CN117921592A - 一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装及方法 - Google Patents

Abstract

一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装及方法，拆卸工装包括空心千斤顶、第一辅助圆盘、长度可调丝杆以及滑轨小车，第一辅助圆盘上开设有孔径大于长度可调丝杆外径的穿孔，长度可调丝杆具有多个头尾端顺次拦截的丝杆短节，长度可调丝杆外还配合安装有螺母和开设有内螺纹孔的第二辅助圆盘，滑轨小车上设有用于夹持固定固定端轴承箱和活动端轴承箱的夹具，夹具包括通过紧固件相连的上半卡箍和下半卡箍，上半卡箍和下半卡箍中的其中一个与滑轨小车固定。本发明能够提高拆装效率，保障设备精度。

Description

一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装及方法

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，具体的说是一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装及方法。

背景技术

硅片线切割机的机架上设有相对分布的固定端轴承箱和活动端轴承箱，而在调试、维修或更换过程中，需要对固定端轴承箱和活动端轴承箱进行拆装。对于12英寸硅片线切割机等大型线切割设备来说，其轴承箱的体积和重量均较大，仅依靠人员拆装不仅劳动强度大，拆装效率低，而且人力拆装过程中还易产生设备磕碰损伤，影响精度。

发明内容

本发明旨在提供一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装及方法，提高拆装效率，保障设备精度。

为了解决以上技术问题，本发明采用的具体方案为：一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，包括空心千斤顶、第一辅助圆盘、长度可调丝杆以及滑轨小车，第一辅助圆盘上开设有孔径大于长度可调丝杆外径的穿孔，长度可调丝杆具有多个头尾端顺次拦截的丝杆短节，长度可调丝杆外还配合安装有螺母和开设有内螺纹孔的第二辅助圆盘，滑轨小车上设有用于夹持固定固定端轴承箱和活动端轴承箱的夹具，夹具包括通过紧固件相连的上半卡箍和下半卡箍，上半卡箍和下半卡箍中的其中一个与滑轨小车固定。

优选的，相邻丝杆短节螺接配合安装。

优选的，滑轨小车上设有升降架，上半卡箍顶部固定设有连杆，连杆的上端开设有与升降架的伸缩端相连的连接孔。

优选的，升降架的伸缩端上设有水平导轨，水平导轨上滑动设有滑块，连接孔用于与滑块相连。

一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装方法，采用上述拆装工装，并按照以下步骤进行固定端轴承箱和活动端轴承箱的拆卸：

1)、将长度可调丝杆插入空心千斤顶中，使螺母顶触于空心千斤顶的伸缩端，使空心千斤顶的基部顶触于固定端轴承箱，再将第二辅助圆盘安装在长度可调丝杆远离固定端轴承箱的端部并指向活动端轴承箱，操作空心千斤顶的伸缩端伸出，通过第二辅助圆盘将活动端轴承箱顶出一定距离，并通过夹具固定活动端轴承箱被顶出的部分，再次操作空心千斤顶将活动端轴承箱完全顶出；

2)、将第一辅助圆盘固定在活动端轴承箱的安装孔处，将长度可调丝杆的一端旋入固定端轴承箱的芯丝孔内，另一端由活动端轴承箱的安装孔中伸出并依次套装空心千斤顶和螺母，操作空心千斤顶的伸缩端伸出以将固定端轴承箱拉出一定距离，并通过夹具固定固定端轴承箱被拉出的部分，再次操作空心千斤顶将固定端轴承箱完全拉出；

固定端轴承箱和活动端轴承箱按照以上步骤反向定位安装。

优选的，步骤1)中，通过空心千斤顶将活动端轴承箱顶出140-160mm后，再将夹具固定在活动端轴承箱被顶出的部分；步骤2)中，通过空心千斤顶将固定端轴承箱拉出140-160mm后，再将夹具固定在固定端轴承箱被拉出的部分。

优选的，步骤1)中，先将夹具固定在活动端轴承箱上，然后再将夹具与滑轨小车固定；步骤2)中，先将夹具固定在固定端轴承箱上，然后再将夹具与滑轨小车固定。

优选的，步骤2)中，采用螺栓将第一辅助圆盘安装在用于固定活动端轴承箱的安装孔中。

本发明的轴承箱拆装工装结构简单，成本低廉，便于加工制造或直接购买。在辅助拆装轴承箱的过程中，仅需对简单的长度可调丝杆、螺母、空心千斤顶等部件以不同的方式进行装配，即可通过空心千斤顶提供的推力分别将固定端轴承箱和活动端轴承箱分别拆装，并依靠滑轨小车配合而将固定端轴承箱和活动端轴承箱分别由机架上稳定卸下，不仅使得人员的劳动强度降低，拆装效率提高，而且过程中不易因对齐定位，或施力点掌握不当而产生设备磕碰，利于维护线切割机自身精度和稳定性，特别适用于12英寸硅片线切割机等大型线切割机设备的轴承箱拆装。

附图说明

图1为通过本发明的轴承箱拆装工装拆除线切割机的活动端轴承箱的状态示意图；

图2为通过本发明的轴承箱拆装工装拆除线切割机的固定端轴承箱的状态示意图；

图3为本发明的轴承箱拆装工装中的长度可调丝杆部分的结构示意图；

图4为本发明的轴承箱拆装工装中的夹具部分的结构示意图；

图中标记：1、机架，2、固定端轴承箱，3、空心千斤顶，4、螺母，5、长度可调丝杆，6、第二辅助圆盘，7、滑块，8、连接孔，9、连杆，10、水平导轨，11、升降架，12、滑轨小车，13、上半卡箍，14、下半卡箍，15、活动端轴承箱，16、第一辅助圆盘，17、丝杆短节，18、螺柱，19、螺孔。

具体实施方式

以下对本发明的轴承箱拆装工装和针对12英寸硅片线切割机的轴承箱方法进行说定：

轴承箱拆装工装主要包括空心千斤顶3、第一辅助圆盘16、长度可调丝杆5以及滑轨小车12。

空心千斤顶3选择市售，其伸缩端的内孔的孔径略大于长度可调丝杆5的外径。

第一辅助圆盘16的中心开设有孔径略大于长度可调丝杆5外径的穿孔，边缘开设有多个螺栓孔，且螺栓孔的分布形式与12英寸硅片线切割机的机架1上用于固定活动端轴承箱15的安装孔一一对应。

如图3所示，长度可调丝杆5包括多个丝杆短节17，任一丝杆短节17的一端均设有螺柱18，另一端均设有对应的螺孔19，以通过螺接配合而将多根丝杆短节17装配为长度较长的丝杆，或通过拆去部分丝杆短节17来满足不同长度需求。在长度可调丝杆5的外周还配合有螺母4和第二辅助圆盘6。螺母4和第二辅助圆盘6的中心均具有丝孔，其中螺母4外径大于空心千斤顶3伸缩端的内孔孔径，第二辅助圆盘6的形状与活动端轴承箱15的端面形状相对应。

滑轨小车12包括车体和设置在车体底部的滚轮，经人员推拉移动。车体上设有升降架11，升降架11下端与车体转动配合，升降架11的升降部上设有一根水平导轨10，水平导轨10上设有滑块7，滑块7上设有如图4所示的用于夹持固定端轴承箱2或活动端轴承箱15的夹具。该夹具包括经螺栓相连的上半卡箍13和下半卡箍14，上半卡箍13和下半卡箍14合围夹持固定固定端轴承箱2和活动端轴承箱15。在上半卡箍13的顶部设有一根连杆9，连杆9的上端设有用于与所述滑块7相连的连接孔8。

以下结合图1及图2对通过本发明的轴承箱拆装工装拆卸12英寸硅片线切割机的轴承箱的拆卸方法进行说明，图1和图2中的12英寸硅片线切割机仅示出了U形的机架1、位于机架1左侧的固定端轴承箱2和位于机架1右侧的活动端轴承箱15。

活动端轴承箱15的拆卸：如图1所示的，将空心千斤顶3的基部顶触于固定端轴承箱2的右侧，将长度可调丝杆5插入空心千斤顶3的内孔中并依次安装螺母4和第二辅助圆盘6。其中的螺母4顶触于空心千斤顶3伸缩端的端面上，而第二辅助圆盘6则顶触于活动端轴承箱15的左侧。然后操作空心千斤顶3伸缩端向右伸出，利用其推力将活动端轴承箱15向右顶出150mm左右，将夹具夹持固定于活动端轴承箱15上，即可再次控制空心千斤顶3伸缩端向右持续伸出，直至将活动端轴承箱15顶出机架1。过程中，夹具经滑块7和水平导轨10的滑动配合和同步右移，直至活动端轴承箱15完全脱离机架1。最后，通过推拉滑轨小车12并经升降架11将活动端轴承放置在特定位置。

固定端轴承箱2的拆卸：如图2所示的，在固定端轴承箱2拆卸完成后，首先通过螺栓将第一辅助圆盘16固定在原活动端轴承箱15的安装孔中，然后将长度可调丝杆5从右至左穿过第一辅助圆盘16的穿孔而旋入固定端轴承的芯丝孔内。在长度可调丝杆5位于第一辅助圆盘16右侧的部分依次套装空心千斤顶3和螺母4后，控制空心千斤顶3的伸缩端向右伸出，从而将固定端轴承箱2局部拉出约150mm左右。然后即将夹具夹持固定于固定端轴承箱2上，即可再次控制空心千斤顶3伸缩端向右持续伸出，直至将固定端轴承箱2拉出机架1。过程中，夹具经滑块7和水平导轨10的滑动配合和同步右移，直至固定端轴承箱2完全脱离机架1。最后，通过推拉滑轨小车12并经升降架11将固定端轴承放置在特定位置。需要说明的是，图2中滑轨小车12位于机架1的前侧或后侧，为避免视角遮挡故而滑轨小车12及其上的相关部件均为示出。

固定端轴承箱2和活动端轴承箱15按照以上步骤反向定位安装，不再进行赘述。

Claims (8)

1.一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，其特征在于：包括空心千斤顶(3)、第一辅助圆盘(16)、长度可调丝杆(5)以及滑轨小车(12)，第一辅助圆盘(16)上开设有孔径大于长度可调丝杆(5)外径的穿孔，长度可调丝杆(5)具有多个头尾端顺次拦截的丝杆短节(17)，长度可调丝杆(5)外还配合安装有螺母(4)和开设有内螺纹孔的第二辅助圆盘(6)，滑轨小车(12)上设有用于夹持固定固定端轴承箱(2)和活动端轴承箱(15)的夹具，夹具包括通过紧固件相连的上半卡箍(13)和下半卡箍(14)，上半卡箍(13)和下半卡箍(14)中的其中一个与滑轨小车(12)固定。

2.如权利要求1所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，其特征在于：相邻丝杆短节(17)螺接配合安装。

3.如权利要求1所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，其特征在于：滑轨小车(12)上设有升降架(11)，上半卡箍(13)顶部固定设有连杆(9)，连杆(9)的上端开设有与升降架(11)的伸缩端相连的连接孔(8)。

4.如权利要求3所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，其特征在于：升降架(11)的伸缩端上设有水平导轨(10)，水平导轨(10)上滑动设有滑块(7)，连接孔(8)用于与滑块(7)相连。

5.一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装方法，其特征在于：采用如权利要求1-5所述的任一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装工装，并按照以下步骤进行固定端轴承箱(2)和活动端轴承箱(15)的拆卸：

1)、将长度可调丝杆(5)插入空心千斤顶(3)中，使螺母(4)顶触于空心千斤顶(3)的伸缩端，使空心千斤顶(3)的基部顶触于固定端轴承箱(2)，再将第二辅助圆盘(6)安装在长度可调丝杆(5)远离固定端轴承箱(2)的端部并指向活动端轴承箱(15)，操作空心千斤顶(3)的伸缩端伸出，通过第二辅助圆盘(6)将活动端轴承箱(15)顶出一定距离，并通过夹具固定活动端轴承箱(15)被顶出的部分，再次操作空心千斤顶(3)将活动端轴承箱(15)完全顶出；

2)、将第一辅助圆盘(16)固定在活动端轴承箱(15)的安装孔处，将长度可调丝杆(5)的一端旋入固定端轴承箱(2)的芯丝孔内，另一端由活动端轴承箱(15)的安装孔中伸出并依次套装空心千斤顶(3)和螺母(4)，操作空心千斤顶(3)的伸缩端伸出以将固定端轴承箱(2)拉出一定距离，并通过夹具固定固定端轴承箱(2)被拉出的部分，再次操作空心千斤顶(3)将固定端轴承箱(2)完全拉出；

固定端轴承箱(2)和活动端轴承箱(15)按照以上步骤反向定位安装。

6.如权利要求1所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装方法，其特征在于：步骤1)中，通过空心千斤顶(3)将活动端轴承箱(15)顶出140-160mm后，再将夹具固定在活动端轴承箱(15)被顶出的部分；步骤2)中，通过空心千斤顶(3)将固定端轴承箱(2)拉出140-160mm后，再将夹具固定在固定端轴承箱(2)被拉出的部分。

7.如权利要求1所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装方法，其特征在于：步骤1)中，先将夹具固定在活动端轴承箱(15)上，然后再将夹具与滑轨小车(12)固定；步骤2)中，先将夹具固定在固定端轴承箱(2)上，然后再将夹具与滑轨小车(12)固定。

8.如权利要求1所述的一种12英寸硅片线切割机的轴承箱拆装方法，其特征在于：步骤2)中，采用螺栓将第一辅助圆盘(16)安装在用于固定活动端轴承箱(15)的安装孔中。