CN1367872A - 以高速传送、检查、测量对象及表面细节的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

一种用于例如集成电路组件(10)等对象或带有引线的对象的检查的装置,包括用于俯视图检查和侧面检查的俯视图成像传感器(25);三角形的轨道(11),其基座用于支撑组件,其中所述三角形的顶角位于倒置的角锥的位置处。三角形的位于顶角的两个相邻表面是镜面磨光的。通过两个带唇边的导轨(12),从检查台的相对的侧面引导组件,唇边的底部内表面与水平面成锐角。组件受到位于轨道每一侧的侧面成像漫射光源(18)和/或俯视图光源(14)的照明。通过成像传感器看到沿着轨道的拐角突出的组件(20)的引线部分,并且通过顶部成像传感器(16)看到上表面(35)。输出信号在用于在显示屏(32)上显示图像的计算机(30)中被处理。

Description

以高速传送、检查、测量对象及 表面细节的方法和装置
本发明所属技术领域
本发明涉及一种装置，具有至少一个检查台，用于检查在轨道上运动的对象或者带有引线的对象，和使这些对象单独地被检查。所述装置使用至少一个图像检查系统，其具有一个或多个用于表面细节检查，以及用于计算对象尺寸和/或测量来自所述待检查对象的突出部分的成像传感器，所述装置包括至少一个用于从正面和/或背面照明的光源。
与本发明相关的背景技术
应当理解图像检查系统是已知的，例如，用于检查半导体装置。现在使用的这种图像检查系统采用具有三个成像传感器的三个分开的工作台。一个工作台和传感器用于上表面细节检查，一个工作台和传感器用于俯视图尺寸测量，一个工作台和传感器用于侧视图尺寸测量。
用于上表面检查的第一个工作台包括用于从前面照明的光源，从对象的前面照明；和成像传感器，用于从与检查位置相同的透视位置检查对象。该检查用于包括表面细节的特征的提取和表面细节的图案识别。用于从顶部检查的第二个工作台，用于包括对象长度和宽度的俯视图尺寸测量，或者用于带有引线的对象的测量，该测量包括这些引线的尺寸和它们与其他特征或对象的关系。该工作台包括用于从背面照明或者来自下面的带有黑色轮廓的照明光源，也就是相对于观察的位置，从对象的背面照明，使得对象位于阴影中或黑色轮廓中。在这些情况下，可以以很高的清晰度检查到对象的轮廓。这些对于具有来自侧面的背面照明和从相对的一侧观察的侧视图尺寸测量同样是正确的。
虽然利用了前面提到的图像检查系统并且为了防止不精确的结果，被检查的对象必须是单独处理的并且彼此不相互依靠的。对于重力给料倾斜的机器，通常的解决办法是使用一对止动器。但是，单独化受到止动器需要上下运动的速度的限制。如果在检查台中使用止动器，需要安放时间或停止时间，使得单独的单元在检查之前变成完全静止。该停止时间是必需的，因为否则对象的惯性将使得对象冲出止动器。
利用从正面照明，通过将上表面检查和俯视图尺寸测量合并在一个工作台中，进行这种尝试来减少检查台的数量。利用这种安排，俯视图将看到全部表面细节和对象的平面尺寸。
为了观看两个侧面，利用从正面或背面照明，可以将两个成像传感器分别放在待检查对象的每一侧。或者，利用具有更复杂特性的适当地从正面或背面照明的反射镜或棱镜，还可以将用于侧面尺寸测量的全部侧视图合并为一个视图。
还已知的是，在同一个工作台使用三个独立的和不干涉的光源，将表面细节检查与从背面照明的上面和侧面的尺寸测量合并。通过使用三个在不同时间闪光的频闪灯(闪光灯)可以实现这一点，在同一个工作台中，一个照亮表面，第二个提供带黑色轮廓的顶部图像而第三个提供带黑色轮廓的侧面图像。
从照相的角度出发，使用频闪灯具有使运动中的对象固定的优点。该技术还已知用于“在飞行中”的检查。虽然还可以使用带有电子快门的成像传感器例如渐次的扫描录像机，实现固定对象的效果，在不同时间闪光的频闪灯彼此不互相干涉，反之使用渐次的扫描摄像机的连续的照明装置彼此干涉。
虽然可以实现“在飞行中”的检查，这种检查本身是不稳定的，如果必须将对象以已知的和一致的方式呈现给成像装置。例如，当检查时装置相对于一个数据是平面的情况下才能实现精确的测量。在运动过程中如果对象是飘浮的，将出现不精确的或无效的测量结果。
发明简述
为了克服前面提到的缺点，本发明的一个目的在于，通过将不同的视图与以显著增大的处理速度检查运动中的对象这种可能性相组合，降低工作台的数量和成像传感器的数量，使得在检查过程中不需要对象片刻地静止。因此，在运动过程中运动的对象是稳定的，使得检查结果是可重复的和精确的。
本发明的另一个目的是提供装置，防止在受到引导穿过检查台和单独化的过程中对象的飘浮，特别是，如果对象是光并且快速地运动。
这些目的通过根据独立权利要求1所述的装置和根据独立权利要求16所述的方法实现。
本发明的其他改进从属于从属权利要求。
本发明披露了提供减少成像台和成像传感器的数量，和这些检查可以“在飞行中”进行的优点。在检查过程中不需要对象片刻地静止。虽然用于“在飞行中”检查的已知系统固有地是不稳定的，本发明具有在高速运动的过程中对象非常稳定和可靠地受到引导的优点，使得检查结果是可重复的和精确的。
本发明还提供一个优点在于，利用用于俯视图检查的正面照明和用于计算对象尺寸的背面照明和/或测量来自待检查对象的突出部分，可以从顶部和从侧面同时检查和有尺寸地测量带有引线的对象。
附图简要描述
通过结合下面所附附图，阅读以下对一个示例性的实施例的详细说明，可以更清楚地理解本发明的特征和优点。
图1是根据本发明的用于对象检查的装置的示意性剖面图；
图2是根据图1的装置的简要侧视图；
图3是根据本发明的三角形轨道和带唇边的导轨的示意图；
图4是根据本发明的具有用于使对象单独化的滚筒的装置的侧视图；
图5是根据本发明的具有用于使对象单独化的传送带的装置的侧视图；
图6A和图6B表示如在计算机单元的显示屏上所显示的顶部成像传感器的图像和底部成像传感器的图像；
图7A至图7D表示三角形轨道的变形；
图8示意性地表示具有向内和向外以及向上和向下调整的直角三角形的配置。
优选实施例的详细描述
现在参见附图，图1表示用于检查带有引线的对象10(在该实施例中是半导体装置)的装置的示意性剖视图，而在图2中以示意性的侧视图表示同一个装置。
该装置包括一个延长的轨道11，如图2中所示，由于重力反馈和对象的运动该轨道是倾斜的。该轨道包括形成直角三角形的轨，其具有在支撑对象10的底部的两个45度角和位于倒置的角锥位置中的三角形的90度顶角之间的一个基座。导轨在尺寸上小于对象，使得对象的侧面和它们的引线或管脚(20)沿着轨道的两个侧面突出。
对三角形在90度角处的两个相邻表面进行镜面磨光，从而反射带有引线的对象的突出的引线的图像。可以使用能够进行镜面磨光或涂层或附着的任何材料。金属是用于镜面磨光的材料的一个好的示例。
为了在检查的过程中引导对象，在基座上面的轨道的两侧上安置两个带唇边的导轨12。两个导轨的底部内表面以与水平面成45度角的方式形成唇边，导轨的顶部外表面是斜切的。尽管斜切的角度将防止任何阴影投射到上表面上，但斜切的角度不是关键性的。在所示的实施例中，斜切的角度与水平面成60度。
每个导轨12的底部内唇边是镜面磨光的。唇边的长度应当足够长，从而反射对象的带有引线的部分。为了使得带唇边的导轨将投射在对象上表面上的任何阴影最小化，这些阴影是由于进行表面细节检查而位于对象上面的一个或多个光源14引起的，导轨12应相对于其高度尽可能地小。
为了使对象10单独化，使用一个或多个止动器、高速滚筒、或传送带。图2中所示的实施例中，使用三个止动器40、41、和42，它们位于轨道11的上面，并且以定序的上下的方式工作，从而允许对象一个接一个地单独进入成像传感器16和25的视野中。
在该实施例中，本发明仅需要一个工作台用于所有的成像传感器16和25，来执行所需要的全部测量和检查。由于受到带唇边的轨道12的遮蔽，使得顶部照明的灯14和侧面照明的灯18不互相干涉。频闪灯的使用不是必不可少的，并且本发明可以使用用于连续发光的光源。止动器40即刻地使得对象10静止，使得每个对象完全停止在轨道11上并且稳定地进行用于检查的定位而非漂浮地。两个带唇边的导轨12和轨道11在本发明中是新颖的，因为它们同时用来作为对象10的支撑体以及成像传感器的背面照明反射镜。
带唇边的导轨12和直角三角形的轨道11的长度可以是任何长度和尺寸，只要适合于检查待测对象和在运动过程中支撑对象。
关于三角形轨道的不同实施例，下面对图7A至图7D的说明将给出更详细的说明。
在如图4所示的另一个实施例中，本发明使用单独滚筒43代替止动器。滚筒的外圆周由柔韧的橡胶类材料制成，使得随着滚筒的进入，滚筒确实地抓住对象10。弹性材料还将以很小的高度变化迎合对象。滚筒固定到电动机或任何旋转的机器上。
本发明还提供一个特征，使得滚筒43是弹簧负载的，因此滚筒作用在对象上的全部压力是可调整的和受控制的。该特征是加在滚筒的橡胶圆周上的，加强本发明迎合高度稍微变化的对象的能力。
滚筒43向前转动对象直到滚筒不再与对象接触。当该情况发生时，对象将由于重力而落下。因为对象基于重力下落的速度比由滚筒传送的下一个对象的速度快，落下的对象将与剩余的对象分离。通过这种方式，使对象单独化并且一次落下一个。
根据本发明通过调整转动的滚筒的速度，可以控制落下的对象之间的间隔和每个对象落下的频率。滚筒的速度越快、间隔越小、和对象落下的频率越快。
在使用滚筒的该实施例中，位于轨道下面的成像传感器25放置在滚筒43的下面。该特征使得当对象挤压在轨道11上并且仍然处于运动的过程中时，成像传感器25能够检查对象10。将对象挤压在轨道上为对象提供了稳定性，否则会是飘浮的并且当从侧面检查对象时，将提供错误的测量结果。尽管当由顶部成像传感器16进行检查时，对轻微浮动的对象是可以接受的，但对于底部成像传感器25是不能接受的。
在如图5中所示的本发明的另一个实施例中，使用传送带44代替滚筒用于传送对象10。在该图中没有显示位于检查者一侧的带唇边的导轨。传送带44将与对象的更大的表面积接触，并且甚至每次与一个以上的对象接触。通过在对象和传送带之间留一个小的间隔，还可以使得进入传送带的入口更大，因此入口更宽。这将能够降低对象在入口处拥挤的可能性。传送带可以具有任何合适的长度，并且传送带可以是具有两个或多个滚筒的不同的设计和尺寸。
为了检查或检验对象的上表面，如图2、图4、或图5中所示，成像传感器16以一个高得足以检测对象的上表面的全部尺寸大小的距离位于轨道11的上面。上表面细节的一个示例的代表35(通过顶部成像传感器16可以看到)如图6A中所示。该图表示顶部成像传感器在计算机单元30的显示屏32上所显示的图像，参见图1，它是通过导线33由顶部成像传感器16供给的。所显示的示例表示不仅可以识别上表面上的打印的数据，而且可以识别污点36和/或抓痕37，以及对象的轮廓长度和宽度。
关于对象轮廓尺寸的检查和突出部分特别是引线或管脚20的测量，漫射光源18位于轨道11和带唇边的导轨12的每一侧上，用来照亮带有引线的对象10的侧面。既可以使用连续发光的光源也可以使用频闪(闪光)灯。这些光源设置成，为对象和引线提供从背面照明或黑色轮廓的图像。采用同样的光为带有引线的对象的底部轮廓和侧面轮廓提供带有黑色轮廓的图像。
光源18的光在轨道11的底面和带唇边的导轨12的底部内表面的45度角的镜面磨光的表面上发生反射。引线或管脚20的从背面照明的水平部分的阴影21，和从背面照明的引线或管脚20的垂直部分的阴影22，如图1中所示，位于由光源18从前面照明的这些部分23的两侧上。这些图像可以受到成像传感器25的探测。
成像传感器25的输出信号通过导线31提供给计算机单元30，后者处理这些信号从而显示在屏幕32上。底部成像传感器的图像如图6B中所示。
由于通过两个坐标轴形成的一组数据可以描述由成像传感器看到的图像，所有对象点是严格地成线性比例的。这明显地简化了由计算机单元进行的处理，使得可以使用标准的个人计算机而不需要具有高计算处理功率的计算机。
因此，引线或管脚20的垂直部分的阴影22可以简单地转换，与对象10的沿着轨道11两侧突出部分的阴影23一同，作为引线或管脚的水平部分的阴影21的延长，从而显示在屏幕上。
图6B还表示引线或管脚的水平部分27和垂直部分28比额定的长度更短，该额定的长度在屏幕上是由虚线表示的。
本发明还提供一些变形，用于如图7B至图7D中所示的带有长管脚或长引线45的对象。为了对比的目的，在图7A中以简单的方式示出根据图1中所示的直角三角形的轨道。在根据图7B的另一个实施例中，该直角三角形轨道延伸成不规则的五边形46，使得五边形轨道的直角三角形侧边可以看到引线45的顶端。
本发明还提供能够手动地或自动地上下调整的直角三角形，通过使用一个固定的平台47与可以上下调整的直角三角形48一同来支撑对象10，来适应如图7C中所示的引线长度的变化。
根据本发明的三角形的顶角不需要严格地保持在90度角，尽管直角的使用对于直接的和线性比例的反射是有优势的。如图7D中所示，对于三角形49可以使用更大或更小的顶角50，来为对象的所有特征提供成角度的图像。在该实施例中，处理信号的计算机单元30必须考虑到该成角度的反射。
本发明进一步包括特征，从而允许适合于各种不同大小的对象。为了达到该目的，带唇边的导轨52固定到可以移动的平台53上或者它们本身可以向内和向外运动，从而适应对象宽度的变化。在该实施例中，如图8中所示，带唇边的导轨52在外表面上都是双斜切的，从而允许更多的光以锐角照射到上表面上。曲线的外表面也可以实现减少阴影的同样效果。
另外在允许上下运动的可以移动的平台上放置一个延长的直角轨道55。在所示的实施例中，直角轨道55划分成两个部分，可以向内和向外地移动从而适应对象宽度的变化。还可以上下地调整轨道55的两个部分，从而适应对象厚度的变化。在这些可能性下，为了调整侧视图光源18应当相应地调整所述轨道。
平台可以手动地或自动地移动，来适应从一批同样大小的对象的尺寸变化到单独的尺寸变化。
平台或运动机械的实际设计是非实质的，只要带唇边的轨道导轨和直角轨道可以移动来适应对象，并且通过成像传感器观察待检查的对象不会受到阻碍。
尽管已经详细描述了本发明的优选实施例，应当理解在不脱离由所附的权利要求限定的本发明的构思和范围的情况下，可以做出不同变化、代替、和替换。

Claims (17)

1.一种装置，具有至少一个用于检查在轨道上运动的对象或者带有引线的对象，并且单独地进行检查的检查台，所述装置使用至少一个图像检查系统，其具有一个或多个用于表面细节检查，以及用于计算对象尺寸和/或测量来自所述待检查对象的突出部分的成像传感器，所述装置包括至少一个用于从正面和/或背面照明的光源，其特征在于：
所述轨道(11；46；48；49；55)的形状为三角形，其中基座位于两个相邻的拐角之间用于支撑所述对象(10)，顶角位于倒置的角锥的位置处，所述三角形位于顶角的两个相邻的表面是镜面磨光的，位于所述两个相邻的拐角之间的所述基座在尺寸上小于所述对象(10)，从而所述对象的相对的侧面，以及在带有引线的对象的情况下，它的引线或管脚(20；45)沿着所述轨道的所述相邻的拐角突出；
两个带唇边的导轨(12；52)从相对的两个侧边引导所述对象(10)，所述导轨的底部内表面，都以与水平面成锐角的角度形成唇边，并且是镜面磨光的，所述唇边具有足够长的长度来反射所述带有引线的对象的所述引线或管脚(20)；
所述光源最好由在所述轨道(11；46；48；49；55)的每一侧上形成的侧面图像漫射光源(18)构成，所述漫射光源用于提供所述引线或管脚(20；45)的有黑色轮廓的图像和/或所述对象(10)的底部和侧面尺寸的主视图；以及
所述成像传感器(25)位于所述轨道的下面。
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述轨道(11；46；48；49；55)是直角三角形，具有两个相邻的45度底角和一个90度的顶角，
并且，其中，所述带唇边的导轨(12；52)的所述底部内表面以与水平面成45度形成唇边。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，至少一个用于上表面细节检查的俯视图光源(14)和一个顶部成像的传感器(16)位于所述对象(10)的上面。
4.根据权利要求1至3中的任何一项所述的装置，其中计算机单元(30)接收所述成像传感器(25)和/或所述顶部成像传感器(16)的输出信号，用于在处理之后，在显示屏(32)上显示所述对象的尺寸以及所述引线或管脚(20；27；28；45)和/或所述上表面的细节(35；36；37)。
5.根据权利要求1、3、和4或权利要求2至4中的任何一项所述的装置，其中，所述带唇边的导轨(12；52)的顶部外表面是斜面的或曲面的，从而防止任何阴影投射在所述对象的上表面上。
6.根据权利要求1至5中的任何一项所述的装置，其中，所述对象或带有引线的对象(10)通过使用滚筒(43)或传送带类型的装置(44)单独地移动到所述检查台中，而滚筒(43)或传送带类型的装置(44)作为传送机械，以及将待检查的对象稳定在轨道上的机械。
7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述滚筒(43)或所述传送带类型的装置(44)具有柔韧的橡胶类表面材料，从而迎合对象的高度变化。
8.根据权利要求1至7中的任何一项所述的装置，其中，所述检查以“在飞行中”检查的方式进行。
9.根据权利要求1至8中的任何一项所述的装置，其中，在两个不同的工作台上，一方面进行所述表面细节检查，和另一方面进行所述计算对象尺寸和/或所述突出部分测量检查。
10.根据权利要求1和6中的任何一项所述的装置，其中，底部检查台被放置在所述滚筒(40)或所述传送带类型的装置(44)的下面，并且其中，顶部检查台被放置在底部检查台前面附近处。
11.根据权利要求1至10中的任何一项所述的装置，其中，所述直角三角形轨道的横截面被伸展成不规则五边形(46)。
12.根据权利要求1至10中的任何一项所述的装置，其中，所述轨道包括一固定的平台(47)以及一个三角形(48)，其可手动地或自动地上下调整以适应对象的引线长度的变化。
13.根据权利要求1至12中的任何一项所述的装置，其中，所述两个固定在所述平台上的带唇边的导轨(52)或者所述平台(53)可以向内和向外运动，从而适应对象宽度的变化。
14.根据权利要求1至3中的任何一项所述的装置，其中，所述三角形轨道(55)包括两个部分，其可向内和向外，和/或向上和向下移动调整。
15.根据权利要求1至14中的任何一项所述的装置，其中，延长的三角形轨道(55)安置在一允许向上和向下调整的平台上。
16.一种用于高速传送、检查、测量对象或带有引线的对象以及表面细节的方法，所述方法包括步骤：
提供一用于将所述对象或带有引线的对象(10)，以“单数”装置的方式馈给到检查台的轨道(11；46；48；49；55)，所述轨道的形状为三角形，其中位于两个相邻的拐角之间的基座用于支撑所述对象，顶角位于倒置的角锥的位置处，所述三角形位于顶角的两个相邻的表面是镜面磨光的；
以带唇边的导轨(12；52)的方式，将所述对象(10)在所述轨道(11；46；48；49；55)的两边上导向，其所述对象沿着所述相邻的拐角突出，所述带唇边的导轨具有足够的长度，将所述对象的引线(20；45)反射到其镜面磨光的底部内表面上；
提供了在所述导轨(11；46；48；49；55)的两边上的侧视图光源(18)，用于在相对于成像传感器的观察位置在前的所述对象的后部和侧部，照亮所述引线(20；52)；
提供在所述轨道(11；46；48；49；55)下方的所述成像传感器(25)，用于所述对象的后部照亮的引线(20；27；28；45)，以及所述对象沿着所述轨道的拐角突出的前部照亮的部分的成像；以及
接收所述成像传感器的输出信号并且应用于计算机单元(30)，用于在处理之后，在显示屏(32)上显示对象的尺寸以及引线。
17.根据权利要求16所述的方法，还包括用于顶部表面细节检查的步骤：
在所述被检查对象(10)的上方安置一顶部成像传感器(16)以及光源(14)；以及
将所述顶部成像传感器(16)的输出信号应用于所述计算机单元(30)，用于在处理后，在所述显示屏(32)上显示被检查对象的顶部表面细节。
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WO (1) WO2000033027A1 (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100368763C (zh) * 2003-06-18 2008-02-13 阿莫菲特公司 捕获和支撑3d轮廓的方法和系统
CN100395518C (zh) * 2003-06-06 2008-06-18 优志旺电机株式会社 图形检查方法及装置
CN100395519C (zh) * 2003-05-21 2008-06-18 优志旺电机株式会社 图形检查装置
CN100445691C (zh) * 2003-06-30 2008-12-24 韦尔豪泽公司 用于植物胚芽同时多视图成像的方法和系统
CN100554952C (zh) * 2005-08-03 2009-10-28 鸿劲科技股份有限公司 集成电路检测机
WO2011000324A1 (zh) * 2009-07-02 2011-01-06 法国圣-戈班玻璃公司 检测分离的低刚度的透明或半透明体的缺陷的设备和方法
CN110095058A (zh) * 2012-09-13 2019-08-06 通用电器技术有限公司 用于确定管道的质量的方法和系统

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6532063B1 (en) * 2000-11-10 2003-03-11 Semiconductor Technologies & Instruments 3-D lead inspection
CN111965215A (zh) * 2020-08-13 2020-11-20 长江存储科技有限责任公司 封装芯片缺陷检测装置及其方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265323A (ja) * 1993-03-16 1994-09-20 Hitachi Ltd 外観検査装置
JPH085568A (ja) * 1994-06-15 1996-01-12 Hitachi Ltd リード検査装置
JPH10153413A (ja) * 1996-11-21 1998-06-09 M C Electron Kk Ｉｃリードの外観寸法検査装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100395519C (zh) * 2003-05-21 2008-06-18 优志旺电机株式会社 图形检查装置
CN100395518C (zh) * 2003-06-06 2008-06-18 优志旺电机株式会社 图形检查方法及装置
CN100368763C (zh) * 2003-06-18 2008-02-13 阿莫菲特公司 捕获和支撑3d轮廓的方法和系统
CN100445691C (zh) * 2003-06-30 2008-12-24 韦尔豪泽公司 用于植物胚芽同时多视图成像的方法和系统
CN100554952C (zh) * 2005-08-03 2009-10-28 鸿劲科技股份有限公司 集成电路检测机
WO2011000324A1 (zh) * 2009-07-02 2011-01-06 法国圣-戈班玻璃公司 检测分离的低刚度的透明或半透明体的缺陷的设备和方法
CN110095058A (zh) * 2012-09-13 2019-08-06 通用电器技术有限公司 用于确定管道的质量的方法和系统

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