CN1499563A - 容器及电子束装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种容器及电子束装置的制造方法。当一面作用张力保持直线性，一面将规定构成容器的基板之间的间隔的隔片粘在该基板上时，使该粘合点的位置处于作用张力的点之间的内侧地进行设定。因此，在解除张力后，也不会破坏直线性，从而能够防止隔片配置的偏离，维持高的组装精度。

Description

容器及电子束装置的制造方法

技术领域

本发明涉及用于图象显示装置的容器及射出电子的电子束装置的制造方法。

背景技术

至今，我们知道例如在用于图象显示装置的电子束装置中，作为电子射出元件具有热阴极元件和冷阴极元件两种。

我们知道其中，在冷阴极元件中，作为表面传导型射出元件有例如下列的非专利文献1和后述的其它例。又，我们知道场致射出型元件(以下记为FE型)和金属/绝缘层/金属型射出元件(以下记为MIM型)等。

表面传导型射出元件利用了在基板上形成的小面积薄膜上与膜面平行地流过电流从而射出电子的现象。

在用上述那样的电子射出元件的图象显示装置中，因为进深小的平面型显示装置可节省空间并且重量轻，所以用它置换阴极射线管型的显示装置令人注目。

图8是表示形成平面型的图象显示装置的显示面板部分的一个例子的斜视图，为了表示内部构造切去一部分面板进行表示。

这是具有使形成多个冷阴极元件112的后板115和形成作为发光材料的荧光膜118的荧光屏117通过作为规定间隔部件的构造支持体(称为隔片或肋)120对置的构造的平面型显示装置。由后板115、侧壁116、荧光屏117形成用于维持显示面板内部真空的气密容器。将基板111固定在后板115上，但是在该基板111上形成多个冷阴极元件112。又，在荧光膜118的后板115一侧的面上，设置在CRT的领域中众所周知的金属背板119。

又，上述气密容器的内部保持10^-6Torr程度的真空，随着图象显示装置的显示面积增大，需要一种防止由于气密容器内部和外部的气压差引起的后板115和荧光屏117的变形或破坏的方法。使后板115和荧光屏117加厚的方法不仅增加图象显示装置的重量，而且从斜方向看时产生图象的弯曲和视差。对此，设置由比较薄的玻璃板构成的用于抵抗大气压的隔片120。关于隔片120的组装方法，例如，表示在下列专利文献1等中。这样一来，后板115和形成有荧光膜118的荧光屏117之间通常保持亚毫米到数毫米，如上所述能够使气密容器内部保持高真空。

又，隔片120对飞过后板115和荧光屏117之间的电子的轨道没有大的影响。影响电子轨道的原因是隔片120带电。我们认为隔片120的带电是由于从电子源射出的电子的一部分或在荧光屏117反射的电子入射到隔片120，从隔片120射出二次电子，或者由于电子碰撞而电离产生的离子附着在表面上造成的。

隔片120带正电时，因为将在隔片120近旁飞过的电子吸引到隔片一边，所以在隔片120近旁使显示图象发生弯曲。随着后板115和荧光屏117的间隔增大带电的影响变得更显著。

一般作为抑制带电的方法，使带电面具有导电性，通过流过若干电流除去电荷。在下列专利文献2中揭示了将这种概念应用于隔片120，用半导电性膜覆盖隔片120的表面的方法。

又，在下列专利文献3中揭示了用PdO系玻璃材料覆盖的方法。

又，通过在隔片120的荧光屏117和后板115的接合面上形成电极从而在上述覆盖材料上均匀地施加电场，这样能够防止由于连接不良和电流集中引起的隔片120的破坏。

用以上说明的显示面版的图象显示装置通过行方向配线113的容器外端子Dx1～Dxm，列方向配线114的Dy1～Dyn在各冷阴极元件112上施加电压，从各冷阴极元件112射出电子。与此同时，通过容器外端子Hv将数百V到数kV的高压加在金属背板119上，对上述射出的电子进行加速，使电子碰撞在荧光屏117的内表面。因此，激励形成荧光膜118的各色荧光体使它们发光，显示出图象。

[专利文献1]

USP6278066(对应专利申请：WO98/28774，特表2000-510282)

[专利文献2]

EP690472A(对应专利申请：日本平成8年公布的08-180821号专利公报)

[专利文献3]

EP405262A(对应专利申请：日本平成3年公布的3-49135号专利公报)

[非专利文献1]

M.I.Elinson，Radio Eng.Electron Phys.，10129 0，(1965)

在现有例所示的图象显示装置的显示面板中，与显示面板的显示面积和后板及荧光屏的厚度相应，配置多个隔片。但是，当使面积增大时同时使隔片数增大，在组装工序中用于在显示面板上配置隔片的时间增加等使成本上升。又，组装时的隔片的成品率对显示面板的成品率的影响程度提高，这也成为使成本上升的主要原因。

进一步，由于隔片的组装精度不够，隔片超出荧光屏的非发光区域，对显示图象产生影响，难以得到高品质的图象显示。又，即便隔片不超出荧光屏的非发光区域，也存在着由于组装精度不够，当隔片的配置发生偏离时，隔片对电子束轨道产生影响，使图象发生畸变的情形。特别是，当隔片带电时，这种现象表现得更加显著。

发明内容

本发明提出了能够消除上述不合适情况的隔片组装制造方法，本发明的目的是防止隔片配置的偏离，提高组装精度，可以低成本地制造高品质的图象显示装置的容器或电子束装置。

为了要解决上述课题，本发明提供了一种容器制造方法，该容器具有第1基板、与上述第1基板相对配置的第2基板、以及配置在上述第1基板与上述第2基板之间的大致板状的规定间隔部件，该方法具有在上述规定间隔部件上施加张力的工序、将施加了张力的上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的工序、和从固定在上述第1基板上的上述规定间隔部件释放张力的工序，在将上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，该固定点的位置处于比张力作用点靠内的一侧。

又，本发明的容器制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是上述规定间隔部件的基体。

又，本发明的容器制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是与上述规定间隔部件的基体连接的辅助支持部件。

又，本发明的容器制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过隔片传送单元施加张力。

又，本发明的容器制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过施加张力单元施加张力。

进一步，本发明提供了一种电子束装置的制造方法，该电子束装置备有在表面上具有多个电子射出元件的第1基板、与上述第1基板相对配置并设置有控制从上述电子射出元件射出的电子的电极的第2基板、配置在上述第1基板与上述第2基板之间的大致板状的规定间隔部件，该方法具有在上述规定间隔部件上施加张力的工序、将施加了张力的上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的工序、和从固定在上述第1基板上的上述规定间隔部件释放张力的工序，在将上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，该固定点的位置处于比张力作用点靠内的一侧。

又，本发明的电子束装置制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是上述规定间隔部件的基体。

又，本发明的电子束装置制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是与上述规定间隔部件的基体连接的辅助支持部件。

又，本发明的电子束装置制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过隔片传送单元施加张力。

又，本发明的电子束装置制造方法是在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过施加张力单元施加张力。

又，在本发明的电子束装置制造方法中，上述规定间隔部件的基体具有绝缘性。

又，在本发明的电子束制造方法中，在上述规定间隔部件的表面上形成高电阻膜。

又，在本发明的电子束装置制造方法中，上述高电阻膜的片电阻在107Ω/□以上、1014Ω/□以下。

又，在本发明的电子束装置制造方法中，上述第1基板具有与上述多个电子射出元件电连接的多条配线，将上述规定间隔部件配置在上述配线上。

附图说明

图1A、1B、1C、1D和1E是作为本发明的第1实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图。

图2A、2B、2C、2D和2E是作为本发明的第2实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图。

图3A、3B、3C、3D和3E是作为本发明的第3实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图。

图4是表示用根据本发明的隔片的图象显示装置的切去一部分显示面板的斜视图。

图5是用根据本发明的隔片的图象显示装置的多电子束源的平面图。

图6A和6B是表示用根据本发明的隔片的图象显示装置的荧光屏的荧光体配列的截面图。

图7是沿图4中的直线7-7的截面图，是用根据本发明的隔片的图象显示装置的显示面板的截面图。

图8是表示已有图象显示装置的切去一部分显示面板的斜视图。

具体实施方式

本发明是用于将隔片组装到基板上的容器或电子束装置的制造方法。下面，我们说明本发明的优先样态。

此外，用根据本发明的隔片的图象显示装置的显示面板，如图4所示(详细情形后述)，是具有通过隔片20使形成有多个冷阴极元件12的后板15和形成有作为发光材料的荧光膜18的荧光屏17对置的构造的平面型显示装置。

图1A～1E是作为本发明的第1实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图，说明了将隔片20组装到后板15上的组装工序。

(a)将隔片20设置在隔片传送单元1中

在上述隔片传送单元1中，配置了隔片保持部分2、涂敷粘合剂用的分配器(图中未画出)、和热风干燥用的热喷枪(图中未画出)。

在上述隔片保持部分2中，通过由基准爪3和可动爪4构成，使可动爪4移动，使基准爪3和可动爪4的间隙开闭，保持隔片20。又，当保持上述隔片20时，为了防止上述隔片20的破损，使左右基准爪3的隔片20的接合面平行并且离开装置原点的位置距离相等地进行调整。

(b)在隔片20的长方向施加张力

上述隔片保持部分2具有一面固定，另一面可以沿图中箭头A的方向移动，通过关闭上述基准爪3和上述可动爪4的间隙，保持上述隔片20后，用气柱沿上述隔片20的长方向按压上述隔片保持部分2的一方，拉曳上述隔片20，使产生张力的构造。

(c)使隔片20对准后板15上的所要场所。

(d)使隔片20粘合在后板15上。

使用分配器，适量涂敷粘合剂5后，使用上述热喷枪，用热风加热上述粘合剂，使它硬化，使上述隔片20和上述后板15维持所定位置关系地进行粘合，固定。由粘合剂5粘合的地方处于比施加张力的点靠内的一侧。这里，因为最终要将上述隔片20用于真空容器中，所以希望使用的粘合剂5是放气很少的无机系列的粘合剂等。

(e)释放到隔片的张力

在上述粘合剂5的硬化结束后，解除上述隔片传送单元1的上述气柱的压力，使上述隔片保持部分2的可动爪4沿从隔片离开的方向移动，从上述隔片保持部分2放开固定在上述后板15上的上述隔片20。

这样，因为隔片20的张力作用点在此向后板15粘合的粘合点靠外的一侧，由张力维持直线性不变，结束隔片20的到后板15的粘合，所以能够得到需要的足够的隔片20的组装精度。如果隔片20的张力作用点在此向后板15粘合的粘合点靠内的一侧，则因为在从张力作用点到粘合点的区域中，不能够得到由张力产生的直线性的校正效果，所以不能够得到需要的足够的隔片20的组装精度。

进一步，因为隔片20的张力作用点处于到后板15的粘合点的外侧，所以当放开张力时，在隔片20上施加加重的力，能够消除对隔片20的影响。

下面我们说明本发明的其它实施形态和效果。

图2A～2E是作为本发明的第2实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图，对于第1实施形态，改变了隔片20的构成。用粘合剂将辅助支持部件6粘合在隔片20的两端部。在本实施形态中，将张力给予辅助支持部件6和隔片20中的任何一方。

在本实施形态中，作为隔片20的形态，表示了也包含粘合辅助支持部件6的情形。

图3A～3F是作为本发明的第3实施形态的隔片的构成和制造方法的模式图，对于第1实施形态，改变了隔片20的构成和组装工序的一部分。预先用粘合剂将辅助支持部件6粘合在隔片20的一方。

(a)将隔片20设置在隔片传送单元1中

在上述隔片传送单元1中，配置了隔片保持部分2、涂敷粘合剂用的分配器(图中未画出)、和热风干燥用的热喷枪(图中未画出)。在上述隔片保持部分2中，通过由基准爪3和可动爪4构成，使可动爪4移动，使基准爪3和可动爪4的间隙开闭，保持隔片20。又，当保持上述隔片20时，为了防止上述隔片20的破损，使左右基准爪3的隔片20的接合面平行并且离开装置原点的位置距离相等地进行调整。在本工序中，隔片20的保持是通过保持隔片20或辅助支持部件6进行的。

(b)使隔片20对准后板15上的所要场所。

(c)使隔片20的一端粘合在后板15上。

使用分配器，适量涂敷粘合剂5后，使用上述热喷枪，用热风加热上述粘合剂5，使它硬化，使上述隔片20和上述后板15维持所定位置关系地进行粘合，固定。由粘合剂5固定的地方是上述隔片20或上述辅助支持部件6。

(d)在隔片20的长方向施加张力。

使用持有沿第1实施形态中用的图中箭头A的方向可动的上述隔片保持部分2的张力施加单元7，拉曳上述隔片20的、不固定在后板15的一端从而产生张力。在本工序中，与第1实施形态相同，也可以是由隔片传送单元1的隔片保持部分2给予张力的方式。

(e)使隔片20的另一端粘合在后板15上

与上述相同，使上述隔片20和上述后板15维持所定位置关系地进行粘合，固定。由粘合剂5粘合的地方处于比施加张力的点靠内的一侧。

(f)放开到隔片20的张力

在上述粘合剂5的硬化结束后，解除上述张力施加单元7的上述气柱的压力，使上述隔片保持部分2的可动爪4沿从隔片离开的方向移动，从上述隔片保持部分2放开固定在上述后板15上的上述隔片20。

在本实施形态的情形中，在隔片传送单元1中，因为不需要施加张力，所以与第1实施形态比较结构简单。进一步，张力施加单元7也使可动区域成为只是后板15上的一部分，能够实现小型化。

[图象显示装置概要]

其次，我们通过具体的例示说明应用本发明的图象显示装置的显示面板的构成和制造方法。

图4是用隔片的图象显示装置的显示面板的斜视图，是表示为了显示内部构造切去一部分显示面板的图。

这是具有使形成多个冷阴极元件12的后板15和形成作为发光材料的荧光膜18的荧光屏17通过间隔20对置的构造的平面型显示装置。由后板15、侧壁16、荧光屏17形成用于维持显示面板内部真空的气密容器。为了组装气密容器，需要用于使个部件的接合部保持足够的强度和气密性的密封粘合，但是例如可以将玻璃胶涂敷在接合部，在大气中或氮气中，在400～500℃中烧结10分钟以上，达到密封粘合。关于将气密容器内部排气到真空的方法在后面述说。又，因为上述气密容器的内部保持10^-6Torr程度的真空，为了防止由于大气压和不经意的碰撞等引起气密容器的破坏，设置隔片20作为耐大气压构造体。

在后板15上固定基板11，但是在该基板11上形成N×M个冷阴极元件12。此外，N，M是2以上的正整数，适当地设定作为目的的显示象素。例如，在以显示高品质电视为目的的显示装置中，希望设定N＝3,000，M＝1,000以上的数。上述N×M个冷阴极元件12由M条行方向配线13和N条列方向配线14形成单纯的矩阵配线。我们将上述由11～14构成的部分称为多电子束源。

用于本发明的图象显示装置的多电子束源，如果是对冷阴极元件进行单纯矩阵配线的电子源，则对冷阴极元件的材料和形状或制法没有限制。所以，例如，能够用表面传导型射出元件和FE型或MIM型等的冷阴极元件。

又，在荧光膜18的后板15一侧的面上，设置在CRT领域中众所周知的金属背板19。

其次，我们述说作为冷阴极元件在基板上配列表面传导型射出元件形成单纯矩阵配线的多电子束源的构造。

图5所示的是用于图4的显示面板的多电子束源的平面图。在基板11上排列表面传导型射出元件，这些元件由行方向配线电极13和列方向配线电极14而配置成单纯矩阵状。此外，这里标号13、14表示电极。在行方向配线电极13和列方向配线电极14的交叉部分上，在电极间形成绝缘层(图中未画出)，保持电绝缘。

上述那样构造的多电子束源是通过预先在基板上形成行方向配线电极13、列方向配线电极14、电极间绝缘层(图中未画出)、以及表面传导型射出元件的元件电极40和导电性薄膜41后，通过行方向配线电极13和列方向配线电极14向各元件供电，进行通电电气冶成处理和通电活性化处理制造的。在本实施形态中，具有将多电子束源的基板11固定在气密容器的后板15上的构成，但是在多电子束源的基板11具有足够强度的情形中，也可以用多电子束源的基板11自身作为气密容器的后板15。

图6A和6B是设置在荧光屏上的荧光膜的说明图。

图6A是概略图，图6B是放大图。配置了由黑色导电体91包围的R、G、B的荧光体92。

[隔片]

其次，我们通过具体的例示说明隔片的构成和制造方法。

图7是沿图4中的直线7-7的截面图，各部分的标号与图4的对应。在隔片20自体上形成为了提高防止带电性的高电阻膜20b。隔片20只有为了达成上述目的所需的数目，并且以需要的间隔进行配置。在这里说明的形态中，隔片20的形状是薄板状，与行方向配线13平行地配置，并与行方向配线13电连接。

作为隔片20，希望它具有只要能够耐住加在基板11上的行方向配线13和列方向配线14与荧光屏17内面的金属背板19之间的高电压的绝缘性，并且具有能够防止隔片20表面带电的那种程度的导电性。这是因为当隔片20带电时，将在隔片20近旁飞过的电子吸引到隔片20所以使隔片20近旁的显示图象发生弯曲。

作为隔片20的绝缘性部件20a，例如，可以举出石英玻璃、减少Na等杂质含量的玻璃、碱石灰玻璃、氧化Al等的陶瓷部件等。此外，最好绝缘性部件20a的热膨胀系数与构成气密容器和基板11的部件接近。

在构成隔片20的高电阻膜20b中，流过加在高电位一侧的荧光屏17(金属背板19等)上的加速电压Va除以高电阻膜的电阻值Rs得到的电流。因此，将隔片20的电阻值Rs设定在从防止带电和减少消耗功率出发所希望的范围内。从防止带电的观点来看，最好片电阻R/□在1014Ω/□以下。为了得到充分的防止带电效果，更好是在1013Ω/□以下。片电阻的下限由隔片形状和加在隔片间的电压决定，但是最好在107Ω/□以上。

希望绝缘材料上形成的高电阻膜的厚度t在10nm～1μm的范围内。它随着材料表面能量、与基板的粘合性和基板温度的不同而不同，但是一般地10nm以下的薄膜形成岛状，电阻不稳定缺少再现性。另一方面膜厚t在1μm以上膜应力变大，膜剥落的危险性增高，并且因为成膜时间加长使生产性恶化。从而，希望膜厚在50～500nm的范围内。

片电阻R/□是ρ/t，从以上所述的R/□和t的最佳范围出发，最好高电阻膜的电阻率ρ在0.1～108Ωcm的范围内。进一步为了实现表面电阻和膜厚的更好的范围，ρ也可以在102～106Ωcm的范围内。

隔片20由于如上所述地电流流过在它上面形成的高电阻膜，或者由于显示器全体在工作中发热，使它的温度上升。当高电阻膜的电阻温度系数是大的负值时并当温度上升时电阻值减少，流过隔片20的电流增加，进一步使温度上升。而且，电流继续增加直到超过电源的界限。发生这种电流的突然增加的电阻温度系数的值经验上是负值，绝对值在1％以上。即，希望高电阻膜的电阻温度系数不到-1％。

作为高电阻膜的材料，金属氧化物是卓越的。在金属氧化物中，铬、镍、铜的氧化物也是令人满意的材料。我们认为其理由是因为这些氧化物的二次电子射出效率比较小，即便从电子射出元件射出的电子击中隔片时也难以带电。除了金属氧化物以外碳也是二次电子射出效率小的令人满意的材料。特别是，非晶质碳因为具有高电阻，所以容易将隔片电阻控制在所要的值上。

但是，因为上述金属氧化物或者碳难以将它们的电阻值调整到作为高电阻膜所希望的电阻率范围内，并且电阻容易因周围的气氛而变化，所以只用这些材料缺乏电阻的控制性。氧化Al和过渡金属合金的氮化物，通过调整过渡金属的组成，能够将电阻值控制在从良导体到绝缘体的广大范围内。进一步在后述的显示装置制作工序中是电阻值变化少的稳定的材料。并且，它的电阻温度系数不到-1％，是实用上容易使用的材料。作为过渡金属元素可以举出Ti、Cr、Ta等。

但是，合金氮化膜是用溅射、氮气中的反应性溅射、电子束蒸涂、离子涂敷，离子加速器蒸涂法等的薄膜形成方法在绝缘性部件上形成的。能够用与金属氧化物同样的薄膜形成法进行制作，但是这时，代替氮气使用氧气。其它，也用CVD法、烷氧化物涂敷法形成金属氧化膜。用蒸涂法、溅射法、CVD法、等离子CVD法制作碳膜，特别是当制作非晶质碳时，在成膜的气氛中包含氢气，或在成膜气体中使用碳氢化合物气体。

以上，我们说明了平面型显示装置中的隔片的构成，但是不限于此，也可以用作其它用途中的构成。

下面，我们进一步说明用显示面板的图象显示装置。

Dx1～Dxm、Dy1～Dyn和Hv是为了电连接该显示面板和图中未画出的电路而设置的气密构造的电连接用端子。Dx1～Dxm与多电子束源的行方向配线13电连接，Dy1～Dyn与多电子束源的列方向配线14电连接，Hv与荧光屏17的金属背板19电连接。

又，为了将气密容器内部排气成真空，在组装气密容器后，与图中未画出的排气管和真空泵连接，使气密容器内排气到约10-7[Torr]的真空度。此后，封住排气管，但是为了维持气密容器内的真空度，就在封住前或封住后在气密容器内的所定位置上形成消气剂膜(图中未画出)。消气剂膜是通过用加热器或高频加热，加热例如以Ba为主要成分的消气剂材料，蒸发形成的膜，由于该消气剂膜的吸附作用使气密容器内维持在1×10^-5到1×10^-7Torr的真空度。

通过容器外端子Dx1～Dxm、Dy1～Dyn将电压加在各冷阴极元件12上，从各冷阴极元件12射出电子。与此同时通过容器外端子Hv在金属背板19上施加数百V～数kV的高压，加速上述射出出来的电子，使它们与荧光屏17的内表面碰撞。因此，激励形成荧光膜18的各色荧光体进行发光，显示出图象。

通常，加到作为冷阴极元件的本发明的表面传导型射出元件12上的电压约为12～16V，金属背板19与冷阴极元件12的距离d约为0.1mm到8mm，金属背板19与冷阴极元件12之间的电压约为0.1kV到10kV。

以上，我们说明了本发明的实施形态中的显示面板的基本构成和制造方法以及图象显示装置的概要。

[实施例]

下面，我们举出实施例进一步详细地述说本发明。

在下面述说的各实施例中，作为多电子束源，用在上述的电极间的导电性微粒膜上具有电子射出单元类型的N×M个(N＝720，M＝240)的表面传导型射出元件，由M条行方向配线和N条列方向配线形成矩阵配线的多电子束源。

[实施例1]

在本实施例中，制作与第1实施形态对应的显示面板。

作为隔片的绝缘性部件20a，用与长200mm、宽5mm、厚0.2mm的后板15相同材质的玻璃。作为高电阻膜，用溅射装置在氩与氮的混合气体中同时溅射W和Ge靶，层积厚200nm的W和Ge的氮化膜。制成的W和Ge的氮化膜的电阻率为5.0×105Ωm。其次，在隔片20的后板15与荧光屏17的接合面上形成低电阻膜(电极)。

这里，低电阻膜是为了使高电阻膜20b与高电位一侧的荧光屏17(金属背板19等)和低电位一侧的基板11(配线13、14等)电连接的膜。

低电阻膜20c最好选择具有比高电阻膜20b充分低的电阻值的材料，可以适当地从Ni、Cr、Au、Mo、W、Pt、Ti、Al、Cu、Pd等的金属或合金、和Pd、Ag、Au、RuO₂、Pd-Ag等的金属和金属氧化物和玻璃等构成的印刷导体或者In₂O₃-SnO₂等的透明导体和多晶硅等的半导体材料等进行选择。隔片与x方向配线和荧光屏17上的金属背板19连接。

关于本实施例中的显示面板的制作，因为与上述图4相同，所以省略对它的详细说明。此外，用在上述图1A～1E中说明的方法将隔片20等间隔地与行方向配线13平行地固定在基板11的行方向配线13(线宽300μm)上。这里，使给予隔片20的张力为2.8±0.3N，结果，隔片20的组装精度为±20μm。此后，在基板11的5mm上方，通过侧壁16在内面配置附设了荧光膜18和金属背板19的荧光屏17，固定后板15、荧光屏17和侧壁16的各接合部。

在用如以上那样地完成的，图4所示的显示面板的图象显示装置中，在各冷阴极元件(表面传导型射出元件)12上，通过容器外端子Dx1～dxm、Dy1～dyn，由图中未画出的信号发生装置分别施加扫描信号和调制信号，使它射出电子，在金属背板19上，通过高压端子Hv施加高压，对射出电子束进行加速，使电子与荧光膜18碰撞，激励各荧光体92(图6A、6B的R、G、B)并使它们发光，显示出图象。此外，加到高压端子Hv上的电压Va为3～10kV，加到各配线13、14之间的电压Vf为14V。

这时，也包含由从处于隔片20附近位置的冷阴极元件12射出的电子产生的发光点，形成二维状等间隔的发光点列，能够进行鲜明的色再现性好的彩色图象显示。

[实施例2]

在本实施例中，形成与上述实施例1相同构成的显示装置。这时，隔片20在两端部具有辅助支持部件6，用上述图2A～2E说明的方法，将隔片20设置在后板15上。除此以外都与实施例1相同。在本实施例中，也与第1实施例相同，也包含由从处于隔片20附近位置的冷阴极元件12射出的电子产生的发光点，形成2维状等间隔的发光点列，能够进行鲜明的色再现性好的彩色图象显示。

[实施例3]

在本实施例中，形成与上述实施例1相同构成的显示装置。这时，隔片20在两端部具有辅助支持部件6，用上述图3A～3F说明的方法，将隔片20设置在后板15上。除此以外都与实施例1相同。在本实施例中，也与第1实施例相同，也包含由从处于隔片20附近位置的冷阴极元件12射出的电子产生的发光点，形成2维状等间隔的发光点列，能够进行鲜明的色再现性好的彩色图象显示。

如以上说明的那样，本发明，因为能够使隔片的设置变得容易，防止隔片配置的偏离，提高组装精度，所以可以低成本地制造图象显示装置的容器或电子束装置。而且，在用由本发明的方法制造的容器或电子束装置的图象显示装置中，能够得到良好的显示图象。

Claims (12)

1.一种容器制造方法，该容器具有第1基板、与上述第1基板相对配置的第2基板、以及配置在上述第1基板与上述第2基板之间的大致板状的规定间隔部件，其特征是具有：

在上述规定间隔部件上施加张力的工序、

将施加了张力的上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的工序、和

从固定在上述第1基板上的上述规定间隔部件释放张力的工序，

在将上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，该固定点的位置处于比张力作用点靠内的一侧。

2.根据权利要求1中记载的容器制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是上述规定间隔部件的基体。

3.根据权利要求1中记载的容器制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是与上述规定间隔部件的基体连接的辅助支持部件。

4.一种电子束装置的制造方法，该电子束装置备有在表面上具有多个电子射出元件的第1基板、与上述第1基板相对配置并设置有控制从上述电子射出元件射出的电子的电极的第2基板、配置在上述第1基板与上述第2基板之间的大致板状的规定间隔部件，其特征是具有：

在上述规定间隔部件上施加张力的工序、

将施加了张力的上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的工序、和

从固定在上述第1基板上的上述规定间隔部件释放张力的工序，

在将上述规定间隔部件固定在上述第1基板上的上述工序中，该固定点的位置处于比张力作用点靠内的一侧。

5.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是上述规定间隔部件的基体。

6.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，张力作用点是与上述规定间隔部件的基体连接的辅助支持部件。

7.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过隔片传送单元施加张力。

8.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件上施加张力的工序中，通过施加张力单元施加张力。

9.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：上述规定间隔部件的基体具有绝缘性。

10.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：在上述规定间隔部件的表面上形成高电阻膜。

11.根据权利要求10中记载的电子束装置制造方法，其特征是：上述高电阻膜的片电阻在107Ω/□以上、1014Ω/□以下。

12.根据权利要求4中记载的电子束装置制造方法，其特征是：上述第1基板具有与上述多个电子射出元件电连接的多条配线，将上述规定间隔部件配置在上述配线上。

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