CN1711680A - 压电振动片和使用压电振动片的压电器件、使用压电器件的便携电话装置和使用压电器件的电子设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种在不导致CI值上升的情况下抑制振动臂的垂直方向运动，从而确保振动臂在几乎全长上的刚性，由此可以实现合适的振动的压电振动片以及利用该压电振动片的压电器件。该压电振动片具备：由压电材料形成、从基部平行延伸的一对振动臂；分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
Description
技术领域
本发明涉及压电振动片、在封装中收纳该压电振动片的压电器件、以及利用压电器件的便携电话和电子设备。
背景技术
在HDD(硬盘驱动器)、移动计算机或IC卡等的小型信息设备、或者便携电话、汽车电话或寻呼系统等的移动通信设备中，在封装中收纳压电振动片的压电振子和压电振荡器等的压电器件被广泛使用。
图11是表示这种压电器件的结构例的概略剖面图。
在图中，压电器件1在封装2的内部收纳有压电振动片3。在该情况下，封装2由绝缘材料形成为浅的盒状，将压电振动片3收纳固定在其内部之后，利用盖体4封闭。
通过成形并层叠作为陶瓷基片(green sheet)的多个基板2a、2b、2c，并烧结而形成封装2，在基板2b、2c的内侧设置有在成形时通过除去材料而形成的孔，由此，如图所示，形成了收纳压电振动片3的空间。
例如通过蚀刻石英而将压电振动片3形成为图12所示那样。如图所示，压电振动片3由具有基部5、和从该基部5向图中右方向平行延伸的一对振动臂6、7的所谓音叉型石英片构成。
振动臂6、7上分别形成有沿着长度方向延伸的槽6a和槽7a。图13示出了该振动臂7的B-B截面图。如图13所示，形成有激励电极8a、8b，通过从外部对该激励电极8a、8b施加驱动电压，如图13的箭头所示，在振动臂7的内部形成箭头所示的电场。因这种电场的作用，在图12的各振动臂6、7中，分别夹着各槽6a、7a的两侧的材料如箭头所示交替地反复伸长和收缩。
由此，如图12所示，振动臂6、7如箭头A所示，以其末端侧相互接近、远离的方式振动。另外，在图12中，为方便理解，相比于实际情况极端地夸张显示了振动臂6、7的运动。通过提取基于这种振动的振动频率，可以应用于控制时钟信号等的各种信号。
此处，图12的振动臂6、7的沿着箭头A的振动是沿着图13的箭头x方向(以下，将该方向称为“水平方向”)的水平运动。
[专利文献1]：特开昭56-65517号
另外，在图13中，在振动臂的里外两侧形成槽7a、7a的制造工序中，分别从振动臂7的外侧和里侧进行半蚀刻，由此形成槽7a、7a。并且，对于只有100μm左右臂宽的振动臂7，为了分别从振动臂7的外侧和里侧形成设置在里外两侧的各个槽7a、7a，如图13所示，有时候以槽的位置在图中的左右方向上相互错开的状态来形成。
如果是这种状态，则如图12所示，当振动臂6、7沿箭头A方向振动时，在该振动上增加了图13的z方向(以下，将该方向称为“垂直方向”)分量的振动，变成箭头C方向的振动。
这种振动特性的变化具有各种各样的危害，例如，图14示出了各振动臂6、7沿箭头A方向正确振动时的压电振动片3的频率偏移和温度变化的相关性，图15示出了各振动片6、7如图13的说明那样伴随着垂直分量的动作而振动时的压电振动片3的频率偏移和温度变化的相关性。
即，如果k为常数、E为弹性常数、I为截面二次矩，则频率f用下述公式表示。
f＝k·(E·I)-2 公式(1)
因此，温度特性因弹性常数和弹性二次矩的变化而表现为二次曲线。
如果比较这些压电振动片3的温度特性，则频率变化的顶点温度在图14的情况下是正常的，在摄氏25度附近，在图15的情况下，向负数侧偏移，变为摄氏14度左右。
发明内容
本发明的目的在于提供一种通过抑制振动臂的垂直方向的运动，确保振动臂在几乎全长上的刚性，从而可以实现合适的振动的压电振动片、以及利用该压电振动片的压电器件、以及利用压电器件的便携电话和电子设备。
根据第1发明，由一种压电振动片实现了上述目的，该压电振动片具备：由压电材料形成、从基部平行延伸的一对振动臂；分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
根据第1发明的结构，各振动臂中形成的槽由于是有底的槽，所以，与在各振动臂上形成贯穿槽的情况相比，这些振动臂具有更高的刚性。另外，各槽中设置有支撑部，其设置为在宽度方向上横穿上述槽，并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体。由此，支撑部尤其是与槽的底部构造形成为一体，支撑被槽在宽度方向上分离的构成振动臂的材料，从而不会产生变形。因此，可以强化各振动臂的扭曲方向的刚性。
因此，根据本发明，可以得到如下的效果：由于不需要在振动臂上设置多个支撑部，所以通过抑制振动臂的垂直方向的运动，确保振动臂在几乎全长上的刚性，可以得到能够实现合适振动的压电振动片。
第2发明的特征在于，在第1发明的结构中，与上述支撑部的上述槽的底部形成为一体的一体部形成为：其厚度比该支撑部的至少上述槽的开口侧的端部厚。
根据第2发明的结构，与上述支撑部的上述槽的底部形成为一体的一体部形成为：其厚度比该支撑部的至少上述槽的开口侧的端部厚。换言之，上述支撑部形成为其厚度朝着槽的底部增大。因此，支撑部可以特别牢固地与槽的底部连接。因此，在该压电振动片中，通过将上述支撑部牢固地固定在槽的底部，可以有效地抵抗振动臂的扭曲方向的变形力，可以更有效地防止该扭曲方向的变形。
第3发明的特征在于，在第1或第2发明的结构中，上述槽分别设置在上述各振动臂的外侧和里侧。
根据第3发明的结构，由于在各振动臂的里外两侧分别形成上述槽，所以在很细的振动臂上形成很窄的槽有时候会使里外两侧的槽的位置产生偏差。然而，本发明人关注于这种有底的槽在强化振动臂的刚性方面发挥更大的效果，因而容许该里外两侧的槽偏差这样的加工缺陷，通过在里外两侧的各槽中形成上述支撑部，可以解决偏差所带来的危害。也就是说，通过对槽设置底部，并在里外两侧的槽中形成上述支撑部，可以有效地抑制各振动臂的垂直分量的运动。
第4发明的特征在于，在第1至第3发明的任意一个的结构中，针对上述槽中的一个，形成多个上述支撑部。
根据第4发明的结构，增加一个槽中形成的支撑部的数目时，会提高CI(crystal impedance：晶体阻抗)值，但是，通过增加支撑部的数目，振动臂的刚性相应地提高。
第5发明的特征在于，在第1至第4发明的任意一个的结构中，上述各振动臂的臂宽为50μm～150μm，上述槽的深度为大于等于上述各振动臂的材料厚度的30％且小于50％。
根据第5发明的结构，在将上述各振动臂的臂宽设为50μm～150μm的情况下，如果上述槽的深度小于上述各振动臂的材料厚度的30％，则不能充分地得到使CI值降低的效果，有时候不能得到可实用的CI值。另外，上述槽的深度如果大于上述各振动臂的材料厚度的50％，则不可能在振动臂的里外两侧分别形成槽。
第6发明的特征在于，在第1至第5发明的任意一个的结构中，设置在上述各振动臂上的上述槽的槽宽大于等于各振动臂的臂宽的40％。
根据第6发明的结构，通过使上述槽的槽宽大于等于振动臂的臂宽的40％，可以发挥如下的作用：可以适当地抑制CI值，从而实现实用的CI值。
第7发明的特征在于，在第6发明的结构中，设置在上述各振动臂上的上述槽的槽宽大于等于各振动臂的臂宽的70％。
根据第7发明的结构，通过使上述槽的槽宽大于等于振动臂的臂宽的70％，可以最大限度地抑制CI值，当接近振动臂的臂宽的100％时，不可能在振动臂上形成槽。
根据第8发明，通过一种在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件实现了上述目的，上述压电振动片具有：从基部平行延伸的一对振动臂；分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
根据第8发明，收纳在该压电器件中的压电振动片的各振动臂上形成有底的槽，设置在该槽中的支撑部尤其是与槽的底部构造成为一体，支撑在宽度方向上被槽分离的构成振动臂的材料，从而不会产生变形。因此，可以强化振动臂的扭曲方向的刚性。由此，关于收纳在压电器件中的压电振动片，由于可以抑制其振动臂的垂直方向的运动，确保振动臂在几乎全长上的刚性，所以可以实现合适的振动。
根据第9发明，通过一种利用了在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件、并通过该压电器件得到控制用时钟信号的便携电话装置而实现了上述目的，其中，上述压电振动片具有：从基部平行延伸的一对振动臂；分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
根据第10发明，通过一种利用了在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件、并通过该压电器件得到控制用时钟信号的电子设备实现了上述目的，其中，上述压电振动片具有：从基部平行延伸的一对振动臂；分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
附图说明
图1是表示本发明的压电器件的实施方式的概略平面图。
图2是沿图1的E-E线的概略截面图。
图3是表示图1的压电器件所利用的压电振动片的主要部分的概略立体图。
图4是沿图3的F-F线的截面图。
图5是表示基于没有在振动臂上形成槽的压电振动片在驱动时形成的电场的电流和频率变化率的关系的曲线图。
图6是表示基于在振动臂上形成有槽但没有设置支撑部的压电振动片在驱动时形成的电场的电流和频率变化率的关系的曲线图。
图7是表示基于本实施方式的压电振动片在驱动时形成的电场的电流和频率变化率的关系的曲线图。
图8是表示在振动臂上设置有槽但没有形成支撑部的所谓音叉型压电振动片的CI值和温度特性的关系的曲线图。
图9是表示本实施方式的压电振动片的CI值和温度特性的关系的曲线图。
图10是表示作为利用了本发明实施方式的压电器件的电子设备的一例的数字式便携电话装置的概略结构的图。
图11是表示以往的压电器件的一例的概略截面图。
图12是图11的压电器件所使用的压电振动片的概略平面图。
图13是图12的B-B截面图。
图14是表示图11的压电器件所使用的压电振动片的频率偏移和温度特性的正常关系的曲线图。
图15是表示图11的压电器件所使用的压电振动片的频率偏移和温度特性产生了不令人满意的关系的曲线图。
具体实施方式
图1和图2表示本发明的压电器件的第1实施方式，图1是其概略平面图，图2是图1的E-E线概略截面图。
图中示出了压电器件30构成压电振子的例子，压电器件30在封装36内收纳有压电振动片。例如，作为绝缘材料，对氧化铝的陶瓷基片进行成型，对所形成的多个基板进行叠层之后，烧结形成封装36。通过在多个基板的内侧形成规定的孔，叠层之后，内侧可以形成规定的内部空间S2。该实施方式为了使封装36的厚度最小，层叠第1基板61和第2基板62而形成，通过除去第2基板62内侧的材料，形成内部空间S2的空间。
该内部空间S2是用于收纳压电振动片的收纳空间。
在封装36的内部空间S2内的图中，在左端附近，向内部空间S2露出而构成内侧底部的第1基板61上设置有例如在钨金属化层上利用镍镀层或金镀层形成的电极部31、31。
该电极部31、31与外部相连，用于供给驱动电压。该各电极部31、31上涂布有导电性粘合剂43、43，该导电性粘合剂43、43上安置有设置在压电振动片32的基部51的宽度方向两端部上的引出电极33、33，然后使导电性粘合剂43、43硬化。另外，作为导电性粘合剂43、43，可以使用在作为发挥粘合力的粘合剂成分的合成树脂剂中含有银细粒等导电性粒子的混合物，可以使用硅树脂、环氧树脂或者聚酰亚胺系的导电性粘合剂等。
压电振动片32例如由石英形成，除了石英之外，还可以利用钽酸锂、铌酸锂等压电材料。在本实施方式的情况下，为了实现小型化以获得必要的性能，压电振动片32特别采用图示的性状。
即，压电振动片32具有：如后述那样与封装36侧固定的基部51；以及以该基部51作为基端，分开两股向图中右方向平行延伸的一对振动臂34、35。使用了整体为音叉形状的所谓的音叉型压电振动片。
关于该压电振动片32的详细结构，在后面进行叙述。
封装36开放的上端通过接合盖体39而封住。为了在把盖体39封装固定在封装36上之后，如图2所示，从外部向压电振动片32的金属镀层部或激励电极的一部分(未图示)照射激光LB而采用质量削减方式进行频率调节，盖体39由透光材料、最好是薄板玻璃形成。
作为适合盖体39的玻璃材料(例如，作为利用下拉法(downdrawprocess)制造的薄板玻璃)，例如，使用硼硅酸玻璃。
接下来，参照图3和图4，对收纳在压电器件30的封装36内的压电振动片32进行详细说明。
图3是表示压电振动片32的结构的概略立体图，图4是图3的F-F截面图(只显示截面的图)。
在图3中，例如将作为压电材料的石英加工成音叉型而形成压电振动片32。此时，以图3所示的X轴作为电轴、Y轴作为机械轴、Z轴作为光轴的状态从石英单晶中切出。另外，在从石英单晶中切出时，在由上述X轴、Y轴、Z轴构成的正交坐标系中，由X轴和Y轴构成的XY平面绕X轴在逆时针方向上倾斜大约-5度至+5度而形成。
在图3中，压电振动片32根据这些条件，如上所述，具有从基部51平行延伸的一对振动臂34、35。在该实施方式中，压电振动片32在基部51的各振动臂34、35的基端部附近具有通过使基部51的宽度变窄而形成的收缩部或切口部48、48。压电振动片32通过具有该切口部48、48，可以抑制来自各振动臂34、35的振动泄漏到基部51侧。
各振动臂34、35具有分别在长度方向上延伸的槽44、44。该各槽44如图4所示，形成在各振动臂34的里外两侧两面，虽然在图4中没有示出，但振动臂35所形成的槽也具有相同的构造。在图4中，从槽44的长度方向的一端部M1到另一端部M2的全长用LA表示。
另外，在压电振动片32的基部51的端部(在图2中的左端部)的宽度方向的两端附近，如上所述，形成有用于与封装36的电极部31、31连接的引出电极33、33。各引出电极33、33设置在压电振动片32的基部51的里外两侧。这些引出电极33、33与设置在各振动臂34、35的槽44、44内的未图示的激励电极相连。由于设置激励电极的方式与以往相同，所以省略其说明。
接下来，对振动臂34、35中设置的槽44、44的构造进行说明，由于它们对于各振动臂34、35是相同的构造，所以，关于图3和图4，示出了任意一个出现的场合，并且对作为整体的振动臂和槽的关系等进行说明。
压电振动片32的臂宽W1例如是50μm～150μm。相对于该压电振动片32的振动臂34的厚度D1，图4所示的槽44的深度D2被设定成大于等于D1的30％并小于50％。
另外，槽44的槽宽W2最好设定为大于等于振动臂35的臂宽W1的40％，并且，最好是大于等于70％。
另外，如图3所示，构成振动臂34的材料(在该实施方式中，为“石英材料”)被该振动臂34上的槽44分离成34a部分和34b部分，但是，如图4所示，底部46形成为一体，因此，槽44是有底的槽，没有被贯穿。
另外，如图3所示，振动臂34、35的各槽44、44中分别设置有例如侧条状的支撑部45、45。具体来讲，被振动臂34的槽44分离的34a部分和34b部分与支撑部45连接为一体。
如图4所示，支撑部45与槽44的底部46是一体的，与该支撑部45的槽的底部46形成为一体的一体部45a、45b的厚度形成得比该支撑部45的至少槽44的开口侧的端部厚。具体来讲，作为使支撑部45和底部46成为一体的部位的一体部45a如裙摆那样向底部46侧扩展。
在该实施方式中，如图4所示，槽44中只设置一个支撑部45，从槽44的一端部M1到支撑部45的中心O的距离L1和从支撑部45的中心O到槽44的另一端部M2的距离L2是相等的关系。
由此，槽44的全长LA被支撑部25分成了两部分，在驱动压电振动片32时，由于该弯曲振动被支撑部45等分，所以抵消了扭曲方向的变形，作为整体，不容易产生扭曲变形。
另外，也可以在槽44的全长LA的范围内设置多个支撑部45。由此，相应地提高了振动臂34的刚性，但也会提高CI值。因此，通过在允许CI值上升的范围内增加支撑部45的数量，可以更加提高振动臂34的刚性。
本实施方式采用上述结构，如图4说明那样，压电振动片32的各振动臂34、35上所形成的槽44、44由于是有底的槽，所以与在各振动臂34、35上形成有贯穿槽的情况相比，这些振动臂34、35具有更高的刚性。
而且，在图3和图4中，各槽44中设置有支撑部45。该支撑部45与槽44的底部46形成为一体，以支撑在宽度方向上被槽44分离的构成振动臂34的材料34a、34b，从而不会产生变形。因此，可以强化振动臂34的扭曲方向的刚性。
因此，在该压电振动片32中，由于不需要在振动臂34、35的一个槽44中设置多个支撑部45，所以不会导致CI值的上升，通过抑制振动臂34、35的垂直方向的运动而确保振动臂在几乎全长上的刚性，可以实现合适的振动。
而且，如图4说明那样，支撑部45具有朝着槽44的底部46厚度增加的一体部45a、45b。因此，支撑部45特别牢固地与槽44的底部46连接。因此，在该压电振动片32中，支撑部45通过牢固地固定在槽44的底部46上，可以有效地抵抗振动臂3的扭曲方向的变形力，从而可以更加有效地防止该扭曲方向的变形。
另外，如上所述，压电振动片32的各振动臂34、35的臂宽W1是50μm～150μm。槽44的深度D2为大于等于各振动臂34、35的材料厚度的30％并小于50％。由此，可以获得很低的CI值。
该情况下，如果槽44的深度D2小于振动臂34的材料厚度D1的30％，则不能充分地得到使CI值降低的效果，有时候不能得到可实用的CI值。例如，32.768kHz的音叉振子的臂宽为100μm的情况下，即使槽深为30μm(材料厚度的30％)、槽宽为70μm(臂宽的70％，此后即使再增大槽宽，也很难再降低CI值)，CI值也为100kΩ左右的实用范围界限附近的值。
另外，如果槽44的深度D2超过振动臂34的材料厚度D1的50％，则不可能分别在振动臂的里外两侧形成槽44。
另外，如图3所示，压电振动片32的槽44的槽宽W2大于等于振动臂的臂宽W1的40％。在该情况下，如果槽44的槽宽W2小于振动臂的臂宽W1的40％，则不能充分地得到使CI值降低的效果，所以有可能不能得到可实用的CI值。例如，32.768kHz的音叉振子的臂宽为100μm的情况下，在槽深为45μm(材料厚度的45％，如果再增大槽深，则有可能贯穿，所以制造困难)、槽宽为40μm(臂宽的40％)的范围内，CI值为100kΩ左右的实用范围界限附近的值。
另外，优选的是，在压电振动片32中，槽44的槽宽W2可以大于等于振动臂的臂宽W1的70％。由此，在最大限度的范围内获得CI值降低效果。另外，当然，若槽44的槽宽W2为振动臂的臂宽的100％则无法形成槽。
图5～图7是通过仿真确认基于驱动时压电振动片所形成的电场的电流和频率变化率的关系的曲线图。
在所谓的音叉型压电振动片中，设Δf/f＝频率变化率、I2＝流过压电振动片的电流的平方值，则一般下述的关系成立。
Δf/f＝k1·I2+k2·I2 公式(2)
此处，k1是将压电振动片作为在水平方向(图13的x方向)上振动的弹性体而决定的常数(为正值)。k2是将压电振动片作为在垂直方向(图13的z方向)上振动的弹性体而决定的常数(为负值)。
图5示出了在压电振动片中没有形成槽的情况下，即在图3所示的压电振动片32中例如没有设置槽44、44的方式的压电振动片的特性。此时，Δf/f表示正值，振动频率在3～5ppm的范围内变化。
图6示出了在压电振动片中只形成槽的情况下，即在图3所示的压电振动片32中，例如设置了槽44、44，但没有设置支撑部45、45的方式的压电振动片的特性。在该情况下，由于参照图13所说明的理由，作为k2的垂直振动分量变大，Δf/f显示为负值，振动频率分散在-8～-4ppm的范围内。
图7示出了在本实施方式的压电振动片32中，在各振动臂34、35上形成了槽44、44，并在槽44内形成了支撑部45的方式的压电振动片的特性。如图所示，与图6相比可知，作为k2的垂直振动分量变小，作为Δf/f的振动频率变动率也处于约-1～+2ppm的范围内。
图8和图9是针对所谓的音叉型的压电振动片示出了CI值和温度特性的关系的曲线图，并示出了CI值的变化和参照图14及图15所说明的顶点温度的关系。
图8是示出了在振动臂上设置了槽但没有形成支撑部时的CI值-温度特性的曲线图，图9是示出了本实施方式的压电振动片32的CI值-温度特性的曲线图。
在图8的情况下，随着CI值的变化(上升)，顶点温度向负数侧偏移。与此相对，由图9的本实施方式的情况可知，即使CI值变化，顶点温度也不偏移。
即，如图8所示，CI值和顶点温度表现出相关性是因为在振动臂上设置了槽但没有形成支撑部的情况下，振动臂的垂直振动分量产生了不稳定性，如图9所示，在振动臂上设置了槽并形成有支撑部时，可以如图9所示使顶点温度与CI值无关地处于稳定状态。
图10是表示作为利用本发明的上述实施方式的压电器件的电子设备的一例的数字式便携电话装置的概略结构的图。
在图中，具备用于接收发送者的声音的麦克风308、以及用于将接收内容转换成声音输出的扬声器309，另外，还具有作为与收发信号调制及解调部相连的作为控制部的由集成电路等构成的CPU(CentralProcessing Unit)301。
CPU 301除了进行收发信号的调制和解调之外，还对由作为图像显示部的LCD和用于信息输入的操作键等构成的信息输入输出部302、以及由RAM、ROM等构成的信息存储单元303进行控制。因此，在CPU 301中安装压电器件30，其输出频率通过内设在CPU 301中的特定分频电路(未图示)等而被用作为适合于控制内容的时钟信号。安装在该CPU 301上的压电器件30可以不是压电器件30等单体，而是组合了压电器件30等和规定的分频电路等的振荡器。
CPU 301还与温度补偿石英振荡器(TCXO)305相连，温度补偿石英振荡器305与发送部307和接收部306相连。由此，来自CPU 301的基本时钟即使因环境温度的变化而变动，也能被温度补偿石英振荡器305修正，并供给发送部307和接收部306。
这样，通过对于具备控制部的数字式便携电话装置300之类的电子设备采用上述实施方式的压电振动片32和使用了这些压电振动片32的压电器件30，可以在不导致CI值上升的情况下抑制振动臂的垂直方向的运动，从而确保振动臂在几乎全长上的刚性，由此可以实现合适的振动，从而能够生成正确的时钟信号。
本发明不限定于上述的实施方式。可以适当地组合或省略各实施方式的各结构，也可以组合未图示的其它结构。
另外，只要将压电振动片收纳在封装内或者金属制的筒状壳体等中，则本发明与压电振子、压电振荡器等的名称无关，可以适用于所有的压电器件。
另外，在上述实施方式中，利用了使用压电材料的盒状封装，但是并不限于这种方式，只要至少对于封装的一部分设置了能透光的部位，本发明可以适用于具有任意封装或壳体的器件。
Claims (10)
1、一种压电振动片，其特征在于，具有：
由压电材料形成、从基部平行延伸的一对振动臂；
分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；
设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
2、根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，与上述支撑部的上述槽的底部形成为一体的一体部被形成为其厚度比该支撑部的至少上述槽的开口侧的端部厚。
3、根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，上述槽分别设置在上述各振动臂的外侧和里侧。
4、根据权利要求1至3中任意一项所述的压电振动片，其特征在于，针对上述槽中的一个形成多个上述支撑部。
5、根据权利要求1至4中任意一项所述的压电振动片，其特征在于，上述各振动臂的臂宽为50μm～150μm，上述槽的深度大于等于上述各振动臂的材料厚度的30％且小于50％。
6、根据权利要求1至5中任意一项所述的压电振动片，其特征在于，设置在上述各振动臂上的上述槽的槽宽大于等于各振动臂的臂宽的40％。
7、根据权利要求6所述的压电振动片，其特征在于，设置在上述各振动臂上的上述槽的槽宽大于等于各振动臂的臂宽的70％。
8、一种在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件，其特征在于，上述压电振动片具有：
由压电材料形成、从基部平行延伸的一对振动臂；
分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；
设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
9、一种利用了在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件的便携电话装置，其特征在于，通过上述压电器件得到控制用时钟信号，该压电器件的上述压电振动片具有：
从基部平行延伸的一对振动臂；
分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；
设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
10、一种利用了在壳体或封装内收纳压电振动片的压电器件的电子设备，其特征在于，通过上述压电器件得到控制用时钟信号，该压电器件的上述压电振动片具有：
从基部平行延伸的一对振动臂；
分别设置在上述各振动臂上、沿着各振动臂的长度方向延伸的有底的槽；
设置为在宽度方向上横穿上述槽、并将在宽度方向上被上述槽分离的构成振动臂的材料连接为一体的支撑部。
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