CN1337476A - 直拉硅单晶生长的重掺杂方法 - Google Patents
直拉硅单晶生长的重掺杂方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1337476A CN1337476A CN 00122075 CN00122075A CN1337476A CN 1337476 A CN1337476 A CN 1337476A CN 00122075 CN00122075 CN 00122075 CN 00122075 A CN00122075 A CN 00122075A CN 1337476 A CN1337476 A CN 1337476A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- doping
- silicon
- heavily
- doping device
- monocrystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 00122075 CN1109778C (zh) | 2000-08-16 | 2000-08-16 | 直拉硅单晶生长的重掺杂方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 00122075 CN1109778C (zh) | 2000-08-16 | 2000-08-16 | 直拉硅单晶生长的重掺杂方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1337476A true CN1337476A (zh) | 2002-02-27 |
CN1109778C CN1109778C (zh) | 2003-05-28 |
Family
ID=4589073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 00122075 Expired - Fee Related CN1109778C (zh) | 2000-08-16 | 2000-08-16 | 直拉硅单晶生长的重掺杂方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1109778C (zh) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101787566A (zh) * | 2010-03-25 | 2010-07-28 | 杭州海纳半导体有限公司 | 直拉硅单晶的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置 |
CN101717993B (zh) * | 2009-11-10 | 2011-01-12 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 直拉重掺锑单晶的掺杂方法及掺杂装置 |
US8524000B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-09-03 | MEMC Singapore Ptd. Ltd. | Pulling assemblies for pulling a multicrystalline silicon ingot from a silicon melt |
CN103361732A (zh) * | 2013-07-16 | 2013-10-23 | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 | 一种n型重掺磷母合金硅棒制备工艺 |
CN105088330A (zh) * | 2005-06-10 | 2015-11-25 | 埃尔凯姆太阳能公司 | 用于提炼熔融材料的方法及装置 |
CN105200513A (zh) * | 2015-10-19 | 2015-12-30 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种可控制电阻率的新型直拉硅单晶掺杂方法 |
CN105887187A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-08-24 | 上海超硅半导体有限公司 | 硅单晶生长掺杂剂浓度稳定控制技术 |
CN108796603A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-11-13 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种直拉单晶补掺合金的工艺方法 |
CN109457294A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-12 | 衢州晶哲电子材料有限公司 | 一种直拉重掺锑硅单晶锑源提纯装置及提纯掺杂方法 |
CN109487333A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-19 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 籽晶、直拉法制备单晶硅的方法和单晶硅 |
CN112160020A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-01 | 晶科能源有限公司 | 掺杂剂加料器、掺杂半导体材料的制备系统及方法 |
CN113463182A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-10-01 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒 |
CN113481592A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-10-08 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒 |
CN113584574A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-02 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 固相掺杂方法、装置、重掺砷硅单晶生产系统及生产方法 |
CN114351243A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-04-15 | 山东有研半导体材料有限公司 | 一种n型掺杂硅单晶的制备方法以及所制备的掺杂硅单晶 |
CN114808112A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-29 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种单晶生长方法及晶圆 |
CN115058767A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-16 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺方法和装置 |
-
2000
- 2000-08-16 CN CN 00122075 patent/CN1109778C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105088330A (zh) * | 2005-06-10 | 2015-11-25 | 埃尔凯姆太阳能公司 | 用于提炼熔融材料的方法及装置 |
US8524000B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-09-03 | MEMC Singapore Ptd. Ltd. | Pulling assemblies for pulling a multicrystalline silicon ingot from a silicon melt |
US8932550B2 (en) | 2008-12-30 | 2015-01-13 | Memc Singapore Pte. Ltd. | Methods for pulling a multicrystalline silicon ingot from a silicon melt |
CN101717993B (zh) * | 2009-11-10 | 2011-01-12 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 直拉重掺锑单晶的掺杂方法及掺杂装置 |
CN101787566A (zh) * | 2010-03-25 | 2010-07-28 | 杭州海纳半导体有限公司 | 直拉硅单晶的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置 |
CN103361732A (zh) * | 2013-07-16 | 2013-10-23 | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 | 一种n型重掺磷母合金硅棒制备工艺 |
CN105200513A (zh) * | 2015-10-19 | 2015-12-30 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种可控制电阻率的新型直拉硅单晶掺杂方法 |
CN105887187B (zh) * | 2015-11-24 | 2020-02-14 | 上海超硅半导体有限公司 | 一种硅单晶生长掺杂剂浓度稳定控制方法 |
CN105887187A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-08-24 | 上海超硅半导体有限公司 | 硅单晶生长掺杂剂浓度稳定控制技术 |
CN108796603A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-11-13 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种直拉单晶补掺合金的工艺方法 |
CN108796603B (zh) * | 2018-08-29 | 2024-04-19 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 | 一种直拉单晶补掺合金的工艺方法 |
CN109487333A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-19 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 籽晶、直拉法制备单晶硅的方法和单晶硅 |
CN109457294A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-12 | 衢州晶哲电子材料有限公司 | 一种直拉重掺锑硅单晶锑源提纯装置及提纯掺杂方法 |
CN112160020A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-01 | 晶科能源有限公司 | 掺杂剂加料器、掺杂半导体材料的制备系统及方法 |
CN113463182A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-10-01 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒 |
CN113481592A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-10-08 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒 |
CN113584574A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-02 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 固相掺杂方法、装置、重掺砷硅单晶生产系统及生产方法 |
CN114351243A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-04-15 | 山东有研半导体材料有限公司 | 一种n型掺杂硅单晶的制备方法以及所制备的掺杂硅单晶 |
CN114351243B (zh) * | 2021-12-07 | 2023-11-07 | 山东有研半导体材料有限公司 | 一种n型掺杂硅单晶的制备方法以及所制备的掺杂硅单晶 |
CN114808112A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-29 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种单晶生长方法及晶圆 |
CN115058767A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-16 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺方法和装置 |
CN115058767B (zh) * | 2022-05-30 | 2024-04-23 | 宁夏中晶半导体材料有限公司 | 一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺方法和装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1109778C (zh) | 2003-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1109778C (zh) | 直拉硅单晶生长的重掺杂方法 | |
US20070056504A1 (en) | Method and apparatus to produce single crystal ingot of uniform axial resistivity | |
CN112301426B (zh) | 一种单晶硅棒的制造方法 | |
CN1763265A (zh) | 磁场直拉硅单晶的制备方法 | |
CN107429421A (zh) | 用于将挥发性掺杂剂引入熔体内的设备和方法 | |
CN1289722C (zh) | 用于重掺直拉硅单晶制造的掺杂方法及其掺杂漏斗 | |
US10487418B2 (en) | Seed chuck assemblies and crystal pulling systems for reducing deposit build-up during crystal growth process | |
JPH076972A (ja) | シリコン単結晶の成長方法及び装置 | |
CN202144523U (zh) | 一种提高单晶硅纵向电阻率一致性的装置 | |
CN1289723C (zh) | 用于六英寸及八英寸重掺磷直拉硅单晶制造的熔体上部保温装置 | |
JPH03115188A (ja) | 単結晶製造方法 | |
CN1065105A (zh) | 制备半导体单晶用的双层坩埚 | |
CN217973493U (zh) | 一种用于mcz法拉制重掺锑单晶的加掺装置 | |
TW202328509A (zh) | 用於涉及矽進料管之惰性氣體控制之單晶矽錠生長之方法 | |
US5089082A (en) | Process and apparatus for producing silicon ingots having high oxygen content by crucible-free zone pulling, silicon ingots obtainable thereby and silicon wafers produced therefrom | |
CN113373518B (zh) | 一种用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法 | |
CN206204477U (zh) | 阻流环、改善单晶硅径向电阻率均匀性的组件 | |
KR101574755B1 (ko) | 단결정의 제조방법 | |
CN1788113A (zh) | 重复加料生长晶体的装置及其方法 | |
JP2003246695A (ja) | 高濃度にドーピングされたシリコン単結晶の製造方法 | |
JPH07277875A (ja) | 結晶成長方法 | |
CN1015649B (zh) | 制造半导体单晶装置 | |
JP2013121891A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP2000109400A (ja) | SiドープGaAs単結晶並びにその製造方法及び装置 | |
KR102514915B1 (ko) | 잉곳 품질을 향상시키기 위한 실리콘 용융물에서의 도펀트 농도 제어 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: HANGZHOU HAINA SEMICONDUCTOR CO.,LTD. Free format text: FORMER OWNER: ZHEJIANG UNIVERSITY Effective date: 20081114 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20081114 Address after: No. 99 Xincheng Road, Hangzhou, Zhejiang, Binjiang District Patentee after: Hangzhou?Haina?Semiconductor?Limited?Company Address before: Hangzhou City, Zhejiang Province ancient jade road 20 Patentee before: Zhejiang University |
|
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20030528 Termination date: 20120816 |