CN113977564A - 一种硅片拾取装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种硅片拾取装置，主要包括第一丝杠机构，所述第一丝杠机构上安装有第一驱动架和第二驱动架，所述第一丝杠机构用于驱动第一驱动架和第二驱动架沿X方向相互靠拢或相互远离，还包括两个吸盘快插机构，分别为第一吸盘快插机构和第二吸盘快插机构，所述第一驱动架上设置有第一吸盘快插机构，所述第二驱动架上设置有第二吸盘快插机构，本申请的上述装置使用丝杠机构以及相应的架体来对吸盘进行支撑和移动，使得吸盘移动过程比较平稳。且本申请使用吸盘快插机构，使得吸盘的更换快捷方便。

Description

一种硅片拾取装置
技术领域
本发明涉及硅片制造领域，特别是涉及硅片拾取装置。
背景技术
硅片在生产工序中，需要对硅片进行转移。传统的用于对硅片进行转移的装置为吸盘装置。该装置一般包括多个吸盘以及用于固定和移动吸盘的驱动组件。传统的用于安装和驱动吸盘移动的组件较为复杂且运行不够平稳，在移动硅片过程中，硅片有时会发生晃动。
发明内容
基于此，提供一种硅片拾取装置。该装置在对硅片进行转移过程中比较平稳，硅片不会发生不必要的晃动。
一种硅片拾取装置，包括第一丝杠机构，所述第一丝杠机构上安装有第一驱动架和第二驱动架，所述第一丝杠机构用于驱动第一驱动架和第二驱动架沿X方向相互靠拢或相互远离，
还包括两个吸盘快插机构，分别为第一吸盘快插机构和第二吸盘快插机构，
所述第一驱动架上设置有第一吸盘快插机构，所述第二驱动架上设置有第二吸盘快插机构，
所述吸盘快插机构包括支撑块、两个条形的限位块、密封圈以及多个吸盘，
所述支撑块上设置有多个贯通的插孔，所述吸盘的一端插入所述插孔中，所述吸盘的两侧分别设置有定位槽，
所述支撑块的两侧分别设置有条形的收容槽，所述定位槽与所述收容槽连通，所述收容槽内设置有一个限位块，所述限位块的一部分插入对应的吸盘的定位槽内，所述限位块与所述支撑块可拆卸连接，
所述吸盘插入插孔的一端设置有端部气孔，所述支撑块的端面设置有所述密封圈，各个吸盘的端部气孔都位于所述密封圈的内侧。
本申请的上述装置使用丝杠机构以及相应的架体来对吸盘进行支撑和移动，使得吸盘移动过程比较平稳。且本申请使用吸盘快插机构，使得吸盘的更换快捷方便。
在其中一个实施例中，第一驱动架上设置有第二丝杠机构，所述第一吸盘快插机构设置在支撑架上，所述支撑架与所述第二丝杠机构相连，所述第二丝杠机构用于促使第一吸盘快插机构设沿Y方向移动，所述Y方向与所述X方向垂直。
在其中一个实施例中，所述第二丝杠机构包括第二丝杠组件以及第二导轨组件，所述支撑架分别与第二丝杠组件和第二导轨组件相连。
在其中一个实施例中，所述第一丝杠机构包括第一丝杠组件和第一导轨组件，所述第一驱动架分别与第一丝杠组件和第一导轨组件相连，所述第二驱动架分别与第一丝杠组件和第一导轨组件相连。
在其中一个实施例中，所述吸盘快插机构上的吸盘包括基板以及与基板相连的封板，所述基板与封板之间的空间设置有气道，所述基板上与封板相对的一面设置有多个吸附孔，所述气道分别与多个吸附孔以及端部气孔连通，
第一吸盘快插机构的各个吸盘的封板朝向第一方向，第二吸盘快插机构的各个吸盘的封板朝向第二方向，第一方向与第二方向为相反的两个方向。
在其中一个实施例中，所述吸盘包括主体部以及两个向外伸出的分支部，两个分支部之间形成拼接槽，所述第一吸盘快插机构的吸盘的拼接槽用于收容第二吸盘快插机构的吸盘的其中一个分支部，所述第二吸盘快插机构的吸盘的拼接槽用于收容第一吸盘快插机构的吸盘的其中一个分支部。
在其中一个实施例中，还包括位置传感器，所述位置传感器用于检测第二驱动架的位置。
在其中一个实施例中，所述第二驱动架上设置有多个平衡度调节件。
附图说明
图1为本申请的实施例的硅片拾取装置的示意图。
图2为本申请的实施例的第二驱动架由上架体和下架体组成的示意图。
图3为本申请的实施例的支撑块与限位块相连的示意图。
图4为本申请的实施例的支撑块上的收容槽与插孔的设置方式的示意图。
图5为本申请的实施例的吸盘上设置的吸附孔的示意图。
图6为本申请的实施例的吸盘上的封板的示意图。
图7为本申请的实施例的吸盘由限位块限位的示意图。
图8为本申请的实施例的第一吸盘快插机构的吸盘与第二吸盘快插机构的吸盘相互配合的示意图。
其中：
10、第一吸盘快插机构 20、第二吸盘快插机构
30、第一驱动架 40、第二驱动架 41、上架体 42、下架体
50、第一丝杠机构 51、第一丝杠组件 52、第一导轨组件
60、第二丝杠机构 61、第二丝杠组件 62、第二导轨组件
70、支撑架 100、支撑块
110、插孔 120、收容槽 130、顶丝孔
200、密封圈 300、限位块 310、螺栓孔
400、吸盘 410、端部气孔 420、定位槽
430、主体部 440、分支部 450、吸附孔 460、封板
470、基板 500、封盖 600、抽气接头
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
如图1和图2所示，本申请的实施例提供了一种硅片拾取装置。该硅片拾取装置包括第一丝杠机构50，所述第一丝杠机构50上安装有第一驱动架30和第二驱动架40，所述第一丝杠机构50用于驱动第一驱动架30和第二驱动架40沿X方向相互靠拢或相互远离。
还包括两个吸盘快插机构，分别为第一吸盘快插机构10和第二吸盘快插机构20。
所述第一驱动架30上设置有第一吸盘快插机构10，所述第二驱动架40上设置有第二吸盘快插机构20。
本申请的上述装置在使用时，通过第一丝杠机构50可驱动第一驱动架30和第二驱动架40沿X方向相互靠拢或相互远离。由于第一驱动架30上安装有第一吸盘快插机构10，第二驱动架40上安装有第二吸盘快插机构20，所以，在第一驱动架30和第二驱动架40移动过程中，也会带动第一吸盘快插机构10和第二吸盘快插机构20进行移动。也就是使第一吸盘快插机构10和第二吸盘快插机构20相互靠拢或相互远离。
进一步的是，本申请使用了吸盘快插机构。如图3至图5所示，该吸盘快插机构包括：支撑块100、两个条形的限位块300、密封圈200以及多个吸盘400。
所述支撑块100上设置有多个贯通的插孔110。插孔110的数量可根据实际需求进行设定。各个插孔110可在支撑块100上阵列设置。
所述吸盘400的一端插入所述插孔110中，所述吸盘400的两侧分别设置有定位槽420，所述支撑块100的两侧分别设置有条形的收容槽120，所述定位槽420与所述收容槽120连通。在设置时，可将插孔110的一部分与收容槽120连通，这样就可使吸盘400插入插孔110后，吸盘400上的定位槽420与收容槽120连通。
所述收容槽120内设置有一个限位块300，所述限位块300的一部分插入对应的吸盘400的定位槽420内。
上述这样设置，可对吸盘400进行竖直方向的限位，以阻止吸盘400在竖直方向移动。所述限位块300与所述支撑块100可拆卸连接。
具体的，限位块300与支撑块100之间的可拆卸连接方式有多种。
例如，所述限位块300的两端分别设置有螺栓孔310，螺栓孔310内设置螺栓，所述螺栓与所述支撑块100螺纹连接。
所述吸盘400插入插孔110的一端设置有端部气孔410，所述支撑块100的端面设置有所述密封圈200，各个吸盘400的端部气孔410都位于所述密封圈200的内侧。
在使用时，当需要插入吸盘400时，先将限位块300从支撑块100上拆卸下来，然后将多个吸盘400依次插入到支撑块100上的各个插孔110中。
接着将限位块300插入支撑块100的收容槽120内。使得限位块300可对各个吸盘400进行限位。然后将限位块300与支撑块100相连。
当需要将吸盘400拆卸下来时，可先将限位块300从支撑块100的收容槽120内拆卸下来。
然后将需要拆卸的吸盘400依次从插孔110中拔出。接着将限位块300插入支撑块100的收容槽120内，使得限位块300可对支撑块100上剩下的各个吸盘400进行限位。然后将限位块300与支撑块100相连。
本申请的上述吸盘快插机构适合对多种产品进行吸附。例如，硅片等。本申请的吸盘所用材料可以为陶瓷等。
在其中一个实施例中，所述支撑块100上位于收容槽120的两侧分别设置有多个顶丝孔130，所述顶丝孔130内设置有顶丝，所述顶丝用于对吸盘400施加横向顶紧力。
使用时，吸盘400在被限位块300限位后，可旋转顶丝，使顶丝对吸盘400施加横向顶紧力。
由于顶丝可对吸盘400施加一个顶紧力，这样可使吸盘400的固定更加牢靠。有利于吸盘400稳定的工作。
可以理解，在拆卸吸盘400时，可先旋转顶丝，使顶丝与吸盘400分离。然后对吸盘400进行拆卸即可。
在其中一个实施例中，所述支撑块100设置有密封圈200的一端设置有封盖500，所述封盖500上设置有抽气接头600。
上述抽气接头600可与相应的抽真空系统相连。这样设置，吸盘400内的气体可借由顶部的端部气孔410进入封盖500，进而由抽气接头600排出。从而使得吸盘400产生负压，可对产品进行吸附。
在其中一个实施例中，所述吸盘400包括基板以及与基板相连的封板460，所述基板与封板460之间的空间设置有气道。所述基板上与封板460相对的一面设置有多个吸附孔450，所述气道分别与多个吸附孔450以及端部气孔410连通。
由于吸附孔450处产生负压，所以通过吸附孔450可对产品进行吸附。由于设置多个吸附孔450，可对产品上的多点位置进行吸附，对产品吸附十分牢靠。
在其中一个实施例中，第一吸盘快插机构10的各个吸盘的封板460朝向第一方向，第二吸盘快插机构20的各个吸盘400的封板460朝向第二方向，第一方向与第二方向为相反的两个方向。
这样设置，在对产品进行吸附时，产品的一个面由第一吸盘快插机构10吸附，产品的另一个面由第二吸盘快插机构20的吸附。
在其中一个实施例中，所述吸盘400包括主体部430以及两个向外伸出的分支部440，两个分支部440之间形成拼接槽。
具体的，由于吸盘400包括分支部440和主体部430，所述分支部440和主体部430上都可设置吸附孔450。
上述设置方式，有利于使两个吸盘400拼装使用，可将两个吸盘400拼接在一起使用。这样可对大型的产品进行吸附。
具体的，拼接时，一个吸盘400的拼接槽用于收容另一个吸盘400的其中一个分支部440。
在其中一个实施例中，如图8所示，所述第一吸盘快插机构10的吸盘400的拼接槽用于收容第二吸盘快插机构20的吸盘400的其中一个分支部440。所述第二吸盘快插机构20的吸盘400的拼接槽用于收容第一吸盘快插机构10的吸盘400的其中一个分支部440。
在其中一个实施例中，第一驱动架30上设置有第二丝杠机构60，所述第一吸盘快插机构10设置在支撑架70上，所述支撑架70与所述第二丝杠机构60相连，所述第二丝杠机构60用于促使第一吸盘快插机构10设沿Y方向移动，所述Y方向与所述X方向垂直。
这样设置，通过第二丝杠机构60可促使支撑架70沿Y方向移动，支撑架70可带动第一吸盘快插机构10沿Y方向移动。这样就可使第一吸盘快插机构10在X方向和Y方向进行位置调整。
在其中一个实施例中，所述第二丝杠机构60包括第二丝杠组件61以及第二导轨组件62，所述支撑架70分别与第二丝杠组件61和第二导轨组件62相连。
上述支撑架70在第二丝杠组件61驱动下沿第二导轨组件62移动。这样可使支撑架70移动更加平稳。
在其中一个实施例中，所述第一丝杠机构50包括第一丝杠组件51和第一导轨组件52，所述第一驱动架30分别与第一丝杠组件51和第一导轨组件52相连，所述第二驱动架40分别与第一丝杠组件51和第一导轨组件52相连。
这样设置，第一驱动架30和第二驱动架40在第一丝杠组件51驱动下，可分别沿第一导轨组件52移动。
在其中一个实施例中，还包括位置传感器，所述位置传感器用于检测第二驱动架40的位置。
具体的，位置传感器可设置在第一丝杠机构50对应的架体的一侧。这样就可以通过位置传感器检测到第二驱动架40的位置。
在其中一个实施例中，所述第二驱动架40上设置有多个平衡度调节件。具体的，第二驱动架40可包括上架体41和下架体42，上架体41用于与第一丝杠机构50相连，下架体42用于与第二吸盘快插机构20相连。上架体41和下架体42之间设置上述平衡度调节件。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种硅片拾取装置，其特征在于，
包括第一丝杠机构，所述第一丝杠机构上安装有第一驱动架和第二驱动架，所述第一丝杠机构用于驱动第一驱动架和第二驱动架沿X方向相互靠拢或相互远离，
还包括两个吸盘快插机构，分别为第一吸盘快插机构和第二吸盘快插机构，
所述第一驱动架上设置有第一吸盘快插机构，所述第二驱动架上设置有第二吸盘快插机构，
所述吸盘快插机构包括支撑块、两个条形的限位块、密封圈以及多个吸盘，
所述支撑块上设置有多个贯通的插孔，所述吸盘的一端插入所述插孔中，所述吸盘的两侧分别设置有定位槽，
所述支撑块的两侧分别设置有条形的收容槽，所述定位槽与所述收容槽连通，所述收容槽内设置有一个限位块，所述限位块的一部分插入对应的吸盘的定位槽内，所述限位块与所述支撑块可拆卸连接，
所述吸盘插入插孔的一端设置有端部气孔，所述支撑块的端面设置有所述密封圈，各个吸盘的端部气孔都位于所述密封圈的内侧。
2.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，第一驱动架上设置有第二丝杠机构，所述第一吸盘快插机构设置在支撑架上，所述支撑架与所述第二丝杠机构相连，所述第二丝杠机构用于促使第一吸盘快插机构设沿Y方向移动，所述Y方向与所述X方向垂直。
3.根据权利要求2所述的硅片拾取装置，其特征在于，所述第二丝杠机构包括第二丝杠组件以及第二导轨组件，所述支撑架分别与第二丝杠组件和第二导轨组件相连。
4.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，所述第一丝杠机构包括第一丝杠组件和第一导轨组件，所述第一驱动架分别与第一丝杠组件和第一导轨组件相连，所述第二驱动架分别与第一丝杠组件和第一导轨组件相连。
5.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，其特征在于，所述吸盘快插机构上的吸盘包括基板以及与基板相连的封板，所述基板与封板之间的空间设置有气道，所述基板上与封板相对的一面设置有多个吸附孔，所述气道分别与多个吸附孔以及端部气孔连通，
第一吸盘快插机构的各个吸盘的封板朝向第一方向，第二吸盘快插机构的各个吸盘的封板朝向第二方向，第一方向与第二方向为相反的两个方向。
6.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，所述吸盘包括主体部以及两个向外伸出的分支部，两个分支部之间形成拼接槽，所述第一吸盘快插机构的吸盘的拼接槽用于收容第二吸盘快插机构的吸盘的其中一个分支部，所述第二吸盘快插机构的吸盘的拼接槽用于收容第一吸盘快插机构的吸盘的其中一个分支部。
7.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，还包括位置传感器，所述位置传感器用于检测第二驱动架的位置。
8.根据权利要求1所述的硅片拾取装置，其特征在于，所述第二驱动架上设置有多个平衡度调节件。
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