CN1576399A - 镀覆工具、镀覆方法、电镀装置、镀覆产品及镀覆产品的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供镀覆工具、镀覆方法及电镀装置，该镀覆工具在由贯穿形成于自由转动的托架(10)的小室(30)的内壁面、在小室(30)的两端分别按照横断的方式跨设的阴极线(33a、33b)所划出的空间中，配置工件(70)。在各小室(30)的周围，对每个小室都设置比基板(11a、11b)的表面略低而形成的挖入部(37)。该挖入部(37)利用托架(10)的转动作为促进镀液向小室(10)内的流入的镀液导引部发挥作用。另外，所述镀覆方法包括形成单层的镍覆膜的工序、在所述镀覆工序前将作为被镀物的稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒而进行表面处理的表面活性化工序。

Description

镀覆工具、镀覆方法、电镀装置、镀覆产品及镀覆产品的制造方法

技术领域

本发明涉及镀覆工具、镀覆方法及电镀装置，具体来说，涉及适用于将例如计算机的硬盘用马达等所使用的环状磁铁等作为被镀物而进行镀覆的情况下的镀覆工具、镀覆方法及电镀装置。

另外，本发明涉及镀覆方法、镀覆产品的制造方法及镀覆产品，具体来说，涉及在稀土类粘结磁铁的表面形成镍覆膜的镀覆方法及镀覆产品的制造方法以及利用该制造方法制得的镀覆产品。

另外，本发明涉及电镀方法及电镀装置，具体来说，涉及可以防止被镀物表面的针孔的产生并可以形成均匀而且致密的覆膜的电镀方法及实现它的电镀装置。

背景技术

当对像马达等所使用的环状磁铁等比较小型的被镀物进行电镀时，可以利用如下的方法进行镀覆，即，在被称为滚筒(barrel)的容器中装入多个被镀物，将阴极配置于滚筒内，一边使滚筒旋转，一边实施镀覆的「滚筒镀覆法」或将被镀物挂在兼作阴极的挂具上而实施镀覆的「挂镀法」。

但是，使用滚筒的镀覆法由于无法分别对被镀物进行控制，因此有在每一批内对于每个镀覆产品容易产生膜厚的不均的问题。另外，在各个镀覆产品中，也无法获得均一的膜厚，因部位的不同而经常产生膜厚的不均。另外，在被镀物的韧性(强度)较低的情况下，容易产生裂纹，从而容易导致异物的产生。使用挂具的镀覆法中，在镀覆产品上容易残留挂具痕，从而有无法获得均一并且致密的镀覆的问题。

所以，已经分别提出有关于滚筒镀覆法的改良技术(例如专利3021728号公报)、关于挂镀法的改良技术(例如参照特开2001-131800号公报、特开2001-152388号公报)等。

特开2001-131800号公报的镀覆工具虽然是利用工具整体的摆动来使工件旋转的工具，但是由于用该方式无法控制各工件的旋转速度，因此有膜厚变得不均一的问题。另外，镀覆液的析出成分(例如镍)会粘附在镀覆工具的电极部，因而也必然会有膜厚变薄的问题。对于特开2001-152388号公报的镀覆工具的情况，虽然工件的旋转被控制，但是，由于在支撑构件状的各工件之间配置排列绝缘隔块，因此与制成了环状的工件的外周面的膜厚相比，会有端面或内周面成为阴影的问题。即，由于无法控制工件的端面和绝缘隔块的间隙，因此很容易在偏向某一方的状态下进行镀覆，从而在例如两端面间产生膜厚差。另外，由于是在棒状的支撑构件上套装多个环状的工件的方式，因此定位和拆卸操作十分繁杂，需要花费较多的操作时间，因而有操作效率低的问题。

另外，近年来，在电子部件等的镀覆中，特别要求较高的精度，即，要求形成均一并且致密的覆膜。特别是，当被镀物形成具有环状等内周面的形状时，会有成为电阴影的内周面的膜厚变得极薄或端面的膜厚变得极厚之类的问题。作为针对该问题的对策，已经提出在具有中空部的被镀物的中空部内配设了辅助阳极的镀覆工具的方案(例如特开2001-73198号公报)。但是，当阳极为容易溶出的材质时，会有阳极自身部分剥离而脱落，从而导致异物的产生的问题。

另外，稀土类粘结磁铁由于作为磁性材料含有较多比例的铁，因此本来就是容易产生铁锈的材料。另外，由于是与树脂的复合材料，因此即使实施与对一般的金属的镀覆相同的镀覆程序，也很容易产生铁锈、膨胀。另外，由于在稀土类粘结磁铁的表面有较多空孔，因此容易产生针孔，在这一点上，也可以说是不适合镀覆的材料。

为了在此种稀土类粘结磁铁上形成良好的镀覆，提出有进行基底处理的方法。作为基底处理，例如可以举出如下的方法，即，在实施非电解镀或涂刷了树脂和导电性材料的混合物之后，进行电镀的方法(特开平4-276095号公报(权利要求的范围等))，在用研磨材料的粉末和粘结磁铁的研磨碎屑以及无机粉体填充稀土类粘结磁铁的空孔部，利用植物性介质的油脂部分固定、封孔后，用Cu微片覆盖表面，形成电解镀覆的方法(特开平11-204321号公报(权利要求的范围等))，在用研磨材料的粉末和粘结磁铁的研磨碎屑以及无机粉体填充稀土类粘结磁铁的空孔部，利用植物性介质的油脂部分固定、封孔后，用Al微片覆盖表面，形成电解镀覆的方法(特开平11-283818号公报(权利要求的范围等))。

另一方面，在镀镍中，虽然使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的瓦特浴的方法是一般的方法，但是为了防止产生铁锈，提出有在R-Fe-B类粘结磁铁的镀覆中，使用不含氯离子的镀镍浴的方法(专利第3232037号公报(0036段等))。

以往技术的基底处理仅其处理就需要多阶段的工序等，因而十分复杂，效率较差，是不适合工业规模的实施的方法。另外，工序复杂的结果是，难以使基底处理成功，相反会导致膨胀或成膜不均等。特别是，当基底处理层和磁铁主体的密接力较小时，容易引起膨胀或成膜不均等问题。

另外，在稀土类粘结磁铁的镀覆时，为了将其表面的氧化膜除去而活性化，在镀覆前进行表面处理(酸活性化)。作为表面处理剂，由于考虑到如果在空孔较多的稀土类粘结磁铁上残留氯离子，则会导致铁锈，因此不使用盐酸，例如使用硫酸。但是，硫酸对于牢固的氧化膜的除去效果较低，因而有表面活性化处理所需的时间较长的缺点。

在电镀中，作为引起镀覆的微小缺陷(针孔)或铁锈的原因之一，存在于镀液中的磁性碎屑等金属类异物附着在被镀物(工件)上的现象会成为问题。此外，为了从镀液中去除金属类异物，采用对镀液进行过滤或离心分离的方法。另外，为了同样的目的，提出有在镀槽内配置多个具有900高斯的磁通量的磁铁，使磁性碎屑吸附在磁铁上而从镀液中除去的方法(例如参照特开平5-306500号公报(0015段，图1))或形成双重的塑料制的镀槽的底部，配设磁铁，使金属类异物附着在底部，从而防止在镀液中的悬浮的技术(例如参照特开平9-3694号公报(图1))。

如上所述，以往作为在镀覆中引起针孔或铁锈的原因，金属类异物作为问题，已经实现了与之对应的解决方法。但是，本发明人等对针孔的形成进行了详细的研究，结果发现，形成针孔的原因与其说是金属类异物，不如说是表皮片等有机类异物。

特别是在电镀中，由于有机类异物与被镀物及镀覆相比，电阻值非常大，因此该部分无法形成镀覆，结果就会产生针孔。所以，就会大大地损害作为本来通过镀覆应该附加的功能的美观、耐环境性、耐药品性等。而且，由于在有机类异物中含有氯、硫等容易诱发铁锈的元素，因此由针孔部分产生铁锈的危险性高于因其他原因造成的针孔。在这一点上，对于磁性碎屑等导电性的金属类异物的情况，由于即使附着，也可以按照将其埋入的方式形成覆膜，因此即使在覆膜上产生凹凸而损害均一性，但是很少会成为直接导致铁锈产生的原因，所以与有机类异物相比，对镀覆质量的影响较小。

镀液中的有机类异物虽然可以利用在无尘室内的镀覆操作或对整个镀覆程序的彻底的清洁处理等来减少，但是，这些方法会对产品产生较大的成本负担。

发明内容

本发明的目的之一是，提供在对镀覆精度要求高的电子部件等进行镀覆时，可以在被镀物上形成致密并且均匀的覆膜的镀覆工具及电镀装置。

本发明的目的之二是，提供在对镀覆精度要求高的电子部件等进行镀覆时，操作性优良并且可以在被镀物上形成致密并且均匀的覆膜的镀覆工具及电镀装置。

本发明的目的之三是，提供用于在稀土类粘结磁铁的镀覆产品中预先防止铁锈或针孔的产生并且高效率地形成覆膜的镀覆技术。

本发明的目的之四是，提供通过有效并且低成本地除去镀液中的有机类异物来防止镀覆的针孔的形成的技术。

为了解决所述问题，本发明的方式一是具有如下特征的镀覆工具，即，具有在自由旋转的支撑体上贯穿形成的开口部、在所述开口部的两端分别按照横断开口的方式跨设的横断线、朝向所述开口部促进镀液的流入的镀液导引部，将由所述开口部的内壁面和所述横断线所划出的空间作为分别配置被镀物的房间。

根据该镀覆工具的发明，将由开口部的内壁面、横断线所划出的空间作为单独个别配置被镀物的房间。使用以往的滚筒工具的镀覆中，由于不可能在滚筒内控制各个被镀物的移动，因此无法获得均匀的膜厚，从而有在每个产品或者每个部位上膜厚不均的问题，但是，本发明的镀覆工具不仅构造简易，而且容易进行镀覆产品的覆膜的膜厚控制，可以防止膜厚的不均。另外，由于不会像利用滚筒工具进行的镀覆那样，被镀物之间在镀覆中发生冲突，因此即使是韧性较低的材料，也很难产生裂纹。而且，通过设置促进镀液的流入的镀液导引部，如后述实施例所示，可以促进所述房间内的镀液的更新，加速覆膜的形成，提高镀覆效率，同时还可以大大改善膜厚的不均，从而获得更加均匀的覆膜。

本发明的方式二是具有如下特征的镀覆工具，即，具有在自由旋转的支撑体上贯穿形成的开口部、在所述开口部的两端分别按照横断开口的方式跨设的横断线、缩小所述开口部的开口面的遮蔽壁，将由所述开口部的内壁面和所述横断线所划出的空间作为单独个别配置被镀物的房间。

根据该镀覆工具的发明，如后述实施例所示，通过设置缩小开口部的遮蔽壁，可以大大改善膜厚的不均，从而可以获得更加均匀的覆膜。

另外，由于房间被设于自由旋转的支撑体上，因此被镀物会伴随着该支撑体的转动而在房间中移动。所以，也不会像挂镀工具那样，在镀覆产品上残留工具痕。

本发明的方式三是具有如下特征的镀覆工具，即，具有在自由旋转的支撑体上贯穿形成的开口部、在所述开口部的两端分别按照横断开口的方式跨设的横断线、朝向所述开口部的开口面从开口缘部突出而形成的壁体，将由所述开口部的内壁面和所述横断线所划出的空间作为单独个别配置被镀物的房间。根据该镀覆工具的发明，能够获得与方式2相同的作用效果。

本发明的方式四是在方式二或三中还具有如下特征的镀覆工具，即，具有朝向所述开口部而促进镀液的流入的镀液导引部。根据该镀覆工具的发明，除了与方式二或三相同的作用效果以外，通过设置促进镀液的流入的镀液导引部，可以促进所述房间内的镀液的更新，防止镀覆效率的降低。

本发明的方式五是在方式一或四中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述镀液导引部由将所述开口部的周围制成比所述支撑体表面更低的阶梯部构成。根据该镀覆工具的发明，除了具有与方式一或四相同的作用效果以外，例如通过设置将开口部的周围制成比支撑体的表面更低的阶梯部，可以用简易的构造来促进镀液的流入。

本发明的方式六是在方式一或四中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述镀液导引部由从所述开口部朝向所述支撑体的表面以研钵状展开的斜面构成。根据该镀覆工具的发明，除了具有与方式一或四相同的作用效果以外，通过设置从开口部朝向支撑体的表面以研钵状展开的斜面，就可以用简易的构造来促进镀液的流入。

本发明的方式七是在从方式一到六中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述横断线兼作向被镀物提供电流的电极。根据该镀覆工具的发明，除了具有与从方式一到六中的任意一项相同的作用效果以外，由于横断线兼作电极，因此可以使镀覆工具的构成简单化。另外，在电镀中，可以伴随转动的支撑体的反转，使房间内的被镀物也反转，使之与相反侧的电极接触，此外，即使在镀液中被镀物上浮的情况下，也可以使之与上侧的电极接触。所以，就可以在整个镀覆时间的大致全部时段内，确保对被镀物通电的状态，进行良好的覆膜形成。另外，由于与电极接触的被镀物的面伴随着反转动作而交替，因此也可以均一地控制两面的膜厚。另外，由于仅单面长时间接触电极，因此也不会发生镀覆与电极固着、剥离之类的膜缺陷。

本发明的方式八是在从方式一到七中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述房间具有对伴随着所述支撑体的转动而在房间内移动的被镀物在一定时间内稳定地支撑的至少两个稳定位置，在被镀物从该至少两个稳定位置当中的一个稳定位置向另一个稳定位置移动的途中，被镀物与所述房间的内壁面的至少1个位置的接触部位接触。根据该镀覆工具的发明，除了具有与从方式一到七中的任意一项相同的作用效果以外，通过采用在被镀物从房间内的一个稳定位置向另一个稳定位置移动时与房间的避免接触的构造，就可以用简单的构成向被镀物提供一定方向的旋转。另外，还可以利用房间的形状容易地进行对被镀物的旋转量的控制。

本发明的方式九是在方式八中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述房间的形状即使在所述支撑体移动至某个转动位置的状态下，也仍然是连接所述一个稳定位置和所述另一个稳定位置的线不会与垂直方向重合的形状。根据该镀覆工具的发明，除了具有与方式八相同的作用效果以外，还可以容易地制造出，在支撑体的转动动作中，被镀物在因重力而从一个稳定位置向另一个稳定位置移动的途中与房间的壁面接触的构造，从而可以向被镀物提供一定方向的旋转。

本发明的方式十是在从方式一到九中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，多个所述房间被排列设置于所述支撑体上。根据该镀覆工具的发明，除了具有与从方式一到九中的任意一项相同的作用效果以外，通过在支撑体上排列多个房间，可以1次对多个被镀物进行处理。所以，通过将被镀物分别地装入房间中，可以在进行膜厚的控制的状态下，对应进行较多数量的处理。

本发明的方式十一是在方式十中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述镀液导引部被设于每个所述开口部上。该镀覆工具的发明中，除了具有与方式十相同的作用效果以外，通过在每个开口部上设置镀液导引部，可以同样地促进镀液向开口部的流入，从而可以消除因支撑体上的开口部的配置引起的偏差。另外，通过根据开口部的位置使镀液导引部的形状或面积等改变，还可以分别地控制每个开口部的镀液的流入量。

本发明的方式十二是在从方式一到十一中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述支撑体是使具有贯穿孔的两片板重合在一起的构造。根据该镀覆工具的发明，除了具有与从方式一到十一中的任意一项相同的作用效果以外，通过采用使两片板重合在一起的构造，可以简单地形成将被镀物单独个别地配置的房间。即，所述房间可以通过使设置了所述贯穿开口或所述镀液导引部等的对称构造的两片板重合在一起来制造。

本发明的方式十三是在从方式一到十二中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述支撑体由沿转动半径方向较长的板形成构成。根据该镀覆工具的发明，除了具有与从方式一到十二中的任意一项相同的作用效果以外，由于将支撑体制成沿转动半径方向较长的板形状，转动的圆周变大，从而可以充分地确保镀液的搅拌功能。

本发明的方式十四是在从方式一到十三中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，以转动轴为中心以放射状构成多个所述支撑体。该镀覆工具的发明中，除了具有与从方式一到十三中的任意一项相同的作用效果以外，由于以转动轴为中心以放射状构成多个支撑体，因此可以进一步提高镀液的搅拌功能。另外，还可以对应于较多数量的处理，从而可以更有效地进行镀覆处理。

本发明的方式十五是以使用从方式一到十四中的任意一项中的镀覆工具，对具有内周面的形状的被镀物进行电镀为特征的镀覆方法。根据本发明的镀覆方法，可以获得与从方式一到方式十四中任意一项相同的作用效果而进行镀覆。特别是，由于可以进行对镀覆的膜厚的控制，因此当对被镀物形成了具有内周面的形状，例如环状形状或圆筒形状的被镀物进行镀覆时，可以缩小内周面、外周面或端面、角部的膜厚差。

本发明的方式十六是以使用了从方式一到十四中的任意一项的镀覆工具为特征的电镀装置。根据方式十六的电镀装置，可以获得与方式十五相同的效果。

本发明的方式十七是在将环状的被镀物挂在支撑部上的状态下进行镀覆的镀覆工具，是具有如下特征的镀覆工具，即，所述支撑部被按照以转动轴为中心进行公转的方式配置，具有与环状的被镀物的内周面接触而支撑的接触面、从该接触面的两侧对被镀物的位置进行限制的倾斜壁。根据该方式一的镀覆工具，由于采用了在具有接触面和倾斜壁的支撑部上挂被镀物的构成，因此可以稳定地保持被镀物，同时，还可以避免因被镀物与绝缘部分接触而导致膜厚不均一等问题。

本发明的方式十八是在方式十七中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述支撑部是设于以所述转动轴为转动中心的基部上的突起。该方式二中，由于将支撑部作为突起而形成，因此除了获得方式十七的作用效果以外，被镀物的装卸更加容易，可以有效地进行镀覆处理。

本发明的方式十九是在方式十八中还具有如下特征的镀覆工具，即，在以所述基部的所述转动轴为中心的圆形上排列了多个所述支撑部。该方式十八中，由于在圆形上排列了多个支撑部，因此除了方式十八的作用效果以外，还可以一次对多个被镀物进行处理。所以，通过将被镀物挂在各支撑部上，可以在进行镀覆膜厚的控制的同时，对应进行较多数量的处理。

另外，还可以对被镀物在镀液中受到的电场、流体阻力等条件大致均等地进行分配。

另外，通过多个支撑部的公转，也有搅拌镀液的作用，从而可以有效地进行镀覆处理。

本发明的方式二十是在方式十八或十九中还具有如下特征的镀覆工具，即，在所述支撑部上设置了防止被镀物的脱落的脱落防止机构。该方式十八的镀覆工具中，由于设置了脱落防止机构，除了获得与方式十八或十八相同的作用效果以外，还可以可靠地防止在镀覆处理中被镀物下落的情况。

本发明的方式二十一是在方式二十中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述脱落防止机构是在所述突起的头端部上形成的圆板。该方式二十一的镀覆工具中，由于使用圆板作为脱落防止机构，除了获得与方式二十相同的作用效果以外，即使支撑部因公转而位于某位置上，也可以用圆板的光滑的周部来阻挡因上浮等而要脱离的被镀物，并且可以利用公转动作而使之恢复正常的挂状态。

本发明的方式二十二是在方式二十一中还具有如下特征的镀覆工具，即，所述圆板的直径被设定为比被镀物的内径更小。该方式二十二的镀覆工具中，除了具有与方式二十一相同的作用效果以外，通过使圆板的直径小于被镀物的内径，可以不会分离圆板和支撑部或支撑部和基部地挂被镀物，因此定位更容易，使处理效率提高。

本发明的方式二十三是在从方式十七到二十二中的任意一项中还具有如下特征的镀覆工具，即，用通电性构件构成所述支撑部，利用所述支撑部向所述被镀物提供电流。该方式二十三的镀覆工具中，除了具有与方式十七到二十二中任意一项相同的作用效果以外，由于可以利用支撑部向被镀物提供电流，因此也可以有效地进行电镀处理。特别是，在同时对多个被镀物进行镀覆处理的情况下，也可以在所有的被镀物中可靠地流过电流。

本发明的方式二十四是以使用从方式十七到二十三中的任意一项的镀覆工具对环状的被镀物进行镀覆的镀覆方法。根据方式二十四的镀覆方法，可以获得从方式十七到方式二十三中的任意一项相同的作用效果而进行镀覆。特别是，由于可以进行镀覆的膜厚控制，因此可以制造作为精密部件的高精度的环状镀覆产品。

本发明的方式二十五是以使用了从方式十七到二十三的任意一项中的镀覆工具为特征的电镀装置。根据该方式二十五的电镀装置，可以获得与方式二十四相同的效果。

本发明的方式三十是在稀土类粘结磁铁的表面上利用电化学反应形成镍覆膜的镀覆方法，是具有如下特征的镀覆方法，即，包括：使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀液形成单层的镍覆膜的镀覆工序、在所述镀覆工序之前将作为被镀物的稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒而进行表面处理的表面活性化工序。

根据该镀覆方法，利用以特定浓度的盐酸进行的特定时间的表面活性化处理、以及使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀浴(瓦特浴)的单层的覆膜形成，可以获得抑制了铁锈和膨胀的产生的质量良好的镀覆。特别是，通过采用7～25秒的表面处理时间，可以在充分发挥利用盐酸的氧化膜除去效果的同时，避免稀土类粘结磁铁自身的氧化等由酸处理造成的不良影响。

本发明的方式三十一是在方式三十中还具有如下特征的镀覆方法，即，所述镀液是含有半光泽添加剂的镀液。根据该方式三十一，在维持方式三十的作用效果的同时，可以进行半光泽镀覆。另外，半光泽添加剂不含有可能与磁铁原料的腐蚀有关的硫，还可以期待有防止凹痕(pit)的效果，因此通过添加它可以形成良好的覆膜。

本发明的方式三十二是在稀土类粘结磁铁的表面形成了镍覆膜的镀覆产品的制造方法，是具有如下特征的镀覆产品的制造方法，即，作为所述稀土类粘结磁铁，使用空孔率在7体积％以下的稀土类粘结磁铁，在将该稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒而进行了表面处理以后，通过使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀液进行电镀，来形成单层的镍覆膜。该方式三十二中，可以制造具有良好的镀覆并且耐蚀性优良的镀镍产品。另外，通过使用空孔率在7体积％以下的稀土类粘结磁铁，尤其可以获得防止了铁锈和膨胀的产生的镀覆产品。

本发明的方式三十三是在方式三十二中还具有如下特征的镀覆产品的制造方法，即，所述稀土类粘结磁铁是通过形成将平均粒径0.5～50μm的稀土类磁铁粉末、结合树脂混合，并在该结合树脂的软化温度以上的温度下混合而制成的稀土类粘结磁铁用组合物而获得的。该方式三十三中，通过使用利用特定的制造方法而获得的稀土类粘结磁铁，可以获得由树脂产生的磁铁粉末的涂覆效果、磁铁本身的填塞效果(致密性)，因而稀土类粘结磁铁本身的防锈性提高。所以，与由镀覆带来的优良的耐蚀性一起，可以向稀土类粘结磁铁的镀覆产品提供优良的质量。

本发明的方式三十四是利用方式三十二或方式三十三的镀覆产品的制造方法而获得的镀覆产品。该镀覆产品是耐蚀性优良的稀土类粘结磁铁镀覆产品。

本发明的方式三十一是在镀液中的被镀物表面利用电化学反应形成镀覆的电镀方法，是具有如下特征的电镀方法，即，将表面磁通密度在0.25特斯拉以上的磁铁配置于所述镀液中来进行镀覆。

导致镀覆的针孔及铁锈的有机类异物，在大多数情况下会以与金属类异物形成一体的状态在镀液中悬浮，判定附着在被镀物(工件)上。根据本发明的电镀方法，通过将表面磁通密度在0.25特斯拉以上的磁铁配置于所述镀液中来进行镀覆，就可以使镀液中作为异物存在的有机物-金属结合体被磁铁吸附、捕捉。这样，就可以防止镀覆的针孔形成或铁锈的产生。另一方面，对于不含金属类异物的有机类异物，虽然它们在镀液中存在，但是由于不会像金属那样阳离子化，因此在电镀工序中，不会电吸附在被镀物上。所以，所得的镀覆就成为具有均一并且致密的优点的膜，在要求高精度的工业领域中，可以提供具备了耐药品性、耐环境性、高可靠性的镀覆产品。另外，本发明的电镀方法由于是利用磁力除去异物的方法，因此在使镀液循环的方式的过滤困难的共析镀覆中也很有效。而且，在本发明中，「电镀」一词以包含流入电淀积涂漆的较宽的意味而使用。

本发明的方式三十二是在镀液中的被镀物表面利用电化学反应形成镀覆的电镀方法，是具有如下特征的电镀方法，即，将具有可以捕捉在镀液中悬浮的微细的有机物-金属结合体的表面磁通密度的磁铁配置于所述镀液中而进行镀覆。

根据该电镀方法的发明，可以获得与方式三十一相同的作用效果。

本发明的方式三十三是具有填充镀液的镀槽、浸渍于所述镀液中的阴极及阳极的镀覆装置，是具有如下特征的电镀装置，即，在所述镀槽内，配置1到多个表面磁通密度在0.25特斯拉以上的磁铁。

该电镀装置是在实施方式31的镀覆方法上是适合的装置。

本发明的方式三十四是具有填充镀液的镀槽、浸渍于所述镀液中的阴极及阳极的镀覆装置，是具有如下特征的电镀装置，即，在所述镀槽内，配置1到多个具有可以有效地捕捉在镀液中悬浮的微细的有机物-金属结合体的表面磁通密度的磁铁。该电镀装置是在实施方式三十二的镀覆方法上是适合的装置。

在电镀中，在镀覆上附着有机物的理由大致认为有2个。

其一是，在有机类异物和被镀物物理吸附的情况下，这可以举出该异物与被镀物机械结合(挂)、粘接等。对于该情况，利用镀槽内的镀液的搅拌量或搅拌方法、对被镀物的利用碱的前处理，在大多数情况下可以解决。

其二是，在有机类异物上附着了微量的金属的状态下，受到被镀物的电吸引、吸附的情况。根据本发明人等的研究，成为铁锈的原因的有机类异物的表面由于一般由复杂的微细曲面构成，在与磁性碎屑等金属接合的情况下，该结合力较大，利用如上所述的手段不容易解除该结合。因此，被确认在该状态在镀液中悬浮，附着在被镀物(工件)上。此时，与有机类异物接合的金属类异物所占的比例越大，则吸附在被镀物上的可能性就越高。

图26是图示了用电子显微镜拍摄的由异物形成的针孔部分71的截面的图。同图中，符号461是镀覆表面，符号463是镀覆(截面)，符号473是异物。从图26可以判断，附着了异物473的部分无法形成镀覆，以变形的形状形成空隙而成为针孔。异物473虽然是像楔子那样被埋入镀覆463中的状态，但是由于不与工件405接触，因此在镀覆463的形成过程中被向工件405拉近而附着。

另外，图27中表示异物473部分的元素分析结果。如同图所示，从异物中，与金属元素(Ni；析出金属)一起，检测出了C、S、O、Cl等来自有机物的元素(而且Si为测定基础)。另外，与该元素分析一起，还利用FT-IR及拉曼分光测定进行了有机物的分析·鉴定。由此确认，异物为有机物和金属的结合体，有机物为表皮等微小片体。

从以上的情况可以看到，为了防止被镀物的针孔形成和铁锈的产生，效率优良地除去在镀液中悬浮的有机物-金属结合体是有效的。该有机物-金属结合体由于含有金属，因此具有吸附在磁铁上的性质。但是，在磁铁的磁力不足够的情况下，所吸附的有机物-金属结合体会因镀液液流等而再次脱离磁铁。例如，如特开平5-306500号公报所示，900高斯(0.09特斯拉)左右的表面磁通密度的磁铁虽然对于磁性碎屑等金属类异物可以维持吸附状态，但是不可能一直维持吸附的有机物-金属结合体。另外，例如特开平9-3694号公报所示，在其间夹隔隔壁而配置磁铁的情况下，由于需要确保镀槽的强度，需要一定的壁厚，镀液中的磁铁密度会大大减小，因此即使可以捕捉金属类异物，但是也不可能捕捉有机物-金属结合体。

与之相反，如后述的实施例5所示，当磁铁的表面磁通密度在0.25特斯拉以上时，吸附在磁铁上的有机物-金属结合体就不会脱离磁铁而再次在镀液中悬浮。即，如果表面磁通密度在0.25特斯拉以上，则一旦吸附在磁铁上，有机物-金属结合体就会成为一直被捕捉的状态，其结果是，就会防止在工件上的吸附。

附图说明

图1是镀覆工具的立体图。

图2是使托架(tray)竖立的状态的主视图。

图3是托架的立体图。

图4是托架的分解立体图。

图5A、图5B是基板的俯视图。

图6是小室部分的放大图。

图7A、图7B是小室部分的截面图。

图8是其他方式的小室部分的截面图。

图9是用于说明电镀装置的使用状态的图。

图10A、图10B是说明托架的转动动作和工件的移动的图。

图11是用于说明小室内的工件的移动的图。

图12A～图12F是说明小室的形状的例子的图。

图13是表示托架的其他的方式的立体图。

图14是表示托架的另一个方式的立体图。

图15是表示每个部位的膜厚的图表(实施例1)。

图16是表示每个部位的膜厚的图表(实施例2)。

图17是表示镀覆工具的整体像的立体图。

图18是用于说明基部的主要部分放大图。

图19是用于说明支撑部的主要部分放大图。

图20是用于说明电镀装置的使用状态的图。

图21是表示镀覆产品的膜厚测定部位的工件的主视图。

图22是表示镀覆产品的膜厚测定部位的工件的剖面图。

图23是表示实施例的每个部位的膜厚的图表。

图24是表示比较例的每个部位的膜厚的图表。

图25是表示镀覆方法的基本工艺例的流程图。

图26是镀覆的针孔部分剖面的放大图。

图27是表示异物的元素分析结果的图。

图28是表示本发明的电镀装置的概要的图。

图29是表示比较例的磁铁的配置的图。

具体实施方式

下面将参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是表示本发明的实施方式1的镀覆工具100的概要的立体图。该镀覆工具100是电镀用的工具，在左右的框架13a、13b之间，具有作为自由转动的支撑体的2个托架10a、10b。在该托架(tray)10a、10b上，分别作为配置被镀物的工件70的房间形成有多个小室30。该小室30由形成于托架10a、10b上的贯通开口的内壁面、作为横断线的阴极线33a、33b所限定。而且，在各小室30的周围，设有作为镀液导引部的挖入部37。

图2是从正面看到镀覆工具100的状态，这里表示的是托架10a及10b近似垂直地竖立的状态，在各小室30中配置有工件70。

在框架13a上，以相互锁合的状态配设有第1齿轮21、第2齿轮23、第3齿轮25。第2齿轮23、第3齿轮25分别贯穿框架13a的贯穿孔(未图示)而与托架10a、托架10b连接。第1齿轮21夹隔框架13a与相反一侧的驱动马达27连接。

在镀覆工具100的上部设有支柱15，可以握持该部分进行移动或向镀液中的浸渍。镀覆工具100的正面侧和背面侧被开放，另外，在底部也设有开口部19，在浸渍于电镀液中的状态下，镀液很容易地进入小室30内。

镀覆工具100的左右框架13a、13b的上部，在前后4个位置设有由金属等导电性材料构成的挂部17，在浸渍于电镀液中的状态下，可以将该挂部17悬架在横跨镀槽50的棒状物上(参照图9)。

另外，齿轮23(齿轮25)的中心部可以连接这里未图示的配线，从而可以电连接至托架10的轴34(参照图3)。

下面，参照图3～图8，对托架10(10a、10b)的详细情况进行说明。图3是托架10的立体图，图4是同图的分解立体图。另外，图5A、图5B是构成重合构造的托架10的基板11a、11b的俯视图，在图5A中呈现出托架10的外侧(表面构造)，在图5B中，呈现出重合了的托架10的内侧(相面对的面)。而且，图5B所示的基板11b是将图5A所示的基板11a的里面翻过来的状态，基板11a和基板11b基本上是相同的构造。

在本实施方式的托架10上，作为贯通了的开口部形成有两列小室30，每列有7个。小室30如后述所示，即使在托架10移动至某个转动位置的状态下，也仍形成连接一个稳定位置和另一个稳定位置的线不会与垂直方向重合的形状。

另外，在相当于小室30的入口和出口的贯通开口的两端部附近，按照缩小开口的方式，形成有突出形成的遮蔽壁39。该遮蔽壁39在将工件70配置于由小室30的内壁面、阴极线33所划出的空间中而进行镀覆的情况下，具有部分地遮蔽工件70的作用。

如图5A所示，在本实施方式中，在每个开口12中，设有一对遮蔽壁39，使之从开口12的相互面对的两个缘部(开口12的图5A、图5B的纸面的上下方向)向开口突出。从同图中可以看到，基板11a的开口12被从开口缘部的两侧相面对进出的遮蔽壁39缩小。托架10在镀覆处理时，由于以轴34(参照图3及图4)为中心转动，因此遮蔽壁39被设于所述相面对的两个缘部上，从而在因转动而在小室30内移动的工件70处于稳定位置(后述)的状态下，可以遮蔽工件70的下部。这样，就可以将环状的工件70的端面部和角部的膜厚均一化。而且，在图5B中，基板11b的遮蔽壁39显示于开口12的内部。

在各小室30的周围，对每个小室，设有比基板11a的表面(即托架10表面)略低而形成的挖入部37(基板11b的表面也相同)。该挖入部37是作为因托架10的转动而促进镀液向小室10内的流入的镀液导引部而发挥作用的部分。另外，挖入部37由于设于每个开口12上，因此按照使得伴随着托架10的转动，流入小室30的镀液的液量对于每个小室30都均等的方式作用。

本实施方式中，挖入部37由将开口缘部制得比基板11a、11b表面更低的阶梯部构成。利用该挖入部37的对镀液的流入促进作用，在通过设置了遮蔽壁39而将小室30的开口面积缩小的状态下，可以确保镀液的流入量，在这一点上特别有利。

另外，通过调整挖入部37的深度或面积，也具有可以对每个房间控制镀液流入量的作用。例如，当由于小室30的托架10的配置、托架10的大小或形状、镀槽50的大小、镀液流动的流速或方向等主要原因，在小室30间的镀液流入量上产生差别时，通过对每个小室30调整挖入部37的深度、大小、形状，就可以使各小室30的镀液的流入量均一化，此外，相反还可以有意地在每个小室30的镀液的流入量上保持差别。而且，作为镀液导引部的构造，除了本实施方式那样的阶梯部、后述的锥形构造以外，还可以举出朝向小室30的缘部形成于基板11a、11b表面上的槽等。

在托架10的两面上，以跨设于同列的全部小室30的状态，每个单面上配设有2条阴极线33。即，在各小室30的开口部上，每个单侧上横跨有1条(两侧共2条)阴极线33。阴极线33例如由不锈钢、铁、铜、钛、碳等导电性材料构成，在两个端部上接合有同样地由导电性材料形成的固定具31a、31b或固定具32a、32b。

阴极线33在各小室30的开口部两端，即开口部的顶部及底部(但是，当托架10反转时，它们就会被交替)上露出，与配置于小室30内的作为被镀物的工件70接触而具有使之通电的作用。另外，当在镀液中使托架10转动时，工件70在小室30内上浮，脱离下侧的阴极线33，但是，通过在两面上配设阴极线33，即使在上浮的状态下，也会因与上侧的阴极线33接触而有可以确保工件70的通电状态的效果。阴极线33的条数虽然在不会对镀覆造成妨碍的范围内，可以在小室30的每个单侧配设2条以上，但是当考虑到由金属向阴极线33的析出而造成的镀覆效率的降低时，最好在单侧设置1条。而且，对于阴极线33，最好对向工件70的通电所必需的部分以外的部位实施绝缘处理。

而且，阴极线33并不限定于平行配置，例如也可以配置成格子状。另外，还可以使阴极线33具有作为防止工件70的落下的落下防止机构的功能。当工件70落到电镀液中时，金属就会从工件70溶出，从而会对镀覆性能产生不良影响，但是，利用落下防止机构，就可以防止此类情况。

如前所述，阴极线33虽然与工件70接触而具有进行通电的功能，但是如果将阴极配置在其他的位置，例如小室30的内壁上，则不需要阴极线33。另外，当仅以作为落下防止机构的功能作为目的时，也可以不使用阴极线33，而在托架10的两侧配置合成树脂制的纤维或网等。

固定具31a、31b分别具有轴34。该轴34作为转动轴发挥作用，可以利用未图示的结合机构与第2齿轮23或第3齿轮25结合。轴34与具有导电性的固定具31a、31b一体形成，从而可以借助第2齿轮23或第3齿轮25的中心部而与未图示的配线电连接。另外，固定具32a、32b除了具有轴34以外，是与固定具31a、31b大致相同的构成。

如图4所示，固定具31a、31b(32a、32b)由金属制螺栓等，通过螺纹孔36及形成于突片35上的螺纹孔38被固定在构成托架10的基板11a(11b)上。此外，固定具31a和固定具32a及固定具31b和固定具32b被按照夹入两片树脂板11a、11b的方式安装。即，图4中，上侧的固定具31a和下次的固定具32a被按照可以借助贯穿上下的突片35的螺纹孔38的金属制螺栓等来确保电连接状态的方式构成。像这样就可以在对构成托架10的具有导电性的固定具实施用于抑制金属无谓的析出的覆盖处理的同时，进行借助金属制螺栓等的通电。

如前所述，托架10是使2片基板11a、11b重合在一起的构造。通过像这样采用将在单面上配设了阴极线33的2片基板11a、11b贴合在一起的构造，就可以简单地制造托架10。

在基板11a、11b上，以重合的状态成列状形成有成为小室30的开口12。构成托架10的基板11a、11b由于由例如合成树脂等非导电性材料形成，因此除了支撑工件70的作用以外，还发挥屏蔽作用。另外，托架10形成也充分地确保了开口12以外的面积的构造。这样就会在托架10转动时，具有搅拌镀浴的作用。在基板11a、11b的单面上，分别设有可以埋设阴极线33的槽16。

图6、图7A及图7B中表示小室30的详细的构造。同图是托架10的小室30附近的主要部分俯视图，图7A是图6的VIIa-VIIa向剖面图，图7B是由图7A的单点划线围成的区域的放大图。这里，是在小室30内配置了环状的工件70的状态。

如图7A、图7B所示，托架10的小室30附近的截面构造形成如下构成，即，从重合的基板11a、11b的外侧两面形成挖入部37、37，朝向小室30的开口突设有4个位置的遮蔽壁39、39、39、39，另外还配设有一对埋设于基板11a、11b中的阴极线33a、33b。

小室30内的工件70在镀覆中被构成小室30的非导电性的基板11a、11b所遮蔽。特别是，当工件70的外周面70a形成与小室30的壁面接触或靠近的状态时，由于非导电性的小室30的壁，很难在外周面70a的接触部位或靠近部位上形成覆膜。所以，例如在具有环状等内周面70b和外周面70a的工件70中，就可以对内外周的膜厚进行均一地控制。

如图6、图7A及图7B所示，为了获得充分的遮蔽效果，本实施方式中，与形成了环状的工件70的宽度L1相比，使非导电性的基板11a、11b的总厚度L更大。例如，当使L1＝L时，遮蔽就不充分，在工件70的特别是外周面上，就会形成较厚的膜，而通过使L1＜L，遮蔽效果就更可靠，其结果是，可以获得均一的膜厚。

另外，阴极线33a、33b被按照咬入基板11a、11b的方式配设。

即，阴极线33a、33b被按照埋设于形成于基板11a及11b上的槽16(参照图4)内的方式安装，从而限定小室30。所以，相面对的上下阴极线33a、33b间的距离L2就会小于基板11a、11b的总厚度L。其结果是，由于被阴极线33a、33b支撑的工件70隐藏在基板11a、11b的开口壁面中，因此可以获得充分的遮蔽效果。另外，通过在形成于基板11a及11b上的槽16内埋设阴极线33a、33b，可以将阴极线33a、33b牢固地固定，从而可以防止弯曲或变形、偏移等。

而且，如图7A所示，阴极线33a、33b被按照从遮蔽壁39的小室侧的壁面略微向内侧突出的方式配设。即，遮蔽壁39的内侧的壁面间的距离L3比阴极线33a、33b间的距离L2更长。这是因为，通过使工件70和阴极线33的接触不会被遮蔽壁39妨碍，并且利用阴极线33a、33b来限制小室30内的工件70的移动，来防止工件70与遮蔽壁39的顶部接触而无法移动的情况(挂住)。

而且，在本例中，将两条阴极线33a、33b间的距离L2和工件70的宽度L1的差设定为1mm左右。如果该L2和L1的差过大，则由于工件70会与托架10的动作无关地在小室30内反转或纵横交替，从而无法控制一个方向的旋转，因此最好根据工件70的形状来调整上下阴极线33a、33b之间的距离L2。另外，对于遮蔽壁39的内侧的壁面间的距离L3和工件70的宽度L1的关系，当在基板11a、11b的接合部上有阶梯时，为了在那里使工件70不会被挂住，将L3设为不超过L1的2倍。

另外，为了发挥遮蔽作用，遮蔽壁39的高度h最好确保足够的高度。具体来说，如图7B所示，当工件70为环状时，使遮蔽壁39的高度h(从小室30的内壁面向上竖立的壁的高度)大于工件70周部的厚度L4。

图8表示实施方式2的小室30附近的截面构造，是与图7A相同的位置的截面图。这里，将挖入部37制成了从开口朝向基板11a、11b的表面成研钵状展开的斜面。利用此种锥形构造的挖入部37，也可以与阶梯部(图6、图7A及图7B)相同地获得镀液的流入效果。

图9是将电镀工具100配置在镀槽50上的电镀装置110。电镀工具100在4个位置的挂部17上，被挂设在棒60a、60b上，并被浸渍到特定位置。如前所述，由于轴34可以经由第2齿轮23或第3齿轮25的中心部而与外部电连接，因此通过配线至该中心部，就会通电至托架10a、10b的阴极线33。此外，通过在电镀工具100的两侧配设阳极41，产生电化学反应，镀浴50中的金属离子就会向与阴极线33接触的工件70的表面析出，形成覆膜。

当使用镀覆工具100进行镀覆时，利用驱动马达27使第1齿轮21以特定的速度转动。第1齿轮21的运动既可以是向单一方向的旋转，也可以是向正反方向的旋转，或者是不形成旋转的摆动。而且，当未设置驱动马达27时，也可以通过手动进行该动作。第1齿轮21的转动被传递至第2齿轮23，使第2齿轮23转动。同样，第2齿轮23的转动被传递至第3齿轮25，使第3齿轮25转动。例如，第1齿轮21沿图9中箭头所示方向旋转时，第2齿轮23、第3齿轮25分别沿箭头的方向旋转。

第2齿轮23及第3齿轮25的转动经过轴34被直接传递至托架10a、10b，托架10a、10b即进行转动(旋转或摆动)。

图10A、图10B中表示托架10的转动和小室30内的工件70的移动。而且，这里，为了说明的方便，仅图示托架10的单侧的列的小室30，同时，将阴极线33、挖入部37、遮蔽壁39等的图示省略，采用单纯的开口构造进行表示。首先，考虑托架10从图10A所示的A位置沿图中细箭头所示方向旋转至B位置的情况。A位置处，小室30内的工件70位于最靠端部的位置，即与小室30的内壁面接触的位置。随着托架10旋转至B位置，小室30内的工件70即朝向粗箭头所示方向，在小室30内略微向基端侧移动。更具体来说，一边与这里未图示的阴极线33滑动接触，一边移动。

当托架10旋转至C位置时，小室30内的工件70即位于完全靠近基端侧的位置，即，成为和与小室30的头部的壁面相面对的壁面接触的状态。

托架10达到图10B所示的D位置时，工件70进行反转，成为与小室30的相反一侧的阴极线33接触的状态。当托架10从D位置再次沿细箭头方向旋转至E位置时，反转的工件70则再次在小室30内沿粗箭头所示方向向托架10的端部侧移动。当托架10又旋转而到达F位置时，工件70即成为与小室30的内壁接触的状态，不久再次旋转而返回图10A的A位置的状态。像这样，利用托架10的旋转，工件70在小室30内移动，同时，当托架30反转时，工件70也反转。而且，图10A、图10B的粗箭头虽然是表示小室30内的工件70的移动的方向，但是该移动是由重力造成的。

图11是用于说明本发明镀覆工具100的工件70的移动的示意图。这里，也适当地参照图10A、图10B进行说明。而且，图11A～D中，小室30呈现单纯的四角形(俯视图)，粗箭头表示工件70的移动方向，细圆弧的箭头表示工件70的旋转方向。另外，画于各图的侧部的在两端带有箭头的线Y表示以最短距离连接托架10的基端部(旋动中心)和端部的线方向(以下有时记作「Y轴」)。

首先，图11A中，工件70为被支撑于小室30内的一个稳定位置的状态。此时，假定小室30位于图10A的A位置。

从图11A的状态开始，随着托架10经过图10A的B位置移动至C位置，小室30内的工件70在小室30内朝向托架10的基端部侧移动。具体来说，一边与配设于小室30的下部的阴极线33(未图示)滑动接触，一边沿图11A的粗箭头方向移动至小室30的对置壁面。此外，与小室30内的对置部壁面相碰的工件70如图11B所示，在沿着壁面旋转的同时，沿粗箭头所示方向移动，到达该小室30的另一个稳定位置[图11C的位置]。

当又使托架10旋转，经过图10B的D位置、E位置，移动至F位置时，工件70的上下反转，沿图11C中粗箭头所示方向移动。具体来说，在与配设于下部的电极滑动接触的同时，移动至小室30的对置部壁面。由于托架10的旋转，与小室30的对置部壁面相碰的工件70在沿着壁面旋转的同时，沿图11D中的粗箭头所示方向移动，到达该小室30的最初的稳定位置[图11A的位置]。

通过反复进行以上的动作，工件70在小室30中沿单一方向非连续地旋转，同时移动。并不限定于使托架10旋转的情况，在使之以小于360°的角度摆动的情况下，如果是工件70因自重而在小室30内移动的角度，同样地可以获得单一方向的旋转。该单一方向的旋转是相对于托架10的旋转矢量轴具有直角矢量的旋转。利用该旋转，在具有内周面70b的环状的工件70中，在内外周实施膜厚均一的镀覆。

即，利用工件70的旋转，工件70的外周面70a与小室30的壁面接触的部位依次变化，其结果是，由于均一的遮蔽效果，外周面70a的膜厚变得均一。

另外，工件70的外周面70a由于被小室30的壁适当地遮蔽，因此抑制覆膜形成，不会发生仅外周面70a的镀覆加厚的情况，因而可以改善成与难以形成镀覆的工件70的内周面70b的膜厚差缩小。另外，通过设置遮蔽壁39，对于环状的工件70的端面、外周角部、内周角部，也可以形成与外周或内周相同程度的膜厚，从而可以获得具有非常高精度的覆膜的产品。

另外，由于工件70的端面与阴极线33接触部位会随着工件70的旋转而在短时间内发生变化，因此不会与阴极线33粘合。通常，已知当工件70的覆膜与电极粘合时，就会引起覆膜的缺损(镀覆剥离)，并成为导致作为装饰镀覆的外观不良或金属类被镀物的铁锈产生原因，但是，本发明可以防止此类情况，而且也不会残留任何工具痕。

图11中，虽然按照使俯视为四角形的小室30相对于Y轴倾斜的方式，例如以角度θ配置，但是从同图中可以看到，即使是相同的四角形，通过改变与Y轴的角度θ(这意味着改变小室30的形状)，也可以调节旋转量。

如图11所示，伴随托架10的转动，小室30内的工件70因重力而移动。利用该移动，并按照使工件70的移动路径不与Y轴[参照图11]重合的方式操作，就可以使工件70在小室30内沿一定方向旋转。当考虑托架10在旋转途中形成了竖立的状态，就可以容易地理解该情况。托架10在竖立的状态(图10B的C位置、F位置)下，Y轴与垂直方向重合。所以，当例如连接小室30内的稳定位置的线与Y轴重合时(例如俯视为圆或菱形的情况等)，小室30内的工件70就会在接近自由落下的状态下沿Y轴以最短距离移动。此种移动的情况下，就无法在小室30内使工件70沿单一方向旋转。即使假设产生了旋转，由于无法控制其旋转方向，因此也不可能控制旋转量。

但是，如果使连接工件70的小室20内的一个稳定位置[图11A的位置]和另一个稳定位置[图11C的位置]的直线与Y轴(垂直方向)不重合，则可以在移动途中使工件70与小室30的壁面接触而进行旋转。由于该旋转是一定方向，因此旋转量的控制也很容易。而且，工件70的旋转由于不是由托架10的转动和小室30的形状所造成的，因此没有必要采用复杂的机构。

小室30的形状(俯视)不限于四角形。图12A～图12F中，表示小室30的形状(俯视)的例子。图中，图12A为平行四边形，图12B为梯形，图12C为五角形，图12D为四角形，图12E为椭圆形，图12F为环带形，箭头表示工件70的移动方向。箭头的长短表示移动距离的长短，虚线表示不伴随旋转的移动。从图12A～图12F可以看到，利用小室30的形状可以改变工件70的旋转量。另外，如果小室30的形状相同，则工件70的旋转就总是朝同一方向。

为了在小室30内使工件70有效地旋转，如图11及图12A～图12F中示例所示，最好将小室30的形状制成相对于Y轴非线对称的形状。当这样设置时，就可以容易地制作出连接作为一个稳定位置的图11A的位置和作为另一个稳定位置的图11C的位置的线与垂直方向不重合的形状的小室30。即，在托架10的旋转动作中，由于很容易形成工件70因重力从一个稳定位置向另一个稳定位置移动的途中与小室30的壁面的至少一个位置的接触部位接触的构造，因此就可以对被镀物施加旋转。像这样，通过控制配置工件70的小室30的形状，就可以对工件70施加所需的旋转，从而可以形成均一的覆膜。

使用了本发明的镀覆工具100的镀覆可以按照与通常的镀覆工序和条件实施。如果示例利用本发明镀覆工具100进行电镀时的概要，则首先，将工件70定位于小室30内，根据需要进行了清洗后，在特定电流下进行无光泽电镀或半光泽电镀或者光泽电镀。镀覆物在清洗之后，通过进行干燥，就可以获得最终镀覆产品。

作为用作被镀物的工件70，例如最好为圆板状、圆筒状、环状、球等在小室30内容易沿内周方向旋转的形状。特别是，在电镀中，对于具有圆筒状、环状等的内周面70b，并且利用使用了以往工具的镀覆就很容易在内外周形成不均一的膜厚的形状的工件70，十分有效。

作为被镀物的材质，虽然金属、非金属均可，但是对于金属和非金属的复合物或带有空孔的金属等用通常的工具很难实施精密的镀覆的材质，也十分有效。作为此类材质，例如可以举出烧结合金、树脂和粉末金属的复合物、铸造合金等，更具体来说，例如可以举出烧结磁铁、粘结磁铁、铸造磁铁等。

作为所述磁铁原料，虽然例如可以举出以下的[1]～[6]，但是并没有特别限定。

[1]将以R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)、Co为主的过渡金属作为基本成分的材料。

[2]将以R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)、Fe为主的过渡金属(TM)和B作为基本成分的材料。

[3]将以R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)、Fe为主的过渡金属(TM)和以N为主的晶格间元素作为基本成分的材料。

[4]将以R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)、Fe等过渡金属(TM)作为基本成分并且具有软磁性相和硬磁性相相邻(也包括夹隔晶界相相邻的情况)存在的复合组织(尤其是，有被称为纳米复合材料组织的)的材料。

[5]将所述[1]～[4]的组成的材料当中的至少2种混合的材料。

[6]将所述[1]～[4]的组成的材料当中的至少1种和铁氧体粉末(例如SrO·6Fe₂O3等Sr-铁氧体等)混合的材料。

另外，作为粘结磁铁所使用的结合树脂(粘接剂)，可以举出热塑性树脂、热固性树脂等。作为热塑性树脂，例如可以举出一般被称为尼龙的聚酰胺、热塑性聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯等，可以使用它们当中的1种或混合使用2种以上。

另一方面，作为热固性树脂，例如可以举出环氧树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂等，可以使用它们当中的1种或混合使用2种以上。

本发明的镀覆工具100可以用简易的构造形成非常均一的镀覆，同时，由于不会产生因工具痕等引起的镀覆的缺损，因此对于硬盘用马达中使用的环状磁铁等的要求高尺寸精度、高防锈、防生尘等用途中使用的工件70的镀覆最为适合。

[实施例1]

下面利用实施例、实验例对本发明进行更详细的说明，但是，本发明并不受它们限制。

利用本发明的镀覆工具100和比较镀覆工具，分别进行镀覆，对所得的镀覆产品的膜厚和外观进行了比较。镀覆的条件如下。

<被镀物1>

对于被镀物，使用了外径9.4mm、内径7mm、高1.2mm的环状Nd-Fe-B类粘结磁铁。

<镀覆条件1>

(1)本发明镀覆工具：

将被镀物定位于图1所示的镀覆工具中，清洗后，以2A/dm²进行了60分钟镀覆。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。

将每1批的处理个数设为28个，镀覆中的托架10的旋转速度采用3～4rpm。

(2)比较镀覆工具：

除了未设置挖入部37以外，使用与本发明镀覆工具100相同的构成的工具，在与所述相同的条件下进行了镀覆。

<测定及结果1>

对于所得的镀覆产品，测定了外周面、内周面、端面A、端面B、外周角部、内周角部的膜厚。将其结果表示在图15中。从图15可以看到，使用本发明镀覆工具100进行了镀覆的镀覆产品，外周、内周、端面A、端面B、外周角部、内周角部的膜厚差最小，因而是均一的。另外，由于伴随着托架10的转动，工件70在小室30内转动，因此也未残留工具痕。与之相反，对于比较镀覆工具的情况，虽然外周和内周的膜厚为相同程度，比较良好，但是在它们和端面、外周角部及内周角部的膜厚上产生的一定的差。

[实施例2]

另外，利用实施例、实验例对本发明进行更详细的说明，但是，本发明并不受它们限制。

利用本发明的镀覆工具100和比较镀覆工具，分别进行镀覆，对所得的镀覆产品的膜厚和外观进行了比较。镀覆的条件如下。

<被镀物2>

被镀物，使用了外径19mm、内径17mm、高3.6mm的环状稀土类粘结磁铁。在该磁铁中，混合由合金组成为R-TM-B类合金构成的磁铁粉末(MQI公司制的MQP-B粉末)、环氧树脂、少量的肼类抗氧化剂，将它们在常温下混合30分钟，制作了粘结磁铁用组合物(compound)。此时，磁铁粉末、环氧树脂、肼类抗氧化剂的配合比例(重量比例)分别为95wt％、4wt％、1wt％。

然后，称量该组合物并填充于压制装置的模具内，在无磁场中，以常温、压力1370MPa压缩成形后，在170℃下使环氧树脂加热固化，得到了圆筒状的粘结磁铁。对该粘结磁铁实施了其高度方向的研磨处理。其后，利用滚筒研磨法将粘结磁铁研磨至各棱成为R0.2，将其作为磁铁主体。

<镀覆条件2>

(1)本发明镀覆工具：

将被镀物定位于图1所示的镀覆工具中，清洗后，使用50℃的无光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了30分钟无光泽电镀，然后用50℃的光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了20分钟光泽电镀。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。

将每1批的处理个数设为28个，镀覆中的托架10的旋转速度采用3～4rpm。

(2)比较镀覆工具1：

除了未设置遮蔽壁39及挖入部37，以及将横截小室30的阴极线33设为单侧2条以外，使用与本发明镀覆工具100相同的构成的工具，在与所述相同的条件下进行了镀覆。

(3)比较镀覆工具2(滚筒工具)：

使用了滚筒工具(已知的构成的工具)。将被镀物定位于滚筒工具中，清洗后，使用50℃的无光泽瓦特浴，以1A/dm²进行了100分钟无光泽电镀，然后用50℃的光泽瓦特浴，以1A/dm²进行了6.0分钟光泽电镀。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。

将每1批(滚筒)的处理个数设为30个，同时，在滚筒内投入了直径5mm的镍球200ml。另外，镀覆中的托架10的旋转速度采用3～4rpm。

<测定及结果2>

对于所得的镀覆产品，无差别地抽出4个样品，测定了外周面、内周面、端面A、端面B、外周角部、内周角部的膜厚。将其结果表示在表1及图16中。

                                     表1

镀覆工具	膜厚(单位：μm)						析出效率*(％)
								外周	内周	端面A	端面B	外周角部	内周角部
	本发明镀覆工具	23.8	21.3	26.3	25.0	28.0								27.5	69.7
比较镀覆工具1							23.5	22.3	34.3	39.0	38.0	35.8	53.5
	比较镀覆工具2	48.8	17.5	58.8	63.3	63.8								42.8	21.0

^*根据向工件的析出量/全部析出量(电极、工具、工件)而算出。

从表1及图16中可以看到，使用本发明镀覆工具100进行了镀覆的镀覆产品，外周、内周、端面A、端面B、外周角部、内周角部的膜厚差最小，因而是均匀的。另外，由于伴随着托架10的转动，工件70在小室30内转动，因此也未残留工具痕。另外，对于镀覆析出效率，也显示出了69.7％这样良好的值。

与之相反，对于利用比较镀覆工具2(滚筒工具)的镀覆，膜厚的不均较大，因而无法使内周面和外周面、外周角部和内周角部的膜厚等均一化。另外，镀覆析出效率为21.0％，约8成向通电用的滚筒介质析出。

另外，比较镀覆工具1的情况下，虽然外周和内周的膜厚为相同程度，比较良好，但是在它们和端面、外周角部及内周角部的膜厚上产生的一定的差。另外，析出效率为53.5％。这被认为是因为与本发明工具相比，电极(阴极线33)的条数较多。

而且，对于辅助阳极工具(与特开2001-73198号公报相同的构成)，进行了与所述相同的实验。该工具中，由于在兼作阴极的圆环状支撑具的中央具有镍制的辅助阳极，因此工件在其外周被设于圆环状支撑具的内周面的3个凸棱以3点支撑。镀浴中的阳极的配置与图3相同。镀覆条件为，将被镀物定位于镀覆工具中，洗净后，使用50℃的无光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了60分钟无光泽电镀，然后用50℃的光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了20分钟光泽电镀。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。将每1批的处理个数设为16个，镀覆中处于静止状态。而且，由于在外周残留与凸棱的接触而留下的工具痕，因此在镀覆膜厚的测定中，躲开该部分进行测定。其结果是，虽然膜厚的不均不太大，但是可以看到异物在镀覆产品上的附着。该异物被认为是辅助阳极中使用的镍脱离后形成的。另外，如前所述，在外周面残留有工具痕。

而且，虽然对使用不溶性阳极材料(SUS、钛—铂、碳等)作为其他辅助阳极的情况也进行了实验，但是基本无法获得阳极效果，无法改善内外周的膜厚差。

以上虽然以各种实施方式对本发明进行了叙述，但是本发明并不限定于所述实施方式，在权利要求的范围所述的发明的范围内，也可以适用于其他的实施方式。

例如，虽然在所述实施方式1中(图1)使用电镀用的镀覆工具100进行了说明，但是在自由转动的托架10上形成的房间(小室30)内单独个别配置了工件70的构造也可以用于非电解镀的情况。该情况下，可以取代阴极线33，作为横断线，配设合成树脂线等。

另外，托架10并不限定于图1所例示的构成，例如也可以是作为实施例3在图13中所示的托架111那样的构成。该托架111不具有遮蔽壁，作为镀液导引部，设有从开口缘部向托架111表面展开的锥形状的挖入部120。托架111是作为电镀用的工具使用的部件，形成沿其转动矢量轴方向尺寸较短，沿其转动半径方向尺寸较长的板状。另外，还形成充分地确保了作为与镀液的接触面的壁部80的面积的构造。利用此种形状，可以充分地确保镀液的搅拌功能。另外，可以大大促进镀液从拓宽了面积的壁部80向挖入部120的流入。

图14是表示实施方式4的托架112的概要的立体图。该托架112是可以用于非电解镀的部件，不具有遮蔽壁，也未配设电极。工件70(未图示)可以设置适合的落下防止机构(线、网、凸棱、突片等)而配置于小室30内。这里，通过按照从侧面看为十字形的方式配置2片板状构件或4片板状构件，来提高搅拌功能。在该托架112中，壁部80也确保了充分的面积。另外，作为镀液导引部，具有由设置了使开口缘部比托架112表面更低的阶梯的阶梯部构成挖入部121。这样，就可以大大地促进镀液从拓宽了面积的壁部80向挖入部121的流入。

另外，通过按照从侧面看呈十字形的方式配置板状构件，可以增加小室30，从而可以一次处理多个工件70。

而且，虽然图14中以未配设电极的例子进行了说明，但是通过在托架112上配设兼作防止落下的阴极线(符号33)，也可以用于电镀中。

另外，图14中，虽然为了提高搅拌功能，按照从侧面看呈十字形的方式配置了板状构件，但是例如采用3片(侧面看为Y字形)板状构件，也可以相同地提高搅拌功能。另外，只要在设计上可以安装的范围内，还可以将板状构件设为5片以上的构成，对于该构成也可以期待充分的搅拌效果。

图17是表示本发明的实施方式5的镀覆工具200的概要的立体图。该镀覆工具200是适于对环状粘结磁铁等实施镀覆的电镀工具，作为跨设于左右框架13a、13b之间的转动轴的轴210上，作为基部，这里设有2片旋转盘211a、211b。在各旋转盘211a、211b上，各设有8个用于挂作为被镀物的工件270的支撑部231。而且，这里，表示将工件270挂在各支撑部231上的状态。

在框架13a上，以相互锁合的状态配设有第1齿轮221及第2齿轮223。第2齿轮223穿过框架13a的贯穿孔(未图示)与轴210连接。第1齿轮221夹隔框架13a与相反一侧的驱动马达(未图示)连接。

在镀覆工具200的上部设有握持部(支柱)15，可以握持该部分来进行移动或向镀浴中的浸渍。镀覆工具200的正面侧和背面侧被敞开，另外，在底部也设有开口部219，形成在浸渍于镀浴中的状态下镀液容易流通的构造。

在镀覆工具200的左右框架13a、13b的上部，在前后4个位置上设有由金属等导电性材料构成的挂部217，在浸渍于镀浴中的状态下，就可以将该挂部217悬挂在横跨镀槽250的棒状物上(参照图20)。

另外，齿轮223的中心部可以连接这里未图示的配线，借助由SUS等金属制材质构成的轴210及旋转盘11可以电连接至支撑销234的缩颈部235。支撑销234的缩颈部235的金属表面露出，通过用该部分支撑工件270，使工件270通电。

旋转盘11以轴210为中心，可以沿例如图18所示的箭头的方向旋转。在旋转盘11上，为了不妨碍在支撑部231周边的镀液的流通，设有多个开口12。

支撑部231如图19所示，由从旋转盘11的壁面近似垂直地突出的棒状支撑销234形成，包括作为接触面的缩颈部235的周面、按照从两侧夹持该缩颈部235的方式形成的作为倾斜壁的锥部236a、236b、作为防止脱落机构的圆板233。而且，虽然旋转盘11和支撑销234也可以形成一体，但是通过使二者可以分离，就可以容易地对应尺寸不同的工件270。

缩颈部235作为沿支撑销234的轴线方向平坦的周面而构成，与工件270的内周面接触，按照将其稳定地保持的方式发挥作用。缩颈部235的宽度(L1)可以如后述所示，根据工件270的宽度来设定。

锥部236a、236b由以与支撑销234的轴线方向正交的方向为基准，以角度θ倾斜的面形成。这里，锥形的倾斜角θ可以根据工件270的大小和周部壁厚来适宜地设定，例如可以设定为30°～85°，最好设定为45°～75°。

而且，当要仅利用锥面(V字槽)将工件270稳定地保持时，工件270的内周有可能沿着倾斜的槽接触，整体倾斜，此外，工件270还可能过度进入槽中，其端面(参照图22)成为阴影，因而覆膜形成不充分。此时，当将V字槽的宽度缩小至不会使端面成为阴影时，工件270就容易脱离。

另外，相反地，当仅设置缩颈部235，不设置锥部236a、236b地设定阶梯部(即图19的角度θ为0)时，如后述比较例所示，在工件270的位置偏斜，成为其端部与左右某个阶梯部的壁接触的状态的情况下，有可能该部位的镀覆的形成不充分，从而造成膜厚不均。另外，在将缩颈部235及锥部236a、236b都不设置，使支撑销234沿轴线方向形成平坦的构成的情况下，工件270的位置也会不稳定，当向旋转盘11侧或圆板233侧偏斜时，会产生同样的问题。所以，最好按照使缩颈部235夹在中间的方式，在两侧设置锥部236a、236b。

在支撑销234的头端，与锥部236b相邻，设有作为脱落防止机构的圆板233。即使在被支撑销234挂住的工件270在镀液中公转时，因液流或液体阻力等而从缩颈部235上浮的情况下，该圆板233也会使之不会脱离支撑销234。当工件270落到镀浴中时，虽然有金属从工件270中溶出，对镀覆性能造成不良影响的情况，但是，利用脱落防止机构可以可靠地防止此类情况的发生。

另外，虽然圆板233和支撑销234也可以形成一体，但是例如也可以采用合成树脂等材质可以分离地形成圆板233。而且，通过使圆板233的直径小于工件270的内径，即使在将圆板233和支撑销234制成一体的情况下，也可以容易地进行工件270的拆装。

作为脱落防止机构，并不限定于圆板233，例如也可以通过将支撑销234的头端部制成T字形等来防止工件270的脱落。但是，在制成圆板233的情况下，由于具有光滑的圆周面，因此可以获得如下的优点，即，在支撑销2344的公转动作的任意一个时刻，都可以相同地支撑即将脱落的工件270的周面，从而防止脱落。

工件270如图19中双点划线所示，其内周面270d(参照图22)在与缩颈部235接触的状态下被挂。由于该状态下，缩颈部235的宽度L1略长于工件270的幅长L2(参照图22)，因此工件270被稳定地保持，而向支撑销234的轴线方向(即与旋转盘11的壁面正交的方向)的较大的移动又被锥部236a、236b限制。具体来说，例如在工件270的幅长L2为0.7～0.9mm的情况下，最好将缩颈部235的宽度L1设定为1.1～2.0mm左右。

本实施方式5的镀覆工具200中，利用与轴210一起自由转动的旋转盘11的旋转，可以使支撑部231以轴210为中心进行公转。此时，设于旋转盘211a、211b上各8个位置的支撑部231由于按照公转轨道重合的方式排列成圆形，因此就可以将在镀液中受到的电场、流体阻力等条件大致均等地分配。另外，伴随着支撑部231的公转，被挂在构成支撑部231的支撑销234上的工件270也会在略微改变其内周面的接触位置的同时进行旋转，在周方向形成均一的镀覆，而不留下工具痕迹。

另外，由于支撑部231被设于旋转盘211a、211b上各8个位置上，因此可以一次处理多个工件270。所以，通过将工件270挂在各支撑部231上，可以在进行镀覆膜厚的控制的同时，对应较多数量的处理。

另外，利用多个支撑部231的公转，还具有搅拌镀浴250的作用，从而可以有效地进行镀覆处理。

像这样，在本实施方式5的镀覆工具200中，由于可以不用将工件270固定而通电，因此工件270的定位和取下操作都十分容易，效率良好。而且，通过利用缩颈部235和按照将其夹在中间的方式形成的锥部236a、236b来稳定地保持工件270，就可以确保通电性，同时还可以减小镀液中的工件270的移动(偏离)。另外，由于采用了在与旋转盘11的壁面或圆板233的壁面之间夹隔锥部236a、236b的构成，因此工件270的端面很难成为两壁面的阴影，因而不会产生两端面的膜厚的不同或膜厚不足的问题。

在以上的构成中，在对工件270的通电所必需的缩颈部235及锥部236a、236b以外的金属部位上，最好尽可能实施绝缘处理。

图20是在镀槽250中配置了电镀工具200的电镀装置310。电镀工具200在4个挂部217上，被悬挂在棒260a、260b上，并被浸渍至镀液251中的特定位置。如前所述，轴210由于可以经由第2齿轮223的中心部而与外部的阴极电连接，因此通过配线至该中心部，就可以通电至支撑部231的缩颈部235。此外，通过在电镀工具200的两侧配设阳极241，即产生电化学反应，镀浴250中的金属离子向与缩颈部235接触的工件270的表面析出，形成覆膜。

当使用镀覆工具200进行镀覆时，利用驱动马达(未图示)使第1齿轮221以特定的速度转动。第1齿轮211的运动既可以是向单一方向的旋转，也可以是向正反方向的旋转，或者是不形成旋转的摆动。而且，当未设置驱动马达时，也可以通过手动进行该动作。第1齿轮221的旋转被传递至第2齿轮223，使第2齿轮223沿箭头所示方向旋转。第2齿轮223的旋转经过轴210被直接传递至旋转盘211a、211b，使各支撑部231开始公转，而且，工件270的内周面一边与缩颈部235滑动接触，一边旋转或摆动。

使用了本发明的镀覆工具200的镀覆可以按照通常的镀覆工序和条件实施。利用本发明的镀覆工具200进行电镀时的概要为，例如将工件270挂设在支撑销234上，根据需要进行了清洗后，在特定电流下，进行无光泽电镀或半光泽电镀或者光泽电镀。镀覆物在洗净之后，通过进行干燥，就可以获得最终产品。

作为用作被镀物的工件270，例如可以挂在支撑销234上的物体就成为对象。特别是在电镀中，对于使用以往的工具的镀覆中膜厚很容易不均一的环状的工件270十分有效。

作为被镀物的材质，虽然金属、非金属均可，但是对于金属和非金属的复合物或带有空孔的金属等用通常的工具很难实施精密的镀覆的材质，也十分有效。作为此类材质，例如可以举出烧结合金、树脂和粉末金属的复合物、铸造合金等，更具体来说，例如可以举出烧结磁铁、粘结磁铁、铸造磁铁等。

作为所述磁铁原料，虽然例如可以举出以下的[1]～[6]，但是并没有特别限定于它们。

[1]将以R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种。以下相同。)、Co为主的过渡金属作为基本成分的材料。

[2]将以R、Fe为主的过渡金属(TM)和B作为基本成分的材料。

[3]将以R、Fe为主的过渡金属(TM)和以N为主的晶格间元素作为基本成分的材料。

[4]以R、Fe等过渡金属(TM)作为基本成分并且具有软磁性相和硬磁性相相邻(也包括夹隔晶界相相邻的情况)存在的复合组织(尤其是，有被称为纳米复合材料组织的)材料。

[5]将所述[1]～[4]的组成的材料当中的至少2种混合的材料。

[6]将所述[1]～[4]的组成的材料当中的至少1种和铁氧体粉末(例如SrO·6Fe₂O₃等Sr-铁氧体等)混合的材料。

另外，作为粘结磁铁所使用的结合树脂(粘接剂)，可以举出热塑性树脂、热固性树脂等。作为热塑性树脂，例如可以举出一般被称为尼龙的聚酰胺、热塑性聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯等，可以使用它们当中的1种或混合使用2种以上。

另一方面，作为热固性树脂，例如可以举出环氧树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂等，可以使用它们当中的1种或混合使用2种以上。

本发明的镀覆工具200可以用简易的构造形成非常均一的镀覆，同时，由于不会产生因工具痕等引起的镀覆的缺损，因此对于硬盘用马达中使用的环状磁铁等要求高尺寸精度、高防锈、防生尘等用途中使用的工件270的镀覆最为适合。

下面虽然将举出实施例3对本发明进一步详细说明，但是本发明并不受它的任何限定。

利用本发明的镀覆工具200和比较镀覆工具，分别进行镀覆，对所得的镀覆产品的膜厚和外观进行了比较。镀覆的条件如下。

<镀覆工具>

作为本发明镀覆工具，使用了图17所示的工具。作为比较镀覆工具，使用了除了未在支撑销234上设置锥部236a、236b而利用垂直的阶梯部形成了缩颈部235以外，与本发明镀覆工具200相同构成的工具。

<被镀物>

被镀物，使用了环状稀土类粘结磁铁。在该磁铁中，混合由合金组成为R-TM-B类合金构成的磁铁粉末(MQI公司制的MQP-B粉末)、环氧树脂、少量的肼类抗氧化剂，将它们在常温下混合30分钟，制作了粘结磁铁用组合物(compound)。此时，磁铁粉末、环氧树脂、肼类抗氧化剂的配合比例(重量比例)分别为95wt％、4wt％、1wt％。

然后，称量该组合物并填充于压制装置的模具内，在无磁场中，以常温、压力1370MPa压缩成形后，在170℃下使环氧树脂加热固化，得到了圆筒状的粘结磁铁。对该粘结磁铁实施了其高度方向的研磨处理。其后，利用滚筒研磨法将粘结磁铁研磨至各棱成为R0.2，将其作为磁铁主体。

<镀覆条件>

将被镀物定位于镀覆工具中，洗净后，使用50℃的无光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了30分钟无光泽电镀，然后用50℃的光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了20分钟光泽电镀。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。而且，将每1批的处理个数设为16个。

<测定及结果>

对于所得的镀覆产品，无差别地抽出样品，对于图21所示的从0°到33°的12个位置的测定点，测定了图22所示的工件270(环状镀覆产品)的A端面270a、B端面270b、外周面270c及内周面270d的膜厚。将其结果表示在表2及图23(本发明镀覆工具的结果)及图24(比较镀覆工具的结果)中。

                                                      表2

角度(*)	本发明镀覆工具膜厚<有锥面>				比较镀覆工具膜厚<无锥面>
									A端面	B端面	外周	内周	A端面	B端面	外周	内周
	10	31.4	33.3	26.3	22.9	36.8	26.4	24.9									21.0
30									31.1	32.9	25.7	22.4	37.3	28.1	25.7	21.9
	60	32.0	33.3	25.5	22.3	38.1	28.7	25.5									21.4
90									32.8	33.2	26.4	21.8	37.6	27.5	24.9	20.3
	120	31.9	34.0	25.6	22.2	37.5	25.3	25.3									21.3
150									32.5	34.2	26.0	21.7	36.4	25.9	24.8	20.1
	180	33.2	33.5	26.7	22.1	33.6	25.3	25.4									21.2
210									32.7	32.2	26.2	21.9	35.1	24.6	26.5	20.9
	240	32.6	31.3	25.8	22.4	34.3	21.9	25.8									20.2
270									33.7	31.4	25.7	22.5	34.0	19.8	25.9	19.7
	300	33.1	33.0	25.2	21.2	35.2	20.4	24.7									18.7
330									32.4	32.9	25.9	22.6	34.6	24.0	25.2	19.3
	平均	32.5	33.0	25.9	22.2	35.9	24.8	25.4									20.5
偏差									2.6	2.9	1.5	1.7	4.5	8.9	1.8	3.2

从表2及图23、24中可以看到，使用本发明镀覆工具200进行了镀覆的镀覆产品，A端面270a、B端面270b、外周面270c及内周面270d的膜厚差较小，同时，对由某个测定点造成的变动也较小，因而是均匀的。另外，由于伴随着支撑销234的公转，工件270进行旋转，因此也未残留工具痕。

与之相反，利用未设置锥部236a、236b的比较镀覆工具的镀覆中，A端面270a和B端面270b膜厚差较大，在膜厚上可以看到偏差，而且由测定点造成的变动与使用了本发明镀覆工具200的情况相比也明显增大。

以上虽然以各种实施方式对本发明进行了叙述，但是本发明并不限定于所述实施方式，在权利要求的范围所述的发明的范围内，也可以适用于其他的实施方式。

例如，虽然在所述实施方式5中(图17)使用电镀用的镀覆工具200进行了说明，但是在将工件270挂在形成于轴210上的支撑部231内的构造也可以用于非电解镀的情况。

下面对实施方式6的镀覆方法进行说明。本发明的镀覆方法是包括如下工序的工艺，即，在稀土类粘结磁铁的表面上利用电化学反应形成镍覆膜的镀覆处理时，将作为被镀物的稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒而进行表面处理的表面活性化工序，使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀浴形成单层的镍覆膜的镀覆工序。

<表面活性化工序>

表面活性化工序是将作为被镀物的稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸溶液中7～25秒而进行表面处理的工序。盐酸具有在短时间内溶解去除氧化铁等的效果，利用该作用可以溶解去除稀土类粘结磁铁表面的氧化膜，将磁铁表面活性化。该工序中，所使用的盐酸的浓度和浸渍时间的关系特别重要。在盐酸浓度过低或者浸渍时间过短的情况下，氧化铁覆膜的去除就不充分，有可能引起镀覆的密接性降低等问题，相反，在浓度过高或者浸渍时间过长的情况下，盐酸会浸透空孔较多的稀土类粘结磁铁而将磁铁自身的铁部分氧化掉，从而成为铁锈的产生原因。所以，对于盐酸浓度和浸渍时间，存在能够形成良好的镀覆的特定的范围。另外，如果是特定的条件，如后述所示，还考虑由氯离子的残留造成的良好影响。根据以上的理由，本发明的镀覆方法中，在稀土类粘结磁铁的表面活性化处理中，采用在1～6％浓度的盐酸溶液中进行7～25秒浸渍处理的条件，特别优选通过在1.5～5.5％浓度的盐酸溶液中浸渍10～20秒，获得非常优良的镍镀覆。

<镀覆工序>

使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀浴(瓦特浴)。另外，在所述镀浴中，还可以添加半光泽添加剂。作为半光泽添加剂，没有特别限制，可以使用公知的材料。

另外，本发明方法中，不进行多层镀覆，形成单侧的镍覆膜。通常，为了提高耐蚀性，虽然两层至三层的多层镀覆是有效的，但是在利用盐酸的表面活性化处理和使用瓦特浴的本发明镀覆方法的情况下，如后述实施例3所示，与通常惯例相反，确认单层镀覆的方法有效。

<基本工艺例>

图25表示实施方式6的稀土类粘结磁铁的电镀工艺的工序例。本实施方式包括碱清洗工序、第1水洗工序、表面活性化工序、第2水洗工序、镀覆工序、第3水洗工序、热水洗工序、干燥工序，镀覆处理通过对作为被镀物的稀土类粘结磁铁依次施加各工序而实施。

碱清洗工序是使用以磷酸盐、碳酸盐为主成分的碱溶液(pH11左右)，对稀土类粘结磁铁表面进行清洗的工序。清洗使用例如60℃的碱溶液进行1分钟左右。

水洗工序是为了防止前段的处理的药液的混入而进行的，本实施方式中，如图25所示，实施第1～第3共3次。水洗例如可以通过在室温下反复进行2～3次30秒的清洗来实施。

表面活性化工序具有如前所述的意义，本实施方式中使用3.5％的盐酸，在室温下实施1次10秒的浸渍。

镀覆工序如前所述，使用瓦特浴，例如在50℃下以电流密度2A/dm²通电40分钟，形成1层的镀覆。而且，工具的种类没有特别限制，例如可以使用托架式、挂式等工具。

以下表示镀覆工序中可以使用的半光泽瓦特浴的例子。

[镀液构成]1升中

硫酸镍             300g/升

氯化镍             50g/升

硼酸               50g/升

半光泽添加剂       适量(以芳香族类盐为主成分，不含硫)

纯水               剩余部分

热水洗工序、干燥工序都是一般的收尾处理，可以依照常法实施。

<稀土类粘结磁铁镀覆产品>

成为镀覆的对象的稀土类粘结磁铁的空孔率优选在7体积％以下，更优选3体积％以下。而且，稀土类粘结磁铁的形状、尺寸等没有特别限定，例如圆柱状、方柱状、圆筒状、圆弧状、平板状、弯曲板状等所有形状的磁铁都成为对象。

稀土类粘结磁铁如后述所示，例如将平均粒径0.5～50μm的稀土类磁铁粉末、结合树脂混合，将在该结合树脂的软化温度以上的温度下混合而成的稀土类粘结磁铁用组合物成形而获得。

稀土类粘结磁铁用组合物是含有如下的稀土类磁铁粉末和结合树脂的组合物。

作为稀土类磁铁粉末，优选由含有稀土类元素和过渡金属的合金构成的材料，特别优选以下的(1)～(5)。

(1)将以Sm为主的稀土类元素、和以Co为主的过渡金属作为基本成分的材料(以下称为Sm-Co类合金)。

(2)将R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)、以Fe为主的过渡金属、B作为基本成分的材料(以下称为R-Fe-B类合金)。

(3)将以Sm为主的稀土类元素、以Fe为主的过渡金属、和以N为主的晶格间元素作为基本成分的材料(以下称为Sm-Fe-N类合金)。

(4)将R(其中R为含有Y的稀土类元素当中的至少1种)和Fe等过渡金属作为基本成分并且具有纳米水平的磁性相的材料(以下称为纳米结晶磁铁)。

(5)混合了所述(1)～(4)的组成的材料当中的至少2种的材料。此时，可以同时具有混合的各磁铁粉末的优点，从而容易获得更优良的磁特性。

作为Sm-Co类合金的代表性的材料，可以举出SmCo₅、Sm₂TM₁₇(其中TM为过渡金属)。

作为R-Fe-B类合金的代表性的材料，可以举出Nd-Fe-B类合金、Pr-Fe-B类合金、Nd-Pr-Fe-B类合金、Ce-Nd-Fe-B类合金、Ce-Pr-Nd-Fe-B类合金、将它们中的Fe的一部分用Co、Ni等其他过渡金属置换后的材料等。

作为Sm-Fe-N类合金的代表性的材料，可以举出将Sm₂Fe₁₇合金氮化而制作的Sm₂Fe₁₇N₃等。

作为磁铁粉末的所述稀土类元素，可以举出Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、铈镧合金，可以含有它们的1种或2种以上。另外，作为所述过渡金属，可以举出Fe、Co、Ni等，可以含有它们的1种或2种以上。另外，为了提高磁特性，还可以在磁铁粉末中，根据需要，含有B、Al、Mo、Cu、Ga、Si、Ti、Ta、Zr、Hf、Ag、Zn等。

磁铁粉末的平均粒径虽然没有特别限定，但是优选0.5～50μm左右，更优选1～30μm左右，进一步优选2～25μm左右。另外，磁铁粉末的粒径分布最好以一定程度分散(有离差)。这样也可以降低所得的粘结磁铁的空孔率。而且，在所述(5)的情况下[即混合所述(1)～(4)的2种以上的情况]，也可以对于混合的每个磁铁粉末的组成，使其平均粒径不同。

作为结合树脂，可以合适地使用热固性树脂。一般来说，在使用热固性树脂作为结合树脂的情况下，与使用热塑性树脂的情况相比，虽然磁铁的空孔率容易增大，但是通过使用如后述的条件的稀土类粘结磁铁用组合物(compound)，可以降低磁铁的空孔率。

作为热固性树脂，例如可以举出环氧树脂、酚醛树脂、脲醛树脂、三聚氰胺树脂、聚酯(不饱和聚酯)树脂、聚酰亚胺树脂、硅树脂、聚氨基甲酸乙酯树脂等，可以使用它们当中的1种或混合使用2种以上。

在它们当中，从成形性的提高更为显著、机械强度更强、耐热性更优良的方面考虑，优选环氧树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂、硅树脂，特别优选环氧树脂。另外，这些热固性树脂与磁铁粉末的混合性、混合的均一性也十分优良。

而且，所使用的热固性树脂(未固化)可以使用在室温下呈固态(粉末状)的材料或者液态的材料。

如上所述的结合树脂粉末在稀土类粘结磁铁用组合物中的含量优选在1～10重量％左右，更优选在1～8重量％左右，进一步优选在1～5.5重量％左右。当结合树脂粉末的含量过多时，无法实现磁特性(特别是磁能量积)的提高，另外，当结合树脂粉末的含量过少时，成形性降低，在极端的情况下难以或不能成形。

另外，稀土类粘结磁铁用组合物可以含有抗氧化剂。抗氧化剂是在后述的稀土类粘结磁铁用组合物的混合时等，为了防止由稀土类磁铁粉末的氧化老化或结合树脂的氧化导致的变质(由于稀土类磁铁粉末的金属成分作为催化剂发挥作用而产生)而在该组合物中添加的添加剂。该抗氧化剂的添加可以防止稀土类磁铁粉末的氧化，有助于磁铁的磁特性的提高，同时，稀土类粘结磁铁用组合物的混合时、还有助于成形时的热稳定性的提高，在以较少的结合树脂量就可以确保良好的成形性方面，发挥十分重要的作用。

作为抗氧化剂，只要是可以抑制稀土类磁铁粉末等的氧化的物质，可以是任何物质，例如可以合适地使用胺类化合物、氨基酸类化合物、硝基羧酸类化合物、肼类化合物、氰基化合物、硫化物等与金属离子特别是Fe成分生成螯合物的螯合剂。

稀土类粘结磁铁用组合物中的抗氧化剂的添加量优选0.1～2重量％左右，更优选0.5～1.5重量％左右。此时，抗氧化剂的添加量优选相对于结合树脂的添加量为10～150％左右，更优选25～90％左右。而且，本发明中，抗氧化剂的添加量既可以在所述范围的下限值以下，另外不用说也可以不添加。

抗氧化剂由于在稀土类粘结磁铁用组合物的混合时或成形时等中间工序中，会挥发或变质，因此在所制造的稀土类粘结磁铁中，其一部分以残留的状态存在。所以，稀土类粘结磁铁中的抗氧化剂的含量相对于稀土类粘结磁铁用组合物中的抗氧化剂的添加量，例如达到10～90％左右，特别是20～80％左右。

在稀土类粘结磁铁用组合物中，根据需要，例如可以添加增塑剂(例如硬脂酸锌等脂肪酸盐、脂肪酸)润滑剂(例如硅油、各种蜡、脂肪酸、氧化铝、氧化硅、氧化钛等各种无机润滑剂)、硬化剂、硬化促进剂、其他成形助剂等各种添加剂。

稀土类粘结磁铁用组合物是混合了所述的稀土类磁铁粉末、结合树脂和根据需要添加的抗氧化剂等添加剂的混合物或将该混合物混合而形成的物质。此时，所述混合是使用例如亨舍尔混合机、V形混合机等混合机或搅拌机而进行的。另外，混合物的混合是使用例如双轴挤出混合机、滚筒式混合机、捏合机等混合机进行的。

另外，混合物的混合虽然在常温、高温任意条件下都可以，但是优选在所使用的结合树脂的软化温度(软化点或玻璃化转变点)以上的温度进行，更优选在软化温度以上、固化温度以下的温度下并且该结合树脂不完全固化的条件下进行。这样，混合的效率提高，与常温下混合的情况相比，可以用更短时间均一地混合，同时，由于在结合树脂的粘度下降的状态下混合，因此形成结合树脂覆盖稀土类磁铁粉末的周围的状态，有助于稀土类粘结磁铁用组合物中及由其制造的磁铁中的空孔率的降低。

而且，由于伴随混合的材料自身的发热等，混合温度容易变化，因此最好设置例如加温·冷却机构，使用可以进行温度控制的混合机进行混合。

下面对稀土类粘结磁铁镀覆产品的制造方法进行说明。首先，稀土类粘结磁铁是通过调制所述的稀土类粘结磁铁用组合物，使用该组合物，例如用压缩成形法、挤出成形法或注射成形法来制成磁铁形状而进行的。在这些成形法当中，压缩成形法最为适合，以下将对以压缩成形法为代表的制造方法进行说明。

制造所述的稀土类粘结磁铁用组合物(compound)，将该组合物填充在压缩成形机的模具内，在磁场中或无磁场中压缩成形。该压缩成形虽然可以是冷态成形(在常温附近的成形)、温热成形的任意一种，但是优选温热成形。即，最好通过对成形模具进行加热等，使得成形时的材料温度达到所使用的结合树脂的软化温度以上。通过采用此种温热成形，模具内的成形材料的流动性提高，可以在较低的成形压下进行尺寸精度优良的成形。利用温热成形，例如可以优选在50kgf/mm²以下、更优选在35kgf/mm²以下、进一步优选在20kgf/mm²以下的成形压下成形(赋与形状)，对成形的载荷较少，成形更加容易，同时，即使是环状、平板状、弯曲板状等具有薄壁部的形状的磁铁或尺寸较长的的磁铁，也可以批量生产具有良好并且稳定的形状、尺寸的磁铁。

另外，通过采用温热成形，即使在所述的较低成形压下，也可以降低所得的磁铁的空孔率。另外，通过采用温热成形，模具内的成形材料的流动性提高，磁取向性提高，同时，由于成形时的稀土类磁铁粉末的顽磁力的降低，在磁场中成形的情况下，可以获得与表观上施加了较强磁场的情况相同的效果，因此无论取向方向如何，都可以提高磁特性。在像这样压缩成形之后，从成形模具上脱除材料，即获得稀土类粘结磁铁。

将如上压缩成形的成形体加热至其热固性树脂的固化温度以上的温度，使之固化。这样即完成稀土类粘结磁铁。该热固性树脂的固化也可以利用对从成形模具中取出的成形体进行热处理的方法、在成形模具中的压缩成形后直接使模具温度上升的方法中的任意一种方法。

通过利用所述镀覆方法对如上制造的稀土类粘结磁铁实施单层镀镍，就可以获得稀土类粘结磁铁镀覆产品。

<作用>

稀土类粘结磁铁由于在其性质上容易生锈，因此在镀覆前的表面活性化处理中，为了避免氯离子混入覆膜中，不使用盐酸，而使用硫酸等不含氯离子的酸。例如，在专利第3232037号公报中，不仅从镀浴中排除氯离子，而且，在表面活性化处理中，也使用酸性氟化氨或氢氟酸等，而避免使用盐酸。

另外，在专利第3232037号公报中，为了避免混入氯离子，作为镀镍浴组成，不使用通常的瓦特浴，而使用不用氯化镍的特殊的镀镍浴。

但是，本发明人等鉴于硫酸的氧化膜去除作用较低这一点，在对使用盐酸的表面活性化处理的条件进行了研究后，试探设计的结果是，得到了如下的认识，即，如果处理中使用的盐酸浓度和处理时间在特定的范围内，则可以获得极好的氧化膜去除作用，并且很难产生由残留氯引起的生锈的问题。另外确认，除了利用盐酸的在特定条件下的表面活性化处理以外，通过与使用含有氯化镍的瓦特浴，形成单层镀覆的镀覆方法组合，就不会产生生锈或气泡的问题，而可以形成极为良好的镍覆膜。

通过组合使用了瓦特浴的单层镀覆的形成和特定条件下的表面活性化处理，可以在稀土类粘结磁铁表面形成优良的镀覆的机理虽然还不清楚，但是如果如下考虑，则可以进行合理的说明。

首先，在利用盐酸的酸活性化中，通过选择酸浓度和处理时间，在避免因强酸向空孔较多的稀土类粘结磁铁中的浸透而导致的直接的生锈、过剩的氯离子的残留的同时，可以利用盐酸的作用有效地去除氧化膜。但是，既然使用盐酸，就无法避免少量的氯离子在稀土类粘结磁铁表面上残留。但是，当氯离子的残留量较少时，就不会导致生锈，而会提高瓦特浴的在磁铁表面附近的导电性，从而有可能按照促进镍膜的形成的方式发挥作用。即，当存在少量的氯离子时，与导致锈的产生相比，伴随着镀浴内的磁铁最表面的导电性提高，对覆膜形成的促进效果更大，因而推测，可以在较多凹部分散的稀土类粘结磁铁表面迅速地堆积镍。

而且，通过不采用多层镀覆(例如形成双层覆膜)，而采用瓦特浴中的单层镀覆，利用继续的通电，在镍覆膜的形成过程中，将残留在稀土类粘结磁铁表面上的氯离子逐渐向镀浴中排出，同时，因分散存在较多凹部而产生的镀覆的针孔也会随着成膜的进行而消失。另外，虽然在多层覆膜的形成中，有可能因由第1层的表面氧化等引起的第2层的成膜不良等而产生铁锈，但是在单层覆膜的情况下，就不会产生此类问题。根据以上的理由，本发明的镀覆方法中，可以获得耐蚀性优良的镍覆膜。

下面将举出实施例等，对本发明进一步详细说明，但是本发明并不受它的任何限制。而且，在以下的实验例1～3中，作为稀土类粘结磁铁，使用了用以下的方法制造的磁铁。

<稀土类粘结磁铁的制造>

作为原料，准备了96.5重量％的稀土类磁铁粉末(骤冷Nd₁₂Fe₇₈Co₄B₆粉末，平均粒径＝19μm)、2.7重量％的热固性树脂(环氧树脂)、0.5重量％的抗氧化剂、0.1重量％的润滑剂、0.2重量％的增塑剂。

将所述的原料混合，使用螺杆混合机在80～100℃下混合15分钟，调制成稀土类粘结磁铁组合物。然后，利用压力成形机将该组合物压缩成形，其后通过在150℃的烧成炉内放置60分钟，使所含的热固性树脂固化，获得了环状的稀土类粘结磁铁。该稀土类粘结磁铁的空孔率为4.9％。

实验例1

对利用单层镀覆化的效果·影响的确认

<实验方法>

镀覆方法是利用如下所示的镀液构成·条件，按照图25的工序实施的。

(1)镀液A：由以下的镀液构成的半光泽镀液

[镀液构成]1升中

硫酸镍          300g/升

氯化镍          50g/升

硼酸            50g/升

半光泽添加剂    适量(以芳香族类盐为主要成分并且不含硫的已知的添加剂)

纯水      剩余部分

(2)镀液B：将镀液A的构成中的半光泽添加剂改变为「光泽添加剂」(以脂肪族磺酸盐为主要成分)而适量混合。

镀覆实验的镀覆构成·条件如下。

单层镀覆(本发明方法1)：用镀液A在50℃下以电流密度2A/dm²进行了40分钟的镀覆。其结果是，镀覆产品的外周部膜厚为25μm。双层镀覆(比较方法1)：用镀液A在50℃下以电流密度2A/dm²进行了20分钟的镀覆。其后，包括切换镀液，大约10秒后，继续用镀液B在50℃下以电流密度2A/dm²进行了20分钟的镀覆。其结果是，镀覆产品的外周部膜厚合计为26μm。

<评价方法>

盐水喷雾实验：

按照JIS Z2371，用5％的氯化钠水溶液进行了48小时的盐水喷雾。其后用10倍显微镜进行了外观观察。

<结果>

在单层镀覆的本发明方法1中，未看到外观上的异常，形成了良好的镀覆。另一方面，在比较方法1的双层镀覆中，确认在局部有来自磁铁母材的生锈。

实验例2

对利用盐酸的前处理的效果·影响的确认：

对于在表面活性化工序中使用了盐酸的情况(本发明方法2)、在表面活性化工序中使用了硫酸(是作为前处理的一般的药剂)的情况(比较方法2)，进行了比较研究。

<实验方法>

镀覆方法除了表面活性化工序以外，按照图25的镀覆工序，将酸处理的条件如表3、表4所示改变，进行了实验。

<评价方法>

按照JIS Z2371，用5％的氯化钠水溶液进行了48小时的盐水喷雾。其后用10倍显微镜进行了外观观察。

<结果>

将结果表示在表3及表4中。而且，表中的评价结果的记载有如下的意味。

圆圈：良好(外观上无异常)

膨胀：镀膜部分地从母材上剥离而膨胀的状态

锈点：确认了在局部有来自磁铁木材的铁锈的状态

表3

表4

从表3可以看到，使用了盐酸的表面活性化处理(本发明方法2)中，在低浓度·短时间侧，由于磁铁原材料表面的活性化不充分，因此产生镀覆和原材料的密接不均，并由其引起膨胀。另一方面，在高浓度·长时间侧，磁铁原材料由于盐酸的作用而部分地形成铁锈的核(还同时发生由铁的氧化导致的体积膨胀造成的膨胀)。而且，这里为了方便，将使用了盐酸的表面处理记载为「本发明方法2」，但是，严格来说，仅权利要求范围中规定的特定的浓度和时间的条件成为对象。

另一方面，使用了硫酸的表面活性化处理(比较方法2)中，如表4所示的外观良好的条件不存在。由于在低浓度·短时间侧，磁铁粉表面为牢固的氧化铁，因此很难用硫酸进行活性化，由于采用强酸·长时间化，氧化铁部分剥离，因此推测还会同时发生生锈和膨胀。

实验例3

利用镀液构成产生的效果：

<实验方法>

镀覆方法除了改变镀液条件以外，按照图25的镀覆工序实施。

镀覆条件A：使用表5所示的组成的半光泽镀液，用同表的方法实施(本发明方法3)。

镀覆条件B：使用表5所示的组成的镀液(不使用氯化物的电镀液，在电铸等中一般使用的镀液)，以同表的方法实施(比较方法3)。

                           表5

区分	镀液构成[1升中]		镀覆方法
				A.本发明(含氯)	硫酸镍	300g/L	电镀2A/dm2×40min1层24μm(外周部)50℃
氯化镍	50g/L
		硼酸	50g/L
半光泽添加剂	适量
		纯水	剩余部分
B.比较例(无氯)	氨基磺酸镍				350g/L	电镀2A/dm2×40min1层26μm(外周部)50℃
		硼酸	40g/L
	添加剂*			适量
		纯水	剩余部分

^*：添加剂的主要成分是应力调整剂

<评价方法>

实施与实验例1相同的盐水喷雾实验(按照JIS Z2371)，同样地进行了评价。

<结果>

本发明方法3中，未看到外观上的异常，形成了良好的镀覆。另一方面，在比较方法3中，确认了膨胀(镀覆部分地从母材上剥离而膨胀的状态)、锈点(在局部有来自磁铁母材的生锈的状态)。

实验例4

稀土类粘结磁铁的空孔率的研究

通过改变成形压力，使空孔率如后述表6所示改变以外，利用与所述例子相同的原料、混合比例、混合方法、成形方法、烧成方法，制造了稀土类粘结磁铁。

具体来说，作为原料，准备了96.5重量％的稀土类磁铁粉末(骤冷Nd₁₂Fe₇₈Co₄B₆粉末，平均粒径＝19μm)、2.7重量％的热固性树脂(环氧树脂)、0.5重量％的抗氧化剂、0.1重量％的润滑剂、0.2重量％的增塑剂。

将这些原料混合，使用螺杆混合机在80～100℃下混合15分钟，调制成稀土类粘结磁铁组合物。然后，利用压力成形机将该组合物压缩成形。此时，通过调整成形压力来使磁铁的空孔率分散。

其后通过在150℃的烧成炉内放置60分钟，使所含的热固性树脂固化，获得了环状的稀土类粘结磁铁。

<实验方法>

对所得的稀土类粘结磁铁，利用如下所示的镀液构成·条件，按照图25的工序实施了镀覆。

镀液A：由以下的镀液构成的半光泽镀液

[镀液构成]1升中

硫酸镍        300g/升

氯化镍        50g/升

硼酸          50g/升

半光泽添加剂  适量(以芳香族类盐类为主要成分并且不含硫的已知的添加剂)

纯水          剩余部分

使用该镀液A，在50℃下以电流密度2A/dm²通电40分钟，形成了单层镀覆。

<评价方法>

镀覆后，通过目视进行了外观观察。

<结果>

结果表示在表6中。而且，表中的评价结果的记载具有以下的意味。另外，「外周部镀覆厚」意味着用于实验的环状的稀土类粘结磁铁镀覆物的外周面的镀覆厚度。

A：非常光滑的表面状态(与在金属部件上的镀覆同等水平)

B：虽然未达到所述程度，但不是明显粗糙的表面状态

C：在镀覆表面上可以看到一些粗糙的表面状态

                      表6

空孔率	外周部镀覆厚度	外观观察结果
			2.2％	26μm	A
3.0％	24μm	A
			4.1％	25μm	B
5.1％	25μm	B
			5.9％	27μm	B
7.0％	25μm	B
			7.9％	26μm	C
8.8％	26μm	C

从表6可以清楚地看到，利用本发明的镀覆方法，对于空孔率在7体积％以下的稀土类粘结磁铁，可以获得良好的镀覆，特别是在空孔率在3体积％以下的稀土类粘结磁铁上，可以形成非常优良的覆膜。

本实施方式可以用于稀土类粘结磁铁的镀覆产品的制造，该稀土类粘结磁铁镀覆产品例如也可以作为计算机的硬盘用马达等中使用的环状磁铁等电子部件而使用。

图28是说明本发明的实施方式7的电镀装置400的概要的示意图。该电镀装置400作为主要的构成，具有填充镀液的镀槽401、镀覆时浸渍于镀液450中的一对阳极407、407及阴极409，在所述镀槽401内，配设有一个磁铁411。

电镀装置400中，当在具有阴极部的笼式工具403内放置作为被镀物的工件405时，工件405与阴极409接触而被通电。镀覆时，在阳极407和阴极侧的工件405之间产生电化学反应，镀液450中的金属(例如镍等)向工件405表面析出而形成覆膜。

磁铁411具有使在镀液中悬浮的微细的有机物-金属结合体吸附后不会脱离的程度的磁力(可以捕捉的磁力)。如后述实施例所示，作为可以捕捉有机物-金属结合体的磁力，以表面磁通密度表示，大约为0.25特斯拉以上的磁力。当磁铁411的磁力小于0.25特斯拉时，虽然可以除去镀液450中的金属类异物(例如磁性碎屑等)，但是难以去除金属类异物和表皮等有机物类异物合成一体的有机物-金属结合体。

即，在镀液450中所含的异物仅为金属类异物的情况下，即使磁力小于0.25特斯拉，由于一旦被吸附后，就会成为一直被磁铁411捕捉的状态，因此可以防止其向工件405靠近而附着在其表面。但是，在异物为有机物-金属结合体的情况下，即使利用磁铁411的磁力将其吸附，但是如果磁力较弱，则由于和镀液450的液流等的作用，因而就会很简单地脱离。在不能用磁铁411捕捉有机物-金属结合体的情况下，异物在液中悬浮，因电作用而附着在工件405上，成为导致针孔的原因。

磁铁411可以使用永久磁铁或电磁铁。对于永久磁铁的情况，为了确保充分的磁力，因此有必要对其材质和形状进行最适合的选定。这里，虽然只要能获得充分的磁力，磁铁材料就没有特别的限定，但是，从有效地利用镀槽内的有限的空间的角度出发，更优选使用Sm-Co类、Nd-Fe-B类等具有高磁力的烧结磁铁。

本实施方式中，虽然将磁铁411配置在镀槽401的内底部，但是并不限定于该配置。例如，最好根据支撑工件405的工具403的种类和镀槽401的大小选定适宜的位置。另外，由于磁铁411的目的是捕捉向工件405靠近的有机物-金属结合体，因此最好尽可能配置在与工件405靠近的位置上。

本实施方式的电镀装置400中，除了所述构成以外，根据需要，可以附设用于在镀槽401内将镀液450均匀化的搅拌装置、用于提高镀覆效率的加热装置或冷却装置、用于去除镀液中的异物的过滤装置等。

本发明的镀覆方法可以按照通常的镀覆工序和条件实施。如果列举利用本发明方法进行电镀时的概要情况，则首先，将工件405定位在工具403上，根据必要进行了清洗后，在特定电流下进行无光泽电镀或半光泽电镀或者光泽电镀。镀覆物在清洗之后，通过进行干燥，即获得最终镀覆产品。

作为用作被镀物的工件405，虽然没有特别限制，但是可以是金属，也可以是非金属，还可以是金属和非金属的复合物或带有空孔的金属等。作为工件405的例子，可以举出精密部件所使用的烧结合金、树脂和粉末金属的复合物、铸造合金等，更具体来说，可以举出例如烧结磁铁、粘结磁铁、铸造磁铁等。

本发明的电镀方法可以用简易的器具形成非常均匀的镀覆，同时还不会产生由异物附着而引起的镀覆的缺陷，因此，例如最适合计算机等的硬盘用马达中使用的环状磁铁等要求高尺寸精度、高防锈、防生尘等用途中所使用的工件405的镀覆。

(实施例)

下面利用实施例、比较例对本实施方式进行更加详细的说明，但是本发明并不是由它们所限定的。

实施例1

在镀槽中配置表面磁通密度在0.25特斯拉(以下标记为「0.25T」)的磁铁，在下述的条件下，实施了镀覆及耐蚀实验。将其结果表示在表7中。

<被镀物>

对于被镀物，使用了外径19mm、内径17mm、高4mm的环状Nd-Fe-B类粘结磁铁。

<镀覆条件>

将被镀物定位于固定托架式镀覆工具中，洗净后，使用50℃的无光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了30分钟无光泽电镀，然后用50℃的光泽瓦特浴，以2A/dm²进行了20分钟光泽电镀。所得的镀覆产品在进行了超声波水清洗、热水清洗等清洗之后，进行干燥。

<耐蚀实验>

按照JIS Z2371，用5％的氯化钠水溶液进行了48小时的盐水喷雾。其后，用10倍显微镜确认了有无生锈。

实施例2、3

除了使用了磁力不同的磁铁以外，与实施例1相同，进行了镀覆，研究了耐蚀性。实施例2中，表面磁通密度设为0.30T，实施例3中，表面磁通密度设为0.35T。将其结果一并表示在表7中。

比较例1～4

除了使用了磁力不同的磁铁以外，与实施例1相同，进行了镀覆，研究了耐蚀性。比较例1中，表面磁通密度设为0.05T，比较例2中，表面磁通密度设为0.10T，比较例3中，表面磁通密度设为0.15T，比较例4中，表面磁通密度设为0.20T。将其结果一并表示在表7中。

                             表7

	吸附用磁铁表面磁通密度(T)	盐水喷雾实验结果
					投入个数	生锈个数	生锈率(％)
		比较例1	0.05	50				8	16.0
比较例2	0.10				50	9	18.0
		比较例3	0.15	50				7	14.0
比较例4	0.20				50	4	8.0
		实施例1	0.25	50				0	0
实施例2	0.30				50	0	0
		实施例3	0.35	50				0	0

从以上的结果可以看到，通过将表面磁通密度在0.25T以上的磁铁配置在镀液中，可以基本上完全防止生锈。

比较例5

除了在镀槽内以图29所示的配置方式，配置了表面磁通密度为0.13～0.15T的6个磁铁15a～15f以外，与实施例1相同进行了镀覆。镀覆后，在将磁铁取出，研究了被捕捉的异物(有机物-金属结合体)的附着状态后，发现异物在磁铁上的附着为微量。另外，对于所形成的镀覆，进行了与实施例1相同的耐蚀实验，产生了生锈现象。

该情况显示，当磁铁的磁力较弱时，即使在镀槽内配置多个，也基本上无法获得效果。

以上虽然以各种实施方式对本发明进行了叙述，但是本发明并不限定于所述实施方式，在权利要求范围所记述的发明的范围内，对于其他的实施方式也可以适用。

例如，虽然图28的实施方式使用固定托架式工具，但是并不限定于此，例如在挂式工具、旋转托架式工具、滚筒式工具等中，通过配置磁铁11，也可以获得相同的作用效果。

Claims (55)

1.一种镀覆工具，用于对被镀物进行镀覆，其特征是，具备：

具有贯穿形成的开口部的自由转动的支撑体、

按照横断所述开口部的方式设置的线构件、

设于所述支撑体上并朝向所述开口部促进镀液的流入的镀液导引部，

将由所述开口部的内壁面和所述线构件划出的空间作为配置被镀物的房间。

2.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部被作为形成于所述开口部的周围的阶梯部设置，该阶梯部低于所述支撑体表面。

3.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部为从所述开口部的开口面朝向所述支撑体的表面展开的圆锥形。

4.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述线构件被作为向被镀物提供电流的导电构件设置。

5.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，随着所述支撑体的转动，所述被镀物在所述房间内移动，

所述房间被按照具有在一定时间稳定地支撑所述被镀物的至少两个稳定位置的方式形成，

在被镀物从所述至少两个稳定位置当中的第1稳定位置向第2稳定位置移动的途中，所述被镀物与所述房间的内壁面的至少一个位置的接触区域接触。

6.根据权利要求8所述的镀覆工具，其特征是，所述房间的形状为如下的形状，即，即使在所述支撑体迁移至某个转动位置的状态下，连接所述第1稳定位置和所述第2稳定位置的线也会偏离垂直方向。

7.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有多个房间。

8.根据权利要求7所述的镀覆工具，其特征是，所述多个房间各自具有导引部。

9.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体由相互重叠的两片板构件构成，这些板构件分别具有贯穿孔。

10.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有长的板形状，所述支撑体的较长一侧被延伸设置于其转动半径方向。

11.根据权利要求1所述的镀覆工具，其特征是，还具有以转动轴为中心成放射状设置的多个支撑体。

12.一种镀覆工具，用于对被镀物进行镀覆，其特征是，具备：

具有贯穿形成的开口部的自由转动的支撑体、

按照横断所述开口部的方式设置的线构件、

设于所述支撑体上并缩小所述开口部的开口面的遮蔽壁，

由所述开口部的内壁面和所述线构件划出的空间为配置被镀物的房间。

13.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，按照促进镀液向所述开口部的流入的方式在所述支撑构件上设有导引部。

14.根据权利要求13所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部被作为形成于所述开口部的周围的阶梯部设置，该阶梯部低于所述支撑体表面。

15.根据权利要求14所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部为从所述开口部的开口面朝向所述支撑体的表面展开的圆锥形。

16.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，所述线构件被作为向被镀物提供电流的导电构件设置。

17.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，随着所述支撑体的转动，所述被镀物在所述房间内移动，

所述房间被按照具有在一定时间稳定地支撑所述被镀物的至少两个稳定位置的方式形成，

在被镀物从所述至少两个稳定位置当中的第1稳定位置向第2稳定位置移动的途中，所述被镀物与所述房间的内壁面的至少一个位置的接触区域接触。

18.根据权利要求17所述的镀覆工具，其特征是，所述房间的形状为如下的形状，即，即使在所述支撑体迁移至某个转动位置的状态下，连接所述第1稳定位置和所述第2稳定位置的线也会偏离垂直方向。

19.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有多个房间。

20.根据权利要求20所述的镀覆工具，其特征是，所述多个房间各自具有导引部。

21.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体由相互重叠的两片板构件构成，这些板构件分别具有贯穿孔。

22.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有长的板形状，所述支撑体的较长一侧被延伸设置于其转动半径方向。

23.根据权利要求12所述的镀覆工具，其特征是，还具有以转动轴为中心成放射状设置的多个支撑体。

24.一种镀覆工具，用于对被镀物进行镀覆，其特征是，具备：

具有贯穿形成的开口部的自由转动的支撑体、

按照横断所述开口部的方式设置的线构件、

设于所述支撑体上并朝向所述开口部的开口面从开口缘部突出而形成的壁部，

由所述开口部的内壁面和所述线构件划出的空间为配置被镀物的房间。

25.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，按照促进镀液向所述开口部的流入的方式在所述支撑构件上设有导引部。

26.根据权利要求25所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部被作为形成于所述开口部的周围的阶梯部设置，该阶梯部低于所述支撑体表面。

27.根据权利要求25所述的镀覆工具，其特征是，所述导引部为从所述开口部的开口面朝向所述支撑体的表面展开的圆锥形。

28.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，所述线构件被作为向被镀物提供电流的导电构件设置。

29.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，随着所述支撑体的转动，所述被镀物在所述房间内移动，

所述房间被按照具有在一定时间稳定地支撑所述被镀物的至少两个稳定位置的方式形成，

在被镀物从所述至少两个稳定位置当中的第1稳定位置向第2稳定位置移动的途中，所述被镀物与所述房间的内壁面的至少一个位置的接触区域接触。

30.根据权利要求29所述的镀覆工具，其特征是，所述房间的形状为如下的形状，即，即使在所述支撑体迁移至某个转动位置的状态下，连接所述第1稳定位置和所述第2稳定位置的线也会偏离垂直方向。

31.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有多个房间。

32.根据权利要求31所述的镀覆工具，其特征是，所述多个房间各自具有导引部。

33.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体由相互重叠的两片板构件构成，这些板构件分别具有贯穿孔。

34.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑体具有长的板形状，所述支撑体的较长一侧被延伸设置于其转动半径方向上。

35.根据权利要求24所述的镀覆工具，其特征是，还具有以转动轴为中心成放射状设置的多个支撑体。

36.一种镀覆方法，其特征是，使用从权利要求1到35中任意一项所述的镀覆工具，对具有内周面形状的被镀物进行镀覆。

37.一种电镀装置，其特征是，具有从权利要求1到35中任意一项所述的镀覆工具。

38.一种镀覆工具，用于对环状的被镀物进行镀覆，其特征是，

具有支撑所述被镀物的支撑部，

所述支撑部被按照以转动轴为中心进行公转的方式配置，

所述支撑部具有在支撑所述被镀物时与所述被镀物的内周面接触而进行支撑的接触面，

所述支撑部具有从所述接触面的两侧延伸设置的对被镀物的位置进行限制的倾斜壁。

39.根据权利要求38所述的镀覆工具，其特征是，还具有以所述转动轴为转动中心进行转动的基部，所述支撑部被作为设于所述基部上的突起而形成。

40.根据权利要求39所述的镀覆工具，其特征是，设有多个所述支撑部，形成以所述基部的所述转动轴为中心的圆形的配置。

41.根据权利要求39所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑部具有防止被镀物的脱落的脱落防止构件。

42.根据权利要求41所述的镀覆工具，其特征是，所述脱落防止构件被作为设于所述突起的头端部上的圆板而形成。

43.根据权利要求42所述的镀覆工具，其特征是，所述圆板的直径小于被镀物的内径。

44.根据权利要求38所述的镀覆工具，其特征是，所述支撑部被作为向所述被镀物提供电流的导电性构件设置。

45.一种镀覆方法，使用从权利要求38到44中任意一项所述的镀覆工具，对环状的被镀物进行镀覆。

46.一种电镀装置，其特征是，具有从权利要求38到44中任意一项所述的镀覆工具。

47.一种镀覆方法，利用电化学反应形成镍覆膜，其特征是，包括：

使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀浴在稀土类粘结磁铁的表面形成单层的镍覆膜的工序；

在所述形成工序之前为了进行表面处理将作为被镀物的稀土类粘附磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒的工序。

48.根据权利要求47所述的镀覆方法，其特征是，所述镀浴含有半光泽添加剂。

49.一种镀覆产品的制造方法，所述镀覆产品在稀土类粘结磁铁的表面形成了镍覆膜，其特征是，包括：

准备空孔率在7体积％以下的稀土类粘结磁铁的工序；

为了进行表面处理而将所述稀土类粘结磁铁浸渍在1～6％浓度的盐酸中7～25秒的工序；

使用含有硫酸镍、氯化镍及硼酸的镀浴形成单层的镍覆膜的工序。

50.根据权利要求49所述的镀覆产品的制造方法，其特征是，包括：

将平均粒径0.5～50μm的稀土类磁铁粉末和结合树脂混合的工序；

为了获得所述稀土类粘结磁铁而在所述结合树脂的软化温度以上的温度下将所述稀土类磁铁粉末和所述结合树脂的混合物混合的工序。

51.一种镀覆产品，其特征是，利用权利要求49或50所述的镀覆产品的制造方法制得。

52.一种镀覆方法，其特征是，包括：

将表面磁通密度在0.25特斯拉以上的磁铁配置于镀液中的工序；

利用电化学反应在所述镀液中的被镀物表面形成镀膜的工序。

53.一种镀覆方法，其特征是，包括：

将具有可以捕捉在镀液中悬浮的微细的有机物-金属结合体的表面磁通密度的磁铁配置于所述镀液中的工序；

利用电化学反应在所述镀液中的被镀物表面形成镀膜的工序。

54.一种镀覆装置，其特征是，具备：具有镀液的镀槽、配置于所述镀液中的电极、配置于所述镀液中的至少1个磁铁，

所述的至少1个磁铁的表面磁通密度在0.25特斯拉以上。

55.一种镀覆装置，其特征是，具备：

具有镀液的镀槽、

配置于所述镀液中的电极、

配置于所述镀液中的至少1个磁铁，

所述的至少1个磁铁具有可以捕捉在所述镀液中悬浮的微细的有机物-金属结合体的表面磁通密度。

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