CN1427902A - 由弹性材料作的电接触元件 - Google Patents

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Abstract

为了电接触及通过大的电解电流来电解处理、尤其是电镀很薄的导电层，使用了一种装置，该装置包括具有用于向处理物件6馈电的接触元件8的接触支承4，5，10，11，尤其是夹板、夹子，其中至少接触元件8的与处理物件6形成接触的接触面由弹性的导电材料作成。

Description

由弹性材料作的电接触元件
本发明涉及用于在电解处理中与待电解处理的物件、尤其是电镀物件相接触的装置及方法。对此主要涉及印刷电路板的电解电镀及电解腐蚀。
用于电解处理的物件是表面导电的。其内部由非导电材料组成的处理物件在其表面上仅具有很薄及对机械负荷很敏感的、被电解处理的金属层。该表面在电镀时被置成阴极，即该表面与一个直流电源的负极相连接。在该例中为阳极的反电极相应地与正极相连接。在电解腐蚀时其极性互换，处理物件则被置成阳极。
电流可用不同的方式方法被输送到处理物件。在浸渍槽设备中用所谓的支架或转动支架工作。通常使用弹性及导电的接触弓、夹紧螺钉或导线保持物件或同时用作馈电部分。支架适配于处理物件。
为了在物件支架上固定板状处理物件，也使用夹子。尤其在印刷电路板技术中，金属夹被加宽很多。它们以几厘米的间隔成排地设置在物件支架上。夹子在装载物件时张开。它们在湿化学处理期间通过弹簧抓住并支承板件。这些夹子同时用作馈电部分。
在连续式处理设备中，尤其是印刷电路板技术中电流主要借助夹子被导入印刷电路板。这些夹子同时用于在连续式处理设备中传送印刷电路板。
在DE36 12 220 C2中描述了一种夹子，它用于夹持地抓住板或板状部件、尤其是印刷电路板，以便在浸渍槽设备中电镀处理。这些夹子在那里称为保持钳。为了电接触，保持钳的夹前端接触在处理物件的表面上。
在EP-A 0 254 962中主要给出了一种用于夹持在水平连续式处理设备中处理的印刷电路板的夹子。在此情况下夹板也接触在印刷电路板上。这里夹板在其接触面上不是尖的，而是构成平面的。
此外在DE-OS 25 45 906中公开了一种用于在电镀槽中待镀层部件的保持装置。该装置包括一个金属框及一个框上的不透液的包封件，其中至少框的一部分未被包封，以使得由保持装置保持的部件的电接触可用环绕未包封部分的触头来实现。该触头是由包含导电颗粒的非导电、可压缩弹性载体构成的。当未被压缩时，该载体是非导电的。仅当该材料通过固定待处理部件受到压缩时，导电性才出现。
在DD-WP 71920中描述一种用于待电解处理工件的悬挂装置，它设有由带有一种高组分的金属粉未的硅树脂作的覆盖层。在该文件中的该实施形式被认为是有缺点的，因为覆盖层的制造是费事及昂贵的，并在工业应用中仅能维持短时间，因此它需要经常被更新。
精细电路技术需要愈来愈薄的铜镀层。由此可作到：在印刷电路板电镀后接着的腐蚀时可避免细导体腐蚀不足。因此使用譬如仅具有5μm厚度的铜基层来工作。在SBU印刷电路板技术(SBU：Sequential Build Up)中待电解增强的层小于1μm厚。在目前的设备中夹子中的电流强度每印刷电路板侧为20A至50A。反向脉冲电流技术的应用难以起作用。在可与直流电技术相比的金属沉积速度下，由于金属分解的反向电流使通过每个触头传输的有效功率再提高了25％。在这些极端的要求下公知的夹子接触难以奏效。该情况不仅适用于使用浸渍槽设备的印刷电路板技术，而且也适用于使用连续式处理设备的印刷电路板技术。该情况同样适用于在可比拟的情况下在浸渍槽设备中借助支架电镀其它的塑料部件。
因此本发明的任务在于，避免公知的方法及设备的缺点，并尤其可实现非常薄的导电层的电接触及电解处理，尤其用大电解电流进行处理。还包括这样的任务，即根据所谓的直接金属化方法处理薄的导电层。
该任务将通过权利要求1中所述的装置及权利要求12中所述的方法来解决。本发明的有利进一步构型描述在从属权利要求中。
根据本发明的装置及方法用于待电解处理的物件的电接触。对于电接触该装置包括具有将电流馈给处理物件、尤其是电镀物件的接触元件的接触支承。在根据本发明的方式中，至少接触元件的可与处理物件形成电接触的接触面由弹性的材料作成，并且它必需是导电的。主要是具有一个或两个可动腿的夹板，钳，夹子，弓形夹和弹簧适于作为接触支承。当接触元件平面地放置在处理物件上时出现的机械公差通过由弹性导电材料作的导电表面来补偿，以使得电解处理电流、尤其是电镀电流在接触元件的整个面上传输。
借助用于夹持及使处理物件与弹性的且同时导电性能很好的接触材料导电接触的装置，当处理物件被所述的夹板、夹子等夹持时总会出现的机械公差被表面相互平行的面接触元件完全补偿。并且处理物件的变形，如印刷电路板的弯曲或成型物件的圆角将被补偿。闭合力及由此电接触材料用于公差补偿所需的力通常可由弹簧施加。与公知的接触装置相比，根据本发明的装置由于大的接触面或很多的接触点能可靠地避免处理物件表面的机械损伤。由此出人意料地保证了在任何情况下无问题的电流传输。
相反地，用譬如DE36 12 220 C2中所述的装置，在电镀物件表面上产生的敏感层易于受损。这将导致，表面上的导电层中断及从夹子到处理物件的电流传输受阻或完全中断。如果用该公知的装置处理不同厚度的板及对此用保持钳保持，有时不是保持钳上的所有凸端均匀地接触在板表面上，以致在该情况下形成不充分的电接触。仅在对给定的保持钳一个确定的处理物件厚度时，所有的多个夹端才同样好地接触在板表面上。对于其它各厚度当两个夹端可卡入表面时，情况也是如此。但在此情况下，表面将受损，及在薄导电表面层、例如薄膜上导电接触将由此变得不可靠。在此条件下在大电镀电流时接触点上将出现燃烧。
在EP-A 0 254 962所述的装置中上述问题不应由此产生：即由一个拨销及槽组成的平行引导件应使触头接触在其整个表面上。结果已表明，由于技术上所需的拨销中的间隙及由于总会出现的制造公差实际上这是不可能作到的。在最佳情况下，夹臂为直线状，但实际上仅安装在其接触面的一个角上。由公差引起的从接触面到印刷电路板表面的微米范围中的距离已不足以传输所需的大电流。电流密度及由此在接触过渡电阻上的压降以及小接触角上的损耗功率将特别大。结果接触位置将变热得很厉害。在处理物件导电表面足够层厚的情况下，该热量可散出。在印刷电路板情况下在绝缘板上的铜层厚度迄今通常为17μm，其散热尚可。但在例外情况下，在该层厚上已出现所谓的夹子燃透点。
在使用根据本发明的装置的情况下不会出现上述公知装置的缺点。具有非常薄的导电层的同样材料可用大电流密度处理，而不会使导电层损坏。
在非常薄的导电层增强电解的情况下，有利的是，馈电接触元件从接触边缘到处理物件的过渡线非常大。当使用具有大周长的圆的接触元件或构成特别长的长接触元件时，可传输大电流。同样，当一个接触面有很多点与处理物件的表面可靠接触及由此接通电流时，也可达到目的。这同样可仅通过弹性的接触材料来实现。接触元件及处理物件周围表面区域的电流密度可在允许的范围内。由此可避免接触导电时的烧损。在大接触元件的情况下由于接触面大机械公差具有大的影响。如未使用根据本发明的接触元件，则仅是金属触头的一部分与处理物件表面相接触，以致导入处理物件中的电流将引起所述的缺点。微米范围中的该公差已算得上接触面的不平度。在不使用根据本发明的接触元件的情况下仅当大面积的平面平行刚性接触时才可避免所述不平度及在整个金属接触面上得到均匀的电流分布。
因此本发明在大面积接触元件时起到特别有利的作用。在使用支架时处理物件譬如通过弹簧压在平面支承上。为了向处理物件馈电，在用于保持处理物件的支架上设置接触支承、如接触弓，其中设有至少一个弹性固定的接触支承及至少一个刚性固定的接触支承来夹持物件，尤其是板状的处理物件。为了电接触，弹性固定的接触支承通过接触元件将处理物件压在刚性固定的接触支承的第二接触元件上。
在上述物件支架上的支承也有利地设有弹性接触材料。借助弹性接触材料将可在所有情况下保证理想的接触导电。接触元件及支承的平面平行性的公差可在极大程度上被补偿，及处理物件的弯曲及其它不平度也如接触元件本身的表面不平度那样得到补偿。这就在制造夹板，夹子及其它接触支承以及接触元件时允许精度小。由此可显著地节省成本。弹性接触材料的硬度根据DIN53 505在10至70肖氏A级硬度(Shore A)范围中。
作为弹性接触材料可使用金属/塑料复合材料，尤其由弹性塑料及高组分的导电填充材料构成的复合材料。它由弹性体如橡胶、硅或其它耐电化学的弹性材料组成。非完全硬化的导电胶材料，如在电子制造中所使用的导电胶也属此类。在制造时这种材料中混入导电的填充材料。由此形成金属/塑料复合物。
也称为填充成分的填充材料对于这种应用场合最好由粉未、纤维、针、小圆柱体、珠、薄片、毡形式的金属组成。这些填充材料的尺寸在纳米至约100微米的范围内。长纤维的直径及长度为几纳米至几毫米。填充材料份额占整个接触材料90％的重量百分比。随着填充材料份额的增加，金属/塑料复合物的弹性下降及电导率增大。这两个量将适配于应用状况。所有耐电化学及同时导电的材料适于作为填充材料。通常的填充材料例如为钛，铌，铂，金，银，贵金属及电碳。也可使用镀铂或镀金的颗粒，如钛、铜、铝或玻璃作成的珠。
在制造金属/塑料复合物时有利的是轻质材料如玻璃，铝或钛。相应轻质材料所需的电导率例如通过用铂，金或银的电解镀层来制造。在不镀层的钛或铝颗粒情况下，金属氧化物会防碍良好的电导率。特别有利的是金属空心珠。它们导电好及重量轻。可制造的这种珠的直径为0.2mm或更小，壁厚可选择。其范围例如为10微米。因此这里填充材料可具有的比重，可通过珠直径、尤其是珠壁厚的选择来精确地适配弹性材料的比重。因此在制造金属/塑料复合物时不会出现析出。该复合物特别均匀。
在制造金属/塑料复合物时轻质的填充材料在硬化时不倾向于析出。复合物保持很均匀，因此电导率总是足够高。利用很小尺寸的填充颗粒、即与所谓纳米结构相关的填充颗粒同样可得到良好的效果。在制造弹性导电材料时使用金属纤维或金属薄片仅导致很小的析出，也就是说可导致均匀金属/塑料复合物。通过均匀度可使弹性导电材料的寿命改善。整个导电横截面将流过相同电流密度。不会发生局部的过热。
用这些填充材料获得的弹性接触材料的电导率为10-3Ωcm，在特定情况下甚至可达10-4Ωcm。这与用于电解处理的金属如钛的电导率相比为小大约十倍的电导率。
弹性接触材料小一些的电导率在电流流过该材料时将引起相应大的电压降。由此产生比传统实心金属触头大的热量。因此根据本发明的夹板、钳、夹子、弓及弹簧最好这样构成，即仅是在处理物件接触面上前端部分被覆盖弹性材料。这就是说，弹性接触元件被选择具有小的高度，例如为1或2毫米高。由此可使所有实际上会出现的公差被可靠地补偿。通过理想接触的接触元件及由此通过理想的导电接触-尤其是在具有大尺寸的接触元件上-所达到的电流传输性能的增益相对所述传统金属触头过渡线来说好了多倍。由导电较次的弹性接触材料产生的附加热量实际上在允许的容差范围内，尤其是单位面积上产生的热负荷总地小于接触差的金属触头。此外在接触元件保持机构中(夹子，支架结构)的热量的大部分可被散出。
并且与公知的金属触头相比弹性接触材料大致三倍高的摩擦值起到有利的作用。尤其在垂直电镀技术中通过高的摩擦值能可靠地保持很重的处理物件。当传送或物件支承振动时这可避免物件的脱落。
为了防止脱落公知了金属接触支承，它被这样地安装在接触侧上，即将一个销穿过处理物件的孔插入对应接触支承中，及实际上悬挂着处理物件。这种结构的接触支承也可与根据本发明的弹性导电接触材料相结合同时用于良好地传输电流。为此该接触支承具有至少两个支承臂，其中一个支承臂在接触区域中具有一个销及另一支承臂在接触区域中设有一个孔，在接触元件及处理物件之间形成电接触时销插入到该孔中(对此参见图3c)。
也可使用尤其由细丝状金属纤维或相应的金属织物作为弹性导电材料构成的接触成形件来做接触元件，该弹性导电材料是弹性的、导电的及耐热的，可具有或不具有塑料复合物(塑料填充部分)，并均表明有良好的效果。在非常配线正确的金属织物的情况下可部分或全部地取消填充材料。
具有接触元件的接触支承可用不同的实施方式来制造：
例如弹性的导电接触元件可通过压入接触支承形成形状锁合。由此保证接触元件的简单更换。
在另一实施形式中，弹性的导电材料也可材料接合地与接触支承这样固定及导电地连接：例如通过硫化，借助导电胶粘接或通过喷铸。这些实施形式具有其优点，即高的耐化学负荷能力及耐处理液侵蚀的化学稳定性。
此外，弹性导电材料也可采用不影响接触元件的弹性的其它的接合技术被固定在接触支承上。
弹性接触元件尤其可这样地构成，即基本上仅在接触面的区域中具有高电导率。由此可保证，在实施金属电解方法时在接触元件上无金属分离。尤其是，接触元件可对电场屏蔽。
以下给出的附图用于详细地解释本发明。附图分别为：
图1a，1b：水平处理设备(图1a)及垂直处理设备(图1b)、尤其是电镀设备中的一个保持及接触夹及一个保持支架示范结构的侧视图；
图1c：作为图1b中剖面A-A的电镀支架的剖视俯视图：
图2a至2f：根据本发明的支架或夹子上的弹性接触元件的实施例的侧视图，其中夹子或支架上设有非导电的覆盖层，以避免夹子或支架体上不希望有的金属的沉积；
图3a至3c：支架或夹子的片段，其中夹子或支架体由裸的导电材料制成；这里在电镀槽中需要相应的逐渐减载设备，以防止不希望有的金属沉积。
图1a至1c给出了用于处理物件、尤其是电镀物件的保持及接触装置的普遍结构。只要在该装置上不设置根据本发明的由弹性的导电材料作的接触元件，这些图也同时代表公知的处理物件的保持及电接触装置的普遍结构。
图1a表示一个夹持装置例子的侧视图，该夹持装置以通常的方式使用在电镀的水平连续式处理设备中。连接馈电线1的夹持装置通过未示出的滑动触点与也未示出的电镀电源相连接。由固定的夹臂5及弹性支承臂4组成的夹子用其固定部分5固定在一个皮带或一个链上及在一个预定轨道上循环运行。当处理物件(这里为印刷电路板)进入传送设备中后，在该设备中的处理区段的开始位置上通过相应的装置使夹臂部分4由未示出的弹簧闭上及固定。在夹臂部分4及5的前部分上设有裸的金属接触面，它将电镀电流传输到处理物件6上。夹臂部分4，5与处理物件6一起被浸在槽液中。在该例中，液体达到由标号2表示的线位。为了继续支承及传送处理物件6，在电镀装置中设有带支承轮的轴3。
图1b及1c表示在垂直式电镀设备中用于印刷电路板电镀的支架的例子。在以片断表示的支架12上固定着垂直伸入槽中的各个扭杆支承13，该支架延伸在一个电镀槽的整个宽度上。支架夹弓11(图1b中未示出)与扭杆支承13刚性地连接。支架夹弓11在向着处理物件6的一侧上具有一个用于保持处理物件及用于馈电的接触面，在公知装置的情况下该接触面作为金属表面构成及为非弹性的。在根据本发明构思的这种装置的构型中，支架夹弓11的接触面由一种弹性的导电材料构成。在支架的下面设有支承臂16，它用于稳定向下伸入到处理容器内直至2米深的扭杆支架13。在该例中，在扭杆支架13上固定着带有支架夹弓10的两个可转动支承的杆14，以使得可在支承13的左侧及右侧固定处理物件6。如果支架以传统方式构成，在弓10上设有作为接触面的刚性金属面。而在根据本发明一个实施例的情况下，在这些位置上设有弹性的导电接触元件。借助弹簧15固定夹持在图1b中未示出的处理物件6。在处理后通过未示出的装置使扭杆14抵抗弹簧力转动及由此使支架打开。处理物件6可在该位置上用手或借助其它操作装置、如机器人从支架中被取出。因此该支架能很好地适用于自动化装备。
以下描述的根据本发明的实施形式可被设置在图1a至1c所示的装置中。只要在图2a至2f中表示相应接触装置的单个接触支承，则可附加地设置另一接触支承，以便使譬如电镀物件通过夹紧被保持。在第二个未示出的接触支承上也可如已示出的接触支承那样设置根据本发明的接触元件，其中设置在两个接触支承上的接触元件最好被这样地布置，即彼此直接地对面放置，以便在它们之间夹紧电镀物件。
在图2a中以片段表示出在一个未示出的扭杆上的夹弓10的前部分。夹弓10上设有一个非导电的塑料绝缘件7。由此可避免：夹弓10通过与处理液的接触被电解处理。此外由此也可作到：支架作为原料阴极对处理物件6起反应。在进行电镀处理程序时，这种原料阴极的反应将导致在支架夹弓10周围的区域中形成很小的层厚。该绝缘通常由一种塑料、如Halar作成。根据本发明的弹性接触元件8被导电地粘接、喷镀或硫化在夹弓10的顶端。在其直接对面设有未示出的同样构型的夹弓11。该夹弓也具有一个弹性接触元件8，由此可保证在处理物件两侧上可靠且均匀的电流传输。对接触元件8的弹性及高度这样地选择，即使得由于支架及处理物件6上公差引起的所有不平度得到补偿。
图2b及2c表示另一种支架夹弓10，11，其中弹性接触元件8以另一形式实施。在图2b中弹性接触元件8被侧向地插在绝缘件7中，以便尽可能地防止该位置上的金属沉积。
图2c中表示一种弹性接触元件8，它以蘑菇状被保持在支架夹弓中。这里不需要粘接或硫化。在该实施形式中特别有利的是，在损坏或磨损情况下具有易于更换接触元件的性能。也可采用不影响接触元件8的弹性及支承的旋拧或其它的接合技术。
图2d表示一个夹子对，其中处理物件6借助固定在未示出的传送装置上的固定夹臂部分5及可动的夹臂部分4被抓持。在此情况下，一个未示出的弹簧向夹臂部分5压着夹臂部分4。在夹臂部分4，5的弯曲端部，弹性的导电接触元件8被压入相应的孔中。同样这里也保证了弹性接触元件8的易更换性能。
图2e表示带有处理物件6的固定夹臂部分5，其中弹性接触元件8被作成蘑菇状，以便作到在夹臂部分5中特别牢固的保持并也可实现接触元件8的易于更换。
在图2f中，相对图2e来说在围绕弹性导电接触元件8的区域上装有附加的弹性包层9。在夹子抓持时，该弹性的非导电包封层9与导电的接触元件8被共同地压在一起并保证处理物件6的可靠保持。其目的在于，使导电的接触元件8被嵌入，以致在处理物件金属化期间在导电接触元件8的边缘上不会沉积不希望有的金属。否则这种金属层必需在夹子的下个夹持过程前被除去，及夹子必需被清洁，以便再形成该接触元件8所需的弹性。
图3a至3c表示未被绝缘的支架夹弓10，11。这里接触支承10，11的电场用其它的、安装在处理槽中的装置如遮挡板屏蔽。变换地，处理物件也可在槽液面的上方被接触。
在图3a的情况下，弹性导电接触元件8反拉伸在支架夹弓10上及止动在凸起18的后面。
在图3b中表示一个导电地粘接的或硫化的接触元件8，它被一个非导电的弹性绝缘层9包裹，以避免在弹性导电接触元件8的直接周围区域中不希望有的金属沉积。电绝缘包层9及接触元件8最好由具有不同导电性能的一个单元组成。该单元例如被卷边地包封在夹弓10上。
在图3c中表示具有弹性接触元件8及处理物件6的固定夹弓10及可动夹弓11。此外在固定夹弓11上装有一个销17，该销在变化状态中伸入到可动夹弓10的孔中。该销17穿过处理物件6中的相应孔并使处理物件绝对地固定及精确配合地锁止。并且这里弹性接触元件8也补偿了公差。但对于销的精确度没有高的要求。
所有例子中弹性导电接触元件可为旋转对称的或纵向延伸到图面中，例如作成椭圆或矩形的。对于在印刷电路板技术中的应用，长形的接触元件的基面例如为40乘2毫米。
该弹性接触元件例如可通过冲压，切割，模压，挤压或金属丝编织来制造。接触元件的插接及旋拧使得更换操作简单，而当磨损时经常需要更换。并且在公知的装置上金属的接触元件也经常需要更新。由于通常仅是点状的接触连接及由此产生很高的局部电流密度，接触元件也被磨损。并且在去除接触元件的金属沉积时也会去掉局部的金属。
在浸渍槽设备中的支架上也会出现例如一个弹簧腿及一个对应支承形式的单边馈电。在具有用于印刷电路板的单边支座的及其它单边夹子的支架上，对应支承、即支座可作成弹性及导电的。
在电镀时，当弹性接触元件会经受电解液中的电场时，弹性接触元件被电镀。在此情况下，为了清洁使接触装置有规律地去金属化，以保持其弹性。这或是通过电解方式或是化学方式进行。该弹性接触材料被这样地选择，即在实施相应的去金属化处理时是稳定的。
对于电镀成型物件、例如配件及其它空心物件，弹性的馈电部分最好用于电镀支架上。对此也经常涉及到其金属化表面极易于受损的塑料部件。根据本发明的接触元件也能有利地用于该应用场合。

Claims (22)

1.用于与待电解处理的物件电接触的装置，包括具有用于向处理物件馈电的接触元件的接触支承，其特征在于：至少接触元件(8)的与处理物件(6)可形成接触的接触面由弹性的导电材料作成。
2.根据权利要求1的装置，其特征在于：接触支承(4，5，10，11)被作成具有一个或两个可动腿的夹板，钳，夹子，弓形夹或弹簧。
3.根据权利要求1及2中一项的装置，其特征在于：至少一个弹性的导电接触元件(8)通过压入接触支承(4，5，10，11)形状锁合地卡入。
4.根据权利要求1及2中一项的装置，其特征在于：弹性的导电材料通过硫化、借助导电胶粘接或通过喷铸被固定地及导电地设置在接触支承(4，5，10，11)上。
5.根据权利要求1及2中一项的装置，其特征在于：弹性的导电材料通过不影响接触元件弹性的接合技术被固定在接触支承(4，5，10，11)上。
6.根据以上权利要求中一项的装置，其特征在于：接触元件(8)由具有高组分的导电填充材料的弹性塑料构成。
7.根据权利要求6的装置，其特征在于：导电的填充材料耐电解和/或化学侵蚀。
8.根据权利要求1至5中一项的装置，其特征在于：接触元件(8)由一种无塑料填充的、弹性的、导电的、耐化学及热的、相应成型的金属丝织物构成。
9.根据以上权利要求中一项的装置，其特征在于：接触元件(8)被这样地构成，即它基本上仅在接触面的区域中具有高导电率。
10.根据以上权利要求中一项的装置，其特征在于：接触支承(4，5，10，11)至少具有两个支承臂，其中一个支承臂(5，11)在接触区域中具有一个销(17)及另一支承臂(4，10)在接触区域中设有一个孔，在接触元件(8)与处理物件(6)之间形成电接触时销(17)可插入到该孔中。
11.根据以上权利要求中一项的装置，其特征在于：具有接触元件(8)的接触支承(10，11)被设置在用于夹持板状处理物件(6)的支架(14)上，其中设有用于夹持处理物件(6)的至少一个弹性固定的接触支承(10)及至少一个刚性固定的接触支承(11)，及弹性固定的接触支承(10)通过接触元件(8)将处理物件(6)压在刚性固定的接触支承(11)的一个第二接触元件(8)上。
12.用于与待电解处理的物件电接触的方法，其中处理物件通过设置在接触支架上的接触元件电触点接通，其特征在于：当接触元件(8)平面地放置在处理物件(6)上时出现的机械公差通过由弹性导电材料作的导电表面来补偿，以使得电解电流在接触元件(8)的整个面上传输。
13.根据权利要求12的方法，其特征在于：电流经过作为具有一个或两个可动腿的夹板，钳，夹子，弓形夹或弹簧构成的接触支承(4，5，10，11)馈给到处理物件(6)。
14.根据权利要求12及13中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个通过压入接触支承(4，5，10，11)形状锁合地卡入的弹性导电接触元件(8)馈给到处理物件(6)。
15.根据权利要求12及13中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，该接触元件通过硫化、借助导电胶粘接或通过固定地及导电地设置在接触支承(4，5，10，11)上的弹性导电材料的喷铸制成。
16.根据权利要求12及13中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，其中弹性的导电材料通过不影响接触元件弹性的接合技术被固定在接触支承(4，5，10，11)上。
17.根据权利要求12至16中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，接触元件(8)由具有高组分的导电填充材料的弹性塑料构成。
18.根据权利要求17的方法，其特征在于：选择耐电解和/或化学侵蚀的材料作为导电的填充材料。
19.根据权利要求12至16中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，接触元件(8)由一种无塑料填充的、弹性的、导电的、耐化学及热的、相应成型的金属丝织物构成。
20.根据权利要求12至19中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，接触元件(8)被这样地构成，即它基本上仅在接触面的区域中具有高导电率。
21.根据权利要求12至20中一项的方法，其特征在于：电流经过至少具有两个支承臂的接触支承(4，5，10，11)馈给到处理物件(6)，其中一个接触支承(4，5，10，11)的一个支承臂(5，11)在接触区域中具有一个销(17)及另一支承臂(4，10)在接触区域中设有一个孔，在接触元件(8)与处理物件(6)之间形成电接触时销(17)插入到该孔中。
22.根据权利要求12至21中一项的方法，其特征在于：电流经过至少一个接触元件(8)馈给到处理物件(6)，接触元件(8)被设置在接触支承(10，11)上，其中接触支承(10，11)被设置在用于夹持处理物件(6)的支架(14)上，其中设有用于夹持板状处理物件(6)的至少一个弹性固定的接触支承(10)及至少一个刚性固定的接触支承(11)，及弹性固定的接触支承(10)通过接触元件(8)将处理物件(6)压在刚性固定的接触支承(11)上的接触元件(8)上。
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