CN1342783A - 锆钛酸铅陶瓷的功能梯度薄膜的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种锆钛酸铅功能梯度薄膜的制备方法,属于功能薄膜领域。其特征在于前驱液以三水合醋酸铅、异丙醇锆(硝酸锆或醋酸锆)、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂,按Pb(Zr1-xTix)O3(0≤x≤1)为配比,X间距为0.05至0.10,配制成PZT(x)前驱体溶液,制备以Zr/Ti成分为梯度分布的PZT功能梯度薄膜。梯度层数可以是3层或多层。可以是以PbZrO3为基础通过改变Zr/Ti成分梯度,也可以PbTiO3改变Zr/Ti成分梯度,或偏离PbZrO3和PbTiO3的PZT为基础,通过改变Zr/Ti成分的梯度。此种功能梯度铁电薄膜,比纯的PZT薄膜致密,具有良好的铁电、介电和热释电特性。是制备非制冷红外传感器的理想功能梯度材料之一。
Description
技术领域
本发明涉及一种锆钛酸铅(PZT)热释电陶瓷的功能梯度薄膜的制备方法,更确切的说,涉及一种非制冷红外传感器用PZT热释电功能梯度薄膜的制备方法。属于功能陶瓷薄膜领域。
背景技术
锆钛酸铅(PZT)薄膜,具有良好的介电、压电、铁电、热释电等效应,在微电子领域中具有极大的应用前景,是微电子机械系统(MEMS)的理想材料之一,可用于制作大容量电容器、非挥发性铁电存储器、压电驱动器、表面声波器件、红外探测器等。制备PZT铁电薄膜的方法有很多,如溅射法,金属有机物沉淀法(MOD)、溶胶-凝胶法等,其中溶胶-凝胶法具有成本低、处理温度低、易于大面积成膜的优点,从而成为最主要的方法。国际上用金属铅、锆和钛的醇盐溶液,利用MOD技术,制备了Zr/Ti比率从55/45到75/25的PZT梯度薄膜,其特点是全部使用金属醇盐,因而成本高,国内目前尚无铅和锆的醇盐,曾用三水醋酸铅取代铅的醇盐,利用简便的溶胶-凝胶法工艺,不需要蒸馏去结晶水配置前驱液,制备PZT铁电薄膜,并已取得了专利保护。在前一个专利的此基础上我们发展了一种制备热释电PZT梯度功能薄膜的方法,不同之处主要在于薄膜的梯度结构,其次是可以用醋酸锆或硝酸锆取代异丙醇锆醇盐,进一步降低成本。PZT梯度薄膜比纯的单一成分的薄膜更致密,介电常数高、铁电性能好,热释电性能优异。
发明内容
本发明的目的在于提供一种制备锆钛酸铅(PZT)功能梯度薄膜的制备方法,特别是梯度结构包括不同钛的克分子浓度的前驱液的配制,特别是梯度结构的选择。同样不需精馏,不需加水,不需加稳定剂,利用醋酸铅中的三个结晶水,来控制水解程度,关键是先把含有3个结晶水的醋酸铅溶于乙二醇甲醚中充分溶解,再加入相应的锆、钛溶液,整个前驱液配制过程只需1-2小时,前驱液稳定性好,存放周期长,如存放365天后再制膜效果不变。用此前驱液制备的PZT功能梯度薄膜性能良好。本发明的目的是通过下述梯度结构和溶液配制过程来实施的:
1.首先将含三个结晶水的醋酸铅溶于乙二醇甲醚中,控制加热至70℃,搅拌30分钟,得到澄清的醋酸铅溶液。然后依次加入异丙醇锆(或硝酸锆、醋酸锆溶于冰醋酸)和钛酸丁酯,铅、锆、钛三者克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.05-1.10∶1-X∶X,(0≤X≤1)。X间距为0.05-0.10。溶液加热至70℃,搅拌60分钟,用乙二醇甲醚调节浓度至0.2-0.3摩尔/升,得到澄清透明的制备以Zr/Ti成分为梯度分布的PZT薄膜所需的前驱液。
制备PZT梯度薄膜。将上述浓度为0.2摩尔/升的前驱液甩胶成膜法制膜,选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片。PZT薄膜梯度结构,以Ti的克分子含量百分数作为标记,可分为向上梯度组分和向下梯度组分,以X间距0.1为例,向上梯度组分为PZT0,PZT10,PZT20,PZT30,PZT40,PZT50,向下梯度组分分别为PZT50,PZT40,PZT30,PZT20,PZT10,PZT0。甩胶速度控制在3000-4000转/分钟,时间30秒,每种前驱液甩胶1次或2次,层数可以是3层或多层,然后放在300℃-450℃的热板上预处理10分钟,经过多次成膜-预处理-再成膜,获得一定厚度的梯度PZT膜,再经550℃-650℃,在氧气氛下退火处理10分钟,升温速率100℃/秒,得到结晶完善,择优取向的PZT梯度薄膜。薄膜厚度150-350nm,每层厚度取决于前驱液浓度、甩胶速度和时间。
本发明提供的一种制备PZT梯度薄膜的技术。与纯的PZT薄膜相比,梯度铁电薄膜更致密,具有优异的热释电特性。目前采用的方法相比具有明显的优点:不需精馏,整个过程只需1-2小时,前驱液存放周期长,稳定性好,在室温下存放365天后制膜,性能不变。此种功能梯度铁点薄膜,比的PZT薄膜致密,具有良好的铁电、介电和热释电特性,是制备非制冷红外传感器的理想功能梯度材料之一。
附图说明
图1为本发明提供的方法制备的向上和向下梯度PZT铁电薄膜的二种结构图,预烧结温度在350℃,显然在(111)面择优取向特征明显,而图2为该组分分布的俄歇能谱分析(AES)谱,横坐标表示时间,单位秒,纵坐标表示原子所占百分数。图3为该组分的电滞回线,横坐标表示电压,单位伏特(V),纵坐标表示极化强度,单位μC/cm2。它是用真空蒸发方法在梯度PZT薄膜上沉积直径0.2mm的Au电极,用改进的Sawyer-Tower电路测试仪在1kHz的正弦信号下测量的,图中表明,其极化Offset高达42μC/cm2。图4为向上梯度薄膜的热释电性能,横坐标表示温度,单位摄氏温度℃,纵坐标表示热释电系数,单位μC/m2K。它是用真空蒸发方法在梯度PZT薄膜上沉积直径0.8mm的Cr/Au电极,用动态法测量的,图中表明,在20-80℃温度范围,其热释电系数最高达400μC/m2K。
具体实施方式
下面通过六个实施例进一步阐明本发明的实质性特点和显著的进步,但本发明决非仅局限于所述的实施例所述的实施方式。
实施例1
浓度为0.2摩尔/升的前驱液中金属离子克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X(x=0,0.10,0.20,0.30,0.40,0.50),其中Pb过量0.1摩尔,主要是因为在退火过程中铅挥发。甩胶速度3600转/分钟,时间30秒,预处理温度320℃,时间10分钟,重复六次,第一层是PZT50,第二层是PZT40,第三层是PZT30,第四层是PZT20,第五层是PZT10,第六层是PZT0,此为“向下”的梯度薄膜,获得厚度为230nm的薄膜,每种前驱液甩胶一次,每层的厚度基本相同,再经600℃,在氧气氛下退火处理10分钟,升温速率100℃,得到结晶完善具有(111)取向的“向下”梯度PZT薄膜,再在膜上蒸发φ0.2mm的Au电极,测量其铁电性能。图1-4是热释电梯度PZT薄膜的结构图、AES谱、铁电性和热释电特性。
实施例2
前驱液中金属离子克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X(x=0,0.10,0.20,0.30,0.40,0.50),前三层甩胶速度3000转/分钟,后三层甩胶速度为3800转/分钟,前三层厚度与后三层厚度不同,时间30秒,预处理温度350℃,时间10分钟,重复六次,第一层是PZT0,第二层是PZT10,第三层是PZT20,第四层是PZT30,第五层是PZT40,第六层是PZT50,此为“向上”的梯度薄膜,经600℃,在氧气氛下迅速退火处理10分钟,升温速率100℃,得到厚度为200nm,结晶完善随机取向的向上梯度PZT薄膜,其余同实施例1。
实施例3
前驱液中金属离子克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X(x=0.60,0.70,0.80,0.90,100),前驱液浓度为0.3摩尔/升,甩胶速度3600转分钟,时间30秒,预处理温度350℃,时间10分钟,重复五次,第一层是PZT100,第二层是PZT90,第三层是PZT80,第四层是PZT70,第五层是PZT60,,此为“向上”的梯度薄膜。经550℃,在氧气氛下退火处理10分钟,升温速率100℃,得到厚度为350nm、结晶完善、具有(100)取向的“向上”梯度PZT薄膜,其余同实施例2。
实施例4
前驱液中金属离子克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X(x=0.60,0.70,0.80,0.90,100),前驱液浓度为0.3摩尔/升,甩胶速度3600转分钟,时间30秒,预处理温度350℃,时间10分钟,重复五次,第一层是PZT60,第二层是PZT70,第三层是PZT80,第四层是PZT90,第五层是PZT100,此为“向下”的梯度薄膜,获得厚度为300nm的薄膜,经600℃,在氧气氛下迅速退火处理10分钟,升温速率100℃,得到结晶完善,呈随机取向的“向下”梯度PZT薄膜,其余同实施例1。
实施例5
向下梯度PZT薄膜,Pb∶Zr∶Ti=1.05∶1-X∶X,x=0.10,0.15和0.20,亦即第一层为PZT10,第二层为PZT15,第三层为PZT20,其余同实施例2。
实施例6
向上梯度PZT薄膜,Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X,x=0.25,0.30,0.35,0.40,0.45五层梯度第一层为PZT25,第二层为PZT30,第三层为PZT35,第四层为PZT40,第五层为PZT45,其余同实施例1。
Claims (6)
1.一种制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法,包括前驱液的配制、成膜工艺的选择,其特征在于:
(1)以含三个结晶水的醋酸铅、丙醇锆、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂;先把醋酸铅充分溶解于乙二醇甲醚中,按Pb∶Zr∶Ti=1.05-1.10∶1-X∶X,0≤X≤1,X间距为0.05-0.10,再加入相应的锆、钛溶液,调节浓度至0.2-0.3摩尔/升,配制成以Zr/Ti成分为梯度分布的锆钛酸钙薄膜所需的前驱液;
(2)前驱液经过滤除去杂质,甩胶成膜法制膜,选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片,甩胶速度控制在3000-4000转/分钟,时间30秒,然后放在320℃-420℃的热板上预处理10分钟,每种前驱液甩胶1次或2次,经过多次成膜-预处理-再成膜,获得一定厚度的向上或向下的功能梯度薄膜,再经550℃-650℃,氧气氛下迅速退火处理10分钟,升温速率是100℃/s,得到结晶完善,随机取向或择优取向的PZT功能梯度薄膜;梯度层数可以是3层或多层。
2.按权利要求1所述的制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法,其特征在于所述的薄膜厚度为150-350nm,梯度组分每层的厚度可以相同,可以不同;由前驱液浓度、甩胶转速、次数和时间决定。
3.按权利要求1所述的制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法,其特征在于权利要求1中第1款中以Zr/Ti成分为梯度分布的前驱液的制备方法是:
(1)首先将三个结晶水的醋酸铅溶于乙二醇甲醚中,加热至70℃,搅拌30分钟;
(2)然后依次加入异丙醇锆和钛酸丁酯,铅、锆、钛三者克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti=1.05-1.10∶1-X∶X,0≤X≤1,X间距为0.05-0.10。
4.按权利要求1或3所述的制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法,其特征在于使用硝酸锆或醋酸锆时先溶于冰醋酸。
5.按权利要求书1或2或3所述的制备梯度薄膜的方法,其特征在于前驱液中的Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X,X分别为0、0.10、0.20、0.30、0.40、0.50;前驱液浓度为0.2摩尔/升,甩胶速度为3600转/分钟,时间30秒,每种前驱液甩胶一次,分别制成厚度200nm、230nm的PZT向上或向下梯度薄膜,退火温度均600℃,保温时间10分钟,升温速率100℃/秒。
6.按权利要求书1或2或3所述的制备梯度薄膜的方法,其特征在于前驱液中的Pb∶Zr∶Ti=1.10∶1-X∶X,X分别为0.60、0.70、0.80、0.90、1.00,前驱液浓度为0.3摩尔/升,甩胶速度为3600转/分钟,时间30秒,每种前驱液甩胶二次,分别制成厚度350、300nm的PZT向上或向下梯度薄膜,退火温度分别为550和600℃,保温时间10分钟,升温速率100℃/秒。
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