CN117706340B - 叉臂组件及晶圆探针台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种叉臂组件及晶圆探针台。叉臂组件包括：叉臂及吸盘，叉臂具有凹槽及第一流道，叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，凹槽贯穿第一表面，凹槽包括连通且沿第一表面及第二表面的排布方向上排布的第一子槽及第二子槽，第一子槽贯穿第一表面且其径向尺寸小于第二子槽的径向尺寸，第二子槽连通第一流道；吸盘包括依相连的卡持部、连接部及吸嘴，卡持部的径向尺寸大于连接部的径向尺寸，卡持部位于第二子槽内，连接部位于第一子槽内，吸嘴环绕连接部的外周且位于第一表面侧，吸盘还具有第二流道，第二流道贯穿连接部背离卡持部的表面且贯穿卡持部的外周侧壁，第二流道与第一流道连通。所述吸盘稳固设置于所述叉臂。

Description

叉臂组件及晶圆探针台

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种叉臂组件及晶圆探针台。

背景技术

在晶圆探针台中，通过叉臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的叉臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于叉臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从叉臂上脱落，吸盘设置于叉臂的结构稳定性较差。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种叉臂组件及晶圆探针台，所述叉臂组件中的吸盘稳固设置于所述叉臂。

本申请提供了一种叉臂组件，所述叉臂组件包括：叉臂以及吸盘，所述叉臂具有凹槽及第一流道，所述叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，所述凹槽贯穿所述第一表面，所述凹槽包括连通的第一子槽及第二子槽，所述第一子槽及第二子槽沿所述第一表面及所述第二表面的排布方向上排布，所述第一子槽贯穿所述第一表面，所述第一子槽的径向尺寸小于所述第二子槽的径向尺寸，所述第二子槽连通所述第一流道；所述吸盘包括依次相连的卡持部、连接部及吸嘴，所述卡持部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸，所述卡持部位于所述第二子槽内，所述连接部位于所述第一子槽内，所述吸嘴环绕所述连接部的外周设置且位于所述叉臂的所述第一表面侧，所述吸盘还具有第二流道，所述第二流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部的外周侧壁，所述第二流道与所述第一流道连通。

进一步地，所述卡持部的径向尺寸为D1，所述连接部的径向尺寸为D2，则满足关系式：0.5mm≤D1-D2≤2mm。

进一步地，所述连接部的径向尺寸为D2，所述第一子槽的径向尺寸D3，则满足关系式：0＜D2-D3≤1mm。

进一步地，所述第二流道包括弯折相连且连通的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述第一子流道的径向尺寸为D4，所述连接部的径向尺寸为D2，则满足关系式：0＜D4/D2≤0.6。

进一步地，所述吸盘还包括抵持部，所述抵持部设置于所述卡持部背离所述连接部的一侧，所述抵持部的径向尺寸小于所述卡持部的径向尺寸；所述凹槽还具有第三子槽，所述第三子槽位于所述第二子槽背离所述第一子槽的一侧，且连通所述第二子槽，所述第三子槽用于设置所述抵持部，所述抵持部的外周侧壁抵持所述第三子槽的内壁。

进一步地，所述第二流道包括弯折相连的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部背离所述连接部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述叉臂组件还包括支撑件，所述支撑件设置于所述第一子流道且抵持所述第一子流道的内壁，所述支撑件具有第三流道，所述第三流道分别连通所述吸嘴围合的腔室及所述第一流道。

进一步地，由所述第一表面指向所述第二表面的方向上，所述第一子流道的径向尺寸先逐渐增大，再逐渐减小。

进一步地，所述第三流道包括弯折相连的第三子流道及第四子流道，所述第三子流道贯穿分别贯穿所述支撑件面向所述第一表面的表面及面向所述第二表面的表面，所述第四子流道分别贯穿所述支撑件面向所述第二表面的表面及所述支撑件的周侧壁。

进一步地，每个所述第三流道分别贯穿所述支撑件面向所述第一表面的表面、面向所述第二表面的表面以及所述支撑件的外周侧壁。

本申请还提供了一种晶圆探针台，所述晶圆探针台包括：物料盒、本申请提供的叉臂组件以及检测平台，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；所述叉臂组件用于取放待检测样品；所述检测平台用于放置并检测所述待检测样品。

在本申请中，所述叉臂组件应用于晶圆探针台且所述叉臂用于取放待检测样品，所述叉臂具有相互连通的凹槽及第一流道，且所述卡持部位于所述第二子槽，所述连接部位于所述第一子槽，所述吸盘的第二流道与所述第一流道连通，当对所述第一流道进行抽真空时，可实现对所述吸盘进行抽真空，以使得吸盘内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品的搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向第一流道内通入气体，气体将进入到吸盘的内部，从而使得吸盘停止对所述待检测样品的吸附。在本申请提供的叉臂组件的装配过程中，先将所述吸盘的所述卡持部自所述第一子槽进入到第二子槽并穿设进所述第二子槽，同时实现将所述连接部设置于所述第一子槽，以使得所述吸嘴环绕所述连接部的外周设置且位于所述叉臂的第一表面侧，通过将所述卡持部卡持于所述第二子槽内，实现了将所述吸盘固定安装于所述叉臂，相较于直接将吸盘通过胶粘的方式安装于叉臂的方案，本申请的吸盘通过所述卡持部卡持于所述吸盘，提升了所述吸盘设置于所述叉臂的结构稳定性，从而避免所述吸盘从所述叉臂上脱落。所述卡持部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸，则所述卡持部凸出于所述连接部的周侧面设置，则当所述卡持部位于所述第二子槽且所述连接部位于所述第一子槽时，所述卡持部卡持于所述第二子槽，可避免所述连接部往朝向靠近所述吸嘴的方向脱落，从而将所述吸盘稳固设置于所述叉臂。此外，本申请的吸盘具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，以保证所述吸盘与所述第一流道之间的气路的畅通性，继而有利于提升通过所述第一流道对所述吸盘进行抽真空的效率。进一步地，所述凹槽没有贯穿所述第二表面，且所述卡持部卡设于所述第二子槽，所述连接部位于所述第一子槽内，实现了所述吸盘与所述叉臂之间有较好的密封性能。再者，沿所述第一表面及所述第二表面的排布方向上，所述吸盘的高度可减薄，有利于实现所述叉臂组件的请保护啊设计。当所述叉臂组件用于向物料盒取放待检测样品时，所述叉臂可伸入相邻的两个卡槽之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述叉臂组件具有较好的使用性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例的叉臂的结构示意图；

图2为图1中A-A方向的部分剖视图一；

图3为本申请一实施例的叉臂组件的结构示意图；

图4为图3中B-B方向的部分剖视图一；

图5为本申请第一实施例的吸盘的结构示意图；

图6为本申请第一实施例的吸盘的俯视图；

图7为图6中C-C方向的剖视图；

图8为图1中A-A方向的部分剖视图二；

图9为图3中B-B方向的部分剖视图二；

图10为本申请第二实施例的吸盘的结构示意图；

图11为本申请第二实施例的吸盘的俯视图；

图12为图11中D-D方向的剖视图；

图13为图3中B-B方向的部分剖视图三；

图14为本申请第三实施例的吸盘的结构示意图；

图15为本申请第三实施例的吸盘的俯视图；

图16为图15中E-E方向的剖视图；

图17为本申请第一实施例的支撑件的结构示意图；

图18为本申请第一实施例的支撑件的俯视图；

图19为图18中F-F方向的剖视图；

图20为本申请第二实施例的支撑件的结构示意图；

图21为本申请第二实施例的支撑件的俯视图；

图22为图21中G-G方向的剖视图；

图23为本申请第四实施例的吸盘的结构示意图一；

图24为本申请第四实施例的吸盘的结构示意图二；

图25为本申请第四实施例的吸盘的俯视图；

图26为图25中H-H方向的剖视图；

图27为本申请第三实施例的支撑件的结构示意图；

图28为本申请一实施例的晶圆探针台的结构示意图；

图29为本申请一实施例的物料盒的结构示意图。

附图标记说明：

100-叉臂组件，110-叉臂，111-凹槽，1111-第一子槽，1112-第二子槽，1113-第三子槽，112-第一流道，113-第一表面，114-第二表面，120-吸盘，121-卡持部，122-连接部，123-吸嘴，124-第二流道，1241-第一子流道，1242-第二子流道，125-抵持部，130-支撑件，131-第三流道，1311-第三子流道，1312-第四子流道，200-晶圆探针台，210-物料盒，211-卡槽，220-检测平台。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在晶圆探针台中，通过叉臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的叉臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于叉臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从叉臂上脱落，吸盘设置于叉臂的结构稳定性较差。此外，当粘胶老化时，吸盘与叉臂之间的密封性能变差，从而使得难以对吸盘进行抽真空，降低了叉臂对晶圆进行吸附的效率。

请参见图1至图4，本申请实施例提供了一种叉臂组件100，所述叉臂组件100包括：叉臂110以及吸盘120，所述叉臂110具有凹槽111及第一流道112，所述叉臂110还具有相背设置的第一表面113及第二表面114，所述凹槽111贯穿所述第一表面113，所述凹槽111包括连通的第一子槽1111及第二子槽1112，所述第一子槽1111及第二子槽1112沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上排布，所述第一子槽1111贯穿所述第一表面113，所述第一子槽1111的径向尺寸小于所述第二子槽1112的径向尺寸，所述第二子槽1112连通所述第一流道112；所述吸盘120包括依次相连的卡持部121、连接部122及吸嘴123，所述卡持部121的径向尺寸大于所述连接部122的径向尺寸，所述卡持部121位于所述第二子槽1112内，所述连接部122位于所述第一子槽1111内，所述吸嘴123环绕所述连接部122的外周设置且位于所述叉臂110的所述第一表面113侧，所述吸盘120还具有第二流道124，所述第二流道124贯穿所述连接部122背离所述卡持部121的表面且贯穿所述卡持部121的外周侧壁，所述第二流道124与所述第一流道112连通。

可以理解地，所述凹槽111贯穿所述第一表面113，可以为，所述凹槽111为盲孔，所述凹槽111没有贯穿所述第二表面114。

可以理解地，所述第一子槽1111贯穿所述第一表面113，且所述第一子槽1111连通所述第二子槽1112，则所述第一子槽1111为贯穿孔，所述第一子槽1111的相背两侧分别连通所述第二子槽1112及所述第一表面113侧的空间，所述第一子槽1111相较于所述第二子槽1112更靠近所述第一表面113。

可以理解地，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述吸嘴123、所述连接部122及所述卡持部121依次排布。

可以理解地，所述第二子槽1112与所述第一流道112连通。

可以理解地，所述第二流道124贯穿所述连接部122背离所述卡持部121的表面及面向所述卡持部121的表面，所述第二流道还贯穿所述卡持部121背离所述连接部122的表面及面向所述连接部122的表面。

可以理解地，所述第二子槽1112为盲孔。

在本实施例中，所述叉臂组件100应用于晶圆探针台200且所述叉臂110用于取放待检测样品，所述叉臂110具有相互连通的凹槽111及第一流道112，且所述卡持部121位于所述第二子槽1112，所述连接部122位于所述第一子槽1111，所述吸盘120的第二流道124与所述第一流道112连通，当对所述第一流道112进行抽真空时，可实现对所述吸盘120进行抽真空，以使得吸盘120内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品的搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向第一流道112内通入气体，气体将进入到吸盘120的内部，从而使得吸盘120停止对所述待检测样品的吸附。在本实施例提供的叉臂组件100的装配过程中，先将所述吸盘120的所述卡持部121自所述第一子槽1111进入到第二子槽1112并穿设进所述第二子槽1112，同时实现将所述连接部122设置于所述第一子槽1111，以使得所述吸嘴123环绕所述连接部122的外周设置且位于所述叉臂110的第一表面113侧，通过将所述卡持部121卡持于所述第二子槽1112内，实现了将所述吸盘120固定安装于所述叉臂110，相较于直接将吸盘120通过胶粘的方式安装于叉臂110的方案，本申请实施例的吸盘120通过所述卡持部121卡持于所述吸盘120，提升了所述吸盘120设置于所述叉臂110的结构稳定性，从而避免所述吸盘120从所述叉臂110上脱落。所述卡持部121的径向尺寸大于所述连接部122的径向尺寸，则所述卡持部121凸出于所述连接部122的周侧面设置，则当所述卡持部121位于所述第二子槽1112且所述连接部122位于所述第一子槽1111时，所述卡持部121卡持于所述第二子槽1112，可避免所述连接部122往朝向靠近所述吸嘴123的方向脱落，从而将所述吸盘120稳固设置于所述叉臂110。此外，本实施例的吸盘120具有第二流道124，所述第二流道124与所述第一流道112连通，以保证所述吸盘120与所述第一流道112之间的气路的畅通性，继而有利于提升通过所述第一流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率。进一步地，所述凹槽111没有贯穿所述第二表面114，且所述卡持部121卡设于所述第二子槽1112，所述连接部122位于所述第一子槽1111内，实现了所述吸盘120与所述叉臂110之间有较好的密封性能。再者，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述吸盘120的高度可减薄，有利于实现所述叉臂组件100的请保护啊设计。当所述叉臂组件100用于向物料盒210取放待检测样品时，所述叉臂110可伸入相邻的两个卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述叉臂组件100具有较好的使用性能。

可选地，所述凹槽111的数量为多个，多个所述凹槽111均连通所述第一流道112，所述吸盘120的数量为多个，每个所述吸盘120设置于一个所述凹槽111，不同的吸盘120对应不同的凹槽111设置。

在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个。

在本实施例中，所述凹槽111及所述吸盘120的数量为多个，使得当所述叉臂组件100应用于取放待检测样品时，通过流道与多个所述吸盘120的相互配合，以使得所述叉臂组件100对所述待检测样品具有较强的吸附作用，增强了所述待检测样品承载于所述叉臂110的结构稳定性，避免待检测样品在搬运过程中发生错位或移动，从而提升了所述叉臂组件100的使用性能。

可选地，在一些实施例中，所述叉臂110的原材料选自陶瓷、金属、塑料或玻璃等中的至少一种。所述叉臂110具有较好的结构强度。

可选地，在一些实施例中，所述吸盘120的原材料选自硅橡胶、丁腈橡胶、聚氨酯橡胶及氟橡胶等中的至少一种。所述吸盘120具有一定的弹性，使得当所述吸盘120穿设于所述凹槽111时，所述吸盘120能紧紧抵持所述凹槽111的内壁，从而使得所述吸盘120设置于所述叉臂110具有较高的结构稳定性。

请参见图5至图7，在一些实施例中，所述卡持部121的径向尺寸为D1，所述连接部122的径向尺寸为D2，则满足关系式：0.5mm≤D1-D2≤2mm。

具体地，D1-D2的值可以为但不限于为0.5mm、0.52mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.64mm、0.68mm、0.7mm、0.74mm、0.78mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.94mm、0.98mm、1mm、1.05mm、1.1mm、1.12mm、1.15mm、1.16mm、1.18mm、1.2mm、1.22mm、1.25mm、1.28mm、1.3mm、1.34mm、1.38mm、1.4mm、1.48mm、1.5mm、1.55mm、1.6mm、1.67mm、1.7mm、1.72mm、1.78mm、1.8mm、1.82mm、1.85mm、1.9mm、1.95mm及2mm等。

可以理解地，所述卡持部121的径向尺寸大于所述连接部122的径向尺寸，换言之，所述卡持部121凸出于所述连接部122的周侧面设置。

在本实施例中，所述卡持部121的径向尺寸大于所述连接部122的径向尺寸，则所述卡持部121凸出于所述连接部122的周侧面设置，则当所述卡持部121位于所述第二子槽1112且所述连接部122位于所述第一子槽1111时，所述卡持部121卡持于所述第二子槽1112，可避免所述连接部122往朝向靠近所述吸嘴123的方向脱落，从而将所述吸盘120稳固设置于所述叉臂110。当D1-D2的值满足范围0.5mm≤D1-D2≤2mm时，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的差值在合理的范围内，换言之，当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述卡持部121的径向尺寸也在合理的范围内。当所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述连接部122位于所述第一子槽1111且抵持所述第一子槽1111的内壁，所述卡持部121既能较好地卡持于所述第二子槽1112，以避免所述连接部122朝向靠近所述吸嘴123的方向脱落，且所述卡持部121的径向尺寸不至于过大而难以穿过所述第一子槽1111进入到所述第二子槽1112，所述吸盘120装配于所述叉臂110的效率较高。当D1-D2的值过大时，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的差值过大，换言之，当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述卡持部121的径向尺寸过大，使得当将所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述连接部122位于所述第一子槽1111且抵持所述第一子槽1111的内壁，所述卡持部121的径向尺寸过大使得所述卡持部121难以穿过所述第一子槽1111进入到所述第二子槽1112，提高了将所述吸盘120装配于所述叉臂110的难度，继而降低了将所述吸盘120装配于所述叉臂110的效率。当D1-D2的值过小时，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的差值过小，换言之，当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述卡持部121的径向尺寸过小，使得当将所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述连接部122位于所述第一子槽1111且抵持所述第一子槽1111的内壁时，所述卡持部121凸出于所述连接部122的周侧壁的程度过小，使得所述卡持部121容易从所述第二子槽1112脱落，继而增加了所述吸盘120从所述叉臂110脱落的风险，从而降低了所述吸盘120装配于所述叉臂110的结构稳定性。

优选地，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸满足关系式：0.8mm≤D1-D2≤1.5mm。具体地，D1-D2的值可以为但不限于为0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.94mm、0.98mm、1mm、1.05mm、1.1mm、1.12mm、1.15mm、1.16mm、1.18mm、1.2mm、1.22mm、1.25mm、1.28mm、1.3mm、1.34mm、1.38mm、1.4mm、1.48mm及1.5mm等。

当所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸满足范围0.8mm≤D1-D2≤1.5mm时，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的差值在优选的范围内。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110时，所述连接部122能较好地抵持所述第一子槽1111的内壁，所述卡持部121自所述第一子槽1111进入到所述第二子槽1112的难度较低，且所述卡持部121能较好地卡持于所述第二子槽1112，使得所述吸盘120能较稳定地装配于所述叉臂110，且所述吸盘120装配于所述叉臂110的难度较低。

可选地，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸满足关系式：1.1mm≤D1/D2≤1.3mm。具体地，D1/D2的值可以为但不限于为1.1mm、1.12mm、1.15mm、1.16mm、1.18mm、1.2mm、1.22mm、1.25mm、1.28mm及1.3mm等。

当所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸满足范围1.1mm≤D1/D2≤1.3mm时，所述卡持部121的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的差值在合理的范围内。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110时，所述连接部122能较好地抵持所述第一子槽1111的内壁，所述卡持部121自所述第一子槽1111进入到所述第二子槽1112的难度较低，且所述卡持部121能较好地卡持于所述第二子槽1112，使得所述吸盘120能较稳定地装配于所述叉臂110，且所述吸盘120装配于所述叉臂110的难度较低。

在一些实施例中，所述连接部122的径向尺寸为D2，所述第一子槽1111的径向尺寸D3，则满足关系式：0＜D2-D3≤1mm。具体地，D2-D3的值可以为但不限于为0.05mm、0.1mm、0.15mm、0.2mm、0.22mm、0.25mm、0.28mm、0.3mm、0.34mm、0.38mm、0.42mm、0.48mm、0.5mm、0.55mm、0.58mm、0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.72mm、0.78mm、0.8mm、0.84mm、0.88mm、0.9mm、0.95mm、0.98mm及1mm等。

可以理解地，所述连接部122的径向尺寸大于所述第一子槽1111的径向尺寸。

在本实施例中，所述连接部122的径向尺寸大于所述第一子槽1111的径向尺寸，则当所述吸盘120装配于所述叉臂110且所述连接部122设置于所述第一子槽1111时，所述连接部122的外周侧壁将抵持所述第一子槽1111的内壁，以避免所述吸盘120从所述第一子槽1111掉落，且能提升所述吸盘120装配于所述叉臂110的密封性能。当D2-D3的值满足范围0＜D2-D3≤1mm时，所述连接部122的径向尺寸与所述第一子槽1111的径向尺寸的差值在合理的范围内，换言之，当所述第一子槽1111的径向尺寸一定时，所述连接部122的径向尺寸在合理的范围内。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110时，所述连接部122的外周侧壁能紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，一方面可提升所述吸盘120装配于所述叉臂110的结构稳定性，另一方面可提升所述吸盘120装配于所述叉臂110的密封性能。此外，还可避免因所述连接部122的径向尺寸过大而增大将所述吸盘120装配于所述叉臂110的难度，有利于提升将所述吸盘120装配于所述叉臂110的效率。当D2-D3的值过大时，所述连接部122的径向尺寸与所述第一子槽1111的径向尺寸的差值过大，换言之，当所述第一子槽1111的径向尺寸一定时，所述连接部122的径向尺寸过大，则相应地，所述卡持部121的径向尺寸更大。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110时，所述卡持部121穿过所述第一子槽1111进入所述第二子槽1112的难度过大，且所述连接部122安装于所述第一子槽1111的难度更大，降低了将所述吸盘120装配于所述叉臂110的效率。

在一些实施例中，所述第二流道124包括弯折相连且连通的第一子流道1241及第二子流道1242，所述第一子流道1241贯穿所述连接部122背离所述卡持部121的表面，所述第二子流道1242贯穿所述卡持部121的外周侧壁；所述第一子流道1241的径向尺寸为D4，所述连接部122的径向尺寸为D2，则满足关系式：0＜D4/D2≤0.6。

具体地，D4/D2的值可以为但不限于为0.02、0.05、0.08、0.1、0.12、0.15、0.18、0.2、0.22、0.25、0.28、0.3、0.32、0.35、0.4、0.42、0.45、0.48、0.5、0.52、0.55、0.58及0.6等。

可以理解地，所述第一子流道1241还贯穿所述连接部122面向所述卡持部121的表面及所述卡持部121面向所述连接部122的表面，以实现所述第一子流道1241及所述第二子流道1242的连通。

可选地，在一些实施例中，所述第一子流道1241还贯穿所述卡持部121背离所述连接部122的表面。

可以理解地，所述第一子流道1241的相背两侧分别连通所述吸嘴123及所述第二子流道1242。

可以理解地，当所述吸盘120设置于所述叉臂110时，所述第二子流道1242的相背两侧分别连通所述第一子流道1241及所述第一流道112。

可以理解地，所述第一子流道1241的径向尺寸小于所述连接部122的径向尺寸。

在本实施例中，所述第一子流道1241及所述第二子流道1242弯折相连且相互连通，所述第一子流道1241贯穿所述连接部122背离所述卡持部121的表面，换言之，所述第一子流道1241背离所述第二子流道1242的一侧连通所述吸嘴123，所述第二子流道1242贯穿所述卡持部121的外周侧壁，以实现所述第二子流道1242与所述第二子槽1112、所述第一流道112依次连通，换言之，所述第一流道112、所述第二子槽1112、所述第二子流道1242、所述第一子流道1241及所述吸嘴123依次连通。当对所述第一流道112进行抽真空时，可实现对所述吸嘴123进行抽真空，继而实现所述吸嘴123内侧的气压小于外界气压，最终实现所述吸嘴123对待检测样品的吸附。在本实施例中，所述第一子流道1241位于所述连接部122的内侧，所述第一子流道1241的径向尺寸小于所述连接部122的径向尺寸，换言之，沿垂直于所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述连接部122只有部分被贯穿，所述第一子流道1241的径向尺寸越小，所述连接部122没有被贯穿的部分的占比越大，所述连接部122的壁厚越厚，则所述连接部122的结构强度越强。当D4/D2的值满足范围0＜D4/D2≤0.6时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值在合理的范围内，换言之，当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述第一子流道1241的径向尺寸在合理的范围内，所述连接部122的壁厚在合理的范围内。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述第一子流道1241占用所述连接部122的体积在合理的范围内，一方面可避免所述第一子流道1241过大而增大通过对所述第一流道112抽真空以实现对所述第一子流道1241进行抽真空的难度，使得对所述吸嘴123进行抽真空的效率较高；另一方面所述连接部122没有被贯穿的部分也在合理的范围内，即所述连接部122的壁厚在合理的范围内，使得所述连接部122具有较高的结构强度，所述连接部122可紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，使得所述吸盘120安装于所述叉臂110的结构稳定性及密封性较好。当D4/D2的值过大时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值过大，换言之，当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述第一子流道1241的径向尺寸过大，则所述连接部122的壁厚过薄。当将所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述第一子流道1241依次与所述第二子流道1242、所述第二子槽1112及所述第一流道112连通，所述第一子流道1241的径向尺寸过大，一方面，增大了通过对所述第一流道112抽真空以实现对所述第一子流道1241进行抽真空的难度，降低了通过对所述第一流道112抽真空以实现对所述第一子流道1241进行抽真空的效率；另一方面，沿垂直于所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第一子流道1241占用所述连接部122的体积过大，即所述连接部122被贯穿的部分过多，所述连接部122没有被贯穿的部分的占比过小，所述连接部122的壁厚过薄，使得所述连接部122的结构强度较弱，则当将所述连接部122安装与所述第一子槽1111时，所述连接部122难以紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，使得所述吸盘120安装于所述叉臂110的结构稳定性及密封性均较差。

优选地，D4/D2的值满足范围0.1≤D4/D2≤0.5。具体地，D4/D2的值可以为但不限于为0.1、0.12、0.15、0.18、0.2、0.22、0.25、0.28、0.3、0.32、0.35、0.4、0.42、0.45、0.48及0.5等。

在本实施例中，当D4/D2的值满足范围0.1≤D4/D2≤0.5时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸在优选的范围内，使得当将所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111时，所述第一子流道1241占用所述连接部122的体积在优选的范围内，一方面可避免所述第一子流道1241过大而增大通过对所述第一流道112抽真空以实现对所述第一子流道1241进行抽真空的难度，使得对所述吸嘴123进行抽真空的效率较高；另一方面所述连接部122没有被贯穿的部分也在合理的范围内，使得所述连接部122具有较高的结构强度，所述连接部122可紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，使得所述吸盘120安装于所述叉臂110的结构稳定性及密封性较好。

请参见图8至图12，在一些实施例中，所述吸盘120还包括抵持部125，所述抵持部125设置于所述卡持部121背离所述连接部122的一侧，所述抵持部125的径向尺寸小于所述卡持部121的径向尺寸；所述凹槽111还具有第三子槽1113，所述第三子槽1113位于所述第二子槽1112背离所述第一子槽1111的一侧，且连通所述第二子槽1112，所述第三子槽1113用于设置所述抵持部125，所述抵持部125的外周侧壁抵持所述第三子槽1113的内壁。

可以理解地，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第一子槽1111、所述第二子槽1112及所述第三子槽1113依次排布且连通，所述吸嘴123、所述连接部122、所述卡持部121及所述抵持部125依次设置。

在本实施例中，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述吸嘴123、所述连接部122、所述卡持部121及所述抵持部125依次设置，且所述吸嘴123设置于所述叉臂110的第一表面113侧，所述连接部122设置于所述第一子槽1111，所述卡持部121设置于所述第二子槽1112，所述抵持部125设置于所述第三子槽1113，所述抵持部125的径向尺寸小于所述卡持部121的径向尺寸，则所述第三子槽1113的径向尺寸小于所述第二子槽1112的径向尺寸。当所述抵持部125设置于所述第三子槽1113时，所述抵持部125抵持所述第三子槽1113的底壁，且所述抵持部125可对所述卡持部121的位置进行限位，以避免所述卡持部121在外界作用力下发生倾斜，所述抵持部125有利于加强所述吸盘120设置于所述叉臂110的结构稳定性。

可选地，在另一些实施例中，当所述吸盘120包括抵持部125时，所述第三子槽1113还可贯穿所述叉臂110背离所述吸嘴123的表面。在本实施例中，所述抵持部125封堵所述第二子槽1112背离所述第一子槽1111的一侧，以实现所述吸盘120设置于所述叉臂110的密封性。

请参见图13至图16，在一些实施例中，所述第二流道124包括弯折相连的第一子流道1241及第二子流道1242，所述第一子流道1241贯穿所述连接部122背离所述卡持部121的表面且贯穿所述卡持部121背离所述连接部122的表面，所述第二子流道1242贯穿所述卡持部121的外周侧壁；所述叉臂组件100还包括支撑件130，所述支撑件130设置于所述第一子流道1241且抵持所述第一子流道1241的内壁，所述支撑件130具有第三流道131，所述第三流道131分别连通所述吸嘴123围合的腔室及所述第一流道112。

可以理解地，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第一子流道1241贯穿所述连接部122相背的两个表面且贯穿所述卡持部121相背的两个表面。

在本实施例中，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第一子流道1241贯穿所述连接部122相背的两个表面且贯穿所述卡持部121相背的两个表面，所述第二子流道1242贯穿所述卡持部121的外周侧壁，以实现所述第一子流道1241及所述第二子流道1242的连通，继而实现所述吸盘120与所述第一流道112的连通。进一步地，所述叉臂组件100还包括支撑件130，在所述叉臂组件100的装配过程中，先将所述卡持部121卡持于所述第二子槽1112，同时将所述连接部122安装于所述第一子槽1111，所述吸嘴123设置于所述叉臂110的第一表面113侧，再将所述支撑件130设置于所述吸盘120的第一子流道1241内。当所述支撑件130设置于所述第一子流道1241且抵持所述第一子流道1241的内壁时，所述支撑件130挤压所述吸盘120，以使所述连接部122紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，一方面，所述支撑件130加强了所述吸盘120安装于所述叉臂110的结构稳定性，避免所述吸盘120从所述叉臂110上脱落；另一方面，所述支撑件130还加强了所述吸盘120安装于所述叉臂110的密封性能。进一步地，所述支撑件130的第三流道131分别连通所述吸嘴123围合成的腔室及所述第一流道112，当所述支撑件130设置于所述第一子流道1241时，所述第三流道131通过所述第二子流道1242、所述第二子槽1112实现与所述第一流道112的流通，继而保障了所述第一流道112与所述吸嘴123围合成的腔室之间的气路的畅通性，以实现通过对所述第一流道112抽真空，最终实现对所述吸嘴123围合成的腔室进行抽真空。

可选地，所述支撑件130的原料选自金属、硬质塑料、无机非金属或玻璃等中的至少一种。

可选地，在另一些实施例中，第一子流道1241的径向尺寸D4与连接部122的径向尺寸D2的比值满足关系式：0.5≤D4/D2≤0.9。具体地，D4/D2的值可以为但不限于为0.5、0.52、0.53、0.55、0.57、0.59、0.6、0.62、0.64、0.66、0.68、0.69、0.7、0.72、0.74、0.76、0.78、0.8、0.82、0.85、0.88、0.89及0.9等。

在本实施例中，所述第一子流道1241位于所述连接部122的内部，所述第一子流道1241的径向尺寸小于所述连接部122的径向尺寸，换言之，沿垂直于所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述连接部122只有部分被贯穿，所述第一子流道1241的径向尺寸越大，所述连接部122被贯穿的部分的占比越大，则所述连接部122的壁厚越薄；所述第一子流道1241的径向尺寸越小，所述连接部122被贯穿的部分的占比越小，则所述连接部122的壁厚越厚。在本实施例中，当D4/D2的值满足范围0.5≤D4/D2≤0.9时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值在合理的范围内，则当所述连接部122的径向尺寸一定时，所述第一子流道1241的径向尺寸也在合理的范围内，继而使得所述连接部122的壁厚也在合理的范围内。当所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111且所述支撑件130设置于所述吸盘120的第一子流道1241时，所述支撑件130抵持所述第一子流道1241的内壁并使所述连接部122挤压变形，所述连接部122的壁厚在合理的范围内，则所述连接部122的结构强度也在合理的范围内，使得所述连接部122可在所述支撑件130的支撑作用下紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，提升所述吸盘120设置于所述叉臂110的结构稳定性及密封性能，且能避免因所述第一子流道1241的径向尺寸过小而增大将所述支撑件130装配于所述第一子流道1241的难度。当D4/D2的值过大时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值过大，当所述连接部122的径向尺寸一定时 ，所述第一子流道1241的径向尺寸过大，则所述连接部122被贯穿的部分占比较大，使得所述连接部122的壁厚过薄，继而使得所述吸盘120的结构强度过弱。当所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111且所述支撑件130设置于所述吸盘120的第一子流道1241时，所述支撑件130抵持所述第一子流道1241的内壁并使所述吸盘120挤压变形，所述吸盘120的结构强度过弱，增大了所述吸盘120被挤压破的风险，继而缩短了所述叉臂组件100的使用寿命。当D4/D2的值过小时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值过小，当所述连接部122的径向尺寸一定时 ，所述第一子流道1241的径向尺寸过小，则所述连接部122被贯穿的部分占比过小，使得所述连接部122的壁厚过厚，增大了将所述支撑件130设置于所述第一子流道1241的难度，且所述支撑件130难以挤压所述连接部122并使所述连接部122发生变形，增大了将所述支撑件130装配于所述叉臂110的难度。

优选地，D4/D2满足范围0.6≤D4/D2≤0.8。具体地，D4/D2的值可以为但不限于为0.6、0.62、0.64、0.66、0.68、0.69、0.7、0.72、0.74、0.76、0.78及0.8等。

在本实施例中，当D4/D2满足范围0.6≤D4/D2≤0.8时，所述第一子流道1241的径向尺寸与所述连接部122的径向尺寸的比值在优选的范围内，使得当所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111且所述支撑件130设置于所述第一子流道1241时，所述连接部122的壁厚在优选的范围内。一方面，当所述支撑件130抵持所述第一子流道1241的内壁时，可挤压所述连接部122以使所述连接部122发生变形，使得所述连接部122紧紧抵持所述第一子槽1111的内壁，所述吸盘120装配于所述叉臂110具有较高的结构稳定性及较好的密封性能。另一方面，所述第一子流道1241的径向尺寸在合理的范围内，使得所述支撑件130装配于所述第一子流道1241的难度较低。

在一些实施例中，由所述第一表面113指向所述第二表面114的方向上，所述第一子流道1241的径向尺寸先逐渐增大，再逐渐减小。

在本实施例中，由所述第一表面113指向所述第二表面114的方向上，所述第一子流道1241的径向尺寸先逐渐增大，再逐渐减小，换言之，所述第一子流道1241靠近所述吸嘴123的端部及背离所述吸嘴123的端部的径向尺寸较小，所述第一子流道1241的中间位置的径向尺寸较大，再换言之，沿所述第一表面113指向所述第二表面114的方向上，所述第一子流道1241的形状呈圆弧形。当将所述支撑件130设置于所述第一子流道1241时，所述第一子流道1241靠近所述吸嘴123的端部及背离所述吸嘴123的端部的径向尺寸均较小，则所述第一子流道1241靠近所述吸嘴123的端部及背离所述吸嘴123的端部抵持所述支撑件130的程度更大，可避免所述支撑件130从所述第一子流道1241掉落而脱离所述吸盘120，从而提升所述支撑件130设置于所述吸盘120的结构稳定性，继而使得所述吸盘120更好地抵持所述第一子槽1111的内壁，进一步提升所述吸盘120设置于所述叉臂110的结构稳定性，避免所述吸盘120从所述叉臂110掉落。

请参见图17至图19，在一些实施例中，所述第三流道131包括弯折相连的第三子流道1311及第四子流道1312，所述第三子流道1311贯穿分别贯穿所述支撑件130面向所述第一表面113的表面及面向所述第二表面114的表面，所述第四子流道1312分别贯穿所述支撑件130面向所述第二表面114的表面及所述支撑件130的周侧壁。

可以理解地，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第三子流道1311贯穿所述支撑件130相背的两个表面。

在本实施例中，所述第四子流道1312分别贯穿所述支撑件130面向所述第二表面114的表面及所述支撑件130的周侧壁，以实现所述第四子流道1312与所述第三子流道1311的连通。当所述吸盘120装配于所述叉臂110的凹槽111且所述支撑件130设置于所述第一子流道1241时，所述第三子流道1311的相背两侧分别连通所述吸嘴123围合成的腔室及所述第四子流道1312，所述第四子流道1312背离所述第三子流道1311的一侧通过所述第二子流道1242、所述第二凹槽111实现与所述第一流道112连通，保障了所述第一流道112与所述吸嘴123围合成的腔室之间的气路的畅通性，以提升通过对所述第一流道112抽真空以实现对所述吸嘴123进行抽真空的效率。

可选地，在本实施例中，所述第三子流道1311的数量为一个，所述第四子流道1312的数量为多个，多个所述第四子流道1312间隔设置，且多个所述第四子流道1312均连通所述第三子流道1311。在本实施例中，多个所述第四子流道1312分别连通所述第三子流道1311，以实现所述第一流道112与所述吸嘴123围合成的腔室之间的气路的畅通性。所述支撑件130的第四子流道1312及所述第三子流道1311的设置方式简单，有利于降低所述支撑件130的加工成本。

请参见图13至图16，以及图20至图22，在一些实施例中，每个所述第三流道131分别贯穿所述支撑件130面向所述第一表面113的表面、面向所述第二表面114的表面以及所述支撑件130的外周侧壁。

可以理解地，沿所述第一表面113及所述第二表面114的排布方向上，所述第三流道131分别贯穿所述支撑件130相背的两个表面。

在本实施例中，所述第三流道131直接贯穿所述支撑件130面向所述第一表面113的表面、面向所述第二表面114的表面及支撑件130的外周侧壁，以实现所述支撑件130的相背两端分别与所述吸嘴123围合成的腔室、所述吸盘120的所述第二子流道1242流通，继而实现所述吸嘴123与所述第一流道112的流通。相较于第三流道131包括弯折相连的第三子流道1311及所述第四子流道1312的方案，本方案的第三流道131直接贯穿所述支撑件130，所述第三流道131为圆柱形，有利于气流通过，大大提高了通过对所述第一流道112抽真空以对所述吸嘴123进行抽真空效率。

可选地，在一些实施例中，所述第三流道131的数量为一个，每个所述第三流道131分别贯穿所述支撑件130面向所述第一表面113的表面、面向所述第二表面114的表面以及所述支撑件130的外周侧壁。

本实施例中，所述支撑件130设置有一个所述第三流道131，且所述第三流道131占用所述支撑件130的体积占比较小，有利于提升所述支撑件130的结构强度，继而使得所述支撑件130更好抵持所述吸盘120，以使所述吸盘120更好抵持所述叉臂110，提升所述吸盘120装配于所述叉臂110的结构稳定性。此外，有利于提升对所述第一流道112进行抽真空以实现对所述吸嘴123进行抽真空的效率。

在另一些实施例中，所述第三流道131的数量为多个，多个所述第三流道131环绕所述支撑件130的外周依次间隔设置，每个所述第三流道131分别贯穿所述支撑件130面向所述第一表面113的表面、面向所述第二表面114的表面以及所述支撑件130的外周侧壁。在本实施例中，多个所述第三流道131环绕所述支撑件130的外周间隔设置，使得当将所述支撑件130设置于所述吸盘120的第一子流道1241时，可提高将所述支撑件130的第三流道131及所述吸盘120的第二子流道1242对准的效率，继而提升将所述支撑件130装配于所述吸盘120的效率，最终提升所述叉臂组件100的组装效率。

可选地，在一些实施例中，所述支撑件130的横截面为圆形，所述第一子流道1241的横截面为圆形。

在本实施例中，所述支撑件130的横截面及所述第一子流道1241的横截面均为圆形，当将所述支撑件130卡设于所述吸盘120的第一子流道1241时，可提升所述支撑件130设置于所述第一子流道1241的结构稳定性。当将所述支撑件130装配于所述吸盘120的第一子流道1241时，可通过旋转支撑件130，以实现所述第三流道131与所述第二子流道1242的流通，继而实现所述吸嘴123围合成的腔室与所述第一流道112之间气路的畅通性。所述支撑件130的横截面为圆形，使得对所述支撑件130与所述吸盘120的相对位置的调整方式简单，有利于提升所述叉臂组件100的组装性能。

请参见图13，以及图23至图27，可选地，在另一些实施例中，所述支撑件130的横截面为类矩形，所述第一子流道1241的横截面为类矩形。

可以理解地，在本实施例中，“类矩形”指四个角为弧形倒角的矩形。

在本实施例中，所述支撑件130及所述第一子流道1241的横截面为类矩形，在将所述支撑件130装配于所述第一子流道1241时，所述支撑件130的四个角分别抵持所述第一子流道1241的四个角，一方面可提升所述支撑件130设置于所述第一子流道1241的结构稳定性，另一方面可对所述支撑件130与所述第一子流道1241的相对位置进行限定，以防止所述支撑件130与所述第一子流道1241发生相互扭转。进一步地，当所述第二子流道1242的数量为四个且四个所述第二子流道1242环绕所述支撑件130的外周间隔设置时，所述支撑件130无论从哪个方向穿设进所述吸盘120的所述第一子流道1241，都能实现所述第三流道131与所述第二子流道1242的流通，有利于提升将所述支撑件130装配于所述第一子流道1241的效率，继而提升所述叉臂组件100的组装效率。

请参见图28及图29，本申请实施例还提供了一种晶圆探针台200，所述晶圆探针台200包括：物料盒210、本申请提供的叉臂组件100以及检测平台220，所述物料盒210用于收容待检测样品，所述物料盒210具有沿预设方向（如图29中X方向所示）依次间隔排布的多个卡槽211，单个卡槽211用于收容单个待检测样品；所述叉臂组件100用于取放待检测样品；所述检测平台220用于放置并检测所述待检测样品。

可以理解地，所述叉臂组件100用于取放待检测样品，可以为，在一些实施例中，所述叉臂组件100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，在另一些实施例中，所述叉臂组件100用于向所述物料盒210中放置待检测样品。

在本实施例提供的晶圆探针台200中，所述物料盒210用于收容并存放待检测样品，当需对待检测样品进行检测时，所述叉臂组件100从所述物料盒210中取出待检测样品，并转移至检测平台220，以将待检测样品放置于检测平台220后进行检测。当对所述待检测样品检测完成后，所述叉臂组件100将检测完成后的待检测样品转运并放置于所述物料盒210。具体地，所述叉臂110伸入相邻的两个卡槽211之间，此时通过对所述第一流道112进行抽真空，以实现对所述吸嘴123进行抽真空，继而使得吸嘴123内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品进行吸附，所述叉臂110将所述待检测样品托起后转运至检测平台220。在本实施例中，所述吸盘120装配于叉臂组件100具有较好的结构稳定性和密封性能，一方面可防止所述吸盘120从所述叉臂110上掉落而影响所述叉臂组件100对所述待检测样品的吸附效果；另一方面可提升通过第一流道112对所述吸盘120进行抽真空的效率，继而提升所述叉臂组件100对所述待检测样品进行吸附并搬运的效率。再进一步地，所述吸盘120与所述叉臂110具有较好的密封性能，使得沿所述叉臂110的厚度方向上，所述吸嘴123的高度可减薄，有利于实现所述叉臂组件100的轻薄化设计。当所述叉臂110从所述物料盒210取出待检测样品或向所述物料盒210放置待检测样品时，所述叉臂110可伸入相邻的卡槽211之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述叉臂组件100具有较好的使用性能。相应地，相邻的卡槽211之间的距离可调节得更小，以提高所述物料盒210用于装载待检测样品的容量，可避免频繁更换物料盒210，继而提升所述晶圆探针台200对待检测样品进行检测的效率。

可选地，在一些实施例中，所述叉臂组件100的数量为两个，其中一个所述叉臂组件100用于从所述物料盒210中取出待检测样品，另一个所述叉臂组件100用于向所述物料盒210中存放待检测样品。

可选地，在一些实施例中，所述待检测样品为晶圆。所述晶圆探针台可用于对晶圆进行射频测试及可靠性测试等。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种叉臂组件，其特征在于，所述叉臂组件包括：

叉臂，所述叉臂具有凹槽及第一流道，所述叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，所述凹槽贯穿所述第一表面，所述凹槽包括连通的第一子槽及第二子槽，所述第一子槽及第二子槽沿所述第一表面及所述第二表面的排布方向上排布，所述第一子槽贯穿所述第一表面，所述第一子槽的径向尺寸小于所述第二子槽的径向尺寸，所述第二子槽连通所述第一流道；以及

吸盘，所述吸盘包括依次相连的卡持部、连接部及吸嘴，所述卡持部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸，所述卡持部位于所述第二子槽内，所述连接部位于所述第一子槽内，所述吸嘴环绕所述连接部的外周设置且位于所述叉臂的所述第一表面侧，所述吸盘还具有第二流道，所述第二流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部的外周侧壁，所述第二流道与所述第一流道连通；

其中，所述第二流道包括弯折相连且连通的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述吸盘还包括抵持部，所述抵持部设置于所述卡持部背离所述连接部的一侧，所述抵持部的径向尺寸小于所述卡持部的径向尺寸；所述凹槽还具有第三子槽，所述第三子槽位于所述第二子槽背离所述第一子槽的一侧，且连通所述第二子槽，所述第三子槽用于设置所述抵持部，所述抵持部的外周侧壁抵持所述第三子槽的内壁；或所述第二流道包括弯折相连的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部背离所述连接部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述叉臂组件还包括支撑件，所述支撑件设置于所述第一子流道且抵持所述第一子流道的内壁，所述支撑件具有第三流道，所述第三流道分别连通所述吸嘴围合的腔室及所述第一流道。

2.根据权利要求1所述的叉臂组件，其特征在于，所述卡持部的径向尺寸为D1，所述连接部的径向尺寸为D2，则满足关系式：0.5mm≤D1-D2≤2mm。

3.根据权利要求1所述的叉臂组件，其特征在于，所述连接部的径向尺寸为D2，所述第一子槽的径向尺寸D3，则满足关系式：0＜D2-D3≤1mm。

4.根据权利要求2或3所述的叉臂组件，其特征在于，所述第一子流道的径向尺寸为D4，所述连接部的径向尺寸为D2，则满足关系式：0＜D4/D2≤0.6。

5.根据权利要求1所述的叉臂组件，其特征在于，由所述第一表面指向所述第二表面的方向上，所述第一子流道的径向尺寸先逐渐增大，再逐渐减小。

6.根据权利要求1所述的叉臂组件，其特征在于，所述第三流道包括弯折相连的第三子流道及第四子流道，所述第三子流道贯穿分别贯穿所述支撑件面向所述第一表面的表面及面向所述第二表面的表面，所述第四子流道分别贯穿所述支撑件面向所述第二表面的表面及所述支撑件的周侧壁。

7.根据权利要求1所述的叉臂组件，其特征在于，每个所述第三流道分别贯穿所述支撑件面向所述第一表面的表面、面向所述第二表面的表面以及所述支撑件的外周侧壁。

8.一种晶圆探针台，其特征在于，所述晶圆探针台包括：

物料盒，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；

权利要求1至7任一项所述的叉臂组件，所述叉臂组件用于取放待检测样品；以及

检测平台，用于放置并检测所述待检测样品。