CN1572452A - 利用激光束的工件分割方法 - Google Patents
利用激光束的工件分割方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1572452A CN1572452A CNA200410044575XA CN200410044575A CN1572452A CN 1572452 A CN1572452 A CN 1572452A CN A200410044575X A CNA200410044575X A CN A200410044575XA CN 200410044575 A CN200410044575 A CN 200410044575A CN 1572452 A CN1572452 A CN 1572452A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- workpiece
- laser beam
- dividing method
- rule
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 claims description 20
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000010257 thawing Methods 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 208000037656 Respiratory Sounds Diseases 0.000 description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/07—Cutting armoured, multi-layered, coated or laminated, glass products
- C03B33/074—Glass products comprising an outer layer or surface coating of non-glass material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/57—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece the laser beam entering a face of the workpiece from which it is transmitted through the workpiece material to work on a different workpiece face, e.g. for effecting removal, fusion splicing, modifying or reforming
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
- C03B33/102—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools involving a focussed radiation beam, e.g. lasers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/52—Ceramics
Abstract
一种工件分割方法包括从可透过激光束的工件的一个表面侧施加激光束。将从工件所述一个表面侧所施加的激光束聚焦到工件另一侧上面或其附近以退化从工件的所述另一表面到预定深度范围的区域。工件的退化基本上是融化和再凝固。
Description
技术领域
本发明涉及一种利用激光束的工件分割方法,其特别地适用于分割薄板构件,即晶片,包括但不局限于蓝宝石基片,碳化硅基片,钽酸锂基片,玻璃基片,石英基片,及硅基片中的任何一个。
发明背景
在半导体器件的生产中,正如所众所周知,许多半导体电路被形成在包括基片如蓝宝石基片,碳化硅基片,钽酸锂基片,玻璃基片,石英基片或硅基片的晶片的表面,且然后所述晶片被分割以形成单独的半导体电路。利用激光束的各种方法已经被提议用于分割晶片。
在美国专利号5,826,772所公开的分割方法中,激光束被聚焦到晶片的一个表面上,或其附近,并且激光束和晶片相对地沿着分割线被移动。通过这种动作,在晶片一个表面侧上的材料沿着分割线被融化以在晶片的一个表面上形成凹槽。然后,弯曲力矩被施加到晶片上以沿着所述凹槽折断晶片。
美国专利6,211,488及日本专利申请公开号2001-277163中的每个均公开了分割方法,所述方法包括将激光束聚焦到晶片厚度方向上的中间部分,沿着分割线相对地移动激光束和晶片,由此沿着分割线在晶片厚度方向上的中间部分上产生影响或退化区,且然后向晶片施加外力以沿着退化区折断晶片。
在上述提到的美国专利号5,826,772所公开的分割方法提出这样的问题,即在晶片一个表面侧上被融化的材料(被称为碎片)散布在晶片的一个表面上且附着到其上,由此沾污了最后所得到的半导体电路;并且难以使最后所形成的凹槽的宽度足够小,因此需要相对大的分割线宽度,从而有必要导致相对低的可用于形成半导体电路的面积的百分比。
美国专利6,211,488及日本专利申请公开号2001-277163中所公开的分割方法具有下述问题:根据由本申请发明者所进行的实验,在晶片厚度方向上的中间部分处的材料退化总体上要求具有不小于预定功率密度的功率密度的激光束被导引在晶片处。材料的退化导致空隙和裂纹的形成。裂纹可以在任意方向上延伸。因此,当外力被施加到晶片上时,晶片存在沿着分割方向不被足够精确地分割的趋势,其结果是在折断边缘可出现许多裂痕或可引起相对大的裂纹。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种利用激光束的新颖且经改善的工件分割方法,其可以沿着足够窄的分割线足够精确地分割工件。
我们,即发明者进行了深入研究和实验,且惊奇地发现下述事实:激光束从可透过激光束的工件的一个表面侧被施加,且被聚焦到工件的另一表面上面或其附近。通过如此做法,工件的材料可以在从另一表面到预定深度范围的区域中被退化。此外,所述退化可以基本上包括材料的融化和再凝固,而无需去除材料,因而造成碎片的出现基本上被避免或被足够抑制,并且造成空隙或裂纹的出现基本上被避免或被足够抑制。因此,可以取得上述提到的主要目的。
根据本发明,为了解决上述说明的原理性技术挑战,提供有一种工件分割方法,其包括从可透过激光束的工件的一个表面侧施加激光束,
进一步包括将被从工件一个表面侧所施加的激光束聚焦到工件另一侧上面或其附近以退化从工件的所述另一表面到预定深度范围的区域。
优选地是工件的退化基本上为融化和再凝固。优选地是,当在厚度方向上向内测量时,激光束被聚焦到距工件另一表面+20至-20μm的位置上。优选地,激光束是具有波长为150至1500nm的脉冲激光束,且在所述脉冲激光束的聚斑,即焦点处的峰值功率密度是5.0×108至2.0×1011W/cm2。优选地是工件沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处被退化,并且所述预定距离优选地不大于脉冲激光束焦斑处的斑直径的三倍。工件可以沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处被退化,然后激光束的焦斑可以在工件厚度方向上向内移置,并且工件沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处可以再次被退化,由此可以增加被退化区域的深度。预定深度优选地为工件总厚度的10至50%。工件可以是包括蓝宝石基片,碳化硅基片,钽酸锂基片,玻璃基片和石英基片当中任何一个的晶片。
附图说明
图1是示出在本发明优选实施例中将激光束施加到工件的模式的示意性断面图。
图2是以放大方式示出图1中激光束的焦斑附近的示意性断面图。
图3是通过沿着分割线的断面示出图1中的模式的示意性断面图。
图4是类似于图3的示意性断面图,其示出产生被重叠在工件厚度方向上的退化区域的模式。
图5是通过勾画实例1中工件折断边缘的显微照片而准备的示意图。
图6是通过勾画实例2中工件折断边缘的显微照片而准备的示意图。
图7是通过勾画比较实例2中工件折断边缘的显微照片而准备的示意图。
具体实施方式
现在通过参考所附的附图,将较详细地说明根据本发明的工件分割方法的优选实施例。
图1示意性地示出将激光束4施加到即将被分割的工件2的模式。所示例的工件2是由薄板形式的基片6和许多表面层8(它们中的两个在图1中被局部地加以示例)组成的晶片。基片6例如由蓝宝石,碳化硅,钽酸锂,玻璃,石英或硅形成。表面层8的每个的形状为矩形,并且以排和列被堆叠在基片6的一个表面10上。以格子图案被设置的道(即分割线)12被限定在表面层8之间。
在本发明的分割方法中,激光束4被从工件2的一个表面侧,即从图1的上面被施加。对于激光束4重要地是能够透过即将被分割的基片6。如果基片6由蓝宝石,碳化硅,钽酸锂,玻璃或石英形成,则激光束4有利地是具有波长为150至1500nm的脉冲激光束。尤其地,激光束4优选地是具有1064nm波长的YAG脉冲激光束或YVO4脉冲激光束。参考为局部放大图的图2,以及图1,在本发明的分割方法中重要地是经由适合光学系统(未示出)从工件2的一个表面侧被施加的激光束4被聚焦到工件2的另一表面(即图1和2的较低表面)上或其附近。激光束4的焦斑16优选地位于工件2的另一表面14上,或在当在厚度方向上向内测量时距另一表面14的X内,所述X在+20至-20μm范围之间,特别地在+10至-10μm范围之间。在所示例的实施例中,基片6的一个表面10被朝上,且激光束从基片6上面被施加,其中表面层8被放置在表面10上面。然而,如果需要的话,基片6的一个表面10可被向下(即一个表面10和另一个表面14被颠倒),并且激光束4可被聚焦到一个表面10上或其附近,其中表面层8被放置在表面10上面。
即将在后面被提供的实例和比例实例说明示出了本发明的分割方法和上述提到的美国专利6,211,488及日本专利申请公开号2001-277163所公开的分割方法的执行。根据这些专利文件的方法,当从工件2的一个表面侧所施加的如图1中虚双点线所指示的激光束4被聚焦到工件2厚度方向上的中间部分上时,如果在激光束4的焦斑16处的峰值功率密度不大于预定值,则在工件2中没有变化出现。如果在激光束4的焦斑16处的峰值功率密度超过预定值,则在靠近激光束4的焦斑16的工件2内突然产生空隙和裂纹。另一方面根据本发明的方法,如图1中的实线所指示,当激光束4被聚焦在工件2的另一表面14上或其附近时,已经发现发生下述现象:工件2的材料被融化在从工件2的另一表面14到预定深度的范围的区域中,使激光束4焦斑16处的峰值功率密度略微低于上述预定值。刚一完成激光束4的施加,则被融化的材料被再次凝固。在图1和2中,示出经受融化和再凝固的退化区域18被标记有许多点。在这样的融化和再凝固中,可以基本上避免或足够地抑制材料从工件2中的去除或散布,并且可以基本上避免或足够地抑制空隙和裂纹的出现。在具有预定宽度和限制深度的退化区域18中,材料可以被融化和再凝固。为什么材料的性能根据激光束4焦斑16的位置而变化的原因并不必要清楚,但是我们假设如下:在工件2厚度方向上的中间部分中,在原子上的约束力相对大,这样通过吸收超出预定功率密度的激光束而已经被激励的原子被猝发产生空隙或裂纹。相对照地,,在工件2的另一表面14上或其附近,在吸收了激光束4的原子上的约束力相对低。因此,当吸收功率密度小于预定功率密度的激光束4时,原子并不猝发,但是引起材料的融化。此外,激光束4透过工件2的内部且到达焦斑16。因而,激光束4的功率并不被从工件2向外分配,如在将束聚焦到工件2的一个表面上的期间那样,但是在成扇形向工件2内部同时被分配。因此,材料的融化从另一表面14继续向内进行。因此被融化材料的散射被认为被足够地加以抑制。在被聚焦到工件2另一表面14上面或其附近的脉冲激光束4的焦斑16处的峰值功率密度取决于工件2的材料。总体上,优选地是峰值功率密度处于5.0×108至2.0×1011W/cm2的数量级。
参考图3以及图1,在本发明的优选实施例中,从工件2一个表面侧被施加的激光束4被聚焦到另一表面14上或其附近。在这个条件下,工件2及激光束4被相对地沿着分割线12移动,由此基本上已经经历融化和再凝固的退化区域18沿着分割线12在工件2中的被隔开预定距离的许多位置处被产生。工件2和激光束4的相对移动速度优选地被如此设定,以便于预定距离并不大于激光束4的焦斑16的斑直径的三倍。因此,如图3所示,距所述另一表面14具有预定深度D的退化区域18以若干间隔或基本上连续地沿着分割线12被产生在工件2的另一表面侧上。与其它部分相比较,退化区域18在强度上局部地被减少。因此,退化区域18以若干间隔或基本上连续地沿着分割线12的整个长度而产生,并且然后,例如在实例1中,分割线12的两侧被迫使向上或向下以将弯曲力矩施加到分割线12周围的工件2上。通过这个程序,工件2可以足够精确地沿着分割线12被折断。为了便利于工件2的折断,退化区域18的深度D优选地大约为在工件2分割线12处的总厚度T的10至50%。
为了产生所要求深度D的退化区域18,如果需要则激光束4可以被施加多次,使激光束4的焦斑16的位置被移置。图4示出以下述方式被加以执行的这种到被移置位置的激光束施加模式:最初,激光束4相对于工件2向右移动,使激光束4的焦斑16位于工件2的另一表面14上或其附近,由此沿着分割线12产生深度D1的退化区域18-1。然后,激光束4相对于工件2向左移动,使激光束4的焦斑16在工件2的厚度方向上向内(即在图4中向上)被略微移置,由此在退化区域18-1的顶部产生深度D2的退化区域18-2。此外,激光束4相对于工件2向右移动,使激光束4的焦斑16在工件2的厚度方向上向内(即在图4中向上)被略微移置,由此在退化区域18-2的上部产生深度D3的退化区域18-3。
接下来,将说明本发明的实例和比较实例。
实例1
具有2英寸(5.08cm)直径及100μm厚度的蓝宝石基片被用作工件。根据图1至3所示例的模式,激光束被从所述工件的一个表面侧,即从上面被施加以沿着预定的分割线产生退化区域。在下述条件下激光束的施加被执行,使激光束的焦斑即焦点位于工件的另一表面,即下部表面:
激光器
YVO4脉冲激光器
波长:1064nm
焦斑的斑直径:1μm
脉冲宽度:25ns
焦斑的峰值功率密度:2.0×1011W/cm2
脉冲重复频率:100kHz
激光束的相对移动(相对于工件的移动)速度:100mm/秒
然后,工件被人工地紧握,并且弯曲力矩被施加到分割线周围,以沿着分割线折断工件。折断沿着分割线被足够精确地执行,并且在折断边缘不存在明显的裂痕等。图5是工件折断边缘的显微照片(放大率×200)的草图。从图5中可理解到,在工件的另一表面上产生深度为10至20μm的退化区域18。这样的退化区域基本上没有空隙或裂纹。
实例2
除了在激光束相对于工件沿着分割线的每个移动之后,激光束焦斑的位置被向上移置10μm以外,激光束以与实例1同样的方式被施加,并且在这个状态下,激光束相对于工件往复两次(因而,被移动四次)。
然后,工件被人工地紧握,并且弯曲力矩被施加到分割线周围,以沿着分割线折断工件。折断沿着分割线被足够精确地执行,并且在折断边缘不存在明显的裂痕等。图6是工件折断边缘的显微照片(放大率×200)的草图。从图6中可理解到,在工件的另一表面上产生深度为40至50μm的退化区域18。这样的退化区域基本上没有空隙或裂纹。
比较实例1
为了比较的目的,除了激光束的焦斑位于工件厚度方向上的中间部分处以外,激光束以与实例1相同的方式被施加。在激光束施加之后工件被加以观察,但是没有注意到退化区域的产生。
比较实例2
除了激光束焦斑的峰值功率密度被增加到2.5×1011W/cm2以外,激光束以与比较实例1相同的方式被施加。
然后,工件被人工地紧握,并且弯曲力矩被施加到分割线周围,以沿着分割线折断工件。沿着分割线未能足够精确地执行折断,并且在折断边缘存在许多裂痕和相对大的裂纹。图7是工件折断边缘的显微照片(放大率×200)的草图。从图7中可理解到,在工件厚度方向上的中间部分中所产生的退化区域包含许多空隙20和裂纹22。经发现裂纹在各个方向上延伸。
Claims (10)
1.一种工件分割方法,包括从可透过激光束的工件的一个表面侧施加激光束,
进一步包括将从工件所述一个表面侧所施加的激光束聚焦到工件另一侧上面或其附近以退化从工件的所述另一表面到预定深度范围的区域。
2.根据权利要求1的工件分割方法,其中工件的退化基本上是融化和再凝固。
3.根据权利要求1的工件分割方法,其中当在厚度方向上向内测量时,激光束被聚焦在距工件所述另一表面+20至-20μm的位置上。
4.根据权利要求1的工件分割方法,其中激光束是具有波长为150至1500nm的脉冲激光束。
5.根据权利要求4的工件分割方法,其中在脉冲激光束聚斑处的峰值功率密度是5.0×108至2.0×1011W/cm2。
6.根据权利要求4的工件分割方法,其中工件沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处被退化。
7.根据权利要求6的工件分割方法,其中所述预定距离不大于脉冲激光束焦斑处的斑直径的三倍。
8.根据权利要求4的工件分割方法,进一步包括:
沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处退化工件;
然后在工件厚度方向上向内移置激光束的焦斑;以及
沿着预定分割线在被隔开预定距离的许多位置处再次退化工件,由此增加被退化区域的深度。
9.根据权利要求6的工件分割方法,其中所述预定深度为工件总厚度的10至50%。
10.根据权利要求1的工件分割方法,其中工件是包括蓝宝石基片,碳化硅基片,钽酸锂基片,玻璃基片和石英基片当中任何一个的晶片。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP140888/03 | 2003-05-19 | ||
JP140888/2003 | 2003-05-19 | ||
JP2003140888A JP2004343008A (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | レーザ光線を利用した被加工物分割方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1572452A true CN1572452A (zh) | 2005-02-02 |
CN100513110C CN100513110C (zh) | 2009-07-15 |
Family
ID=33447420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB200410044575XA Active CN100513110C (zh) | 2003-05-19 | 2004-05-19 | 利用激光束的晶片分割方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20040232124A1 (zh) |
JP (1) | JP2004343008A (zh) |
CN (1) | CN100513110C (zh) |
DE (1) | DE102004024643B4 (zh) |
SG (1) | SG119217A1 (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101516565B (zh) * | 2006-09-19 | 2012-02-08 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工方法 |
CN101516566B (zh) * | 2006-09-19 | 2012-05-09 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工方法和激光加工装置 |
CN101386112B (zh) * | 2007-09-13 | 2013-06-05 | 常州英诺激光科技有限公司 | 一种基于内雕刻的激光切割方法 |
US9938180B2 (en) | 2012-06-05 | 2018-04-10 | Corning Incorporated | Methods of cutting glass using a laser |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005028423A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2005129851A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用した加工方法 |
JP2005297012A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP4694795B2 (ja) | 2004-05-18 | 2011-06-08 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP2006123228A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
WO2006062017A1 (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-15 | Laser Solutions Co., Ltd. | 被分割体における分割起点形成方法、被分割体の分割方法、およびパルスレーザー光による被加工物の加工方法 |
JP4938261B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2012-05-23 | 株式会社ディスコ | 液晶デバイスウエーハのレーザー加工方法 |
JP2007087973A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-04-05 | Rohm Co Ltd | 窒化物半導体素子の製法およびその方法により得られる窒化物半導体発光素子 |
ES2428826T3 (es) | 2006-07-03 | 2013-11-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Procedimiento de procesamiento por láser y chip |
JP5101073B2 (ja) | 2006-10-02 | 2012-12-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
JP5037082B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2012-09-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP5132911B2 (ja) | 2006-10-03 | 2013-01-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
JP5142565B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-02-13 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
WO2008146744A1 (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 切断用加工方法 |
JP5449665B2 (ja) | 2007-10-30 | 2014-03-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
US10843297B2 (en) * | 2008-07-24 | 2020-11-24 | Stephen C Baer | Cleaving thin waters from crystals |
US8051679B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-11-08 | Corning Incorporated | Laser separation of glass sheets |
US9346130B2 (en) | 2008-12-17 | 2016-05-24 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method for laser processing glass with a chamfered edge |
US8932510B2 (en) * | 2009-08-28 | 2015-01-13 | Corning Incorporated | Methods for laser cutting glass substrates |
JP5410250B2 (ja) | 2009-11-25 | 2014-02-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
US8946590B2 (en) | 2009-11-30 | 2015-02-03 | Corning Incorporated | Methods for laser scribing and separating glass substrates |
US20130161797A1 (en) * | 2010-03-05 | 2013-06-27 | Disco Corporation | Single crystal substrate, manufacturing method for single crystal substrate, manufacturing method for single crystal substrate with multilayer film, and element manufacturing method |
US8950217B2 (en) | 2010-05-14 | 2015-02-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method of cutting object to be processed, method of cutting strengthened glass sheet and method of manufacturing strengthened glass member |
JP5670647B2 (ja) | 2010-05-14 | 2015-02-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 加工対象物切断方法 |
JP5653110B2 (ja) | 2010-07-26 | 2015-01-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | チップの製造方法 |
US8720228B2 (en) | 2010-08-31 | 2014-05-13 | Corning Incorporated | Methods of separating strengthened glass substrates |
EP2631030B1 (en) * | 2010-10-19 | 2018-07-25 | Nissan Motor Co., Ltd | Laser cutting method |
US8616024B2 (en) | 2010-11-30 | 2013-12-31 | Corning Incorporated | Methods for forming grooves and separating strengthened glass substrate sheets |
US8539794B2 (en) | 2011-02-01 | 2013-09-24 | Corning Incorporated | Strengthened glass substrate sheets and methods for fabricating glass panels from glass substrate sheets |
JP5361916B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2013-12-04 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | レーザスクライブ方法 |
US8776547B2 (en) | 2011-02-28 | 2014-07-15 | Corning Incorporated | Local strengthening of glass by ion exchange |
JP5860221B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2016-02-16 | 株式会社ディスコ | 非線形結晶基板のレーザー加工方法 |
JP6050002B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-12-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
US10357850B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-07-23 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for machining a workpiece |
CN104136967B (zh) | 2012-02-28 | 2018-02-16 | 伊雷克托科学工业股份有限公司 | 用于分离增强玻璃的方法及装置及由该增强玻璃生产的物品 |
US9828278B2 (en) | 2012-02-28 | 2017-11-28 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for separation of strengthened glass and articles produced thereby |
WO2013130608A1 (en) | 2012-02-29 | 2013-09-06 | Electro Scientific Industries, Inc. | Methods and apparatus for machining strengthened glass and articles produced thereby |
US9359251B2 (en) | 2012-02-29 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Ion exchanged glasses via non-error function compressive stress profiles |
CN102814591B (zh) * | 2012-05-23 | 2016-06-01 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 激光加工方法和激光加工设备 |
US9610653B2 (en) | 2012-09-21 | 2017-04-04 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for separation of workpieces and articles produced thereby |
JP6059059B2 (ja) | 2013-03-28 | 2017-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
US11079309B2 (en) | 2013-07-26 | 2021-08-03 | Corning Incorporated | Strengthened glass articles having improved survivability |
US9517968B2 (en) | 2014-02-24 | 2016-12-13 | Corning Incorporated | Strengthened glass with deep depth of compression |
US9776906B2 (en) | 2014-03-28 | 2017-10-03 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser machining strengthened glass |
US10029941B2 (en) | 2014-03-31 | 2018-07-24 | Corning Incorporated | Machining methods of forming laminated glass structures |
TWI705889B (zh) | 2014-06-19 | 2020-10-01 | 美商康寧公司 | 無易碎應力分布曲線的玻璃 |
CN208586209U (zh) | 2014-07-14 | 2019-03-08 | 康宁股份有限公司 | 一种用于在工件中形成限定轮廓的多个缺陷的系统 |
DE202015009997U1 (de) | 2014-10-08 | 2022-11-09 | Corning Incorporated | Gläser und Glaskeramiken mit einem Metalloxidkonzentrationsgradienten |
US10150698B2 (en) | 2014-10-31 | 2018-12-11 | Corning Incorporated | Strengthened glass with ultra deep depth of compression |
EP3215471B1 (en) | 2014-11-04 | 2021-12-15 | Corning Incorporated | Deep non-frangible stress profiles and methods of making |
JP6472333B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2019-02-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
US11613103B2 (en) | 2015-07-21 | 2023-03-28 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US10579106B2 (en) | 2015-07-21 | 2020-03-03 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
JP6260601B2 (ja) * | 2015-10-02 | 2018-01-17 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
EP3386930B1 (en) | 2015-12-11 | 2021-06-16 | Corning Incorporated | Fusion-formable glass-based articles including a metal oxide concentration gradient |
DE202017007024U1 (de) | 2016-04-08 | 2019-03-25 | Corning Incorporated | Glasbasierte Artikel einschließlich eines Spannungsprofils, das zwei Gebiete umfasst |
WO2017177114A1 (en) | 2016-04-08 | 2017-10-12 | Corning Incorporated | Glass-based articles including a metal oxide concentration gradient |
US11377758B2 (en) | 2020-11-23 | 2022-07-05 | Stephen C. Baer | Cleaving thin wafers from crystals |
CN112975158A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-18 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种透明脆性材料的横向切割方法及系统 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53114347A (en) * | 1977-12-07 | 1978-10-05 | Toshiba Corp | Working method for semiconductor device |
RU2024441C1 (ru) * | 1992-04-02 | 1994-12-15 | Владимир Степанович Кондратенко | Способ резки неметаллических материалов |
US5387776A (en) * | 1993-05-11 | 1995-02-07 | General Electric Company | Method of separation of pieces from super hard material by partial laser cut and pressure cleavage |
US5611946A (en) * | 1994-02-18 | 1997-03-18 | New Wave Research | Multi-wavelength laser system, probe station and laser cutter system using the same |
EP0847317B1 (en) * | 1995-08-31 | 2003-08-27 | Corning Incorporated | Method and apparatus for breaking brittle materials |
US5641416A (en) * | 1995-10-25 | 1997-06-24 | Micron Display Technology, Inc. | Method for particulate-free energy beam cutting of a wafer of die assemblies |
JP3660741B2 (ja) * | 1996-03-22 | 2005-06-15 | 株式会社日立製作所 | 電子回路装置の製造方法 |
JP3498895B2 (ja) * | 1997-09-25 | 2004-02-23 | シャープ株式会社 | 基板の切断方法および表示パネルの製造方法 |
JP3449201B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2003-09-22 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体素子の製造方法 |
US6420678B1 (en) * | 1998-12-01 | 2002-07-16 | Brian L. Hoekstra | Method for separating non-metallic substrates |
US6211488B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-04-03 | Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. | Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a laser initiated scribe |
US6259058B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-07-10 | Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. | Apparatus for separating non-metallic substrates |
JP3626442B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2005-03-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
JP4659300B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
JP2005019667A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用した半導体ウエーハの分割方法 |
JP2005129851A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザ光線を利用した加工方法 |
-
2003
- 2003-05-19 JP JP2003140888A patent/JP2004343008A/ja active Pending
-
2004
- 2004-05-17 US US10/846,515 patent/US20040232124A1/en not_active Abandoned
- 2004-05-18 SG SG200402732A patent/SG119217A1/en unknown
- 2004-05-18 DE DE102004024643A patent/DE102004024643B4/de active Active
- 2004-05-19 CN CNB200410044575XA patent/CN100513110C/zh active Active
-
2007
- 2007-11-19 US US11/984,529 patent/US20080128953A1/en not_active Abandoned
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101516565B (zh) * | 2006-09-19 | 2012-02-08 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工方法 |
CN101516566B (zh) * | 2006-09-19 | 2012-05-09 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工方法和激光加工装置 |
US8188404B2 (en) | 2006-09-19 | 2012-05-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser processing method and laser processing apparatus |
TWI414387B (zh) * | 2006-09-19 | 2013-11-11 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser processing method |
CN101386112B (zh) * | 2007-09-13 | 2013-06-05 | 常州英诺激光科技有限公司 | 一种基于内雕刻的激光切割方法 |
US9938180B2 (en) | 2012-06-05 | 2018-04-10 | Corning Incorporated | Methods of cutting glass using a laser |
TWI633070B (zh) * | 2012-06-05 | 2018-08-21 | 康寧公司 | 使用雷射切割玻璃製品的方法與玻璃製品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004343008A (ja) | 2004-12-02 |
SG119217A1 (en) | 2006-02-28 |
CN100513110C (zh) | 2009-07-15 |
DE102004024643A1 (de) | 2005-02-10 |
US20080128953A1 (en) | 2008-06-05 |
DE102004024643B4 (de) | 2011-07-28 |
US20040232124A1 (en) | 2004-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1572452A (zh) | 利用激光束的工件分割方法 | |
CN1577726A (zh) | 使用激光的半导体晶片分割方法 | |
EP1875983B1 (en) | Laser processing method and chip | |
KR100675535B1 (ko) | 유리의 절단 방법 및 그 장치 | |
US9221124B2 (en) | Ultrashort laser pulse wafer scribing | |
EP1867427B1 (en) | Laser machining method | |
EP2040286B1 (en) | Laser working method | |
EP1775059B1 (en) | Laser processing method and semiconductor device | |
EP1804280B1 (en) | Laser beam machining method | |
EP1956640B1 (en) | Laser processing method | |
EP1944118A1 (en) | Laser processing method and laser processing device | |
CN106945190A (zh) | SiC晶片的生成方法 | |
CN1853840A (zh) | 板状体切断方法及激光加工装置 | |
CN1579728A (zh) | 分割盘状工件的方法 | |
KR101312284B1 (ko) | 레이저 가공 방법 | |
JP2015074003A (ja) | 内部加工層形成単結晶部材およびその製造方法 | |
TWI587960B (zh) | Laser processing method and laser processing device | |
DE112021001175T5 (de) | Werkstückschneideverfahren und Harzaufbringungsvorrichtung | |
TW202201510A (zh) | 晶片之製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |