CN1196807C - 无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的湿化学法制备技术 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种简便而有效的制备锆钛酸钡(BZT)薄膜的湿化学法制备技术,属于功能陶瓷薄膜领域。前驱液以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂,乙酰丙酮和冰醋酸为稳定剂,按Ba∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X克分子浓度配比(0<X<1)制备BZT功能薄膜的前驱液,浓度为0.2-0.3M,然而经过滤后成膜、甩胶、甩胶速度为3000-4000转/分,时间30秒,然后预处理,经多次成膜-预处理-再成膜,达到需要厚度后于650-750℃氧气氛下退火制成。用本发明制备的无铅BZT功能薄膜具有良好的介电、铁电和压电性能,与传统有铅的铅基薄膜相比具有明显的优点:成分无铅,适合环境保护要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种无铅锆钛酸钡(BZT)功能陶瓷薄膜的制备技术,更确切地说是关于用湿化学方法制备BZT功能陶瓷薄膜,属于功能陶瓷薄膜领域。
背景技术
锆钛酸钡(BZT)功能陶瓷,具有良好的介电、压电、铁电、热释电等效应,在微电子领域中具有极大的应用前景,是微电子机械系统(MEMS)的理想材料之一,可用于制作大容量电容器、非挥发性铁电存储器、压电驱动器、红外探测器等。它是无铅材料,适合环保要求。随着器件的小型化、集成化程度的提高,需要把BZT制备成功能薄膜。制备BZT功能陶瓷薄膜的方法,目前尚无专利报道。溶胶-凝胶法具有成本低、处理温度低、易于大面积成膜的优点。溶胶-凝胶法工艺通常包含醇盐水解反应,精确控制溶液中醇盐的水解速度,是制备优质铁电薄膜的关键所在。为了制备高质量的前驱液,高纯的起始原料是必要的,所以配制前驱液前,首先要对原料进行多次精馏,以去除杂质和水分,每次制备薄膜时,再加入适当的水控制水解的速度和程度,因此整个过程比较繁琐,配制时间长。而且制备成本较高,不适合无铅锆钛酸钡大规模制备。
发明内容
本发明的目的在于提供一种简便的制备无铅环境材料锆钛酸钡(BZT)薄膜的方法,特别是前驱液的配制,不需精馏。只需添加适量稳定剂,来控制醇盐的水解程度,关键是先把醋酸钡放入冰醋酸充分溶解,再加入相应的锆、钛醇盐溶液,及其稳定剂乙酰丙酮,整个前驱液配制过程只需1-2小时,前驱液稳定性好,存放周期长,如存放180天后再制膜效果不变。用此前驱液制备的BZT铁电薄膜性能良好。
本发明的目的是通过下述配制过程实施的:
1.首先将醋酸钡溶于冰醋酸,控制加热至70℃,搅拌30分钟,得到澄清的醋酸钡溶液。将丙醇锆和钛酸丁酯分别溶于乙二醇甲醚中,且在钛酸丁酯的乙二醇甲醚溶液中加入5%-15%的乙酰丙酮(或冰醋酸)以稳定溶液,搅拌10分钟。再按所需Zr/Ti比,将丙醇锆-乙二醇甲醚和钛酸乙酯-乙二醇甲醚溶液混合搅拌10分钟;最后钡、锆、钛三者比例克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,(0<X<1),将锆钛混合液倒入冷却的醋酸钡溶液中,将得到的锆钛酸钡混合溶液加热至70℃,搅拌30分钟,使溶液水解,最后将配制好的溶液用慢速定性滤纸过滤,去除杂质,从而得到澄清的BZT前驱液。
2.制备BZT薄膜。将上述浓度为0.2-0.3M前驱液甩胶成膜法制膜,选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片,甩胶速度控制在3000-4000转/分钟,时间30秒,然后放在350℃-450℃的热平板上预处理10分钟,经过多次成膜-预处理-再成膜,获得一定厚度的功能BZT膜,再经650℃-720℃在快速热退火炉中,氧气氛下退火10分钟,升温速率是100℃/秒,得到结晶完善,随机取向的BZT薄膜。
本发明提供的制备无铅功能薄膜的方法比有以下优点:不需精馏,不需另外加水控制醇盐水解,只需加少量稳定剂,整个过程只需1-2小时,前驱液存放周期长,稳定性好,存放180天后制膜,性能不变。制备的无铅BZT功能薄膜具有良好的介电、铁电和压电性能。
附图说明
图1为本发明提供的方法制备的BZT铁电薄膜生长在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的XRD谱,预处理温度是350℃,最后退火温度是720℃,升温速率是100℃/秒,为多晶薄膜。而图2和图3是组分为Ba(Zr0.05Ti0.95)O3(BZT5)薄膜表面和断面的SEM照片,从照片上看薄膜致密均匀,晶粒尺寸在纳米尺度范围。图4为该组分的铁电性能,它是用真空蒸发方法在功能BZT5薄膜上沉积直径0.8mm的Au电极,用TF分析2000铁电测试仪测量的,图3中横坐标为电场,单位为kV/cm,纵坐标是极化强度,单位是μC/cm2。图中表明,其剩余极化强度达4.7μC/cm2。纳米晶BZT5薄膜具有良好的铁电性。
具体实施方式
下面通过实施例进一步阐明本发明的实质性特点和显著的优点,本发明决非仅局限于所述的实施例。
实施例1
浓度为0.3摩尔/升前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.05∶0.95(简称BZT5),其制备方法是将醋酸钡溶于冰醋酸,控制加热至70℃,搅拌30分钟,得到澄清的醋酸钡溶液;将丙醇锆和钛酸丁酯分别加入乙二醇甲醚中,加入10%的乙酰丙酮以稳定溶液,搅拌10分钟。按上述比例加热至70℃,搅拌30分钟,用快速定性滤纸滤去杂质制成前驱液。选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片,甩胶速度3600转分钟,时间30秒,预处理温度为450℃,时间10分钟,重复六次。经720℃,氧气氛下退火10分钟,升温速率是100℃/秒,获得厚度为490nm薄膜,结晶完善、呈随机取向。再在膜上蒸发Ф0.8mm的Cr/Au电极,测量其铁电性能。图1-4是BZT5薄膜的XRD谱、形貌、铁电性能。
实施例2
前驱液浓度0.3摩尔/升,金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.5∶0.5(简称BZT50/50),甩胶速度3800转/分钟,时间30秒,每次预处理温度420℃,时间10分钟,反复六次,经730℃,氧气氛下迅速退火处理10分钟,获得厚度为300nm的薄膜,得到结晶完善,呈随机取向的BZT50/50薄膜。其余同实施例1。
实施例3
预处理温度为400℃,得到结晶完善,显示(100)取向的BZT薄膜。其余同实施例1。
实施例4
前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.08∶0.92,基片为Pt/Ti/SiO2/Si,其余同实施例1。
实施例5
前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.15∶0.85,基片为Pt/Ti/SiO2/Si,其余同实施例1。
实施例6
前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.20∶0.80,基片为Pt/Ti/SiO2/Si,其余同实施例1。
实施例7
前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.30∶0.70,基片为Pt/Ti/SiO2/Si,其余同实施例1。
实施例8
前驱液中金属离子克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶0.75∶0.25,基片为Pt/Ti/SiO2/Si,其余同实施例1。
Claims (3)
1.一种制备无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的制备技术,包括前驱液的配制,热处理过程及成膜工艺的选择,其特征在于先把醋酸钡放入冰醋酸充分溶解,再加入相应的锆、钛醇盐溶液及其稳定剂乙酰丙酮,具体是:
(1)前驱液是以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚溶剂,乙酰丙酮或冰醋酸为稳定剂;按Ba∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,0<X<1,配制成前驱液;前驱液浓度为0.2-0.3摩尔/升;
(2)前驱液经过滤除去杂质,甩胶成膜法制备薄膜,选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片,甩胶速度控制在3000-4000转/分钟,时间30秒,然后放在350℃-450℃的热平板上预处理10分钟,经过多次成膜-预处理-再成膜,获得一定厚度的BZT薄膜,再经650-720℃在氧气氛下退火处理10分钟,升温速率为100℃/秒,得到结晶完善,随机取向或择优取向的功能BZT薄膜。
2.按权利要求1所述的制备无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的制备技术,其特征在于,权利要求1中第1款所述的前驱液配制的工艺条件为:
(1)醋酸钡溶于冰醋酸,控制加热至70℃,搅拌30分钟,得到澄清的醋酸钡溶液;
(2)将丙醇锆溶于乙二醇甲醚;
(3)将钛酸丁酯溶于乙二醇甲醚,加入5%-15%的乙酰丙酮或冰醋酸,搅拌10分钟,稳定溶液;
(4)按所需的Zr/Ti比,将丙醇锆-乙二醇甲醚和钛酸丁酯-乙二醇甲醚溶液混合,搅拌10分钟。
(5)钡、锆、钛三者比例克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,0<X<1将锆钛混合溶液倒入冷却的醋酸钡溶液中,将得到的锆钛酸钡混合液加热至70℃,搅拌30分钟,使溶液水解。
3.按权利要求1或2所述的制备无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的制备技术,其特征在于所得薄膜厚度300-600nm,呈随机取向。
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C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |