CN117723947B - 机械臂装置及探针台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种机械臂装置及探针台。所述机械臂装置包括：机械臂、吸盘以及弹性件，所述机械臂具有安装孔及流道，所述安装孔与所述流道连通；所述吸盘部分穿设于所述安装孔，所述吸盘具有进气通道，所述进气通道连通所述流道；所述弹性件分别穿设于所述吸盘且所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以将所述吸盘安装于所述机械臂。所述机械臂装置中的吸盘稳固安装于所述机械臂。

Description

机械臂装置及探针台

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种机械臂装置及探针台。

背景技术

在探针台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种机械臂装置及探针台，所述机械臂装置中的吸盘稳固安装于所述机械臂。

本申请提供了一种机械臂装置，所述机械臂装置包括：机械臂、吸盘以及弹性件，所述机械臂具有安装孔及流道，所述安装孔与所述流道连通；所述吸盘部分穿设于所述安装孔，所述吸盘具有进气通道，所述进气通道连通所述流道；所述弹性件分别穿设于所述吸盘且所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以将所述吸盘安装于所述机械臂。

进一步地，所述吸盘包括相连的安装部及吸嘴部，所述吸嘴部环绕所述安装部的外周设置且与所述安装部弯折相连，所述安装部设置于所述安装孔内，所述安装部具有外周侧壁、所述进气通道及相对设置的第一穿设孔及第二穿设孔，所述进气通道贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，所述第一穿设孔及所述第二穿设孔分别贯穿所述安装部的外周侧壁且分别连通所述进气通道，所述弹性件分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，且所述弹性件的相对两端均凸出于所述安装部的外周侧壁。

进一步地，所述机械臂还具有位于所述机械臂的内部且环绕所述安装孔的凹槽；所述弹性件包括依次弯折相连的第一卡接部、连接部及第二卡接部，所述第一卡接部与所述第二卡接部分别朝向所述连接部的同一侧弯折，所述连接部的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别至少部分位于所述安装部的相对两侧，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别设置于所述凹槽，以将所述吸盘安装于所述机械臂。

进一步地，所述连接部包括依次相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部；所述第一连接子部穿设于所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述进气通道且抵持所述进气通道的内壁，以限制所述弹性件与所述吸盘的相对位置，所述第二连接子部穿设于所述第二穿设孔。

进一步地，所述安装部还具有透气孔，所述透气孔贯穿所述安装部的外周侧壁，所述透气孔分别与所述流道和所述进气通道连通，且所述透气孔与所述第一穿设孔、第二穿设孔间隔设置。

进一步地，所述进气通道包括第一进气子通道及第二进气子通道，第一进气子通道的一端贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第一穿设孔，第二进气子通道的一端贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第二穿设孔，所述安装部还具有位于所述安装部面向所述吸嘴部的表面的沉槽，所述沉槽位于所述第一进气子通道与所述第二进气子通道之间；所述连接部包括依次弯折相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部与所述第二连接子部分别位于所述抵持子部的同一侧；所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第一卡接部与所述抵持子部分别位于所述第一连接子部的相背两侧，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部，所述第二卡接部与所述抵持子部分别位于所述第二连接子部的相背两侧；所述第一连接子部穿设于所述第一进气子通道及所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述沉槽，所述第二连接子部穿设于所述第二进气子通道及所述第二穿设孔。

进一步地，所述第一进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面，所述第二进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面。

进一步地，所述抵持子部包括依次相连的第一配合段、连接段及第二配合段，沿垂直于所述第一配合段、所述连接段及所述第二配合段的排布方向上，所述第一配合段的相对两端分别凸出于所述连接段的相对两端，所述第二配合段的相对两端分别凸出于所述连接段的相对两端，所述连接段分别连接所述第一连接子部及所述第二连接子部，所述第一配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部的同一侧，所述第二配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部背离所述第一配合段的另一侧；所述沉槽包括依次相连的第一子槽、第二子槽及第三子槽，沿垂直于所述第一子槽、第二子槽及第三子槽的排布方向上，所述第二子槽的尺寸小于所述第一子槽的尺寸且所述第二子槽的尺寸小于所述第三子槽的尺寸；第一配合段位于所述第一子槽，连接段位于所述第二子槽，第二配合段位于所述第三子槽。

进一步地，所述第一连接子部具有第一夹取孔，所述第一夹取孔贯穿所述第一连接子部相背的两个表面；所述第二连接子部具有第二夹取孔，所述第二夹取孔贯穿所述第二连接子部相背的两个表面；所述第一夹取孔及所述第二夹取孔配合用于对所述弹性件进行夹取。

本申请提供了一种探针台，所述探针台包括：物料盒、本申请提供的机械臂装置以及检测平台，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；所述机械臂装置用于取放待检测样品；所述检测平台用于放置并检测所述待检测样品。

在本申请中，所述机械臂装置应用于探针台且所述机械臂用于取放待检测样品，所述机械臂具有相互连通的安装孔及流道，且所述吸盘部分穿设于所述安装孔，吸盘的进气通道与流道连通，当对所述流道进行抽真空时，可实现对所述吸盘进行抽真空，以使得吸盘内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品的搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向流道内通入气体，气体将进入到吸盘的内部，从而使得吸盘停止对所述待检测样品的吸附。在本申请提供的机械臂装置的装配过程中，先将所述弹性件的相背两端分别穿设于所述吸盘，以将所述弹性件与所述吸盘安装为一体结构；再将所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以实现所述弹性件与所述机械臂的相对位置的固定，继而实现所述吸盘与所述机械臂的相对位置的固定，从而实现将所述吸盘安装于所述机械臂。相较于直接将所述吸盘通过胶粘的方式安装于机械臂的方案，本申请中的弹性件将所述吸盘卡接于所述机械臂，提升了所述吸盘设置于所述机械臂的结构稳定性，从而避免所述吸盘从所述机械臂上掉落。此外，本申请的吸盘具有进气通道，使得所述进气通道可与所述流道流通，以保证所述吸盘与所述流道之间的气路的畅通性，继而有利于提升通过所述流道对所述吸盘进行抽真空的效率。且所述弹性件保证了将所述吸盘稳固设置于所述机械臂，使得在经过一段时间的使用后，所述机械臂与所述吸盘之间仍有较好的密封性能，继而使得通过所述流道对所述吸盘进行抽真空的效率较高。再者，沿所述机械臂的厚度方向上，所述吸盘的高度可减薄，有利于实现所述机械臂装置的轻薄化设计。当所述机械臂装置用于向物料盒取放待检测样品时，所述机械臂可伸入相邻的两个卡槽之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂装置具有较好的使用性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请第一实施例的机械臂的结构示意图；

图2为本申请第一实施例的机械臂的侧视图；

图3为图2中B-B方向的剖视图；

图4为本申请第一实施例的机械臂装置的结构示意图；

图5为图1中A-A方向的剖视图；

图6为图4中C-C方向的部分剖视图一；

图7为本申请第一实施例的吸盘的结构示意图；

图8为本申请第一实施例的吸盘的俯视图；

图9为图8中D-D方向的剖视图；

图10为本申请第一实施例的弹性件的结构示意图；

图11为本申请第二实施例的机械臂的结构示意图；

图12为图11中E-E方向的剖视图；

图13为本申请第二实施例的机械臂装置的结构示意图；

图14为图13中F-F方向的剖视图；

图15为本申请第二实施例的吸盘的结构示意图一；

图16为本申请第二实施例的吸盘的俯视图；

图17为图16中G-G方向的剖视图；

图18为本申请第二实施例的弹性件的结构示意图；

图19为本申请第二实施例的吸盘的结构示意图二

图20为本申请一实施例的探针台的结构示意图；

图21为本申请一实施例的物料盒的结构示意图。

附图标记：

100-机械臂装置，110-机械臂，111-安装孔，112-流道，113-凹槽，120-吸盘，121-进气通道，1211-第一进气子通道，1212-第二进气子通道，122-安装部，123-吸嘴部，124-第一穿设孔，125-第二穿设孔，126-透气孔，127-沉槽，1271-第一子槽，1272-第二子槽，1273-第三子槽，128-接合部，130-弹性件，131-第一卡接部，132-连接部，1321-第一连接子部，1322-抵持子部，1323-第二连接子部，1324-第一配合段，1325-连接段，1326-第二配合段，1327-第一夹取孔，1328-第二夹取孔，133-第二卡接部，200-探针台，210-物料盒，211-卡槽，220-检测平台。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在探针台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。此外，当粘胶老化时，吸盘与机械臂之间的密封性能变差，从而使得难以对吸盘进行抽真空，降低了机械臂对晶圆进行吸附的效率。

请参见图1至图6，本申请实施例提供了一种机械臂装置100，所述机械臂装置100包括：机械臂110、吸盘120以及弹性件130，所述机械臂110具有安装孔111及流道112，所述安装孔111与所述流道112连通；所述吸盘120部分穿设于所述安装孔111，所述吸盘120具有进气通道121，所述进气通道121连通所述流道112；所述弹性件130分别穿设于所述吸盘120且所述弹性件130的相对两端卡接于所述机械臂110，以将所述吸盘120安装于所述机械臂110。

可以理解地，所述弹性件130分别穿设于所述吸盘120，可以为，所述弹性件130的相背两端分别穿设于所述吸盘120，以实现将所述弹性件130与所述吸盘120安装为一体结构。

可以理解地，所述弹性件130的相对两端卡接于所述机械臂110，可以为，所述弹性件130的相对两端凸出于所述吸盘120的外周设置，且抵持所述机械臂110。

在本实施例中，所述机械臂装置100应用于探针台200且所述机械臂110用于取放待检测样品，所述机械臂110具有相互连通的安装孔111及流道112，且所述吸盘120部分穿设于所述安装孔111，吸盘120的进气通道121与流道112连通，当对所述流道112进行抽真空时，可实现对所述吸盘120进行抽真空，以使得吸盘120内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品的搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向流道112内通入气体，气体将进入到吸盘120的内部，从而使得吸盘120停止对所述待检测样品的吸附。在本实施例提供的机械臂装置100的装配过程中，先将所述弹性件130的相背两端分别穿设于所述吸盘120，以将所述弹性件130与所述吸盘120安装为一体结构；再将所述弹性件130的相对两端卡接于所述机械臂110，以实现所述弹性件130与所述机械臂110的相对位置的固定，继而实现所述吸盘120与所述机械臂110的相对位置的固定，从而实现将所述吸盘120安装于所述机械臂110。相较于直接将所述吸盘120通过胶粘的方式安装于机械臂110的方案，本申请实施例中的弹性件130将所述吸盘120卡接于所述机械臂110，提升了所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性，从而避免所述吸盘120从所述机械臂110上掉落。此外，本实施例的吸盘120具有进气通道121，使得所述进气通道121可与所述流道112流通，以保证所述吸盘120与所述流道112之间的气路的畅通性，继而有利于提升通过所述流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率。且所述弹性件130保证了将所述吸盘120稳固设置于所述机械臂110，使得在经过一段时间的使用后，所述机械臂110与所述吸盘120之间仍有较好的密封性能，继而使得通过所述流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率较高。再者，沿所述机械臂110的厚度方向上，所述吸盘120的高度可减薄，有利于实现所述机械臂装置100的轻薄化设计。当所述机械臂装置100用于向物料盒210取放待检测样品时，所述机械臂110可伸入相邻的两个卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂装置100具有较好的使用性能。

可选地，所述安装孔111的数量为多个，所述吸盘120的数量为多个，每个所述吸盘120设置于一个所述安装孔111，不同的吸盘120对应不同的安装孔111设置。

在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个。

在本实施例中，所述安装孔111及所述吸盘120的数量为多个，使得当所述机械臂装置100应用于取放待检测样品时，通过流道112与多个所述吸盘120的相互配合，以使得所述机械臂装置100对所述待检测样品具有较强的吸附作用，增强了所述待检测样品承载于所述机械臂110的结构稳定性，避免待检测样品在搬运过程中发生错位或移动，从而提升了所述机械臂装置100的使用性能。

可选地，在一些实施例中，所述机械臂110的原材料选自陶瓷、金属、塑料或玻璃等中的至少一种。所述机械臂110具有较好的结构强度。

可选地，在一些实施例中，所述吸盘120的原材料选自硅橡胶、丁腈橡胶、聚氨酯橡胶及氟橡胶等中的至少一种。所述吸盘120具有一定的弹性，使得当所述吸盘120穿设于所述安装孔111时，所述吸盘120能紧紧抵持所述安装孔111的内壁，从而使得所述吸盘120设置于所述机械臂110具有较高的结构稳定性。

可选地，所述安装孔111贯穿所述机械臂110的至少一个表面，在本申请图5实施例中，所述安装孔111贯穿所述机械臂110相背的两个表面，换言之，所述安装孔111贯穿所述机械臂110面向所述吸嘴部123的表面及背离所述吸嘴部123的表面。在另一些实施例中，所述安装孔111为盲孔，所述安装孔111只贯穿所述机械臂110面向所述吸嘴部的表面。

请参见图7至图10，在一些实施例中，所述吸盘120包括相连的安装部122及吸嘴部123，所述吸嘴部123环绕所述安装部122的外周设置且与所述安装部122弯折相连，所述安装部122设置于所述安装孔111内，所述安装部122具有外周侧壁、所述进气通道121及相对设置的第一穿设孔124及第二穿设孔125，所述进气通道121贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面，所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125分别贯穿所述安装部122的外周侧壁且分别连通所述进气通道121，所述弹性件130分别穿设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125，且所述弹性件130的相对两端均凸出于所述安装部122的外周侧壁。

可以理解地，所述进气通道121贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面，可以为，所述进气通道121与所述吸嘴部123围合成的空间连通。

可以理解地，所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125分别贯穿所述安装部122的外周侧壁且分别连通所述进气通道121，可以为，所述第一穿设孔124贯穿所述安装部122的外周侧壁及所述安装部122的内周侧壁，所述第二穿设孔125贯穿所述安装部122的外周侧壁及所述安装部122的内周侧壁。

在本实施例中，所述安装部122与所述吸嘴部123相连，当所述安装部122设置于所述安装孔111内时，所述吸嘴部123设置于所述机械臂110的一侧。在所述机械臂装置100的装配过程中，先通过弯折所述弹性件130以使所述弹性件130进入所述进气通道121，再将所述弹性件130的一端穿设于所述第一穿设孔124，另一端穿设于所述第二穿设孔125，待所述弹性件130发生弹性恢复后，所述弹性件130的相对两端均凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述弹性件130与所述吸盘120安装为一体且稳固连接。进一步地，弯折所述弹性件130的相对两端凸出于所述安装部122的外周侧壁的部分，以将所述吸盘120及所述弹性件130安装于所述机械臂110，待所述弹性件130发生弹性恢复后，所述弹性件130的相对两端凸出于所述安装部122的外周侧壁的部分卡接于所述机械臂110，从而实现对吸盘120与机械臂110的相对位置的固定，提升了将所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性，以避免吸盘120从所述机械臂110掉落而影响所述机械臂装置100对所述待检测样品的吸附效果。

可选地，在一些实施例中，所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125相对所述吸盘120的中心呈对称分布。

在本实施例中，所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125相对所述吸盘120的中心呈对称分布，便于将弹性件130的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125，从而减小将所述弹性件130穿设于所述机械臂110的难度，加快将所述弹性件130及所述吸盘120装配于所述机械臂110的效率。

在一些实施例中，所述安装孔111的径向尺寸为D1，所述安装部122的外周的径向尺寸为D2，则满足关系式：0.2mm≤D2-D1≤1mm。

可以理解地，所述安装部122的外周的径向尺寸大于所述安装孔111的径向尺寸。

具体地，D2-D1的值可以为但不限于为0.2mm、0.22mm、0.25mm、0.28mm、0.3mm、0.32mm、0.35mm、0.38mm、0.4mm、0.42mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.65mm、0.68mm、0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm及1mm等。

在本实施例中，所述安装部122的外周的径向尺寸大于所述安装孔111的径向尺寸，则当所述吸盘120设置于所述机械臂110时，所述安装部122的外周侧壁将抵持所述安装孔111的内壁，以避免所述吸盘120从所述安装孔111掉落出所述机械臂110。当D2-D1的值满足范围0.2mm≤D2-D1≤1mm时，D2-D1的值在合理的范围内，当所述安装部122穿设于所述安装孔111时，所述安装部122的外周侧壁抵持所述安装孔111的内壁且抵持程度足够大，使得所述吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较好，还可避免因所述安装部122的外周的径向尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于机械臂110的难度。所述安装部122的外周侧壁紧紧抵持所述安装孔111的内壁，可增大所述吸盘120安装于所述机械臂110的结构稳定性，避免所述吸盘120从所述机械臂110上脱落，从而提升了所述吸盘120装配于所述机械臂110的结构稳定性。当D2-D1的值过大时，所述安装部122的外周的径向尺寸远大于所述安装孔111的径向尺寸，换言之，当所述安装孔111的径向尺寸确定时，所述安装部122的外周的径向尺寸过大，使得加大了将安装部122穿设于所述安装孔111的难度，继而降低将所述吸盘120装配于机械臂110的效率。当D2-D1的值过小时，所述安装部122的外周的径向尺寸远小于所述安装孔111的径向尺寸，换言之，当所述安装孔111的径向尺寸确定时，所述安装部122的外周的径向尺寸过小，则当所述安装部122穿设于所述安装孔111时，所述安装部122的外周侧壁与所述安装孔111的内壁的抵持程度不够大，使得所述吸盘120与所述叉臂之间的密封性能较差，当向所述真空通道进行抽真空时，所述吸盘120与所述叉臂之间可能会漏气，从而降低了通过所述真空通道对所述吸嘴部进行抽真空的效率，继而降低了通过所述机械臂装置100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。

在一些实施例中，所述吸盘120还包括接合部128，所述接合部128位于所述安装部122与所述吸嘴部123之间且分别连接所述安装部122及所述吸嘴部123，当所述安装部122穿设于所述安装孔111且所述吸嘴部123设置于所述机械臂110的一侧时，所述接合部128面向所述机械臂110的表面抵持所述机械臂110面向所述吸嘴部123的表面。

可以理解地，所述接合部128的相背两端分别连接所述安装部122及所述吸嘴部123。

在本实施例中，当所述安装部122穿设于所述安装孔111且所述吸嘴部123设置于所述机械臂110的一侧时，所述接合部128面向所述机械臂110的表面抵持所述机械臂110面向所述吸嘴部123的表面，一方面，所述接合部128可对所述吸盘120与所述机械臂110的相对位置进行定位，且具有一定的限位作用，以避免所述吸嘴部123部分吸入所述安装孔111，可简化将所述吸盘120装配于所述机械臂110的装配工序。另一方面，相较于所述安装部122与所述吸嘴部123直接相连的方案，本申请实施例在安装部122与吸嘴部123之间设置接合部128，有利于加强所述安装部122、所述吸嘴部123与所述机械臂110之间的密封性能，避免安装孔111内的部分气体通过所述安装部122、所述吸嘴部123与所述机械臂110之间的间隙溢出，从而提升所述吸盘120装配于所述机械臂110的密封性能，使得通过所述流道112对所述吸嘴部123进行抽真空具有较高的效率。

可选地，当所述安装孔111为盲孔时，所述安装部122与所述吸嘴部123直接相连。所述吸盘120虽不设置所述接合部128，仍能保证所述吸盘120设置于所述机械臂110的密封性能。

在一些实施例中，所述机械臂110还具有位于所述机械臂110的内部且环绕所述安装孔111的凹槽113；所述弹性件130包括依次弯折相连的第一卡接部131、连接部132及第二卡接部133，所述第一卡接部131与所述第二卡接部133分别朝向所述连接部132的同一侧弯折，所述连接部132的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125，所述第一卡接部131及所述第二卡接部133分别至少部分位于所述安装部122的相对两侧，所述第一卡接部131及所述第二卡接部133分别设置于所述凹槽113，以将所述吸盘120安装于所述机械臂110。

可以理解地，所述凹槽113环绕所述安装孔111设置，则所述凹槽113与所述安装孔111连通，所述凹槽113还与所述流道112流通。

可以理解地，所述第一卡接部131及所述第二卡接部133分别至少位于所述安装部122的相对两侧，可以为，所述第一卡接部131背离所述连接部132的端部凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述第二卡接部133背离所述连接部132的端部凸出于所述安装部122的外周侧壁。

在本实施例中，所述机械臂110具有位于所述机械臂110的内部且环绕所述安装孔111的凹槽113，当所述安装部122安装于所述安装孔111且所述弹性件130的相对两端卡接于所述机械臂110时，所述第一卡接部131背离所述连接部132的端部凸出于所述安装部122的外周侧壁且设置于所述凹槽113，所述第二卡接部133背离所述连接部132的端部凸出于所述安装部122的外周侧壁且设置于所述凹槽113，一方面，所述凹槽113为所述弹性件130的卡接提供空间，以实现所述弹性件130与所述机械臂110的抵持，增强了所述弹性件130设置于所述机械臂110的结构稳定性，从而提升了所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。另一方面，所述凹槽113的相对两侧分别连通所述安装孔111及所述流道112，使得当所述吸盘120穿设于所述安装孔111时，所述吸盘120的进气通道121与所述流道112之间可通过所述凹槽113连通，继而有利于提升气体在所述进气通道121与所述流道112之间流通的速度，继而提升对流道112抽真空以实现对所述吸盘120抽真空的效率，从而有利于提升所述机械臂装置100应用于吸附并转运待检测晶圆的效率。

可选地，所述凹槽113可以为环形凹槽，还可以为矩形凹槽，还可以为不规则型凹槽等。本申请不对凹槽113的形状作具体限定。

可选地，在一些实施例中，沿所述机械臂110的厚度方向上，所述凹槽113的径向尺寸大于所述流道112的径向尺寸。

可以理解地，所述机械臂110的厚度方向，可以为，所述安装部122与所述吸嘴部123的排布方向。

在本实施例中，沿所述机械臂110的厚度方向上，所述流道112的径向尺寸小于所述凹槽113的径向尺寸，一方面，有利于减小所述流道112占用所述机械臂110内部的空间，从而有利于增强所述机械臂110的结构强度。另一方面，所述流道112的径向尺寸较小，使得所述叉臂中流道112的整体尺寸较小，当通过所述流道112对所述吸盘120进行抽真空时，有利于加快将吸盘120内部的气体抽尽的速度，从而提升通过流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率。

在一些实施例中，所述连接部132包括依次相连的第一连接子部1321、抵持子部1322及第二连接子部1323，所述第一连接子部1321背离所述抵持子部1322的一端连接所述第一卡接部131，所述第二连接子部1323背离所述抵持子部1322的一端连接所述第二卡接部133；所述第一连接子部1321穿设于所述第一穿设孔124，所述抵持子部1322位于所述进气通道121且抵持所述进气通道121的内壁，以限制所述弹性件130与所述吸盘120的相对位置，所述第二连接子部1323穿设于所述第二穿设孔125。

可以理解地，在本实施例中，所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321、所述抵持子部1322、所述第二连接子部1323及所述第二卡接部133依次相连。

在本实施例中，当将所述弹性件130穿设于所述吸盘120时，所述第一连接子部1321穿设于所述第一穿设孔124，所述第二连接子部1323穿设于所述第二穿设孔125，以实现所述弹性件130与所述吸盘120的定位。进一步地，所述抵持子部1322位于所述进气通道121且抵持所述进气通道121的内壁，则所述进气通道121对所述抵持子部1322的位置进行进一步限定，以限制所述弹性件130与所述吸盘120的相对位置，防止所述弹性件130相对所述吸盘120发生扭转，从而实现对所述吸盘120与所述机械臂110的位置的固定，进一步增强了所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。

可选地，所述第一连接子部1321的厚度与所述第一穿设孔124的厚度相等，所述第二连接子部1323的厚度与所述第二穿设孔125的厚度相等。

可以理解地，所述第一连接子部1321的厚度为，沿所述安装部122及所述吸嘴部123的排布方向上，所述第一连接子部1321的高度。所述第二连接子部1323的厚度为，沿所述安装部122及所述吸嘴部123的排布方向上，所述第二连接子部1323的高度。

可以理解地，所述第一穿设孔124的厚度为，沿所述安装部122及所述吸嘴部123的排布方向上，所述第一穿设孔124的高度。所述第二穿设孔125的厚度为，沿所述安装部122及所述吸嘴部123的排布方向上，所述第二穿设孔125的高度。

在本实施例中，所述第一连接子部1321的厚度与所述第一穿设孔124的厚度相等，且所述第二连接子部1323的厚度与所述第二穿设孔125的厚度相等，使得当所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323分别穿设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125时，所述第一连接子部1321能紧紧卡持所述第一穿设孔124的内壁，所述第二连接子部1323能紧紧卡持所述第二穿设孔125的内壁，有利于对所述弹性件130与所述吸盘120的相对位置进行固定，从而提升所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性。

可选地，所述第一连接子部1321的宽度小于所述第一穿设孔124的宽度，所述第二连接子部1323的宽度小于所述第二穿设孔125的宽度。

可以理解地，所述第一连接子部1321的宽度为，所述第一连接子部1321在垂直于所述第一连接子部1321的延伸方向且垂直于所述第一连接子部1321的厚度方向上的长度。所述第二连接子部1323的宽度为，所述第一连接子部1321在垂直于所述第二连接子部1323的延伸方向且垂直于所述第二连接子部1323的厚度方向上的长度。

在本实施例中，所述第一连接子部1321的宽度小于所述第一穿设孔124的宽度。所述第二连接子部1323的宽度小于所述第二穿设孔125的宽度，当将所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323分别穿设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125时，可避免所述第一连接子部1321对所述第一穿设孔124完全阻挡，避免所述第二连接子部1323对所述第二穿设孔125完全阻挡，使得所述进气通道121与所述流道112之间的气路具有较好的畅通性，以提升通过流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率。

在一些实施例中，所述安装部122还具有透气孔126，所述透气孔126贯穿所述安装部122的外周侧壁，所述透气孔126分别与所述流道112和所述进气通道121连通，且所述透气孔126与所述第一穿设孔124、第二穿设孔125间隔设置。

可以理解地，所述透气孔126与所述进气通道121连通，则所述透气孔126同时贯穿所述安装部122的外周侧壁及所述安装部122的内周侧壁。

在本实施例中，当所述弹性件130的相背两端卡设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125时，所述进气通道121与所述流道112之间的气路的流通路径部分被阻挡，通过设置所述透气孔126贯穿所述安装部122的外周侧壁且与所述进气通道121连通，则所述透气孔126有利于加强所述进气通道121与所述流道112的流通，使得加强所述进气通道121与所述流道112之间的气路的畅通性，继而提升通过对所述流道112进行抽真空以实现对所述吸嘴部123进行抽真空的效率，提升所述机械臂装置100用于吸附并转运待检测样品的效率。

请参见图11至图19，在一些实施例中，所述进气通道121包括第一进气子通道1211及第二进气子通道1212，第一进气子通道1211的一端贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面，另一端连通所述第一穿设孔124，第二进气子通道1212的一端贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面，另一端连通所述第二穿设孔125，所述安装部122还具有位于所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面的沉槽127，所述沉槽127位于所述第一进气子通道1211与所述第二进气子通道1212之间；所述连接部132包括依次弯折相连的第一连接子部1321、抵持子部1322及第二连接子部1323，所述第一连接子部1321与所述第二连接子部1323分别位于所述抵持子部1322的同一侧；所述第一连接子部1321背离所述抵持子部1322的一端连接所述第一卡接部131，所述第一卡接部131与所述抵持子部1322分别位于所述第一连接子部1321的相背两侧，所述第二连接子部1323背离所述抵持子部1322的一端连接所述第二卡接部133，所述第二卡接部133与所述抵持子部1322分别位于所述第二连接子部1323的相背两侧；所述第一连接子部1321穿设于所述第一进气子通道1211及所述第一穿设孔124，所述抵持子部1322位于所述沉槽127，所述第二连接子部1323穿设于所述第二进气子通道1212及所述第二穿设孔125。

可以理解地，在图12实施例中，所述安装孔111为盲孔。

可以理解地，所述第一进气子通道1211的相背两侧分别连通所述吸嘴部123围合成的空间及第一穿设孔124，所述第二进气子通道1212的相背两侧分别连通所述吸嘴部123围合成的空间及所述第二穿设孔125。

可以理解地，所述安装部122还具有位于所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面的沉槽127，可以为，所述凹槽113的底壁凹陷于所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面。

可以理解地，所述沉槽127位于所述第一进气子通道1211与所述第二进气子通道1212之间，可以为，所述第一进气子通道1211、所述沉槽127及所述第二进气子通道1212依次连通，且所述第一进气子通道1211及所述第二进气子通道1212位于所述沉槽127的相对两侧。

可以理解地，在本实施例中，所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321、所述抵持子部1322、所述第二连接子部1323及所述第二卡接部133依次相连。

在本实施例中，当将所述弹性件130穿设于所述吸盘120的安装孔111时，先将所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321相对所述抵持子部1322朝向靠近所述第二卡接部133的方向弯折，将所述第二卡接部133、所述第二连接子部1323相对所述抵持子部1322朝向靠近所述第一卡接部131的方向弯折，以将所述弹性件130设置于进气通道121。进一步地，所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321穿设于所述第一进气子通道1211，并进一步将所述第一连接子部1321穿设于所述第一穿设孔124，所述第一卡接部131至少凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述第一卡接部131背离所述第一连接子部1321的一端抵持所述机械臂110；同理地，所述第二卡接部133、所述第二连接子部1323穿设于所述第二进气子通道1212，并进一步将所述第二连接子部1323穿设于所述第二穿设孔125，所述第二卡接部133至少凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述第二卡接部133背离所述第二连接子部1323的一端抵持所述机械臂110，使得将所述弹性件130稳固设置于所述吸盘120内。在本实施例中，所述弹性件130具有一定的弹性且所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321、所述抵持子部1322、所述第二连接子部1323及所述第二卡接部133依次弯折相连，减小了将所述弹性件130安装于所述吸盘120的装配难度，有利于进一步提升将所述吸盘120设置于所述机械臂110的安装效率。进一步地，当所述第一连接子部1321穿设于所述第一进气子通道1211及所述第一穿设孔124，且所述第二连接子部1323穿设于所述第二进气子通道1212及所述第二穿设孔125时，所述抵持子部1322位于所述沉槽127，所述沉槽127对所述抵持子部1322的位置进行限定，以防止所述抵持子部1322与所述吸盘120发生扭转，继而实现了对所述吸盘120与所述弹性件130的相对位置的固定，进一步提高了所述吸盘120设置于所述机械臂110的结构稳定性，以避免所述吸盘120从所述机械臂110上脱落，从而提升所述机械臂装置100的使用性能。

在一些实施例中，所述第一进气子通道1211还贯穿所述安装部122背离所述吸嘴部123的表面，所述第二进气子通道1212还贯穿所述安装部122背离所述吸嘴部123的表面。

可以理解地，所述第一进气子通道1211贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面及背离所述吸嘴部123的表面，所述第二进气子通道1212贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面及背离所述吸嘴部123的表面。

在本实施例中，当所述弹性件130的相背两端卡设于所述第一穿设孔124及所述第二穿设孔125时，所述进气通道121与所述流道112之间的气路的流通路径部分被阻挡，通过设置所述第一进气子通道1211贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面及背离所述吸嘴部123的表面，且所述第二进气子通道1212贯穿所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面及背离所述吸嘴部123的表面，所述第一进气子通道1211背离所述吸嘴部123的一侧及所述第二进气子通道1212背离所述吸嘴部123的一侧可加强所述进气通道121与所述流道112的流通，使得加强所述进气通道121与所述流道112之间的气路的畅通性，继而提升通过对所述流道112进行抽真空以实现对所述吸嘴部123进行抽真空的效率，提升所述机械臂装置100用于吸附并转运待检测样品的效率。

在一些实施例中，所述抵持子部1322包括依次相连的第一配合段1324、连接段1325及第二配合段1326，沿垂直于所述第一配合段1324、所述连接段1325及所述第二配合段1326的排布方向上，所述第一配合段1324的相对两端分别凸出于所述连接段1325的相对两端，所述第二配合段1326的相对两端分别凸出于所述连接段1325的相对两端，所述连接段1325分别连接所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323，所述第一配合段1324位于所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323的同一侧，所述第二配合段1326位于所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323背离所述第一配合段1324的另一侧；所述沉槽127包括依次相连的第一子槽1271、第二子槽1272及第三子槽1273，沿垂直于所述第一子槽1271、第二子槽1272及第三子槽1273的排布方向上，所述第二子槽1272的尺寸小于所述第一子槽1271的尺寸且所述第二子槽1272的尺寸小于所述第三子槽1273的尺寸；第一配合段1324位于所述第一子槽1271，连接段1325位于所述第二子槽1272，第二配合段1326位于所述第三子槽1273。

可以理解地，所述抵持子部1322呈“工字型”或“哑铃型”。

可以理解地，所述第一配合段1324对应第一子槽1271设置，所述连接段1325对应第二子槽1272设置，所述第二配合段1326对应所述第三子槽1273设置。

在本实施例中，当将所述弹性件130穿设于所述吸盘120且所述弹性件130的相对两端卡接于所述机械臂110时，所述第一连接子部1321穿设于所述第一穿设孔124，所述第二连接子部1323穿设于所述第二穿设孔125，所述抵持子部1322位于所述沉槽127，所述沉槽127对所述抵持子部1322的位置进行限定，从而对所述弹性件130与所述吸盘120的相对位置进行固定。具体地，所述抵持子部1322包括依次相连的第一配合段1324、连接段1325及第二配合段1326，且沿垂直于所述第一配合段1324、所述连接段1325及所述第二配合段1326的排布方向上，所述第一配合段1324及所述第二配合段1326的相对两端均分别凸出于所述连接段1325的相对两端，所述抵持子部1322呈“工字型”或“哑铃型”，有利于将所述抵持子部1322稳固设置于所述沉槽127，以防止所述抵持子部1322在所述沉槽127发生转动，继而提升所述弹性件130设置于所述吸盘120的结构稳定性。进一步地，所述沉槽127包括依次相连的第一子槽1271、第二子槽1272及第三子槽1273，且沿垂直于所述第一子槽1271、第二子槽1272及第三子槽1273的排布方向上，所述第二子槽1272的尺寸小于所述第一子槽1271的尺寸且所述第二子槽1272的尺寸小于所述第三子槽1273的尺寸，则所述沉槽127在所述安装部122面向所述吸嘴部123的表面的正投影也呈“工字型”或“哑铃型”，所述沉槽127的形状与所述抵持子部1322的形状匹配，以使所述第一子槽1271限制所述第一配合段1324，所述第二子槽1272限制所述连接段1325，所述第三子槽1273限制所述第二配合段1326，进一步提升所述沉槽127对所述抵持子部1322的定位作用，从而实现对所述弹性件130与吸盘120的相对位置的进一步固定，所述弹性件130安装于所述吸盘120具有较好的结构稳定性，当将所述弹性件130及所述吸盘120设置于所述机械臂110时，所述吸盘120设置于所述机械臂110也具有较好的结构稳定性。

在一些实施例中，所述第一连接子部1321具有第一夹取孔1327，所述第一夹取孔1327贯穿所述第一连接子部1321相背的两个表面；所述第二连接子部1323具有第二夹取孔1328，所述第二夹取孔1328贯穿所述第二连接子部1323相背的两个表面；所述第一夹取孔1327及所述第二夹取孔1328配合用于对所述弹性件130进行夹取。

在本实施例中，所述第一连接子部1321具有第一夹取孔1327，所述第二连接子部1323具有第二夹取孔1328，当将所述弹性件130穿设于所述吸盘120的安装孔111时，可通过采用工具夹取穿过第一夹取孔1327及第二夹取孔1328，以使得所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321相对所述抵持子部1322朝向靠近所述第二卡接部133的方向弯折，所述第二卡接部133、所述第二连接子部1323相对所述抵持子部1322朝向靠近所述第一卡接部131的方向弯折，换言之，减小所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323之间的夹角，以将所述弹性件130设置于进气通道121。进一步地，工具松开，以释放所述第一连接子部1321及所述第二连接子部1323，以使得所述第一卡接部131、所述第一连接子部1321穿设于所述第一进气子通道1211，并进一步将所述第一连接子部1321穿设于所述第一穿设孔124，所述第一卡接部131至少凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述第一卡接部131背离所述第一连接子部1321的一端抵持所述机械臂110；同理地，所述第二卡接部133、所述第二连接子部1323穿设于所述第二进气子通道1212，并进一步将所述第二连接子部1323穿设于所述第二穿设孔125，所述第二卡接部133至少凸出于所述安装部122的外周侧壁，所述第二卡接部133背离所述第二连接子部1323的一端抵持所述机械臂110，使得将所述弹性件130稳固设置于所述吸盘120内。本申请实施例中的第一连接子部1321具有第一夹取孔1327，第二连接子部1323具有第二夹取孔1328，便于工作人员对所述弹性件130进行夹取，以将所述弹性件130穿设于所述吸盘120及所述机械臂110。当需要将所述弹性件130从所述吸盘120拆卸时，所述第一夹取孔1327及所述第二夹取孔1328便于操作人员夹取，以快速地将所述弹性件130从所述吸盘120夹出，所述第一夹取孔1327及所述第二夹取孔1328配合，有利于提升将所述弹性件130装配于所述吸盘120及将所述弹性件130从所述吸盘120中拆卸下来的效率，从而有利于提高所述机械臂装置100的装配效率，继而降低所述机械臂装置100的安装成本。

请参见图20及图21，本申请实施例还提供了一种探针台200，所述探针台200包括：物料盒210、本申请提供的机械臂装置100以及检测平台220，所述物料盒210用于收容待检测样品，所述物料盒210具有沿预设方向（如图21中X方向所示）依次间隔排布的多个卡槽211，单个卡槽211用于收容单个待检测样品；所述机械臂装置100用于取放待检测样品；所述检测平台220用于放置并检测所述待检测样品。

可以理解地，所述机械臂装置100用于取放待检测样品，可以为，在一些实施例中，所述机械臂装置100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，在另一些实施例中，所述机械臂装置100用于向所述物料盒210中放置待检测样品。

在本实施例提供的探针台200中，所述物料盒210用于收容并存放待检测样品，当需对待检测样品进行检测时，所述机械臂装置100从所述物料盒210中取出待检测样品，并转移至检测平台220，以将待检测样品放置于检测平台220后进行检测。当对所述待检测样品检测完成后，所述机械臂装置100将检测完成后的待检测样品转运并放置于所述物料盒210。具体地，所述机械臂110伸入相邻的两个卡槽211之间，此时通过对所述真空通道进行抽真空，以实现对所述吸嘴部123进行抽真空，继而使得吸嘴部123内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品进行吸附，所述机械臂110将所述待检测样品托起后转运至检测平台220。在本实施例中，所述吸盘120装配于机械臂装置100具有较好的结构稳定性和密封性能，一方面可防止所述吸盘120从所述机械臂110上掉落而影响所述机械臂装置100对所述待检测样品的吸附效果；另一方面可提升通过真空通道对所述吸盘120进行抽真空的效率，继而提升所述机械臂装置100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。再进一步地，所述吸盘120与所述机械臂110具有较好的密封性能，使得沿所述机械臂110的厚度方向上，所述吸嘴部123的高度可减薄，有利于实现所述机械臂装置100的轻薄化设计。当所述机械臂110从所述物料盒210取出待检测样品或向所述物料盒210放置待检测样品时，所述机械臂110可伸入相邻的卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂装置100具有较好的使用性能。相应地，相邻的卡槽211之间的距离可调节得更小，以提高所述物料盒210用于装载待检测样品的容量，可避免频繁更换物料盒210，继而提升所述探针台200对待检测样品进行检测的效率。

可选地，在一些实施例中，所述机械臂装置100的数量为两个，其中一个所述机械臂装置100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，另一个所述机械臂装置100用于向所述物料盒210中存放待检测样品。

可选地，在一些实施例中，所述待检测样品为晶圆。所述晶圆探针台可用于对晶圆进行射频测试及可靠性测试等。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种机械臂装置，其特征在于，所述机械臂装置包括：

机械臂，所述机械臂具有安装孔及流道，所述安装孔贯穿所述机械臂相背的两个表面，所述安装孔与所述流道连通；所述机械臂还具有位于所述机械臂的内部且环绕所述安装孔的凹槽，所述凹槽与所述流道连通；

吸盘，所述吸盘部分穿设于所述安装孔，所述吸盘具有进气通道；所述吸盘包括相连的安装部及吸嘴部，所述吸嘴部环绕所述安装部的外周设置且与所述安装部弯折相连，所述安装部设置于所述安装孔内，所述安装部具有外周侧壁、所述进气通道及相对设置的第一穿设孔及第二穿设孔，所述进气通道为所述安装部面向所述吸嘴部的表面上的盲孔，所述第一穿设孔及所述第二穿设孔分别贯穿所述安装部的外周侧壁，所述进气通道通过所述第一穿设孔及所述第二穿设孔分别连通所述凹槽后连通所述流道；以及

弹性件，所述弹性件分别穿设于所述吸盘且所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以将所述吸盘安装于所述机械臂；所述弹性件分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，且所述弹性件的相对两端均凸出于所述安装部的外周侧壁；所述弹性件包括依次弯折相连的第一卡接部、连接部及第二卡接部，所述第一卡接部与所述第二卡接部分别朝向所述连接部的同一侧弯折，所述连接部的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别至少部分位于所述安装部的相对两侧，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别设置于所述凹槽，以将所述吸盘安装于所述机械臂；

所述连接部包括依次相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部；所述第一连接子部穿设于所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述进气通道且抵持所述进气通道的内壁，以限制所述弹性件与所述吸盘的相对位置，所述第二连接子部穿设于所述第二穿设孔，所述第一连接子部的厚度与所述第一穿设孔的厚度相等，所述第二连接子部的厚度与所述第二穿设孔的厚度相等。

2.根据权利要求1所述的机械臂装置，其特征在于，所述安装部还具有透气孔，所述透气孔贯穿所述安装部的外周侧壁，所述透气孔分别与所述流道和所述进气通道连通，且所述透气孔与所述第一穿设孔、第二穿设孔间隔设置。

3.一种机械臂装置，其特征在于，所述机械臂装置包括：

机械臂，所述机械臂具有安装孔及流道，所述安装孔为盲孔，所述安装孔与所述流道连通；所述机械臂还具有位于所述机械臂的内部且环绕所述安装孔的凹槽，所述凹槽与所述流道连通；

吸盘，所述吸盘部分穿设于所述安装孔，所述吸盘具有进气通道；所述吸盘包括相连的安装部及吸嘴部，所述吸嘴部环绕所述安装部的外周设置且与所述安装部弯折相连，所述安装部设置于所述安装孔内，所述安装部具有外周侧壁、所述进气通道及相对设置的第一穿设孔及第二穿设孔，所述进气通道贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，所述第一穿设孔及所述第二穿设孔分别贯穿所述安装部的外周侧壁且分别连通所述进气通道；所述进气通道包括第一进气子通道及第二进气子通道，第一进气子通道的一端连通所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第一穿设孔，第二进气子通道的一端连通所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第二穿设孔，所述安装部还具有位于所述安装部面向所述吸嘴部的表面的沉槽，所述沉槽位于所述第一进气子通道与所述第二进气子通道之间，所述第一进气子通道通过所述第一穿设孔连通所述凹槽后连通所述流道，所述第二进气子通道通过所述第二穿设孔连通所述凹槽后连通所述流道；以及

弹性件，所述弹性件分别穿设于所述吸盘且所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以将所述吸盘安装于所述机械臂；所述弹性件分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，且所述弹性件的相对两端均凸出于所述安装部的外周侧壁；所述弹性件包括依次弯折相连的第一卡接部、连接部及第二卡接部，所述第一卡接部与所述第二卡接部分别朝向所述连接部的同一侧弯折，所述连接部的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别至少部分位于所述安装部的相对两侧，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别设置于所述凹槽，以将所述吸盘安装于所述机械臂；所述连接部包括依次弯折相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部与所述第二连接子部分别位于所述抵持子部的同一侧；所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第一卡接部与所述抵持子部分别位于所述第一连接子部的相背两侧，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部，所述第二卡接部与所述抵持子部分别位于所述第二连接子部的相背两侧；所述第一连接子部穿设于所述第一进气子通道及所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述沉槽，所述第二连接子部穿设于所述第二进气子通道及所述第二穿设孔。

4.根据权利要求3所述的机械臂装置，其特征在于，所述第一进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面，所述第二进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面。

5.根据权利要求3所述的机械臂装置，其特征在于，所述抵持子部包括依次相连的第一配合段、连接段及第二配合段，沿垂直于所述第一配合段、所述连接段及所述第二配合段的排布方向上，所述第一配合段的相对两端分别凸出于所述连接段，所述第二配合段的相对两端分别凸出于所述连接段，所述连接段分别连接所述第一连接子部及所述第二连接子部，所述第一配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部的同一侧，所述第二配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部背离所述第一配合段的另一侧；

所述沉槽包括依次相连的第一子槽、第二子槽及第三子槽，沿垂直于所述第一子槽、第二子槽及第三子槽的排布方向上，所述第二子槽的尺寸小于所述第一子槽的尺寸且所述第二子槽的尺寸小于所述第三子槽的尺寸；第一配合段位于所述第一子槽，连接段位于所述第二子槽，第二配合段位于所述第三子槽。

6.根据权利要求3所述的机械臂装置，其特征在于，所述第一连接子部具有第一夹取孔，所述第一夹取孔贯穿所述第一连接子部相背的两个表面；所述第二连接子部具有第二夹取孔，所述第二夹取孔贯穿所述第二连接子部相背的两个表面；所述第一夹取孔及所述第二夹取孔配合用于对所述弹性件进行夹取。

7.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括：

物料盒，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；

权利要求1或2所述的机械臂装置，或权利要求3至6任一项所述的机械臂装置，所述机械臂装置用于取放待检测样品；以及

检测平台，用于放置并检测所述待检测样品。