JP5987751B2 - 基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法 - Google Patents
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Description
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備えていることを特徴とする。
また、本発明の他の基板搬送機構の調整具は、基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備え、
前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられ、
前記腕部を基準長さ設定部に接触させる移動機構を備えていることを特徴とする。
本発明の冶具は、このような塗布、現像装置の他にウエハWの洗浄装置など、各種の装置に設けられる基板搬送機構に用いることができる。
1 搬送機構
4 冶具
21 フォーク
24 保持領域
31 保持用ブロック
34 側方規制部
41 冶具本体
55 基準面
61 アーム部
66 マイクロメータ
78 牽引爪
81 位置決め用ブロック
Claims (11)
- 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備えていることを特徴とする基板搬送機構の調整具。 - 前記位置決め機構は、弾性部材により前記基板の径方向に前記ガイド部材を付勢することを特徴とする請求項1記載の基板搬送機構の調整具。
- 前記位置決め機構は、前記腕部の先端側に設けられる引きつけ部と、当該引きつけ部に対して前記保持部材における基板の保持領域の中心部側に設けられる腕部本体と、を備え、
前記弾性部材は、前記引きつけ部を前記腕部本体に向けて付勢するように設けられることを特徴とする請求項2記載の基板搬送機構の調整具。 - 前記腕部は、基板保持領域の中心部を回転中心として回転自在に構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板搬送機構の調整具。
- 前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられていることを特徴とする請求項4記載の基板搬送機構の調整具。
- 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具であって、
治具本体と、
前記治具本体を前記保持部材に固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当てることにより当該ガイド部材の位置決めを行う位置決め機構と、を備え、
前記位置決め機構は、
前記基板の径方向に伸縮自在に構成され、その先端側が前記ガイド部材に接触して当該ガイド部材を相対的に押圧することにより当該ガイド部材の位置決めを行うための腕部を備え、
前記治具本体には、前記腕部の先端側が接触して当該腕部の長さを基準長さに設定するための基準長さ設定部が設けられ、
前記腕部を基準長さ設定部に接触させる移動機構を備えていることを特徴とする基板搬送機構の調整具。 - 前記腕部には、当該腕部の長さに対応した長さ寸法値が表示される長さ計測機構が設けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板搬送機構の調整具。
- 基板を保持するときに基板の周端を規制するガイド部材が基板の保持部材に設けられた基板搬送機構に対して、前記ガイド部材における基板の径方向の位置を調整する基板搬送機構の調整具を用いた調整方法であって、
固定部により治具本体を前記保持部材に固定する工程と、
前記治具本体に設けられる位置決め機構を、前記ガイド部材に対して基板の径方向に相対的に押し当て、当該ガイド部材の位置決めを行う工程と、
前記位置決め機構を構成する腕部を、前記基板の径方向に伸縮させる工程と、
を備え、
前記ガイド部材の位置決めを行う工程は、前記腕部の先端側を前記ガイド部材に接触させ、当該ガイド部材を相対的に押圧する工程を備えることを特徴とする調整方法。 - 前記ガイド部材の位置決めを行う工程は、弾性部材により前記基板の径方向に前記位置決め機構を付勢する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の調整方法。
- 前記腕部を、基板保持領域の中心部を回転中心として回転させる工程を備えることを特徴とする請求項9記載の調整方法。
- 前記治具本体に設けられる基準長さ設定部に、前記腕部の長さを基準長さに設定するために、当該腕部の先端側を接触させる工程を備えることを特徴とする請求項10記載の調整方法。
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