TWI583828B - 用於一產品之固持裝置及處理方法 - Google Patents

Description

用於一產品之固持裝置及處理方法

本發明係關於用於流電處理之一種裝置及一種方法，特定言之，用於流電塗佈一平面產品(例如晶圓)以產生半導體元件、印刷電路板或箔或其他要處理之平面產品。可(例如)以一圓形或矩形之形式提供產品。

為了依一流電之方式處理產品，產品被放置在定位於一處理容器中之一電解質鍍液中。陽極配置於處理容器中用於流電塗佈。藉由在陽極與品之間施加一電壓，金屬依一流電之方式沈積於產品上。固持裝置用於所要處理之產品以呈現該產品之盡可能大之一可能使用範圍，該等固持裝置在一邊界區域中固持該產品。需要使產品可部分地或整體地自動緊固至固持裝置及自固持裝置釋放。

不同的應用需要流電處理產品之兩側。儘管可使用不同的塗佈程式依序塗佈該兩側，但為了有效率地實行方法，需要(例如)同時塗佈產品之兩側。此外，需要同時處理兩個產品之僅一側。

需要用於流電處理一產品之固持裝置及方法，該等固持裝置及方法提供關於上述目的之優點。尤其需要用於處理一產品之固持裝置及方法，該等裝置及方法經配置用於同時塗佈產品之兩側之目的。

此目的由具有在獨立技術方案中所揭示之特徵之一裝置及一方法達成。獨立技術方案中界定進一步例示性實施例。

一種用於處理產品之固持裝置包括一第一固持部件及一第二固 持部件。該第一固持部件包括用於與該產品之第一側建立一接觸之至少一第一電接觸元件。該第二固持部件包括用於與該產品之一第二側建立一接觸之至少一第二電接觸元件，該第二側置於該第一側對面。為了固持產品之目的，該第一固持部件及該第二固持部件經配置使得其等可依一可拆卸的方式彼此固定。在處理之前，產品被放置於敞開的固持裝置中(較佳地放置於第一固持部件中)且隨後藉由將第二固持部件接觸至第一固持部件之方式而使固持裝置關閉且因此產品被固持於適當位置。接著，可執行處理。在處理之後，藉由自第一固持部件移除第二固持部件而使固持裝置敞開且自該敞開的固持裝置移除產品。可藉由具有第一固持部件及第二固持部件之固持裝置之一簡單構造而更容易地自動化工作步驟，固持裝置經由該等固持部件被關閉或敞開且產品被放置於該固持裝置中。在一處理狀態中，若第一固持部件與第二固持部件被固定在一起且其等將產品固持於該等固持部件之間，則一產品密封件及一外殼密封件提供一密封配置，以防止流體穿透至該至少一第一電接觸元件及該至少一第二電接觸元件中。該產品密封件可相對於固持裝置在產品之兩側上產生一密封配置。該產品密封件防止流體穿透該固持裝置。此一固持裝置尤其適用於利用依一電之方式同時接觸產品之面對面置放側之電接觸元件在產品之兩側上同時沈積一金屬。

產品密封件依一方式經定位使得其抵靠被固持裝置固持之產品而置放。該產品密封件可在第一固持部件與第二固持部件之間及第二固持部件與產品之間產生一密封配置。外殼密封件依一方式經定位使得在一處理狀態中，其在第一固持部件與第二固持部件之間提供一密封配置。

第一固持部件可包括圍繞固持裝置之一中間開口配置之複數個第一電接觸元件。第二固持部件可包括圍繞該中間開口配置之複數個 第二電接觸元件。該等第一電接觸元件及該等第二電接觸元件在處理狀態中可依一彈性方式抵靠產品置放。產品密封件可延伸圍繞該中間開口。外殼密封件可延伸圍繞該中間開口及該產品密封件。在處理狀態中，該產品密封件及該外殼密封件可提供其中配置該等第一電接觸元件及該等第二電接觸元件之一環形密封區域。在一有利的實施例中，產品密封件依循產品之輪廓及/或外殼密封件依循固持裝置之外部輪廓。

固持裝置可包括用於施加一力之一裝置，該裝置經配置用於使得第一固持部件與第二固持部件彼此緊固之目的。

可提供用於施加該力之裝置作為一機械鎖定機構。該固持裝置可依一方式經配置使得當鎖定機構在鎖定狀態時，至少一第一電接觸元件及至少一第二電接觸元件在平行於該產品之表面之一方向上相對於該產品產生盡可能少的移動。該第二固持部件可包括可相對於該至少一第二電接觸元件移動之一鎖定元件。該鎖定元件可相對於該至少一第二電接觸元件旋轉或移位。

用於施加力之裝置亦可包括至少一中空腔室及一真空電源以藉由一施加之真空將兩個固持部件彼此連接。第一固持部件提供該中空腔室之至少一壁，且第二固持部件進一步提供該中空腔室之至少一壁。該固持部件可包括處於產品密封件與外殼密封件之間之一第三密封件，該第三密封件在處理狀態中防止氣體及/或處理流體流動至中空腔室中，因此在處理期間保持真空。固持裝置亦可包括一第三密封件及第四密封件，其中該第三密封件及第四密封件防止流體(尤其氣體及/或處理液體)流動至中空腔室中，因此在處理期間保持真空。

用於施加力之裝置可包括至少一磁體，特定言之一永久磁體。至少一永久磁體可嵌入至第一固持部件中且至少一進一步永久磁體可嵌入至第二固持部件中。複數個永久磁體可在該第一固持部件中圍繞 該第一固持部件之一中間開口及/或在該第二固持部件中圍繞該第二固持部件之一中間開口而配置。提供具有永久磁體之一固持部件及具有可被磁化之材料之其他固持部件亦可行的。除了永久磁體之外，至少一電磁體亦可配置於該第一固持部件及/或該第二固持部件上。該電磁體可依一方式配置使得藉由在該電磁體中產生一電流而減少磁力。這呈現敞開及關閉固持裝置之一較簡單程序之可能。

第一固持部件及第二固持部件可依一導電方式彼此接觸。該等固持部件之一者可包括一電連接器元件以將其連接至一電流或電壓供應源。該第一固持部件及該第二固持部件可包括在處理狀態中將至少一第一電接觸元件及至少一第二電接觸元件依一導電方式連接至連接器元件之電導體。該第一固持部件可包括一第一導電(特定言之，金屬)本體及該第二固持部件可包括一第二導電(特定言之，金屬)本體，該等本體在處理狀態中依一平坦方式相互抵靠置放。在處理狀態中，該第一導電本體及該第二導電本體之接觸表面可配置於產品密封件與外殼密封件之間。該第一固持部件及該第二固持部件可沿其等導電表面彼此抵靠置放，尤其當用於施加力之裝置使用所描述之磁力或真空力將電流自一固持部件傳輸至另一固持部件時，無需透過彈性元件使該等固持部件彼此抵靠按壓。

產品密封件可包括附接至第一固持部件之一第一密封唇及附接至第二固持部件之一第二密封唇。

固持裝置可經配置為一晶圓固持件。

根據一進一步例示性實施例，揭示一種系統，其包括一處理容器及根據一例示性實施例之一固持裝置。

一種用於處理一產品之方法包括將該產品緊固至一固持裝置，該裝置包括具有至少一第一電接觸元件之一第一固持部件及具有至少一第二電接觸元件之一第二固持部件。該第一固持部件與該第二固持 部件依一可拆卸之方式彼此固定使得：該第一電接觸元件抵靠該產品之一第一側置放；該第二電接觸元件抵靠該產品之一第二側置放，該第二側置於該第一側對面；及一產品密封件及一外殼密封件提供一密封配置，以防止流體穿透至該至少一第一電接觸元件及該至少一第二電接觸元件中。使用一處理流體處理被固持裝置固持之產品。

在該方法期間，該第一側及該第二側可被同時流電處理。

固持裝置與由該固持裝置固持之產品可一起相對於配置於一電鍍槽中之電極移動。該方法可包括抵著第一固持部件放置該產品及依一可拆卸之方式將第二固持部件緊固至第一固持部件，其中此等步驟被機械地及自動地實施。該方法可包括在處理之後機械地敞開該固持裝置之步驟。

根據例示性實施例，該方法之進一步特徵對應於該固持裝置之特徵。根據一例示性實施例，可透過該裝置實施該方法。

該固持裝置及該方法可用於流電塗佈一平面產品，例如一晶圓。

下文中參考較佳或有利的例示性實施例並參考附圖進一步解釋本發明。

本文以用於流電塗佈浸沉在一電鍍槽中之一產品之方法為內容背景來描述例示性實施例。該產品可包括兩個導電表面。儘管以晶圓固持件為內容背景來描述例示性實施例，但該等固持裝置及方法亦可用於處理其他產品。在圖示中，相同元件符號表示相同元件。

圖1係根據一例示性實施例之一固持裝置1在一敞開狀態中之一透視圖，圖2係固持裝置1之一第二固持部件之一放大透視圖，圖3係一部分分解平面圖及圖4係處於處理狀態之一截面圖。固持裝置1包括一第一固持部件11及一第二固持部件12。第一固持部件11與第二固持部件12可藉由一機械鎖定機構依一可拆卸之方式彼此固定。產品依一 方式被固持於第一固持部件11與第二固持部件12之間，使得與固持裝置1之僅一邊界區域建立接觸，且該產品在此區域中依一電之方式接觸兩側。該產品之一處理區域延伸至第一固持部件11及第二固持部件12之中間開口中。第二固持部件12可安裝於第一固持部件11中。第一固持部件11及第二固持部件12之中間開口可為一圓形。

第一固持部件11包括用於在其第一側上接觸該產品之目的之第一電接觸元件13。可提供第一電接觸元件13作為抵著由固持裝置1固持之產品5預壓緊的彈性接觸指部。在各情況中，第一電接觸元件13可包括在產品5之方向上傾斜或彎曲之一端部延伸至其之一基本平面部分，該端部接觸該產品。第一電接觸元件13可圍繞中間開口配置成一圓形環。第一電接觸元件13可附接至一接觸框架，特定言之，一接觸環。第二固持部件12包括用於在其第二側上接觸產品之目的之第二電接觸元件14。可如針對作為第一電接觸元件13所描述來提供第二電接觸元件14，換言之，第二電接觸元件14可被提供作為抵著由固持裝置1固持之產品5預壓緊的彈性接觸指部。在各情況中，第二電接觸元件14可包括在該產品之方向上傾斜或彎曲之端部延伸至其之一基本平面部分，該端部接觸該產品。第二電接觸元件可圍繞中間開口配置成一圓形環。第二電接觸元件14可附接至一進一步接觸框架，特定言之，一接觸環。該第一電接觸元件及該第二電接觸元件亦可透過機械構件固持產品5。

第一固持部件11包括一第一密封件之一第一密封唇15，下文中亦描述為一產品密封件。第二固持部件12包括產品密封件之一第二密封唇16。在其中固持裝置1固持產品5之一處理狀態中，第一密封唇15及第二密封唇16抵著產品5之面對面側6、7置放且密封其中配置第一電接觸元件13及第二電接觸元件14之體積，防止處理流體之一穿透。一第二密封件(亦描述為一外殼密封件17)可提供於第一固持部件11上及/ 或第二固持部件12上。外殼密封件17結合產品密封件15、16密封其中配置第一電接觸元件13及第二電接觸元件14之區域，防止處理流體之一穿透。外部密封件30使第一固持部件之兩個外殼部件相對於彼此密封。該密封件可基本延伸(在一些例示性實施例之情況中，達到其總長度之80%以上)至一外部邊界區域(在一些例示性實施例之情況中，第一固持部件之外部20mm之一區域)中，以最小化由在第一固持部件之外殼部件之間之間隙轉向之流體的量。產品密封件之密封唇15、16及外殼密封件17包括一彈性材料。

一電連接器元件2可附接至第一固持元件或第二固持元件。固持裝置1包括整合至該等固持部件中之電導體，該等導體在處理狀態中將連接器元件2連接至一金屬本體29，以使其呈現出供應一電流給第一電接觸元件13及第二電接觸元件14。第一固持部件11可包括嵌入其中之一金屬本體29，該本體依一導電之方式連接至連接器元件2及第一電接觸元件13。藉由定位於接觸環18與19之間之導電彈性元件(圖中未繪示)產生到第二電接觸元件14之一導電連接。接觸元件13及14定位於對應接觸環18及19上。因此，可施加相同的電位至產品之兩側。

為了抵著第一固持部件11固持第二固持部件12，固持裝置包括一鎖定機構。可提供鎖定機構使得其施加按壓固持部件使其等彼此抵靠之一力。鎖定機構可包括在固持部件之一者上(例如在第二固持部件上)之突出體21，該等突出體可定位於在另外固持部件上之對應接納裝置23中。突出體21可最初插入至開口22中以依一可拆卸之方式緊固該等固持部件。可藉由一旋轉移動使突出體21移動至接納裝置23中。接納裝置23可形成於圓周方向上使得最初在該方向上進一步朝第一固持部件11推動該第二固持部件12，以呈現突出體21可能移動進入接納裝置23中且接著向後稍微遠離第一固持部件12。

提供鎖定機構使得在關閉及敞開固持裝置之過程期間，直接抵著產品置放之固持部件之該等部分與產品本身之間不存在相對移動。為了此目的，第二固持部件12可包括相對彼此移動之複數個組件。第二固持部件12可包括一鎖定環26，突出體21附接至鎖定環26，且該鎖定環可相對於第二密封唇16及第二電接觸元件14旋轉及/或移位。密封唇16、具有第二電接觸元件14之接觸環19及一支撐環26a可依一不可旋轉之方式連接至第二固持部件12之一覆蓋環20。導引元件27係定位於覆蓋環20上，該等導引元件與閉環26中之插槽28一起界定閉環相對於覆蓋環20之旋轉之路徑。

為了在安裝產品5及定位第二固持部件12之後關閉固持裝置1使得突出體21插入至開口22中，在相對於產品平面之一正交方向上對引導元件27施加一力。因此，第二固持部件12移動至第一固持部件11中直到距離元件25a在一固持部件11、12上之限制表面25b上抵著另一固持部件11、12置放。當降低固持部件12時，元件25a及25b限制最大衝程。因此，藉由接觸元件13、14對產品施加僅一界定最大力，即使一自動關閉機構提供一較大力。隨後，可使用一小量力旋轉關閉環，這係因為接納裝置23相對於突出體21具有足夠的遊隙。然後，在引導元件27上之正交力被移除且固持於固持裝置中的產品準備好被處理。可建立抗旋轉之一鎖定，以防止一方面產品密封件與接觸元件之間之一相對移動及另一方面藉由鎖定元件24接合於固持部件11、12上之切口25中之產品與產品密封件之間之一相對移動。鎖定元件24可同時將接觸環18緊固至第一固持部件11上之第一電接觸元件13。由於距離元件25a被放置於固持部件11、12中，所以可同時使用距離元件25a以使該產品居中。該等距離元件圍繞產品5配置。

固持裝置1可依一逆向之方式敞開，換言之，藉由使用正交於產品平面之一力方向對引導元件27施加正交力，藉由逆向轉向及/或解 除鎖定之閉環26，終止該正交力，自第一固持部件11移除第二固持部件12及自第一固持部件11移除產品5。

提供固持裝置1使得在處理狀態中固持裝置之導電組件(該等組件依一導電之方式連接至連接器元件2)不接觸處理流體。固持裝置1可包括在外部表面上絕緣材料之組件及/或包括一絕緣塗層。如(例如)圖4中截面圖中所繪示，第一外殼部件可包括一金屬本體29，金屬本體29外部由絕緣組件圍繞。外殼密封件17與一進一步密封件30一起可密封金屬本體29，以防止處理流體之一流入。

亦可如圖4中截面圖中所見，產品5之對置側6、7可透過第一電接觸元件13及第二電接觸元件14依一電方式接觸。其中配置該第一電接觸元件13及第二電接觸元件14可藉由具有密封唇15、16之產品密封件及外殼密封件17密封，以防止流體自外部穿透。

替代地或除了一機械鎖定機構之外，亦可依另一方式產生用於將固持部件彼此緊固之一力。

圖5係一固持裝置31在關閉狀態中之一透視圖。產品5可在中間開口32中延伸。固持裝置31可包括藉由在一中空腔室中產生一真空從而彼此緊固之兩個固持部件41、42。參考圖6及圖7中所展示之截面圖進一步描述此類型之固持部件41、42之實施例。固持裝置31可包括藉由磁力彼此緊固之兩個固持部件61、62。參考圖8及圖9進一步描述此類型之固持部件61、62之實施例。在參考圖5至圖9所描述之固持裝置之情況中，固持部件包括可如參考圖1至圖4所描述般提供之電接觸元件。固持裝置進一步包括一產品密封件及一外殼密封件，如參考圖1至圖4所描述。

圖6係繪示在產品5之一邊界區域中具有一第一固持部件41及一第二固持部件42之固持裝置31之一部分截面圖。第一電接觸元件13接觸該產品之一第一側6。第二電接觸元件14接觸該產品之一第二側7。 件在各情況中，可提供該第一電接觸元件及第二電接觸元作為圍繞中間開口32配置之接觸指部。藉由具有抵著產品5置放之密封唇15、16之產品密封件及處於固持部件41、42之間之外殼密封件17提供一密封配置，藉此防止流體流動至電接觸元件13、14。

固持裝置31包括一中空腔室50。由第一固持部件41提供中空腔室50之至少一壁。由第二固持部件42提供中空腔室50之至少一進一步壁。一真空電源58(舉例而言一泵)藉由一線59及在固持裝置31上之一連接器連接至中空腔室50。固持裝置31包括將中空腔室50連接至連接器之整合管。藉由在中空腔室50中產生一真空從而產生一力，該力將第一固持部件41及第二固持部件42彼此緊固。為了保持該真空，外殼密封件17及一進一步密封件49密封中空腔室50，以防止氣體及處理流體之一流入。在固持部件之間產生該真空，而不在產品與固持裝置之間產生該真空。為了保持該真空，可(例如)藉由一閥而關閉固持裝置之真空腔室。

為了保持一足夠的真空，提供一真空貯器對於固持裝置係必要的。為此目的，可提供相應大的真空腔室50。替代地，一進一步中空腔室之形式之一分離貯器可連接至中空腔室50。此進一步中空腔室可提供為相對於中空腔室50不可鎖定的。此外，該中空腔室可包括一連接，其可耦合至一真空電源。固持裝置之整個真空區域可由處於分離貯器與耦合之間之一閥來關閉，使得在未耦合狀態中保持固持裝置中之真空。

中空腔室50可裝備有一對應真空感測器以(例如)能夠及時偵測真空之一不可接受的失效。

鑑於使用一真空以產生一力之事實，不須提供用於將電流自一固持部件轉移至另一固持部件之目的的任何彈性元件及/或使得兩個固持部件41、42彼此推抵的機械鎖定元件。這可能提供固持部件41、 42之一實施例：該等固持部件包括固持部件41、42沿其彼此抵靠置放之表面。因此，第一固持部件41包括具有一外部表面44之一第一金屬本體43。第二固持部件41包括具有一外部表面47之一第二金屬本體46。固持部件41、42至少沿金屬本體之表面44、47依一平坦方式相互抵靠置放。亦可依此方式產生兩個固持元件41、42之間之一導電連接。若用於一電流或電壓供應之一電連接器元件2僅附接至固持部件41、42之一者，則可藉由金屬本體43、46產生到另一固持部件之電接觸元件之一導電連接。第一金屬本體43可藉由接觸環18依一導電方式連接至第一電接觸元件13。第二金屬本體46可藉由接觸環19依一導電方式連接至第二電接觸元件14。金屬本體43及46可包括特徵：其等可同時用於處理狀態中以產生一直接電接觸至彼此，且亦作為一止檔以限制第一固持部件41及第二固持部件42朝向彼此的移動，且因此限制產品上接觸元件的接觸力。

第一固持部件41可包括覆蓋第一金屬本體43之外部之一絕緣組件45。第二固持部件42可包括覆蓋第二金屬本體46之外部之一絕緣組件48。替代地，金屬本體43、46亦可在外表面上具有一電絕緣塗層。

為了將產品5緊固至具有固持部件41、42之固持裝置31，可將該產品放置於固持部件41、42之間。真空電源58被啟動以在中空腔室50中產生一真空。為了移除產品，(例如)減少真空至環境壓力且固持部件41、42彼此分離。在各情況中自動執行此等步驟。

圖7係繪示在產品5之一邊界區域中具有一第一固持部件41及一第二固持部件42之固持裝置31之一部分截面圖。第一固持部件41及第二固持部件42構成基本對應參考圖6所繪示之實施例之一實施例。然而，在圖7中所展示之固持裝置31之情況中，除了具有密封唇15、16及外殼密封件17之產品密封件，亦提供一單獨第三密封件51及第四密封件52，該第三密封件及該第四密封件防止氣體流動至中空腔室50 中。在圖7中所繪示之實施例之情況中，外殼密封件17不須又提供一密封組態以防止氣體之流入。圖7中所展示之固持裝置31之進一步特徵及功能模式對應於參考圖6所描述之特徵及功能模式。

替代真空或除了使用一真空外，固持裝置31可包括用於施加一力之一不同裝置，該力將兩個固持部件彼此緊固。例如，可使用磁力。

圖8係此類型之一固持裝置之一第一固持部件61之一部分分解平面圖，及圖9係繪示在產品5之一邊界區域中具有第一固持部件61及一第二固持部件62之固持裝置31之一部分截面圖。如圖1至圖7所描述之對應實施例中，第一電接觸元件13接觸產品之一第一側6。第二電接觸元件14接觸產品之一第二側7。在各情況中，可提供第一電接觸元件及第二電接觸元件作為圍繞中間開口32配置之接觸指部。藉由具有密封唇15、16之產品密封件及處於固持部件61、62之間之外殼密封件17實現防止流體之一穿透之電接觸元件13、14之一密封配置。外殼密封件17可包括在第一固持部件61上之一溝槽73中之一密封環及/或在第二固持部件62上之一溝槽74中之一密封環。

該等固持部件之至少一者包括一或複數個磁體。例如，第一固持部件61可包括複數個磁體71。磁體71可嵌入至第一固持部件61中。磁體71可圍繞中間開口32配置。磁體71可包括一或複數個永久磁體。第二固持部件62可包括磁體72，該等磁體72包括一對應配置。此外，固持部件61、62之至少一者可包括一電磁體。該電磁體經配置及定位使得可藉由在一預定方向上流經電磁場之一流電減少完全作用於固持部件61、62之間之力。

憑藉施加使得兩個固持部件61、62彼此抵靠固持之一磁力，兩個固持部件61、62之金屬本體可依一平坦方式置放使得其等依類似於參考圖6及圖7所描述之一方式相互抵靠。第一固持部件61可因此包括 具有一表面44之一第一金屬本體43。第二固持部件62包括具有一表面47之一第二金屬本體46。固持部件61、62至少沿金屬本體43、46之表面44、47依一平坦方式彼此抵靠置放。可依此方式在兩個固持部件61、62之間產生一導電連接，如參考圖6所描述。此外，金屬本體43、46亦產生固持部件61、62之一機械強化，此減少固持部件61、62可彎曲之程度。磁體71、72可嵌入於金屬本體43、46中之對應切口中。

為了將產品5緊固至具有固持部件61、62之固持裝置31，可抵著第二固持部件62放置產品。可透過用於關閉固持裝置之一機器使第一固持部件61移動至較近於第二固持部件62處直到固持部件61、62彼此抵靠置放。該機器可接合於第一固持部件61上之凹口75中。為了移除產品，用於關閉固持裝置之機器可返回至凹口75中以使固持裝置61、62彼此分離。若固持裝置之至少一者包括電磁體，則可使用一電流供應該電磁體及/或該等電磁體以減小用於敞開固持裝置之目的之有效力。用於關閉固持裝置之機器可支撐產品5，同時固持裝置被敞開及/或關閉。

根據所有所描述之例示性實施例，固持裝置可經配置使得施加電位至及/或電流饋送至其之導電部件與處理流體電絕緣。為此目的，圍繞導電材料之固持裝置之外部組件可包括一電絕緣材料。導電材料(例如固持部件之金屬本體)可具有一絕緣塗層。

當根據一例示性實施例使用固持裝置時，固持裝置與固持於該固持裝置上之產品一起可浸沉於一電鍍浴中。具有待處理之產品之固持裝置相對於反電極(例如在一處理容器中平行於該產品配置之陽極)移動。

圖10繪示用於流電塗佈待處理之物品之一系統81之一示意圖。系統81包括一處理容器82，其中一電鍍浴84被填充至一溶液位階85。 電極83可被緊固至處理容器82或至一分離槽使得其等凸出至電鍍浴84中。根據一例示性實施例，固持裝置1或31附接至依一可移動方式安裝之一支撐件86，使得固持裝置可浸沉於電鍍浴84中且然後拉出電鍍浴84。支撐件86亦可包括耦合至固持裝置之連接器元件2之一電壓或電流供應線。

圖式中詳細描述及繪示之例示性實施例之修改可在進一步例示性實施例之情況中可能呈現。特定言之，可替代地或額外地使用其他機構以將固持裝置之固持部件彼此緊固。用於施加一力之裝置可包括附接至該等固持部件之外側之夾鉗。用於施加一力之裝置可包括可(例如)藉由壓縮空氣啟動之咬合動作機構。固持裝置可包括壓縮空氣之對應導管，類似於使用一真空之情況。用於施加一力之裝置可包括導引至該等固持部件之一者中之一溝槽中之一鏈。該鏈包括可藉由在另一固持部件上之一反作用元件(counter element)移動之開口。該開口可藉由憑藉拉動該鏈使得一力作用於固持部件之間之反作用元件而移動。該鏈自配置於溶液位階上方之一位置離開固持裝置，即使產品完全地浸沉於電鍍浴中。用於施加一力之裝置可包括可插入於固持裝置之至少一側處或固持裝置之複數側處之楔或插銷以將該等固持部件彼此緊固。用於施加一力之裝置經有利地配置使得關閉固持裝置之過程及敞開固持裝置之過程可為機械自動化的。此外，在各情況下，用於施加該力之裝置經有利地配置使得產品與直接抵靠該產品置放之固持裝置之該等部件之間不存在平行於該產品之相對移動。

可使用不同的材料以在固持部件內側提供導電連接。例如，固持部件之金屬本體可由鈦製成或可包括鈦。

可在產品之處理期間使用根據不同例示性實施例之固持裝置及方法，例如流電塗佈包括導電表面之產品之兩側。固持裝置亦適用於或經配置用於兩個產品之僅一側之同時處理之目的。為此目的，背對 背固持及依以上所描述之其他方式固持一相同形狀之兩個產品。一間隔元件，例如(例如)以一密封件之形式之一彈性間隔元件可經定位處於在其等外邊緣處之兩個產品之間。較佳地，在產品上之該間隔元件在其等接觸產品之位置處精確地相對於接觸元件。

可提供接觸元件作為一接觸環之一部件及/或依一彈性方式有利地提供接觸框架且可甚至為可互換的。因此，根據產品之需要(例如，關於厚度或導電表面可為不同的)，可藉由接觸元件施加合適的接觸力。為此目的，結構框架(例如一接觸環)可互換作為固持件之一部件。不同的接觸框架，其等外部輪廓可為類似的。不同接觸框架之接觸指部可首先關於接觸元件之長度而不同。

所描述之所有例示性實施例具有有利的定中元件以精確地將產品定位於固持件中。該產品定心元件亦可用於定中兩個產品之間之一間隔元件。

1‧‧‧固持裝置

2‧‧‧連接器元件

5‧‧‧產品

6‧‧‧第一側

7‧‧‧第二側

11‧‧‧第一固持部件

12‧‧‧第二固持部件

13‧‧‧第一電接觸元件

14‧‧‧第二電接觸元件

15‧‧‧產品密封件之密封唇

16‧‧‧產品密封件之密封唇

17‧‧‧外殼密封件

18‧‧‧接觸環

19‧‧‧接觸框架

20‧‧‧覆蓋環

21‧‧‧突出體

22‧‧‧開口

23‧‧‧接納裝置

24‧‧‧鎖定元件

25‧‧‧切口

25a‧‧‧距離元件

25b‧‧‧限制表面

26‧‧‧關閉環

26a‧‧‧支撐環

27‧‧‧導引元件

28‧‧‧插槽

29‧‧‧金屬本體

30‧‧‧外部密封件

31‧‧‧固持裝置

32‧‧‧中間開口

41‧‧‧第一固持部件

42‧‧‧第二固持部件

43‧‧‧金屬本體

44‧‧‧軸承表面

45‧‧‧絕緣組件

46‧‧‧金屬本體

47‧‧‧軸承表面

48‧‧‧絕緣組件

49‧‧‧第三密封件

50‧‧‧中空腔室

51‧‧‧第三密封件

52‧‧‧第四密封件

58‧‧‧真空電源

59‧‧‧線

61‧‧‧第一固持部件

62‧‧‧第二固持部件

71‧‧‧磁體

72‧‧‧磁體

73‧‧‧溝槽

74‧‧‧溝槽

81‧‧‧處理系統

82‧‧‧處理容器

83‧‧‧電極

84‧‧‧電鍍浴

85‧‧‧溶液位階

86‧‧‧支撐件

圖1係根據一例示性實施例之一固持裝置之一透視圖；圖2係圖1中所展示之固持裝置之一第二固持部件之一透視圖；圖3係圖1中所展示之固持裝置之一部分分解平面圖；圖4係圖1中所展示之固持裝置處於處理狀態中之一截面圖；圖5係根據一例示性實施例之一固持裝置之一透視圖；圖6係根據一例示性實施例之一固持裝置處於處理狀態中之一部分截面圖；圖7係根據一例示性實施例之一固持裝置處於處理狀態中之一部分截面圖；圖8係根據一例示性實施例之一固持裝置之一第一固持部件之一部分分解平面圖；圖9係根據一例示性實施例之一固持裝置處於處理狀態中之一部 分分解圖；圖10係根據一例示性實施例之用於流電塗佈之具有一固持裝置之一系統之一示意側視圖。

6‧‧‧第一側

7‧‧‧第二側

13‧‧‧第一電接觸元件

14‧‧‧第二電接觸元件

15‧‧‧產品密封件之密封唇

16‧‧‧產品密封件之密封唇

17‧‧‧外殼密封件

18‧‧‧接觸環

19‧‧‧接觸框架

31‧‧‧固持裝置

41‧‧‧第一固持部件

42‧‧‧第二固持部件

43‧‧‧金屬本體

44‧‧‧軸承表面

45‧‧‧絕緣組件

46‧‧‧金屬本體

47‧‧‧軸承表面

48‧‧‧絕緣組件

49‧‧‧第三密封件

50‧‧‧中空腔室

58‧‧‧真空電源

59‧‧‧線

Claims (11)

1. 一種用於一產品(5)之一流電處理之固持裝置，其中該固持裝置(1；31)包括：一第一固持部件(11；41；61)，其具有用於與該產品(5)之一第一側(6)建立一接觸之至少一第一電接觸元件(13)，及一第二固持部件(12；42；62)，其具有用於與該產品(5)之一第二側(7)建立一接觸之至少一第二電接觸元件(14)，該第二側置於該第一側(6)對面，其中該第一固持部件(11；41；61)及該第二固持部件(12；42；62)經配置使得其等為了固持該產品(5)之目的可依一可拆卸之方式彼此緊固，其中在一處理狀態中，一產品密封件及一外殼密封件(17)提供一密封配置，以防止流體穿透至該至少一第一電接觸元件(13)及該至少一第二電接觸元件(14)中，其中該產品密封件包括附接至該第一固持部件(11；41；61)之一第一密封唇(15)及附接至該第二固持部件(12；42；62)之一第二密封唇(16)，且其中該至少一第一電接觸元件(13)及該至少一第二電接觸元件(14)經配置處於該產品密封件與該外殼密封件(17)之間。
2. 如請求項1之固持裝置，其包括用於施加一力之一裝置，該裝置經配置用於將該第一固持部件(11；41；61)與該第二固持部件(12；42；62)彼此緊固之目的。
3. 如請求項2之固持裝置，其中用於施加一力之該裝置包括至少一中空腔室(50)及一真空電源(58)，其中由該第一固持部件(41)提供該中空腔室之至少一壁，且由該第二固持部件(42)提供該中空腔室(50)之至少另一壁。
4. 如請求項3之固持裝置，其中該固持裝置(31)包括在處理狀態中防止流體流動至該中空腔室(50)中之一第三密封件(49；51)。
5. 如請求項2至4之任一項之固持裝置，其中用於施加一力之目的之該裝置包括至少一磁體(71，72)。
6. 如請求項2至4之任一項之固持裝置，其中該第一固持部件(41；61)包括一第一金屬本體(43)且該第二固持部件(42，62)包括一第二金屬本體(46)，若用於施加一力之該裝置將該第一固持部件(41；61)與該第二固持部件(42；62)彼此緊固，則該等金屬本體依一平坦方式彼此抵靠置放。
7. 如請求項2至4之任一項之固持裝置，其中用於施加一力之該裝置包括一機械鎖定機構。
8. 如請求項1至4之任一項之固持裝置，其中該處理為該產品(5)之兩側之一處理。
9. 一種用於處理待流電塗佈之一產品(5)之方法，該方法包括：將該產品(5)緊固至一固持裝置(1；31)，該固持裝置(1；31)包括具有至少一第一電接觸元件(13)之一第一固持部件(11；41；61)及具有至少一第二電接觸元件(14)之一第二固持部件(12；42；62)，其中該第一固持部件(11；41；61)及該第二固持部件(12；42；62)依一可拆卸之方式彼此緊固，使得：該第一電接觸元件(13)抵靠該產品(5)之一第一側(6)置放；該第二電接觸元件(14)抵靠該產品(5)之一第二側(7)置放，該第二側置於該第一側(6)對面；及一產品密封件與一外殼密封件(17)提供一密封配置以防止流體穿透至該至少一第一電接觸元件(13)及該至少一第二電接觸元件(14)中，及使用一處理流體來處理由該固持裝置(1；31)固持之該產品(5)；其中該產品密封件包括附接至該第一固持部件(11；41；61)之 一第一密封唇(15)及附接至該第二固持部件(12；42；62)之一第二密封唇(16)，且其中該至少一第一電接觸元件(13)及該至少一第二電接觸元件(14)經配置處於該產品密封件與該外殼密封件(17)之間。
10. 如請求項9之方法，其中該固持裝置(1；31)與由該固持裝置固持之該產品(5)一起相對於配置於一電鍍浴(84)中的電極(83)移動。
11. 如請求項9或10之方法，其中該產品(5)為一晶圓。