CN220408761U - 一种高温炉机械手臂用真空吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种高温炉机械手臂用真空吸盘，包括一底座、一防尘盖、一吸盘软垫、一吸盘本体及一固定螺丝，底座侧面与顶面之间连通有一真空管路；吸盘软垫的一端为中空伸缩管且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座，连接座穿设防尘盖的固定通孔与底座连接，连接座中间具有一连接孔；吸盘本体包括一吸附端和一连接端，吸附端呈圆盘状，连接端具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部，且与吸盘软垫的伸缩管的一端为过盈套装固定连接；固定螺丝内部贯通有一通气孔，吸盘软垫通过固定螺丝穿设连接孔固定于底座的出气口上。本实用新型是一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，减少设备异常率，提升设备稼动率的真空吸盘。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空吸盘技术领域，尤其涉及一种高温炉机械手臂用真空吸盘。
背景技术
LCD彩膜工艺流程为：洗净→涂布→曝光→显影→硬烤。在硬烤区，搬送基板的机械手臂需要高速移动故使用耐高温吸盘结构。目前现有的机械手臂用的真空吸盘结构如图1所示，包括H32材质的真空管路底座1＇、H32材质的防尘盖2＇、内吸盘软垫3＇和吸盘本体4＇，所述吸盘本体4＇内设有容置腔体41＇，所述内吸盘软垫3＇设置于所述容置腔体41＇内且两端呈喇叭状，一端贴合于所述吸盘本体4＇上部，一端贴合固定在所述真空管路底座1＇的出气口上。现有的真空吸盘具有如下缺点：(1)所述内吸盘软垫3＇位于所述容置腔体41＇内，且两端呈喇叭状，其整体可动性低，会造成因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率，吸盘与基板因贴合不良会造成吸真空异常造成设备稼动影响。(2)因为吸盘软垫与所述吸盘本体为贴合固定，长期在高温作业下，内吸盘软垫3＇与吸盘本体4＇的密合性不佳，导致真空无法建立，影响基板无法顺利吸附。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题，在于提供了一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，减少设备异常率，提升设备稼动率。
本实用新型是这样实现的：一种高温炉机械手臂用真空吸盘，包括一底座、一防尘盖、一吸盘软垫、一吸盘本体及一固定螺丝，所述底座侧面与顶面之间连通有一真空管路，且顶面设有一内螺纹的出气口；所述防尘盖通过螺栓固定于所述底座的顶面，所述防尘盖中部具有一固定通孔；所述吸盘软垫采用耐热硅胶材质制成，所述吸盘软垫的一端为中空伸缩管且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座，所述连接座穿设所述防尘盖的固定通孔与所述底座连接，所述连接座中间具有一连接孔，所述连接孔与所述真空管路相对应；所述吸盘本体采用peek材质制成，其包括一吸附端和一连接端，所述吸附端呈圆盘状，所述连接端具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部，且与所述吸盘软垫的伸缩管的一端为过盈套装固定连接；所述固定螺丝内部贯通有一通气孔，所述吸盘软垫通过所述固定螺丝穿设所述连接孔固定于所述底座的出气口上，且所述通气孔与所述真空管路连通。
进一步的，所述固定通孔的直径大于所述吸盘软垫的最外直径，方便所述吸盘软垫的活动。
本实用新型的优点在于：通过将吸盘软垫和吸盘本体之间通过过盈套装固定连接，可以确保稳定性和气密性；通过吸盘软垫一端为中空伸缩管，通过伸缩的可动性，使真空吸盘形成多自由度活动，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率；通过设置防尘盖，用于防止吸盘软垫表面沾附上黏着物。本实用新型是一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率，降低吸盘与基板因贴合不良使吸真空异常造成设备稼动影响。
附图说明
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1为现有技术的真空吸盘的结构示意爆炸图。
图2本实用新型一种高温炉机械手臂用真空吸盘吸盘软垫的结构示意图。
图3本实用新型吸盘本体的结构示意图。
图4本实用新型吸盘软垫和吸盘本体的连接结构示意图。
图5本实用新型底座的结构示意图。
图6本实用新型真空吸盘的内部连接结构示意图。
图7本实用新型真空吸盘的结构示意图。
附图标号说明：真空管路底座1＇、防尘盖2＇、内吸盘软垫3＇、吸盘本体4＇、容置腔体41＇、底座1、真空管路11、出气口12、防尘盖2、固定通孔21、吸盘软垫3、伸缩管31、连接座32、连接孔321、吸盘本体4、吸附端41、连接端42、卡接部421、固定螺丝5、通气孔51。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图2至图7所示，本实用新型一种高温炉机械手臂用真空吸盘，包括一底座1、一防尘盖2、一吸盘软垫3、一吸盘本体4及一固定螺丝5，所述底座1侧面与顶面之间连通有一真空管路11，且顶面设有一内螺纹的出气口12；所述防尘盖2通过螺栓固定于所述底座1的顶面，所述防尘盖2中部具有一固定通孔21，由于制作基板的特殊环境，设备运行过程中表面会沾附上黏着物，这些黏着物会导致吸盘软垫3伸缩能力下降，通过设置防尘盖2可减少吸盘软垫3吸附黏着物；所述吸盘软垫3采用耐热硅胶材质制成，所述吸盘软垫3的一端为中空伸缩管31且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座32，所述连接座32穿设所述防尘盖2的固定通孔21与所述底座1连接，所述固定通孔21的直径大于所述吸盘软垫3的最外直径，方便所述吸盘软垫3的活动，避免吸盘软垫3活动时卡在所述固定通孔21内，所述连接座32中间具有一连接孔321，所述连接孔321与所述真空管路11相对应；所述吸盘软垫3通过所述固定螺丝5穿设所述连接孔321固定于所述底座1的出气口12上，所述固定螺丝5内部贯通有一通气孔51，且所述通气孔51与所述真空管路11连通。真空通过所述真空管路11进入所述固定螺丝5的通气孔51再进入吸盘软垫3，最后通过吸盘本体4对基板进行吸附。所述吸盘本体4采用peek材质制成，peek材质其特性比较硬，耐高温且不会释出硅油等物质，和基板接触不会出现不良状况，所述吸盘本体4包括一吸附端41和一连接端42，所述吸附端41呈圆盘状，所述连接端42具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部421，且与所述吸盘软垫3的伸缩管31的一端为过盈套装固定连接，通过卡接部421与所述伸缩管31的过盈套装可以确保两者的稳定性和气密性，使真空吸盘可顺利吸附基板。所述吸盘本体4设置于所述吸盘软垫3的一端，通过中空的伸缩管31使真空吸盘在吸附时提升了整体结构的可动性，使真空吸盘形成多自由度活动，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率。
本实用新型是通过将吸盘软垫3和吸盘本体4之间通过过盈套装固定连接，可以确保两者的稳定性和气密性；通过吸盘软垫3一端为中空的伸缩管，通过伸缩管的可动性，使真空吸盘形成多自由度活动，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率；通过设置防尘盖2，用于防止吸盘软垫3表面沾附上黏着物。本实用新型是一种结构简单，操作方便，连接密封性好，通过提升吸盘软垫伸缩的可动性，可大大降低因基板变形量导致的吸真空异常发生的频率，降低吸盘与基板因贴合不良使吸真空异常造成设备稼动影响。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解，我们所描述的具体的实施例只是说明性的，而不是用于对本实用新型的范围的限定，熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化，都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。
Claims (2)
1.一种高温炉机械手臂用真空吸盘，其特征在于：包括
一底座，其侧面与顶面之间连通有一真空管路，且顶面设有一内螺纹的出气口；
一防尘盖，通过螺栓固定于所述底座的顶面，所述防尘盖中部具有一固定通孔；
一吸盘软垫，采用耐热硅胶材质制成，所述吸盘软垫的一端为中空伸缩管且外壁呈弯折状，另一端为圆形的连接座，所述连接座穿设所述防尘盖的固定通孔与所述底座连接，所述连接座中间具有一连接孔，所述连接孔与所述真空管路相对应；
一吸盘本体，采用peek材质制成，其包括一吸附端和一连接端，所述吸附端呈圆盘状，所述连接端具有一向内凹设且呈喇叭状的卡接部，其与所述吸盘软垫的伸缩管的一端为过盈套装固定连接；
一固定螺丝，其内部贯通有一通气孔，所述吸盘软垫通过所述固定螺丝穿设所述连接孔固定于所述底座的出气口上，且所述通气孔与所述真空管路连通。
2.根据权利要求1所述的一种高温炉机械手臂用真空吸盘，其特征在于：所述固定通孔的直径大于所述吸盘软垫的最外直径。
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