CN1498753A - 绘图装置中的喷嘴的异常辨别方法和绘图装置以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械 - Google Patents

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Abstract

一种绘图装置，具备装有具有多个喷嘴的液滴喷头的喷头单元，在开始绘图作业之前，具有发光元件和受光元件的光学式液滴检测机构来确认各喷嘴是否正常喷出液滴的确认中，尽可能防止由于附属物或电噪声影响而把正常喷出喷嘴判定为异常的误判。喷出确认作业中，如果辨别出从任何一个喷嘴的液滴喷出为不正常时，再度进行液滴喷出确认作业，在该喷出确认作业中，从同一个喷嘴的液滴喷出为还不正常时(步骤S4)，判定该喷嘴为异常(步骤S5)，进行从异常喷嘴喷出残留液体的冲洗(步骤S6)。

Description

绘图装置中的喷嘴的异常辨别方法和绘图装置以及 电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械
技术领域
本发明涉及采用喷墨头为代表的具有多个喷嘴的液滴喷头的绘图装置中的喷嘴的异常辨别方法和绘图装置以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械。
背景技术
喷墨打印机的喷墨头(液滴喷头)是可以把微小的墨水滴(液滴)以点状、高精度喷出，因此，通过例如在喷出液中使用特殊的墨水或感光性树脂等功能液的方法，有望应用于各种产品的制造领域。
例如，利用装载多个液滴喷头所组成的喷头单元，叫做滤光器基板的工件上，一面使喷头单元在互相垂直的两个扫描方向上相对移动，一面使各液滴喷头的各喷嘴向工件喷出功能性液滴的方法，可以制造液晶显示装置或有机EL显示装置等的滤光器。
这里，如果由于工件的取出和放入，一段时间停止绘图作业，则，由于液滴喷头的功能液粘度的增加，有可能产生喷嘴的堵塞。因此，最好是在绘图装置上配置液滴喷头用保养机构，在停止作业期间，把喷头单元移动到保养机构的配置位置，需要进行喷嘴喷出功能液滴的预备喷出或吸引排除喷嘴的功能液等的保养作业。
另外，为了防止生产次品，最好是在保养作业后、绘图作业开始之前，进行各喷嘴是否正常喷出功能液的确认。
有关没有具备保养机构的平常的喷墨打印机情形，以往已知，具有发光元件和受光元件，根据功能液横穿这两个元件之间的光路时的受光量的变化，检测功能液滴喷出的液滴检测机构(例如，特开2000-190469号公报(参照第4～5页，图3～4))。
上述的绘图装置中，也可以考虑：采用这样的液滴检测机构，进行辨别各喷嘴是否正常喷出功能液的功能液滴喷出确认作业。
另外，虽然是有关平常的喷墨打印机的技术，以往也知道，已判定任何一个喷嘴为异常时，只使用正常的喷嘴连续排列的喷嘴列的一部分来进行打印作业的技术(例如，特开平9-24607号公报(参照第6页，图4))。
如上述的以往的例，利用具有发光元件和受光元件的光学式液滴检测机构来进行功能液滴喷出确认作业时，由于附属物(satellite)(喷出的液体上所引起的雾状漂游的微粒子)或电噪声的影响，即使是喷嘴正常喷出功能液，有时误判定为不正常的喷出，即，误判定喷嘴为异常。
另外，任何一个喷嘴为异常时，如上述的以往的例，如果只使用正常的喷嘴连续排列的喷嘴列的一部分来进行打印作业，则，作业花费时间，降低效率。这里偶尔有：即使是功能液不是正常喷出，也进行喷嘴喷出功能液的预备喷出的保养作业的方法，可以恢复功能液滴正常喷出的状态。
发明内容
本发明是借鉴以上问题进行的，其目的在于提供：尽可能防止误判定、进而在判定为异常时，恢复喷嘴，可以有效进行绘图作业的、绘图装置中的喷嘴异常辨别方法和绘图装置以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械。
为了解决上述问题，本发明具备装有具有喷出功能液滴的多个喷嘴的液滴喷头的喷头单元，一边相对于工件相对移动该喷头单元，一边进行液滴喷头的各喷嘴向工件喷出功能液滴的绘图作业；与此同时，设置液滴检测机构，该机构具有发光元件和受光元件，并根据功能液滴横穿这些两个元件之间的光路时的受光量的变化来检测功能液滴；在绘图作业之前，利用液滴检测机构辨别各喷嘴是否正常喷出功能液滴的、进行功能液滴喷出确认作业的绘图装置中的喷嘴异常辨别方法中，其特征在于：喷出确认作业中辨别出从任何一个喷嘴的功能液滴的喷出异常时，再度进行上述的喷出确认作业，在该喷出确认作业中也辨别出从同一个喷嘴的功能液滴喷出为不正常时，判定该喷嘴为不正常。
根据上述的构成，只是在从同一个喷嘴的功能液滴的喷出两次连续辨别为不正常时，判定喷嘴为异常。液滴检测机构即使是受到附属物或电噪声的影响，只要喷嘴为正常，连续两次被判定为功能液滴的喷出不正常的可能性极少，因此，尽可能防止将正常的喷嘴误判定为异常的误判。
另外，任何一个喷嘴被判定为异常时，进行为了使喷嘴恢复功能液滴正常喷出的保养作业，在该保养作业后，再度进行上述喷出确认作业，在该喷出确认作业中，辨别所有喷嘴的功能液滴的喷出为正常时，转移到绘图作业的方法，可以正常、高效进行绘图作业。
这里，功能液滴的喷出变为不正常，多是喷嘴附近的轻微的堵塞所引起，如果进行喷嘴的喷出功能液滴的预备喷出，恢复喷出功能液滴正常状态的可能性高。还因为预备喷出消耗时间很短，所以，最好是上述的保养作业为预备喷出。
另外，即使是发生预备喷出中不能恢复的重度堵塞，吸引排除喷嘴的功能液滴的方法，恢复正常的喷出功能液滴状态。因此，预备喷出后的液体的喷出确认作业中也判定为不正常的功能液滴喷出时，进行从喷嘴吸引排除功能液滴的第二保养作业之后，再度进行液滴的喷出确认作业，如果在该喷出确认作业中也判定为不正常的功能液滴喷出时，最好是提出喷头单元交换指令。
本发明绘图装置的特征在于：实施上述的绘图装置的喷嘴异常辨别方法。
根据上述的构成，可以高效地进行保养作业后的功能液滴喷出确认。
本发明的电光学装置的特征在于：利用上述的绘图装置，从液滴喷头向工件上喷出功能液滴而形成成膜部。
另外，本发明的电光学装置的制造方法的特征在于：利用上述的绘图装置，从液滴喷头向工件上喷出功能液滴而形成成膜部。
根据上述的构成，因为利用了没有不良功能液滴喷出的、有可靠性的绘图装置来制造，有效制造电光学装置成为可能。另外，作为电光学装置有：液晶显示装置、有机EL(电(致)发光)装置、电子放出装置、PDP(等离子显示板)装置和电迁移显示装置。另外，电子放出装置是包含所谓FED(场发射显示器)或SED(表面导电电子发射显示器)装置的概念。还有，作为电光学装置可以考虑：形成金属配电线、形成透镜、形成保护膜和形成光扩散体等的装置。
本发明的电子器械的特征在于：装有上述的电光学装置或上述的电光学装置制造方法来制造的电光学装置。
这时，作为电子器械有：所谓的装有平板显示的手机、个人用电脑和其他电子器械。
附图说明
图1是实施方式绘图装置的外形立体图。
图2是实施方式绘图装置的正视图。
图3是实施方式绘图装置的右侧视图。
图4是省略实施方式绘图装置一部分的俯视图。
图5是实施方式喷头单元的俯视图。
图6A是实施方式液滴喷头的立体图，图6B是液滴喷头主要部分的断面图。
图7是实施方式吸引单元的立体图。
图8是实施方式吸引单元的正视图。
图9是设在实施方式吸引单元的喷头帽的剖面图。
图10是实施方式的供应液体箱的立体图。
图11是实施方式的液滴检测机构的俯视图。
图12是实施方式的液滴检测机构的正视图。
图13是实施方式的液滴检测机构的右侧视图。
图14是实施方式绘图装置的管子布置图。
图15是实施方式中的辨别喷嘴异常处理顺序的流程图。
图16是说明滤光器制造工艺的流程图。
图17A-17E是按制造工艺顺序表示的滤光器模式剖面图。
图18是表示采用本发明滤光器的液晶装置大体结构的主要部分的剖面图。
图19是表示采用本发明滤光器的第二液晶装置大体结构的主要部分的剖面图。
图20是表示采用本发明滤光器的第三液晶装置大体结构的主要部分的剖面图。
图21是作为有机EL装置的显示装置的主要部分剖面图。
图22是说明制造作为有机EL装置的显示装置的制造工艺流程图。
图23是说明无机物堤岸(bank)层形成的工艺图。
图24是说明有机物堤岸层形成的工艺图。
图25是说明形成空穴注入/输送层过程的工艺图。
图26是说明已经形成空穴注入/输送层状态的工艺图。
图27是说明形成蓝色发光层过程的工艺图。
图28是说明已经形成蓝色发光层状态的工艺图。
图29是说明已经形成各种颜色发光层状态的工艺图。
图30是说明阴极形成的工艺图。
图31是表示作为等离子型显示装置(PDP装置)的显示装置主要部分的剖面图。
图32是表示作为电子放出装置(FED装置)的显示装置主要部分的剖面图。
图33A是表示显示装置的电子放出部附近的俯视图，图33B是其形成方法的俯视图。
图中，
1、绘图装置  3、保养机构   6L、6R、液滴检测机构
7、控制机构  21、喷头单元  31、液滴喷头  42、喷嘴
91、吸引单元 201、发光元件 202、受光元件 203、光路
具体实施方式
以下，结合附图说明本发明的实施方式。图1是采用本发明的绘图装置的外形立体图，图2是采用本发明的绘图装置正视图，图3是采用本发明的绘图装置的右侧视图，图4是采用本发明的绘图装置的省略一部分的俯视图。虽然后面要详细说明，该绘图装置1是把特殊的墨水或发光性树脂液等的功能液引入在液滴喷头31，在基板等的工件W上形成由液滴的成膜部的装置。
如图1至图4所示，绘图装置1包括：使液滴喷头31一边对工件W作相对移动，一边喷出功能液的绘图机构2、进行液滴喷头31的保养的保养机构3、向液滴喷头31供给功能液的同时回收不必要功能液的功能液供应回收机构4、为了驱动·控制各结构，供给压缩空气的空气供给机构5和检测从液滴喷头31的液滴喷出的液滴检测机构6L、6R。这样，由控制机构7互相有关联地控制这些各结构。虽然图中省略，其他还设有识别工件W位置的识别相机、识别绘图机构2的喷头单元21(后面要叙述)位置的喷头识别相机和各种指示器等的附属装置等。这些装置也是由控制机构7来控制。
如图1至图4所示，绘图机构2布置在固定在将角钢材料组合成方形台架11上部的石定板12上面，功能液供应回收机构4和空气供给机构5的大部分是组装在台架11的附设机座13。机座13上形成有大小两个容纳室14、15，大容纳室14里容纳功能液供应回收机构4的箱子，小容纳室15里容纳空气供给机构5的主要部分。另外，机座13上还设有放置功能液供应回收机构4的供应液体箱241的箱座17和在机座13的长度方向(即X轴方向)上滑动自如地支承的移动台18，在移动台18上面固定共同基座16，以放置保养机构3的吸引单元91(后面要叙述)和摩擦接触部件92(后面要叙述)。
该绘图装置1是一边由保养机构3来保养绘图机构2的液滴喷头31，一边由功能液供应回收机构4的供应液体箱241向液滴喷头31供应功能液，与此同时，从液滴喷头31对工件W喷出功能液的。下面，说明各机构。
绘图机构2包括：具有喷出功能液的多个液滴喷头31的喷头单元21、支撑喷头单元21的主架22、使喷头单元21在工件W的主扫描方向(X轴方向)和与此垂直的副扫描方向(Y轴方向)即两个扫描方向相对移动的X·Y移动机构23。
如图5至图6A、B所示，喷头单元21是由多个(12个)液滴喷头31、安装多个液滴喷头31的支架51和为了把各液滴喷头31的喷嘴形成面44(喷嘴面)往下凸出安装在支架51的喷头保持部件52所构成。十二个液滴喷头31分为六个一列的两列，在主扫描方向(X轴方向)有间隔地安装在支架51上。另外，为了确保对工件W的充分的功能液涂敷密度，液滴喷头31倾斜规定角度布置的。还有，一列与另一列的各液滴喷头31在副扫描方向(Y轴方向)是互相错位布置，使各液滴喷头31的喷嘴42在副扫描方向连续(一部分重复)。另外，专用零件来构成液滴喷头31的方法，在确保对工件W的充分的功能液涂敷密度时，没有必要特意倾斜安装液滴喷头31。
如图6A、6B所示，液滴喷头31是所谓的双联的喷头，具备：具有双联连接针33的功能液引入部32、连接在功能液引入部32的双联喷头基板34和连接在功能液引入部32的下方并内部形成充满功能液的喷头内部流路的喷头主体35。各连接针33通过配管部件36连接在功能液供应回收机构4的供应液体箱241，从各连接针33向功能液引入部32供应功能液。喷头主体35包括：双联泵部41和形成多个喷嘴42的具有喷嘴形成面44的喷嘴形成板43；液滴喷头31中，由于泵部41的作用，从喷嘴42喷出液滴。另外，喷嘴形成面44上形成由多个喷嘴42组成的两列喷嘴42的列。
如图5所示，支架51具有：一部分缺口的主体板53、设在主体板53的长度方向中间位置的左右一对基准销54、安装在主体板53的两个长边的一对支持部件55。一对的基准销54是图像识别为前提在X轴、Y轴和θ轴方向定位(位置识别)支架51(喷头单元21)的零件。支持部件55是把喷头单元21固定在主架22时的固定部位。另外，在支架51上设有用于连接各液滴喷头31和供应液体箱241的管子接头56。管子接头56的一端是连接：连接在从各液滴喷头31(的连接针33)的配管部件36的喷头一侧的配管部件；另一端具有为连接从供应液体箱241的装置一侧的配管部件的十二个插座57。
如图3所示，主架22是由从后边要叙述的桥式板82的下面固定的外形为「I」形的吊挂部件61、安装在吊挂部件61的θ台子62、吊挂安装在θ台子62下方的主架主体63所构成。主架主体63上有：为了间隙配合喷头单元21的方形的开口，以定位固定喷头单元21。
如图1至图3所示，X·Y移动机构23固定在上述的石定板12上，是主扫描(X轴方向)工件W的同时通过主架22使喷头单元21在副扫描方向(Y轴方向)扫描的机构。X·Y移动机构23具有：轴线一致于沿着石定板12的长边中心线固定的X轴台子71、横穿X轴台子71并使轴线一致于沿着石定板12的短边中心线的Y轴台子81。
X轴台子71由空气吸引来吸引固定工件W的吸引固定台子72、支撑吸引固定台子72的θ台子73、使θ台子73在X轴方向滑动自如地支承的X轴空气驱动滑块74、通过θ台子73使吸引固定台子72上的工件W向X轴方向移动的线形电动机(图中省略)和平行设在X轴空气驱动滑块74的X轴线形刻度尺75所构成。液滴喷头31的主扫描是由于线形电动机的驱动、吸引固定工件W的吸引固定台子72和θ台子73受到X轴空气驱动滑块74的导向，在X轴方向往复移动来进行的。
Y轴台子81具有：吊挂安装主架22的架板82、在两端支承架板82且在Y轴方向滑动自如地支承的Y轴滑块83、平行安装在Y轴滑块83的Y轴线形刻度尺84、导向一对Y轴滑块83，使架板82在Y轴方向移动的Y轴球螺丝85、正反旋转Y轴球螺丝85的Y轴电动机(图中省略)。Y轴电动机是由伺服电动机构成，如果Y轴电动机正反转，则通过Y轴球螺丝85和与其螺纹连接的架板82以Y轴滑块83导向，在Y轴方向移动。即，伴随架板82的移动，主架22(喷头单元21)在Y轴方向作往复移动，进行液滴喷头31的副扫描。另外，图4中省略了Y轴台子81和θ台子73。
这里，简单说明绘图机构2的一系列动作。首先，作为向工件W喷出功能液的绘图作业之前的准备，由喷头识别相机进行喷头单元21的位置矫正之后，由工件识别相机矫正装在吸引固定台子72上的工件W位置。其次，由X轴台子71使工件W在主扫描(X轴)方向往复移动的同时，驱动多个液滴喷头31对工件W进行选择性的液滴喷出动作。然后，使工件W双动之后，由Y轴台子81使喷头单元21在副扫描(Y轴)方向移动，再度进行对工件W的主扫描方向的往复移动和液滴喷头31的驱动。另外，在本实施方式中是使工件W对喷头单元21在主扫描方向移动的，但也可以使喷头单元21对工件W在主扫描方向移动的结构。另外，也可以是固定工件W，使喷头单元21在主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
下面，说明保养机构3。保养机构3是保养液滴喷头31，使液滴喷头31适当地喷出功能液的机构，具备吸引单元91和摩擦接触部件92。
如图1至图4所示，吸引单元91布置在工件W的布置位置即从X轴台子81的布置位置向副扫描方向(Y轴方向)有间隙布置的上述机座13的共同基座16，通过移动台18在机座13长度方向的主扫描方向(X轴方向)上滑动自如地构成。吸引单元91是通过吸引液滴喷头31的方法保养液滴喷头31的部件，是向喷头单元21(的液滴喷头31)充填功能液或液滴喷头31内部吸引(清理)，以便排除粘度增大的功能液时利用的。结合图7和图14说明的话，吸引单元91包括：具有十二个喷头帽102的喷头帽部件101、通过喷头帽102吸引功能液的吸引泵141、连接各喷头帽102和吸引泵141的吸引用管部件151、支撑喷头帽部件101的支撑部件171、通过支撑部件171升降喷头帽部件101的升降机构181(压盖机构)。
如图7所示，喷头帽部件101是对应于布置在喷头单元21上的十二个液滴喷头31，使十二个喷头帽102安装在帽座103的部件，把各喷头帽102能够紧密接合液滴喷头31上的结构。
如图9所示，喷头帽102由帽主体111、帽支承架112所构成。帽主体111由两个弹簧113来被压在上方，且可以上下微动的状态，支承在帽支承架112上。在帽主体111的上面，形成包含液滴喷头31的两列喷嘴42列的凹部121，在凹部121的边缘部上装有密封圈122。并且，在凹部121的底部，由锁紧框124压住的状态，铺设吸收部件123。吸引液滴喷头31时，把密封圈122压紧在液滴喷头31的喷嘴形成面44，密封喷嘴形成面44，以便包含两列的喷嘴42列。另外，在凹部121的底部有小孔125，该小孔125连通于后面要叙述的连接各吸引支管153的L字型接头。
另外，各喷头帽102上设有大气开放阀131，在凹部121的底面一侧，可以通大气(参照图9)。大气开放阀131利用弹簧132压在上方的关闭一侧，大气开放阀131通过后面要叙述的操作板176进行开闭。并且，在功能液吸引动作的最终阶段，通过操作板176，使大气开放阀131的操作部133下降而打开阀，吸引浸含在吸收部件123功能液。
功能液吸引泵141是通过各喷头帽102使吸引力作用在液滴喷头31的泵，考虑保养性，由活塞泵组成。
如图14所示，吸引用管部件151是由连接在功能液吸引泵141的功能液吸引管152、连接在各喷头帽102的多个(十二个)吸引分支管153和连接功能液吸引管152与吸引分支管153的喷头管154所组成。即，由功能液吸引管152和吸引分支管153构成连接喷头帽102和功能液吸引泵141的功能液流路。并且，如该图所示，在各吸引分支管153上，从喷头帽102一侧按顺序有：液体传感器161、喷头帽侧压力传感器162和吸引用开闭阀门163。液体传感器161是检测功能液的有无的传感器，喷头帽侧压力传感器162是检测出吸引分支管153内部压力的传感器。另外，吸引用开闭阀门163是关闭吸引分支管153的阀。
如图8所示，支撑部件171上备有：在其上端具有支撑喷头帽部件101支撑板173的支撑部件主体172、使支撑部件主体172上下方向滑动自如地支承的立柱174。在支撑板173的长度方向两侧的下面，固定有一对汽缸175，由该一对汽缸175升降操作板176。并且，在操作板176上安装：配合在各喷头帽102的大气开放阀131的操作部133的挂钩177，伴随操作板176的升降，通过挂钩177使操作部133上下而开闭大气开放阀131。
如图8所示，升降机构181包括：由汽缸组成的两个升降缸，即竖设在立柱174的底座部的下段升降缸182、由下段升降缸182升降的竖设在升降板184上面的上段升降缸183；在支撑板173的上面联结上段升降缸183的活塞杆。两个升降缸182、183的行程不同，利用两个升降缸182、183的选择动作，可以自由转换成喷头帽部件101上升位置较高的第一位置和上升位置较低位置的第二位置。在喷头帽部件101位于第一位置时，各喷头帽102密接在各液滴喷头31，在喷头帽部件101位于第二位置时，各功能液滴喷头31与各喷头帽102之间产生微小的间隙。
另外，后面要详细叙述，在喷头帽部件101的各喷头帽102兼有液滴接收器的功能，即在功能液喷出时，接收由于冲洗(预备喷出)而液滴喷头31喷出的功能液的液滴接收器的功能。升降机构181在功能液充填在液滴喷头31的喷头内部流路或进行液滴喷头31清理时一样，通过各喷头帽102吸引液滴喷头31时，把喷头帽部件101移动到第一位置，使各喷头帽102密接在各液滴喷头31，而在液滴喷头31进行冲洗时，把喷头帽部件101移动到第二位置。
摩擦接触部件92是擦净由于液滴喷头31的吸引(清理)等，功能液附着在各液滴喷头31而被弄脏的各液滴喷头31的喷嘴形成面44的部件，由共同基座16上对正状态安装的卷绕部件191和擦拭部件192所构成(参照图1、图3和图4)。例如，如果结束液滴喷头31的清理，则，由上述移动台18把摩擦接触部件92移动到靠近液滴喷头31的位置。然后，在充分接近液滴喷头31的状态，摩擦接触部件92从卷绕部件191抽出卷绕轮(图中省略)，利用擦拭部件192的卷绕轮，用摩擦接触板擦一擦液滴喷头31的喷嘴形成面44。另外，从后面要叙述的洗涤液供给系统223向抽出的摩擦接触板供应洗涤液的方法，更有效地擦拭附着在液滴喷头31的功能液。
液滴喷头31的冲洗动作(预备喷出)是在绘图作业中也进行的。为此，X轴台子71的θ台子73上设置夹住吸引台子71而固定的具有一对冲洗盒子93a的冲洗部件93(参照图4)。因为冲洗盒子93a和θ台子73一起，在主扫描时移动，所以为了冲洗动作，没有必要移动喷头单元21等。即，冲洗盒子93a和工件W一起向喷头单元21移动，因此，从靠近冲洗盒子93a的液滴喷头31的喷嘴42开始可以按顺序进行冲洗动作。另外，冲洗盒子93a接收的功能液积存在后面要叙述的废液箱282。另外，石定板12的机座13的相反一侧设有一对对应于喷头单元21的两列液滴喷头31的备有冲洗盒子94a的冲洗部件94。
冲洗动作是为了防止喷嘴孔的堵塞而定期进行的；喷嘴孔的堵塞是由于从所有的液滴喷头31的所有喷嘴42喷出功能液的动作，随着时间的经过，进入液滴喷头31的功能液的干燥而增加粘度，液滴喷头31的喷嘴42上发生堵塞。冲洗动作不仅在绘图作业中进行，而且有必要在替换工件W等绘图作业暂停时(待机中)进行。进行冲洗动作时，喷头单元21移动到清理位置即吸引单元91的喷头帽部件101的正上方之后，各液滴喷头31向对应的各喷头帽102进行冲洗。
对喷头帽102进行冲洗时，由升降机构181把喷头帽部件101提升到液滴喷头31与喷头帽102之间产生微小间隙(液滴喷出空间)的第二位置，以使冲洗中喷出的功能液的大部分接收在各喷头帽102。
下面，说明功能液供应回收机构4。功能液供应回收机构4是由向喷头单元21的各液滴喷头31供应功能液的功能液供给系统221、回收保养机构3的吸引单元91所吸引功能液的功能液回收系统222、向摩擦接触部件92供应作为洗涤用的功能材料溶剂的洗涤液供给系统223和回收冲洗部件93或预备冲洗部件94所接收的功能液的废液回收系统224所构成。并且，如图3所示，在机座13的大容纳室14，从图示的右侧按顺序横向设有：功能液供给系统221的加压箱231、功能液回收系统222的再利用箱261、洗涤液供给系统223的洗涤液箱271。并且，在再利用箱261和洗涤液箱271附近设有小型的废液回收系统224的废液箱282和功能液回收系统222的回收收集器263。
如图14所示，功能液供给系统221是由积存大容量(3L)功能液的加压箱231、积存加压箱231所输送功能液的同时，向各液滴喷头31供应功能液的供应液体箱241和形成供应液体管路并连接这些管子的供应液体管251所组成。加压箱231由空气供给机构5引入的压缩气体(惰性气体)，通过供应液体管251把积存的功能液压送到供应液体箱241。
如图10所示，供应液体箱241固定在上述的机座13的箱座17，具备：两侧具有液位窗244的同时，积存来自加压箱231的功能液的箱子主体243、靠近两个液位窗244检测功能液液位(水位)的液位检测器245、放置箱子主体243的底座246、通过底座246支持箱子主体243的箱子立柱242。
如图10所示，箱子主体243(的盖体)的上面设有：连接加压箱231的供应液体管251并有向喷头单元21一侧延伸的六个供应液体管251用接头247和一个连接空气供给机构5的空气供应管292(后面要叙述)用的加压用接头248。液位检测器245是由检测功能液溢出的溢出检测器249和检测功能液液位的液位检测器250所组成。并且，连接在加压箱231的供应液体管251上设有液位调节阀253，通过开闭控制液位调节阀253的方法来调整箱子主体243内积的存功能液液位，以在液位检测器250检测范围内(实际上是检测液位之后，数秒间内进行供应液体的控制)。
另外，后面要详细叙述，连接在加压用接头248的空气供应管292上设有有大气开放口的三通阀254(管路开闭机构)，通过大气的开放断绝来自加压箱231的压力。由此，利用上述的液位调节，使延伸在喷头单元21一侧的供应液体管251的水头压保持在微小的负压水头(例如25mm±0.5mm)，可以防止液滴喷头31的喷嘴42的液滴下垂，并且，由于液滴喷头31的抽取动作，即，泵部41内的压电元件的泵驱动，可以良好、高精度地喷出液滴。
如图14所示，向液滴喷头31延伸的六根的各供应液体管251上的靠近液滴喷头31附近设有连接在后面要叙述的压力控制器294的喷头侧压力检测器255(压力检测机构)。另外，这些供应液体管251通过T字型接头分成两根，形成十二根供应液体支管252(分支供应管路)(参照图14)。十二根供应液体支管252连接在作为装置一侧配管部件的设在喷头单元21的配管接头56的十二个插座57上。各供应液体支管252上设有为了开闭供应液体支管通路的供应阀256，由控制机构7来控制开闭。
功能液回收系统222是积存吸引单元91所吸引的功能液的系统，具备积存吸引的功能液的再利用箱261和连接在吸引泵141并把吸引功能液引入到再利用箱261的回收用管子262。
洗涤液供给系统223是向摩擦接触部件92的摩擦板供应洗涤液的系统，具有积存洗涤液的洗涤液箱子271和为了供应洗涤液的洗涤液供应管(图中未示)。另外，洗涤液的供应是利用空气供给机构5把压缩空气引入到洗涤液箱子271的方法实现的。另外，洗涤液利用功能液的溶剂。
废液回收系统224是回收喷在冲洗部件93或预备冲洗部件94的功能液的系统，具有积存所回收功能液的废液箱282、连接在冲洗部件93、94并把喷在冲洗部件93的功能液引入到废液箱281的废液用管子(图中未示)。
下面，说明空气供给机构5。如图14所示，空气供给机构5是向积存加压箱231或多或少供应液体箱241等各部供应压缩惰性气体(N2)的压缩空气的机构，具有压缩惰性气体的气泵291和把由气泵291压缩的压缩空气供应到各部用的空气供应管292(加压用管路)。并且，在空气供应管292上设有对应于压缩空气供应目标压力的保持一定压力的调压器293。
后面要详细叙述，本实施方式的绘图装置1是根据上述的喷头侧压力传感器255加压供应液体箱241的结构，在连接供应液体箱241的空气供应管292上设有：连接喷头侧压力传感器255的压力控制器294和具有大气开放口的三通阀254。压力控制器294是适当减压由调压器293送过来的压缩空气，并输送到供应液体箱241的同时，开闭控制三通阀254的方法可以调节供应液体箱241的施加压力。
另外，本实施方式中，压缩空气直接引入到加压箱231和供应液体箱241的结构，但也可以是把加压箱231和供应液体箱241各自容纳在铝等结构的加压箱内(未图示)，通过加压箱各自加压加压箱231和供应液体箱241的结构。具体地，在加压箱23 1和供应液体箱241上设置通气孔，把这些连通于加压箱内部，相同压力来保持加压箱与加压箱231和供应液体箱241的内部压力。并且，使由气泵291的压缩空气供应到加压箱的方法，加压加压箱231和供应液体箱241的内部。
下面，说明控制机构7。控制机构7具备用于控制各机构的控制部，控制部存储控制程序、控制数据和为了进行各种控制处理的作业区域。并且，控制机构7连接在上述的各机构，控制整个装置。
这里作为控制机构7的控制一例，结合图14说明从供应液体箱241向液滴喷头31供应功能液的情形。如上所述，本实施方式的绘图装置1是利用液滴喷头31的泵作用，进行功能液的从供应液体箱241到液滴喷头31的供应，受到从供应液体箱241到液滴喷头31的管路摩擦阻力。从而，根据引入液滴喷头31的功能液的种类，不仅液滴喷头31内的功能液供应压力发生变化，而且由于液滴喷头31的泵作用而供应不及时，发生中途不能适当喷出功能液的问题。因此，功能液喷出时，根据上述的喷头侧压力传感器255来加压供应液体箱241内部的方法，使功能液的供应压力一定，稳定从液滴喷头31的功能液喷出的同时，不至于发生液滴喷头31的功能液供应停止。
下面，说明液滴检测机构6L、6R。如图11至图13所示，各液滴检测机构6L、6R具有由激光二极管等组成的发光元件201和受光元件202，并构成为把受光元件202的受光信号输入到控制机构7，根据功能液滴横穿发光元件201和受光元件202之间光路203时的受光元件202的受光量变化，检测功能液滴的结构。
这里，一方的液滴检测机构6L是对应于喷头单元21上分两列安装的一方的液滴喷头31列，另一方的液滴检测机构6R对应于喷头单元21的另一方的液滴喷头31列。并且，在绘图作业停止时所进行的冲洗等的保养作业结束后、下一次绘图作业开始之前，利用液滴检测机构6L、6R来确认：检测各列的液滴喷头31的喷嘴42是否正常喷出功能液。
另外，在制造后面要叙述的液晶显示装置或有机EL装置时，从喷嘴42即使稍微倾斜喷出功能液滴，也不会发生次品，因此，设定从发光元件201所发光光束直径(如90μm)大于功能液滴的直径(27μm)的同时，喷嘴42与光路203之间的距离设定为1mm左右，这样，即使是喷嘴42稍微倾斜喷出功能液滴也可以检测出来。
如图4所示，使液滴检测机构6L、6R位于X轴台子81的布置位置和作为保养机构3的吸引单元91的布置位置之间的位置并布置在共同基座16上。如图11至图13所示，设置固定在共同基座16的立柱204，把液滴检测机构6L、6R配置在立柱204的上板204a上。上板204a通过垂直安装在这里的一对滑块204b，在立柱204的一对立柱204c上可以自由上下运动地支撑，在立柱204c上设置上下接触安装在滑块204b的挡块204d的调整螺丝，可以进行上板204a即液滴检测机构6L、6R的上下方向的位置调整和水平位置调整。
X轴台子81的布置位置与吸引单元91布置位置之间的空间是原来作为死区的部分，在Y轴方向比较窄，为了在该空间里顺利布置液滴检测机构6L、6R，使液滴检测机构6L、6R的发光元件201和受光元件202面向X轴方向，缩短了各液滴检测机构6L、6R的Y轴方向尺寸。
另外，如果把两个液滴检测机构6L、6R在沿着X轴方向的同一直线上横向排列布置，则，不仅可以避免两个液滴检测机构6L、6R的X轴方向内部位置上的元件之间的干扰，还可以使一方的液滴检测机构6L的有效检测区域(在发光元件201与受光元件202之间存在光路203的区域)与另一方的液滴检测机构6R有效检测区域之间的不能检测区域的X轴方向宽度变宽，因此，也不能获得较宽的两个液滴喷头31列之间的X轴方向间隔，喷头单元21变为大型化。
因此，在本实施方式中，两个液滴检测机构6L、6R在对应于液滴喷头31列的X轴方向对正位置上，在Y轴方向互相错位排列。这样的话，位于一方的液滴检测机构6L的X轴方向内方的元件(受光元件202)和位于另一方的液滴检测机构6R的X轴方向内方的元件(受光元件202)在X轴方向上重叠，可以使液滴检测机构6L、6R之间的不能检测区域的X轴方向宽度变窄。因此，没有必要扩大两个液滴喷头31列之间的X轴方向的间隔，没有必要喷头单元21大型化。
另外，使液滴检测机构的单一化，由于移动台18的共同基座16的运动，液滴检测机构向X轴方向的移动来可以进行两个液滴喷头31列的液滴喷出确认作业，但是，如同本实施方式，设置对应于两个液滴喷头31列的两个液滴检测机构6L、6R时，可以同时进行对于两个液滴喷头31列的液滴喷出确认作业，有利于作业效率的提高。
另外，各液滴检测机构6L、6R，在位于发光元件201与受光元件202之间的光路203下方位置上设置液滴接收器205，在该液滴接收器205里布置吸收部件206来吸收喷嘴42喷出的功能液。并且，设置连通于液滴接收器205底部的配管接头208，该配管接头208上连接上述的再利用箱261的吸引泵209；这样构成通过吸收部件206吸收回收由喷嘴42喷出功能液的液滴检测机构用功能液回收机构207。由此，可以再利用功能液喷出确认作业中喷出的功能液，可以降低运行成本。
功能液滴的喷出确认作业时，通过控制机构7，在Y轴方向上连续移动喷头单元21，以便每一列液滴喷头31的各喷嘴42依次位于液滴检测机构6L、6R的发光元件201与受光元件202之间的光路203的正上方；由Y轴方向的线形刻度尺(Y轴线形刻度尺84)的信号来获得检测时间的同时，从位于光路203的正上方位置的喷嘴42喷出功能液。然后，用液滴检测机构6L、6R检测出功能液滴与否来辨别该喷嘴42是否正常喷出功能液滴。另外，发光元件201可以与从喷嘴42的功能液滴喷出同步发光，也可以在确认作业中继续发光。
于是，如图15所示，对所有的喷嘴42进行功能液滴的喷出确认(步骤S1)，在从所有的喷嘴42正常喷出功能液滴时(步骤S2)，转移到绘图作业(步骤S3)。被辨别为有的喷嘴42不正常喷出功能液滴时，再度进行对喷嘴42的功能液滴的喷出确认，当同一个喷嘴42连续两次辨别为不正常喷出功能液滴时(步骤S4)，判定该喷嘴42为异常(步骤S5)，第二次的喷出确认作业中辨别和前一次不同的喷嘴42为不正常喷出功能液滴时，再度进行对所有的喷嘴42的功能液滴的喷出确认。
这里，如同本实施方式，如果具有发光元件201和受光元件202的光学式液滴检测机构6L、6R来进行功能液滴的喷出确认作业，则，即使是从喷嘴42正常喷出功能液滴，但由于附属物(喷出的液体所引起的雾状漂游的微粒子)或由于电噪声的影响，有时误辨别为不正常喷出。因此，如上所述，本实施方式中，从同一个喷嘴42的喷出连续两次辨别为不正常时，判定喷嘴42为异常，尽可能防止误判定。
在喷嘴42判定为异常时，判定为异常的喷嘴42向喷头帽部件101至少进行喷出功能液的冲洗(预备喷出)(步骤S6)，冲洗后，再度进行对喷嘴42的功能液滴的喷出确认作业。然后，其后和上述同样，辨别处理中判定喷嘴42为不正常时，因为前面进行了冲洗(步骤S7)，这一次是对具有判定为异常喷嘴42的液滴喷头31进行吸引单元91的吸引和利用摩擦接触部件92的擦净(步骤S8)。然后，再度进行对喷嘴42的功能液滴的喷出确认。
这里，功能液滴的喷出变为不正常多是因为喷嘴42附近的轻微的堵塞，如果进行喷嘴42的冲洗，则，恢复功能液滴正常喷出状态的可能性高。因此，即使是一旦喷嘴42判定为不正常，由于冲洗的喷嘴42的恢复，可以进行使用所有喷嘴42的有效的绘图作业，有利于提高生产率。
另外，即使是发生预备喷出中不能恢复的重度堵塞，由于喷嘴42的吸引，可以恢复功能液滴的正常喷出状态，但是，吸引来没有恢复而再度判定喷嘴42为异常时，因为前面已经进行了吸引(步骤S9)，这一次是作为不能使用的喷头单元21提出更换指令(步骤S10)。然后，根据该指令，使适宜通知器动作，交换新的喷头单元21。另外，本实施方式中，喷头帽部件101的结构上对各喷嘴42的个别的吸引是不可能的，但是，如果该为可能，就可以只对判定为异常的喷嘴42进行吸引。
另外，液滴检测机构6L、6R中，可以检测功能液滴的喷出，但不能直接检测出喷出量的过于不足。因此，本实施方式中，如图4所示，在共同基座16的靠近吸引单元91位置上布置喷出量检测机构8。该喷出量检测机构8具备对应于喷头单元21的各液滴喷头31的多个液滴接收器8a，从各液滴喷头31向各液滴接收器8a多次喷出液滴，此时的重量变化来检测出喷出量的结构。喷出量的检查是隔一段时间间隔定期进行的。
下面，以彩色滤光器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示装置(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)为例，说明利用本实施方式的液滴喷出装置来制造的作为电光学装置(平面板显示器)的结构及其制造方法。
首先，说明安装在液晶显示装置或有机EL装置等的滤光器制造方法。图16是表示滤光器制造工艺的流程图，图17A-E是按照制造工艺顺序表示的本实施方式彩色滤光器500(滤光器机体500A)的模式断面图。
如图17A所示，首先在黑底形成工艺(步骤S11)中，基板(W)501上形成黑底502。黑底502是由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或树脂黑来形成。为了形成金属薄膜的黑底502，可以利用溅射法或蒸镀法。另外，由树脂薄膜形成黑底502时，可以利用凹版印刷法、光刻法、热复制法。
接着，堤岸形成工艺(步骤S12)中，在黑底502上重叠的形状形成堤岸503。即，如图17B所示，覆盖基板501和黑底502形成底片型透明感光性树脂形成的抗蚀层504。然后，在其上面进行矩阵模型形成的膜片505被覆状态的暴光处理。
如图17C所示，进一步进行抗蚀层504未暴光部分的蚀刻处理的方法，图案形成抗蚀层504，从而形成堤岸503。另外，树脂黑来形成黑底时，黑底和堤岸兼用成为可能。
该堤岸503和其下面的黑底502成为划分各像素区域507a的划区隔壁507b，在以后的着色层形成工艺中，形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定液滴喷头31的功能液滴喷射区域。
经过以上的黑底形成工艺和堤岸形成工艺，获得上述的滤光器主体500A。
另外，本实施方式中，作为堤岸503的材料利用了涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性的，因此，在后面要叙述的着色层形成工艺中，可以提高向被堤岸503(划区隔壁507b)所包围的像素区域507a内的液滴喷射位置精度。
其次，如图17D所示，着色层形成工艺(步骤S13)中，利用液滴喷头31把功能液滴喷射到被划区隔壁507b所包围的像素区域507a内。这时，利用液滴喷头31引入R·G·B三色的功能液(滤光材料)，进行功能液滴的喷出。另外，R·G·B三色的排列模式有带状排列、镶嵌排列和三角形排列。
然后，经过干燥处理(加热等的处理)来固定功能液，形成三色的着色层508R、508G、508B。形成着色层508R、508G、508B之后，转移到保护膜形成工艺(步骤S14)，如图17E所示，形成以覆盖基板501、划区隔壁507b和着色层508R、508G、508B的保护膜509。
即，在基板501的形成有着色层508R、508G、508B的全部面上，喷出保护膜用涂敷液之后，经过干燥处理形成保护膜509。
然后，形成保护膜509之后，把基板501切断成各的有效像素区域的方法，获得彩色滤光器500。
图18是利用上述彩色滤光器500的作为液晶显示装置一例的无源阵列型液晶装置(液晶装置)的表示大体结构的主要部分断面图。该液晶装置520上附加安装液晶驱动用IC、背照灯、支撑体等的附加零件的方法，可以获得最终产品的透射型液晶显示装置。另外，彩色滤光器500是如同图17所示的滤光器，因此，对应部位附以相同的符号，省略其说明。
该液晶装置520大体上由彩色滤光器500、玻璃基板等组成的对置基板521、夹持在其间的STN(超级双绞向列)液晶组合物形成的液晶层522所组成，把彩色滤光器500布置在图中的上方(观测者一侧)。
另外，虽然图中未示，对置基板521和彩色滤光器500的外面(相反于液晶层522的面)分别设有偏光板，另外，位于对置基板521一侧的偏光板的外侧设有背照灯。
彩色滤光器500的保护膜509(液晶层一侧)上按规定间隔形成多个图18中左右方向的细长形状的第一电极523，覆盖该第一电极523的相反于彩色滤光器500的面而形成第一定向膜524。
另一方面，对置基板521中的面对彩色滤光器500的面上，在垂直于彩色滤光器500的第一电极523方向上按规定间隔形成多个细长形状的第二电极526，覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面而形成第二定向膜527。这些第一电极523和第二电极526是由ITO(铟锡氧化物)等的透明导电材料形成。
设在液晶层522的垫片528是为了保持液晶层522一定厚度(单元间隔)的部件。另外，密封件529是为了防止液晶层522内部的液晶组合物向外漏出的部件。另外，第一电极523的一端部是作为引出的配电线延伸到密封件529的外侧。
于是，第一电极523与第二电极526交叉的部分为像素，使彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素部分的结构。
通常的制造工艺中，在彩色滤光器500上进行第一电极523的图像和第一定向膜524的涂敷而形成彩色滤光器500一侧的部分，并且，在对置基板521上另外单独进行第二电极526的图像和第二定向膜527的涂敷而形成对置基板521一侧的部分。然后，在对置基板521一侧的部分里形成垫片528和密封件529，在该状态，粘合彩色滤光器500一侧的部分。接着，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶之后，封闭注入口。再后，层叠两个偏光板和背照灯。
实施方式的绘图装置1，例如是涂敷上述的构成单元间隔的垫片材料(功能液)的同时，在对置基板521的部分粘合彩色滤光器500一侧的部分之前，由密封件529所包围的区域内，有可能可以均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，利用液滴喷头31进行上述密封件529的印刷成为可能。还有，利用液滴喷头31进行第一定向膜524和第二定向膜527的涂敷成为可能。
图19是表示采用本实施方式中制造的彩色滤光器500的液晶装置第二例大体结构的主要部分剖面图。
该液晶装置530大不相同于上述的液晶装置520的点是彩色滤光器500布置在图中的下面(相反于观察者一侧)。
该液晶装置530大体上由彩色滤光器500、玻璃基板等组成的对置基板531、夹持在其间的由STN液晶组合物形成的液晶层532所构成。另外，虽然图中未示，在对置基板531和彩色滤光器500的外面，分别设有偏光板。
在彩色滤光器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，按规定间隔形成多个图中往里方向的细长形状的第一电极533，覆盖该第一电极533的液晶层532一侧面而形成第一定向膜534。
在对置基板531中的面对彩色滤光器500的面上，垂直于彩色滤光器500一侧的第一电极533方向延伸，按规定间隔形成多个细长形状的第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532一侧的面而形成第二定向膜537。
在液晶层532上设有为了保持液晶层532的一定厚度的垫片538和为了防止液晶层532内部的液晶组合物向外漏出的密封件539。
于是，和上述的液晶装置520同样，第一电极533与第二电极536交叉的部分为像素，彩色滤光器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的位置。
图20是采用本发明彩色滤光器500的液晶装置来构成液晶装置的第三例中，表示透射型TFT(薄膜晶体管)型液晶装置大体结构的分解立体图。
该液晶装置550是彩色滤光器500布置在图中上面(观测者一侧)的装置。
该液晶装置550是由彩色滤光器500、面向彩色滤光器500布置的对置基板551、夹持在这些的图中未示的液晶层、布置在彩色滤光器500上面一侧的(观测者一侧)偏光板555、布置在对置基板551下表面的偏光板(图中未示)所构成。
彩色滤光器500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)上形成液晶驱动用电极556。该电极556是由ITO等的透明导电材料形成，覆盖后面要叙述的像素电极形成区域全部的全面电极。另外，覆盖该电极556的像素电极另一侧面的状态，设有定向膜557。
面向对置基板551的彩色滤光器500的面上形成绝缘层558，在该绝缘层558上面，互相垂直状态，形成扫描线561和信号线562。于是，包围在这些扫描线561和信号线562区域内形成像素电极560。另外，实际的液晶装置中，在像素电极560上面设有定向膜，但省略了图示。
另外，像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562所包围的部分里装有：具备源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管563而构成。于是，对扫描线561和信号线562施加信号的方法，使薄膜晶体管开·关，从而可以进行像素电极560的通电控制。
另外，上述各实施方式的液晶装置520、530、550是透射型的结构，但是，设置反射层或半透射反射层，也可以作成反射型液晶装置或半透射反射型液晶装置。
下面，图21是有机EL装置的显示区域(以下简称显示装置600)主要部分的剖面图。
该显示装置600大体上是在基板(W)601上，层叠电路元件部602、发光元件部603和阴极604状态而构成的。
在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601一侧发出的光，透射电路元件部602和基板601而向观测者一侧射出的同时，从发光元件部603向基板601的另一侧发出的光，由阴极604反射之后，透射电路元件部602和基板601，向观测者一侧射出。
电路元件部602和基板601之间形成硅氧化膜的基底保护膜606，该基底保护膜 606上(发光元件部603一侧)形成多结晶硅的晶核状半导体膜607。该半导体膜607的左右区域上，利用高浓度阳离子打入配合法分别形成源区域607a和漏区域607b。并且没有打入配合阳离子的中央部位成为槽区域607c。
另外，在电路元件部602上，形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上的对应于半导体膜607的通道(槽)区域607c位置上形成如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。该栅电极609和栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a、第二层间绝缘膜611b。另外，穿过第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b形成分别连通半导体膜607的源区域607a和漏区域607b的触点孔612a、612b。
于是，在第二层间绝缘膜611b上，由ITO形成的透明的像素电极613按规定形状形成图案，该像素电极613通过触点孔612a连接在源区域607a。
另外，在第一层间绝缘膜611a上，布置电源线614，该电源线614通过触点孔612b连接在漏区域607b。
这样，在电路元件部602上，分别形成连接在各像素电极613的驱动用薄膜晶体管615。
上述的发光元件部603大体上由多个像素电极613上的各自层叠的功能层617、各像素电极613和功能层617之间具备的划分各功能层617的堤岸部618所构成。
这些像素电极613、功能层617和布置在功能层617上的阴极604来构成发光元件。另外，像素电极613在俯视图上近似矩形形成图案，各像素电极613之间形成堤岸部618。
堤岸部618是由如SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物堤岸部618a(第一堤岸层)和层叠在该无机物堤岸部618a的由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优越的抗蚀剂形成的断面台子形状的有机物堤岸部618b(第二堤岸层)所构成。该堤岸部618的一部分搭在像素电极613边缘部位的状态而形成。
于是，各堤岸部618之间形成相对于像素电极613往上逐渐扩大的开口部619。
上述的功能层617是由在开口部619内部像素电极613上层叠状态形成的空穴注入/输送层617a和在该空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b所构成。另外，还可以形成邻接在该发光层617b的起另外作用的另一功能层。例如，形成电子输送层等也可能。
空穴注入/输送层617a具有：从像素电极613一侧输送空穴之后注入到发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a是喷出空穴注入/输送层形成材料所含第一组合物(功能液)来形成的。作为空穴注入/输送层形成材料可以利用聚乙烯二氧化硫酚等的聚硫酚衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。
发光层617b是发红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的层，利用喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(功能液)的方法来形成。作为第二组合物的溶剂(非极性溶剂)最好是利用不溶空穴注入/输送层617a的物质，例如可以利用环己基苯、双氢苯呋喃、三甲苯、四甲基苯等。利用这样的非极性溶剂作为发光层617b的第二组合物，不会再溶解空穴注入/输送层617a而可以形成发光层617b。
于是，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层中重新结合而发光。
阴极604是全面覆盖发光元件部603的状态来形成，和像素电极613成对，起功能层617上通电的作用。另外，在该阴极604上面布置图中未示的封闭部件。
下面，结合图22～图30说明上述显示装置600的制造工艺。
如图22所示，该显示装置600是经过堤岸部形成工艺(步骤S21)、表面处理工艺(步骤S22)、空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)、发光层形成工艺(步骤S24)和对置电极形成工艺(步骤S25)来制造的。另外，制造工艺不限于例示的工艺，有时可以根据需要增减一些工艺。
首先，如图23所示，在堤岸部形成工艺(步骤S21)中，在第二层间绝缘膜611b上，形成无机物堤岸部618a。该无机物堤岸部618a是在形成位置上形成无机物膜之后，把该无机物膜用光刻技术等形成图案而形成。此时，无机物堤岸部618a的一部分和像素电极613边缘部重叠。
形成无机物堤岸部618a之后，如图24所示，在无机物堤岸部618a上形成有机物堤岸部618b。该有机物堤岸部618b也和无机物堤岸部618a同样，利用光刻技术来形成图案的。
这样形成堤岸部618。另外，与此同时，在各堤岸部618之间形成面对像素电极613上方开口的开口部619。该开口部619就规定像素区域。
表面处理工艺(步骤S22)中，进行亲液化处理和疏液化处理。实施亲液化处理区域是无机物堤岸部618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域是利用氧为处理气体的等离子处理来进行亲液性表面处理。该等离子处理兼有清洗作为像素电极613的ITO的作用。
另外，疏液化处理实施在有机物堤岸部618b的壁面618s和有机物堤岸部618b上面618t，例如，四氟化甲烷为处理气体的等离子处理来进行表面氟化处理(处理成疏液性)。
进行该表面处理的方法，利用液滴喷头31形成功能层617时，把功能液滴更可靠地喷射到像素区域，另外，可以防止从开口部619溢出喷到像素区域的功能液滴。
这样，经过以上的工艺获得显示装置主体600A。该显示装置主体600A放置在图1所示的绘图装置1的吸引固定台子71，进行如下的空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)和发光层形成工艺(步骤S24)。
如图25所示，在空穴注入/输送层形成工艺(步骤S23)中，从液滴喷头31向作为像素区域的各开口部619内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。然后，如图26所示，进行干燥处理和热处理，蒸发包含在第一组合物中的极性溶剂，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。
下面，说明发光层形成工艺(步骤S24)。如上所述，该发光层形成工艺中，为了防止空穴注入/输送层617a的重新溶解，作为形成发光层时所使用的第二组合物，利用不溶空穴注入/输送层617a的非极性溶剂。
可是，另一方面，空穴注入/输送层617a对非极性溶剂的化合性低，因此，即使是把包含非极性溶剂的第二组合物喷射在空穴注入/输送层617a上面，空穴注入/输送层617a和发光层617b不能密接或着有可能不能均匀涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a表面的对非极性溶剂和发光层形成材料的亲和性，形成发光层之前，最好是进行表面处理(表面改质处理)。该表面处理是在空穴注入/输送层617a上涂敷相同于形成发光层时所使用第二组合物的非极性溶剂或类似于这些溶剂的表面改质材料之后，干燥这些的方法来进行的。
实施这样的处理之后，空穴注入/输送层617a表面容易溶合于非极性溶剂，在以后的工艺中，在空穴注入/输送层617a上可以均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组合物。
然后，如图27所示，包含对应各颜色中的任何一种(图27中为蓝色(b))颜色发光层形成材料的第二组合物，作为功能液打入像素区域(开口部619)内部。打入到像素区域的第二组合物在空穴注入/输送层617a上扩展，充满开口部619。另外，即使是第二组合物偏离像素区域而落在堤岸部618的上面618t时，因为该上面618t已经实施了如上述的疏液处理，所以第二组合物容易滚进开口部619内部。
然后，进行干燥工艺的方法，干燥处理喷出后的第二组合物，蒸发包含在第二组合物的非极性溶剂，如图28所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。该图的情况是形成对应于蓝色(B)的发光层617b。
同样，如图29所示，利用液滴喷头31按顺序进行如同上述对应于蓝色(B)的发光层617b的工艺，形成对应于其他颜色(红色(R)及绿色(G))的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，任何顺序形成都可以。例如，对应于发光层形成材料决定形成顺序也是可能的。另外，作为R·G·B三色的排列图案有带状排列、镶嵌排列和三角形排列等。
如上所述，在像素电极613上形成功能层617，即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后转移到对置电极形成工艺(步骤S25)。
如图30所示，在对置电极形成工艺(步骤S25)中，在发光层617b和有机物堤岸部618b的全表面上，利用蒸镀法、溅射法、CVD法形成阴极604。该阴极604在本实施方式中是钙层和铝层层叠构成的。
该阴极604上面适当设置作为电极的Ai膜、Ag膜或SiO2、SiN等的抗蚀层。
这样形成阴极604之后，实施利用封闭部件来封闭该阴极604上面的封闭处理等的其他处理，获得显示装置600。
下面，图31是等离子型显示装置(PDP装置：以下称显示装置700)的主要部分的剖面图。该图是切去一部分状态表示显示装置700的。
该显示装置700大体上包括：互相面对布置的第一基板701、第二基板702和其间形成的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705所构成。这些多个放电室705中的红色放电室R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B布置成为三个放电室705组成一组来构成一个像素。
第一基板701的上面上按规定间隔形成格纹状地址电极706，覆盖该地址电极706和第一基板701上面而形成电介体层707。电介体层707的上面设有位于各地址电极706之间位置且沿着各地址电极706的隔壁708。该隔壁708包括如图所示的延伸到地址电极706宽度方向两侧的部分和图中未示的垂直于地址电极706方向延伸的部分。
于是，由该隔壁708划分的区域就成为放电室705。
在放电室705内部布置荧光体709。荧光体709是发红(R)、绿(G)、蓝(B)色中一色的荧光，红色放电室R的底部布置红色荧光体709R、绿色放电室705G的底部布置绿色荧光体709G、蓝色放电室705B的底部布置蓝色荧光体709B。
在第二基板702的图中下面的面，垂直于上述的地址电极706方向隔规定间隔形成格纹状的多个显示电极711。然后，覆盖这些，形成电介体层712和MgO等形成的保护膜713。
使地址电极706与显示电极711互相垂直的状态，面向粘合第一基板701和第二基板702。另外，上述地址电极706和显示电极711连接在图中未示的交流电源。
于是，通过使各电极706、711通电，可以在放电显示部703内的荧光体709激励发光，彩色显示成为可能。
在本实施方式中，上述的地址电极706、显示电极711和荧光体709可以利用图1所示的绘图装置1来形成。下面，第一基板701中的地址电极706形成工艺为例进行说明。
此时，把第一基板126装在绘图装置1的吸引固定台71的状态，进行如下的工艺。
首先，将含有导电膜电线形成用形成材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，利用液滴喷头31喷着在地址电极形成区域。该液体材料是作为导电膜电线形成用形成材料把金属等的导电性微粒分散在分散介质的材料。该导电性微粒可以利用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒或导电性聚合物。
如果结束作为补充对象的所有地址电极形成区域的液体材料的补充，通过干燥处理喷出后的液体材料，蒸发包含在液体材料中的分散媒而形成地址电极706。
在上述中虽然是以形成地址电极706为例说明，但是，经过上述各工艺也可以形成上述的显示电极711和荧光体709。
形成显示电极711时，和形成地址电极706同样，含有导电膜电线形成用形成材料的液体材料(功能液)作为功能液喷射在显示电极形成区域。
另外，形成荧光体709时，从液滴喷头31将含有对应于各颜色(R、G、B)荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴喷出，喷着在对应颜色的放电室705内。
下面，图32是电子放出装置(FED装置：以下称显示装置800)的主要部分的剖面图。另外，该图是表示显示装置800局部的剖面图。
该显示装置800大体上包括互相面向布置的第一基板801、第二基板802和其间形成的电场放出显示部803。电场放出显示部803是由矩阵状布置的多个电子放出部805所构成。
第一基板801上面上有：构成阴极806的互相垂直形成的第一元件电极806a和第二元件电极806b。另外，在第一元件电极806a和第二元件电极806b所划分的部分里，有形成间隙808的导电性膜807。即，由第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807构成多个电子放出部805。导电性膜807，例如由氧化钯(PdO)形成，而间隙808是形成导电性膜807之后，成形法等来形成。
在第二基板802的下表面，有阳极809与阴极806对峙。在阳极809下面，形成格子状堤岸部811，该堤岸部811所包围的向下开口的各开口部812上布置荧光体813，以对应于电子放出部805。荧光体813是发出红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意色荧光的物质，在各开口部812上按上述规定的图案布置红色荧光体813(R)、绿色荧光体813(G)和蓝色荧光体813(B)。
于是，这样构成的第一基板801和第二基板802是保存微小间隙而粘合的。该显示装置800中，通过导电性膜(间隙808)807，将从作为阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子碰撞在作为阳极的阳极电极809上所形成的荧光体813上，使其激励发光，彩色显示成为可能。
这时，也和其他的实施方式同样，可以利用绘图装置1来形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807和阳极809的同时，利用绘图装置1来形成各颜色的荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807具有图33A所示的平面形状，形成这些膜时，如图33B所示，预先留出第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807的形成部分，形成堤岸部BB(光刻法)。接着，由堤岸部BB所构成的沟部分里形成第一元件电极806a、第二元件电极806b(由绘图装置1的喷墨法)，干燥其溶剂而形成膜之后，形成导电性膜807(由绘图装置1的喷墨法)。然后，形成导电性膜807之后，去掉堤岸部BB(磨光剥离处理)，转移到上述的成形法。另外，和上述的有机EL装置的情形同样，最好是进行第一基板801、第二基板802的亲液化处理和对堤岸部811、BB的疏液化处理。
另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属配电线的形成、透镜形成、保护膜形成和光扩散体形成等的装置。这样，绘图装置1上可以引入多种功能液的可能性，把上述的绘图装置1利用于各种电光学装置(设备)的制造上，可以保持液滴喷嘴内的一定的功能液供应压力的同时，把功能液可靠地供应到液滴喷头且可以事前确认所有喷嘴为正常，因此，不会产生次品，可以有效进行各种制造。
从以上说明可以清楚：根据本发明，只是同一个喷嘴的液滴喷出连续两次辨别为不正常时，才判定该喷嘴为异常，因此，尽可能防止把正常的喷嘴判定为异常的误判，还利用保养的方法恢复判定为异常的喷嘴，从而使用所有的喷嘴可以高效率进行绘图作业，可以提高生产率。
根据本发明的绘图装置、电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械，可以提高装置的可靠度。

Claims (8)

1、一种绘图装置的喷嘴异常辨别方法，是在具备装有具有多个喷出功能液滴的喷嘴的液滴喷头的喷头单元，使该喷头单元一面相对工件移动，一面进行上述液滴喷头的从上述喷嘴向工件喷出功能液滴的绘图作业；与此同时，设置液滴检测机构，该液滴检测机构具有发光元件和受光元件，根据功能液滴横穿这两个元件之间光路时的受光量变化，检测出功能液滴喷出；在进行绘图作业之前，利用上述的液滴检测机构，辨别功能液滴是否正常地从上述各喷嘴喷出的、进行功能液滴喷出确认作业的绘图装置的喷嘴异常辨别方法，其特征在于：
在上述的喷出确认作业中，辨别出任何一个喷嘴的液滴喷出为不正常时，再度进行上述喷出确认作业，在该喷出确认作业中也辨别出从该喷嘴的液滴喷出为不正常时，就判定该喷嘴为异常。
2、根据权利要求1所述的绘图装置的喷嘴异常辨别方法，其特征在于：判定任何一个喷嘴为异常时，进行使功能液滴正常喷出的恢复喷嘴的保养作业，该保养作业之后，再度进行上述喷出确认作业，在该喷出确认作业中，辨别出从所有喷嘴正常喷出功能液滴时，转移到上述绘图作业。
3、根据权利要求2所述的绘图装置的喷嘴异常辨别方法，其特征在于：上述的保养作业是从上述喷嘴喷出功能液滴的预备喷出作业。
4、根据权利要求3所述的绘图装置的喷嘴异常辨别方法，其特征在于：上述保养作业后的上述喷出确认作业中也辨别出功能液滴的不正常喷出时，进行从上述喷嘴吸引排除功能液滴的第二保养作业之后，再度进行上述喷出确认作业，在该喷出确认作业中也辨别出功能液滴的喷出为不正常时，提出上述喷头单元的交换指令。
5、一种绘图装置，其特征在于：实施权利要求1所述的绘图装置的喷嘴异常辨别方法。
6、一种电光学装置，其特征在于：利用权利要求5所述的绘图装置，从上述液滴喷头向工件上喷出功能液滴来形成成膜部。
7、一种电光学装置的制造方法，其特征在于：利用权利要求5所述的绘图装置，从上述液滴喷头向工件上喷出功能液滴来形成成膜部。
8、一种电子器械，其特征在于：装有权利要求5所述的电光学装置或权利要求7所述的电光学装置制造方法来制造的电光学装置。
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