JP4885755B2 - ガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板に当って基板を所定位置に位置決めするガイド部材の位置決め方法、及びこのガイド部材を使用して基板を基板テーブルへ位置決めする基板の位置決め方法に関する。

基板テーブルに載置された基板の外周縁にガイド部材を当てて基板の位置を決める基板の位置決め方法が提案されている。（特許文献１）
詳細には、基板テーブルから突出するガイド部材は、基板ステージ側が絞られた円錐形状とされている。そして、ガイド部材を基板テーブルに載置された基板へ向けて基板の周囲から押し付けることで、基板の端部を円錐形状の円錐面に沿って基板ステージに押し付け、基板の位置を決めることで、基板の位置決め不良による不具合を防止するようになっている。
特開２００４−２３５３８６号公報

しかしながら、この基板の位置決め方法では、ガイド部材の位置を調整できるようになっておらず、製造誤差によりガイド部材の位置バラツキにより、基板の位置決め不良が発生することが考えられる。

本発明は、上記事実を考慮し、製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができるガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法を提供することが課題である。

本発明の請求項１に係るガイド部材の位置決め方法は、第一基板又は前記第一基板と異なる形状の第二基板の外周縁に当って、前記第一基板又は前記第二基板を基板テーブルに位置決めするガイド部材の位置決め方法であって、前記第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部と、前記第一基本形状部の裏面に設けられる前記第二基板と同一形状の第二基本形状部と、を備える位置決め冶具と、前記位置決め冶具の前記第一基本形状部に設けられた第一位置決め部と、前記位置決め冶具の前記第二基本形状部に設けられた第二位置決め部と、前記基板テーブルに設けられ、前記第一位置決め部又は前記第二位置決め部と嵌合して前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部を位置決めする位置決め受部と、前記ガイド部材を移動可能に保持する保持手段と、を有する位置決め構造に用いられ、前記位置決め受部に前記第一位置決め部又は第二位置決め部を嵌合させ、前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする工程と、前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部に前記ガイド部材を押し当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する工程と、を備えることを特徴とする。

上記ガイド部材の位置決め方法によれば、位置決め冶具には、ガイド部材が当る第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部が設けられている。

さらに、位置決め冶具には、第一位置決め部が設けられ、基板テーブルには、この第一位置決め部と嵌合して第一基本形状部を位置決めする位置決め受部が設けられている。

先ず、基板テーブルの位置決め受部に第一位置決め部を嵌合させ、第一基本形状部を基板テーブルに位置決めする。

そして、保持手段によって移動可能に保持されたガイド部材を第一基本形状部に当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する。

このように、製造誤差によりガイド部材の位置決め位置がずれていても、位置決め冶具によって再度位置決め位置を正規の位置へ設定することができる。

上記ガイド部材の位置決め方法によれば、基板テーブルの位置決め受部に位置決め冶具の第二位置決め部を嵌合させ、第二基本形状部を基板テーブルの所定位置に配置し、ガイド部材を第二基本形状部に押し当てて、ガイド部材の位置決め位置を設定することで、第二基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

つまり、第二基本形状部を位置決め冶具に設けることで、異なる二つの形状の基板を基板テーブルに位置決めすることができる。

本発明の請求項２に係る基板の位置決め方法は、請求項１に記載のガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされたガイド部材に第一基板の外周縁を当てて前記第一基板を基板テーブルに位置決めすることを特徴とする。

上記基板の位置決め方法によれば、第一基板を基板テーブルへ載置して、この第一基板の外周縁を請求項１に記載のガイド部材の位置決め方法によって位置決めされたガイド部材に当てて、第一基板を基板テーブルの所定位置に位置決めする。

このように、製造誤差によりガイド部材の位置決め位置がずれていても、位置決め冶具によって再度位置決め位置が設定されたガイド部材を使用して第一基板を位置決めするため、第一基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

本発明の請求項３に係る基板の位置決め方法は、請求項２記載において、前記基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられることを特徴とする。

上記基板の位置決め方法によれば、基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられる。そして、基板は基板テーブルの所定位置に位置決めされるため、基板上の正確な位置にパターンを転写することができる。

本発明によれば、製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

本発明の第１実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法が採用された図１４に示す半導体基板２０の縮小投影露光装置１０について説明する。

縮小投影露光装置１０は、反射ミラー１２、高圧水銀ランプを用いた光源１４、光源１４から発する光を集光するコンデンサレンズ１６、チップパターンが縦横に複数形成されたマスク１８、光りを基板２０に縮小投影する縮小投影レンズ２２、及び、基板２０が載せられる基板テーブル２４を備えている。

この構成により、光源１４から水平方向へ発光された光が、反射ミラー１２よって、下方へ向きを変え、コンデンサレンズ１６によって集光され、マスク１８を通って、縮小投影レンズ２２によって、基板テーブル２４に載置された基板２０に投影される。これによって、基板２０上の感光層にチップパターンが転写される。

次に、基板テーブル２４について詳細に説明する。

図１２、図１３に示されるように、上方から見て略円形状の基板テーブル２４の上面には、上方が開口したコ字形状のレール４０が基板テーブル２４の中心部を中心として同心円上に複数本設けられている。

さらに、基板テーブル２４の中央部の底面には吸引孔４２、また、コ字形状のレール４０の底面には、基板テーブル２４の中央部から径方向へ複数の吸引孔４２が列状に３列設けられており、この吸引孔４２から空気を吸引することにより、基板２０（図１１参照）を基板テーブル２４へ吸い付ける構成となっている。

また、隣接するレール４０の間には、空気を排出することができる４個の排出孔４４が設けられており、吸引孔４２が発生する吸引力で基板テーブル２４に吸い付けられた基板２０を排出孔４４から空気を排出することで、基板２０を基板テーブル２４から取り外せる構成となっている。

さらに、最も内側に配置されるレール４０の外側には、３個の円孔４６が均等間隔に配置されており、後述する位置決め冶具５０の３本の脚部５４が嵌るようになっている。

また、図１３に示されるように、基板テーブル２４には、基板テーブル２４に設けられた円形状の貫通孔２７から上方へ突出する付勢ピン２８、矩形状の貫通孔２９には第１ガイド３０、及び矩形状の貫通孔３１には第２ガイド３２が設けられており、基板テーブル２４に載せられた基板２０（図１１参照）の外周縁と当って、基板２０を基板テーブル２４の所定位置に位置決めするようになっている。

図１２に示されるように、第１ガイド３０と第２ガイド３２は、基板テーブル２４の中心部を通り直交するＸ軸、Ｙ軸上に配置されている。また、付勢ピン２８は、第１ガイド３０と第２ガイド３２の中間部に対し、基板テーブル２４の中心部を中心として対向する位置に配置されている。

詳細には、図１１に示されるように、基板２０の外周縁は、円形状部２０Ａとオリフラ部としての直線部２０Ｂとから構成されている。また、第１ガイド３０は、矩形状の第１ガイドブロック３０Ｂと、第１ガイドブロック３０Ｂから立設し貫通孔２９から突出する３本の第１ガイドピン３０Ａとで構成されている。

図７に示されるように、第１ガイド３０は、保持手段としてのレール部材３４に移動可能に保持されている。

詳細には、レール部材３４は、上方が開放された箱形状とされており、レール部材３４の内部に第１ガイドブロック３０Ｂが嵌めこまれ、第１ガイドブロック３０Ｂの側面とレール部材３４の内側面３４Ａが当接している。これにより、第１ガイド３０は、基板２０に対して当接離間する方向（図７に示す矢印Ａ方向）に移動可能となっている。

さらに、この第１ガイド３０を基板２０に対して当接離間する方向に移動させる押圧部材としてのエアポット３６が、レール部材３４に隣接して設けられており、エアポット３６の押圧ロッド３６Ａの先端部がレール部材３４の背板３４Ｂを貫通して第１ガイドブロック３０Ｂに固定されている。

第１ガイド３０を移動させる場合は、押圧ロッド３６Ａを伸縮させることで第１ガイド３０が移動する構成となっており、押圧ロッド３６Ａを伸ばして第１ガイド３０を基板２０へ向けて移動させると第１ガイドブロック３０Ｂが、矩形状のストッパー３８と当接して停止するようになっている。

さらに、図１１に示されるように、第２ガイド３２は、矩形状の第２ガイドブロック３２Ｂと、第２ガイドブロック３２Ｂから立設し貫通孔３１から突出する３本の第２ガイドピン３２Ａとで構成されている。

図８に示されるように、第２ガイド３２は、保持手段としてのレール部材３５に移動可能に保持されている。

詳細には、第１ガイド３０と同様に、レール部材３５は、上方が開放された箱形状とされており、レール部材３５の内部に第２ガイドブロック３２Ｂが嵌めこまれ、第２ガイドブロック３２Ｂの側面とレール部材３５の内側面３５Ａが当接している。これにより、第２ガイド３２は、基板２０に対して当接離間する方向（図８に示す矢印Ｂ方向）に移動可能となっている。

さらに、この第２ガイド３２を基板２０に対して当接離間する方向に移動させる押圧部材としてのエアポット３７が、レール部材３５に隣接して設けられており、エアポット３７の押圧ロッド３７Ａの先端部がレール部材３５の背板３５Ｂを貫通して第２ガイドブロック３２Ｂに固定されている。

第２ガイド３２を移動させる場合は、押圧ロッド３７Ａを伸縮させることで第２ガイド３２が移動する構成となっており、押圧ロッド３７Ａを伸ばして第２ガイド３２を基板２０へ向けて移動させると第２ガイドブロック３２Ｂが、矩形状のストッパー３９と当接して停止するようになっている。

また、図１０に示されるように、基板テーブル２４上に基板２０を載置した状態では、付勢ピン２８、３本の第１ガイドピン３０Ａ、及び３本の第２ガイドピン３２Ａは、基板２０の外周縁から離間する離間位置に配置されている。

そして、図示せぬ制御部からの位置決め指示が発信されると、図９に示されるように、第１ガイド３０は、エアポット３６の押圧力で基板２０へ向けて移動し、第１ガイドブロック３０Ｂがストッパー３８（図７参照）と当接して、第１ガイドピン３０Ａが基板２０を位置決めする位置決め位置で停止するようになっている。

ここで、３本の第１ガイドピン３０Ａの内、両端部の第１ガイドピン３０Ａが基板２０側へオフセットして配置されており、この両端部の第１ガイドピン３０Ａの外周面が、基板２０の直線部２０Ｂと当る構成となっている。

また、第１ガイド３０の移動と同時に、第２ガイド３２も、エアポット３７の押圧力で基板２０へ向けて移動し、第２ガイドブロック３２Ｂがストッパー３９（図８参照）と当接して、３本の第２ガイドピン３２Ａが基板２０を位置決めする位置決め位置で停止するようになっている。ここで、３本の第２ガイドピン３２Ａは、直線上に配置されており、中央部の第２ガイドピン３２Ａの外周面が、基板２０の円形状部２０Ａと当る構成となっている。

第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａが停止すると、回動アーム２５の先端に設けられた付勢ピン２８は、図示せぬシリンダで回動する回動アーム２５の回動動作で基板２０を押圧して基板２０を第１ガイドピン３０Ａ及び第２ガイドピン３２Ａに押し付けるようになっている。

なお、付勢ピン２８の基板２０への押圧力は、基板２０を第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａに押し付けるだけでよく、基板２０を変形させないような力になっている。

このように、基板２０の直線部２０Ｂへ２本の第１ガイドピン３０Ａの外周面を当て、基板２０の回転を規制し、円形状部２０Ａへ第２ガイドピン３２Ａの外周面を当てることで、基板２０の平行移動を規制する。このように、確実に基板２０を基板テーブル２４へ位置決めできる構成となっている。

また、この状態で、図１２に示す吸引孔４２から空気を吸引することにより、基板２０を基板テーブル２４に吸い付ける構成となっている。

次に、第１実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具５０について説明する。

図２、図５に示されるように、位置決め冶具５０には、基板２０と同一形状の基本形状部５２が設けられ、この基本形状部５２の片面には、前述した基板テーブル２４の円孔４６に嵌めることで、基本形状部５２の外周縁５２Ａを位置決めされた基板２０の円形状部２０Ａ、及び直線部２０Ｂと同じ位置に配置する円筒状の脚部５４が設けられている。

つまり、円孔４６へ脚部５４を嵌め込むことで、基本形状部５２の外周縁５２Ａを位置決めされた基板２０の円形状部２０Ａ、及び直線部２０Ｂと同じ位置に配置することができるようになっている。

また、基本形状部５２の上側（脚部５４と反対側）には、リング状のリング部材５６が設けられており、リング部材５６の側面には、小径孔５６Ａが設けられている。

なお、基本形状部５２は、スチールプレートにて作成されており、さらに、リング部材５６によって、容易に変形しないようになっている。

次に、第１実施形態に係るガイド部材の位置決め方法について説明する。

図４に示されるように、エアポット３６、３７（図７、図８参照）を可動させ、第１ガイドピン３０Ａ、第２ガイドピン３２Ａ、及び付勢ピン２８を、基本形状部５２から離間する離間位置に移動させる。

そして、位置決め冶具５０の脚部５４を基板テーブル２４の円孔４６へ嵌め込み、位置決め冶具５０を基板テーブル２４に載置する。これにより、基本形状部５２の外周縁５２Ａを位置決めされた基板２０の円形状部２０Ａ、及び直線部２０Ｂと同じ位置になるように配置する。

次に、図１、図３に示されるように、第１ガイド３０を、エアポット３６（図７参照）の押圧力で基本形状部５２へ向けて移動させる。第１ガイド３０は、第１ガイドピン３０Ａの外周面が基本形状部５２の外周縁５２Ａと当接すると停止する。この状態で、図７に示す第１ガイドブロック３０Ｂのストッパー３８の厚さを調整して第１ガイドピン３０Ａがこの位置で停止するように設定し、第１ガイドピン３０Ａの位置決め位置を決める。

同様に、図１、図３に示されるように、第２ガイド３２を、エアポット３６（図８参照）の押圧力で基本形状部５２へ向けて移動させる。第２ガイド３２は、第２ガイドピン３２Ａの外周面が基本形状部５２の外周縁５２Ａと当接すると停止する。この状態で、図８に示す第２ガイドブロック３２Ｂのストッパー３９の厚さを調整して第２ガイドピン３２Ａがこの位置で停止するように設定し、第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を決める。

このように、製造誤差により第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置がずれていても、位置決め冶具５０によって第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を正規の位置へ設定することができる。

次に、第１実施形態に係る基板の位置決め方法について説明する。

前述した第１実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを位置決め冶具５０によって位置決めした後、図４に示されるように、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを基本形状部５２から離間する離間位置に移動させる。

そして、図示せぬドライバーの先を位置決め冶具５０の小径孔５６Ａ（図５参照）に挿入し、ドライバーを持上げて、位置決め冶具５０を基板テーブル２４から取り外す。

次に、図１０に示されるように、基板２０を基板テーブル２４に載置する。

さらに、図９に示されるように、第１ガイド３０、及び第２ガイド３２をエアポット３６、３７（図７、図８参照）の押圧力で基板２０へ向けて移動させ、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを前述した位置決め位置で停止させる。

次に、付勢ピン２８によって、基板２０を押圧して基板２０を第１ガイドピン３０Ａ及び第２ガイドピン３２Ａに付勢し、基板２０を基板テーブル２４の所定位置に位置決めする。

さらに、吸引孔４２から空気を吸引することにより、基板２０を基板テーブル２４に吸い付ける。

なお、基板２０を基板テーブル２４から取り外す際は、付勢ピン２８、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを離間位置へ移動させ、さらに、排出孔４４から空気を排出させることで、基板２０を基板テーブル２４から取り外すことができる。

このように、製造誤差により第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置がずれていても、第１実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされた第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを使用して基板２０を基板テーブル２４に位置決めするため、基板２０を基板テーブル２４の所定位置に位置決めすることができる。

また、基板２０がずれた状態で吸引孔４２によって吸引すると、基板２０の縁部が波打つことがあるが、本発明では、基板２０を確実に基板テーブル２４の所定位置へ位置決めしてから、吸引孔４２で基板２０を吸引するため、基板２０の縁部の波打ちを防止することができる。

また、基板２０の縁部の波打を防止することができるため、高解像度の露光を行う場合でも、解像不良（デフォーカス）を防止することができる。

また、基板２０は基板テーブル２４の所定位置に位置決めされるため、基板２０上の正確な位置にパターンを転写することができる。

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、基本形状部５２の形状を基板２０と同一形状としたが、基本形状部５２の形状を、第１ガイドピン３０Ａ及び第２ガイドピン３２Ａが当る基板２０の外周縁の形状のみと同一形状としてもよい。

また、上記実施形態では、基板２０の位置決め方法を縮小投影露光装置１０の基板テーブル２４を例にとって説明したが、ダイシング工程等の他の工程に用いられる基板テーブルに用いてもよい。

次に、第２実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具６０について図１５から図１９に従って説明する。

なお、位置決め冶具５０と同一部材については、同一符号を付してその説明を省略する。

図１７に示されるように、位置決め冶具５０（図２参照）と違い、位置決め冶具６０のリング部材５６の上端には、基板２０（図１１参照）より一回り大きくされた基板６６（図１９参照）と同一形状の第二基本形状部６２が設けられている。なお、基板６６の外周縁は、基板２０の外周縁と同様に、円形状部６６Ａとオリフラ部としての直線部６６Ｂから構成されている。

さらに、第二基本形状部６２の上面には、図１８に示す基板テーブル２４の円孔４６に嵌めることで、第二基本形状部６２の外周縁６２Ａを位置決めされた基板６６の円形状部６６Ａ、及び直線部６６Ｂと同じ位置に配置する円筒状の第二脚部６４が設けられている。

次に、第２実施形態に係るガイド部材の位置決め方法について説明する。

なお、第２実施形態に係るガイド部材の位置決め方法は、位置決め冶具６０を使用して第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を正規の位置へ設定する方法である。

基本形状部５２を使用して第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を設定する方法については第１実施形態と同一であるため省略し、第二基本形状部６２を使用して第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を再度設定する方法について説明する。

図１６に示されるように、基本形状部５２によって第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を設定した後に、第二基本形状部６２を使用して位置決め位置を再度設定する場合は、先ず、付勢ピン２８、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを基本形状部５２から離間する離間位置に移動させる。

次に、図１８に示されるように、位置決め冶具６０を基板テーブル２４から取り外し、第二基本形状部６２が下側に向くように第二脚部６４を基板テーブル２４の円孔４６へ嵌め込み、位置決め冶具６０を基板テーブル２４に載置する。

これにより、第二基本形状部６２の外周縁６２Ａを位置決めされた基板６６の円形状部６６Ａ、及び直線部６６Ｂと同じ位置になる。

次に、図１５に示されるように、第１ガイド３０を、エアポット３６（図７参照）の押圧力で第二基本形状部６２へ向けて移動させる。第１ガイド３０は、第１ガイドピン３０Ａの外周面が第二基本形状部６２の外周縁６２Ａと当接すると停止する。この状態で、第１ガイドブロック３０Ｂのストッパー３８の厚さを調整して第１ガイドピン３０Ａがこの位置で停止するように設定し、第１ガイドピン３０Ａの位置決め位置を決める。

同様に、第２ガイド３２を、エアポット３７（図８参照）の押圧力で第二基本形状部６２へ向けて移動させる。第２ガイド３２は、第２ガイドピン３２Ａの外周面が第二基本形状部６２の外周縁６２Ａと当接すると停止する。この状態で、第２ガイドブロック３２Ｂのストッパー３９の厚さを調整して第２ガイドピン３２Ａがこの位置で停止するように設定し、第２ガイドピン３２Ａの位置決め位置を決める。

このように、位置決め冶具６０によって、第１ガイドピン３０Ａ，及び第２ガイドピン３２Ａを基板２０と異なる形状の基板６６を位置決めする位置決め位置へ設定することができる。

次に、第２実施形態に係る基板の位置決め方法について説明する。

前述した第２実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを位置決め冶具６０によって位置決めした後、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを第二基本形状部６２から離間する離間位置に移動させる。

次に、図示せぬドライバーの先を位置決め冶具６０の小径孔５６Ａ（図１７参照）に挿入し、ドライバーを持上げて、位置決め冶具６０を基板テーブル２４から取り外す。

次に、図１９に示されるように、基板６６を基板テーブル２４に載置する。

さらに、第１ガイド３０、及び第２ガイド３２を基板６６へ向けて移動させ、第１ガイドピン３０Ａ、及び第２ガイドピン３２Ａを前述した位置決め位置で停止させる。

次に、付勢ピン２８によって、基板６６を押圧して基板６６を第１ガイドピン３０Ａ及び第２ガイドピン３２Ａに付勢し、基板６６を基板テーブル２４の所定位置に位置決めする。

さらに、吸引孔４２から空気を吸引することにより、基板２０を基板テーブル２４に吸い付ける。

このように、位置決め冶具６０を使用して、異なる形状の基板２０と基板６６を基板テーブル２４の所定位置に位置決めすることができる。

本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した断面図である。 （Ａ）本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の平面図である。（Ｂ）本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される第１ガイド、及びレール部材等を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される第２ガイド、及びレール部材等を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブルを示した平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブルを示した斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される縮小投影露光装置の概略構成図である。 本発明の第２実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び位置決め冶具等を示した断面図である。 本発明の基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び第２実施形態に係る位置決め冶具等を示した断面図である。 （Ａ）本発明の第２実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の平面図である。（Ｂ）本発明の第２実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の側面図である 本発明の第２実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び位置決め冶具等を示した分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び基板等を示した分解斜視図である。

符号の説明

１０ 縮小投影露光装置
２０ 基板（第一基板）
２０Ａ 円形状部（外周縁）
２０Ｂ 直線部（外周縁）
２４ 基板テーブル
３０Ａ ガイドピン（ガイド部材）
３２Ａ ガイドピン（ガイド部材）
３４ レール部材（保持手段）
３５ レール部材（保持手段）
３６ エアポット（押圧部材）
３７ エアポット（押圧部材）
４６ 円孔（位置決め受部）
５０ 位置決め冶具
５２ 基本形状部（第一基本形状部）
５４ 脚部（第一位置決め部）
６０ 位置決め冶具
６２ 第二基本形状部
６４ 第二脚部（第二位置決め部）
６６ 基板（第二基板）
６６Ａ 円形状部（外周縁）
６６Ｂ 直線部（外周縁）

Claims (3)

1. 第一基板又は前記第一基板と異なる形状の第二基板の外周縁に当って、前記第一基板又は前記第二基板を基板テーブルに位置決めするガイド部材の位置決め方法であって、
   前記第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部と、前記第一基本形状部の裏面に設けられる前記第二基板と同一形状の第二基本形状部と、を備える位置決め冶具と、
   前記位置決め冶具の前記第一基本形状部に設けられた第一位置決め部と、
   前記位置決め冶具の前記第二基本形状部に設けられた第二位置決め部と、
   前記基板テーブルに設けられ、前記第一位置決め部又は前記第二位置決め部と嵌合して前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部を位置決めする位置決め受部と、
   前記ガイド部材を移動可能に保持する保持手段と、を有する位置決め構造に用いられ、
   前記位置決め受部に前記第一位置決め部又は第二位置決め部を嵌合させ、前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする工程と、
   前記第一基本形状部又は前記第二基本形状部に前記ガイド部材を押し当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する工程と、
   を備えることを特徴とするガイド部材の位置決め方法。
2. 請求項１記載のガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされたガイド部材に第一基板の外周縁を当てて前記第一基板を基板テーブルに位置決めすることを特徴とする基板の位置決め方法。
3. 前記基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられることを特徴とする請求項２記載の基板の位置決め方法。

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