CN1217790A - 测量传感器及其制造方法 - Google Patents

测量传感器及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1217790A
CN1217790A CN199898800177A CN98800177A CN1217790A CN 1217790 A CN1217790 A CN 1217790A CN 199898800177 A CN199898800177 A CN 199898800177A CN 98800177 A CN98800177 A CN 98800177A CN 1217790 A CN1217790 A CN 1217790A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ceramic die
sensing element
die product
survey sensor
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN199898800177A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1252467C (zh
Inventor
卡尔-赫尔曼·弗里泽
海因茨·盖尔
赫尔穆特·魏尔
汉斯-马丁·维德曼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of CN1217790A publication Critical patent/CN1217790A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1252467C publication Critical patent/CN1252467C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4077Means for protecting the electrolyte or the electrodes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

这里建议的是测量传感器,特别是用于测定内燃机废气中的氧气含量的测量传感器和其制造方法。测量传感器包括有一个配置在金属外壳(10)的纵向孔(16)内的传感元件(12)夹套,传感元件(12)借助于传感元件密封件气密封地被夹在夹套中,在这里,传感元件密封是一个玻璃密封(57)。夹套具有一个在测量气体侧的陶瓷模制件(20)和一个在连接侧的陶瓷模制件(27),它们轴向串联配置,在两个陶瓷模制件(20,27)之间形成了一个空腔(55),玻璃密封(57)被热压在空腔里面。

Description

测量传感器及其制造方法
技术水平
本发明涉及按照独立权利要求类型的测量传感器。从US-PS5467636中公知这种传感器,在这种传感器中,一个平面型传感元件,借助于密封元件不透气地固定在废气侧的、下部的陶瓷模制件的绝缘套管里。在废气侧的陶瓷模制件在背向废气的端面有一个凹槽,这个凹槽包围了绝缘套管,玻璃密封放置在凹槽里。另外一个陶瓷模制件放在玻璃密封上面,借助于金属钎焊,同壳体连接。玻璃密封包围了位于凹槽之内的传感元件,并且在这个部位、在陶瓷模制件和传感元件之间制造了气密的连接。
本发明的优点
具有独立权利要求特征的、按照本发明的测量传感器的优点是,平面型传感元件可以同两个陶瓷模制件机械稳定、并且气密的连接。以此达到传感元件气密的密封是抗震动的,这样,在车辆中使用测量传感器期间,可以达到传感元件的超过使用寿命的、机械稳定的密封固定。按照本发明的方法,可以合理地制造传感元件的气密固定。
采用在从属权利要求中介绍的措施,可以另外构成和改进按照本发明的测量传感器及其制造方法。如果玻璃密封尽可能大面积地覆盖传感元件,然而又不能觉察到地进入到前面的、在以后测量传感器工作时承受高热负荷的范围,在传感元件和陶瓷模制件之间可以达到特别稳定的、气密的机械式结合。在玻璃密封前面的测量气体侧配置粉状附加密封,在融化过程中,可以阻止玻璃进入传感元件的、前面的、热高负荷范围。对制造过程合理的是,两个在相对端面上的陶瓷模制件,以凹模和凸模的形式构成,因此相互作用。通过此,可以充分利用陶瓷模制件的几何尺寸挤压玻璃密封和必要情况下使用的粉状附加密封。凹模和凸模之间形成的缝隙具有以下优点,在挤压时,玻璃密封可以漏入缝隙中,通过此可以采用高的压力挤压。同时,通过此可以避免,陶瓷模制件的两个端面相互碰在一起。另外,在陶瓷模制件之间的环缝中,可以放入另一个玻璃密封,或者放入一个环形的金属薄膜或者金属片,用此可以使两个陶瓷件达到结构闭合的连接。
附图
在下面的图中示出了本发明的三个实施例,并且在下面的说明中进行了详细的介绍。其中:
图1:按照本发明的测量传感器的剖面图,
图2:用于在没有遮蔽状态下的传感元件的传感元件密封的第一个实施例,具有一个制造密封件的装置,
图3:在没有遮蔽状态下的传感元件密封的第二个实施例,
图4:在没有遮蔽状态下的传感元件密封的第三个实施例。
实施例
在图1中示出的测量传感器是一个用于测定内燃机废气中氧气含量的电化学测量传感器。测量传感器具有一个金属壳体10,在这个金属壳体中,安装了一个片状的传感元件12,它具有一个在测量气体侧的终端段13和一个在连接侧的终端段14。壳体10有一个螺纹,作为用于安装到未示出的废气管内的固定件。此外,在壳体10中,安排有一个纵向孔16,比如说具有第一个凸肩状的环形面17和第二个凸肩状的环形面18。
在纵向孔16里,安装了一个在测量气体侧的陶瓷模制件20,它具有一个在测量气体侧的绝缘套管24以及一个在测量气体侧的端面21和一个在连接侧的端面22。在测量气体侧的端面21带有一个锥形密封面23,这个密封面座落在位于第二个凸肩状环形面18上的金属密封垫圈25上。在测量气体侧的陶瓷模制件20的上方,安装了一个连接侧的陶瓷模制件27,它具有一个在连接侧的绝缘套管30以及一个测量气体侧的端面28和一个在连接侧的端面29。
在连接侧陶瓷模制件27的在连接侧的端面29上面,放上了一个处于机械预应力下的盘形弹簧31,盘形弹簧借助于一个管状的固定罩32压到从壳体10里伸出来的、在测量气体侧的陶瓷模制件27上,其中,固定罩32借助于鼻状固定件34伸入到配置在壳体10外面的环形槽33里。两个陶瓷模制件20、17,借助于固定罩32和盘形弹簧31,在轴向方向中预夹紧,这样,在测量气体侧的陶瓷模制件20用锥形的密封面23压到密封垫圈25上面。通过此,在壳体10和陶瓷模制件20之间构成了一个气密的密封面。
从壳体伸出来的、在测量气体侧的终端段13例如被一个具有进气孔和出气孔38的、双壁的保护管37间隔地包围着。在连接侧的终端段14上,传感元件12具有没有详细示出的触点,这些触点借助于一个接触插头41与连接电缆触点接通。比如说,连接插头41由两个陶瓷件组成,这两个陶瓷件用一个夹紧件43固定在一起。传感元件12的、从连接侧陶瓷模制件27伸出来的、在连接侧的终端段14,用一个金属套管45包围着,金属套管同壳体10气密封地焊接在一起,而且具有一个管状的开口47,用于穿引连接电缆42的电缆绝缘套管48位于这个开口里面。
在测量气体侧的陶瓷模制件20,在连接侧的端面22上,有一个凸模状的凸出件51,这个凸出件包围了测量气体侧的绝缘套管24。在连接侧的陶瓷模制件27,在测量气体侧的端面28上,具有一个凹槽52,凸模状的凸出件51插入这个凹槽中,有一个径向缝隙53。在凸模状凸出件51的端面和凹槽53的底部之间,构成了一个空腔55,这个空腔装入了玻璃密封57。也可以在连接侧陶瓷模制件27上构成一个凸模状的凸出件51,在测量气体侧陶瓷模制件20上构成凹槽52。
玻璃密封57,实现了传感元件16在陶瓷模制件20、27内气密的密封。凸模状凸出件51和凹槽52的尺寸是这样设计的,在测量气体侧陶瓷模制件20和连接侧陶瓷模制件27的相对环形面之间形成了一个环形缝隙59。环形缝隙59用于,玻璃密封57的易熔玻璃在挤压时可以通过径向缝隙53泄漏到环形缝隙59中。
易熔玻璃、比如说锂(Li)-铝(Al)-硅酸脂玻璃或者锂(Li)-钡(Ba)-铝(Al)-硅酸脂玻璃,适合于做玻璃密封57。也可以在易熔玻璃里加入添加剂,通过此可以改善熔化玻璃的流动特性。
作为添加剂,为了玻璃密封57的增塑,在接缝过程中,可以使用象铜,铝,铁,黄铜,石墨,氮化硼,MoS2或者这些材料的混合物的粉状材料。比如说,采用了锂(Li)-碳酸脂、锂(Li)-皂、硼砂或者硼酸作为玻璃密封57的熔剂。添加平衡填充剂、象铝(Al)-氮化物、硅(Si)-氮化物、锆(Zr)-钨酸盐或者这些材料的混合物,适合于适应热膨胀。如果玻璃密封57添加了陶瓷粘接剂,象铝(Al)-磷酸脂或者铬(Cr)-磷酸脂,可以进一步改善玻璃密封57同陶瓷模制件20、27的陶瓷的结合。
为了达到传感元件12用玻璃密封57大面积沾湿,在所示出的实施例中,陶瓷模制件的测量气体侧的绝缘套管24和连接侧绝缘套管30的侧面分别构造了一个向着空腔55的锥形扩展段61(图2、3和4)。
从图2、3和4中,可以知道在没有遮蔽状态下的、传感元件密封的三个实施例,分别有一个用于制造玻璃密封57的装置。
这个装置具有一个作为凹模的托架70,它有一个夹套71和挡块72。陶瓷模制件20和27在夹套71中定位,陶瓷模制件具有装在绝缘套管24、30中的传感元件12。对此,传感元件12的轴向位置通过挡块72预先给定,其中,传感元件12的、在测量气体侧的终端段13放在挡块72上。首先,在测量气体侧的陶瓷模制件20同传感元件12一起,插入夹套71中。在凸模形凸件51的端面上,放上了一个玻璃半成品63,例如:以玻璃丸或者玻璃薄膜的形式,在这里,玻璃半成品63具有一个孔,用这个孔,玻璃半成品63移到传感元件12上。然后,在连接侧的陶瓷模制件27放到玻璃半成品63上,其中,传感元件12的在连接侧终端段伸出绝缘套管30。在所说明的配置中,借助于一个挤压凸模74,对连接侧的陶瓷模制件27施加一个例如600kp的压力。然而,事前将玻璃半成品32,例如借助于一个安装在托架70中的加热装置,加热到所使用的易熔玻璃或者所使用的玻璃陶瓷软化温度之上的温度。在挤压时,可流动的玻璃半成品63变形,而且,压入锥形扩展段61以及环形缝隙53内,超出径向缝隙53流动的熔化玻璃在此可漏入端侧环缝53中。
在图3中示出了第二个实施例。这个实施例与图1实施例的区别在于,在环形缝隙59中,放入另一个环状玻璃半成品64。可流动的、另一个玻璃半成品64,在挤压时,同玻璃半成品63一样变形,这样,环形缝隙59附加地被另外一个玻璃密封来密封。
从图4中的配置中可以知道传感元件密封的另一个实施例。在那里,在测量气体侧,在玻璃半成品63的下面放上了另一个预压的并且如需要预烧结的半成品65。具有良好的塑性变形性的这种材料,象滑石、瓷土、陶土、膨润土、石墨、氮化硼等等,特别适用于作为另一个半成品65的材料。在凸模74作用时,在挤压可流动的玻璃半成品63时,同时使半成品65也变形成其粉状成分,这样,就形成了粉状附加密封。在这里,在易熔玻璃流动之前,这些粉进入通过锥形扩展段61构成的、测量气体侧的绝缘套管24的缝隙之中,这样,阻止易熔玻璃流入陶瓷模制件20的热高负荷的、在测量气体侧的一端。
在图3和4中示出的装置,相当于图2的装置。因此,可以按照采用图2装置实现的方法,来实施图4的制造玻璃密封57的方法。然而,也可以想到,首先,另一个半成品65借助于一个凸模变成粉,并且压入传感元件和在测量气体侧的绝缘套管之间的缝隙中,紧接着,玻璃半成品63按照图2的工作方式挤压。按照图4的传感元件密封的另一个实施例,在环形缝隙59中熔化另一个易熔玻璃,如同在图3中的实施例一样,同样是可能的。

Claims (15)

1.测量传感器,特别是用于测定内燃机废气中的氧气含量的测量传感器,具有一个配置在金属外壳纵向孔内的传感元件夹套,传感元件借助于传感元件密封气密封地被夹在夹套中,其中,传感元件密封含有玻璃密封,其特征是,
传感元件(12)的夹套,具有一个在测量气体侧的陶瓷模制件(20)和一个在连接侧的陶瓷模制件(27),在两个陶瓷模制件(20,27)之间形成了一个空腔(55),玻璃密封57被热压入空腔里面。
2.按照权利要求1所述的测量传感器,其特征是,
在测量气体侧的陶瓷模制件(20)和在连接侧的陶瓷模制件(27)轴向串联配置,一个陶瓷模制件(20)具有一个凸模形的凸件(51),另一个陶瓷模制件(27)具有一个凹槽(52),空腔(55)在凹槽(52)中构成。
3.按照权利要求2所述的测量传感器,其特征是,
凸模形的凸件(51)被构造在测量气体侧的陶瓷模制件(20)上,凹槽(52)被构造在连接侧的陶瓷模制件(27)上。
4.按照权利要求2或者3所述的测量传感器,其特征是,
凸模形的凸件(51)在凹槽中被一个径向缝隙(53)包围。
5.按照权利要求1所述的测量传感器,其特征是,
玻璃密封(57)包含有锂(Li)-铝(Al)-硅酸脂玻璃或者锂(Li)-钡(Ba)-铝(Al)-硅酸脂玻璃。
6.按照权利要求1或者5所述的测量传感器,其特征是,
玻璃密封(57),除了含有玻璃成分之外,还含有添加剂,象增塑剂,熔剂,填充剂或者是这些添加剂的混合物。
7.按照权利要求6所述的测量传感器,其特征是,
增塑剂的材料是,铜,铝,铁,黄铜,石墨,氮化硼,MoS2或者这些材料的混合物。
8.按照权利要求1所述的测量传感器,其特征是,
陶瓷模制件(20,27)分别具有一个轴向分布的用于容纳传感元件(12)的绝缘套管(24,30),并且陶瓷模制件(20,27)的至少一个绝缘套管(24,30)具有一个朝向空腔(55)的扩展段(61)。
9.按照权利要求1所述的测量传感器,其特征是,
至少在测量气体侧的陶瓷模制件(20)上,对于玻璃密封(57),传感元件密封至少附加具有粉状密封填料。
10.按照权利要求9所述的测量传感器,其特征是,
粉状密封填料在强热负荷侧挨着玻璃密封(57)安装在空腔(55)里。
11.按照权利要求10所述的测量传感器,其特征是,
粉状密封填料由陶瓷组成。
12.按照权利要求9,10或者11所述的测量传感器,其特征是,
粉状密封填料由滑石、石墨、氮化硼、Al2O3,ZrO2或者这些材料的混合物组成。
13.制造按照权利要求1至12之一所述测量传感器的方法,其特征是,
把一个玻璃半成品插入两个陶瓷模制件之间,用做玻璃密封的玻璃半成品在一定温度下热挤压,所采用的温度至少相当于所使用玻璃、或者所使用玻璃陶瓷的软化温度。
14.按照权利要求12所述的方法,其特征是,
挤压玻璃半成品(63)的压力为400-700千克力。
15.按照权利要求12或者13所述的方法,其特征是,
在测量气体侧的陶瓷模制件、传感元件、玻璃半成品、在连接侧的陶瓷模制件和在必要情况下的粉末状密封填料在组装状态下装入一个凹模里,在凹模里的玻璃半成品至少加热到软化温度,紧接着,借助于一个压头向连接侧的陶瓷模制件施加压力。
CNB988001772A 1997-02-25 1998-01-07 测量传感器及其制造方法 Expired - Fee Related CN1252467C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19707456.1 1997-02-25
DE19707456A DE19707456A1 (de) 1997-02-25 1997-02-25 Meßfühler und Verfahren zu dessen Herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1217790A true CN1217790A (zh) 1999-05-26
CN1252467C CN1252467C (zh) 2006-04-19

Family

ID=7821386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB988001772A Expired - Fee Related CN1252467C (zh) 1997-02-25 1998-01-07 测量传感器及其制造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6408680B2 (zh)
EP (1) EP0895594A1 (zh)
JP (1) JP2000509824A (zh)
KR (1) KR100576978B1 (zh)
CN (1) CN1252467C (zh)
DE (1) DE19707456A1 (zh)
WO (1) WO1998038505A1 (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100507545C (zh) * 2003-09-17 2009-07-01 日本特殊陶业株式会社 传感器和制造传感器的方法
CN101893597A (zh) * 2009-05-22 2010-11-24 罗伯特.博世有限公司 用于调节处理传感器元件的方法
CN102346178A (zh) * 2010-07-26 2012-02-08 比亚迪股份有限公司 一种气体传感器密封件及一种汽车氧传感器
CN102854224A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 常熟市德虞矿山机电有限公司 烟雾传感器装置
CN102854225A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 常熟市德虞矿山机电有限公司 烟雾传感器
CN101206190B (zh) * 2006-12-20 2013-03-06 罗伯特·博世有限公司 排气传感器及其制造方法
CN101216453B (zh) * 2007-12-28 2013-07-31 联合汽车电子有限公司 氧传感器
CN103424452A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 株式会社电装 气体传感器
CN108027311A (zh) * 2015-09-17 2018-05-11 大陆汽车有限公司 传感器和用于生产传感器的方法
CN114414643A (zh) * 2022-01-10 2022-04-29 中国原子能科学研究院 氧传感器

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10009597B4 (de) * 2000-02-29 2006-12-07 Robert Bosch Gmbh Elektrochemischer Messfühler und Verfahren zu dessen Herstellung
JP4576722B2 (ja) * 2000-03-27 2010-11-10 株式会社デンソー ガスセンサ
JP4639515B2 (ja) * 2000-06-30 2011-02-23 株式会社デンソー ガスセンサ
JP3800978B2 (ja) 2000-06-30 2006-07-26 株式会社デンソー ガスセンサ及びその製造方法
US6673224B2 (en) 2000-06-30 2004-01-06 Denso Corporation Sealing structure of gas sensor
JP4682433B2 (ja) * 2000-06-30 2011-05-11 株式会社デンソー ガスセンサ
US6623612B2 (en) 2000-06-30 2003-09-23 Denso Corporation Sealing structure of gas sensor
JP4604419B2 (ja) * 2000-09-29 2011-01-05 株式会社デンソー ガスセンサの製造方法及び製造装置
JP4624548B2 (ja) * 2000-12-28 2011-02-02 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
JP4517526B2 (ja) * 2001-03-28 2010-08-04 株式会社デンソー ガスセンサの製造方法
JP4560977B2 (ja) 2001-03-29 2010-10-13 株式会社デンソー ガスセンサの製造方法
DE10123168C1 (de) 2001-05-12 2002-11-07 Bosch Gmbh Robert Dichtungsanordnung für einen Gasmeßfühler und Verfahren zur Herstellung der Dichtungsanordnung
JP4670197B2 (ja) * 2001-08-01 2011-04-13 株式会社デンソー ガスセンサ
DE10222789B4 (de) * 2002-05-23 2006-12-07 Robert Bosch Gmbh Gasmeßfühler
DE10225150A1 (de) 2002-06-06 2004-01-15 Robert Bosch Gmbh Gasmessfühler
US6843105B1 (en) * 2003-06-30 2005-01-18 Robert Bosch Corporation Contact pin for exhaust gas sensor
US7404883B2 (en) * 2004-04-12 2008-07-29 Robert Bosch Gmbh Insulation bushing assembly for an exhaust gas sensor
DE102004033958A1 (de) * 2004-07-14 2006-02-09 Robert Bosch Gmbh Messfühler
US7887685B2 (en) * 2005-07-14 2011-02-15 Caterpillar Inc. Multilayer gas sensor having dual heating zones
US20080206107A1 (en) * 2007-02-23 2008-08-28 Honeywell International Inc. Gas sensor apparatus for automotive exhaust gas applications
US7805992B2 (en) * 2007-03-27 2010-10-05 Honeywell International Inc. Gas sensor housing for use in high temperature gas environments
US7563118B1 (en) * 2008-06-20 2009-07-21 Delphi Technologies, Inc. High temperature connector
US9297791B2 (en) 2012-12-20 2016-03-29 Robert Bosch Gmbh Gas sensor with thermal shock protection
CN111442791A (zh) 2013-03-04 2020-07-24 德康公司 用于检测器组件的电线密封件
KR101525681B1 (ko) * 2013-10-28 2015-06-03 주식회사 현대케피코 자동차용 산소센서 및 이의 제조방법
KR101525683B1 (ko) * 2013-10-28 2015-06-03 주식회사 현대케피코 자동차용 산소센서의 제조방법
KR101525682B1 (ko) * 2013-10-28 2015-06-03 주식회사 현대케피코 자동차용 산소센서 및 이의 제조방법
JP6406161B2 (ja) * 2015-08-07 2018-10-17 株式会社デンソー ガスセンサ
JP6610228B2 (ja) * 2015-12-10 2019-11-27 日本電気硝子株式会社 ガラス管成形用スリーブ
JP6710596B2 (ja) * 2016-07-06 2020-06-17 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
JP6778125B2 (ja) * 2017-02-09 2020-10-28 日本特殊陶業株式会社 排気ガスセンサ
EP3361244B1 (de) 2017-02-13 2022-09-14 Heraeus Nexensos GmbH Sensor zur analyse von gasen und verfahren zum herstellen des sensors
JP2019020290A (ja) * 2017-07-19 2019-02-07 東京窯業株式会社 固体電解質センサ
US11002700B2 (en) 2017-11-21 2021-05-11 Honeywell International Inc. High temperature gas sensor
JP7116603B2 (ja) * 2018-06-21 2022-08-10 東京窯業株式会社 ガスセンサの製造方法及びガスセンサ
DE102020200788A1 (de) * 2019-01-28 2020-07-30 Cummins Emission Solutions Inc. Wiederaufbereitbare Sensorbaugruppen und Wiederaufbereitungsverfahren
JP2020148585A (ja) * 2019-03-13 2020-09-17 株式会社東芝 電気配線貫通装置および電気配線貫通モジュール

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3920172A (en) 1974-10-03 1975-11-18 Bendix Corp Conductive glass seal assembly
US4130797A (en) * 1976-11-25 1978-12-19 Nippon Soken, Inc. Gas component sensing apparatus
JPS54137394U (zh) * 1978-03-17 1979-09-22
JPS5613745U (zh) * 1979-07-12 1981-02-05
US4403207A (en) * 1981-10-26 1983-09-06 General Motors Corporation Durable titania exhaust gas sensor
US4414531A (en) * 1982-09-30 1983-11-08 Ford Motor Company Partial pressure of oxygen sensor-I
US4665740A (en) * 1984-08-22 1987-05-19 Nippondenso Co., Ltd. Combustion process sensor
JPS6193944A (ja) * 1984-10-13 1986-05-12 Ngk Spark Plug Co Ltd ガス検出素子
US4883643A (en) * 1985-06-20 1989-11-28 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Oxygen sensor protected against contaminants
JPH0637325Y2 (ja) * 1989-05-15 1994-09-28 日本碍子株式会社 酸素センサ
JP3000595B2 (ja) * 1989-09-12 2000-01-17 株式会社デンソー ガス成分検出素子の製造方法
JP2708915B2 (ja) 1989-11-25 1998-02-04 日本特殊陶業株式会社 ガス検出センサ
US5490412A (en) * 1993-05-11 1996-02-13 General Motors Corporation Exhaust sensor with removable electrical connector
US5329806A (en) * 1993-05-11 1994-07-19 General Motors Corporation Exhaust sensor with tubular shell
US5467636A (en) * 1994-09-27 1995-11-21 General Motors Corporation Flat plate sensor with a robust package design

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100507545C (zh) * 2003-09-17 2009-07-01 日本特殊陶业株式会社 传感器和制造传感器的方法
CN101206190B (zh) * 2006-12-20 2013-03-06 罗伯特·博世有限公司 排气传感器及其制造方法
CN101216453B (zh) * 2007-12-28 2013-07-31 联合汽车电子有限公司 氧传感器
CN101893597A (zh) * 2009-05-22 2010-11-24 罗伯特.博世有限公司 用于调节处理传感器元件的方法
CN101893597B (zh) * 2009-05-22 2014-10-22 罗伯特.博世有限公司 用于调节处理传感器元件的方法
CN102346178A (zh) * 2010-07-26 2012-02-08 比亚迪股份有限公司 一种气体传感器密封件及一种汽车氧传感器
CN103424452A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 株式会社电装 气体传感器
CN102854224A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 常熟市德虞矿山机电有限公司 烟雾传感器装置
CN102854225A (zh) * 2012-08-31 2013-01-02 常熟市德虞矿山机电有限公司 烟雾传感器
CN108027311A (zh) * 2015-09-17 2018-05-11 大陆汽车有限公司 传感器和用于生产传感器的方法
CN114414643A (zh) * 2022-01-10 2022-04-29 中国原子能科学研究院 氧传感器

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998038505A1 (de) 1998-09-03
KR100576978B1 (ko) 2006-09-22
DE19707456A1 (de) 1998-08-27
EP0895594A1 (de) 1999-02-10
CN1252467C (zh) 2006-04-19
US20010045120A1 (en) 2001-11-29
KR20000064982A (ko) 2000-11-06
US6408680B2 (en) 2002-06-25
JP2000509824A (ja) 2000-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1252467C (zh) 测量传感器及其制造方法
KR100422999B1 (ko) 가스센서의센서소자용시일
US5949023A (en) Temperature-resistant cable bushing and method for the manufacture of the same
US5616825A (en) Exhaust sensor including a ceramic tube in metal tube package
US5467636A (en) Flat plate sensor with a robust package design
KR20000022058A (ko) 가스 센서용 센서 소자 밀봉부
US5743646A (en) Temperature sensor with improved thermal barrier and gas seal between the probe and housing
US6164120A (en) Detector and method for the production thereof
US5602325A (en) Exhaust sensor having flat plate ceramic sensing element and a sealing package
EP1939615B1 (en) Exhaust gas sensor and method of manufacture
US6223583B1 (en) Sensor element seal for a detector
CN1796991B (zh) 气体测量传感器
KR20000016317A (ko) 센서용 밀봉 소자
JP2005326394A (ja) ガスセンサ
EP0704698A1 (en) Exhaust sensor having flat plate ceramic sensing element and a sealing package
JP2003004695A (ja) ガスセンサ、及びそのためのシール装置の製造方法
EP2537013B1 (en) Process of manufacturing temperature probes
JPH11108884A (ja) ガスセンサのセンサ要素のためのパッキン及びその製造方法
JP2000314715A (ja) ガスセンサ及びその製造方法
JPS58186137A (ja) 内燃機関用点火プラグの絶縁体中に中央電極を間隙なしに取付ける方法
DE19751424A1 (de) Sensorelementdichtung für einen Gasmeßfühler
KR20000064981A (ko) 측정감지기
JP2006126194A (ja) ガス測定センサ
US5678832A (en) Boron nitride seal and method of use
JP2010025617A (ja) ガスセンサの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee