CN1474236A - 十字标记保持方法、十字标记保持装置以及曝光装置 - Google Patents

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和
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Abstract

一种十字标记保持装置，是将市售的十字标记保持装置(十字标记容器)改良成EB曝光的十字标记所使用的容器。十字标记保持装置(1)具有容器底座(3)与容器上盖(5)。从下方支撑圆形十字标记基板(R)外周缘上约略相等分离的三个点(支撑点)的支撑部材(19)是被固定在容器底座(3)上。软质且非粘着性的押压部材(31)是设置在上盖(5)，用弹性恢复力从十字标记基板(R)的支撑点的正上方押住支撑点，利用从上下方三个地方，支撑与SEMI规格晶片相同形状的EB曝光用十字标记的外周缘，十字标记可以被稳定地支撑。

Description

十字标记保持方法、十字标记保持装置以及曝光装置
技术领域
本发明是有关于一种使用在半导体装置与曝光装置的十字标记保持方法及装置。特别是，有关于一种十字标记保持方法及装置，是将习知有实际使用绩效的十字标记保持装置(reticle pot)改良为EB曝光的圆形十字标记保持用的装置。
背景技术
市售的十字标记保持装置一般是正方形，大部分是适用于例如边长为152.4mm(6英吋)，厚度为数毫米的玻璃制的十字标记。最一般的十字标记保持装置是称为SMIF(standard mechanical interface)式的容器。
图10绘示习知的单片式十字标记保持装置的构造平面图。例如图10所示，此种SMIF式的十字标记保持装置(十字标记容器)80是正方形，主要是由底座81与上盖83所构成。上盖83是以未绘出的固定机构，气密地固定于底座81上，将底座81上面与上盖83之间的空间加以密封。
承接部材85配置在底座81上面的四个角落。承接部材为长圆形，并且朝向底座81的中心来配置。正方形的十字标记R的四个角放置在此承接部材85内侧的端部上。接着，利用设置在上盖83内面的押部材(未绘出)，将十字标记R的四个角落押压到承接部材85，来固定十字标记R。滤器87设置在底座81上的对角线上的两个角落上。此滤器87是用来过滤进入容器内的空气中的杂质或异物。
此种十字标记容器80可以将被保持的十字标记R保持在密闭的空间内，所以可以防止异物或杂质附着到十字标记R上。此外，此容器专用的用来打开上盖83的开启器也为一般市售商品，故使用上非常方便。
近年来，使用电子束(electron beam，EB)的曝光装置的开发不断地发展，以作为能兼具高分辨率与高产率化的曝光装置。此种EB曝光装置并非使用习知的玻璃制的四角十字标记，而是使用和SEMI规格晶片与SEMI规格V形标记晶片(notch wafer)相同形状的薄圆形十字标记。此十字标记的厚度约在0.5mm～1mm左右，直径8时是较主要的。图案大致上整个形成在此EB曝光用的十字标记上。为了使EB照射在图案上面并且从图案的开口通过，同一面的上下面是不可以接触的。因此，可接触的部分仅仅是图案以外部分的十字标记外缘宽度的数毫米部分的上下面而已，因而必须以此部分来保持十字标记。
图10所示的市售十字标记容器80是制作成使用于四角形十字标记。因此，就这样直接拿来使用的话，对于EB曝光用十字标记的圆形状，是无法拿来保持住可保持部份仅在外缘宽度数毫米的十字标记。
发明内容
有鉴于上述的问题，本发明的目的是提出一种适用于EB曝光用十字标记的保持方法与装置。特别是，本发明的目的是要提供一种十字标记保持装置等，将市售的十字标记保持装置改良为可使用于EB曝光用的十字标记。
为达成上述与其它目的，本发明提出一种十字标记保持方法，用以保持图案形成于圆形基板的一个十字标记。此十字标记保持方法是从下方支撑十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)，并且从该些支撑点的正上方，使软质且非粘着性的一个押部材产生向下弹性恢复力，来压住该些保持点。
本发明更提出一种十字标记保持装置，包括支撑部材，从下方支撑十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；固定十字标记基板的底座部材；覆盖该十字标记基板的上面的上盖；以及押压部材，是软质且非粘着性，从该些支撑点的正上方，使软质且非粘着性的押部材产生向下弹性恢复力，来压住该些保持点。
利用从上下方，在三个地方支撑住与SEMI规格晶片相同形状的EB曝光用十字标记的外周缘，可以稳定地保持该十字标记。此外，从上方压住十字标记外周缘的押压部材是以软质且非粘着性的物质制作，借此可以防止在十字标记表面产生伤害。
在上述的十字标记保持装置中，押压部材是由弹簧板以及安装在该弹簧板前端的橡胶环、橡胶块或树脂块所构成。利用使用橡胶环、橡胶块或树脂块来作为押压部材，可以防止在十字标记表面产生伤害。此外，以弹簧板来对押压部材产生弹性恢复力，可以防止大的负重加在十字标记上，并且防止薄的十字标记产生挠曲或弯曲。
本发明更提出一种十字标记保持装置，包括支撑部材，从下方支撑十字标记基板的外周缘上之约略相等地分开的三个点(支撑点)；底座部材，固定该十字标记基板；上盖，用以覆盖该十字标记基板的上面；以及V形沟耦合突起，设置在该支撑部材上，用以与该十字标记基板的V形沟耦合。
利用设置V形沟耦合突起，可以对应与SEMI规格晶片相同形状的十字标记，并且可以平顺地进行十字标记的定位。
上述的十字标记保持装置更在支撑部材上设置挡脚，以防止十字标记基板的位置偏移。在将十字标记载置到十字标记保持装置上时的定位可以更容易。
本发明更提出一种十字标记保持装置，包括支撑部材，从下方支撑一个十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；环状部材，固定该支撑部材；底座部材，固定该十字标记基板；上盖，用以覆盖该十字标记基板的上面；以及定位机构，设置在该环状部材与该底座部材之间。
在改良市售SMIF式十字标记容器时，因为环状部材(新构件)是定位在底座部材(就构件)上，所以载置在环状部材上的支撑部材上的十字标记以及底座部材之间的相对位置关系可以保持一定。
本发明更提出一种曝光装置，将十字标记上的图案转印曝光到感光基板上。十字标记的收容装置可以是上述任意一种十字标记保持装置。
特别是在EB曝光装置中，十字标记可以用市售的十字标记容器来保持。此外，因为对应此十字标记容器的上盖开启器也可以使用，故使用上非常方便。
为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一个较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
图1是依据本发明实施例所绘示的十字标记保持装置的构造平面图。
图2绘示的是图1的十字标记保持装置的基座构造平面图。
图3绘示的是基座的部分放大图。
图4A为图1的十字标记保持装置的A-A剖线的剖面图，图4B为图4A的部分放大图。
图5为图1的十字标记保持装置的B-B剖线的剖面图。
图6是用来说明利用定位工具的定位操作。
图7绘示的是押压部材的另一种构造例。
图8是依据本发明另一个实施例所绘示的十字标记保持装置的结构平面图。
图9是依据本发明的实施例所绘示的曝光装置的结构示意图。
图10绘示的是习知的单片式十字标记保持装置的构造平面图。
符号说明
    1                   十字标记保持装置
    3                   容器底座
    5                   容器上盖
    7                   押压部材(7-1、7-2、7-3)
    11                  承接台
    13                  过滤器
    15                  环状部材
    15a                 内环状部
    15b                 外环状部
    19                  支撑部材(19-1、19-2、19-3)
    19a                 底座部
    19b                 载置部
    19c                 上表面
    19d                 斜切部
    21                  螺丝
    23                  挡脚
    24                  V形沟耦合部
    24a                 突出部
    25                  押压部材安装部
    27                  螺丝孔
    29                  底座部
    31                  弹簧板
    33                  押部材
    33’                                  押压部材
    35                  螺丝
    37、39              O形环
    41                  小螺丝
    43                  螺丝头
    60                  定位工具
    61                  台座
    63                  定位脚
    65                  定位臂
    41                  环状块
    71                  环状块
    71a                 外周缘
    73                  螺丝
    75                  插入沟
    80                  十字标记容器
    81                  底座
    83                  上盖
    85                  承接部才
    87                  滤器
    100                 电子束曝光装置
    101                 光学镜筒
    103                 电子枪
    104                 照明光学系统
    104a                聚焦透镜
    104b                电子束偏向器
    110                 卡盘
    111                 十字标记载置台
    112                 驱动装置
    113                 雷射干涉计
    114                 驱动器
    115                 控制装置
    116                 定盘
    121                 晶片室
    124                 投影光学系统
    124a                聚焦透镜
    124b                偏向器
    130                 卡盘
    131                 晶片载置台
    132                 驱动装置
    133                 雷射干涉计
    134                 驱动器
    136                 定盘
    141                 十字标记收容室
    143                 预对准室
    W                   晶片
    R                   十字标记
具体实施方式
接着参考图式来说明本发明的实施例。
图1是依据本发明实施例所绘示的十字标记保持装置的构造平面图。
图2为绘示图1的十字标记保持装置的基座构造平面图。
图3绘示的是基座的部分放大图。
图4A为图1的十字标记保持装置的A-A剖线的剖面图，图4B为图4A的部分放大图。
图5为图1的十字标记保持装置的B-B剖线的剖面图。
此十字标记保持装置1为图10所示的习知SMIF式的十字标记容器80的改良物。此保持装置1具有容器底座(底座部材，base)3以及容器上盖(上盖，cover)5。与图10的十字标记容器80相同，容器上盖5是利用未绘出的固定机构，气密地固定于容器底座3上，把容器底座3的上面与容器上盖5之间的空间加以密封。
十字标记押压用的三个押压部材7-1、7-2、7-3是设置在容器上盖5上。此外，三个支撑部材(table block)19-1、19-2、19-3设置在容器底座3上。十字标记R便被保持固定在此些押压部材7(7-1、7-2、7-3)与支撑部材19(19-1、19-2、19-3)之间(详细如后文所述)。
首先，说明容器底座3的构造。
如图2所示，与习知的SMIF式十字标记容器的底座相同，承接台(block)11配置在容器底座3的上面的四个角落。承接台11为平面形状的长圆形，并且朝向容器底座3的中心来配置。此外，在容器底座上面的对角方向的两个角落位置上配置滤器，用来去除进入容器内的空气中的杂质异物。
圆环状的环状部材15配置在承接台11的内端上面，并且以螺丝固定于承接台11上。承接台11与环状部材15的定位会在后文详述。如图4A与图4B所示，环状部材15是由高度较高的内环状部15a与高度较低的外环状部15b所构成。支撑部材19-1、19-2、19-3以螺丝21固定于此外环状部材15b上的三个地方。各支撑部材19-1、19-2、19-3是配置在相对于环状部材15的中心点的角度约略相等的位置上。再者，任意一个支撑部材19-1、19-2、19-3均不是配置在容器底座3的水平方向的中心线L上(参考图1)。此部份与容器开启(potopener)构件有关，所以会在后文详细叙述。
如图4A、图4B与图5所示，支撑部材19-1、19-2、19-3是由平整方形底座部19a，以及沿着此底座部19a内侧的边向上立起的载置部19b所构成。底座部19a是被载置于环状部材15的外环状部15b上，再以支撑部材19的内侧壁面与环状部材15的内环状部15a的外侧壁面接触的方式，沿着环状部材15的周缘方向配置。底座部19a则以两个螺丝21固定在外环状部15b上。各支撑部材19的载置部19b的上表面19c具有相等的高度且为平坦。此面19c成为十字标记R被置放的十字标记载置面。如图5所示，斜切部(taper)19d设置于载置部上表面19c的内缘。
如图2所示，支撑部材19-1、支撑部材19-2与支撑部材19-3的形状彼此互异。支撑部材19-2、19-3又如图5所示，挡脚(stopper pin)23被固定在载置部上表面19c的外侧。另一方面，对于支撑部材19-1而言，如图3所示，V形沟耦合部24是形成在载置部上表面19c。此V形沟耦合部24具有向内延伸的突出部24a。当十字标记R为V形沟晶片时，突出部24a与该十字标记R的V形沟N耦合，各可以进行十字标记R的定位。
各支撑部材19的挡脚23与V形沟耦合部24是配置在保持于此十字标记保持装置上的十字标记R的外缘上。
接着说明容器上盖的构造。
如图1所示，三个押压部材7安装于容器上盖5的上表面的内侧面上。在此实施例中，押压部材7可以安装在沿着上盖5上面左侧的边上的两处位置，以及沿着与该边相对的右侧的边上的两个位置，总计四个位置上。如图4所示，安装押压部材7的上盖5的部分的厚度较厚。而螺丝孔27则开在此厚度较厚的部分(押压部材安装部25)。
如图4所示，押压部材7是由底座部29，从底座部延伸出的弹簧板31，以及安装在弹簧板31前端的押部材33所构成。底座部29以从其上方通过螺丝孔27的螺丝35，固定于上盖5的押压部材安装部25的下表面上。O形环37安装于底座部29的上表面与押压部材安装部25的下表面之间，以防止杂质或异物侵入螺丝35与螺丝孔27之间的缝隙。
弹簧板31从底座部29延伸出去。如图1所示，弹簧板31是由短边与两长边所构成的狭长形三角形形状。短边是固定在底座部29上，两长边的交点前端则往上盖5内侧的方向上延伸。押部材33安装在此前端上。如图4B所详示，押部材33是由O形环39与小螺丝41所构成。大致半圆形的沟45是形成在小螺丝41的头部43的外周面上。O形环39则嵌入此沟45中。O形环39是以粘着力小且洁净的材料来制作。小螺丝41的螺纹部47是螺入于弹簧板31的前端。螺丝起子插入沟49则形成在螺丝头43的一面上。举例来说，O形环39的外俓约为6.1mm，内径约为2.6mm。
在此实施例中，押压部材7是安装在图1的左上、左下以及右上的三个地方的押压部材安装部25上。
如图1所示，各押压部材7的弹簧板31的端边的长度相等但是长边的长度不同，故为完全不相同的形状。例如，图1左下的押压部材7-2的弹簧板31-3的长度最短。此处所指的长度是从弹簧板固定点(押压部材7的底座部29被固定的上盖的押压安装部25)到前端为止的长度。各弹簧板的长度是被选择，使其从上盖的押压安装部材25延伸到固定于容器底座3上的各支撑部材19的载置部上表面19c的约略中央处。于是，即使当此种弹簧板31的形状是彼此不同的情形，O形环39往下方恢复的弹力(例如约1N)为相等的方式，来选择厚度。
此外，押压部材安装部25是形成在上盖5的四个地方，但也可以选择其中任意三个地方。
利用上述的构造，在押压部材7的弹簧板31前端的O形环39是位于各支撑部材19的载置部上表面19c的正上方。于是，此O形环39便利用弹簧板31产生向载置部上表面19c的正下方方向的恢复力。
接着说明十字标记保持装置1的使用方法。
首先，打开容器上盖5，将十字标记R放置在支撑部材19的载置部上表面19c上，其中此支撑部材19是固定在容器底座3上的环状部材15。此时，十字标记R的V形沟N被定位，使其位于在具有V形沟耦合部24的支撑部材19-1。借此，在十字标记保持装置1内的十字标记R的位置便可以被固定。因为支撑部材19是配置在圆环上，载置部上表面19c与EB用十字标记R的外周缘接触，而不会接触到图案面。此时，因为挡脚23设在其它两个支撑部材19-2、19-3的载置部上表面，故可以防止十字标记R的横向位置偏移。
在十字标记R被定位在载置部上表面19c后，把上盖5盖上。此时，押压部材33的O形环39约略以点来接触载置在载置部上表面19c的十字标记R的外周缘的上面。于是，因为O形环39在正下方被弹簧板31的恢复力作用，故不会对十字标记R的表面产生伤害。其次，由于O形环39被弹簧板31以适度强度的恢复力，往正下方作用，所以在十字标记R上有大的负重时，也不会弯曲。在十字标记R被保持于容器底座3与外盖5之间后，两者以固定机构来加以气密地固定。
此外，当将十字标记R从保持装置1取出来时，在打开外盖5的同时，押压部材7也从容器底座3分离，并且O形环39也从十字标记表面脱离。此时因为O形环39的粘着力弱，十字标记R并不会很难从O形环39上脱离。
此外，当O形环39有耗损的情形时，使O形环39沿着小螺丝41的螺丝头43转动，使新的面与十字标记R接触。此外，当耗损很严重且有破损的情形时，可以将O形环39从小螺丝41取出来更换。
此外，此十字标记保持装置1可以使用市售的开启器来打开。一般，此开启器具有传感器，可以探测十字标记保持装置1内是否有十字标记R。此传感器的光轴是在该保持装置1的水平方向的中心线L(参考图1)上。如前所述，在此保持装置1中，所有的支撑部材19的载置部19b是配置在离开传感器光轴的位置上。因此，传感器的光不会被干涉，也不会妨害到感测功能。此外，通过容器底座3的中心点以及支撑部材19的载置部19b中心的线L1，以及十字标记容器的水平中心线L之间的角度θ最好在5°以上。
接着，说明承接台11与环状部材15的定位方法。如前所述，在此例的十字标记保持装置1是使用一般市售的十字标记容器，将环状部材15安装于十字标记容器的容器底座3上。此时，环状部材15是使用定位工具，使其能够位在容器底座3上的适当位置。
图6是用来说明利用定位工具的定位操作。
定位工具60包括放置容器底座3的台座61；直立配设于该台座61上的定位脚(positioning pin)63；以及定位臂65。定位脚61是在台座61上来定位容器底座3。定位臂65是在容器底座3上来定位环状部材15。
首先，将容器底座3放置在台座61上，以定位脚61来定位。接着，将环状部材15放置在容器底座3上，以定位臂65来加以定位。借此，环状部材15便被定位在容器底座3上的适当位置，容器底座3与环状部材15之间的相对的位置关系便被保持固定。两者被定位后，以螺丝17，将环状部材15的外环状部15b固定在容器底座3的承接台11上。
图7绘示的是押压部材的另一种构造例。
在此例中，押压部材33’是由树脂制的环状块(ring block)71以及螺丝73所构成。螺丝73是沿着横方向，形成于树脂环状块71的一侧面上，另一侧面上则形成螺丝起子插入沟75。树脂环状块71的外周缘71a为半圆形。环状块71与螺丝73可以制作成一体。此外，环状块71也可以用橡胶来制作。
图8是依据本发明另一实施例所绘示的十字标记保持装置的结构平面图。
此例的十字标记保持装置具有与图1所示的十字标记保持装置约略相同的构造，但是容器底座的构造不相同。此外，与图1的十字标记保持装置的各零件的构造、作用相同的零件，是被赋予相同的标号，且其相关说明省略。
此十字标记保持装置的容器底座3’上的支撑部材19全部为相同的形状。换句话说，支撑部材19与图1的十字标记保持装置1的支撑部材19-2、19-3相同，由方形的底座部19a与从该底座部19a立起设置的载置部19b所构成，并且没有形成V形沟耦合部。
利用曝光装置，在十字标记保持装置内，也会有十字标记的方向并不是问题的情形。在此情形，便可以使用此例的十字标记保持装置。
图9是依据本发明的实施例所绘示的曝光装置的结构示意图。
在电子束曝光装置100的上方配置光学镜筒101。光学镜筒101中设置真空泵(未绘出)，以将光学镜筒101内排成真空。
在光学镜筒101的上方配置电子枪103，以向下方放射出电子束。电子枪103的下方配置依序包括聚焦透镜104a与电子束偏向器104b等的照明光学系统104。此镜筒(照明光学系统)104下方则配置十字标记R。
从电子枪103所放射出的电子束被聚焦透镜104a收敛。接着，利用偏向器104b来依序扫描图式中的横方向，并对光学系统的视野内中十字标记R的各小区域(次区域，subfield)进行照明。此外，图中的聚焦透镜104a为一段，但在实际照明光学系统中，设置了数段的透镜与电子束成形光圈(开口，aperture)、阻挡光圈等。
十字标记R是被收纳在设置在光学镜筒101的十字标记收容室141。利用本发明的十字标记保持装置50，此十字标记R从预对准室143被搬运到十字标记收容室141。接着，在曝光动作时，从十字标记收容室141搬运到十字标记载置台111，并且利用静电吸引等，将十字标记R固定于设置在此载置台111上方的卡盘110上。十字标记载置台111是被载置于定盘116上。
如图左方所示，驱动装置112连接到十字标记载置台111。此外实际上，驱动装置(线性马达)112是组装到载置台111中。驱动装置112经由驱动器114连接到控制装置115。此外，雷射干涉计113配置在十字标记载置台111的侧方(图式右方)。雷射干涉计113也连接到控制装置115。雷射干涉计113所测量到的十字标记载置台111的正确位置信息被输入到控制装置115。以十字标记载置台111的位置为目标位置，从控制装置115将指令送到驱动器114，而被驱动装置112所驱动。结果，十字标记载置台111的位置可以实时方式被正确地回馈控制。
晶片室(真空室)121被配置在定盘116的下方。真空泵(未绘出)连接到晶片室121的侧边(图式的右侧)，将晶片室121内抽成真空。
在晶片室121中(实际为晶片室内的光学镜筒内)，配置包含聚焦透镜(投影透镜)124a与偏向器124b等的投影光学系统124。晶片(感旋光性基板)W则配置在晶片室121内的下方。
通过十字标记R的电子束被聚焦透镜124a所收敛。通过聚焦透镜124a的电子束则被偏向器124b所偏向，而将十字标记R的影像成像于晶片W上的预定位置。此外，图中的聚焦透镜124a为一段，但在实际投影光学系统中，设置了复数段的透镜与修正像差用的线圈。
晶片W是利用静电吸引等方式，被固定在设置在晶片载置台131上方的卡盘130上。晶片载置台131配置在定盘136上。
如图左方所示，驱动装置132连接到晶片载置台131。此外实际上，驱动装置132是组装到载置台131中。驱动装置132经由驱动器134连接到控制装置115。此外，雷射干涉计133配置在晶片载置台131的侧方(图式右方)。雷射干涉计133也连接到控制装置115。雷射干涉计133所测量到的晶片载置台131的正确位置信息被输入到控制装置115。以晶片载置台131的位置为目标位置，从控制装置115将指令送到驱动器134，而被驱动装置132所驱动。结果，晶片载置台131的位置可以实时方式被正确地回馈控制。
如以上的说明，利用本发明的话，可以提供一种十字标记保持装置与方法，使得EB曝光用的十字标记可以被稳定地支撑保持。特别是，因为可以改良市售的十字标记容器来制作，故很便宜。其次，因为也可以使用对应市售十字标记容器的市售上盖开启器，所以使用很方便。
虽然本发明已经以一个较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些少许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定范围为准。

Claims (7)

1.一种十字标记保持方法，用以保持图案形成于圆形基板的一个十字标记，其特征在于该十字标记保持方法包括：
从下方支撑该十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；以及
从该些支撑点的正上方，使软质且非粘着性的一个押部材产生向下弹性恢复力，来压住该些保持点。
2.一种十字标记保持装置，其特征在于包括：
一个支撑部材，从下方支撑一个十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；
一个底座部材，固定该十字标记基板；
一个上盖，用以覆盖该十字标记基板的上面；以及
一个押压部材，是软质且非粘着性的，从该些支撑点的正上方，使软质且非粘着性的一个押部材产生向下弹性恢复力，来压住该些保持点。
3.如权利要求2所述的十字标记保持装置，其特征在于该押压部材是由弹簧板以及安装在该弹簧板前端的橡胶环、橡胶块或树脂块所构成。
4.一种十字标记保持装置，其特征在于包括：
一个支撑部材，从下方支撑一个十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；
一个底座部材，固定该十字标记基板；
一个上盖，用以覆盖该十字标记基板的上面；以及
一个V形沟耦合部，设置在该支撑部材上，用以与该十字标记基板的V形沟耦合。
5.如权利要求2、3或4任意一项所述的十字标记保持装置，其特征是更在该支撑部材上设置挡脚，以防止该十字标记基板的位置偏移。
6.一种十字标记保持装置，其特征在于包括：
一个支撑部材，从下方支撑一个十字标记基板的外周缘上的约略相等地分开的三个点(支撑点)；
一个环状部材，固定该支撑部材；
一个底座部材，固定该十字标记基板；
一个上盖，用以覆盖该十字标记基板的上面；以及
一个定位机构，设置在该环状部材与该底座部材之间。
7.一种曝光装置，其特征在于将一个十字标记上的图案转印曝光到一个感光基板上，该十字标记的收容装置是如权利要求2～6中任意一项所述的十字标记保持装置。
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