CN117723946B - 机械臂组件及晶圆检测台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，机械臂具有连通的多个通孔及真空通道；吸盘与通孔一一对应，吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，夹持部穿设于通孔，吸嘴设置于机械臂的一侧，夹持部具有第一外周侧壁，夹持部具有贯穿第一外周侧壁的第一通道及贯穿夹持部面向吸嘴的表面的穿设孔，吸嘴、穿设孔与第一通道连通；支撑件卡设于夹持部的穿设孔；支撑件具有第二外周侧壁，支撑件具有贯穿第二外周侧壁的第二通道及贯穿支撑件面向吸嘴的表面的第三通道，吸嘴、第三通道、第二通道、第一通道及真空通道依次连通。吸盘稳固设置于机械臂。

Description

机械臂组件及晶圆检测台

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。

背景技术

在晶圆检测台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种机械臂组件及晶圆检测台，所述吸盘稳固设置于所述机械臂。

本申请提供了一种机械臂组件，所述机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，所述机械臂具有多个通孔及真空通道，所述多个通孔间隔设置且分别与所述真空通道连通；所述多个吸盘与所述多个通孔一一对应设置，所述吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，所述夹持部穿设于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，所述夹持部具有第一外周侧壁，所述夹持部具有第一通道及穿设孔，所述第一通道贯穿所述第一外周侧壁，所述穿设孔贯穿所述夹持部面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴与所述穿设孔连通，所述穿设孔与所述第一通道连通；所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以将所述夹持部安装于所述机械臂；所述支撑件具有第二外周侧壁，所述支撑件具有第二通道及第三通道，所述第二通道贯穿所述第二外周侧壁，所述第三通道贯穿所述支撑件面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通。

进一步地，所述支撑件包括本体部及支撑部，所述支撑部环绕所述本体部的外周设置且凸设于所述本体部的外周；所述本体部具有所述第三通道，所述第二通道贯穿所述本体部及所述支撑部，所述支撑部至少部分嵌设于所述第一通道，且所述本体部的外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁。

进一步地，所述通孔的径向尺寸为D1，所述夹持部的外周的径向尺寸为D2，则满足关系式：0mm＜D2-D1≤1mm。

进一步地，所述吸盘还包括连接部，所述连接部的位于所述夹持部与所述吸嘴之间且分别连接所述夹持部及所述吸嘴，当所述夹持部穿设于所述通孔且所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧时，所述连接部面向所述机械臂的表面抵持所述机械臂面向所述吸嘴的表面。

进一步地，所述穿设孔的径向尺寸为D3，所述支撑部的外径的尺寸为D4，则满足关系式：0.5mm≤D4-D3≤2mm。

进一步地，所述穿设孔还贯穿所述夹持部背离所述吸嘴的表面；所述本体部背离所述吸嘴的表面与所述夹持部背离所述吸嘴的表面平齐。

进一步地，所述第三通道的数量为一个或多个，所述第三通道还贯穿所述本体部的外周侧壁，当所述第三通道的数量为多个时，多个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置；所述第二通道的数量为一个或多个，所述第二通道的数量与所述第三通道的数量相等，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。

进一步地，所述穿设孔为盲孔，所述本体部背离所述吸嘴的表面抵持所述穿设孔的底壁，所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面。

进一步地，所述第三通道的数量为四个，四个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置，每个所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面及所述本体部的外周侧壁；所述第二通道的数量为四个，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。

本申请还提供了一种晶圆检测台，所述晶圆检测台包括：物料盒本申请实施例提供的机械臂组件以及检测平台，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；所述机械臂组件用于取放所述待检测样品；所述检测平台用于放置并检测所述待检测样品。

在本申请中，所述机械臂组件应用于晶圆检测台且所述机械臂用于取放待检测样品，所述机械臂具有相互连通的多个通孔及真空通道，且多个吸盘与多个通孔一一对应，所述吸盘与所述真空通道连通，则实现了所述吸盘、所述通孔与所述真空通道连通，当对所述真空通道进行抽真空时，可实现对所述吸盘进行抽真空，以使得吸嘴靠近所述机械臂的一侧的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品进行搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向所述真空通道通入气体，气体将进入到吸嘴的内部，从而使得所述吸嘴停止对所述待检测样品的吸附。进一步地，所述吸盘具有第一通道及穿设孔，所述第一通道分别连通所述穿设孔及所述真空通道，以实现对所述吸盘内部的空间与真空通道实现连通。进一步地，所述机械臂组件还包括支撑件，在所述机械臂组件的装配过程中，先将所述吸盘的夹持部设置于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，以实现将所述吸盘与所述机械臂的相对位置进行初步定位；再将所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以使所述支撑件的第二外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁，进一步使得所述夹持部的第一外周侧壁抵持所述通孔的内壁，所述支撑件有利于加强所述吸盘安装于机械臂的结构稳定性，以避免所述吸盘从所述通孔掉落。此外，所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，所述夹持部穿设于所述通孔，所述支撑件有利于实现所述夹持部与所述机械臂之间的过盈配合，从而实现对所述吸盘与所述机械臂之间的连接的密封性的提升，以避免因所述吸盘与机械臂之间的密封性能较差而降低对所述吸嘴进行抽真空的效率。所述支撑件具有第二通道及第三通道，所述吸盘、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通，可避免因在所述夹持部的内部穿设所述支撑件而堵塞对所述吸嘴进行抽真空的气路，本申请的机械臂组件在加强所述吸盘与所述机械臂的连接稳定性的同时，保证了所述吸盘与所述机械臂之间气路的畅通性，使得通过所述真空通道对所述吸嘴进行抽真空有较高的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例的机械臂的结构示意图；

图2为本申请一实施例的机械臂的侧视图；

图3为图2中B-B方向的剖视图；

图4为本申请第一实施例的机械臂组件的结构示意图；

图5为图4中C-C方向的部分剖视图一；

图6为图1中A-A方向的部分剖视图；

图7为本申请第一实施例的支撑件的结构示意图；

图8为本申请第一实施例的支撑件的俯视图；

图9为图8中D-D方向的剖视图；

图10为本申请第一实施例的吸盘的结构示意图；

图11为本申请第一实施例的吸盘的俯视图；

图12为图11中E-E方向的剖视图；

图13为图4中C-C方向的部分剖视图二；

图14为本申请第二实施例的支撑件的结构示意图；

图15为本申请第二实施例的支撑件的俯视图；

图16为图15中F-F方向的剖视图；

图17为图4中C-C方向的部分剖视图三；

图18为本申请第三实施例的支撑件的结构示意图；

图19为本申请第三实施例的支撑件的俯视图；

图20为图19中G-G方向的剖视图；

图21为本申请第二实施例的吸盘的结构示意图；

图22为本申请第二实施例的吸盘的俯视图；

图23为图22中H-H方向的剖视图；

图24为图4中C-C方向的部分剖视图四；

图25为本申请第四实施例的支撑件的结构示意图；

图26为本申请第四实施例的支撑件的俯视图；

图27为图26中I-I方向的剖视图；

图28为本申请一实施例的晶圆检测台的结构示意图；

图29为本申请一实施例的物料盒的结构示意图。

附图标记说明：

100-机械臂组件，110-机械臂，111-通孔，112-真空通道，1121-第一真空子通道，1122-第二真空子通道，120-吸盘，121-夹持部，1211-第一外周侧壁，1212-第一通道，1213-穿设孔，122-吸嘴，123-连接部，130-支撑件，131-第二外周侧壁，132-第二通道，133-第三通道，134-本体部，135-支撑部，200-晶圆检测台，210-物料盒，211-卡槽，220-检测平台。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在晶圆检测台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。此外，当粘胶老化时，吸盘与机械臂之间的密封性能变差，从而使得难以对吸盘进行抽真空，降低了机械臂对晶圆进行吸附的效率。

请参见图1至图5，本申请实施例提供了一种机械臂组件100，所述机械臂组件100包括：机械臂110、多个吸盘120以及支撑件130，所述机械臂110具有多个通孔111及真空通道112，所述多个通孔111间隔设置且分别与所述真空通道112连通；所述多个吸盘120与所述多个通孔111一一对应设置，所述吸盘120包括相连的夹持部121及吸嘴122，所述夹持部121穿设于所述通孔111，所述吸嘴122设置于所述机械臂110的一侧，所述夹持部121具有第一外周侧壁1211，所述夹持部121具有第一通道1212及穿设孔1213，所述第一通道1212贯穿所述第一外周侧壁1211，所述穿设孔1213贯穿所述夹持部121面向所述吸嘴122的表面，所述吸嘴122与所述穿设孔1213连通，所述穿设孔1213与所述第一通道1212连通；所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213，以将所述夹持部121安装于所述机械臂110；所述支撑件130具有第二外周侧壁131，所述支撑件130具有第二通道132及第三通道133，所述第二通道132贯穿所述第二外周侧壁131，所述第三通道133贯穿所述支撑件130面向所述吸嘴122的表面，所述吸嘴122、所述第三通道133、所述第二通道132、所述第一通道1212及所述真空通道112依次连通。

可以理解地，所述通孔111贯穿所述机械臂110面向所述吸嘴122的表面及背离所述吸嘴122的表面。

可以理解地，所述多个吸盘120与所述多个通孔111一一对应，可以为，一个吸盘120对应一个所述通孔111，不同的吸盘120对应不同的通孔111设置。

可以理解地，所述穿设孔1213与所述第一通道1212连通，可以为，所述第一通道1212贯穿所述夹持部121的第一外周侧壁1211及所述夹持部121的内周侧壁。

可以理解地，所述第二通道132与所述第三通道133连通，可以为，所述第二通道132贯穿所述支撑件130的第二外周侧壁131及所述支撑件130的内周侧壁。

在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个。

在本实施例中，所述机械臂组件100应用于晶圆检测台200且所述机械臂110用于取放待检测样品，所述机械臂110具有相互连通的多个通孔111及真空通道112，且多个吸盘120与多个通孔111一一对应，所述吸盘120与所述真空通道112连通，则实现了所述吸盘120、所述通孔111与所述真空通道112连通，当对所述真空通道112进行抽真空时，可实现对所述吸盘120进行抽真空，以使得吸嘴122靠近所述机械臂110的一侧的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品进行搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向所述真空通道112通入气体，气体将进入到吸嘴122的内部，从而使得所述吸嘴122停止对所述待检测样品的吸附。进一步地，所述吸盘120具有第一通道1212及穿设孔1213，所述第一通道1212分别连通所述穿设孔1213及所述真空通道112，以实现对所述吸盘120内部的空间与真空通道112实现连通。进一步地，所述机械臂组件100还包括支撑件130，在所述机械臂组件100的装配过程中，先将所述吸盘120的夹持部121设置于所述通孔111，所述吸嘴122设置于所述机械臂110的一侧，以实现将所述吸盘120与所述机械臂110的相对位置进行初步定位；再将所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213，以使所述支撑件130的第二外周侧壁131抵持所述夹持部121的内周侧壁，进一步使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211抵持所述通孔111的内壁，所述支撑件130有利于加强所述吸盘120安装于机械臂110的结构稳定性，以避免所述吸盘120从所述通孔111掉落。此外，所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213，所述夹持部121穿设于所述通孔111，所述支撑件130有利于实现所述夹持部121与所述机械臂110之间的过盈配合，从而实现对所述吸盘120与所述机械臂110之间的连接的密封性的提升，以避免因所述吸盘120与机械臂110之间的密封性能较差而降低对所述吸嘴122进行抽真空的效率。所述支撑件130具有第二通道132及第三通道133，所述吸盘120、所述第三通道133、所述第二通道132、所述第一通道1212及所述真空通道112依次连通，可避免因在所述夹持部121的内部穿设所述支撑件130而堵塞对所述吸嘴122进行抽真空的气路，本申请实施例的机械臂组件100在加强所述吸盘120与所述机械臂110的连接稳定性的同时，保证了所述吸盘120与所述机械臂110之间气路的畅通性，使得通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空有较高的效率。再进一步地，所述吸嘴122、所述第三通道133、所述第二通道132、所述第一通道1212及所述真空通道112依次连通，且所述吸盘120与所述机械臂110具有较好的密封性能，使得沿所述机械臂110的厚度方向上，所述吸嘴122的高度可减薄，有利于实现所述机械臂组件100的轻薄化设计。当所述机械臂组件100用于向物料盒210取放待检测样品时，所述机械臂110可伸入相邻的卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂组件100具有较好的使用性能。

可选地，在一些实施例中，所述机械臂110的原材料选自陶瓷、金属、塑料或玻璃等中的至少一种。

可选地，在一些实施例中，所述吸盘120的原材料选自硅橡胶、丁腈橡胶、聚氨酯橡胶及氟橡胶等中的至少一种。所述吸盘120具有一定的弹性，使得当所述吸盘120的穿设孔1213设置有所述支撑件130时，所述吸盘120的夹持部121的内周侧壁能够紧紧抵持所述支撑件130的第二外周侧壁131，所述吸盘120的夹持部121的第一外周侧壁1211能够紧紧地抵持所述通孔111的内壁，从而使得所述吸盘120设置于所述机械臂110具有较高的结构稳定性。

可选地，在一些实施例中，所述支撑件130的原材料选自金属、硬质塑料、无机非金属或玻璃等中的至少一种。

可以理解地，所述夹持部121与所述通孔111过盈配合，所述支撑件130与所述穿设孔1213过盈配合，从而有利于增强所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封性能。

可选地，在一些实施例中，所述第一通道1212的数量为多个，所述第二通道132的数量为多个，每个所述第一通道1212对应一个所述第二通道132，不同的第一通道1212对应不同的第二通道132。

在本实施例中，所述第一通道1212的数量为多个，所述第二通道132的数量为多个，则当将所述吸盘120装配于所述机械臂110，且将所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213时，便于操作人员对所述第一通道1212及所述第二通道132实现对准，以保证所述第二通道132、所述第一通道1212及所述真空通道112依次连通，避免因穿设所述支撑件130而封堵所述吸嘴122与所述真空通道112之间的气路通道，使得通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空有较高的效率。

可选地，在一些实施例中，所述吸盘120还包括凸环部（图未示出），所述凸环部环绕所述夹持部121的部分外周设置，所述第一通道1212还贯穿所述凸环部的外周侧壁，当所述吸盘120设置于所述机械臂110时，所述凸环部卡设于所述真空通道112。

可以理解地，所述第一通道1212分别贯穿所述凸环部的外周侧壁及内周侧壁，所述第一通道1212还贯穿所述夹持部121的第一外周侧壁1211及所述夹持部121的内周侧壁。

在本实施例中，所述吸盘120还包括凸环部，且所述凸环部环绕所述夹持部121的部分外周设置，当所述吸盘120设置于所述机械臂110时，所述凸环部卡设于所述真空通道112，所述凸环部可加强所述吸盘120与所述机械臂110的定位作用，以避免所述夹持部121相对所述机械臂110朝向靠近所述吸嘴122的方向移动，从而提升所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。进一步地，第一通道1212贯穿所述凸环部的外周侧壁，保证了所述真空通道112与所述吸嘴122之间气路的畅通性。

请参见图6，可选地，在一些实施例中，所述真空通道112包括第一真空子通道1121及第二真空子通道1122，所述通孔111、所述第一真空子通道1121及所述第二真空子通道1122依次连通，所述第一真空子通道1121相较于所述第二真空子通道1122更靠近所述通孔111设置，所述第二真空子通道1122的径向尺寸小于所述第一真空子通道1121的径向尺寸。

在本实施例中，所述第一真空子通道1121相较于所述第二真空子通道1122更靠近所述吸嘴122设置，且所述第二真空子通道1122的径向尺寸小于所述第一真空子通道1121的径向尺寸，一方面，有利于减小所述第二真空子通道1122占用所述机械臂110内部的空间，从而有利于增强所述机械臂110的结构强度。另一方面，所述第二真空子通道1122的径向尺寸较小，使得所述叉臂中真空通道112的整体尺寸较小，当通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空时，有利于加快将吸嘴122内部的气体抽尽的速度，从而提升通过真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空的效率。

请参见图7至图12，在一些实施例中，所述支撑件130包括本体部134及支撑部135，所述支撑部135环绕所述本体部134的外周设置且凸设于所述本体部134的外周；所述本体部134具有所述第三通道133，所述第二通道132贯穿所述本体部134及所述支撑部135，所述支撑部135至少部分嵌设于所述第一通道1212，且所述本体部134的外周侧壁抵持所述夹持部121的内周侧壁。

可以理解地，所述支撑部135环绕所述本体部134的外周设置且凸设于所述本体部134的外周，可以为，所述支撑件130设置有所述支撑部135的部分的径向尺寸大于所述支撑件130没有设置有所述支撑部135的部分的径向尺寸。

可以理解地，所述第二通道132贯穿所述本体部134及所述支撑部135，可以为，所述第二通道132部分位于所述本体部134，部分位于所述支撑部135。

可以理解地，所述本体部134具有所述第三通道133，则所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面。

在本实施例中，所述支撑部135环绕所述本体部134的外周且凸设于所述本体部134的外周，则所述支撑件130呈“鼓形”结构，当所述支撑件130设置于所述吸盘120的穿设孔1213时，所述本体部134的外周侧壁将抵持所述穿设孔1213的内壁，所述支撑部135相较于所述本体部134与所述穿设孔1213抵持得更加紧密，继而使得所述支撑部135挤压所述夹持部121，并使所述夹持部121的第一外周侧壁1211抵持所述通孔111的内壁，还可使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211部分位于所述真空通道112内，以加强所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构强度，提升所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。进一步地，所述本体部134具有所述第三通道133，可实现所述支撑件130与所述吸嘴122的连通；所述第二通道132贯穿所述本体部134及所述支撑部135，以实现所述第二通道132分别与所述第三通道133及第一通道1212连通，继而实现与真空通道112的连通，以避免因设置所述支撑件130而阻挡所述吸嘴122与所述真空通道112之间连通的气路，保证了所述吸盘120与机械臂110之间气路的畅通性，使得通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空具有较高的效率。

在一些实施例中，所述通孔111的径向尺寸为D1，所述夹持部121的外周的径向尺寸为D2，则满足关系式：0mm＜D2-D1≤1mm。

可以理解地，所述夹持部121的外周的径向尺寸大于所述通孔111的径向尺寸。

具体地，D2-D1的值可以为但不限于为0.05mm、0.08mm、0.09mm、0.1mm、0.13mm、0.15mm、0.17mm、0.18mm、0.2mm、0.22mm、0.25mm、0.28mm、0.3mm、0.32mm、0.35mm、0.38mm、0.4mm、0.42mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.65mm、0.68mm、0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm及1mm等。

在本实施例中，所述夹持部121的外周的径向尺寸大于所述通孔111的径向尺寸，则当所述吸盘120设置于所述机械臂110时，所述夹持部121的第一外周侧壁1211将抵持所述通孔111的内壁，以避免所述吸盘120从所述通孔111掉落出所述机械臂110。当D2-D1的值满足范围0mm＜D2-D1≤1mm时，D2-D1的值在合理的范围内，当所述夹持部121穿设于所述通孔111时，所述夹持部121的第一外周侧壁1211可抵持所述通孔111的内壁且抵持程度足够大，使得所述吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较好，还可避免因所述夹持部121的外周的径向尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于机械臂110的难度。所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，可增大所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构稳定性，避免所述吸盘120从所述机械臂110上脱落，从而提升了所述吸盘120装配于所述机械臂110的结构稳定性。当D2-D1的值过大时，所述夹持部121的外周的径向尺寸远大于所述通孔111的径向尺寸，换言之，当所述通孔111的径向尺寸确定时，所述夹持部121的外周的径向尺寸过大，使得加大了将夹持部121穿设于所述通孔111的难度，继而降低将所述吸盘120装配于机械臂110的效率。当D2-D1的值为0时，所述夹持部121的外周的径向尺寸等于所述通孔111的径向尺寸，则当所述夹持部121穿设于所述通孔111时，所述夹持部121的第一外周侧壁1211与所述通孔111的内壁的抵持程度不够大，使得所述吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较差，当向所述真空通道112进行抽真空时，所述吸盘120与所述叉臂之间可能会漏气，从而降低了通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空的效率，继而降低了通过所述机械臂组件100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。

在一些实施例中，所述吸盘120还包括连接部123，所述连接部123的位于所述夹持部121与所述吸嘴122之间且分别连接所述夹持部121及所述吸嘴122，当所述夹持部121穿设于所述通孔111且所述吸嘴122设置于所述机械臂110的一侧时，所述连接部123面向所述机械臂110的表面抵持所述机械臂110面向所述吸嘴122的表面。

可以理解地，所述连接部123的相背两端分别连接所述夹持部121及所述吸嘴122。

在本实施例中，当所述夹持部121穿设于所述通孔111且所述吸嘴122设置于所述机械臂110的一侧时，所述连接部123面向所述机械臂110的表面抵持所述机械臂110面向所述吸嘴122的表面，一方面，所述连接部123可对所述吸盘120与所述机械臂110的相对位置进行定位，以避免所述吸嘴122部分吸入所述通孔111，可简化将所述吸盘120装配于所述机械臂110的装配工序。另一方面，相较于所述夹持部121与所述吸嘴122直接相连的方案，本申请实施例在夹持部121与吸嘴122之间设置连接部123，有利于加强所述夹持部121、所述吸嘴122与所述机械臂110之间的密封性能，避免通孔111内的部分气体通过所述夹持部121、所述吸嘴122与所述机械臂110之间的间隙溢出，从而提升所述吸盘120装配于所述机械臂110的密封性能，使得通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空具有较高的效率。

在一些实施例中，所述穿设孔1213的径向尺寸为D3，所述支撑部135的外径的尺寸为D4，则满足关系式：0.5mm≤D4-D3≤2mm。

可以理解地，所述支撑部135的外径的尺寸大于所述穿设孔1213的径向尺寸。

具体地，D4-D3的值可以为但不限于为0.5mm、0.52mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.62mm、0.65mm、0.68nn、0.7mm、0.72mm、0.75mm、0.78mm、0.8mm、0.82mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm、0.98mm、1mm、1.02mm、1.05mm、1.08mm、1.1mm、1.14mm、1.18mm、1.22mm、1.25mm、1.28mm及1.3mm等。

在本实施例中，所述支撑部135的外径的尺寸大于所述穿设孔1213的径向尺寸，则当将所述支撑件130穿设于所述夹持部121的穿设孔1213时，所述支撑部135将紧紧抵持所述穿设孔1213的内壁，从而使得所述夹持部121被挤压变形，继而使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，还可使得所述夹持部121的部分所述第一外周侧壁1211位于所述真空通道112内，从而提升所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构稳定性。当D4-D3的值满足范围0.5mm≤D4-D3≤2mm时，所述支撑部135的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值在合理的范围内，使得所述支撑部135卡设于所述夹持部121的所述穿设孔1213时，既能对所述夹持部121进行挤压，以使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，从而提升所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封性能。此外，还可避免因所述支撑部135的外径尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于所述机械臂110的难度。当D4-D3的值过大时，所述支撑部135的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值过大，即当所述穿设孔1213的径向尺寸一定时，所述支撑部135的外径的尺寸过小，当将所述支撑部135卡设于所述穿设孔1213时，所述支撑部135与所述夹持部121抵持得不够紧密，使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211与所述通孔111的内壁抵持得不够紧密，继而使得吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较差，当向所述真空通道112进行抽真空时，所述吸盘120与所述叉臂之间可能会漏气，从而降低了通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空的效率，继而降低了通过所述机械臂组件100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。当D4-D3的值过小时，所述支撑部135的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值过小，一方面，当所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213时，加大了将所述支撑件130穿入所述穿设孔1213的难度，使得降低了将所述吸盘120装配于所述机械臂110的组装效率。另一方面，当将所述支撑件130设置于所述穿设孔1213且所述支撑部135抵持所述穿设孔1213的内壁时，所述支撑部135对所述夹持部121的抵持作用过强，增大了将所述夹持部121挤压滑破的风险，进一步增大了硬质的支撑件130与硬质的机械臂110直接接触的风险，使得机械臂110容易产生裂纹，缩短了所述机械臂组件100的使用寿命。即当所述穿设孔1213的径向尺寸一定时，所述支撑部135的外径的尺寸过大。

优选地，D4-D3的值满足关系式：0.8mm≤D4-D3≤1.3mm。具体地，D4-D3的值可以为但不限于为0.8mm、0.82mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm、0.98mm、1mm、1.02mm、1.05mm、1.08mm、1.1mm、1.14mm、1.18mm、1.22mm、1.25mm、1.28mm及1.3mm等。当D4-D3的值满足关系式：0.8mm≤D4-D3≤1.3mm时，所述支撑部135的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值在优选的范围内，使得所述支撑部135卡设于所述夹持部121的所述穿设孔1213时，既能对所述夹持部121进行挤压，以使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，从而大大提升所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封性能。此外，还可避免因所述支撑部135的外径尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于所述机械臂110的难度。

在一些实施例中，所述本体部134的外径的尺寸为D5，则满足关系式：0.2mm≤D5-D3≤1mm。

可以理解地，所述本体部134的外径的尺寸大于所述穿设孔1213的径向尺寸，且所述本体部134的外径尺寸小于所述支撑部135的外径尺寸。

具体地，D5-D3的值可以为但不限于为0.2mm、0.22mm、0.25mm、0.28mm、0.3mm、0.32mm、0.35mm、0.38mm、0.4mm、0.42mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.65mm、0.68mm、0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm及1mm等。

在本实施例中，所述本体部134的外径的尺寸大于所述穿设孔1213的径向尺寸，则当将所述支撑件130穿设于所述夹持部121的穿设孔1213时，所述支撑部135将紧紧抵持所述穿设孔1213的内壁，从而使得所述夹持部121被挤压变形，继而使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，还可使得所述夹持部121的部分所述第一外周侧壁1211位于所述真空通道112内，从而提升所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构稳定性。当D5-D3的值满足范围0.2mm≤D4-D3≤1mm时，所述本体部134的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值在合理的范围内，使得所述支撑件130卡设于所述夹持部121的所述穿设孔1213时，所述本体部134能对所述夹持部121进行挤压，以使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，从而提升所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封性能。此外，还可避免因所述本体部134的外径尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于所述机械臂110的难度。当D5-D3的值过大时，所述本体部134的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值过大，即当所述穿设孔1213的径向尺寸一定时，所述本体部134的外径的尺寸过小，当将所述支撑件130卡设于所述穿设孔1213时，所述本体部134与所述夹持部121抵持得不够紧密，使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211与所述通孔111的内壁抵持得不够紧密，继而使得吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较差，当向所述真空通道112进行抽真空时，所述吸盘120与所述叉臂之间可能会漏气，从而降低了通过所述真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空的效率，继而降低了通过所述机械臂组件100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。当D4-D3的值过小时，所述支撑部135的外径的尺寸与所述穿设孔1213的径向尺寸的差值过小，即当所述穿设孔1213的径向尺寸一定时，所述支撑部135的外径的尺寸过大。当所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213时，加大了将所述支撑件130穿入所述穿设孔1213的难度，使得降低了将所述吸盘120装配于所述机械臂110的组装效率。

在一些实施例中，沿所述夹持部121与所述吸嘴122的排布方向上，所述支撑部135的宽度为D6，所述第一通道1212的宽度为D7，则满足关系式：0.2mm≤D6-D7≤1mm。

可以理解地，沿所述夹持部121与所述吸嘴122的排布方向上，所述支撑部135的宽度大于所述第一通道1212的宽度。

可以理解地，所述夹持部121与所述吸嘴122的排布方向，可以为，所述机械臂110的厚度方向，还可以为，所述通孔111的延伸方向。

具体地，D6-D7的值可以为但不限于为0.2mm、0.22mm、0.25mm、0.28mm、0.3mm、0.32mm、0.35mm、0.38mm、0.4mm、0.42mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.65mm、0.68mm、0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm及1mm等。

在本实施例中，沿所述夹持部121与所述吸嘴122的排布方向上，所述支撑部135的宽度大于所述第一通道1212的宽度，使得当所述夹持部121穿设于所述通孔111，且所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213时，所述支撑部135能对所述夹持部121进行挤压，并使部分所述支撑部135位于所述第一通道1212内，从而使得所述支撑部135可进一步挤压所述夹持部121，以使所述夹持部121部分位于所述真空通道112，有利于加强所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性，以避免所述吸盘120从所述机械臂110脱落。当D6-D7的值满足范围0.2mm≤D6-D7≤1mm时，所述支撑部135的宽度与所述第一通道1212的宽度的差值在合理的范围内，使得所述支撑部135挤压所述夹持部121并且所述夹持部121发生变形的程度在合理的范围内，使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211紧紧抵持所述通孔111的内壁，并使部分所述第一外周侧壁1211位于所述真空通道112内，一方面提升了所述吸盘120设置于所述机械臂110的密封性能，另一方面提升所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。当D6-D7的值过大时，所述支撑部135的宽度远小于所述第一通道1212的宽度，则当所述支撑件130卡设于所述夹持部121的穿设孔1213时，所述支撑部135容易从所述第一通道1212脱落，即所述支撑部135与所述夹持部121的接触面积过小，使得所述夹持部121被挤压且发生变形的程度较小，使得所述夹持部121的第一外周侧壁1211与所述通孔111的内壁的抵持程度较弱，所述吸盘120装配于所述机械臂110的密封性能较差。当D6-D7的值过小时，所述支撑部135的宽度与所述第一通道1212的宽度的差值较小，增大了将所述支撑部135卡设于所述第一通道1212的难度，从而降低了将所述支撑件130卡设于所述吸盘120的穿设孔1213的效率，使得降低了将所述吸盘120稳固安装于所述机械臂110的效率。

在一些实施例中，所述穿设孔1213还贯穿所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面；所述本体部134背离所述吸嘴122的表面与所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面平齐。

可以理解地，在本实施例中，所述穿设孔1213贯穿所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面及面向所述吸嘴122的表面。

可以理解地，在本实施例中，所述第三通道133只贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面，没有贯穿所述本体部134背离所述吸嘴122的表面。

在本实施例中，所述穿设孔1213贯穿所述夹持部121面向所述吸嘴122的表面及面向所述吸嘴122的表面，换言之，所述穿设孔1213贯穿所述夹持部121相背的两个表面。所述本体部134具有第三通道133且所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面，则所述第三通道133并没有贯穿所述本体部134背离所述吸嘴122的表面。当所述本体部134背离所述吸嘴122的表面与所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面平齐，所述本体部134背离所述吸嘴122的表面与所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面相互配合，以封堵所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧，防止气体从所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧泄露。在垂直于所述机械臂110的厚度方向上，所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封通过所述吸盘120与所述机械臂110的过盈配合实现，从而使得所述吸盘120与所述机械臂110之间具有较好的密封性能，从而避免在对真空通道112及所述吸盘120进行抽气时因密封性能不好而降低对吸嘴122进行抽气的效率。

可选地，在一些实施例中，所述第二通道132的数量为至少一个，所述第三通道133的数量为一个，所述第三通道133连通至少一个所述第二通道132。换言之，所述第二通道132的数量为一个或多个，在一些实施例中，所述第三通道133连通一个所述第二通道132；在另一些实施例中，所述第三通道133连通多个所述第二通道132。

在本申请术语中，“至少一个”指大于或等于一个，可以为一个、两个、三个或四个等。

请参见图10至图16，在一些实施例中，所述第三通道133的数量为一个或多个，所述第三通道133还贯穿所述本体部134的外周侧壁，当所述第三通道133的数量为多个时，多个所述第三通道133环绕所述本体部134的外周间隔设置；所述第二通道132的数量为一个或多个，所述第二通道132的数量与所述第三通道133的数量相等，每个所述第二通道132分别连通一个所述第三通道133。

在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个，可以为两个、三个、四个、五个或六个等。

可以理解地，在本实施例中，所述第三通道133贯穿所述本体部134面向装置吸嘴122的表面及所述本体部134的外周侧壁，使得所述支撑件130与所述吸嘴122通过位于所述本体部134的外周的第三通道133连通。

可以理解地，每个所述第二通道132分别连通一个所述第三通道133，不同的第二通道132连通不同的第三通道133，所述第二通道132与所述第三通道133一一对应。

在本实施例中，所述穿设孔1213贯穿所述夹持部121面向所述吸嘴122的表面及面向所述吸嘴122的表面，所述本体部134具有第三通道133且所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面，则所述第三通道133并没有贯穿所述本体部134背离所述吸嘴122的表面。当所述本体部134背离所述吸嘴122的表面与所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面平齐，所述本体部134背离所述吸嘴122的表面与所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面相互配合，以封堵所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧，防止气体从所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧泄露。当所述第三通道133的数量为一个时，所述第二通道132的数量也为一个，所述第二通道132及所述第三通道133占用所述支撑件130的空间较小，从而使得所述支撑件130具有较高的结构强度，有利于所述支撑件130更好地挤压所述吸盘120。当所述第三通道133的数量为多个时，所述第二通道132的数量为多个，所述第二通道132及所述第三通道133的数量相等，多个所述第三通道133环绕所述本体部134的外周间隔设置，则在本体部134的中心区域为实心结构，所述支撑件130与所述吸嘴122通过位于所述本体部134的外周的第三通道133连通。进一步地，每个所述第二通道132分别连通一个所述第三通道133，则所述第二通道132与所述第三通道133弯折相连，且所述第二通道132背离所述第三通道133的一端连接所述第一通道1212，所述第三通道133背离所述第二通道132的一端连接所述吸嘴122，继而实现所述真空通道112与所述吸嘴122之间气路的畅通。

可选地，在一些实施例中，所述第二通道132的数量为四个，四个所述第二通道132呈对称分布。

在本实施例中，四个所述第二通道132呈对称分布，则当所述支撑件130卡摄于夹持部121的穿设孔1213时，便于将所述第二通道132及所述第一通道1212进行对准，以实现真空通道112与所述吸嘴122的连通，提升将所述支撑件130、所述吸盘120稳固安装于所述机械臂110的效率。

请参见图17至图23，在一些实施例中，所述穿设孔1213为盲孔，所述本体部134背离所述吸嘴122的表面抵持所述穿设孔1213的底壁，所述第三通道133还贯穿所述本体部134背离所述吸嘴122的表面。

可以理解地，所述穿设孔1213为盲孔，可以为，所述穿设孔1213只贯穿所述夹持部121面向所述吸嘴122的表面，并没有贯穿所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面。

可以理解地，在本实施例中，所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面及背离所述吸嘴122的表面，换言之，所述第三通道133贯穿所述本体部134相背的两个表面。

在本实施例中，所述穿设孔1213为盲孔，则当所述夹持部121穿设于所述通孔111时，所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面封堵所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧，以防止气体从所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧泄露或进入到所述通孔111；此外，在垂直于所述机械臂110的厚度方向上，所述吸盘120与所述机械臂110之间为过盈配合，所述夹持部121的第一外周侧壁1211抵持所述通孔111的内壁，以实现所述吸盘120与所述机械臂110之间的密封，当通过真空通道112对所述吸嘴122进行抽真空时，可实现快速将机械臂组件100内部的空气排进，以提升对所述吸嘴122进行抽气的效率。进一步地，所述本体部134背离所述吸嘴122的表面抵持所述穿设孔1213的内壁，且所述第三通道133贯穿所述本体部134的相背的两个表面，有利于降低所述支撑件130的加工难度，且能保持所述支撑件130设置于所述穿设孔1213时，所述支撑件130与所述吸盘120之间的紧密抵持，以提升所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构稳定性。

请参见图21至图27，在一些实施例中，所述第三通道133的数量为四个，四个所述第三通道133环绕所述本体部134的外周间隔设置，每个所述第三通道133还贯穿所述本体部134背离所述吸嘴122的表面及所述本体部134的外周侧壁；所述第二通道132的数量为四个，每个所述第二通道132分别连通一个所述第三通道133。

可以理解地，在本实施例中，所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面、背离所述吸嘴122的表面及所述本体部134的外周侧壁，使得所述支撑件130自所述第三通道133靠近所述吸嘴122的一端与所述吸嘴122连通，自所述第三通道133背离所述吸嘴122的一端与所述第二通道132连通。

可以理解地，每个所述第二通道132分别连通一个所述第三通道133，不同的第二通道132连通不同的第三通道133，所述第二通道132与所述第三通道133一一对应。

在本实施例中，所述穿设孔1213为盲孔，则当所述夹持部121穿设于所述通孔111时，所述夹持部121背离所述吸嘴122的表面封堵所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧，以防止气体从所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧泄露或进入到所述通孔111。所述第三通道133贯穿所述本体部134面向所述吸嘴122的表面及背离所述吸嘴122的表面，所述本体部134背离所述吸嘴122的一侧有所述夹持部121的遮挡，使得所述机械臂组件100在所述通孔111背离所述吸嘴122的一侧仍能保持有较好的密封性能。进一步地，所述第三通道133的数量为四个，四个所述第三通道133环绕所述本体部134的外周间隔设置，则在本体部134的中心区域为实心结构，所述支撑件130与所述吸嘴122通过所述第三通道133靠近所述吸嘴122的一端连通，所述支撑件130与所述吸盘120通过所述第三通道133远离所述吸嘴122的一端连通，继而实现所述真空通道112与所述吸嘴122之间气路的畅通。

请参见图28及图29，本申请实施例还提供了一种晶圆检测台200，所述晶圆检测台200包括：物料盒210本申请实施例提供的机械臂组件100以及检测平台220，所述物料盒210用于收容待检测样品，所述物料盒210具有沿预设方向（如图29中X方向所示）依次间隔排布的多个卡槽211，单个卡槽211用于收容单个待检测样品；所述机械臂组件100用于取放所述待检测样品；所述检测平台220用于放置并检测所述待检测样品。

可以理解地，所述机械臂组件100用于取放待检测样品，可以为，在一些实施例中，所述机械臂组件100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，在另一些实施例中，所述机械臂组件100用于向所述物料盒210中放置待检测样品。

在本实施例提供的晶圆检测台200中，所述物料盒210用于收容并存放待检测样品，当需对待检测样品进行检测时，所述机械臂组件100从所述物料盒210中取出待检测样品，并转移至检测平台220，以将待检测样品放置于检测平台220后进行检测。当对所述待检测样品检测完成后，所述机械臂组件100将检测完成后的待检测样品转运并放置于所述物料盒210。具体地，所述机械臂110伸入相邻的两个卡槽211之间，此时通过对所述真空通道112进行抽真空，以实现对所述吸嘴122进行抽真空，继而使得吸嘴122内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品进行吸附，所述机械臂110将所述待检测样品托起后转运至检测平台220。在本实施例中，所述吸盘120装配于机械臂组件100具有较好的结构稳定性和密封性能，一方面可防止所述吸盘120从所述机械臂110上掉落而影响所述机械臂组件100对所述待检测样品的吸附效果；另一方面可提升通过真空通道112对所述吸盘120进行抽真空的效率，继而提升所述机械臂组件100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。再进一步地，所述吸盘120与所述机械臂110具有较好的密封性能，使得沿所述机械臂110的厚度方向上，所述吸嘴122的高度可减薄，有利于实现所述机械臂组件100的轻薄化设计。当所述机械臂110从所述物料盒210取出待检测样品或向所述物料盒210放置待检测样品时，所述机械臂110可伸入相邻的卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂组件100具有较好的使用性能。相应地，相邻的卡槽211之间的距离可调节得更小，以提高所述物料盒210用于装载待检测样品的容量，可避免频繁更换物料盒210，继而提升所述晶圆检测台200对待检测样品进行检测的效率。

可选地，在一些实施例中，所述机械臂组件100的数量为两个，其中一个所述机械臂组件100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，另一个所述机械臂组件100用于向所述物料盒210中存放待检测样品。

可选地，在一些实施例中，所述待检测样品为晶圆。所述晶圆探针台可用于对晶圆进行射频测试及可靠性测试等。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种机械臂组件，其特征在于，所述机械臂组件包括：

机械臂，所述机械臂具有多个通孔及真空通道，所述多个通孔间隔设置且分别与所述真空通道连通；

多个吸盘，所述多个吸盘与所述多个通孔一一对应设置，所述吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，所述夹持部穿设于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，所述夹持部具有第一外周侧壁，所述夹持部具有第一通道及穿设孔，所述第一通道贯穿所述第一外周侧壁，所述穿设孔贯穿所述夹持部面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴与所述穿设孔连通，所述穿设孔与所述第一通道连通；以及

支撑件，所述支撑件包括本体部及支撑部，所述支撑部环绕所述本体部的外周设置且凸设于所述本体部的外周；所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以将所述夹持部安装于所述机械臂；所述支撑部至少部分嵌设于所述第一通道，且所述本体部的外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁；所述支撑件具有第二通道，所述第二通道贯穿所述本体部及所述支撑部；所述本体部具有第三通道，所述第三通道贯穿所述支撑件面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通；

其中，所述穿设孔贯穿所述夹持部背离所述吸嘴的表面；所述本体部背离所述吸嘴的表面与所述夹持部背离所述吸嘴的表面平齐，所述第三通道没有贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面；或，

所述穿设孔为盲孔，所述本体部背离所述吸嘴的表面抵持所述穿设孔的底壁，所述第三通道贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面。

2.根据权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述通孔的径向尺寸为D1，所述夹持部的外周的径向尺寸为D2，则满足关系式：0mm＜D2-D1≤1mm。

3.根据权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述吸盘还包括连接部，所述连接部位于所述夹持部与所述吸嘴之间且分别连接所述夹持部及所述吸嘴，当所述夹持部穿设于所述通孔且所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧时，所述连接部面向所述机械臂的表面抵持所述机械臂面向所述吸嘴的表面。

4.根据权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述穿设孔的径向尺寸为D3，所述支撑部的外径的尺寸为D4，则满足关系式：0.5mm≤D4-D3≤2mm。

5.根据权利要求1至4任一项所述的机械臂组件，其特征在于，当所述穿设孔贯穿所述夹持部背离所述吸嘴的表面且所述第三通道没有贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面，所述第三通道的数量为一个或多个，所述第三通道贯穿所述本体部的外周侧壁，当所述第三通道的数量为多个时，多个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置；所述第二通道的数量为一个或多个，所述第二通道的数量与所述第三通道的数量相等，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。

6.根据权利要求1至4任一项所述的机械臂组件，其特征在于，当所述穿设孔为盲孔且所述第三通道贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面，所述第三通道的数量为四个，四个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置，每个所述第三通道贯穿所述本体部的外周侧壁；所述第二通道的数量为四个，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。

7.一种晶圆检测台，其特征在于，所述晶圆检测台包括：

物料盒，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；

权利要求1至6任一项所述的机械臂组件，所述机械臂组件用于取放所述待检测样品；以及

检测平台，用于放置并检测所述待检测样品。