TWI286673B - Slit nozzle and apparatus for supplying treatment liquid using the same - Google Patents

Description

1286673 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於左右半體的材質不同的開縫式噴嘴及採 用該開縫式噴嘴的處理液供給裝置。 【先前技術】 在以往，已知在噴嘴自體使預定寬幅的塗佈液吐出口 開口，對於被處理物而利用相對性地移動噴嘴來在被處理 物表面以預定寬幅塗佈塗佈液的開縫式噴嘴。採用具有該 預定寬幅的塗佈液吐出口的開縫式噴嘴的話，沒有塗佈液 的浪費而且進行有效率性地塗佈。 可是，隨著被處理物的大型化，在一具的開縫式噴嘴 是具有其供給時間及供給量的界限。例如，當由處理液的 供給開始到供給結束所花費的時間過多時，就會產生處理 不均勻。此爲供給厚的處理液時也引起同樣的情形。 於是，在供給厚的處理液之情況，係採用兩個組合左 右半體的零件之塗佈頭（亦即，開縫式噴嘴），而記載有 對塗佈對象物塗佈有二次塗佈液。（專利文獻1 ) 另外，記載有不僅在塗膜的中央部份，爲了在被決定 了塗膜端部之短的範圍不產生處理不均勻，而形成預定的 膜厚輪廓形狀，因此藉由採用兩個組合了開縫的寬幅之相 異的左右半體之零件的塗佈模（亦即，開縫式噴嘴），在 寬幅方向的塗佈液之塗佈位置偏離而塗佈面積不同，可形 成在其結果寬幅方向的膜厚輪廓。（專利文獻2) (2) 1286673 而且’記載有由塗佈機所吐出的塗佈液以不在被塗佈 構件上重疊的方式由組合左右半體的兩個塗佈模同時地將 塗佈液塗佈在被塗佈構件上。（專利文獻3 ) 〔專利文獻1〕 日本特許第3236703號（第4頁〜第6頁、第9圖） 〔專利文獻2〕 日本特開平第2000-102759號公報（第5頁〜第10 頁、第4圖） 〔專利文獻3〕 日本特開平第2001 — 907號公報（第4頁〜第8頁、 第2圖） 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 可是，吐出有實際處理液的開縫式噴嘴的吐出口及吐 出寬幅是由於爲非常精密者，因此開縫式噴嘴的材質是很 精密地加工了所謂硬質的不鏽鋼或SUS之金屬材。在該 加工是必須花大量的時間與勞力，且爲高價。 而且，即使無極限且加工精度再高，由於開縫式噴嘴 的寬幅寬廣，因此在組合之面其中一部份存在有微小的間 隙，從此處引起毛細管現象而造成處理液滲入。一旦僅些 許的處理液固化時就成爲微粒（Particle )等的原因。 本發明是有鑒於上述問題而開發完成者’能簡單化開 縫式噴嘴的加工，而且提供不引起毛細管現象的開縫式噴 e (3) 1286673 嘴及採用該開縫式噴嘴的處理液供給裝置作爲其目的。 〔用以解決課題之手段〕 可解決上述課題的本案發明之開縫式噴嘴是組合左右 半體而構成，其中一方的材質爲金屬材，而另一方的材質 爲樹脂材。 如此，利用開縫式噴嘴的其中一方的材質是使用硬的 材質（金屬材），而另一方的材質是使用柔軟的材質（樹 脂材），在組合兩方時因爲柔軟的材質之側向硬的材質之 側密接，所以不形成如引起毛細管現象的間隙，並且因爲 不需要以往程度的加工精度，所以加工上所需要的時間也 可縮短。 另外，利用使用具備複數個由上述左右不同的材質所 組成的開縫式噴嘴之處理液供給裝置，來縮短處理液的供 給時間，並且即使厚的塗膜也可在短時間內完成。 而且，將由上述左右不同的材質所組成的開縫式噴嘴 利用設置在被調溫的處理液之循環路徑，來縮短處理液的 供給時間，並且可將處理液在短時間內調整到預定的溫度 【實施方式】 以下，依據添附圖面說明本發明的實施方式。此處， 第1圖（A) 、（B)是本案發明的開縫式噴嘴的立體圖 及擴大剖面圖，第2圖（A )、（ B )是採用複數個本案 -7- (4) 1286673 發明的開縫式噴嘴，而供給處理液的簡略圖，第3圖是具 備本案發明的開縫式噴嘴及溫度調整器的直接溫調的簡略 圖，第4圖是以往裝置的間接溫調之簡略圖。 如第1圖所示，開縫式噴嘴1是組合鈦製的左半體2 及聚苯硫（polyphenylene sulfide (PPS))製的右半體 3 而構成。在右半體3是設置有用來形成歧管（manifold) (橫方向流路）的凹部4、及較該凹部4底面形成還淺的 縱方向的流路之扁平面5。而且，左半體2即使是不鏽鋼 製也可。 如此，利用將左半體2作成金屬系，將右半體3作成 樹脂系，因爲柔軟的樹脂系沒有阻力而與硬質的金屬系密 接，所以不產生間隙而且也不引起毛細管現象。另外，因 爲第1圖的圓C所示的部份之接合面密接的話較佳，所以 即使將左半體2作成樹脂系，將右半體3作成金屬系，而 且在金屬系側形成歧管也可。 以往，開縫式噴嘴是爲了需要作成嚴密的精度，因此 使用比較硬的材質之不鏽鋼等的金屬材製成，以其結構組 合左右半體而形成。爲了形成該情況的開縫狀之開口而夾 有墊片、在半體的左右任一方或兩方裝設有凹凸。可是， 在第1圖的圓C所示的部份是金屬彼此即使有多良好的精 度之平面也由於噴嘴的寬幅在橫方向是長的，因此由其接 合面產生微小的間隙，處理液因爲毛細管現象而滲出，但 是利用本發明的構成，可解決該不利之缺點。 如第2圖（A )所示，在採用兩個開縫式噴嘴1、；!， -8 - (5) 1286673 而供給處理液6的情況，相對於大型基板7而不使處理液 6的供給時間拉長就可完成。亦即，由基板7的不同的位 置以同樣的膜厚同時地供給處理液6的話，基板即使大型 化所花費的時間也相同。例如，藉由將丨丨〇 〇 χ ；! 3 〇 〇 m m以 上的大型基板之供給開始點製作成2處所，而可與550x 6 5 0mm的小型基板以相同的時間來供給處理液6。 另外’如第2圖（B )所示，採用兩個開縫式噴嘴1 、1 ’而開始由基板7的同一位置供給處理液6的情況是調 節供給量，而以相同的時間供給大量的處理液6。亦即， 較從最初以一支開縫式噴嘴來塗厚，係以複數支開縫式噴 嘴來多層地重疊的話’即使厚膜也不使供給時間拉長就可 完成。 將具備開縫式噴嘴1的處理液之循環型配管8顯示於 第3圖。在循環型配管8的途中設置有槽9、泵1 0、溫度 調整器11、及閥體12。另外，在第4圖是顯示具備開縫 式噴嘴1的一方向通行型配管13。在該一方向通行型配 管13的途中設置有槽9、泵10、溫度調整器11、及閥體 12 ° 如此，以溫度調整器1 1來將被調溫到預定溫度的處 理液6循環在循環型配管8的圖示顯示於第3圖。處理液 6是由溫度調整器1 1調溫到23 °C，並在循環型配管8循 環，而且返回到溫度調整器Π之時是即使變得較2 3 °C稍 低，因爲再度調溫到2 3 °C並循環，所以如第5圖及表1 所示以短時間就使循環型配管8全體變爲23 °C。此爲所 -9- (6) 1286673 謂直接溫調。 另外，以溫度調整器1 1來將被調溫成預定溫度的處 理液6經由一方向通行型配管1 3而供給到開縫式噴嘴1 的圖示顯示於第4圖。由槽9經由泵1 0的處理液6是藉 由溫度調整器Π而被調溫到23 t，到達開縫式噴嘴1時 是較23 t低。因爲如此一次次供給有新的處理液6，所以 如第5圖及表1所示即使花費時間一方向通行型配管1 3 也無法達到23 °C。此爲所謂間接溫調。 〔表1〕 時間 0 1 2 3 4 5 6 直接 20.0 20.2 20.5 22.0 22.5 22.8 23.0 間接 20.0 20.1 20.5 20.8 20.9 2 1.0 2 1.2 同樣地，如第6圖及表2所示，即使將20 °c作爲目 標而設定的情況，也重顯了上述的直接溫調、及間接溫調 的現象。 〔表2〕 時間 0 1 2 3 4 5 6 直接 23.0 22.5 22.5 2 1.5 20.8 20.4 20.1 間接 23.0 22.8 22.5 22.0 22.0 2 1.9 2 1.6 〔發明效果〕 -10- (7) 1286673 如以上說明，根據本發明的話，利用開縫式噴嘴的其 中一方的材質是使用硬的材質（金屬材），另一方的材質 是使用柔軟的材質（樹脂材），而因爲在組合兩方時因爲 柔軟的材質之側向硬的材質之側密接，所以不形成如引起 毛細管現象的間隙，並且加工上所需要的時間也可縮短。 另外，利用使用具備複數個由上述左右不同的材質所 組成的開縫式噴嘴之處理液供給裝置，來縮短處理液的供 給時間，並且即使厚的塗膜也可在短時間內完成。 而且，將由上述左右不同的材質所組成的開縫式噴嘴 利用設置在被調溫的處理液之循環路徑的預定處所，可將 處理液在短時間內調整到預定的溫度。 明 說 單 簡 式 圖 第1圖（A)及（B)是本案發明的開縫式噴嘴之立 體圖及放大剖面圖。 第2圖（A)及（B)是採用複數個本案發明的開縫 式噴嘴而供給處理液的簡略圖。 第3圖是採用本案發明的開縫式噴嘴的直接溫調之簡 略圖。 第4圖是採用開縫式噴嘴的間接溫調之簡略圖。 第5圖是藉由將設定溫度設成23 °C的直接溫調及間 接溫調之循環型配管的溫度分布。 第6圖是藉由將設定溫度設成2(TC的直接溫調及間 接溫調之循環型配管的溫度分布。 -11 - (8) 1286673 〔主要元件符號說明〕 1、1 ’ ：開縫式噴嘴 ’ 2 :鈦製的左半體（半體） 3 : PPS製的右半體（半體） 4 :凹部 5 :扁平面 6 ··處理液 φ 7 :基板 8:循環型配管（循環路徑） 9 :槽 10 :泵 1 1 :溫度調整器 1 2 :閥體 -12-

Claims (1)

1. (1) 1286673 拾、申請專利範圍 1 · 一種開縫式噴嘴，係針對在被處理物表面以預定 寬幅供給處理液的開縫式噴嘴，其特徵爲： 該開縫式噴嘴係組合左右的半體所構成，其中一方的 半體之材質爲金屬材，另一方的半體之材質爲樹脂材。 2. 一種處理液供給裝置，係具備了申請專利範圍第 1項所記載的開縫式噴嘴的處理液供給裝置，其特徵爲： 在被調溫的處理液之循環路徑上設置有上述開縫式噴 嘴。 3. 如申請專利範圍第2項所記載的處理液供給裝置 ，其中具備複數個上述開縫式噴嘴。

   -13-