CN1523380A - 复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置 - Google Patents

复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1523380A
CN1523380A CNA2004100055890A CN200410005589A CN1523380A CN 1523380 A CN1523380 A CN 1523380A CN A2004100055890 A CNA2004100055890 A CN A2004100055890A CN 200410005589 A CN200410005589 A CN 200410005589A CN 1523380 A CN1523380 A CN 1523380A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
section
gap
membraneous material
gap width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004100055890A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1278143C (zh
Inventor
田中惠一
岸本觉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Publication of CN1523380A publication Critical patent/CN1523380A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1278143C publication Critical patent/CN1278143C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/22—Absorbing filters
    • G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/201—Filters in the form of arrays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

一种滤色镜包括黑矩阵和颜色段。黑矩阵具有许多沿着彼此之间设置间隙区域的边延展的隔离段。颜色段位于黑矩阵的间隙区域中。颜色段是通过借助喷墨方法将膜材料施加到黑矩阵的间隙区中而形成的，然后对所获得的薄膜材料进行固化。黑矩阵具有突起段，通过其间隙区域部分变窄。在施加薄膜材料中，突起段用作在间隙区域中阻止薄膜材料流动的阻隔物。这可防止颜色混合和颜色密度的不均匀，同时保持较高的生产率。

Description

复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置
技术领域
本发明涉及诸如滤色镜等的复合膜、复合膜制造方法、由复合膜制造的滤色镜和设置滤色镜的显示装置。
更广泛的，本发明涉及一种用于喷墨打印的改进方法。
背景技术
最近，液晶显示器装置被广泛作为显示装置应用在诸如字处理器、计算机、浏览系统等的显示装置中。不仅如此，液晶显示器装置被改善用于允许液晶显示装置进行彩色显示。
特别地，主要使用有源矩阵(active matrix)式液晶显示装置。在有源矩阵式液晶显示装置中，矩阵中设置像素，诸如薄膜晶体管等的有源元件被用于提供各像素。有源元件作为像素的开关元件，有源元件为像素设置。
通常的有源矩阵式液晶显示装置设有第一玻璃衬底和第二玻璃衬底。第一玻璃衬底设有扫描线、灰度信号线、开关元件和像素电极。第二玻璃衬底设有黑矩阵、滤色镜和通用电极。第一和第二玻璃衬底以预定的间隙区域彼此相对放置。液晶显示材料填充间隙。然后，密封材料被施加围绕第一和第二玻璃衬底，所述材料通过施加热或者光被固化(硬化)。通过使用密封材料，第一和第二玻璃衬底得以密封。像素电极和通用电极之间的电压通过像素至像素控制，以执行灰度显示，其中各个像素的灰度得以控制。
由于其复杂的生产和部件数目较多使得此类液晶显示装置的较高成本难以降低。液晶显示装置的零售价格的降低对于获取更大的市场来说是必须的。有鉴于此，不同的技术被用来降低滤色镜的成本，所述滤色镜是液晶显示装置中最昂贵的组成元件之一。
通常，色素分散方法被用于制造滤色镜。在色素扩散方法中，滤色图样通过光学处理形成。在色素扩散方法中，特别地，色素在其中扩散的光敏树脂通过旋涂(spin coating)等整体施加到衬底的表面上。光敏树脂薄膜通过紫外线辐射执行图样曝光产生。由此，产生一个颜色的滤色图样。以此方式对膜处理几次，从而形成包含黑矩阵的滤色层。
在色素扩散方法中，色素在其中扩散的大多数光敏树脂在形成各色滤色图样时被移除。因此，色素扩散方法具有较高的材料成本。高材料成本阻碍了滤色镜的制造成本的降低。
最近，一种通过使用喷墨方法的制造滤色镜的方法被建议用于降低材料成本和制造滤色镜的步骤数目。例如，美国专利号为6,399,257 B1中提出了这样的一种方法。
参照图15(a)至图15(f)，公开在美国专利No.6,399,257 B1中的滤色镜制造方法将在下面说明。注意图15(a)至图15(f)分别说明了下述步骤a至f。
在步骤a中，具有开口部分102a的光屏蔽层102(黑矩阵)形成在衬底101上。屏蔽层102由光屏蔽元件以行或者栅格的模式构成。屏蔽层102通过在光敏黑树脂层上通过照相平版方法形成图案而形成。此处，光屏蔽层102由黑树脂制造并具有较大的厚度，这样光屏蔽层102用作后面将说明的固化墨的应用的一部分。注意屏蔽层可以通过另外一种方法形成，例如，EP 1,226,974 A1中所公开的热成像处理(LITI方法)。
在步骤b中，光敏层103形成在衬底101的整个表面上，在其上形成光屏蔽层102。光敏层103是一个变得亲水或者通过在其上辐射光时更加亲水的层。优选地，光敏层103包含至少TiO2、SnO2、ZnO、WO3、SrTiO3、Bi2O3和Fe2O3之一，作为光敏复合物。当光辐射到包含至少这些复合物之一时，电子和空穴(pore)通过光的辐射被激活。被激活的电子和空穴与水和氧反应，所述水和氧被吸收到光敏复合物的表面，由此产生活性氧。结果，光辐射到光敏层103上的区域变得亲水。另外一方面，诸如光敏复合物的金属氧化物从本质上而言是憎水和疏油的。这样，光没有辐射到光敏层103上的区域变得憎水。这样，墨在光没有辐射到光敏层103上的区域有可能被排斥。因此，在通过使用将在下面说明的喷墨方法来施加固化墨中，各相邻光辐射区域(即亲水区域)之间的非光辐射区域(即非亲水区域)排斥墨，由此具有颜色混合防止功能。这样就有可能防止不同颜色的墨彼此混合。
使用光敏复合物形成光敏层103的方法的特定的例子是(a)烧结方法，其中光敏复合物通过施加高温(比光敏复合物的结晶温度要高的温度)被烧结到基片上，和(b)煅烧方法，其中通过在诸如酒精等的溶剂中扩散烷氧基硅烷(alkoxys ilane)和光敏复合物来制备复合物，所述复合物被施加到衬底101并被加热以形成薄膜。
在烧结方法中，必须施加不低于400℃的高温。在光屏蔽层102等的情况下，其主要由树脂材料制造，被形成在衬底101上，光屏蔽层102通过施加高温就可能恶化。这样，烧结方法在此情况下不是优选的。此外，即使光屏蔽层102由诸如铬等的金属材料制造，烧结方法也不是优选的，因为施加高温有可能导致光屏蔽层102的尺寸不准确。因此，煅烧方法是优选的，其中复合物被施加并煅烧，因为煅烧方法使用低温。
这样，光敏层103通过图样曝光变得更加亲水，所述图样曝光导致水分子等被吸收到被光辐射的区域。至于在图样曝光中所使用的光的波长，应该对一些光敏复合物使用在紫外线区域中的相对较短的波长的光，但是可见光中相对较长的波长也可以用于一些光敏复合物。这样，最适合光敏复合物的波长可以任意选择。
施加复合物以形成光敏层103的例子是：旋涂、粘辊、杆涂、喷涂、浸渍涂等。
光敏层103的厚度优选地位于0.01μm至10μm的范围中，更为优选地位于0.01μm至5μm的范围中。
在步骤c中，光敏层103被暴露到自衬底101之下指到那里的光(光通过衬底101指向光敏层103)，以在暴露给光的区域中形成亲水区域104。亲水区域104是通过光的辐射变得亲水或者更为亲水的区域。没有暴露给光的区域亲水性差。这样，没有暴露给光的区域此后为了说明简单称为非亲水区域105。光敏层103形成在光屏蔽层102上。这样，光敏层103的曝光可以将光屏蔽层102作为掩模来执行。为了防止滤色镜形成白点(无颜色的点在色段和光屏蔽层之间的边界段之间形成)，优选地形成色段(将被施以颜色的段)，这样色段具有比开口段102a更大的面积。有鉴于此，将被曝光的光敏层部分必须比光屏蔽层102中的开口段102a大。优选地使用散射光以进行曝光。例如，可选地，可以有效地执行过度曝光以使得更大区域进行反应。
此处注意光敏层103被暴露到自衬底101下部直接射到那里的光。但是，可以安排光敏层103被暴露到自衬底之上射到那里的光同时使用光掩模。在此情况下，为了防止白点的形成，优选地，使用掩模的敞开部分比光屏蔽层102的敞开部分102a宽。特别地，优选地没有暴露的区域形成在光屏蔽层的这样的部分上：其边位于更靠近光屏蔽层的敞开部分102a的边3μm或者更多。
图样曝光可以以条纹(线)或者栅格来执行，如图16(a)和16(b)所示。图16(a)说明了图样曝光以条纹的形式来执行的情况。在此情况下，光屏蔽层102为各色素设有敞开部分102a。条纹状中的颜色段107在行的方向连续对齐。图16(b)说明了图样曝光以矩阵的方式执行的情况。在此情况下，图样曝光的矩阵对应光屏蔽层102的敞开段102a的位置。
在步骤d中，固化墨106(可以固化的墨)根据预定的颜色图样通过喷墨方法施加到亲水区域104。通常，为了制造滤色镜，固化墨106由三种颜色即R、G、B(红、绿和蓝)墨构成。
优选地，此处所用的固化墨106包含聚合体、低聚物等来作为粘结成分(桥接成分通过施加热或者光辐射来执行桥接)。这样的聚合体、低聚物等可以通过完全聚合由下述化学方程式(1)所表示的结构单元所构成的单体来构成，或者通过与另外的乙烯基单体一起来形成聚合而形成。注意化学方程式(1)中的R1和R2是取代基并可以彼此不同。
由化学式(1)所表示的结构单元所构成的单体可以但是不限于是N-羟甲基丙烯酰胺、N-甲氧基甲基丙烯酰胺、N-羟乙基甲基丙烯酰胺、N-异丙基甲基丙烯酰胺、N-羟甲基甲基丙烯酰胺、N-甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、等。单体可以单独聚合或者和其它乙烯基单体一起聚合形成。另外的乙烯基单体可以是但不限于(i)丙烯酸，(ii)甲基丙酸烯，(iii)诸如甲基丙烯酸、乙烷基丙烯酸等的酯丙烯酸，(iv)诸如甲基-甲基丙烯酸、乙烷基甲基丙酸烯等的酯甲基丙烯酸，(v)包含羟基族的乙烯基单体，诸如羟甲基异丁烯酸盐、羟乙基异丁烯酸盐、羟(基)氢氧基异丁烯酸盐、羟(基)氢氧基乙醛丙烯酸盐等，(vi)其它复合物，诸如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、丙烯腈、丙烯胺、乙烯胺、乙酰胺(aceticamine)、乙烯基丙酸酯等。
不仅如此，复合物的主要成分的分子重量(粘合成分)优选地在500至50000范围中，更为优选地在1000至20000范围中，考虑到将通过喷墨方法被喷射出(施加、喷溅)的复合物。此外，墨中的复合物的成分优选地处于重量百分比0.1％至重量百分比15％范围中，更为优选地在重量百分比范围1.0％至10％的范围中。
此外，固化墨106包含颜色材料，其可以是染色类型或者色素类型。
此外，(i)气泡喷墨式(“气泡喷墨”是商标佳能株式会社)，其中电热变换器作为能量产生部件，(ii)压电喷墨式，其中使用压电，(iii)等方法可以被用在喷墨方法。颜色段和喷墨方法中的颜色图样可以任意设置。
在步骤e中，固化墨106通过必要的措施来固化，即，施加热或者光辐射。因此，形成R、G和B颜色段107。
在步骤f中，根据需要，形成保护层108。保护层108可以(i)由光固化式、热固化式树脂、由光和热一起固化的树脂形成的树脂层，(ii)由沉积、喷射等所形成的无机薄膜，(iii)等，只要滤色镜具有透明的保护层108，并具有足够的公差来进行ITO(铟-锡氧化物)薄膜(透明电极)形成工艺，和对齐层形成工艺。
顺便提及的是，在美国专利No.6,399,257 B1中所公开的制造方法中，光屏蔽层102作为滤色镜的黑矩阵，所述光屏蔽层102在施加固化墨的过程中具有分份功能。光屏蔽层102是栅格形状(以矩阵形式形成图样)，如图16(a)和16(b)所示。此后，光屏蔽层102被称为黑矩阵102。
当施加固化墨106到栅格形状的黑矩阵形成到其上的衬底101上时，通过喷墨方法，被施加到各开口部分102a中的一定量的固化墨106依赖于将被喷射到各开口段102a中的液滴的数量。这是因为，在矩阵形状的黑矩阵102中，这样施加的固化墨106不会自一个开口段102a流动到另外的开口段102a。这样，将被施加到各开口段102a中的固化墨的量由将被喷射到各开口段102a中的液滴的数量来确定。
此外，将被施加到各开口段102a中的固化墨106的量决定了各开口段102a中的颜色密度。这样，为了防止开口段102a中的颜色密度的不均匀，就有必要控制喷射，这样基本上相同数目的固化墨106的液滴被喷射到各开口段102a中。
但是，事实上，非常难于控制喷墨方法中的喷射(墨的施加)。结果，存在的一个问题是颜色密度在开口段102a中喷墨方法被应用到如图16(a)和16(b)所示的栅格形状的黑矩阵102时高度不均匀。
图17显示了具有这样的图样的黑矩阵112，其中各开口段112a没有在列的方向分开。和图16(a)和16(b)所示的栅格形状的黑矩阵102相反，将固化墨106以恒定的量施加到如图17中所示的黑矩阵112中的各开口段112a就相对比较容易。将被施加到各黑矩阵112的开口段112a的固化墨106的量比将要施加到黑矩阵102的各开口段102a的固化墨106的量要大。这样，在黑矩阵112中，在开口段112a中就将被施加的固化墨106的量而言就能够较容易地抑制不均匀。例如，在XGA类型的液晶显示装置用滤色镜中，将被施加到各开口段112a的固化墨106的量大约是各开口段102a中的768倍。
因此，和黑矩阵102相比，在黑矩阵112中就比较容易控制各单元中颜色密度的不均匀。
但是，本发明的发明人发现在图17中所示的黑矩阵中产生下述问题。
在通过使用喷墨方法施加固化墨106时，衬底101通过使用喷墨头以预定的相对速度Vh进行扫描。此外，固化墨106以Vv的喷出速度从喷墨头喷出。因此，固化墨106的液滴以最终的速度Vt击在衬底101上，这是相对速度与射出速度Vv的合速度，如图18所示。
当液滴106a以合速度Vt击衬底101时，液滴106a就这样自液滴106a所击的点很大地展开。如果合速度Vt，特别是相对速度Vh较大时，固化墨106如图19所示，散开，固化墨106在上游较厚，而在相对速度Vh的下游较薄。结果，由固化墨106所形成的颜色段具有不均匀的厚度，由此导致颜色密度的不均匀。
此外，如果合速度Vt，特别地，相对速度Vh较大时，固化墨106的展开速度较快。在此情况下，就有可能部分固化墨106流过是隔壁的黑矩阵112，甚至流过非亲水区105，以达到与其相邻的开口段112a。这导致相邻颜色段107之间的颜色混合。
避免这样问题的一个解决方法是减小相对速度。但是，相对速度的减小降低了固化墨106的施加步骤的生产量，由此降低滤色镜的生产量。
即，当在喷墨技术中使用传统技术，所述喷墨技术在减小材料成本和步骤的数目而言是有效的，在不降低高的生产量的情况下就不可能解决滤色镜的属性的恶化的问题。
此外，本发明的发明人发现颜色段107在朝向边部分较厚而在相对图17中的垂直方向在中间部分(纵向)较薄，通过将固化墨106施加到如图17所示的黑矩阵112被设置到其上的衬底上而形成颜色段107。因为边部分是固化墨流动结束的地方，周围的气化溶剂的蒸气浓度比边部分周围的小，而比中间部分的要大。这样，固化墨106在边部分和在中间部分相比以较大的干化速度变干。结果，固化墨106自中间部分朝边部分流动，在中间部分固化墨106干化速度变慢。这种现象导致滤色镜中中间部分和边部分之间的颜色密度的不均匀。
注意此问题不限于滤色镜的制造，在包括将薄膜材料通过使用喷墨方法施加而形成薄膜的步骤中的生产工艺中是常见的。
发明内容
有鉴于上述问题，本发明的目标是提供：(i)高质量的复合薄膜或任何类似的被打印物品或产品的制造方法，在不扰乱高生产率的情况下，复合薄膜通过喷墨方法施加薄膜材料来形成，(ii)等。
根据本发明的方法，其包含通过喷墨打印过程在要打印的各个区域中进行打印，并在这样的区域中提供至少一个阻隔物，其可防止所施加的墨或打印介质在在此区域中的不必要的流动。根据本发明，流动阻隔物可包含位于打印介质的不需要流动路径中的任何的物理阻隔物，诸如凸起、凹陷或其他的可阻止不需要的流动的结构。流动阻隔物同样还可包含任何其他的力或物理物质，只要其可限制打印介质做不必要的流动即可。
制造具有第一薄膜和第二薄膜的复合薄膜的制造方法，第一薄膜具有许多个沿着彼此之间设置间隙区域方向中延展的隔离区域，第二薄膜位于间隙区域之间，包括步骤：(i)在衬底上形成第一薄膜；和(ii)将间隙区域中的薄膜材料通过喷墨方法沿着隔离区域所延展的方向施加，并将这样施加的薄膜材料固化，以形成第二薄膜，第一薄膜具有间隙宽度调整段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
在所述的方法中，第二薄膜通过喷墨方法沿着隔离段延展的方向将薄膜材料形成到第一薄膜间隙区域中而形成。因此，其中第二薄膜通过第一薄膜分隔的复合薄膜得以形成。例如，此方法可以适于制造复合薄膜，诸如具有对应第一薄膜的光屏蔽薄膜和对应第二薄膜的透明颜色薄膜的滤色镜。
在此方法中，优选地，通过喷墨方法施加的薄膜材料的速度，即，衬底和用于将薄膜材料喷射出的喷嘴之间的相对速度较大。但是，通常，较高的相对速度会导致这样的问题：薄膜材料流过隔离段，和/或者这样施加的薄膜材料具有不均匀的薄膜厚度。这样的问题在滤色镜的情况下导致颜色混合和/或者颜色密度不均匀，这样导致滤色镜质量的恶化。
作为对此问题的解决办法，在制造方法中第一薄膜具有间隙宽阔调节段。间隙区域的宽度通过间隙宽度调节段部分变窄。在施加薄膜材料时，间隙宽度调节段是作为相对在间隙区域中列方向中流动的薄膜材料的拖拉部分。使用这种布置，就有可能防止薄膜材料流过隔离段并在这样施加薄膜材料的薄膜厚度中获得较低的不均匀性。可以推论出获得这样的效果的原因是间隙宽度调节段导致薄膜材料在通过自喷墨嘴喷射并被施加到其上后以较低的速度展开或者在衬底上展开速度变慢。
根据所述制造方法，如上所述，就有可能以较高相对速度在喷墨嘴和衬底之间施加薄膜材料，同时防止薄膜材料流过隔离段或者防止这样施加的薄膜具有相对不均匀的薄膜厚度。结果，就可能以较高的生产率制造具有高性能的复合薄膜。
本发明的复合薄膜包括：(a)具有许多隔离段的第一薄膜，所述段沿着彼此之间的间隙区域的一个方向延展，(b)通过喷墨方法将薄膜材料施加间隙区域中而形成的第二薄膜，并固化薄膜材料，第一薄膜具有间隙宽度调节段，通过其间隙区域的宽度部分变窄。
如上所安置的复合薄膜可以通过上述方法制造。这样，如上所述，复合薄膜可以通过将薄膜材料在喷墨嘴和衬底之间以较高相对速度进行施加，同时，防止薄膜材料流过隔离段，或者防止这样施加的薄膜材料具有较高不均匀的薄膜厚度。结果，就有可能以相对较高的生产率来制造具有高性能的复合薄膜。
这里讨论的各种最佳实施例包含使用隔离物或阻隔物，其从要打印的表面向上延伸，以便构成对打印介质的不必要流动的阻隔。然而，本发明并不限于此种结构。对打印介质的不必要流动的阻隔物可包含，例如，位于要打印表面中的凹陷，或其他的物理结构或元件，其可获得阻隔打印介质的不需要流动的效果。另外，在打印介质响应一个所施加的力的情况下，例如磁场、电场或类似的，对不需要的流动的阻隔物可包含用于提供这样的力以在选定的位置阻隔打印介质的不需要流动的装置。
为了完全理解本发明的实质和优点，将参照附图结合随后的说明进行详细的说明。
附图说明
图1(a)是本发明的第一实施例的滤色镜的平面图。图1(b)是沿着图1(a)的线A-A所取的横截面图。
图2(a)至图2(c)是说明图1中所示的滤色镜的制造步骤的横截面图。
图3是图1中所示的滤色镜的黑矩阵的平面图。
图4是解释喷墨嘴相对衬底的速度和薄膜材料的液滴速度在通过墨喷方法施加薄膜材料中的透视图。
图5显示的是击到衬底上的薄膜材料展开的透视图。
图6是说明本发明第一实施例的修改的滤色镜的平面图。
图7是本发明第一实施例的另外修改的滤色镜的平面图。
图8是本发明第一实施例的液晶显示装置的结构平面图。
图9(a)是说明图8中所示的液晶显示装置的有源矩阵衬底上的一个像素的平面图。图9(b)是黑矩阵施加到图9(a)上的平面图。图9(b)显示了有源矩阵衬底和面朝有源矩阵衬底的黑矩阵之间的位置关系。
图10是沿着图9(a)的线C-C所取的液晶显示板的横截面图。
图11(a)至图11(e)是说明本发明的第二实施例的滤色镜的制造步骤的横截面图。
图12是说明形成在图11(c)所示的步骤中的黑矩阵上的亲水区域的平面图。
图13(a)至图13(g)是说明本发明第三实施例的滤色镜的制造步骤的横截面图。
图14是说明图13(a)至图13(c)中所示步骤形成黑矩阵中所使用的施主板(donor sheet)的布置的横截面图。
图15(a)至图15(f)是传统滤色镜制造步骤的横截面图。
图16(a)和图16(b)是说明不同图样的非亲水区域的平面图，所述区域形成在栅格状的黑矩阵中。
图17是具有和图16(a)和图16(b)中的黑矩阵不同形状的黑矩阵的平面图，非亲水区域形成在黑矩阵上。
图18是用于解释固化墨的液滴相对衬底的速度在使用喷墨方法施加固化墨过程中的透视图。
图19显示的是固化墨击到并在衬底上展开的厚度不均匀的横截面图。
图20是本发明的第四实施例的滤色镜的平面图。
图21是图20中所示的滤色镜的黑矩阵的平面图。
图22是显示颜色段的薄膜厚度的不均匀的测量结果表。
图23(a)是在薄膜材料施加本发明的第一实施例中立即之后的平面图。图23(b)是说明通过将薄膜材料在本发明的第一实施例中固化的颜色段的平面图。图23(c)是说明在薄膜材料连接施加到可比例子中之后的平面图。图23(d)是说明通过将薄膜材料在比较示例中固化薄膜材料所形成的颜色段的平面图。
具体实施方式
下面将参照图1至图10说明本发明的第一实施例。
图1(a)是本实施例的滤色镜10的平面图，而图1(b)是沿图1(a)的线A-A所取的横截面图。
滤色镜10设置在衬底11上。滤色镜10设有颜色段17，其作为透明颜色薄膜，和黑矩阵12，其作为光屏蔽薄膜。颜色段17包括红色段17r、绿色段17g、蓝色段17b，对应三种主色RGB。
此处，颜色段17是通过将薄膜材料固化而形成的薄膜，薄膜材料通过下述的喷墨方法来施加。在这样形成的颜色段17中，红色段17r、绿色段17g和蓝色段17b以条纹形状形成图样。
黑矩阵12用作隔板，所述隔板将相邻的颜色段在施加薄膜材料中分离，即，是用于将红色段17r和绿色段17g、绿色段17g和蓝色段17b、蓝色段17b和红色段17r分离的隔板。此后，黑矩阵作为隔板的部分被称为隔离段12a。隔离段12a是许多和“间隙(间隙区域)”平行设置的部件并在相同的方向中延展。隔离段12a在其中延展(即图1(a)中的垂直方向)的方向(纵向)为了说明简便被称为“列方向”。隔离段12a相对列方向的端部可以如图1(a)彼此连接，看是可以彼此分离。
然后，红色段17r、绿色段17g和蓝色段17b分别位于黑矩阵12的开口中，即，隔离段12a之间。此后，黑矩阵12的开口被称为“黑矩阵12的间隙区域”或者简称为“间隙区域”。此外，间隙区域的宽度方向是在垂直于列方向的方向中，即，在图1(a)中的侧向方向中。此后，间隙区域的宽度方向被称为“行方向”，以便于说明。
滤色镜10设有突起段12b，其朝间隙区域突起。许多突起段12b沿着隔离段12a的列的方向设置。突起段12b是用于调整间隙区域宽度的段(间隙宽度调节段)。间隙区域的宽度通过突起段12b部分变窄。如下所述，突起段12b作为相对薄膜材料的拖拉部分(用于保持流动的部分)，所述材料在间隙区域中的列的方向中流动。
注意黑矩阵12可以如图6或者7所示制作图样，除了图1(a)中所示的图样外。即，如图6中所示，隔离段12a可以部分在两侧都突起以由此形成突起部分12b。如图7中所示，岛状段12b’可以取代突起段12b而设置，岛状段12b’自隔离段12a分离。和突起段12b相似，岛状段12b’是用于使得间隙区域的宽度变窄的段。在岛状段12b’被设置的情况下，岛状段12b’在隔离段12a形成的同时形成，由此就有可能防止增加新的步骤。
滤色镜10被这样设置从而突起段12b位于在列的方向中对齐的各像素之间的边的区域中。因此，在图1(a)中，各列作为具有三个像素来进行说明。但是，实际上每列具有较大数目的像素。
接着，参照图2(a)至图2(c)，将说明滤色镜10的制造方法。在制造方法中，黑矩阵形成步骤、薄膜材料施加步骤、薄膜材料固化步骤以此顺序执行。注意滤色镜10的原始材料、尺寸等实际上按下述提及的制造，但是本发明的制造方法不限于所述的特定原始材料、尺寸等。
在黑矩阵形成步骤中，其中扩散碳的光敏树脂材料通过旋涂以厚度1.5μm施加到由玻璃等制造的衬底11上。然后，光敏树脂材料在烤箱110℃烘焙120秒而被烘焙干。由此，形成光敏树脂薄膜。此后，接近式曝光被执行以将光敏树脂薄膜在预定的曝光图样中通过50μm的曝光间隙(接近间隙)间隙曝光。然后，未曝光区域使用碱显影剂取出。此处所使用的曝光图样是给出图1(a)中所示的黑矩阵12的图样的图样。接着，衬底11在250℃烤干90分钟，由此形成图2(a)所示的黑矩阵12。注意黑矩阵12的隔离段12a在图2(a)中说明。
此处，光敏树脂材料是阴性的。但是，光敏树脂材料不限于阴性。只要由光敏树脂薄膜所制造的黑矩阵12能够满足黑矩阵所需要具有的性能，而不管类型是阴性还是阳性的。黑矩阵的属性需要具有粘合属性、曝光分解、作为黑矩阵的光屏蔽属性。
黑矩阵12的各段尺寸如图3所示。即，隔离段12a具有8μm的宽度，突起段12b具有13μm×20μm的尺寸，像素节距是13μm×20μm。由此，形成1024×768像素。注意只有3个像素在图1(a)中的各列中对齐，如上所述。突起段12b在平面视图中(鸟瞰视图中)具有大致矩形形状。突起段12b的角落是圆形(弯曲、不尖锐)。突起段12b的这个形状限制了通过喷墨方法所施加的薄膜材料中薄膜材料的不均匀流动，由此获得薄膜厚度中的较低的不均匀性。
在薄膜材料施加步骤中，通过喷墨方法，薄膜材料16r、16g、16b被施加到图2(a)中所示的黑矩阵12的间隙区域12c上，如图2(b)所示。薄膜材料16r、16g和16b分别是RGB颜色用薄膜材料。注意，薄膜材料16r、16g和16b的应用可以同步或者顺序执行。薄膜材料16r、16g和16b是固化墨，其中颜色的色素被分别扩散，其粘性被调整到20cps。此后，薄膜材料16r、16g和16b可以被一起称为薄膜材料16，其中薄膜材料16r、16g和16b的颜色没有特别涉及。
如图4中所示，喷墨嘴91，其相对衬底11在列的方向单向移动，连续地喷射薄膜材料16的液滴16a。实际上，应用是按照如下的步骤进行的：喷墨嘴91以相对速度Vh0.1m/sec相对衬底11移动；液滴16a自喷墨嘴91以喷射时的喷射速度Vv0.6m/sec被喷射出，其中液滴16a在喷墨嘴91移动时喷射大约50μm间距。因此，液滴16a以合速度Vt击到衬底11上，其中合速度是相对速度Vh和喷射速度Vv的组合。
当液滴16a(薄膜材料16)以合速度Vt击到衬底101上时，通过喷射而这样施加的液滴16a自液滴16a击到衬底11的点广泛展开。在喷射液滴16a中，传统的布置的问题是薄膜材料16以厚度不均匀施加由此导致颜色密度的不均匀，其中在传统布置中黑矩阵没有设置突起段12b，薄膜材料流过隔离段12a，由此导致颜色混合，如同背景技术中所说明的那样。注意薄膜材料16和液滴16a对应发明背景技术中的固化墨106和液滴106a。
在本实施例的布置中，其中黑矩阵12设有突起段12b，但是，由于薄膜材料16的厚度的不均匀所导致的颜色密度的不均匀就充分的减小，由此可以防止由于薄膜材料16的溢出所导致的颜色混合。此外，即使相对速度增加到0.35m/sec，颜色密度的不均匀性也充分减小，颜色混合得以防止。突起段12b的设置防止了颜色密度的高度不均匀和颜色混合。
为什么所设置的突起段12b起作用的原因如下所述。通过将液滴16a喷射到衬底11上而施加到衬底11的薄膜材料16，如图5所示，在撞击到衬底11上后自击点P在各个方向展开。但是，由于相对速度Vh的效果，薄膜材料16在和相对速度Vh的正向或前向中广泛展开。
当薄膜材料16这样展开，突起段12b部分阻碍薄膜材料16的展开，由此将部分薄膜材料16朝撞击点P往回送。结果，靠近撞击点P安置的薄膜材料16的量增加，由此减轻了传统中的薄膜材料16的厚度不均匀的问题，如图19所示。
此外，由于通过突起段12b使得间隙区域变窄，薄膜材料16在通过间隙区域的部分以相对较低速度流动，所述间隙区域被突起段12b变窄。这样，薄膜材料16的展开的惯性力减小。结果，薄膜材料16的能量不足以流过隔离段12a，由此防止颜色混合。
可以推论出使用栅格状的黑矩阵可以获得相同的效果，即，黑矩阵12中突起段12b自一个隔离段12a延展到相邻的隔板12a。但是，如本发明的背景技术中所解释的那样，栅格状的黑矩阵需要在每像素的液滴的数目更为准确的控制，以免颜色密度在像素之间高度不均匀。
在栅格状的黑矩阵中，通过黑矩阵分隔的各区域分别对应各像素。在这样的栅格形状的黑矩阵中，将被施加到各由黑矩阵所分隔的各个区域的薄膜材料的体积是：1.5μm×(108μm-8μm)μm×(324μm-13μm)＝大约47000μm3，例如如果薄膜材料的厚度是1.5μm。另外一方面，在本实施例的黑矩阵中，薄膜材料的体积与在列的方向中连续(在列的方向中没有隔离地对齐)对齐的像素数目的乘积(例如，768像素)有关。由此，与将被喷射到由黑矩阵所限定的各个区域中的液滴的数目相比，根据本发明要被喷射到各个区域中的液滴的数目与通过在列的方向中连续对齐的像素数目的乘积，另外，在薄膜材料16的厚度的不均匀性是允许的(例如，10％)。对于所采用的膜材料的量，也有一个对应的可接受的变化的乘积，也即，液滴的数目的所需的准确性是和在列的方向中连续对齐的并形成各个打印区域的像素的数目成反比。
因此，为了获得颜色密度的较低的不均匀性，同时获得较高的产量，优选地，黑矩阵具有这样的图样：像素在列的方向中连续对齐。在图12(a)中所示的黑矩阵12的图样中，所喷射的薄膜材料16的展开得以减小，但是薄膜材料16在相邻像素中间的流动没有受到阻碍。这样的布置通过允许薄膜材料16在像素之间流动而获得了更为均匀的薄膜材料16厚度。
这里，对突起段12b和与其相邻的隔离段12a之间的距离如何影响薄膜材料16的应用进行评估。突起段12b和靠近其的隔离段12a之间的距离通过改变行方向中的突起段12b的长度而改变。在评价中其它条件没有改变。评价的结果显示，薄膜材料16的良好施加可以根据突起段12b和靠近其的隔离段12a之间的距离是5μm或者更大的这样的布置来获得。薄膜材料可以用分散颜料并调整其黏度为20cps的硬化型墨水。根据此布置，在不导致颜色混合的情况下，薄膜材料16可以施加到均匀厚度的薄膜材料16中，因为薄膜材料16被允许在像素之间流动。
在薄膜材料固化步骤中，薄膜材料16所施加到其上的衬底11被进行热处理，这样以固化薄膜材料16以形成如图2(c)所示的颜色段17。此处，衬底11在180℃处理90分钟。由此，滤色镜10被完成。注意保护层等可以设置到黑矩阵12上和颜色段17，如果需要的话。
如上所述，在突起段12b的角落是曲线形状(圆形、非锐形)的布置中，允许薄膜材料不受阻塞的流动，并防止空气孔在角落中形成。由此，就有可能以较高的产量来形成高质量的滤色镜。空气孔的形成导致滤色镜10的光泄漏。
下面将参照图23(a)至图23(d)解释为什么在突起段12b的拐角是曲线形的布置中可以防止形成空气孔等。图23(a)至图23(b)说明了本实施例的黑矩阵12、薄膜材料16和颜色段17。图23(a)显示了紧靠施加了薄膜材料16之后的状态。图23(b)显示了颜色段17通过固化薄膜材料16而形成的状态。此外，图23(c)和图23(d)说明了黑矩阵12’、薄膜材料16’和比较例子中的颜色段17’。图23(c)显示了在立即施加薄膜材料16’之后的状态。图23(d)显示了颜色段17’通过固化薄膜材料16’而形成的状态。在比较例子中，突起段12’b的拐角是矩形形状，而不是曲线形状。
如图23(a)和(c)所示，在立即施加之后，薄膜材料16和16’自间隙区域突起，间隙区域依赖于黑矩阵12和12’的数目和其上的各重叠。此后，在薄膜材料固化步骤中，薄膜材料16和16’由于表面张力而收缩。特别地，在黑矩阵12’的有角拐角C上，薄膜材料16’的收缩更大。结果，薄膜材料16’的形状和黑矩阵12’在有角拐角C的形状不同。这导致颜色段17’比有角拐角C薄，这导致在有角拐角C的光泄漏。另外一方面，这样的有角拐角通过布置使得突起段12b的拐角是圆形而省略。这样，就有可能防止光泄漏。
接着，作为其中使用了滤色镜10的显示装置，液晶显示器1将在下面说明。液晶显示器1如图8所示，设有液晶显示面板2、源驱动器3和门驱动器4。注意源驱动器和门驱动器4广为人知，此处省略对其的解释。此处解释液晶显示面板2。
液晶显示面板2设有图9(a)中所示的有源矩阵衬底20。注意对应一个像素的有源矩阵衬底20的一部分主要显示在图9(a)中。此外，图10显示了液晶显示面板2沿图9(a)的线C-C所取的横截面。
在液晶显示面板2中，有源矩阵衬底20被设置面朝滤色镜，液晶层32设置在滤色镜10和有源矩阵衬底20之间。
注意液晶显示面板2被构造使得ITO薄膜可以作为公共电极33被设置在滤色镜10的表面上。ITO薄膜通过喷射方法等形成并具有诸如140nm厚度。
有源矩阵衬底20设有玻璃等制造的衬底21。在衬底21上，有源矩阵衬底20设有栅极总线22、补充电容线29、栅极绝缘薄膜23、源极总线24、漏极输出线25、开关元件26、保护薄膜27、透明像素电极28。
栅极总线22设置在衬底21上并连接到栅极驱动器4。由SiNx制造的栅极绝缘薄膜23设置在栅极总线22上和衬底21上。源极总线24设置在栅极绝缘薄膜23上并和源驱动器3相连接。漏极输出线25设置在栅极绝缘薄膜23上以位于和源极总线24相同的层上。补充电容线29被设置以位于和栅极总线22相同的层上。补充电容形成在补充电容线29和漏极输出线25之间。开关元件26是TFT(薄膜晶体管)等，其由部分栅极总线22、部分源极总线24和半导体薄膜(未示出)构成。保护薄膜27设置在栅极绝缘薄膜23、源极总线24和漏极输出线25之上，以包括开关元件26。透明像素电极28设置在保护薄膜27上并作为显示用电极。
液晶显示面板2通过使用液晶层32来控制光的透射率，即，控制自衬底21进入液晶层32的光是否被允许通过液晶层32传输到衬底11。此处，图9(a)中的带有阴影线的段屏蔽光，由此作为光屏蔽区域，而图9(a)中没有阴影的段可以作为控制光的透射率的开口区域。栅极总线22、源极总线24、漏极输出线25、开关元件26、补充电容线29被包括在光屏蔽区域中。此外，滤色镜10的黑矩阵12也是光屏蔽区域。在液晶显示面板2中，优选地，光屏蔽区域的比率应尽可能的小，即，开孔率尽可能的大，以获得高亮的显示。
有鉴于此，优选地有源矩阵20的光屏蔽区域和滤色镜10的黑矩阵12优选地位于图9(b)中所示的位置。即，液晶显示面板2优选地被放置使得黑矩阵12的突起段12b在与衬底11和21的垂直的方向中放置在有源矩阵衬底20的开关元件26上。这种布置可以防止或者最小化由于将突起段12b设置到黑矩阵12上而导致的开孔率的降低。注意黑矩阵12的隔离段12a被放置叠加到源极总线24之上，如同常用元件显示面板中那样。
考虑到液晶显示面板2的开口比率最大化，和突起段12b被设置在如图6中所示的隔离段12a的两侧相比，优选地突起段12b只设置在如图1(a)所示的隔离段12a的一侧。
注意，本实施例讨论本发明的滤色镜。但是，本发明不限于滤色镜。本发明可以被采用到任何复合薄膜及其制造方法中，复合薄膜包括：(i)具有许多隔离段的第一薄膜，所述段沿着其间设有间隙区域的方向延展，和(ii)通过在第一薄膜的间隙区域中施加薄膜材料通过喷墨方法并固化所施加的薄膜材料而形成的第二薄膜。在本实施例的滤色镜中，黑矩阵12对应第一薄膜，而颜色段17对应第二薄膜。
例如，本发明可以用于导线，所述导线通过喷墨方法施加导电薄膜材料来形成，然后固化所施加的薄膜材料。通过使用本发明的制造方法来制造导线，例如，就有可能形成条纹电极，所述条纹电极将是信号电极或者扫描电极以用于无源矩阵型显示面板中，以制造用在无源矩阵显示面板中的电极衬底。
此外，通过使用所述制造方法，就有可能形成条纹电极，所述条纹电极是用于有源矩阵显示面板中的扫描电极，特别是具有MIM(金属绝缘金属)元件作为有源元件的有源矩阵显示面板，以制造有源矩阵衬底。
如上所述，本发明可以使用用于：(i)图样形成衬底，可导或者不可导图样通过喷墨方法来形成到其上，(ii)电极连接衬底，其通过提供图样形成衬底和电极来形成，(iii)有源元件连接衬底，其通过提供图样形成衬底和有源元件形成，(vi)滤色镜连接衬底，其通过提供图样形成衬底和滤色镜而形成。
如上所述，本发明的制造方法用于制造复合薄膜是有效的，所述薄膜包括第一薄膜和第二薄膜1，第一薄膜具有许多在沿着彼此之间有间隙区域的方向延展的许多隔离段，第二薄膜位于间隙区域中。所述制造方法包括步骤：在衬底上形成第一薄膜；通过喷墨方法使用沿着隔离段所延展的方向移动的喷墨嘴而将薄膜材料施加到间隙区域中，并固化这样施加的薄膜材料，以形成第二薄膜。在本实施例中，黑矩阵形成步骤对应形成第一薄膜的步骤，薄膜材料施加步骤和薄膜材料固化步骤对应施加薄膜材料和固化这样施加的薄膜材料的步骤。此外，本实施例被安置使得第一薄膜具有间隙宽度调节段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
在制造方法中，第二薄膜通过沿着隔离段延展的方向通过喷墨方法将薄膜材料施加到第一薄膜的间隙区域中而形成。由此，其中第二薄膜被第一薄膜所分隔的复合薄膜得以制造。
在所述方法中，优选地薄膜材料通过喷墨方法施加的速度，即，衬底和用于喷射薄膜材料的喷墨嘴之间的相对速度较大。但是，通常，相对较高的速度导致这样的问题；薄膜材料流过隔离段，和/或者这样施加的薄膜材料具有不均匀的薄膜厚度。这样的问题在滤色镜的情况下导致颜色混合和/或者颜色密度的不均匀，这样导致滤色镜质量的恶化。
作为问题的解决办法，第一薄膜在制造方法中具有间隙宽度调节段。间隙区域的宽度通过间隙调节段部分变窄。在施加薄膜材料过程中，间隙宽度调节段作为流动在列方向中间隙区域中的薄膜材料的阻隔部分。使用这种结构，就有可能防止薄膜材料流过隔离段并在这样施加的薄膜材料的薄膜厚度中获得较低的不均匀性。可以推论，获得这样的效果的原因是间隙宽度调节段导致薄膜材料以较缓的速度展开或者在自喷墨嘴喷射出而施加到衬底上展开的更少。
根据所述制造方法，如上所述，就有可能以相对较高的速度在喷墨嘴和衬底之间施加薄膜材料，同时防止薄膜材料流过隔离段或者防止这样施加的薄膜具有较高的薄膜厚度不均匀性。结果，就有可能以较高的生产率来制造具有较高属性的复合薄膜。
下面将参照图11和12说明本发明的第二实施例。
如图11(e)所示，本实施例的滤色镜40和第一实施例的滤色镜10不同在于功能薄膜13设置在黑矩阵12上和间隙区域12c中。功能薄膜13位于黑矩阵12之上和颜色段17之下。注意本实施例的滤色镜40设有和滤色镜10相同的构成元件，除了功能薄膜13之外。因此，相同的组成元件以相同的方式标识，并且此处省略其说明。
功能薄膜13是这样的薄膜：其相对薄膜材料16润湿性可以控制。功能薄膜13就其润湿性而言可以如下调节：位于黑矩阵12上的功能薄膜13部分相对薄膜材料16具有相对较低的润湿性。功能薄膜13的其它部分，特别是功能薄膜13位于间隙区域12c中的那部分功能薄膜具有相对较高的润湿性。具有相对较低润湿性的功能薄膜13此后被称为非亲合区域，而具有相对较高润湿性的那部分功能薄膜13被称为亲合区域。
至于功能薄膜13，可以使用光敏薄膜，其相对薄膜材料16的润湿性通过将特定的光辐射到光敏薄膜上而得以提高。使用这样的光敏薄膜使得通过在特定的图样中将特定光辐射到功能薄膜13上而形成亲合区域合非亲合区域。注意特定的光是具有特定波长区域中的波长的光。
参照图11(a)至图11(e)，本实施例的滤色镜40的制造方法将在下面说明。在制造方法中，黑矩阵形成步骤、功能薄膜形成步骤、曝光步骤、薄膜材料施加步骤和薄膜材料固化步骤以此顺序执行。注意黑矩阵形成步骤(图11(a))、薄膜材料施加步骤(图11(d))、和薄膜材料固化步骤(图11(e))和第一实施例中所说明的具有相同名字的步骤相同。这样，此处省略对其的解释。此外，实际制造的滤色镜将通过提及所使用特定的材料、特定的尺寸等来说明。但是，本发明不限于这些提及所使用的材料、尺寸等。
在功能薄膜形成步骤中(光敏薄膜形成步骤)，通过旋涂方法将敷用液(application liquid)施加到黑矩阵12形成在其上的衬底11的表面上。通过这种方式，敷用液被施加到厚度为0.3μm。此处所用的敷用液包括散布钛氧化物(TiO3)，其是光催化剂。敷用液施加到其上的衬底11在110℃的烤箱内烘焙120秒。因此，如图11(b)所示形成光敏树脂薄膜。在此状态中，功能薄膜13的上表面是憎水的，以至于所述表面相对应纯水的接触角是11℃。即，功能薄膜13的上表面在此状态中具有相对较低的润湿性。
在曝光步骤中，如图11(c)所示，自超高压水银灯中发射的光L被用作特定的光。特定的光自衬底11(即，通过衬底11)的底侧的下部指引，以将黑矩阵12用作曝光掩膜来对功能薄膜13进行曝光。此处，光L的曝光强度是0.2J/cm2作为波长365nm的总的曝光量。衬底11相对特定的光是透明的，而黑矩阵12屏蔽了特定的光(即黑矩阵12相对特定的光不是透明的)。使用这种布置，位于黑矩阵12上的功能薄膜13部分变为非亲合区域，而功能薄膜13的其它部分变为亲合区域。
注意曝光通过使用黑矩阵12作为曝光掩模自衬底(曝光背侧)11的下表面之下来执行功能薄膜13的曝光。但是，曝光步骤可以被安排使得功能薄膜13使用预定的曝光掩模自衬底12(曝光前侧)的上表面来进行曝光。但是，背侧曝光更为有利，因为黑矩阵12可以作为曝光掩模来使用，由此就没有必要准备额外的曝光掩模，曝光可以通过使用额外的曝光掩模在额外的曝光掩模和衬底11匹配位置之后来执行曝光。
此处，自超高压水银灯La所射出的光不是平行光而是发散光。使用这种布置，部分光L以与衬底垂直的方向通过衬底11指向功能薄膜13在黑矩阵12的侧边部分的那部分。这样，就有可能使得锥形边上的膜13的部分成为亲合区域。需注意的是图11(c)-11(e)中的功能膜13的阴影部分是亲和区。此外，图12中的阴影部分是二维显示的黑矩阵12的侧部上的“可到达(reach-around)”亲合区域。“可到达”亲合区域是平行光不能到达的区域从而变成非亲合，但是可以有发散光到达从而变得亲合。可到达亲合区域自“非”可到达亲合区域(甚至通过平行光都可以到达以变得亲合)的边具有宽度2.5μm。
在亲合区域和非亲合区域这样形成的布置可以有效地防止薄膜材料16在下一个薄膜材料施加步骤中施加薄膜材料16中的颜色混合。这是因为非亲合区域相对薄膜材料16的相对较低的润湿属性禁止了薄膜材料16在行的方向，形成在黑矩阵12上的非亲合区域，尤其是在隔离段12a和突起段12b(参看图1(a))上的扩展。
结果，就有可能获得充分小的颜色密度不均匀性并防止颜色混合，即使在喷墨嘴91相对衬底11(参看图4)的相对速度Vh在薄膜材料施加步骤中增加到0.5m/sec。根据本实施例，如上所述，就有可能以比第一实施例中相对较高的速度Vh来执行薄膜材料16的应用，由此增加生产率。
注意第二实施例的制造方法中的黑矩阵形成步骤、功能薄膜形成步骤、曝光步骤、薄膜材料施加步骤、和薄膜材料固化步骤对应在本发明的背景技术中所说明的步骤a至e。这样，在步骤a至e中所说明的方法和原材料可以在第二实施例中使用。注意本实施例的部分如下对应本发明的背景技术：衬底11对应衬底101；黑矩阵12对应黑矩阵102；功能薄膜13对应光敏层103；亲合区域对应亲水区域104；非亲合区域对应非亲水区域105；薄膜材料16对应固化墨106；颜色段17对应颜色段107。
下面将参照图13和14说明本发明的第三实施例。
本实施例的制造方法如图13(a)至13(g)所示。在本实施例中所说明的制造方法就黑矩阵形成步骤而言和第二实施例的不同。本实施例的制造方法和第二实施例的其它步骤相同，即，功能薄膜形成步骤、曝光步骤、薄膜材料施加步骤、薄膜材料固化步骤。因此，其它的步骤此处省略解释。注意本实施例的制造方法可以被安排使得和第一实施例的其它步骤相同，除了黑矩阵形成步骤，即使在本实施例的制造方法和第二实施例的除了黑矩阵形成步骤之外的其它步骤相同。
在本实施例的黑矩阵形成步骤中，黑矩阵12通过使用施主板18形成。这就有可能采用EP 1,226,974 A1中所公开的黑矩阵形成步骤。
首先，施主板18将参照图14在下面说明。施主板18被用作图像给予元件以将图像图样通过热成像工艺(LITI方法)使用激光束传输到衬底11上
施主板18设有基部材料18a、光热转换层18b、中间层18c和传输层18d。光热转换层18b、中间层18c和传输层18d以此顺序设置在基部材料18a上。传输层18d包括图像成分。通过光热转换层所产生的热将图像成分熔化在传输层18d中，以在图样中将图像成分传输到衬底11上(参看图13(a))。通过传输图像成分而形成黑矩阵12(参看图13(c))。
在施主板18中，基部材料18a可以由任何材料构成，只要施主板18的要求条件能够满足。基部材料18a需要具有(i)相对激光束的透明性，(ii)耐热，(iii)等，因为施主板18为了传输图像成分而辐射激光束而受热。此外，基部材料需要具有(iv)适当的柔韧性，(v)较轻的重量，(vi)可操纵性，(vii)机械强度，和(viii)等，因为施主板18被粘到图像接受元件，然后在图像成分传输之后自图像接受元件剥离。基部材料18a的合适的材料的例子是诸如聚酯树脂的不同塑料材料。基部材料18a具有厚度范围大约为0.01mm至2.54mm。
光热转换层18b(也被称为LTHC层)通过辐射激光束得到的光能量转换为热能量。热能量通过中间层18c被传导至传输层18d，以在传输层18d中熔化图像成分。被熔化的图像成分被传输到衬底11的表面上并在其上固定。
因此，优选地光热转换层18b由光吸收材料制造，诸如黑碳等。可选地，优选地光热转换层18b是分散地包括这样的光吸收材料的层。此外，优选地，光热转换层18b包含光聚酯成分，这样光热转换层18b将通过激光束的辐射而硬化。光热转换层18b的例子是这样的层：碳黑、光聚酯单体、光聚酯低聚体、光聚酯引发剂等分散在粘合剂树脂中。
这样的光热转换层18b通常如下准备：具有预定成分的树脂合成物通过传统的施加方法被施加到基部材料18a的表面，诸如旋涂方法、影印版印刷法、金属型涂料方法等；然后，树脂合成物被施加到的基部材料18a变干以形成光热转换层18b。光热转换层18b具有大约通常0.001μm至10μm范围中的厚度。
中间层18c用作均匀分布通过光热转换层18b由光辐射的结果而产生的热。中间层18c由具有这样功能的树脂材料制造。和光热转换层18b相似，中间层18c如下制备：具有预定成分的树脂合成通过传统的施加方法，诸如旋涂方法、影印版印刷法、金属型涂料方法等施加到光热转换层18b的表面上；然后，树脂合成物被施加到的光热转换层18b变干以形成中间层18c。中间层18c具有大约通常0.05μm至10μm范围中的厚度。
如上所述，传输层18d包含图像成分，所述图像成分通过光热转换层18b所产生的热的效果而熔化，以在图样中被传输到衬底11上。
传输层18d由允许包含在将被传输的材料中的图像成分以较高的对比度通过LITI方法传输到衬底11的表面上的材料构成，并在传输后作为图像图样被固定，这允许施主层18自衬底11完全剥离，以使没有传输层18d部分保留在衬底11上。此外，传输层18d可以包含：(i)黑色素(碳黑等)或者其它大量的色素，以具有黑矩阵12的功能，黑矩阵12形成用作图像图样。可选地，传输层18d可以包含金属粉末等以具有黑矩阵12的功能。
图13(a)至图13(c)说明了通过使用施主板18形成黑矩阵12的方法。
如图13(a)中所示，施主板18，其显示在图14中，被放置在衬底11上，传输层18d和衬底11的表面紧密接触。接着，如图13(b)中所示，在预定的图样中自衬底18a(即通过衬底18a)将激光Lb辐射到施主板18。激光Lb被辐射的图样对应将被形成的黑矩阵的图样。
激光Lb辐射的结果是，激光能量通过施主板18的光热转换层18b的效果而转换为热能量。然后，热能量通过中间层18c的效果而均匀分布。由此，包含在传输层18d中的图像成分被加热并在图样中熔化。被熔化的图像成分和衬底11紧密接触。在图13(b)中，应阴影表示出了被熔化并与传输层18d接密接触的图像成分。此后，从基片11上剥离施主板18，从而激光Lb的辐射图样相对应的图样被转换到基片11上。通过由此转换的部分形成黑矩阵12。在图13(c)中，示出了黑矩阵12的分隔段12a。
此后，和第二实施例中相同的功能薄膜形成步骤、曝光步骤、薄膜材料施加步骤和薄膜材料固化步骤被执行，由此形成和第二实施例的滤色镜40相同的滤色镜。
黑矩阵形成步骤不需要移除步骤，其中使用了碱显影液，而第二实施例的黑矩阵形成步骤需要这样的移除步骤。这样，通过采用本实施例的黑矩阵形成步骤，就有可能简化过程。
下面将参照图20和22说明本发明的第四实施例。
图20显示了本实施例的滤色镜50。滤色镜50具有和第二实施例的滤色镜40相同的基本结构。滤色镜可以通过和滤色镜40相似的制造方法制造。这样，在本实施例中，滤色镜50对应滤色镜40中那些元件的构成元件和第二实施例中相同的方式标识。
下面将说明本实施例的滤色镜50和第二实施例中的滤色镜40之间的差异。第二实施例的滤色镜40被安置使得黑矩阵的突起段12b具有相同的形状，而不管突起段设置在何处。另一方面，本实施例的滤色镜50被安置使得黑矩阵52的突起段52b具有依赖于黑矩阵52就列方向而言的放置位置而具有不同的形状。即，边部分的突起段52b比中间部分的突起段52b要长(具有更长的突起长度)。注意，黑矩阵52的隔离段52a具有和黑矩阵12的隔离段具有相同形状。
下面将参照图21说明特定的例子。尺寸只是用于描述，并不构成对本发明的限制。如图21中所示，黑矩阵52的段的尺寸如下：隔离段52a具有宽度8μm；突起段52b在列的方向是15μm宽；像素间距尺寸是108μm×324μm，由此形成1024(行方向)×768(在列的方向)。注意突起段52b可以在列的方向中长度是13μm宽，在所描述的实施例中，突起段52b的形状被安置使得自一个边部分计算的第i个突起段52b在行的方向中具有长度(突起长度)Li(单位：μm)，长度Li满足公式(1)。
Figure A20041000558900311
也即，中间部分(Li)的突起段52b的形状在所示的平面图中是20μm(行的方向中)×15μm(列的方向中)。突起段52b分别位于列的方向中的各端(在所示的实施例中为Li和L767)的形状是在平面图中60μm(行的方向中)×15μm(列的方向中)。突起段52b的突起长度在边部分至中间部分都减小了1μm(比中间更靠近的相邻突起段52b之一比具有突起长度的其它要短1μm)。
如上所述，本实施例被安置使得间隙区域的宽度通过布置突起段52b以不同的比率变窄，这样突起段52b的突起长度根据突起段52b在列的方向中的位置而变化。
注意，滤色镜50被安置使得突起段52b具有在平面图中(鸟瞰图)基本上为矩形的形状，突起段52b的拐角是圆形的。滤色镜50被这样安置是为了如同在第二实施例中那样防止薄膜材料在通过喷墨方法施加薄膜材料的不均匀流动，由此获得较低不均匀的薄膜厚度。
薄膜材料通过使用喷墨嘴施加到设置这样滤色镜50的衬底11上。实际使用的薄膜材料是固化墨，其中分散红色色素，其粘性被调节为20cps。
薄膜材料的施加是通过自喷墨嘴91连续喷射液滴16a而执行的，喷墨嘴在列的方向中相对衬底11单向移动。特别地，薄膜材料的施加如下执行：喷墨嘴91相对衬底11以0.1m/sec的相对速度Vh移动；液滴16a自喷墨嘴91以喷射速度Vv0.6m/sec喷射，喷射时其中液滴16a在喷墨嘴91移动时以大约50μm的间距喷射。由此，液滴16a以合速度Vt撞击到衬底11上，合速度是相对速度Vh和喷射速度Vv的组合。
本实施例，和上述讨论的各其它实施例相似，抑制由于薄膜材料的厚度的不均匀而导致的颜色密度的不均匀，并防止由于薄膜材料的流过而导致的颜色混合。
在这样施加薄膜材料后，衬底在140度的热板上变干，以蒸发掉薄膜材料中的溶剂。由此，形成红色段。
接着，准备了三种类型的滤色镜试样以估计设置突起段12b和52b的效果、具有不同突起长度的突起段52的效果。第一滤色镜试样是本实施例的滤色镜50。第二滤色镜试样是第二实施例的滤色镜40。第三滤色镜试样是其黑矩阵没有突起段的滤色镜。
评估了各试样中通过固化薄膜材料而形成的滤色镜的厚度(薄膜厚度)。结果显示在图22中。图22显示了滤色镜在列的方向中两边部分(开始边和结束边)中的颜色段的厚度相对中间部分的颜色段的厚度比率被设置为1。注意，在喷墨嘴相对衬底在移动方向中，开始边是颜色段的上游边，而结束边是颜色段的下游边。
其黑矩阵没有突起段的滤色镜(第三滤色镜试样)具有高度不均匀的薄膜厚度，边部分的薄膜厚度大约是中间部分的2.5至3倍。另一方面，薄膜厚度的不均匀性在本实施例的滤色镜50(第一滤色镜试样)和第二实施例中的滤色镜40(第二滤色镜试样)中非常小。此外，第一滤色镜具有比第二滤色镜试样更小的薄膜厚度不均匀性。
如上所述，黑矩阵设有突起段的布置可以在颜色段中获得更低的薄膜厚度不均匀性。此外，薄膜厚度不均匀性更有效的减小可以通过突起段的边部分的突起长度比中间部分小的布置来获得。
此外，根据图22中所显示的结果，很显然所有试样的颜色段在结束边比开始边的薄膜厚度要大。可以推论薄膜材料的厚度在朝结束边的薄膜材料的量相对较多，这是由于薄膜材料在其撞击到间隙区域上时的惯性力所致。
由此，优选地，靠近结束边的突起段的突起长度比靠近开始段的突起长度要长。这种布置进一步获得了较低的颜色段薄膜厚度不均匀性。
注意，本实施例中的特定示例只是一个示例。这样，本发明的突起段52b的突起长度不限于公式(1)，只要突起长度在列的方向的端部比中间部分的长。通过使位于向着列方向的端部的突起段52b具有比中间突起段52b以其他的比率更长的突起长度而获得实质相同的效果。
此外，本实施例讨论了此处所使用的滤色镜的布置和第二实施例2的滤色镜40的相同，但是通过设置具有突起段52b的黑矩阵52而改动，突起段52b的突起长度是变化的。但是，本发明不限于此布置。可以通过以相同的方式修改图1、6和7所示的第一实施例的滤色镜10和图13中所示的第三实施例的滤色镜40而获得相似的效果。
至于第一实施例的图6中所示滤色镜10，自突起段12a一侧突起的突起段12b具有不同的突起长度，或者自突起段12a的两侧突起的突起段12b可以具有不同的突起长度。此外，在第一实施例的图7中所示的滤色镜10中，岛状段12b’的行方向宽度可与突起段12b的突起长度一样。
本实施例讨论了本发明的滤色镜。但是，和上述讨论的其它实施例相同，本发明不限于滤色镜。本发明可以被任何复合薄膜及其制造方法采用，复合薄膜包括(i)具有许多隔离段的第一薄膜，所述段在沿着彼此之间设有间隙区域的方向中延展，和(ii)通过在第一薄膜的间隙区域中施加薄膜材料通过喷墨方法并固化所施加的薄膜材料而形成的第二薄膜。在本实施例的滤色镜中，黑矩阵52对应第一薄膜，而颜色段17对应第二薄膜。
如上所述，本发明用于制造复合薄膜的方法可以被安置使得第一薄膜在隔离段所延展的方向中具有许多间隙宽度调节段，诸如突起段、岛状段等，间隙宽度调节段位于间隙区域的边部分中并导致间隙区域的宽度比间隙宽度调节段位于间隙区域的中间部分内要窄。
第二薄膜的薄膜厚度在边部分比中间部分在隔离段被延展的方向中要厚。可以推论第二薄膜的薄膜厚度是这样，这是因为薄膜材料在边部分比在中间部分以更快的速度干化，由此导致薄膜厚度自中间流到边部分，其中薄膜材料干化相对较慢。
为了解决这个问题，薄膜材料自中间部分相边部分的流动可以通过布置来延迟，所述布置中位于间隙区域的边中的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于间隙区域的中间部分中的间隙宽度调节段的要窄，如上所述。结果，就有可能减轻第二薄膜的薄膜厚度在边部分比在中间部分的要厚的趋势。由此，就有可能获得更为均匀的第二薄膜的薄膜厚度。
注意，第二薄膜可以被安置使得自中间位于更远的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于靠近中间部分的间隙宽度调节段更窄。
此外，本发明用于制造复合薄膜的方法可以被安置使得位于一边部分的间隙宽度调节段使得比位于另外一边部分的间隙宽度调节段要窄，薄膜材料自另外的一边部分在施加薄膜材料和固化薄膜材料的步骤中施加到一边部分。
在通过喷墨方法施加薄膜材料的过程中，有一种趋势是，依赖于喷墨嘴和衬底之间的相对速度，薄膜材料在喷墨嘴移动的方向(喷墨嘴的移动方向)的下游变厚。
为了解决此问题，自喷墨嘴的移动方向的上游至下游的薄膜材料的流动可以通过这样的布置来延迟：其中位于下游方向的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于上游方向的间隙宽度调节段要窄。结果，就有可能减轻第二薄膜的薄膜厚度在下游比在上游的薄膜厚度要厚的趋势。由此，就有可能获得更为均匀的第二薄膜厚度。
本发明也可以如下说明。对齐的壁形成在图样将被形成在其上的衬底上。壁具有四个圆角和许多突起或者岛。突起或者岛用作“挡水板”以减小液滴撞(喷射)击到衬底上的流动速度，同时允许部分液滴流动到位于附近的像素中。用这种方式，就可以获得壁的总体均匀薄膜厚度。特别地，在滤色镜形成的情况中，优选地壁由挡光树脂材料制造，突起或者岛被施加在开关元件的光屏蔽段上。
此外，为了在干化后获得均匀的薄膜厚度，突起和岛尺寸可以变化，从而使得靠近列的端部的突起或岛具有更大的尺寸。由此，墨材料仍然允许流入相邻像素中但是所述流动在列形打印区的端部比在其中间更受限。在这种方式中，就有可能防止薄膜厚度在干化后在壁的边上更厚。此外，由于衬底相对喷墨头移动，墨材料在扫描方向中具有初始速度。由于这个原因，墨材料在施加结束的位置比施加开始的位置更容易累积。但是，均匀的薄膜厚度可以通过布置使得列的端部的突起或者岛的尺寸比其中间部分的突起或者岛的尺寸更大而获得。
本发明可以适当地用于液晶显示装置等用滤色镜。此外，本发明可以用于导线、电极等，无源矩阵式或者有源矩阵式显示装置设置了这些元件。
本发明不限于上述的这些实施例，并可以在下述所引的权利要求的范围内进行修改。本发明的技术范围包括通过合适组合不同实施例中公开的技术装置而获得的任何的实施例。
如上述实施例中所述，制造具有第一薄膜和第二薄膜的复合薄膜的制造方法，第一薄膜具有许多在一个方向中沿着彼此之间的间隙区域所延展的隔离区域，第二区域位于间隙区域之间，包括步骤：(i)在衬底上形成第一薄膜；和(ii)将间隙区域中的薄膜材料通过喷墨方法沿着隔离区域所延展的方向施加，并将这样施加的薄膜材料固化，以形成第二薄膜，第一薄膜具有间隙宽度调整段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
在所述方法中，第二薄膜通过喷墨方法沿着隔离段延展的方向将薄膜材料形成到第一薄膜间隙区域中而形成。因此，其中第二薄膜通过第一薄膜分隔的复合薄膜得以形成。例如，此方法可以适于制造复合薄膜，诸如具有对应第一薄膜的光屏蔽薄膜和对应第二薄膜的透明颜色薄膜的滤色镜。
在此方法中，优选地，通过喷墨方法施加的薄膜材料的速度，即，衬底和用于将薄膜材料喷射出的喷嘴之间的相对速度较大。但是，通常，较高的相对速度会导致这样的问题：薄膜材料流过隔离段，和/或者这样施加的薄膜材料具有不均匀的薄膜厚度。这样的问题在滤色镜的情况下导致颜色混合和/或者颜色密度不均匀，这样导致滤色镜质量的恶化。
作为对此问题的解决办法，在制造方法中第一薄膜具有间隙宽度调节段。间隙区域的宽度通过间隙宽度调节段部分变窄。在施加薄膜材料时，间隙宽度调节段是作为相对在间隙区域中列方向中流动的薄膜材料的拖拉部分。使用这种布置，就有可能防止薄膜材料流过隔离段并在这样施加薄膜材料的薄膜厚度中获得较低的不均匀性。可以推论出获得这样的效果的原因是间隙宽度调节段导致薄膜材料在通过自喷墨嘴喷射并被施加到其上后以较低的速度展开或者在衬底上展开速度变慢。
根据所述制造方法，如上所述，就有可能以较高相对速度在喷墨嘴和衬底之间施加薄膜材料，同时防止薄膜材料流过隔离段或者防止这样施加的薄膜具有相对不均匀的薄膜厚度。结果，就可能以较高的生产率制造具有高性能的复合薄膜。
注意所述方法可以这样布置：间隙宽度调节段是突起段，所述突起段是突入间隙区域中的那部分隔离段。可选地，本发明可以这样安置：间隙宽度调节段是第一薄膜的岛状段，岛状段自隔离段分离。
此外，优选地，间隙宽度调节段在平面图中具有拐角段，拐角段是圆形的。通过安置，这样间隙宽度调节段在平面图中具有圆形拐角段，这就有可能防止薄膜材料不均匀流动并获得较低的薄膜材料厚度不均匀性。
本发明的方法可以被安置使得第一薄膜在隔离段所延展的方向中具有许多间隙宽度调节段，间隙宽度调节段位于间隙区域的边部分中，导致间隙区域的宽度比间隙宽度调节段位于间隙区域的中间部分的要窄。
第二薄膜的薄膜厚度在隔离段延展的方向中在边部分要比中间部分的要厚。可以推论，第二薄膜的薄膜厚度是这样的原因是薄膜材料在边部分比在中间部分干的更快，由此导致薄膜材料自中间部分流动到边部分，其中薄膜材料在中间部分干化的相对较慢。
为了解决上述问题，薄膜材料自中间部分至边部分的流动可以通过这样的布置延迟：位于间隙区域的边中的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于间隙区域中间部分中的间隙宽度调节段要窄。结果，就有可能减轻第二薄膜的薄膜厚度在边部分比在中间部分的要厚的趋势。由此，就有可能获得更为均匀的第二薄膜的薄膜厚度。
注意，第二薄膜可以被安置使得自中间位于更远的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于靠近中间部分的间隙宽度调节段更窄。
此外，本发明用于制造复合薄膜的方法可以被安置使得位于一边部分的间隙宽度调节段使得比位于另外一边部分的间隙宽度调节段要窄，在另外一边部分中，薄膜材料自另外的一边部分在施加薄膜材料和固化薄膜材料的步骤中施加到一边部分。
在通过喷墨方法施加薄膜材料的过程中，有一种趋势是，依赖于喷墨嘴和衬底之间的相对速度，薄膜材料在喷墨嘴移动的方向(喷墨嘴的移动方向)的下游变厚。
为了解决此问题，自喷墨嘴的移动方向的上游至下游的薄膜材料的流动可以通过这样的布置来延迟：其中位于一侧部分的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于另外一侧部分的间隙宽度调节段要窄。结果，就有可能减轻第二薄膜的薄膜厚度在下游比在上游的薄膜厚度要厚的趋势。由此，就有可能获得更为均匀的第二薄膜厚度。
在施加薄膜材料和固化薄膜材料的步骤之前，本发明的方法可以被这样安置以包括步骤：将光敏薄膜形成在衬底上，第一薄膜已经形成在衬底上，光敏薄膜相对薄膜材料通过将特定的光辐射到光敏薄膜上而具有更好的润湿性，以导致第一薄膜上的那部分光敏薄膜润湿性相对较差，并导致对应间隙区域的那部分光敏薄膜润湿性相对更好。
根据所述方法，形成在第一薄膜上的相对润湿性较差的区域更为有效地防止了薄膜材料流过隔离段。由于这个原因，就有可能在薄膜喷墨嘴和衬底之间施加具有更高的相对速度的薄膜材料，从而获得更高的生产率。
所述方法可以被这样安置，从而衬底相对特定光是透明的，第一薄膜屏蔽特定光，在辐射特定光的步骤中，特定光自衬底之上辐射到光敏薄膜同时使用第一薄膜作为掩模。
在所述方法中，第一薄膜可以使用特定光在曝光中作为掩模。这样，就没有必要准备额外的曝光掩模，曝光可以通过使用额外的曝光掩模在额外的曝光掩模和衬底匹配位置之后来执行曝光。
本发明的所述方法可以被这样安置，使得在形成第一薄膜的步骤中，使用激光束的热成像工艺可以被采用以在衬底上形成第一薄膜。
在所述方法中，就有可能在曝光中不使用掩模来形成第一薄膜。此外，在曝光后的显影步骤中可以省略此方法。由此，就有可能简化形成第一薄膜的步骤。
本发明的复合薄膜可以设有：(i)具有许多隔离段的第一薄膜，所述段在沿着彼此之间设有间隙区域的方向中延展，和(ii)通过在第一薄膜的间隙区域中施加薄膜材料通过喷墨方法并固化所施加的薄膜材料而形成的第二薄膜，第一薄膜具有间隙宽度调节段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
如上所布置的复合薄膜可以通过上述方法制造。这样，如上所述，可以在喷墨嘴和衬底之间以相对较高的速度施加薄膜材料来制造复合物，而防止薄膜材料流经隔离段或者防止这样施加的薄膜材料具有较高的不均匀薄膜厚度。结果，就有可能以较高的生产率来制造具有高性能的复合薄膜。
本发明的复合薄膜可以设置使得间隙宽度调节段是突起段，所述突起段是突入间隙区域中的那部分隔离段。可选地，本发明的复合薄膜可以设置使得间隙宽度调节段是第一薄膜的岛状段，岛状段自隔离段分离。
本发明的复合薄膜可以设置使得第一薄膜在隔离段所延展的方向中具有许多间隙宽度调节段，间隙宽度调节段位于间隙区域的边部分中，导致间隙区域的宽度比间隙宽度调节段位于间隙区域的中间部分的要窄。
这种设置减轻了第二薄膜在边部分要比在中间具有更厚的薄膜厚度趋势。由此，就有可能获得更为均匀的第二薄膜的薄膜厚度。
本发明的复合薄膜可以设置使得自中间位于更远的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比位于靠近中间部分的间隙宽度调节段更窄。
此外，本发明用于制造复合薄膜的方法可以被安置使得位于一边部分的间隙宽度调节段使得比位于另外一边部分的间隙宽度调节段要窄，薄膜材料自另外的一边部分在施加薄膜材料和固化薄膜材料的步骤中施加到一边部分。
所述布置减轻了通过喷墨方法施加薄膜材料，第二薄膜的薄膜厚度在下游比在上游的薄膜厚度要厚的趋势。结果，就可以获得更为均匀的第二薄膜厚度。
本发明的复合薄膜可以进一步在第一薄膜之上和第二薄膜之下包括功能薄膜，功能薄膜就其相对薄膜材料的润湿性可以控制，具有相对较低润湿性的部分的功能薄膜在第一薄膜上，而具有相对较高润湿性部分对应间隙区域。
在如上所布置的复合薄膜中，形成在第一薄膜上的相对较低的润湿区域更为有效地防止了薄膜材料流过隔离段。由于这个原因，就有可能在薄膜喷墨嘴和衬底之间施加具有更高的相对速度的薄膜材料，从而获得更高的生产率。
本发明的复合薄膜可以安置使得使用激光束的热成像工艺可以被采纳以在衬底上形成第一薄膜。使用这种结构，就有可能在曝光中不使用掩模来形成第一薄膜。此外，在曝光后的显影步骤中可以省略此方法。由此，就有可能简化形成第一薄膜的步骤。
本发明的滤色镜由上述的任何一种复合膜构成，在滤色镜中，第一膜为光屏蔽膜而第二膜为透明膜。
在上述布置的滤色镜的生产中，由于防止了薄膜材料流过隔离段，在不破坏高生产率的情况下防止了颜色混合。此外，在上述布置的滤色镜的生产中，就有可能防止薄膜材料的薄膜厚度高度不均匀，由此通过防止这样施加的薄膜材料具有较高的薄膜厚度不均匀性而获得颜色密度的较低不均匀性。这样，就有可能通过高生产率来制造具有较高属性的滤色镜。
此外，就有可能通过布置包括滤色镜的显示装置，而构成具有良好显示质量和较低成本的显示装置。
在设置滤色镜和朝向滤色镜的有源矩阵衬底并具有在矩阵中对齐的开关元件的显示装置中，优选地，间隙宽度调节区域分别设置在开关元件之上。
如上所述，本发明的制造具有第一薄膜和第二薄膜的复合薄膜的制造方法，第一薄膜具有许多在一个方向中沿着彼此之间的间隙区域所延展的隔离区域，第二区域位于间隙区域之间，包括步骤：(i)在衬底上形成第一薄膜；和(ii)将间隙区域中的薄膜材料通过喷墨方法沿着隔离区域所延展的方向施加，并将这样施加的薄膜材料固化，以形成第二薄膜，第一薄膜具有间隙宽度调整段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
此外，本发明的复合薄膜设有：(i)具有许多隔离段的第一薄膜，所述段在沿着彼此之间设有间隙区域的方向中延展，和(ii)通过在第一薄膜的间隙区域中施加薄膜材料通过喷墨方法并固化所施加的薄膜材料而形成的第二薄膜，第一薄膜具有间隙宽度调节段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
根据这些布置，就有可能在喷墨嘴和衬底之间以相对较高的速度施加薄膜材料来制造复合物，而防止薄膜材料流经隔离段或者防止这样施加的薄膜材料具有较高的不均匀薄膜厚度。结果，就有可能以较高的生产率来制造具有高性能的复合薄膜。
通过这样说明本发明，显然同样的方式可以以不同的方式来变化。这些变化不视为对本发明的实质和范围的背离。所有这些改变对普通技术人员显而易见，并包括在随附的权利要求书的范围内。

Claims (46)

1、一种用于制造复合薄膜(10，40，50)的方法，所述复合薄膜包括第一薄膜(12，25)和第二薄膜(17)，第一薄膜具有许多个通常沿着一个方向延展的隔离段，其间具有间隙区并彼此相对，第二薄膜位于间隙段之中，所述方法包括步骤：
在衬底上形成第一薄膜；和
通过喷墨方法并沿着隔离段延展的一个方向相对衬底横向来回喷墨而将第二薄膜材料施加到间隙区中，并将这样施加的第二薄膜材料固化，以形成第二薄膜，
第一薄膜包含至少一个间隙宽度调整段(12b、52b)，间隙区域的宽度通过其变窄。
2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
间隙宽度调节段包含部分延伸到间隙区中的隔离段。
3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
间隙宽度调节段包含与隔离段分离的部分第一薄膜。
4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
间隙宽度调节段具有拐角，所述拐角是圆形的。
5、根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述隔离段和所述间隙宽度调节段的所有拐角是圆形的。
6、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
第一薄膜包含多个沿所述一方向间隔开的间隙宽度调节段，
位于间隙区端部的间隙宽度调节段使得间隙区域的宽度比间隙宽度调节段位于间隙区域的中间部分的要窄。
7、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
位于间隙区的一个端部的间隙宽度调节段使得间隙区的宽度比位于另外一端部分的间隙宽度调节段的宽度要窄，
其中施加薄膜材料的步骤包含从另外一个端部向着一个端部的方向开始施加所述薄膜材料。
8、根据权利要求1所述的方法，在间隙区中施加第二薄膜材料的步骤之前，包括步骤：
将光敏薄膜(13)形成在衬底上，第一薄膜已经形成在衬底上，光敏薄膜为相对第二薄膜材料通过将特定的光辐射到光敏薄膜上而具有更好的润湿性的类型的薄膜；及
将特定光辐射到光敏薄膜上，以使得与间隙区对应的部分光敏膜比第一薄膜上的那部分光敏薄膜润湿性更好。
9、根据权利要求8所述的方法，其特征在于：
衬底相对特定光是透明的，第一薄膜屏蔽特定光，
在辐射特定光的步骤中，特定光通过衬底辐射到光敏薄膜上，同时作为掩膜的第一薄膜阻挡住来自所述光敏膜部分的所述特定光。
10、根据权利要求1所述的方法，其特征在于包含：
采用使用激光束的热成像工艺在衬底上形成第一薄膜。
11、一种复合薄膜(10，40，50)，包括：
具有许多隔离段的第一薄膜(12，25)，所述隔离段彼此之间设有间隙区域并彼此相对；以及
通过喷墨方法在间隙区中施加第二薄膜材料而形成第二薄膜(17)，
第一薄膜具有至少一个间隙宽度调节段，间隙区域的宽度通过其部分变窄。
12、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于：
间隙宽度调节段是突起段，所述突起段是突入间隙区中的其中一个隔离段。
13、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于：
间隙宽度调节段是与隔离段分离的部分第一薄膜。
14、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于：
第一薄膜具有多个沿至少一个所述隔离段间隔开的间隙宽度调节段，
其中间隙宽度调节段位于间隙区域的端部中，导致间隙区域的宽度比间隙宽度调节段位于间隙区域的中间部分的要窄。
15、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于：
位于间隙区域端部的间隙宽度调节段使得比位于另一端部的间隙宽度调节段要窄，
在另一个端部向着一个端部开始施加第二薄膜材料。
16、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于还包含：
位于第一薄膜和第二薄膜之间的功能薄膜(13)，功能薄膜就其相对第二薄膜材料的润湿性可以控制，
具有相对较低润湿性和相对较高润湿性部分的功能薄膜，相对较低润湿性部分形成在第一薄膜上，而具有相对较高润湿性部分对应间隙区域。
17、根据权利要求11所述的复合薄膜，其特征在于：
通过使用激光束的热成像工艺形成第一薄膜。
18、一种滤色镜(10，40，50)，包含：
具有多个隔离段的光屏蔽膜，所述多个隔离段在一个方向延伸且其间具有间隙区；及
通过喷墨方法在间隙区中施加薄膜材料而形成透明彩色膜；
光屏蔽膜具有比间隙区的宽度窄的间隙宽度调节段。
19、根据权利要求18所述的滤色镜，其特征在于在施加后对所述薄膜材料固化。
20、一种显示装置(1)，包括：
如权利要求18所述的滤色镜。
21、一种显示装置(1)，包括：
滤色镜，包含
光屏蔽膜，其具有多个在一个方向延伸的隔离段且其间具有间隙区，和
通过喷墨方法在间隙区中施加薄膜材料而形成的透明颜色膜(17)，
光屏蔽膜，其所具有间隙宽度调节段(12b，52b)的宽度比间隙区的宽度窄；和
面对滤色镜的有源矩阵衬底，其具有开关元件，
其中间隙宽度调节段与开关元件对齐。
22、一种用于包含多个像素的显示器的滤色镜包括：
许多透明颜色条纹(17)，每个条纹都延伸覆盖多个像素并包含通过喷墨方法施加的薄膜材料；和
不透明的矩阵，其包含将多个透明颜色条纹彼此隔离的部分，所述矩阵具有间隙宽度调节段，通过其透明颜色条纹变窄。
23、根据权利要求22所述的滤色镜，其特征在于：
至少一个间隙宽度调节部分包含部分矩阵，该矩阵突入到被透明颜色条纹占据的区域。
24、根据权利要求22所述的滤色镜，其特征在于：
至少一个间隙宽度调节段包含部分所述矩阵，所述部分矩阵全部位于被透明颜色条纹所占据的区域之内。
25、根据权利要求22所述的滤色镜，其特征在于：
至少一个间隙宽度调节段具有拐角段，拐角段是圆形的。
26、根据权利要求22所述的滤色镜，其特征在于：
具有沿着透明颜色条纹所延展的方向隔开的多个间隙宽度调节段，
位于条纹的端部的间隙宽度调节段使得条纹的宽度比位于条纹的中间部分的间隙宽度调节段的宽度要窄。
27、根据权利要求22所述的滤色镜，其特征在于：
具有多个沿着透明颜色条纹延展的方向隔开的间隙宽度调节段；
位于远离条纹的中间部分的间隙宽度调节段使得条纹的宽度比位于更接近条纹的中间部分的间隙宽度调节段的宽度要窄。
28、根据权利要求26所述的滤色镜，其特征在于：
具有多个间隙宽度调节段，所述间隙宽度调节段沿透明颜色条纹延伸的方向隔开；
位于条纹一端的间隙宽度调节段使得条纹的宽度比位于另一端的间隙宽度调节段的宽度要窄；及
在施加薄膜材料的步骤中从另一端部向着一端部开始施加薄膜材料。
29.一种向表面的各个区域施加打印介质的方法，包含：
在各个区域中定位至少一个阻隔打印介质流动的阻隔物(12b，52b)；及
将打印介质以流体形式施加到各个区域中的所述表面。
30.根据权利要求29所述的方法，其特征在于包含通过喷墨方法施加打印介质。
31.根据权利要求29所述的方法，其特征在于包含在各个区域中定位多个阻隔打印介质流动的阻隔物。
32.根据权利要求31所述的方法，其特征在于各个阻隔流动的阻隔物具有不同的尺寸。
33.根据权利要求31所述的方法，其特征在于各个阻隔流动的阻隔物具有不同的结构。
34.根据权利要求29所述的方法，其特征在于所述至少一个阻隔流动的阻隔物包含从表面突出的部件。
35.根据权利要求31所述的方法，其特征在于所述阻隔物包含从表面突出的部件。
36.根据权利要求29所述的方法，其特征在于包含允许打印介质围绕至少一个阻隔物流动。
37.根据权利要求31所述的方法，其特征在于包含允许打印介质围绕每个所述阻隔物流动。
38.一种用于控制将流体打印介质施加到各个区域中的表面的方法，包含：
将流体打印介质提供到所述各个区域；
在所述区域内定位至少一个阻隔所述流体介质流动的阻隔物以控制提供所述介质。
39.根据权利要求38所述的方法，其特征在于通过喷墨方法施加所述流体打印介质。
40.根据权利要求38所述的方法，其特征在于所述各个区域在一个表面上，所述阻隔物包含从表面突出的一个部件以阻隔流体打印介质的流动。
41.根据权利要求38所述的方法，其特征在于允许所述打印介质围绕所述阻隔物流动。
42.根据权利要求38所述的方法，其特征在于所述方法控制施加到各个区域的各个部分的流体介质的厚度。
43.根据权利要求38所述的方法，其特征在于包含在所述各个区域内的各个不同的位置提供多个阻隔物。
44.根据权利要求43所述的方法，其特征在于所述各个阻隔物为不同的尺寸或形状。
45.根据权利要求44所述的方法，其特征在于在所述不同位置的各个阻隔物呈现不同的控制流体流动的水平。
46.根据权利要求43所述的方法，其特征在于所述方法控制施加到各个区域的各个部分的流体介质的厚度。
CNB2004100055890A 2003-02-18 2004-02-18 复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置 Expired - Fee Related CN1278143C (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP200340295 2003-02-18
JP2003040295 2003-02-18
JP2004037376A JP4401806B2 (ja) 2003-02-18 2004-02-13 複合膜の製造方法、複合膜、カラーフィルタ、及びカラーフィルタを備えた表示装置
JP200437376 2004-02-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1523380A true CN1523380A (zh) 2004-08-25
CN1278143C CN1278143C (zh) 2006-10-04

Family

ID=33134106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100055890A Expired - Fee Related CN1278143C (zh) 2003-02-18 2004-02-18 复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7279270B2 (zh)
JP (1) JP4401806B2 (zh)
KR (1) KR100590642B1 (zh)
CN (1) CN1278143C (zh)
TW (1) TWI232961B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100397107C (zh) * 2006-09-13 2008-06-25 友达光电股份有限公司 彩色滤光板的制作方法
CN101169550B (zh) * 2007-12-04 2010-06-02 友达光电股份有限公司 彩色滤光片基板及图案化掩模
CN102778714A (zh) * 2011-06-02 2012-11-14 京东方科技集团股份有限公司 一种彩色滤光片及其制造方法
CN106647012A (zh) * 2017-03-15 2017-05-10 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤色片及具有该彩色滤色片的显示装置
WO2018166210A1 (zh) * 2017-03-16 2018-09-20 京东方科技集团股份有限公司 用于曲面显示面板的基板、曲面显示面板及曲面显示装置
CN111091763A (zh) * 2020-03-22 2020-05-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板
CN114631050A (zh) * 2019-10-29 2022-06-14 三星显示有限公司 面板修复装置和面板修复方法

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4480517B2 (ja) * 2004-08-23 2010-06-16 シャープ株式会社 薄膜パターン形成用基板、薄膜パターン形成基板の製造方法及び薄膜パターン形成基板
JP2006098530A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタ
JP2006098528A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタ
JP2006119270A (ja) 2004-10-20 2006-05-11 Sharp Corp 表示装置用基板
JP4155257B2 (ja) * 2004-10-21 2008-09-24 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および機能性膜
JP4752337B2 (ja) * 2005-06-08 2011-08-17 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法
KR20060133308A (ko) * 2005-06-20 2006-12-26 삼성전자주식회사 컬러필터 기판 및 그 제조방법
KR101219045B1 (ko) * 2005-06-29 2013-01-07 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이장치 및 그 제조방법
JP2007227127A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Seiko Epson Corp 発光装置およびその製造方法
JP2007271811A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルターの製造方法
JP2007275962A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
TW200740615A (en) * 2006-04-21 2007-11-01 Icf Technology Co Ltd Method of manufacturing thin film pattern layer
JP5292677B2 (ja) * 2006-07-07 2013-09-18 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP2008015308A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Toppan Printing Co Ltd 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
JP4983128B2 (ja) * 2006-07-25 2012-07-25 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP5233099B2 (ja) * 2006-08-31 2013-07-10 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
TWI349117B (en) * 2007-01-03 2011-09-21 Au Optronics Corp Color filter and manufacturing method thereof
KR20080076391A (ko) * 2007-02-15 2008-08-20 삼성전자주식회사 컬러필터 기판 및 이의 제조 방법
US7768598B2 (en) * 2007-03-06 2010-08-03 Toppan Printing Co., Ltd. Substrate having pattern, color filter, liquid crystal display and method of manufacturing color filter
TWI363196B (en) * 2007-03-22 2012-05-01 Au Optronics Corp Color filter and manufacturing method thereof
US7879390B2 (en) * 2007-05-30 2011-02-01 Palo Alto Research Center Incorporated Surface energy control methods for color filter printing
JP5470689B2 (ja) * 2007-08-30 2014-04-16 ソニー株式会社 表示装置
JP5286719B2 (ja) * 2007-09-10 2013-09-11 セイコーエプソン株式会社 膜形成方法、光学素子の形成方法、導電膜の形成方法、光学素子及び配線
WO2009122864A1 (ja) * 2008-04-01 2009-10-08 シャープ株式会社 カラーフィルタ基板及び液晶表示装置
JP2009265178A (ja) * 2008-04-22 2009-11-12 Toppan Printing Co Ltd パターン形成基板、カラーフィルタ及び液晶表示装置
JP2010085544A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Epson Imaging Devices Corp 液晶装置の製造方法
JP5532579B2 (ja) * 2008-10-22 2014-06-25 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、カラーフィルタ及び液晶装置
US8570252B2 (en) 2008-12-18 2013-10-29 Panasonic Corporation Organic EL light emitting device
KR101490491B1 (ko) * 2008-12-23 2015-02-05 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
JP5650918B2 (ja) 2010-03-26 2015-01-07 株式会社ジャパンディスプレイ 画像表示装置
JP5707749B2 (ja) * 2010-06-25 2015-04-30 富士ゼロックス株式会社 パターン形成方法及びパターン形成装置
GB201104713D0 (en) * 2011-03-21 2011-05-04 Liquavista Bv Dispensing method and device for dispensing
JP5686014B2 (ja) * 2011-03-25 2015-03-18 凸版印刷株式会社 光学素子及びその製造方法
EP2768023B1 (en) * 2013-02-19 2019-10-09 ams AG Method of producing a radiation sensor semiconductor device comprising a multiple colour filter
US20160062008A1 (en) * 2013-03-05 2016-03-03 Ronald Steven Cok Stacked large-format imprinting method
US20140346468A1 (en) * 2013-05-27 2014-11-27 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device having a channel in pixel defining layer
CN104865729A (zh) * 2015-04-30 2015-08-26 京东方科技集团股份有限公司 彩膜基板及其制作方法、隔垫物的制作方法及显示装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4377984B2 (ja) * 1999-03-10 2009-12-02 キヤノン株式会社 カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
JP4590663B2 (ja) 1999-10-29 2010-12-01 セイコーエプソン株式会社 カラーフィルタの製造方法
JP2001194521A (ja) * 2000-01-12 2001-07-19 Hitachi Ltd カラーフィルタの製造方法、およびこのカラーフィルタを用いた液晶表示装置
JP2003288030A (ja) * 2002-03-27 2003-10-10 Seiko Epson Corp 電気光学装置とその製造方法及びデバイス並びに電子機器
JP2005005245A (ja) * 2002-11-08 2005-01-06 Fuji Photo Film Co Ltd 転写素材の転写方法、形状転写方法及び転写装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100397107C (zh) * 2006-09-13 2008-06-25 友达光电股份有限公司 彩色滤光板的制作方法
CN101169550B (zh) * 2007-12-04 2010-06-02 友达光电股份有限公司 彩色滤光片基板及图案化掩模
CN102778714A (zh) * 2011-06-02 2012-11-14 京东方科技集团股份有限公司 一种彩色滤光片及其制造方法
CN102778714B (zh) * 2011-06-02 2014-10-22 京东方科技集团股份有限公司 一种彩色滤光片及其制造方法
CN106647012A (zh) * 2017-03-15 2017-05-10 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤色片及具有该彩色滤色片的显示装置
WO2018166210A1 (zh) * 2017-03-16 2018-09-20 京东方科技集团股份有限公司 用于曲面显示面板的基板、曲面显示面板及曲面显示装置
CN108594499A (zh) * 2017-03-16 2018-09-28 京东方科技集团股份有限公司 用于曲面显示面板的对置基板、曲面显示面板及曲面显示装置
US10553613B2 (en) 2017-03-16 2020-02-04 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate for curved display panel, curved display panel, and curved display device
CN108594499B (zh) * 2017-03-16 2020-11-13 京东方科技集团股份有限公司 用于曲面显示面板的对置基板、曲面显示面板及曲面显示装置
CN114631050A (zh) * 2019-10-29 2022-06-14 三星显示有限公司 面板修复装置和面板修复方法
CN111091763A (zh) * 2020-03-22 2020-05-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板
CN111091763B (zh) * 2020-03-22 2020-06-19 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板

Also Published As

Publication number Publication date
US20040229139A1 (en) 2004-11-18
JP4401806B2 (ja) 2010-01-20
TWI232961B (en) 2005-05-21
CN1278143C (zh) 2006-10-04
TW200428032A (en) 2004-12-16
KR100590642B1 (ko) 2006-06-19
KR20040074621A (ko) 2004-08-25
JP2004268028A (ja) 2004-09-30
US7279270B2 (en) 2007-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1278143C (zh) 复合膜及其制造方法和滤色镜及设有滤色镜的显示装置
CN1174265C (zh) 彩色过滤器、具有该彩色过滤器的液晶显示装置、电光学装置、电子仪器及其制造方法
US20100043705A1 (en) Method for producing a color filter, apparatus for manufacturing a color filter, electrooptic apparatus, and electronic device
CN1808190A (zh) 带有色要素的基板、成膜方法、电光学装置以及电子设备
CN1116713A (zh) 制造滤色器的方法及设备，滤色器，液晶显示装置，具有液晶显示装置的设备
CN1358626A (zh) 滤色片、液晶装置和el装置的制造方法及制造装置
CN1409667A (zh) 供片、滤色片、有机el元件及它们的制造方法
CN1365891A (zh) 材料的喷出装置和方法及滤色器等的制造装置和方法
CN1266515C (zh) 膜形成方法、膜形成装置、液晶的配置方法、液晶的配置装置、液晶装置、液晶装置的制造方法、和电子设备
CN1739970A (zh) 供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、电光设备及电子设备
KR100856015B1 (ko) 액정 표시 장치 및 전자 기기
CN1272174C (zh) 检查装置及检查方法、液滴喷出装置及液滴喷出方法、设备及电子仪器
CN1657287A (zh) 喷出装置、材料涂布方法、滤色片基板的制造方法
CN1959448A (zh) 彩色滤光片结构、使用彩色滤光片的显示装置及制造方法
CN1284982C (zh) 彩色滤光片基板、液晶显示装置、电子仪器及其制造方法
JP5518292B2 (ja) カラーフィルターの製造方法
JP2010107622A (ja) カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器
JP2001272522A (ja) カラーフィルターの作製方法、カラーフィルター並びに画像表示装置及び画像入力装置
JP2008231274A (ja) カラーフィルター用インクセット、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器
CN1908775A (zh) 膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法
JP2011085681A (ja) 洗浄液および液滴吐出装置
JP2010286692A (ja) カラーフィルター用インク、カラーフィルター用インクセット、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器
TWI356221B (zh)
JP2010139536A (ja) カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、画像表示装置および電子機器
JP2011039371A (ja) カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20061004

Termination date: 20140218