JP3109711U

JP3109711U - 片面表面処理用真空吸着保持治具

Info

Publication number: JP3109711U
Application number: JP2004006462U
Authority: JP
Inventors: 久幸加茂
Original assignee: 久幸加茂
Priority date: 2004-10-05
Filing date: 2004-10-05
Publication date: 2005-06-02
Anticipated expiration: 2010-10-05

Abstract

【課題】１枚ごとの片面表面処理用治具本体への表面処理対象物のセットに関して、密閉蓋を止める複数の蓋止めボルトの締め付け、取り外しなどの手間と時間を省略した上で、表面処理不要面への表面処理液浸入を防止し、割れやすい表面処理対象物が割れる危険性を回避する真空吸着保持治具の提供。
【解決手段】本考案は、治具本体の窪みにセットした表面処理対象物に均等に負圧のかかる通気溝と通気穴から成る空気通路とパッキンとを設け、治具本体外部に設けた吸引チューブから空気を抜いて真空状態を作り出し、吸引チューブにつけたストッパーにより密閉封鎖し、表面処理工程中、真空状態を維持して表面処理対象物を吸着保持し、表面処理対象物外周に添ったパッキンにより表面処理液の浸入を防止する。
【選択図】図１

Description

本考案は、片面表面処理対象物を保持して表面処理を施す治具に関するものである。

半導体集積回路の製作において、シリコンウェーハ（これより以降、略してウェーハと称する。）の素地への表面処理は必要不可欠の工程となっているが、表面処理を必要とするのは片面のみ。片面に表面処理をしない工夫が求められる。

しかし、ウェーハの性質は割れやすいため、従来、厳重な保持具に細心の注意を払いながらセットしなければならず、時間と手間の掛かる手段を用いていた。

従来の保持手段の一例が、図４と図５である。他にも、治具本体１の形状の違いや蓋止めボルト１２の数の違いなどの多少の違いはあるにしても、原理としては同様のものが多く使われていた。図４に示す、通電吊り金具２とパッキン５、電極６を備え、必要表面処理面大の穴の空いた治具本体１に、ウェーハ１０をセットして密閉蓋１１を複数の蓋止めボルト１２で、ウェーハを割らないように細心の注意を払いながら、又、表面処理の要らない面に表面処理液が浸入しないように均等に締め付けて行く作業を必要としていた。この作業を経てから表面処理を施してウェーハ１０を取り出すと、図５に示すように表面処理面１３はパッキン５の当たった周囲をわずかに残す形となる。この方法では、複数の蓋止めボルト１２の締め付け、取り外しの手間と時間を必要とする欠点があった。又、複数の蓋止めボルト１２の均等締め付けに失敗すると、ウェーハ１０が割れてしまったり、表面処理液が表面処理不要面へ浸入してしまったりするため、細心の注意を必要とする欠点もあった。

解決しようとする問題点は、ウェーハ１０の１枚ごとの治具本体１へのセットに関して、複数の蓋止めボルト１２の締め付け、取り外しなどの手間と時間を省略した上で、ウェーハ１０の割れる危険性を回避しながら、表面処理不要面への表面処理液の浸入を防止する点である。

本考案は、治具本体１にセットしたウェーハ１０に均等に負圧のかかる通気溝３と通気穴４により構成する空気通路とパッキン５とを設け、ウェーハ１０を真空吸着し、、吸引チューブ７につけたストッパー８により密閉封鎖し、表面処理工程中、真空状態を維持し、ウェーハ１０を吸着保持し、ウェーハ１０外周に添ったパッキン５は真空状態を維持すると共に、表面処理液の浸入を防止する。

本考案の治具は、治具内に真空状態を作り、片面表面処理対象物を吸着させるため、従来のように、ウェーハ１０を割らないように細心の注意を払いながら、密閉蓋１１を被せ、複数の蓋止めボルト１２を均等のトルクで締め付けて行く手間や時間が大幅に減らせる利点がある。又、ウェーハ１０の取り外しには、ストッパー８を緩めるだけの簡単な動作で完了する利点もある。

治具本体１内に作り出した負圧によりウェーハ１０を吸着し、パッキン５は真空状態を維持すると共に、表面処理不要面への表面処理液の浸入を防止する。

図１は、本考案治具の斜視実施例図であり、図２は、本考案治具の正面図であり、空気通路と導電経路を説明した図である。図３は、本考案治具の真空吸着時の斜視実施例図、図４は従来治具の実施例図で、図５は、従来治具による表面処理面を示す斜視図である。

図１、図２に示す本考案治具本体１は、ウェーハ大に掘られた窪みの中に、外部の吸引パイプ７につながった通気溝３と通気穴４で構成される空気通路を有し、パッキン５を埋め込み設置して、ウェーハ１０を窪みの中に乗せ、吸引チューブ７を真空ポンプチューブ９につないで、空気通路内の空気を抜きストッパー８で密閉封鎖して、ウェーハ１０との間に真空状態を作り出し、ウェーハ１０を吸着させる。その際、パッキン５は真空状態を維持すると共に表面処理液浸入を防止する。

また、図２に示す空気通路は、窪みの中心から多重円状に掘られた通気溝３と通気穴４によって連結され吸引チューブ７につながっており、ウェーハ１０は通気溝３の掘られた面に密着し、ゆがみが発生しないように支えられ、メッキなどの電気を必要とする表面処理の際は、通電吊り金具２から導電線１４により電極６に電気を供給する。尚、電極６の数は、ウェーハの大きさにより増減する。

この実施例は多重円状の通気溝３によって説明しているが、窪み内部に設置する通気溝３の形状は円形とは限らない。また、ウェーハに限らず、適用できる技術であるため、円形以外の形状からなる片面表面処理においては、外周に添わせるパッキン５も円形とは限らず、その片面表面処理対象物の形状に合わせた形になる。

図３に示すウェーハ吸着時の斜視実施例図は、従来のような密閉蓋１１も必要なく、手間と時間を要する蓋止めボルト１２もなく、スッキリした外観になる。この状態から、ウェーハ１０を取り外すには、治具本体１を寝かせて吸引チューブ７に止めたストッパー８を緩めるだけの簡単な操作になる。

図４は従来の治具実施例図で、一般的な従来の治具でウェーハ１０をセットする実施例であるが、表面処理不要面への表面処理液の浸入を防ぎ、ウェーハ１０の割れを防ぐには、細心の注意を要し、複数の蓋止めボルト１２を均等に締め付けなければならなかった。図３に示す本考案の真空吸着治具では内部の負圧は均等にかかり、上記の煩雑な作業は省略されウェーハ１０の割れる危険度は大幅に下がる。

図５に示す従来治具によるウェーハ１０の表面処理面１３は、密閉蓋１１の窪みから取り出したウェーハ１０の外周にパッキン５の当たった部分が表面処理されずに残る状態だった。図１に見えるように、本考案治具では、パッキン５は裏面の表面処理不要部分に移動するため、表面処理必要面は全面表面処理された状態になる。片面表面処理対象物において、片面の全面表面処理が簡単に出来るメリットとなる。

産業状の利用可能性

この本考案治具によって、片面表面処理対象物の治具へのセット、取り外し作業が簡単になり、手間と時間が短縮でき作業効率が増して大いに役立つ。又、ウェーハのように割れやすい性質を持った片面表面処理対象物を割る危険度が低下し、有効利用率を高めるのに大いに役立つ。

本考案治具の斜視実施例図である。本考案治具の正面図である。本考案治具の真空吸着時の斜視実施例図である。従来の治具実施例図である。従来治具による表面処理面を示す斜視図である。

符号の説明

１治具本体
２通電吊り金具
３通気溝
４通気穴
５パッキン
６電極
７吸引チューブ
８ストッパー
９真空ポンプチューブ
１０ウェーハ
１１密閉蓋
１２蓋止めボルト
１３表面処理面
１４導電線

Claims

治具本体に片面表面処理対象物大に掘り、外周に添ったパッキンと外部の吸引パイプにつながった通気溝と通気穴で構成される空気通路を有した窪みの中に片面表面処理対象物を乗せてから、吸引チューブを真空ポンプチューブにつないで空気通路内の空気を抜き、吸引チューブに付けたストッパーにより密封封鎖して真空状態を保持すると共に、片面表面処理対象物の外周に添ったパッキンで表面処理液浸入を防ぐ本考案治具。
「請求項１」の本考案治具において、外周に添わせるパッキンと内部に設置する通気溝は円形とは限らず、円形以外の形状の片面表面処理用治具においては、その片面表面処理を必要とするものの形状に合わせた形になる「請求項１」における、あらゆる通気溝形状とパッキン形状。