CN104685111A - 用于产品的保持装置和处理方法 - Google Patents

Abstract

一种用于产品(5)的处理的保持装置，该保持装置包括第一保持部分(41)和第二保持部分(42)。第一保持部分(41)包括至少一个第一电接触元件(13)，以用于建立与产品(5)的第一侧(6)的接触。第二保持部分(42)包括至少一个第二电接触元件(14)，以用于建立与产品(5)的第二侧(7)的接触，该第二侧与第一侧(6)相反地放置。第一保持部分(41)和第二保持部分(42)以如下方式布置：它们可以以可分开方式紧固至彼此以用于保持产品(5)。产品密封件(15、16)和壳体密封件(17)在处理状态下提供密封布置来防止流体渗透到至少一个第一电接触元件(13)和至少一个第二电接触元件(14)中。

Description

用于产品的保持装置和处理方法

技术领域

本发明涉及用于流电地处理(galvanically treating)，具体而言流电地涂覆平面产品(例如晶片)以便产生半导体元件、印刷电路板或箔片或待处理的其它平面产品的装置和方法。产品可以以例如圆形或矩形形式提供。

背景技术

为了以流电方式处理产品，所述产品放置在定位于处理容器中的电解质浴液(electrolyte bath)中。阳极布置在用于流电涂覆的处理容器中。金属借助于在阳极与产品之间施加电压而以流电方式沉积在产品上。保持装置用于待处理的产品，以便使得实现尽可能大的产品的使用范围，所述保持装置将产品保持在边界区域中。期望的是，产品可部分或完全自动地紧固至保持装置和从保持装置释放。

不同的应用可要求对产品的两侧进行流电处理。尽管两侧可使用不同的涂覆工序连续地涂覆，但是期望同时涂覆产品的两侧，以便例如有效地执行该方法。而且，可能需要同时处理两个产品的仅一侧。

存在对用于流电地处理产品的保持装置和方法的需要，该保持装置和方法提供关于上面提及的目标的优点。尤其存在对用于处理产品的保持装置和方法的需要，该保持装置和方法布置为用于同时涂覆产品的两侧。

发明内容

该目的通过具有在独立权利要求中公开的特征的保持装置和方法实现。在从属权利要求中限定了其它示范实施例。

用于处理产品的保持装置包括第一保持部分和第二保持部分。第一保持部分包括至少一个第一电接触元件以用于建立与产品的第一侧的接触。第二保持部分包括至少一个第二电接触元件以用于建立与产品的第二侧的接触，该第二侧与第一侧相反地放置。第一保持部分和第二保持部分以如下方式布置：它们可以以可分开方式紧固至彼此以用于保持产品。在处理之前，产品放置在打开的保持装置中，优选地放置在第一保持部分中，并且保持装置随后通过将第二保持部分连接至第一保持部分而闭合，并且因而将产品保持在适当位置。然后可进行处理。紧接该处理，保持装置通过从第一保持部分移除第二保持部分而打开，并且产品从打开的保持装置移除。该工作步骤可通过带有第一和第二保持部分的保持装置的简单构造而更简单地自动化，通过该保持部分闭合或打开保持装置，并且将该产品放置在保持装置中。在处理状态下，如果第一保持部分和第二保持部分紧固在一起，并且它们将产品保持在所述保持部分之间，那么产品密封件和壳体密封件提供密封布置，以防止流体渗透到至少一个第一电接触元件和至少一个第二电接触元件中。产品密封件可相对于保持装置在产品的两侧上产生密封布置。产品密封件防止液体渗透保持装置。这种保持装置尤其适于用于通过利用以电气方式同时接触产品的相反放置侧的电接触元件来在产品的两侧上同时沉积金属。

产品密封件以如下方式定位：其靠着由保持装置保持的产品放置。产品密封件可既在第一保持部分和产品之间又在第二保持部分和产品之间形成密封布置。壳体密封件以如下方式定位：在处理状态下，其在在第一保持部分和第二保持部分之间提供密封布置。

第一保持部分可包括绕保持装置的中间开口布置的多个第一电接触元件。第二保持部分可包括绕中间开口布置的多个第二电接触元件。第一电接触元件和第二电接触元件可在处理状态下以弹性方式靠着产品放置。产品密封件可绕中间开口延伸。壳体密封件可绕中间开口和产品密封件延伸。在处理状态下，产品密封件和壳体密封件可提供环形密封区域，在其中布置有第一电接触元件和第二电接触元件。在有利实施例中，产品密封件遵循产品的轮廓并且/或者壳体密封件遵循保持装置的外部轮廓。

保持装置可包括用于施加力的装置，该装置布置为用于将第一保持部分和第二保持部分紧固至彼此。

用于施加力的装置可提供为机械锁定机构。保持装置可以如下方式布置：当锁定机构在锁定状态下时，在平行于产品表面的方向上相对于产品产生至少一个第一电接触元件和至少一个第二电接触元件的尽可能小的移动。第二保持部分可包括锁定元件，该锁定元件可相对于至少一个第二电接触元件移动。锁定元件可相对至少一个第二电接触元件旋转或位移。

用于施加力的装置还可包括至少一个中空室和真空功率源，以便通过施加的真空将两个保持部分连接至彼此。中空室的至少一个壁由第一保持部分提供，并且中空室的至少一个其他壁由第二保持部分提供。保持部分可包括产品密封件与壳体密封件之间的第三密封件，该第三密封件在处理状态下防止气体和/或处理流体流入中空室中，因而在处理期间保持真空。保持部分还可包括第三和第四密封件，其中第三和第四密封件防止流体(尤其是气体和/或处理流体)流入中空室中，从而在处理期间保持真空。

用于施加力的装置可包括至少一个磁体，尤其是永久磁体。至少一个永久磁体可嵌入第一保持部分中，并且至少一个其他永久磁体可嵌入第二保持部分中。多个永久磁体可在第一保持部分中绕第一保持部分的中间开口并且/或者在第二保持部分中绕第二保持部分的中间开口布置。还可能提供具有永久磁体的一个保持部分和具有可被磁化材料的另一保持部分。除永久磁体外，至少一个电磁体可布置在第一保持部分和/或第二保持部分上。电磁体可以以如下方式布置：通过在电磁体中产生电流而降低磁力。这使得保持装置的打开和闭合的更简单工序是可能的。

第一保持部分和第二保持部分可以以导电方式连接至彼此。保持部分中的一个可包括电连接器元件，以便将其连接至电流或电压源。第一保持部分和第二保持部分可包括电导体，该电导体在处理状态下将至少一个第一电接触元件和至少一个第二电接触元件以导电方式连接至连接器元件。第一保持部分可包括第一传导性(尤其是金属)主体，并且第二保持部分可包括第二传导性(尤其是金属)主体，这些主体在处理状态下以平面方式一个靠着另一个地放置。在处理状态下，第一传导性主体和第二传导性主体的接触表面可布置在产品密封件与壳体密封件之间。第一保持部分和第二保持部分可沿着它们的传导性表面彼此靠着地放置，尤其是如果使用描述的磁力或真空力，则通过用于施加力的装置，以便将电流从一个保持部分传输至另一保持部分，而不需要通过弹性元件将保持部分彼此压靠。

产品密封件可包括附接至第一保持部分的一个第一密封唇缘，和附接至第二保持部分的第二密封唇缘。

保持装置可布置作为晶片保持器。

根据又一示范实施例，公开了一种系统，其包括处理容器和根据示范实施例的保持装置。

用于处理产品的方法包括将产品紧固至保持装置，该保持装置包括具有至少一个第一电接触元件的第一保持部分，和具有至少一个第二电接触元件的第二保持部分。第一保持部分和第二保持部分以如下可分开方式紧固至彼此：第一电接触元件靠着产品的第一侧放置，并且第二电接触元件靠着产品的第二侧放置，该第二侧与第一侧相反地放置，并且产品密封件和壳体密封件提供密封布置来防止流体渗透到至少一个第一电接触元件和至少一个第二电接触元件中。用处理流体处理由保持装置保持的产品。

在该方法期间，可同时流电地处理第一侧和第二侧。

保持装置与由所述保持装置保持的产品一起可相对于布置在流电浴液中的电极移动。该方法可包括：将产品靠着第一保持部分放置；和以可分开方式将第二保持部分紧固至第一保持部分，其中，这些步骤机械地且自动地执行。该方法可包括在处理之后机械地打开保持装置的步骤。

方法的其它特征对应于根据示范实施例的保持装置的特征。该方法可借助于根据示范实施例的装置来执行。

保持装置和方法可用于流电地涂覆平面产品，例如晶片。

附图说明

参照附图根据优选或有利示范实施例在下文进一步说明本发明。

图1是根据示范实施例的保持装置的透视图。

图2是如图1所示的保持装置的第二保持部分的透视图。

图3是如图1所示的保持装置的局部分解平面图。

图4是处于处理状态的如图1所示的保持装置的剖面图。

图5是根据示范实施例的保持装置的透视图。

图6是处于处理状态的根据示范实施例的保持装置的局部剖面图。

图7是处于处理状态的根据示范实施例的保持装置的局部剖面图。

图8是根据示范实施例的保持装置的第一保持部分的局部分解平面图。

图9是处于处理状态的根据示范实施例的保持装置的局部剖面图。

图10是具有根据示范实施例的保持装置的用于流电地涂覆的系统的示意侧视图。

具体实施方式

在用于流电地涂覆浸在流电浴液中的产品的方法的背景下描述示范实施例。产品可包括两个导电表面。虽然在晶片保持器的背景下描述了示范实施例，但保持装置和方法还可用于处理其它产品。在附图中，相同的标号指相同的元件。

图1是打开状态下的根据示范实施例的保持装置1的透视图，图2是保持装置1的第二保持部分的放大透视图，图3是局部分解平面图，并且图4是处于处理状态的剖面图。保持装置1包括第一保持部分11和第二保持部分12。第一保持部分11和第二保持部分12可借助于机械锁定机构以可分开方式紧固至彼此。产品以如下方式保持在第一保持部分11与第二保持部分12之间：仅利用保持装置1的边界区域建立接触，并且产品在该区域中以电气方式在两侧上接触。产品的处理区域延伸入第一保持部分11和第二保持部分12的中间开口中。第二保持部分12可安装在第一保持部分11中。第一保持部分11和第二保持部分12的中间开口可为圆形形状。

第一保持部分11包括第一电接触元件13，以用于在其第一侧上接触产品。第一电接触元件13可提供为弹性接触指状物，其被相对于由保持装置1保持的产品5预加应力。第一电接触元件13可在各情况下包括基本平面的部分，朝产品5的方向倾斜或弯曲的端部区段延伸至该平面部分，该端部区段接触产品。第一电接触元件13可布置成绕中间开口的圆形环。第一电接触元件13可附接至接触框架，尤其是接触环。第二保持部分12包括第二电接触元件14，以用于在其第二侧上接触产品。第二电接触元件14可与关于第一电接触元件13如述的那样提供，换而言之，它们可提供为弹性接触指状物，其被相对于由保持装置1保持的产品5预加应力。第二电接触元件14可在各情况下包括基本的平面部分，朝产品的方向倾斜或弯曲的端部区段延伸至该平面部分，该端部区段接触产品。第二电接触元件14可布置成绕中间开口的圆形环。第二电接触元件14可附接至又一接触框架，尤其是接触环。第一和第二电接触元件还可借助于机械器件来保持产品5。

第一保持部分11包括第一密封件的第一密封唇缘15，其还在下文中描述为产品密封件。第二保持部分12包括产品密封件的第二密封唇缘16。在处理状态下(其中保持装置1保持产品5)，第一密封唇缘15和第二密封唇缘16靠着产品5的相反侧6、7放置，并且密封在其中布置第一和第二电接触元件13、14的体积，从而防止处理流体的渗透。还描述为壳体密封件17的第二密封件可提供在第一保持部分11上和/或第二保持部分12上。壳体密封件17与产品密封件15、16结合地密封在其中布置有第一和第二电接触元件13、14的区域，从而防止处理流体的渗透。外部密封件30使第一保持部分的两个壳体部分相对于彼此密封。所述密封件可基本在外部边界区域(在一些示范实施例的情况下，第一保持部分的外部20mm的区域)中延伸(在一些示范实施例的情况下，达到其总长度的多于80％)，以便使借助于第一保持部分的壳体部分之间的间隙转移的流体的量最小化。产品密封件和壳体密封件17的密封唇缘15、16包括弹性材料。

电连接器元件2可附接至第一或第二保持元件。保持装置1包括电导体，该电导体集成在保持部分中，该导体在处理状态下将连接器元件2连接至金属主体29，以便使得能够对第一电接触元件13和第二电接触元件14供应电流。第一保持部分11可包括嵌入于其中的金属主体29，该主体以导电方式连接至连接器元件2和第一电接触元件13。对第二电接触元件14的传导性连接可借助于位于接触环18和19之间的传导性弹性元件(未示出)而产生。接触元件13和14位于对应的接触环18和19上。因此，可对产品的两侧施加相同的电位。

为了靠着第一保持部分11保持第二保持部分12，保持装置包括锁定机构。锁定机构可以以如下方式提供：其施加使保持部分被相对于彼此压靠的力。锁定机构可在保持部分中的一个上(例如在第二保持部分12上)包括突起21，该突起可在另一保持部分上定位在对应的接收装置23中。突起21可首先插入开口22中，以便以可分开方式紧固保持部分。突起21可借助于旋转移动而移动到接收装置23中。接收装置23可沿周向方向以如下方式形成：第二保持部分12首先必须被沿朝第一保持部分11的方向进一步推动，以便使得突起21能够移动到接收装置23中且然后离开第一保持部分12稍微向回移动。

锁定机构以如下方式提供：在闭合和打开保持装置的工序期间，在保持部分的直接靠着产品放置的那些部分与产品自身之间不存在相对移动。出于该目的，第二保持部分12可包括相对于彼此移动的多个构件。第二保持部分12可包括锁定环26，突起21附接至该锁定环26，并且该锁定环26可相对第二密封唇缘16和第二电接触元件14旋转和/或位移。密封唇缘16、具有第二电接触元件14的接触环19和支撑环26a可以以不可旋转方式连接至第二保持部分12的覆盖环20。导向元件27位于覆盖环20上，该导向元件与闭合环26中的槽道28一起限定路径，该路径用于闭合环相对于覆盖环20的旋转。

为了在以突起21插入开口22中的方式安装产品5和定位第二保持部分12之后闭合保持装置1，在相对于产品平面的垂直方向上对导向元件27施加力。因而，第二保持部分12移动到第一保持部分11中，直至距离元件在另一保持部分11、12上的限制表面25b上靠着保持部分11、12放置。当降低保持部分12时，元件25和25b限制最大行程。因而，即使自动闭合机构提供更大的力，仅限定的最大的力借助于接触元件13、14施加在产品上。随后，闭合环可使用少量的力而旋转，因为接收装置23相对于突起21具有充足的游隙。然后，移除导向元件27上的垂直力，并且产品保持在保持装置中准备处理。可借助于接合保持部分11、12上的切口25中的锁定元件24来建立相对于旋转的锁定，以一方面防止产品密封件与接触元件之间的相对移动，且另一方面防止与产品之间的相对移动。锁定元件24可同时将接触环18紧固至第一保持部分11上的第一电接触元件13。可同时使用距离元件25a，以便在产品放入保持部分11、12中时使产品居中。所述距离元件布置绕产品5布置。

保持装置1以反向方式打开，换而言之，通过使用相对于产品平面垂直的力方向对导向元件27施加垂直力，通过反转和/或解锁闭合环26，终止垂直力，从第一保持部分11移除第二保持部分12并且从第一保持部分11移除产品5。

保持装置1以如下方式提供：在处理状态下，保持装置的导电构件(该构件以导电方式连接至连接器元件2)不与处理流体接触。保持装置1可在外部表面上包括绝缘材料的构件和/或包括绝缘覆层。如例如在图4中的剖面图中示出的，第一壳体部分可包括金属主体29，其外部由绝缘构件围绕。壳体密封件17与另一密封件30一起可密封金属主体29，以便防止处理流体的流入。

如在图4中的剖面图中还可看到，产品5的相反放置侧6、7可借助于第一电接触元件13和第二电接触元件14以电气方式接触。其中布置有第一电接触元件13和第二电接触元件14的区域借助于具有密封唇缘15、16的产品密封件和壳体密封件17密封，以便防止来自外部的流体的渗透。

备选地或除了机械锁定机构之外，用于将保持部分紧固至彼此的的力还可以以另一方式产生。

图5是闭合状态下的保持装置31的透视图。产品5可在中间开口32中延伸。保持装置31可包括两个保持部分41、42，它们通过在中空室中生成真空而紧固至彼此。该类型的保持部分41、42的实施例参照在图6和图7中显示的剖面图进一步描述。保持装置31可包括两个保持部分61、62，它们借助于磁力紧固至彼此。该类型的保持部分61、62的实施例参照在图8和图9进一步描述。在参照图5至图9描述的保持装置的情况下，保持部分包括可如参照图1至图4描述地提供的电接触元件。如参照图1至图4所描述的，保持装置还包括产品密封件和壳体密封件。

图6是示出保持装置31的局部剖面图，保持装置31在产品5的边界区域中具有第一保持部分41和第二保持部分42。第一电接触元件13接触产品的第一侧6。第二电接触元件14接触产品的第二侧7。第一和第二电接触元件可各情况下提供为接触指状物，该接触指状物绕中间开口32布置。防止流体流入电接触元件13、14中的密封布置通过产品密封件和壳体密封件17提供，该产品密封件具有靠着产品5放置的密封唇缘15、16，壳体密封件17在保持部分41、42之间。壳体密封件17可附接在第一保持部分41上的凹槽中。

保持装置31包括中空室50。中空室50的至少一个壁由第一保持部分41提供。中空室50的至少一个其他壁由第二保持部分42提供。借助于例如泵的真空功率源58借助于管线59和保持装置31上的连接器连接至中空室50。保持装置31包括将中空室50连接至连接器的集成导管。通过在中空室50中产生真空来产生力，该力将第一保持部分41和第二保持部分42紧固至彼此。为了维持真空，壳体密封件17与另一密封件49密封中空室50，以便防止气体和处理流体的流入。真空在保持部分之间，不在产品和保持装置之间产生。为了维持真空，保持装置的真空室可例如借助于阀而闭合。

为了维持充足的真空，保持装置需要提供真空储蓄器。出于该目的，中空室50可提供为相对大。备选地，为另一中空室的形式的分离的储蓄器可连接至中空室50。该另一中空室可提供为相对于中空室50不可锁定。此外，另一中空室可包括可联接至真空功率源的连接。保持装置的整个真空区域可借助于分离的储蓄器和联接件之间的阀而以如下方式闭合：在断开状态下，维持保持装置中的真空。

中空室可配备有对应的真空传感器，以便例如能够及时地探测到不可接受的真空故障。

由于使用真空以便产生力，故不需要提供用于从一个保持部分向另一个保持部分传递电流的任何弹性元件和/或使两个保持部分41、42被靠着彼此推的机械锁定元件。这使得能够以如下方式实现保持部分41、42的实施例：保持部分包括表面，保持部分41、42沿着该表面彼此靠着地放置。第一保持部分41因而包括具有外部表面44的第一金属主体43。第二保持部分42包括具有外部表面47的第二金属主体46。保持部分41、42至少沿着金属主体的表面44、47以平面方式靠着彼此放置。两个保持元件41、42之间的导电连接也可以此方式产生。如果用于电流或电压供应的电连接器元件2仅附接至保持部分41、42中的一个，那么对另一保持部分的电接触元件的导电连接可借助于金属主体43、46产生。第一金属主体43可以借助于接触环18以导电方式连接至第一电接触元件13。第二金属主体46可以借助于接触环19以导电方式连接至第二电接触元件14。金属主体43和46可包括如下特征，它们都在处理状态下同时使用，以产生对彼此的直接的电接触，并且还作为止动件来限制第一保持部分41和第二保持部分42朝彼此的移动，并因而限制接触元件在产品上的接触力。

第一保持部分41可包括绝缘构件45，绝缘构件45覆盖第一金属主体43的外部。第二保持部分42可包括绝缘构件48，绝缘构件48覆盖第二金属主体46的外部。备选地，金属主体43、46也可提供为具有外部表面上的电绝缘覆层。

为了将产品5紧固至具有保持部分41、42的保持装置31，产品可放置在保持部分41、42之间。启动真空功率源58，以便产生中空室50中的真空。为了移除产品，作为实例，真空减弱至环境压力，并且保持部分41、42与彼此分开。这些步骤在各情况下可自动地执行。

图7是示出保持装置31的局部剖面图，保持装置31在产品5的边界区域中具有第一保持部分41和第二保持部分42。第一保持部分41和第二保持部分42包括与参照图6描述的实施例基本对应的实施例。但是，在图7所示的保持装置31的情况下，除了具有密封唇缘15、16的产品密封件和壳体密封件17之外，提供分离的第三密封件51和第四密封件52，该第三和第四密封件防止气体流入中空室50中。在图7所示的实施例的情况下，壳体密封件17不需要也提供密封布置以便防止气体的流入。如图7所示的保持装置31的其它特征和作用模式对应于参照图6描述的特征和作用模式。

备选地或除了真空的使用之外，保持装置31可包括用于施加力的不同装置，其将两个保持部分紧固至彼此。例如，可使用磁力。

图8是该类型的保持装置的第一保持部分61的局部分解平面图。图9是示出保持装置31的局部剖面图，保持装置31在产品5的边界区域中具有第一保持部分61和第二保持部分62。如在参照图1至7描述的对应的实施例中，第一电接触元件13接触产品的第一侧6。第二电接触元件14接触产品的第二侧7。第一和第二电接触元件可在各情况下提供为接触指状物，该接触指状物绕中间开口32布置。防止流体渗透的电接触元件13、14的密封布置通过产品密封件和壳体密封件17实现，该产品密封件具有密封唇缘15、16，壳体密封件17在保持部分61、62之间。壳体密封件17可包括第一保持部分61上的凹槽73中的密封环和/或第二保持部分62上的凹槽74中的密封环。

保持部分中的至少一个包括一个或多个磁体。例如，第一保持部分61可包括多个磁体71。磁体71可嵌入第一保持部分61中。磁体71可绕中间开口32布置。磁体71可包括一个或多个永久磁体。第二保持部分62可包括磁体72，磁体72包括对应的布置。此外，保持部分61、62中的至少一个可包括电磁体。该电磁体布置且定位成如下方式：大体在保持部分61、62之间作用的力可通过在预定方向上流动穿过电磁体的电流而减小。

由于施加使两个保持部分61、62被靠着彼此保持的磁力，故两个保持部分61、62的金属主体可以与参照图6和图7描述的相似的方式以平面方式一个靠着另一个地放置。第一保持部分61可因而包括具有表面44的第一金属主体43。第二保持部分62包括具有表面47的第二金属主体46。保持部分61、62至少沿着金属主体43、46的表面44、47以平面方式一个靠着另一个地放置。如参照图6所描述的，两个保持部分61、62之间的导电连接可以以此方式产生。此外，金属主体43、46还产生保持部分61、62的机械强化，这降低了保持部分61、62可弯曲到的程度。磁体71、72可嵌入金属主体43、46中的对应切口中。

为了将产品5紧固至具有保持部分61、62的保持装置31，产品可靠着第二保持部分62放置。第一保持部分61可借助于用于闭合保持装置的机器移动为更接近第二保持部分62，从而闭合直至保持部分61、62靠着彼此放置。机器可接合在第一保持部分61上的凹部75中。为了移除产品，用于闭合保持装置的机器可移动回到凹部75中，以便使保持装置61、62彼此分开。如果保持部分中的至少一个包括电磁体，那么电磁体和/或(多个)电磁体可供应有电流，以便减小用于打开保持装置的有效力。用于闭合保持装置的机器可在打开和/或闭合保持装置时支撑产品5。

根据所有描述的示范实施例的保持装置可以如下方式布置：导电部分(对其施加电位并且/或者供入电流)相对于处理流体电绝缘。出于该目的，保持装置的围绕导电材料的外部构件可包括电绝缘材料。导电材料(例如保持部分的金属主体)可设有绝缘覆层。

当使用根据示范实施例的保持装置时，保持装置可与保持在所述保持装置上的产品一起浸在流电浴液中。使具有待处理产品的保持装置相对于对电极(例如，阳极)移动，反电极在处理容器中平行于产品地布置。

图10示出了用于流电地涂覆待处理的制品的系统81的示意图。系统81包括处理容器82，在其中，流电浴液84填充至溶液水平85。电极83可以以如下方式紧固至处理容器82或至分离的储槽：它们突入流电浴液84中。根据示范实施例的保持装置1或31附接至支撑件86，该支撑件86以可移动方式安装，以便保持装置可浸在流电浴液84中，并且随后被拉出流电浴液84。支撑件86还可包括电压或电流供应线，其联接至保持装置的连接器元件2。

在其它示范实施例的情况下，可使得实现详细描述和在附图中示出的示范实施例的修改。具体而言，可备选地或额外地使用其它机构，以便将保持装置的保持部分紧固至彼此。用于施加力的装置可包括夹具，夹具附接至保持部分的外部侧。用于施加力的装置可包括咬合动作机构，其可例如通过压缩空气而启动。与使用真空时的情况相似，保持装置可包括用于压缩空气的对应导管。用于施加力的装置可包括链条，该链条被引导到保持部分的一个中的凹槽中。链条包括开口，开口可通过另一保持部分上的对立元件而移动。开口可由反向元件通过拉紧链条而移动，以便力作用在保持部分之间。链条从布置在溶液水平上方的位置排出保持装置，即使产品完全浸在流电浴液中。用于施加力的装置可包括楔或销，其可在保持装置的至少一侧处或在保持装置的多侧处插入，以便将保持部分紧固至彼此。用于施加力的装置以如下方式有利地布置：闭合保持装置的工序和打开保持装置的工序可机械地自动化。用于施加力的装置此外在各情况下以如下方式有利地布置：在产品与保持装置的直接靠着产品放置的那些部分之间不存在平行于产品的相对移动。

可使用不同材料，以便在保持装置内提供导电连接。例如，保持部分的金属主体可由钛形成或可包括钛。

根据不同示范实施例的保持装置和方法可在产品的处理期间使用，例如来流电地涂覆包括导电表面的产品的两侧。保持装置还适用于或者布置为用于同时处理两个产品的仅一侧。出于该目的，相同形状的两个产品背靠背地保持且否则以上面描述的方式保持。例如处于密封件的形式的间隔元件(例如，弹性间隔元件)可在两个产品的外部边缘处定位在它们之间。优选地，产品上的间隔元件恰好与接触元件在它们接触产品的地点处相反。

可提供为接触环和/或接触框架的一部分的接触元件可以以弹性方式有利地提供并且还可为可互换的。因而，取决于产品的要求(其例如可关于厚度或导电表面而不同)，可通过接触元件施加适当的接触力。出于该目的，接触框架(例如，接触环)作为保持器的一部分是可互换的。不同的接触框架可在它们的外部轮廓中相似。不同接触框架的接触指状物可尤其关于接触元件的长度而不同。

描述的所有示范实施例具有有利的居中元件，以便将产品精确地定位在保持器中。该产品居中还可用于使间隔元件在两个产品之间居中。

参考标号列表

1          保持装置

2          连接器元件

5          产品

6          第一侧

7          第二侧

11           第一保持部分

12           第二保持部分

13           第一电接触元件

14           第二电接触元件

15,16   产品密封件的密封唇缘

17           壳体密封件

18,19   接触环、接触框架

20           覆盖环

21           突起

22           开口

23           接收装置

24           锁定元件

25           切口

25a       距离元件

25b       限制表面

26           闭合环

26a       支撑环

27           引导元件

28           槽道

29           金属主体

30           外部密封件

31           保持装置

32           中间开口

41           第一保持部分

42           第二保持部分

43           金属主体

44           承受表面

45           绝缘构件

46           金属主体

47           承受表面

48           绝缘构件

49           第三密封件

50           中空室

51           第三密封件

52           第四密封件

58           真空功率源

59           管线

61           第一保持部分

62           第二保持部分

71,72    磁体

73,74    凹槽

81           处理系统

82           处理容器

83           电极

84           流电浴液

85           溶液水平

86         支撑件。

Claims (10)

1. 一种用于流电处理、尤其是产品(5)的两侧的处理的保持装置，其中，所述保持装置(1；31)包括：

第一保持部分(11；41；61)，其具有至少一个第一电接触元件(13)，以用于建立与所述产品(5)的第一侧(6)的接触，和

第二保持部分(12；42；62)，其具有至少一个第二电接触元件(14)，以用于建立与所述产品(5)的第二侧(7)的接触，该第二侧与所述第一侧(6)相反地放置，

其中，所述第一保持部分(11；41；61)和所述第二保持部分(12；42；62)以如下方式布置：它们可以以可分开方式紧固至彼此，以用于保持所述产品(5)，

其中，产品密封件(15、16)和壳体密封件(17)在处理状态下提供密封布置，以防止流体渗透到所述至少一个第一电接触元件(13)和所述至少一个第二电接触元件(14)中。

2. 根据权利要求1所述的保持装置，其特征在于，其包括用于施加力的装置(21、22、23；50、58、59；71、72)，该装置布置为用于将所述第一保持部分(11；41；61)和所述第二保持部分(12；42；62)紧固至彼此。

3. 根据权利要求2所述的保持装置，其特征在于，用于施加力的所述装置(50、58、59)包括至少一个中空室(50)和真空功率源(58)，其中，所述中空室(50)的至少一个壁由所述第一保持部分(41)提供，并且所述中空室(50)的至少一个其他壁由所述第二保持部分(42)提供。

4. 根据权利要求3所述的保持装置，其特征在于，所述保持装置(31)包括第三密封件(49；51)，所述第三密封件(49；51)在处理状态下防止流体流入所述中空室(50)中。

5. 根据权利要求2至4中的任一项所述的保持装置，其特征在于，用于施加力的所述装置(71、72)包括至少一个磁体(71、72)。

6. 根据权利要求2至5中的任一项所述的保持装置，其特征在于，所述第一保持部分(41；61)包括第一金属主体(43)，并且所述第二保持部分(42、46)包括第二金属主体(46)，如果用于施加力的所述装置(50、58、59；71、72)将所述第一保持部分(41；61)和所述第二保持部分(42；62)紧固至彼此，那么这些金属主体以平面方式一个靠着另一个地放置。

7. 根据权利要求2至6中的任一项所述的保持装置，其特征在于，用于施加力的所述装置包括机械锁定机构(21、22、23)。

8. 根据前述权利要求中的任一项所述的保持装置，其特征在于，所述产品密封件(15、16)包括附接至所述第一保持部分(11；41；61)的第一密封唇缘(15)和附接至所述第二保持部分(12；42；62)的第二密封唇缘(16)，并且

其中，所述至少一个第一电接触元件(13)和所述至少一个第二电接触元件(14)布置在所述产品密封件(15、16)与所述壳体密封件(17)之间。

9. 一种用于处理产品(5)、尤其是待流电地涂覆的晶片的方法，包括：

将所述产品(5)紧固至保持装置(1；31)，所述保持装置(1；31)包括具有至少一个第一电接触元件(13)的第一保持部分(11；41；61)，和具有至少一个第二电接触元件(14)的第二保持部分(12；42；62)，其中，所述第一保持部分(11；41；61)和所述第二保持部分(12；42；62)以如下可分开方式紧固至彼此：所述第一电接触元件(13)靠着所述产品(5)的第一侧(6)放置，所述第二电接触元件(14)靠着所述产品(5)的第二侧(7)放置，该第二侧与所述第一侧(6)相反地放置，并且产品密封件(15、16)和壳体密封件(17)提供密封布置来防止流体渗透到所述至少一个第一电接触元件(13)和所述至少一个第二电接触元件(14)中，和利用处理流体处理由所述保持装置(1；31)保持的所述产品(5)。

10. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述保持装置(1；31)与由所述保持装置保持的所述产品(5)一起相对于电极(83)移动，所述电极(83)布置在流电浴液(84)中。