JP2003297894A - 基板保持機構の製造方法 - Google Patents
基板保持機構の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板保持機構を構成するアームおよびチャッ
クに要求される寸法精度を軽減することができ、しかも
基板の保持位置精度を容易に高めることができる製造方
法を提供する。 【解決手段】 アーム６に基板の支持位置の中心となる
穴２０をあけておく。かつ、位置決めピン２２と、外径
が基板より僅かに大きい位置決め円板２４とを用意して
おく。この円板２４はその中心に穴を有している。そし
て、アームの穴２０に位置決めピン２２を嵌入し、かつ
位置決めピン２２を位置決め円板２４の穴に嵌入し、そ
して一対のチャック１０の各円弧壁１４を位置決め円板
２４の側面に当接させた状態で両チャック１０をアーム
に固定する。その後、位置決めピン２２および位置決め
円板２４を取り外す。
クに要求される寸法精度を軽減することができ、しかも
基板の保持位置精度を容易に高めることができる製造方
法を提供する。 【解決手段】 アーム６に基板の支持位置の中心となる
穴２０をあけておく。かつ、位置決めピン２２と、外径
が基板より僅かに大きい位置決め円板２４とを用意して
おく。この円板２４はその中心に穴を有している。そし
て、アームの穴２０に位置決めピン２２を嵌入し、かつ
位置決めピン２２を位置決め円板２４の穴に嵌入し、そ
して一対のチャック１０の各円弧壁１４を位置決め円板
２４の側面に当接させた状態で両チャック１０をアーム
に固定する。その後、位置決めピン２２および位置決め
円板２４を取り外す。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、アームおよび一
対のチャックを有していて、基板の保持、位置決め、搬
送等に利用される基板保持機構を製造する方法に関し、
より具体的には、アームおよびチャックに要求される寸
法精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精
度を容易に高めることができる方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】図３は、従来の製造方法を採用する場合
の基板保持機構を示す平面図である。図４は、図３の線
Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【０００３】この基板保持機構４は、円形の基板（例え
ばウェーハ）２を保持するものであり、１本のアーム６
と、それに固定されて基板２の周縁部を相対向する２箇
所で支持する一対の（二つで一組の）チャック１０とで
構成されている。 【０００４】各チャック１０は、この例では、平面形状
が基板２の側面（外周面）に沿う円弧状をしていて基板
２の周縁部を下から支持する基板支持面１２と、この基
板支持面１２の外周部に沿って形成されていて基板２の
側面に沿う円弧状をした円弧壁１４とをそれぞれ有して
いる。図３では図示を省略しているが、図４に拡大して
示すように、この円弧壁１４と、保持される基板２の側
面との間には、僅かな隙間１６が生じるように設定され
ている。そうしないと、基板２の出し入れができないか
らである。 【０００５】このような基板保持機構４による基板２の
保持位置精度を高めるために、従来は、アーム６および
一対のチャック１０という各部品単体の寸法精度を高め
ると共に、アーム６への両チャック１０の固定位置精度
を高める、という方法を採用していた。 【０００６】より具体的には、図４に示すように、アー
ム６の下面部に、各チャック１０の位置決めを行う２箇
所の位置決め壁８を高精度で形成しておき、各チャック
１０を各位置決め壁８にそれぞれ当接させて位置決めを
行った状態で、ボルト１８を締め付けて両チャック１０
をアーム６に固定していた。 【０００７】更に、基板２の保持位置精度を高めるため
には、各チャック１０の前記円弧壁１４の位置精度が重
要であるため、各チャック１０自身も高い寸法精度で製
作していた。特に、アーム６の位置決め壁８に当接する
部分が位置決めの基準になるため、その部分と円弧壁１
４との間の寸法精度を高くする必要があった。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法では、基板保持機構４を構成する部品であるアーム６
および両チャック１０のそれぞれの寸法精度を高くする
必要があり、そのためにそられの加工に手間がかかり、
また製作失敗も起こりやすいので、各部品のコストが嵩
み、ひいては基板保持機構４の製造コストが嵩むという
課題があった。しかも、複数台の基板保持機構４を製造
する際には、アーム６および一対のチャック１０も、そ
の台数に応じた数だけ高精度で製作しなければならない
ので、非常に手間とコストがかかる。 【０００９】また、従来の方法では、仮に上記のように
各部品を高精度で製作することができても、各部品すな
わちアーム６と一対のチャック１０とを組み合わせたと
きに、各部品の寸法公差が累積されて、基板２の保持位
置精度を支配する、両チャック１０の円弧壁１４の位置
精度が低下するので、基板２の保持位置精度を高めるの
が難しいという課題もあった。 【００１０】そこでこの発明は、基板保持機構を構成す
るアームおよびチャックに要求される寸法精度を軽減す
ることができ、しかも基板の保持位置精度を容易に高め
ることができる製造方法を提供することを主たる目的と
する。 【００１１】 【課題を解決するための手段】この発明に係る基板保持
機構の製造方法は、前記アームに基板の支持位置の中心
となる穴をあけておき、この穴に嵌入される位置決めピ
ンと、外径が前記基板より僅かに大きい位置決め円板で
あってその中心に前記位置決めピンが嵌入される穴を有
するものとを用意しておき、前記アームの穴に前記位置
決めピンを嵌入し、かつ当該位置決めピンを前記位置決
め円板の穴に嵌入し、そして前記一対のチャックの各円
弧壁を前記位置決め円板の側面にそれぞれ当接させた状
態で両チャックを前記アームに固定し、その後前記位置
決めピンおよび位置決め円板を取り外すことを特徴とし
ている。 【００１２】この製造方法によれば、アームの穴を基準
にして、位置決めピンおよび位置決め円板を治具として
用いて、一対のチャックをアームの所定位置に固定する
ことができる。 【００１３】その場合、位置決め円板の側面の位置精度
を高めることによって、それに当接させる一対のチャッ
クの円弧壁の位置精度を高めることができ、ひいては当
該チャックによる基板の保持位置精度を高めることがで
きる。そのためには、アームの穴の精度、位置決めピン
の精度および位置決め円板の精度を高める必要があるけ
れども、位置決めピンおよび位置決め円板は、それぞれ
一つずつ精度良く製作すれば良く、それを複数台の基板
保持機構の製造に共用することができるので、位置決め
ピンおよび位置決め円板を精度良く製作することはあま
り負担にならない。しかも、位置決め円板の側面は円形
をしていて円の加工となるので、その精度を高めるのは
容易である。また、位置決めピンには断面円形のものを
用いることができるので、当該位置決めピン、それを嵌
入するアームの穴および位置決め円板の穴の加工も円の
加工となり、それらの精度を高めることも容易である。
従って、この製造方法によれば、基板の保持位置精度を
容易に高めることができる。 【００１４】一方、各々の基板保持機構にとっては、ア
ームの穴の精度を高めるだけで良く、従来のようにアー
ムに位置決め壁を形成する必要はなく、従ってそのよう
な壁の高精度加工の必要もない。また、一対のチャック
についても、従来のようにチャック全体を高精度で製作
する必要はなく、単に円弧壁の円形だけを精度良く加工
すれば済む。この加工は円の加工であるから精度を高め
るのは容易である。従って、アームおよびチャックに要
求される寸法精度を、従来に比べて大幅に軽減すること
ができる。 【００１５】このようにこの製造方法によれば、基板保
持機構を構成するアームおよびチャックに要求される寸
法精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精
度を容易に高めることができる。 【００１６】 【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る基板保持
機構の製造方法を示す平面図である。図２は、図１の線
Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。図３および図４に示し
た従来例と同一または相当する部分には同一符号を付
し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明す
る。 【００１７】この製造方法では、基板保持機構４を構成
するアーム６に、前記基板２（図３および図４参照。以
下同じ）の支持位置の中心となる穴２０をあけておく。
その代わりに、アーム６に、従来のような位置決め壁８
を設けておく必要はない。この穴２０の形状は、後述す
る位置決めピン２２の断面形状に対応したものであり、
この例では円形である。 【００１８】そして、このアーム６に前述したような一
対のチャック１０を固定する際に、次のような位置決め
治具、即ち位置決めピン２２および位置決め円板２４を
用いる。 【００１９】位置決めピン２２は、アーム６の上記穴２
０に嵌入されるものであり、この例では断面円形をして
いる。即ち、位置決めピン２２は、円柱状または円筒状
をしている。この位置決めピン２２には、この例のよう
に、その本体よりも大きい頭部２３を設けておくのが好
ましい。そのようにすれば、頭部２３によって、位置決
めピン２２が落下するのを防止することができる。 【００２０】位置決め円板２４は、前記基板２より僅か
に大きい外径を有している。具体的には、基板２の外径
に前記隙間１６（図４参照。以下同様）の寸法を加えた
外径を有している。即ち、基板２の外径（直径）を
Ｄ1 、片側の隙間１６の所望の寸法をＧ、位置決め円板
２４の外径（直径）をＤ2 とすれば、次式の関係を満た
している。 【００２１】 【数１】Ｄ2 ＝Ｄ1 ＋２Ｇ 【００２２】この位置決め円板２４も、その中心に、前
記位置決めピン２２が嵌入される穴２６を有している。
この穴２６の形状は、位置決めピン２２の断面形状に対
応させており、この例では円形をしている。 【００２３】このような位置決めピン２２および位置決
め円板２４を治具として用いて、アーム６に一対のチャ
ック１０を固定して基板保持機構４を製造する（組み立
てる）工程の一例を示すと次のとおりである。 【００２４】（１）アーム６の穴２０に位置決めピン２
２を嵌入する。具体的には、アーム６の穴２０に位置決
めピン２２を上から差し込む。 【００２５】（２）次いで、当該位置決めピン２２を位
置決め円板２４の穴２６に嵌入する。換言すれば、位置
決めピン２２に下から位置決め円板２４を穴２６の部分
で嵌め込む。このとき、ボルト１８を緩く締め付けてお
いて、一対のチャック１０をその位置が調整できるよう
にしておいて、上記のように嵌め込んだ位置決め円板２
４をこの一対のチャック１０の基板支持面１２で支持し
ても良いし、そのようにせずに位置決め円板２４を作業
者の手で支持しておいても良い。 【００２６】（３）上記状態で、一対のチャック１０の
各円弧壁１４を位置決め円板２４の側面（外周面）にそ
れぞれ当接させ、その状態で両チャック１０をアーム６
に固定する。この固定には、この例では前記ボルト１８
を用いる。 【００２７】（４）その後、位置決めピン２２および位
置決め円板２４を取り外す。具体的には、位置決めピン
２２を上に抜き、位置決め円板２４を少し持ち上げて横
に引き出す。以上によって、アーム６に対する一対のチ
ャック１０の固定が完了する。 【００２８】このようにこの製造方法によれば、アーム
６の穴２０を基準にして、位置決めピン２２および位置
決め円板２４を治具として用いて、一対のチャック１０
をアーム６の所定位置に固定することができる。 【００２９】その場合、位置決め円板２４の側面の位置
精度を高めることによって、それに当接させる一対のチ
ャック１０の円弧壁１４の位置精度を高めることがで
き、ひいては当該チャック１０による基板２の保持位置
精度を高めることができる。 【００３０】そのためには、アーム６の穴２０の寸法精
度、位置決めピン２２の寸法精度および位置決め円板２
４の寸法精度（その穴２６の寸法精度も含む）を高める
必要があるけれども、位置決めピン２２および位置決め
円板２４は、それぞれ一つずつ精度良く製作すれば良
く、それを複数台の基板保持機構４の製造に共用するこ
とができるので、位置決めピン２２および位置決め円板
２４を精度良く製作することはあまり負担にならない。
共用によって、これら２２、２４の製作コストが基板保
持機構４の１台当たりの製造コストに占める割合は小さ
くなるからである。 【００３１】しかも、位置決め円板２４の側面は円形を
していて円の加工となるので、その精度を高めるのは容
易である。また、位置決めピン２２には前述したように
断面円形のものを用いることができるので、当該位置決
めピン２２、それを嵌入するアームの穴２０および位置
決め円板の穴２６の加工も円の加工となり、それらの精
度を高めることも容易である。 【００３２】従って、この製造方法によれば、基板保持
機構４の基板の保持位置精度を容易に高めることができ
る。 【００３３】一方、各々の基板保持機構４にとっては、
アーム６の穴２０の精度を高めるだけで良く、従来のよ
うにアーム６に位置決め壁８を形成する必要はなく、従
ってそのような壁の高精度加工の必要もない。 【００３４】また、一対のチャック１０についても、従
来のようにチャック１０全体を高精度で製作する必要は
ない。即ち、従来のようにアーム６の位置決め壁８に当
接する部分から円弧壁１４までに亘ってチャック１０を
高精度で製作する必要はなく、単に円弧壁１４の円形だ
けを精度良く加工すれば済む。この加工は円の加工であ
るから精度を高めるのは容易である。従って、アーム６
およびチャック１０に要求される寸法精度を、従来に比
べて大幅に軽減することができる。 【００３５】このようにこの製造方法によれば、基板保
持機構４を構成するアーム６およびチャック１０に要求
される寸法精度を軽減することができ、しかも基板２の
保持位置精度を容易に高めることができる。 【００３６】また、この製造方法によれば、前記数１か
らも分かるように、位置決め円板２４の外径Ｄ2 を加減
することで、基板２と各チャック１０の円弧壁１４との
間の隙間１６の寸法Ｇを任意にしかも正確に設定するこ
とができる。これによって、基板２の保持および取り出
しに支障がなく、しかも基板２の高い保持位置精度を実
現することのできる隙間１６の寸法Ｇを、つまり大き過
ぎもせず小さ過ぎもしない丁度良い寸法Ｇを、簡単にし
かも正確に設定することができる。 【００３７】 【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、アーム
の穴を基準にして、位置決めピンおよび位置決め円板を
治具として用いて、一対のチャックをアームの所定位置
に精度良く固定することができる。その結果、基板保持
機構を構成するアームおよびチャックに要求される寸法
精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精度
を容易に高めることができる。
対のチャックを有していて、基板の保持、位置決め、搬
送等に利用される基板保持機構を製造する方法に関し、
より具体的には、アームおよびチャックに要求される寸
法精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精
度を容易に高めることができる方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】図３は、従来の製造方法を採用する場合
の基板保持機構を示す平面図である。図４は、図３の線
Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【０００３】この基板保持機構４は、円形の基板（例え
ばウェーハ）２を保持するものであり、１本のアーム６
と、それに固定されて基板２の周縁部を相対向する２箇
所で支持する一対の（二つで一組の）チャック１０とで
構成されている。 【０００４】各チャック１０は、この例では、平面形状
が基板２の側面（外周面）に沿う円弧状をしていて基板
２の周縁部を下から支持する基板支持面１２と、この基
板支持面１２の外周部に沿って形成されていて基板２の
側面に沿う円弧状をした円弧壁１４とをそれぞれ有して
いる。図３では図示を省略しているが、図４に拡大して
示すように、この円弧壁１４と、保持される基板２の側
面との間には、僅かな隙間１６が生じるように設定され
ている。そうしないと、基板２の出し入れができないか
らである。 【０００５】このような基板保持機構４による基板２の
保持位置精度を高めるために、従来は、アーム６および
一対のチャック１０という各部品単体の寸法精度を高め
ると共に、アーム６への両チャック１０の固定位置精度
を高める、という方法を採用していた。 【０００６】より具体的には、図４に示すように、アー
ム６の下面部に、各チャック１０の位置決めを行う２箇
所の位置決め壁８を高精度で形成しておき、各チャック
１０を各位置決め壁８にそれぞれ当接させて位置決めを
行った状態で、ボルト１８を締め付けて両チャック１０
をアーム６に固定していた。 【０００７】更に、基板２の保持位置精度を高めるため
には、各チャック１０の前記円弧壁１４の位置精度が重
要であるため、各チャック１０自身も高い寸法精度で製
作していた。特に、アーム６の位置決め壁８に当接する
部分が位置決めの基準になるため、その部分と円弧壁１
４との間の寸法精度を高くする必要があった。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法では、基板保持機構４を構成する部品であるアーム６
および両チャック１０のそれぞれの寸法精度を高くする
必要があり、そのためにそられの加工に手間がかかり、
また製作失敗も起こりやすいので、各部品のコストが嵩
み、ひいては基板保持機構４の製造コストが嵩むという
課題があった。しかも、複数台の基板保持機構４を製造
する際には、アーム６および一対のチャック１０も、そ
の台数に応じた数だけ高精度で製作しなければならない
ので、非常に手間とコストがかかる。 【０００９】また、従来の方法では、仮に上記のように
各部品を高精度で製作することができても、各部品すな
わちアーム６と一対のチャック１０とを組み合わせたと
きに、各部品の寸法公差が累積されて、基板２の保持位
置精度を支配する、両チャック１０の円弧壁１４の位置
精度が低下するので、基板２の保持位置精度を高めるの
が難しいという課題もあった。 【００１０】そこでこの発明は、基板保持機構を構成す
るアームおよびチャックに要求される寸法精度を軽減す
ることができ、しかも基板の保持位置精度を容易に高め
ることができる製造方法を提供することを主たる目的と
する。 【００１１】 【課題を解決するための手段】この発明に係る基板保持
機構の製造方法は、前記アームに基板の支持位置の中心
となる穴をあけておき、この穴に嵌入される位置決めピ
ンと、外径が前記基板より僅かに大きい位置決め円板で
あってその中心に前記位置決めピンが嵌入される穴を有
するものとを用意しておき、前記アームの穴に前記位置
決めピンを嵌入し、かつ当該位置決めピンを前記位置決
め円板の穴に嵌入し、そして前記一対のチャックの各円
弧壁を前記位置決め円板の側面にそれぞれ当接させた状
態で両チャックを前記アームに固定し、その後前記位置
決めピンおよび位置決め円板を取り外すことを特徴とし
ている。 【００１２】この製造方法によれば、アームの穴を基準
にして、位置決めピンおよび位置決め円板を治具として
用いて、一対のチャックをアームの所定位置に固定する
ことができる。 【００１３】その場合、位置決め円板の側面の位置精度
を高めることによって、それに当接させる一対のチャッ
クの円弧壁の位置精度を高めることができ、ひいては当
該チャックによる基板の保持位置精度を高めることがで
きる。そのためには、アームの穴の精度、位置決めピン
の精度および位置決め円板の精度を高める必要があるけ
れども、位置決めピンおよび位置決め円板は、それぞれ
一つずつ精度良く製作すれば良く、それを複数台の基板
保持機構の製造に共用することができるので、位置決め
ピンおよび位置決め円板を精度良く製作することはあま
り負担にならない。しかも、位置決め円板の側面は円形
をしていて円の加工となるので、その精度を高めるのは
容易である。また、位置決めピンには断面円形のものを
用いることができるので、当該位置決めピン、それを嵌
入するアームの穴および位置決め円板の穴の加工も円の
加工となり、それらの精度を高めることも容易である。
従って、この製造方法によれば、基板の保持位置精度を
容易に高めることができる。 【００１４】一方、各々の基板保持機構にとっては、ア
ームの穴の精度を高めるだけで良く、従来のようにアー
ムに位置決め壁を形成する必要はなく、従ってそのよう
な壁の高精度加工の必要もない。また、一対のチャック
についても、従来のようにチャック全体を高精度で製作
する必要はなく、単に円弧壁の円形だけを精度良く加工
すれば済む。この加工は円の加工であるから精度を高め
るのは容易である。従って、アームおよびチャックに要
求される寸法精度を、従来に比べて大幅に軽減すること
ができる。 【００１５】このようにこの製造方法によれば、基板保
持機構を構成するアームおよびチャックに要求される寸
法精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精
度を容易に高めることができる。 【００１６】 【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る基板保持
機構の製造方法を示す平面図である。図２は、図１の線
Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。図３および図４に示し
た従来例と同一または相当する部分には同一符号を付
し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明す
る。 【００１７】この製造方法では、基板保持機構４を構成
するアーム６に、前記基板２（図３および図４参照。以
下同じ）の支持位置の中心となる穴２０をあけておく。
その代わりに、アーム６に、従来のような位置決め壁８
を設けておく必要はない。この穴２０の形状は、後述す
る位置決めピン２２の断面形状に対応したものであり、
この例では円形である。 【００１８】そして、このアーム６に前述したような一
対のチャック１０を固定する際に、次のような位置決め
治具、即ち位置決めピン２２および位置決め円板２４を
用いる。 【００１９】位置決めピン２２は、アーム６の上記穴２
０に嵌入されるものであり、この例では断面円形をして
いる。即ち、位置決めピン２２は、円柱状または円筒状
をしている。この位置決めピン２２には、この例のよう
に、その本体よりも大きい頭部２３を設けておくのが好
ましい。そのようにすれば、頭部２３によって、位置決
めピン２２が落下するのを防止することができる。 【００２０】位置決め円板２４は、前記基板２より僅か
に大きい外径を有している。具体的には、基板２の外径
に前記隙間１６（図４参照。以下同様）の寸法を加えた
外径を有している。即ち、基板２の外径（直径）を
Ｄ1 、片側の隙間１６の所望の寸法をＧ、位置決め円板
２４の外径（直径）をＤ2 とすれば、次式の関係を満た
している。 【００２１】 【数１】Ｄ2 ＝Ｄ1 ＋２Ｇ 【００２２】この位置決め円板２４も、その中心に、前
記位置決めピン２２が嵌入される穴２６を有している。
この穴２６の形状は、位置決めピン２２の断面形状に対
応させており、この例では円形をしている。 【００２３】このような位置決めピン２２および位置決
め円板２４を治具として用いて、アーム６に一対のチャ
ック１０を固定して基板保持機構４を製造する（組み立
てる）工程の一例を示すと次のとおりである。 【００２４】（１）アーム６の穴２０に位置決めピン２
２を嵌入する。具体的には、アーム６の穴２０に位置決
めピン２２を上から差し込む。 【００２５】（２）次いで、当該位置決めピン２２を位
置決め円板２４の穴２６に嵌入する。換言すれば、位置
決めピン２２に下から位置決め円板２４を穴２６の部分
で嵌め込む。このとき、ボルト１８を緩く締め付けてお
いて、一対のチャック１０をその位置が調整できるよう
にしておいて、上記のように嵌め込んだ位置決め円板２
４をこの一対のチャック１０の基板支持面１２で支持し
ても良いし、そのようにせずに位置決め円板２４を作業
者の手で支持しておいても良い。 【００２６】（３）上記状態で、一対のチャック１０の
各円弧壁１４を位置決め円板２４の側面（外周面）にそ
れぞれ当接させ、その状態で両チャック１０をアーム６
に固定する。この固定には、この例では前記ボルト１８
を用いる。 【００２７】（４）その後、位置決めピン２２および位
置決め円板２４を取り外す。具体的には、位置決めピン
２２を上に抜き、位置決め円板２４を少し持ち上げて横
に引き出す。以上によって、アーム６に対する一対のチ
ャック１０の固定が完了する。 【００２８】このようにこの製造方法によれば、アーム
６の穴２０を基準にして、位置決めピン２２および位置
決め円板２４を治具として用いて、一対のチャック１０
をアーム６の所定位置に固定することができる。 【００２９】その場合、位置決め円板２４の側面の位置
精度を高めることによって、それに当接させる一対のチ
ャック１０の円弧壁１４の位置精度を高めることがで
き、ひいては当該チャック１０による基板２の保持位置
精度を高めることができる。 【００３０】そのためには、アーム６の穴２０の寸法精
度、位置決めピン２２の寸法精度および位置決め円板２
４の寸法精度（その穴２６の寸法精度も含む）を高める
必要があるけれども、位置決めピン２２および位置決め
円板２４は、それぞれ一つずつ精度良く製作すれば良
く、それを複数台の基板保持機構４の製造に共用するこ
とができるので、位置決めピン２２および位置決め円板
２４を精度良く製作することはあまり負担にならない。
共用によって、これら２２、２４の製作コストが基板保
持機構４の１台当たりの製造コストに占める割合は小さ
くなるからである。 【００３１】しかも、位置決め円板２４の側面は円形を
していて円の加工となるので、その精度を高めるのは容
易である。また、位置決めピン２２には前述したように
断面円形のものを用いることができるので、当該位置決
めピン２２、それを嵌入するアームの穴２０および位置
決め円板の穴２６の加工も円の加工となり、それらの精
度を高めることも容易である。 【００３２】従って、この製造方法によれば、基板保持
機構４の基板の保持位置精度を容易に高めることができ
る。 【００３３】一方、各々の基板保持機構４にとっては、
アーム６の穴２０の精度を高めるだけで良く、従来のよ
うにアーム６に位置決め壁８を形成する必要はなく、従
ってそのような壁の高精度加工の必要もない。 【００３４】また、一対のチャック１０についても、従
来のようにチャック１０全体を高精度で製作する必要は
ない。即ち、従来のようにアーム６の位置決め壁８に当
接する部分から円弧壁１４までに亘ってチャック１０を
高精度で製作する必要はなく、単に円弧壁１４の円形だ
けを精度良く加工すれば済む。この加工は円の加工であ
るから精度を高めるのは容易である。従って、アーム６
およびチャック１０に要求される寸法精度を、従来に比
べて大幅に軽減することができる。 【００３５】このようにこの製造方法によれば、基板保
持機構４を構成するアーム６およびチャック１０に要求
される寸法精度を軽減することができ、しかも基板２の
保持位置精度を容易に高めることができる。 【００３６】また、この製造方法によれば、前記数１か
らも分かるように、位置決め円板２４の外径Ｄ2 を加減
することで、基板２と各チャック１０の円弧壁１４との
間の隙間１６の寸法Ｇを任意にしかも正確に設定するこ
とができる。これによって、基板２の保持および取り出
しに支障がなく、しかも基板２の高い保持位置精度を実
現することのできる隙間１６の寸法Ｇを、つまり大き過
ぎもせず小さ過ぎもしない丁度良い寸法Ｇを、簡単にし
かも正確に設定することができる。 【００３７】 【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、アーム
の穴を基準にして、位置決めピンおよび位置決め円板を
治具として用いて、一対のチャックをアームの所定位置
に精度良く固定することができる。その結果、基板保持
機構を構成するアームおよびチャックに要求される寸法
精度を軽減することができ、しかも基板の保持位置精度
を容易に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る基板保持機構の製造方法を示す
平面図である。 【図２】図１の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【図３】従来の製造方法を採用する場合の基板保持機構
を示す平面図である。 【図４】図３の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【符号の説明】 ２ 基板 ４ 基板保持機構 ６ アーム １０ チャック １２ 基板支持面 １４ 円弧壁 ２０ 穴 ２２ 位置決めピン ２４ 位置決め円板 ２６ 穴
平面図である。 【図２】図１の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【図３】従来の製造方法を採用する場合の基板保持機構
を示す平面図である。 【図４】図３の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。 【符号の説明】 ２ 基板 ４ 基板保持機構 ６ アーム １０ チャック １２ 基板支持面 １４ 円弧壁 ２０ 穴 ２２ 位置決めピン ２４ 位置決め円板 ２６ 穴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 円形の基板の周縁部を相対向する２箇所
で支持するものであって、基板の周縁部を支持する基板
支持面および基板の側面に沿う円弧状をした円弧壁をそ
れぞれ有する一対のチャックを、アームの所定位置に固
定して基板保持機構を製造する方法において、 前記アームに基板の支持位置の中心となる穴をあけてお
き、この穴に嵌入される位置決めピンと、外径が前記基
板より僅かに大きい位置決め円板であってその中心に前
記位置決めピンが嵌入される穴を有するものとを用意し
ておき、前記アームの穴に前記位置決めピンを嵌入し、
かつ当該位置決めピンを前記位置決め円板の穴に嵌入
し、そして前記一対のチャックの各円弧壁を前記位置決
め円板の側面にそれぞれ当接させた状態で両チャックを
前記アームに固定し、その後前記位置決めピンおよび位
置決め円板を取り外すことを特徴とする基板保持機構の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002074276A JP2003297894A (ja) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | 基板保持機構の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002074276A JP2003297894A (ja) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | 基板保持機構の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003297894A true JP2003297894A (ja) | 2003-10-17 |
Family
ID=29386643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002074276A Pending JP2003297894A (ja) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | 基板保持機構の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003297894A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007200965A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウエーハと外周リングとの位置合せ用治具及び半導体ウエーハのプラズマエッチング方法 |
| CN102756344A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-31 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 圆盘定位销旋转敲入工装 |
| JP2014197625A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法 |
-
2002
- 2002-03-18 JP JP2002074276A patent/JP2003297894A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007200965A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウエーハと外周リングとの位置合せ用治具及び半導体ウエーハのプラズマエッチング方法 |
| JP4574561B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2010-11-04 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハと外周リングとの位置合せ用治具及び半導体ウエーハのプラズマエッチング方法 |
| CN102756344A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-31 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 圆盘定位销旋转敲入工装 |
| JP2014197625A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法 |
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