CN1636840A - 用于基片的盒 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种用于基片的盒，所述盒包括框架和限定出在竖直方向分层的槽的多组支撑元件，其中每组支撑元件包括：多个第一支撑条，其沿第一水平方向延伸，其端部固定到所述框架上，并且用于安装所述基片；以及支撑线，其与所述第一支撑条连接，其端部固定到所述框架上。

Description

用于基片的盒
技术领域
本发明涉及用于基片的盒。
背景技术
在制作半导体装置或显示板期间，通常通过传送装置传送用于半导体装置的半导体基片或用于如液晶显示器(LCD)和有机发光显示器(OLED)的平板显示器的玻璃基片。
LCD通常包括两个由玻璃基片制成的板和一个液晶层，而OLED包括一个由玻璃基片制成的信号板。通过给设置在所述板上的场生成电极施加电压以产生电场，所述LCD显示图像，所述电场确定所述液晶层中的液晶分子的取向。所述OLED通过给发光二极管施加电流或电压来显示图像，所述发光二极管依靠电流或电压发光。
用于LCD的常规基片传送装置将玻璃基片传送给若干使用盒、储物器和分度器(indexer)的操作装置送。若干基片容纳在盒中，容纳所述基片的所述盒存储在储物器中。通过机器人分度器把所述基片从所述盒中取出并放入操作装置中。
然而所述常规基片传送装置可以因所述玻璃基片变大而具有若干问题，比如大于约1500mm。
首先存储在所述盒中的大基片由于其沉重的重量而易于变得下垂。另外较重的基片在所述盒中需要较大的重支撑条，而所述大的重支撑条易于变得下垂和震颤。此外较重的基片也需要分度器的较大的机器人臂，这样，盒的水平搁板间距变大，从而使所述盒和所述储物器增大。所述大且重的基片也可以引起其它装置的问题，例如盒起重架、盒传送装置和操作所述盒的升降架。
发明内容
本发明提供一种用于基片的盒，所述盒包括框架和限定出在竖直方向分层的槽的多组支撑元件，其中，每组支撑元件包括：多个第一支撑条，其沿第一水平方向延伸，其端部固定到所述框架上，用于安装所述基片；以及，支撑线，其与所述第一支撑条连接，其端部固定到所述框架上。
所述第一支撑条可以彼此隔开。
所述支撑线可以与所述第一支撑条的底部连接。
每组支撑元件还可以包括多个第二支撑条，其沿与所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸，其两端固定到所述框架上，用于安装所述基片。
所述第一支撑条可以包括设置在顶部的缓冲件，所述缓冲件可以包括聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)。
所述第二支撑条的顶表面可以与所述缓冲件具有相同的高度。
所述框架可以包括铝和不锈钢，且所述第一支撑条可以包括碳纤维增强塑料。
本发明提供一种用于基片的盒，所述盒包括框架和限定出在竖直方向分层的槽的多组支撑元件，其中每组支撑元件包括具有水平表面的基板和多个设置在所述基板上并且用于安装所述基片的支撑柱。
所述基板可以包括多个具有固定在所述框架上的端部的基条或具有固定在所述框架上的边缘的基板。
所述支撑柱可以包括聚醚醚酮(PEEK)。
附图说明
通过参照附图详细地描述本发明的实施方式，本发明将会更加明了，附图中：
图1是根据本发明一实施方式的盒的平面图。
图2是图2所示的盒的截面图。
图3是图2所示的盒的A部的放大截面图。
图4是根据本发明一实施方式的盒的平面图。
图5是图4所示的盒的截面图。
图6是图5所示的盒的B部的放大截面图。
图7是根据本发明一实施方式的盒的平面图。
具体实施方式
现在参照附图在下文更全面地描述本发明，在本发明中示出本发明的优选实施方式。然而本发明可以体现在许多不同的变型中，而不应认为受限于这里所提及的实施方式。在所述附图中，相同的附图标记表示相同的元件。
那么参照附图详细描述用于基片的盒。
图1是根据本发明一实施方式的盒的平面图，图2是图2所示的盒的截面图，图3是图2所示的盒的A部放大截面图。
参照图1-3，根据本发明一实施方式的盒包括立方形框架210和多个在竖直方向分层的槽，每个槽由安装基片110的一组支撑元件220、230和240限定。
所述框架210包括三个竖直壁和用于所述基片110的入口/出口，面对所述入口/出口的后壁包括多个竖直条211。优选地，所述框架210由铝和不锈钢，例如SUS(Steel Use Stainless)制成。
一组支撑元件包括多个，例如三个从所述框架210的所述竖直壁条211水平延伸的、长的主支撑条220，连接所述主支撑条220的支撑线240和多个从所述框架210水平延伸的、短的辅助支撑条230。
通过机器人传送臂(未示出)将基片110安装在所述主支撑条220和所述辅助支撑条230上。承载所述基片110的所述机器人臂进入所述主支撑元件230间的空间并将所述基片110放在所述主支撑元件230上，然后返回。
所述主支撑条220彼此分开且优选地彼此平行延伸。每个所述主支撑220在其底部具有连接部件222。
优选地，所述主支撑条220由CFRP(碳纤维增强塑料)制成。CFRP是用作外部结构的聚合体复合物，其拉伸模量比铝的拉伸模量的大约4.5倍还要高，其比模量(specific modulus)是铝的大约3.3倍。另外CFRP的疲劳极限可以保持到其初始值的大约80％，而铝的疲劳极限仅为其初始值的大约35％。
每个所述主支撑条220包括多个位于其顶部的缓冲件221，所述缓冲件221吸收安装所述基片110时的碰撞。优选地，所述缓冲件221由PEEK(聚醚醚酮)制成，所述PEEK是具有大约250℃的持续使用温度(CUT)的专用耐用热塑性树脂。
所述支撑线240通过所述连接部件222与所述主支撑条220连接，且所述支撑线240的端部固定在所述框架210上。通过拉紧或放松所述支撑线240的所述端部来调节所述支撑线240的张力。当所述主支撑条220安装所述基片110时，所述支撑线240防止所述主支撑条220弯曲或震颤。优选地，所述支撑线240由钢制成，并且具有大约3-5mm的直径。
优选地，所述支撑线240的间距(或相邻支撑线240间的距离)为大约75-95mm，支撑线240和与其相邻的缓冲件221间的间隙为大约50-70mm，这样提供给所述传送臂的可用空间为大约80mm。
所述辅助支撑条230从所述框架210的侧壁水平延伸，并用于支撑所述基片110的侧边缘部。优选地，所述辅助支撑条230的顶面高度与所述缓冲件221的高度相同，以保持所安装的基片110水平。
所述辅助支撑条230的延伸方向可以与所述主支撑条220的延伸方向成直角或非直角。
下面参照图4-6描述根据本发明另一实施方式的盒。
图4是根据本发明另一实施方式的盒的平面图，图5是图4所示的盒的截面图，图6是图5所示的盒的B部的放大截面图。
参照图4-6，根据此实施方式的盒包括立方形框架210和多个在竖直方向分层的槽，每个槽由安装基片110的一组支撑元件250和260限定。
所述框架210包括三个竖直壁和用于所述基片110的入口/出口。优选地，所述框架210由铝和不锈钢，例如SUS制成。
一组支撑元件包括具有固定在所述框架210的所述壁上的边缘的基板250和多个位于所述基板250上的支撑柱260。所述支撑柱260规则排列且优选地由PEEK制成。所述基片110安装在所述支撑柱260上。
下面，参照图7描述根据本发明另一实施方式的盒。
图7是根据本发明一实施方式的盒的平面图。
参照图7，根据此实施方式的盒具有与图4-6所示的盒相似的结构。也就是说，所述盒包括立方形框架210和多个在竖直方向分层的槽，每个槽由安装基片110的一组支撑元件260和270限定。
但是，用包括多个水平延伸的基条270的一组支撑元件来代替平面状基板，所述基条270的两个相对端部固定在所述框架210的侧壁上，所述支撑元件还包括多个位于基条270上的支撑柱260。图7所示的盒比图4-6所示的盒轻。
图4-7所示的盒可容易地以平直的状态存储所述基片110，因此有效地防止所述基片110下垂和震颤。
总之，根据本发明所述实施方式的盒防止所述基片下垂和震颤，另外所述支撑线减少所述槽间的间距的增大和所述盒的重量的增加，因此能够简化和优化所述盒的结构。
虽然已经参照所述优选实施方式详细描述了本发明，但是对于本领域技术人员来所，可以在不脱离在权利要求限定的本发明的精神和范围的前提下对本发明做出各种改进和替代。

Claims (14)

1、一种用于基片的盒，包括：
框架；以及
多组支撑元件，其限定出在竖直方向分层的槽，
其中，每组支撑元件包括：
多个第一支撑条，其沿第一水平方向延伸，其端部固定到所述框架上，其用于安装所述基片；以及
支撑线，其与所述第一支撑条连接，其端部固定到所述框架上。
2、根据权利要求1所述的盒，其中，所述第一支撑条彼此间隔。
3、根据权利要求1所述的盒，其中，所述支撑线与所述第一支撑条的底部连接。
4、根据权利要求1所述的盒，其中，所述第一支撑条包括设置在其顶部的缓冲件。
5、根据权利要求4所述的盒，其中，所述缓冲件可以包括聚醚醚酮(PEEK)。
6、根据权利要求1所述的盒，其中，每组支撑元件还包括多个沿与所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸的第二支撑条，所述第二支撑条的端部固定到所述框架上，并且用于安装所述基片。
7、根据权利要求6所述的盒，其中，所述第一支撑条包括设置在其顶部的缓冲件。
8、根据权利要求7所述的盒，其中，所述第二支撑条的顶表面的高度与所述缓冲件的高度相同。
9、根据权利要求1所述的盒，其中，所述框架包括铝和不锈钢。
10、根据权利要求1所述的盒，其中，所述第一支撑条包括碳纤维增强塑料。
11.一种用于基片的盒，包括：
框架；以及
多组支撑元件，其限定出在竖直方向分层的槽，
其中，每组支撑元件包括：
基板，其具有水平表面；以及
多个支撑柱，其设置在所述基板上，并且用于安装所述基片。
12、根据权利要求11所述的盒，其中，所述基板包括多个具有固定在所述框架上的端部的基条。
13、根据权利要求11所述的盒，其中，所述基板包括具有固定在所述框架上的边缘的基板。
14、根据权利要求11所述的盒，其中，所述支撑柱包括聚醚醚酮(PEEK)。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102583050A (zh) * 2012-02-07 2012-07-18 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板基材的运输控制设备及其控制方法
CN101659341B (zh) * 2009-09-27 2012-08-29 友达光电股份有限公司 基板卡匣
CN103448048A (zh) * 2013-09-09 2013-12-18 深圳市华星光电技术有限公司 基板存放架
CN106428916A (zh) * 2016-10-27 2017-02-22 武汉华星光电技术有限公司 一种基板承载件和基板中转箱
CN113178409A (zh) * 2021-04-07 2021-07-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 承载装置及物料搬运系统

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3863113A (en) * 1974-01-04 1975-01-28 Llyd G Ward Modular formed wire cardcage
US4248352A (en) * 1979-04-27 1981-02-03 Nashville Wire Products Manufacturing Co. Wire pocket display device
US4385781A (en) * 1981-02-20 1983-05-31 Metropolitan Wire Corporation Carrier for printed circuit boards
CA2011580A1 (en) * 1989-03-13 1990-09-13 Michael J. Ricard Support mounting system
US5344365A (en) * 1993-09-14 1994-09-06 Sematech, Inc. Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions
US5429251A (en) * 1993-09-22 1995-07-04 Legacy Systems, Inc. Semiconductor wafer end effector
US5607068A (en) * 1995-02-01 1997-03-04 B-O-F Corporation Gravity flow shelving system
KR100188137B1 (ko) * 1995-09-07 1999-06-01 김광호 액정 표시 장치 글래스 적재용 카세트
US5823361A (en) * 1996-02-06 1998-10-20 Progressive System Technologies, Inc. Substrate support apparatus for a substrate housing
JP3307555B2 (ja) * 1996-09-04 2002-07-24 三星電子株式会社 表示装置用基板の積載用カセットおよびこれを用いた静電破壊防止方法
JPH10203584A (ja) * 1997-01-22 1998-08-04 Nec Corp 基板用カセット
JP3977491B2 (ja) * 1997-07-16 2007-09-19 淀川ヒューテック株式会社 基板用カセット
US6133121A (en) * 1997-10-15 2000-10-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus for supporting semiconductor wafers and semiconductor wafer processing method using supporting apparatus
KR100361464B1 (ko) * 2000-05-24 2002-11-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트
JP2003201148A (ja) * 2001-10-31 2003-07-15 Nippon Sheet Glass Co Ltd 情報記録媒体用ガラス基板の化学強化用ホルダー
JP4764584B2 (ja) * 2001-12-18 2011-09-07 株式会社大真空 ウェハの支持方法およびウェハ支持治具およびウェハ処理装置
JP3989736B2 (ja) * 2002-01-11 2007-10-10 株式会社ニックス 板材収納枠
KR100870661B1 (ko) * 2002-03-15 2008-11-26 엘지디스플레이 주식회사 기판 수납용 카세트
US6729484B2 (en) * 2002-08-21 2004-05-04 Chicago Display Marketing Corporation Multi-position display rack
KR100675627B1 (ko) * 2002-10-10 2007-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트
KR101010481B1 (ko) * 2003-12-13 2011-01-21 엘지디스플레이 주식회사 기판 거치대
TWI268265B (en) * 2004-08-13 2006-12-11 Au Optronics Corp Glass substrate cassette

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101659341B (zh) * 2009-09-27 2012-08-29 友达光电股份有限公司 基板卡匣
CN102583050A (zh) * 2012-02-07 2012-07-18 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板基材的运输控制设备及其控制方法
CN102583050B (zh) * 2012-02-07 2014-05-21 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板基材的运输控制设备及其控制方法
CN103448048A (zh) * 2013-09-09 2013-12-18 深圳市华星光电技术有限公司 基板存放架
CN103448048B (zh) * 2013-09-09 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板存放架
US9324596B2 (en) 2013-09-09 2016-04-26 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Substrate storage rack
CN106428916A (zh) * 2016-10-27 2017-02-22 武汉华星光电技术有限公司 一种基板承载件和基板中转箱
CN113178409A (zh) * 2021-04-07 2021-07-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 承载装置及物料搬运系统

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Publication number Publication date
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