容]

本发明是鉴于上述的问题而完成的研究，其目的在于提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。

为了解决上述课题本发明的狭缝喷嘴采用将左右的半体合并构成，其中一边的材质为金属材料，而另一边的材质为树脂材料。

这样，通过狭缝喷嘴一边的材质使用硬的材质(金属材料)，另一边的材质使用软的材质(树脂材料)，由于两者合并时软的材质紧贴向硬的材质，故不形成类似引起毛细管现象的间隙，同时由于不需要像过去的加工精度，因此也可以缩短加工所需要的时间。

另外，通过使用具有多个上述的左右不同材质构成的狭缝喷嘴的处理液供给装置，可以缩短处理液的供给时间，同时即使是厚的涂膜也可以在短时间内完成。

此外，通过在调温的处理液的循环回路上设置上述的左右不同材质构成的狭缝喷嘴，可以缩短处理液的供给时间，同时可以在短时间内将处理液调节到设定的温度。

[附图的简单说明]

图1(A)及(B)表示本发明的狭缝喷嘴的侧视图及放大截面图。

图2(A)及(B)表示使用多个本发明的狭缝喷嘴供给处理液的简图。

图3表示作用本发明的狭缝喷嘴的直接调温简图。

图4表示使用狭缝喷嘴的间接调温简图。

图5表示采用设定温度为23℃的直接调温与间接调温的循环型配管的温度分布。

图6表示采用设定温度为20℃的直接调温与间接调温的循环型配管的温度分布。

[符号说明]

1，1’...狭缝喷嘴、2...钛制的左半体、3...PPS制的右半体、4...凹部、5...平面、6...处理液、7...基板、8...循环型配管、9...贮槽、10...泵、11...温度调节器、12...阀。

[发明实施方案]

以下根据附图说明本发明的实施方案。这里，图1(A)、(B)是本发明的狭缝喷嘴的侧视图及放大截面图，图2(A)、(B)是使用多个本发明的狭缝喷嘴，供给处理液的简略图，图3是具有本发明的狭缝喷嘴及温度调节器的直接调温的简图。图4是过去装置的间接调温的简图。

如图1所示，狭缝喷嘴1是钛制的左半体2与PPS(聚苯硫醚)制的右半体3合并而构成，右半体3上设有形成集流腔(横向流路)用的凹部4，和形成比该凹部4底面浅的纵向流路的平面5。再者，左半体2也可以是不锈钢制。

这样，通过使左半体2为金属系，使右半体3为树脂系，由于柔软的树脂系无阻力地紧贴于硬质的金属系，故不产生间隙也不引起毛细管现象。另外，由于图1的圆C表示的对齐面部分可以密合，因此也可以使左半体2为树脂系，使右半体3为金属系，在金属系侧形成集流腔。

过去，狭缝喷嘴因必须严格的精确度，故使用材质比较硬的不锈钢等的金属材料。将左右半体的部件合并形成这种构成。这种场合为了形成狭缝状的开口则要夹入垫片、或在半体的左右任何一边或者两边形成凹凸。但，图1的图C表示的部分，若彼此是金属不论精确度多高即使形成平面，因喷嘴的宽度其横向长，故从该对齐面产生微小的间隙、处理液因毛细管现象而渗出，但采用本发明的构成便消除这种不利现象。

如图2(A)所示，使用两个狭缝喷嘴1、1’时，对大型基板7不用延长处理液6的供给时间便可解决。即，若按相同的膜厚同时地从基板7的不同位置供给处理液6，则即使基板大型化其供给时间也相同。例如，通过使1100×1300mm以上的大型基板的供给开始点为2处，可以采用与550×650mm的小型基板相同的时间供给处理液6。

又，如图2(B)所示，使用两个狭缝喷嘴1、1’，从基板7的相同位置开始供给处理液6时，用相同的时间供给大量的处理液6。即，与最初用一条狭缝喷嘴厚涂相比，若使用多个狭缝喷嘴多层重叠，则即使厚膜不用延长供给时间便可完成。

图3表示有狭缝喷嘴1的循环型配管8。在循环型配管8的途中设置贮槽9、泵10、温度调节器11及阀12。而，图4表示有狭缝喷嘴1的一个方向流动型配管13。在该一个方向流动型配管13的途中设置贮槽9、泵10、温度调节器11及阀12。

图3表示使用温度调节器11调温到设定温度的处理液6经循环型配管8循环的状况。处理液6从温度调节器11调温到23℃后，经循环型配管8进行循环，而返回到温度调节器11时，即使温度比23℃低若干，由于再调温到23℃进行循环，所以如图5及表1所示，在短时间内循环型配管8整体达到23℃。这就是所谓直接调温。

图4表示使用温度调节器11调温到设定温度的处理液6通过一个方向流动型配管13供给狭缝喷嘴1的状况。从贮槽9通过泵10的处理液6，经温度调节器11调温到23℃，到达狭缝喷嘴1时低于23℃。由于这样地相继供给新的处理液6，所以如图5及表1所示，即使花费时间一个方向流动型配管13无论如何也达不到23℃，这就是所谓间接调温。

[表1]

时间	0	1	2	3	4	5	6
								直接	20.0	20.2	20.5	22.0	22.5	22.8	23.0
间接	20.0	20.1	20.5	20.8	20.9	21.0	21.2

同样地，如图6及表2所示，即使设定20℃为目标时，也再现上述的直接调温及间接调温的现象。

[表2]

时间	0	1	2	3	4	5	6
								直接	23.0	22.5	22.5	21.5	20.8	20.4	20.1
间接	23.0	22.8	22.5	22.0	22.0	21.9	21.6

如以上所说明的那样，根据本发明，通过狭缝喷嘴一边的材质使用硬材质(金属材料)，另一边材质使用软材质(树脂材料)，当两者合并时由于软材质一边紧贴向硬材质一边，故不形成引起毛细管现象的这种间隙，同时也可以缩短加工需要的时间。

另外，通过使用具有多个上述左右不同材质构成的狭缝喷嘴的处理液供给装置，可以缩短处理液的供给时间，同时即使是厚的涂膜也可以在短时间内完成。

此外，通过在调温的处理液循环回路的设定部位设置上述的左右不同材质构成的狭缝喷嘴，可以在短时间内把处理液调节到设定的温度。

Claims (3)

1.狭缝喷嘴，是按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴，其特征在于该狭缝喷嘴采用左右半体合并构成，一边半体的材质为金属材料，另一边半体的材质为树脂材料。

2.处理液供给装置，其特征在于是具有权利要求1所述的狭缝喷嘴的处理液供给装置，在调温的处理液的循环回路上设置前述狭缝喷嘴。

3.权利要求2所述的处理液供给装置，其特征在于该处理液供给装置具有多个前述狭缝喷嘴。

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