CN117716481A - 预湿模块 - Google Patents

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Abstract

实现能够进行不同的前处理的小型的预湿模块。预湿模块(200)包括：工作台(220)，其构成为对使被处理面(WF‑a)向上的基板(WF)的背面进行保持；旋转机构(224)，其构成为使工作台(220)旋转；清洗液供给部件(260)，其构成为具有配置于工作台(220)的上方的喷嘴(262)，经由喷嘴(262)向工作台(220)的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件(250)，其构成为对被工作台(220)保持的基板(WF)的被处理面(WF‑a)供给脱气液，该脱气液供给部件(250)构成为能够在喷嘴(262)与基板(WF)的被处理面(WF‑a)之间的供给位置以及从喷嘴(262)与基板(WF)的被处理面(WF‑a)之间退避的退避位置之间移动。

Description

预湿模块
技术领域
本申请涉及预湿模块。
背景技术
用于对基板(例如半导体晶圆)进行镀覆处理的镀覆装置具备对基板进行脱气处理等各种前处理的预湿模块、和对进行了前处理的基板进行镀覆处理的镀覆模块。
例如专利文献1公开了具备能够同时保持第1基板和第2基板的基板支架的预湿模块。该预湿模块构成为一边将第1基板浸渍于脱气槽而进行脱气处理一边对第2基板供给清洗液而进行清洗处理等、对多个基板并行高效地执行不同的前处理。
专利文献1：日本专利第7008863号公报
然而，现有技术没有考虑使预湿模块的构造小型化。
即，在现有技术中，在储存有脱气液的脱气槽与从脱气槽的上方供给清洗液的喷嘴之间配置基板支架，一边使基板支架上下翻转或沿上下方向移动一边进行前处理。在该结构中，为了使基板支架上下翻转以及上下移动而需要较大的空间，因此预湿模块的尺寸，特别是高度方向的尺寸变大。
发明内容
因此，本申请的目的之一为实现能够进行不同的前处理的小型的预湿模块。
根据一个实施方式，公开一种预湿模块，包括：工作台，其构成为对使被处理面向上的基板的背面进行保持；旋转机构，其构成为使上述工作台旋转；清洗液供给部件，其构成为具有配置于上述工作台的上方的喷嘴，且经由上述喷嘴向上述工作台的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件，其构成为对被上述工作台保持的基板的被处理面供给脱气液，该脱气液供给部件构成为能够在上述喷嘴与上述基板的被处理面之间的供给位置以及从上述喷嘴与上述基板的被处理面之间退避的退避位置之间移动。
附图说明
图1是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的立体图。
图2是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。
图3是示意性地表示一个实施方式的预湿模块的结构的纵剖视图。
图4A是用于对图3所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图4B是用于对图3所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图4C是用于对图3所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图5是示意性地表示一个实施方式的预湿模块的结构的纵剖视图。
图6A是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图6B是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图7A是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图7B是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图7C是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图8A是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图8B是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。
图9A是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9B是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9C是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9D是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9E是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9F是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9G是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9H是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。在以下说明的附图中，对同一或相当的结构要素标注同一附图标记并省略重复的说明。
＜镀覆装置的整体结构＞
图1是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的立体图。图2是表示本实施方式的镀覆装置的整体结构的俯视图。如图1、图2所示，镀覆装置1000具备：装载口100、搬送机器人110、对准器120、预湿模块200、预浸模块300、镀覆模块400、清洗模块500、旋干机600、搬送装置700以及控制模块800。
装载口100是用于向镀覆装置1000搬入收纳于未图示的FOUP等盒的基板或者从镀覆装置1000向盒搬出基板的模块。在本实施方式中，4台装载口100沿水平方向排列配置，但装载口100的数量以及配置是任意的。搬送机器人110是用于搬送基板的机器人，构成为在装载口100、对准器120、预湿模块200以及旋干机600之间交接基板。搬送机器人110以及搬送装置700构成为当在搬送机器人110与搬送装置700之间交接基板时，能够经由未图示的临时载置台进行基板的交接。
对准器120是用于使基板的定向平面、凹口等的位置与规定的方向匹配的模块。在本实施方式中，2台对准器120沿水平方向排列配置，但对准器120的数量以及配置是任意的。预湿模块200利用纯水或脱气水等处理液使镀覆处理前的基板的被镀覆面湿润，由此将形成于基板表面的图案内部的空气置换为处理液。预湿模块200构成为实施预湿处理，该预湿处理是在镀覆时将图案内部的处理液置换为镀覆液由此容易向图案内部供给镀覆液的处理。在本实施方式中，2台预湿模块200沿上下方向排列配置，但预湿模块200的数量以及配置是任意的。
预浸模块300构成为实施预浸处理，该预浸处理是利用硫酸、盐酸等处理液将例如形成于镀覆处理前的基板的被镀覆面的晶种层表面等所存在的电阻较大的氧化膜蚀刻除去而对镀覆基底表面进行清洗或使其活性化的处理。在本实施方式中，2台预浸模块300沿上下方向排列配置，但预浸模块300的数量以及配置是任意的。镀覆模块400对基板实施镀覆处理。在本实施方式中，存在两组沿上下方向排列配置有3台并且沿水平方向排列配置有4台的12台镀覆模块400，从而设置有合计24台镀覆模块400，但镀覆模块400的数量以及配置是任意的。
清洗模块500构成为为了除去残留于镀覆处理后的基板的镀覆液等而对基板实施清洗处理。在本实施方式中，2台清洗模块500沿上下方向排列配置，但清洗模块500的数量以及配置是任意的。旋干机600是用于使清洗处理后的基板高速旋转并干燥的模块。在本实施方式中，2台旋干机沿上下方向排列配置，但旋干机的数量以及配置是任意的。搬送装置700是用于在镀覆装置1000内的多个模块之间搬送基板的装置。控制模块800构成为控制镀覆装置1000的多个模块，例如能够由具备与操作人员之间的输入输出接口的通常的计算机或专用计算机构成。
对镀覆装置1000的一系列的镀覆处理的一个例子进行说明。首先，向装载口100搬入收纳于盒的基板。接着，搬送机器人110从装载口100的盒取出基板，并向对准器120搬送基板。对准器120使基板的定向平面、凹口等的位置与规定的方向匹配。搬送机器人110将由对准器120匹配了方向的基板向预湿模块200交接。
预湿模块200对基板实施预湿处理。搬送装置700将实施了预湿处理的基板向预浸模块300搬送。预浸模块300对基板实施预浸处理。搬送装置700将实施了预浸处理的基板向镀覆模块400搬送。镀覆模块400对基板实施镀覆处理。
搬送装置700将实施了镀覆处理的基板向清洗模块500搬送。清洗模块500对基板实施清洗处理。搬送装置700将实施了清洗处理的基板向旋干机600搬送。旋干机600对基板实施干燥处理。搬送机器人110从旋干机600接收基板，将实施了干燥处理的基板向装载口100的盒搬送。最后，从装载口100搬出收纳有基板的盒。
＜预湿模块的结构＞
接下来，对预湿模块200的结构进行说明。本实施方式中的2台预湿模块200为同一结构，因此仅对1台预湿模块200进行说明。
图3是示意性地表示一个实施方式的预湿模块的结构的纵剖视图。如图3所示，预湿模块200具备构成为保持基板WF的圆板形状的工作台220。工作台220构成为具有用于对基板WF的被处理面WF-a的背面进行保持的基板保持面220a，并在使被处理面WF-a向上的状态下保持基板WF。工作台220构成为与未图示的真空源连接，通过对基板WF的背面进行真空吸附而保持基板WF。在工作台220的下表面的中央安装有沿铅垂方向延伸的轴体222。预湿模块200具备旋转机构224，上述旋转机构224构成为使工作台220绕轴体222的轴旋转。旋转机构224能够通过例如马达等公知的机构来实现。旋转机构224构成为在进行清洗处理以及脱气处理时使工作台220旋转。
预湿模块200具备清洗液供给部件260，上述清洗液供给部件260供给用于清洗基板WF的被处理面WF-a的清洗液。清洗液供给部件260具有喷嘴262，上述喷嘴262以与基板WF的被处理面WF-a对置的方式配置于工作台220的上方。在喷嘴262连接有用于供给清洗液的配管270。在配管270设置有用于开闭配管270的供给阀272。当打开供给阀272时，从未图示的存积罐向喷嘴262供给清洗液。清洗液供给部件260构成为经由喷嘴262向工作台220的方向供给清洗液。由此，能够对被工作台220保持的基板WF的被处理面WF-a进行清洗。清洗液供给部件260也可以构成为通过未图示的驱动机构沿水平方向(沿着基板WF的被处理面WF-a的方向)摆动。
预湿模块200具备用于向基板WF的被处理面WF-a供给脱气液的脱气液供给部件250。脱气液供给部件250具有用于喷出脱气液的喷嘴252。脱气液供给部件250构成为通过例如马达等旋转机构254而能够移动。具体而言，脱气液供给部件250构成为通过绕支承脱气液供给部件250的轴体256回旋，能够在喷嘴262与基板WF的被处理面WF-a之间的供给位置以及从喷嘴262与基板WF的被处理面WF-a之间退避的退避位置之间移动。
图3示出脱气液供给部件250位于供给位置的状态，后述的图4A示出脱气液供给部件250位于退避位置的状态。在脱气液供给部件250位于供给位置的状态下，喷嘴252配置于与基板WF的被处理面WF-a的中央对应的位置。若一边通过旋转机构224使基板WF旋转一边从喷嘴252供给脱气液，则供给至被处理面WF-a的中央的脱气液通过离心力而向被处理面WF-a的整体扩散，因此能够对被处理面WF-a的整体进行脱气处理。
预湿模块200具备：循环槽202，其构成为存积脱气液；和供给配管240，其连接循环槽202与脱气液供给部件250。此外，预湿模块200具备：泵204，其经由供给配管240将存积于循环槽202的脱气液向脱气液供给部件250供给；脱气单元206，其用于将从泵204喷出的脱气液所含的溶解氧除去；以及过滤器209，其用于将从脱气单元206喷出的脱气液所含的灰尘等除去。预湿模块200具备：第1循环配管244，其从供给配管240的泵204的下游侧(具体而言过滤器209的下游侧)分支并与循环槽202连接；供给阀242，其构成为对供给配管240的比第1循环配管244的分支部位240a靠下游侧进行开闭；以及第1循环阀246，其构成为开闭第1循环配管244。
预湿模块200通过对泵204进行驱动，打开供给阀242，关闭第1循环阀246，由此能够向脱气液供给部件250供给脱气液。另一方面，预湿模块200通过对泵204进行驱动，关闭供给阀242，打开第1循环阀246，由此能够一边经由第1循环配管244使脱气液循环一边除去脱气液所含的溶解氧。
预湿模块200具备：与收容工作台220、清洗液供给部件260以及脱气液供给部件250的预湿室210的底部连接的排液配管280；和从排液配管280分支并与循环槽202连接的第2循环配管286。此外，预湿模块200具备：排液阀282，其构成为对排液配管280的比第2循环配管286的分支部位280a靠下游侧进行开闭；和第2循环阀284，其构成为对第2循环配管286进行开闭。
预湿模块200在进行基板WF的清洗处理时，打开排液阀282，关闭第2循环阀284。由此，清洗处理所使用过的清洗液经由排液配管280向预湿室210的外部被排出。另一方面，预湿模块200在进行基板WF的脱气处理时，关闭排液阀282，打开第2循环阀284。由此，脱气处理所使用过的脱气液经由第2循环阀284返回循环槽202。
接下来，对预湿模块200的动作进行说明。图4A～图4C是用于对图3所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图4A示出预湿模块200的空转状态。如图4A所示，在空转状态下，预湿模块200通过旋转机构254使脱气液供给部件250回旋，使脱气液供给部件250配置于退避位置。此外，预湿模块200关闭供给阀272。此外，预湿模块200对泵204进行驱动，关闭供给阀242，打开第1循环阀246。此外，预湿模块200关闭排液阀282，打开第2循环阀284。由此，预湿模块200一边经由第1循环配管244使脱气液循环一边除去脱气液所含的溶解氧。
图4B示出在空转状态后进行基板WF的清洗处理的状态。如图4B所示，在清洗处理时，预湿模块200使保持基板WF的工作台220旋转。此外，预湿模块200打开供给阀272。此外，预湿模块200打开排液阀282，关闭第2循环阀284。由此，从清洗液供给部件260的喷嘴262向基板WF的被处理面WF-a供给清洗液。供给至被处理面WF-a的清洗液通过伴随着基板WF的旋转的离心力而沿着被处理面WF-a扩散，对被处理面WF-a进行清洗。清洗液从基板WF的端部落下，通过预湿室210的底面的倾斜而导入排液配管280，排出至预湿室210的外部。
图4C示出在清洗处理后进行基板WF的脱气处理的状态。如图4C所示，在脱气处理时，预湿模块200使脱气液供给部件250回旋，而使脱气液供给部件250配置于供给位置。此外，预湿模块200关闭供给阀272。此外，预湿模块200打开供给阀242，关闭第1循环阀246。此外，预湿模块200关闭排液阀282，打开第2循环阀284。由此，从脱气液供给部件250的喷嘴252向基板WF的被处理面WF-a的中央供给脱气液。供给至被处理面WF-a的中央的脱气液通过伴随着基板WF的旋转的离心力而向基板WF的端部扩散，对被处理面WF-a进行脱气。脱气液从基板WF的端部落下，通过预湿室210的底面的倾斜而导入排液配管280，经由第2循环配管286返回循环槽202。
根据本实施方式，对使被处理面WF-a向上的基板WF进行脱气处理，因此与将使被处理面向下的基板浸渍于脱气液的方式相比，能够抑制气泡滞留于被处理面WF-a。此外，根据本实施方式，经由喷嘴262向被处理面WF-a供给清洗液，因此与浸渍基板的方式相比，清洗液的使用量少，排液处理也能够简单地进行。另外，根据本实施方式，能够对被工作台220保持的基板WF进行清洗处理以及脱气处理，因此不需要如现有技术那样使保持基板的机构上下翻转或者上下移动。因此，不需要用于使保持基板的机构上下翻转以及上下移动的空间，因此能够使预湿模块200的尺寸，特别是高度方向的尺寸变小。其结果，根据本实施方式，能够实现能够进行不同的前处理(清洗处理和脱气处理)的小型的预湿模块200。另外，在本实施方式中，示出镀覆装置1000具备上下配置的2台预湿模块200的例子，但由于能够使预湿模块200小型化，因此例如也能够上下配置3台预湿模块200。
接下来，对预湿模块200的其他实施方式进行说明。图5是示意性地表示一个实施方式的预湿模块的结构的纵剖视图。对与使用图3说明的预湿模块相同的结构省略说明。
如图5所示，预湿模块200具备用于进行基板WF的保持以及交接的基板站230。基板站230构成为在被配置于供给位置的脱气液供给部件250与喷嘴262之间的清洗位置保持使被处理面WF-a向上的基板WF，并且为了在与工作台220之间进行基板的交接而进行升降。具体而言，基板站230具备用于对基板的被处理面的背面进行保持的第1臂部件230-1以及第2臂部件230-2。第1臂部件230-1和第2臂部件230-2沿水平方向排列且分离配置。第1臂部件230-1与第2臂部件230-2能够向相互接近的方向以及相互分离的方向移动。第1臂部件230-1和第2臂部件230-2构成为在位于相互接近的基板保持位置时保持基板。第1臂部件230-1和第2臂部件230-2构成为在相对于工作台220进行基板的交接时进行升降。
预湿模块200具备构成为遮蔽以及敞开基板站230的升降路径的开闭器部件290。开闭器部件290构成为在从喷嘴262向被配置于清洗位置的基板站230保持的基板WF供给清洗液时，如图5所示，对基板站230的升降路径，换句话说基板站230与工作台220之间进行遮蔽。另一方面，开闭器部件290构成为例如如后述的图9B所示，当在基板站230与工作台220之间进行基板的交接时，敞开基板站230的升降路径。
在本实施方式中，旋转机构224构成为在进行脱气处理时使工作台220旋转。此外，在本实施方式中，没有设置排液配管280，取而代之，第2循环配管286直接连接预湿室210的底部与循环槽202。在第2循环配管286没有设置阀。由此，脱气处理所使用过的脱气液直接循环至循环槽202。此外，预湿模块200具备排水盘296，该排水盘296构成为接受从喷嘴262被供给并清洗了基板WF之后从开闭器部件290滴下的清洗液。此外，预湿模块200具备排水配管288，该排水配管288用于将排水盘296接受到的清洗液排出至预湿室210的外部。排水配管288构成为与第2循环配管286独立地排出清洗液。由此，能够抑制清洗液混入循环槽202。
接下来，对开闭器部件290的详情进行说明。图6A以及图6B是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。如图6A所示，开闭器部件290具有左右对称配置的第1开闭器部件290a和第2开闭器部件290b。开闭器部件290构成为通过开闭第1开闭器部件290a以及第2开闭器部件290b而敞开以及遮蔽基板站230的升降路径。第1开闭器部件290a与第2开闭器部件290b具有相同的结构，因此仅对第1开闭器部件290a进行说明。
如图6A以及图6B所示，第1开闭器部件290a具有多张(在本实施方式中为4张)矩形的板293-1～293-4。在板293-1～293-4之间设置有导轨以及滑动件。板293-1～293-4以经由导轨以及滑动件而能够相互滑动移动的方式被连结。具体而言，在板293-2的上表面设置有沿第1开闭器部件290a的开闭方向延伸的导轨293-2b和能够沿着导轨293-2b移动的滑动件293-2c。板293-1经由滑动件293-2c与板293-2连结。由此，板293-1相对于板293-2能够滑动移动地连结。同样，板293-2相对于板293-3能够滑动移动地连结，板293-3相对于板293-4能够滑动移动地连结。排水盘296配置于板293-4的下端部的下方。
板293-1具有堤部293-1a，该堤部293-1a形成于与第1开闭器部件290a的开闭方向正交的方向的两端部。通过形成有堤部293-1a，防止滴下至板293-1的上表面的清洗液在与第1开闭器部件290a的开闭方向正交的方向流下。这点在板293-2～293-4也同样。此外，在关闭了第1开闭器部件290a时，板293-1～293-4的上表面形成向排水盘296的方向下降的倾斜面。由此，滴下至板293-1～293-4的上表面的清洗液流入排水盘296。
板293-4的下端部与沿和第1开闭器部件290a的开闭方向正交的水平方向延伸的固定轴291连接。板293-4能够绕固定轴291旋转。另一方面，板293-1的上端部与沿和第1开闭器部件290a的开闭方向正交的水平方向延伸的可动轴292连接。可动轴292的两端部分别与支承柱294连接。支承柱294分别与旋转机构295连接，能够以旋转机构295为中心而旋转。旋转机构295是构成为以展开板293-1～293-4的方式滑动移动而遮蔽基板站230的升降路径，并且以折叠板293-1～293-4的方式滑动移动而敞开基板站230的升降路径的驱动机构的一个例子。旋转机构295能够通过例如旋转缸等公知的机构来实现。
通过在图6B的视角下使支承柱294绕顺时针方向旋转，能够使第1开闭器部件290a成为遮蔽状态(遮蔽了基板站230的升降路径的状态)。另一方面，通过在图6B的视角下使支承柱294绕逆时针方向旋转，能够折叠板293-1～293-4而使第1开闭器部件290a成为敞开状态(打开了基板站230的升降路径的状态)。另外，第1开闭器部件290a与第2开闭器部件290b具有左右对称且相同的结构，但如图6A所示，配置为在遮蔽状态下板293-1的上端部彼此在上下方向重叠。由此，能够抑制滴下至开闭器部件290的清洗液从第1开闭器部件290a与第2开闭器部件290b之间落下。
开闭器部件290具有抑制清洗液混入脱气液的功能。即，通过使第1开闭器部件290a和第2开闭器部件290b成为遮蔽状态，能够抑制被基板站230保持的基板WF的清洗所使用过的清洗液滴下至被工作台220保持的基板，或者混入预湿室210的底部。具体而言，从喷嘴262喷出的清洗液在对被基板站230保持的基板WF进行了清洗之后，滴下至板293-1～293-4的上表面，沿着板293-1～293-4的倾斜流动至排水盘296。流动至排水盘296的清洗液经由排水配管288而排出至预湿室210的外部。
另外，上述中，作为一个例子对滑动式的开闭器部件290进行了说明，但不限定于该构造。图7A～图7C是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。如图7A～图7C所示，也能够使用卷式开闭器部件290。即，开闭器部件290具有左右对称配置的第1开闭器部件290a和第2开闭器部件290b。第1开闭器部件290a与第2开闭器部件290b具有相同的结构，因此仅对第1开闭器部件290a进行说明。
第1开闭器部件290a具有能够卷取的帘幕部件297。在一个例子中帘幕部件297能够使用树脂制的部件，但不限定于此。帘幕部件297的下端部与沿和第1开闭器部件290a的开闭方向正交的水平方向延伸的固定轴291连接。固定轴291与发条弹簧298连接。另一方面，在帘幕部件297的上端部固定有沿与第1开闭器部件290a的开闭方向正交的水平方向延伸的棒状的框架297-1。
如图7C所示，框架297-1具有倾斜部297-1a，该倾斜部297-1a以两端部比中央部高的方式向斜上方延伸。通过形成有倾斜部297-1a，防止滴下至帘幕部件297的上表面的清洗液在与第1开闭器部件290a的开闭方向正交的方向流下。在关闭了第1开闭器部件290a时，帘幕部件297的上表面形成向排水盘296的方向下降的倾斜面。由此，滴下至帘幕部件297的上表面的清洗液流入排水盘296。
框架297-1的两端部分别与支承柱294连接。支承柱294分别与旋转机构295连接，能够以旋转机构295为中心而旋转。旋转机构295是供给驱动力的驱动机构的一个例子，该驱动力用于以遮蔽基板站230的升降路径的方式使帘幕部件297展开。发条弹簧298是用于在没有被供给该驱动力时卷取帘幕部件297的卷取机构的一个例子。与上述的实施方式同样，在图7A的视角下使支承柱294绕顺时针方向旋转，由此能够使第1开闭器部件290a成为遮蔽状态。此外，通过使支承柱294绕逆时针方向旋转，帘幕部件297通过发条弹簧298而卷取，能够使第1开闭器部件290a成为敞开状态。
图8A以及图8B是示意性地表示开闭器部件的结构的一个例子的图。如图8A以及图8B所示，开闭器部件290也可以包含扇型的罩部件。即，开闭器部件290具有多张(在本实施方式中为4张)扇形状的板状的罩部件298-1～298-4。罩部件298-1～298-4相互错开角度并在上下方向上重叠配置。罩部件298-1～298-3相对于轴体299-1能够旋转地连接，上述轴体299-1相对于铅垂方向稍微倾斜。罩部件298-1是相对于轴体299-1能够旋转地连接的主翼，罩部件298-2、3是构成为随着主翼的旋转而相对于轴体299-1旋转的副翼。罩部件298-4是相对于轴体299-1而被固定连接的固定翼。在本实施方式中，罩部件298-1配置于最上位，罩部件298-4配置于最下位。
开闭器部件290具有用于使罩部件298-1(主翼)绕轴体299-1旋转的旋转机构299-2。旋转机构299-2能够通过例如旋转缸等公知的机构来实现。通过利用旋转机构299-2使罩部件298-1(主翼)旋转，能够使开闭器部件290在遮蔽状态与敞开状态之间切换。即，旋转机构299-2构成为通过使主翼向一个方向旋转并展开罩部件298-1～298-4来遮蔽基板站230的升降路径。此外，旋转机构299-2构成为通过使主翼向相反方向旋转并折叠罩部件298-1～298-4而敞开基板站230的升降路径。
更具体而言，罩部件298-1在圆弧形状的外周部形成有缺口298-1a。由此，在罩部件298-1的圆弧形状的外周部的两端形成有突起298-1b、298-1c。罩部件298-2也同样在圆弧形状的外周部的两端形成有突起298-2b、298-2c。在两个突起298-2b、298-2c中的与罩部件298-1重叠的一方的突起298-2b形成有向上方延伸至罩部件298-1的突起298-1c的高度为止的销298-2d。
若在图8A的视角下使罩部件298-1(主翼)绕逆时针方向旋转，则突起298-1c与销298-2d接触。由此，罩部件298-1(主翼)带着罩部件298-2(副翼)而绕逆时针方向旋转。此外，罩部件298-3(副翼)具有与罩部件298-2相同的构造。因此，罩部件298-2(副翼)带着罩部件298-3(副翼)而绕逆时针方向旋转。罩部件298-4(固定翼)相对于轴体299-1被固定连接，因此若罩部件298-3的突起与罩部件298-4的销接触，则罩部件298-1～298-3的旋转停止。由此，罩部件298-1～298-4展开，开闭器部件290成为遮蔽状态。轴体299-1相对于铅垂方向倾斜，因此如图8B所示，罩部件298-1～298-4的上表面形成向排水盘296的方向下降的倾斜面。由此，滴下至罩部件298-1～298-4的上表面的清洗液流入排水盘296。另外，在本实施方式中，示出轴体299-1相对于铅垂方向倾斜的例子，但不局限于此，轴体299-1也可以沿铅垂方向延伸。在这种情况下，罩部件298-1～298-4只要形成有向排水盘296的方向下降的倾斜面即可。
另一方面，若从遮蔽状态起在图8A的视角下使罩部件298-1(主翼)绕顺时针方向旋转，则突起298-1b与销298-2d接触。由此，罩部件298-1(主翼)拖动罩部件298-2(副翼)绕顺时针方向旋转。同样，罩部件298-2(副翼)拖动罩部件298-3(副翼)绕顺时针方向旋转。若罩部件298-3的突起与罩部件298-4的销接触，则罩部件298-1～298-3的旋转停止。由此，罩部件298-1～298-4折叠，开闭器部件290成为敞开状态。
根据本实施方式，不需要如现有技术那样使保持基板的机构上下翻转或者上下移动。因此，不需要用于使保持基板的机构上下翻转以及上下移动的空间，因此，能够使预湿模块200的尺寸，特别是高度方向的尺寸变小。此外，根据本实施方式，通过设置基板站230和开闭器部件290，能够使基板的清洗区域与脱气区域分离，因此能够实现能够并行高效地进行清洗处理和脱气处理的小型的预湿模块200。
接下来，对图5所示的预湿模块200的动作进行说明。图9A～图9H是用于对图5所示的预湿模块的动作示意性地进行说明的图。
图9A示出进行基板WF的清洗处理的状态。如图9A所示，在清洗处理时，预湿模块200通过基板站230保持从搬送机器人110交接了的第1基板WF-1。此时，基板站230配置于喷嘴262的正下方(喷嘴262与开闭器部件290之间)的清洗位置，以使被处理面WF-1a向上的方式保持第1基板WF-1的背面。预湿模块200使开闭器部件290成为遮蔽状态。
预湿模块200将脱气液供给部件250配置于退避位置。预湿模块200对泵204进行驱动，关闭供给阀242，打开第1循环阀246。由此，预湿模块200一边使脱气液循环一边除去脱气液所含的溶解氧。此外，预湿模块200打开供给阀272。由此，从清洗液供给部件260的喷嘴262向第1基板WF-1的被处理面WF-1a供给清洗液。清洗液在清洗了被处理面WF-1a之后落下至开闭器部件290，通过开闭器部件290的倾斜而流入排水盘296。流入至排水盘296的清洗液经由排水配管288而排出至预湿室210的外部。
若第1基板WF-1的清洗处理结束，则如图9B所示，预湿模块200关闭供给阀272。接着，预湿模块200使开闭器部件290成为敞开状态。接着，预湿模块200使基板站230下降至基板的交接位置而将第1基板WF-1交接于工作台220。
接着，如图9C所示，预湿模块200使基板站230上升至清洗位置。接着，预湿模块200将脱气液供给部件250配置于供给位置。
接着，如图9D所示，预湿模块200使工作台220旋转，并且打开供给阀242，关闭第1循环阀246。由此，从脱气液供给部件250的喷嘴252向第1基板WF-1的被处理面WF-1a的中央供给脱气液。供给至被处理面WF-1a的中央的脱气液通过基于第1基板WF-1的旋转产生的离心力而向第1基板WF-1的端部扩散，对被处理面WF-1a进行脱气。脱气液从第1基板WF-1的端部落下，通过预湿室210的底面的倾斜而导入第2循环配管286，返回循环槽202。
接着，如图9E所示，预湿模块200通过基板站230对从搬送机器人110交接了的第2基板WF-2进行保持。此外，预湿模块200使开闭器部件290成为遮蔽状态。
接着，如图9F所示，预湿模块200打开供给阀272。由此，从清洗液供给部件260的喷嘴262向第2基板WF-2的被处理面WF-2a供给清洗液，对被处理面WF-2a进行清洗。根据本实施方式，能够对第1基板WF-1进行脱气处理的同时，对第2基板WF-2进行清洗处理，因此能够对多个基板并行高效地执行不同的前处理。
接着，如图9G所示，预湿模块200关闭供给阀242，打开第1循环阀246。此外，预湿模块200将脱气液供给部件250配置于退避位置。
接着，如图9H所示，预湿模块200通过搬送装置700从预湿模块200搬出第1基板WF-1。预湿模块200以后相对于后续的基板反复相同的处理。
根据本实施方式，不需要如现有技术那样使保持基板的机构上下翻转或者上下移动。因此，不需要用于使保持基板的机构上下翻转以及上下移动的空间，因此，能够使预湿模块200的尺寸，特别是高度方向的尺寸变小。其结果，根据本实施方式，能够实现能够并行地进行不同的前处理(清洗处理和脱气处理)的小型的预湿模块200。
以上，对几个本发明的实施方式进行了说明，但上述的发明的实施方式是用于容易理解本发明的，不是对本发明进行限定。本发明能够不脱离其主旨地进行变更、改进，并且本发明包含其等效物是不言而喻的。此外，在能够解决上述的课题的至少一部分的范围内或起到效果的至少一部分的范围内能够进行权利要求书以及说明书所记载的各结构要素的任意组合或省略。
本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，包括：工作台，其构成为对使被处理面向上的基板的背面进行保持；旋转机构，其构成为使上述工作台旋转；清洗液供给部件，其构成为具有配置于上述工作台的上方的喷嘴，经由上述喷嘴向上述工作台的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件，其构成为对被上述工作台保持的基板的被处理面供给脱气液，该脱气液供给部件构成为能够在上述喷嘴与上述基板的被处理面之间的供给位置以及从上述喷嘴与上述基板的被处理面之间退避的退避位置之间移动。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，包括：循环槽，其构成为存积脱气液；供给配管，其连接上述循环槽与上述脱气液供给部件；泵，其用于经由上述供给配管将存积于上述循环槽的脱气液供给至上述脱气液供给部件；第1循环配管，其从上述供给配管的上述泵的下游侧分支并与上述循环槽连接；供给阀，其构成为对上述供给配管的比上述第1循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；以及第1循环阀，其构成为对上述第1循环配管进行开闭。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，进一步包括：排液配管，其与收容上述工作台、上述清洗液供给部件以及上述脱气液供给部件的预湿室的底部连接；第2循环配管，其从上述排液配管分支并与上述循环槽连接；排液阀，其构成为对上述排液配管的比上述第2循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；以及第2循环阀，其构成为对上述第2循环配管进行开闭。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，进一步包括：基板站，其构成为在配置于上述供给位置的上述脱气液供给部件与上述喷嘴之间的清洗位置保持使被处理面向上的基板，并且为了在与上述工作台之间交接基板而升降；和开闭器部件，其构成为遮蔽以及敞开上述基板站的升降路径。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，上述开闭器部件构成为，当从上述喷嘴相对于被配置于上述清洗位置的上述基板站保持的基板供给清洗液时遮蔽上述基板站的升降路径，当在上述基板站与上述工作台之间进行基板的交接时敞开上述基板站的升降路径。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，上述开闭器部件包括：多张板；导轨，其设置于上述多张板之间；滑动件，其能够沿着上述导轨滑动移动，且连结上述多张板；以及驱动机构，其构成为通过使上述多张板滑动移动并展开来遮蔽上述基板站的升降路径，并且通过使上述多张板滑动移动并折叠来敞开上述基板站的升降路径。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，上述开闭器部件包括：帘幕部件，其能够卷取；驱动机构，其供给驱动力，上述驱动力用于以遮蔽上述基板站的升降路径的方式使上述帘幕部件展开；以及卷取机构，其用于在没有被供给上述驱动力时卷取上述帘幕部件。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，上述开闭器部件包括：轴体；多张罩部件，它们包括相对于上述轴体能够旋转地连接的主翼以及构成为随着上述主翼的旋转而相对于上述轴体旋转的副翼；以及旋转机构，其构成为通过使上述主翼向一个方向旋转并展开上述多张罩部件来遮蔽上述基板站的升降路径，并且通过使上述主翼向相反方向旋转并折叠上述多张罩部件来敞开上述基板站的升降路径。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，进一步包括：循环槽，其构成为存积脱气液；供给配管，其连接上述循环槽与上述脱气液供给部件；泵，其用于经由上述供给配管将存积于上述循环槽的脱气液供给至上述脱气液供给部件；第1循环配管，其从上述供给配管的上述泵的下游侧分支并与上述循环槽连接；供给阀，其构成为对上述供给配管的比上述第1循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；第1循环阀，其构成为对上述第1循环配管进行开闭；以及第2循环配管，其将收容上述工作台、上述清洗液供给部件以及上述脱气液供给部件的预湿室的底部与上述循环槽连接。
此外，本申请作为一个实施方式而公开一种预湿模块，进一步包括：排水盘，其构成为接受从上述喷嘴被供给且从上述开闭器部件滴下的清洗液；和排水配管，其用于将上述排水盘接受到的清洗液向上述预湿室的外部排出。
附图标记说明
200...预湿模块；202...循环槽；204...泵；210...预湿室；220...工作台；224...旋转机构；230...基板站；240...供给配管；240a...分支部位；242...供给阀；244...第1循环配管；246...第1循环阀；250...脱气液供给部件；252...喷嘴；254...旋转机构；260...清洗液供给部件；262...喷嘴；280...排液配管；280a...分支部位；282...排液阀；284...第2循环阀；286...第2循环配管；288...排水配管；290...开闭器部件；290a...第1开闭器部件；290b...第2开闭器部件；293-1～293-4...板；293-2b...导轨；293-2c...滑动件；295...旋转机构；296...排水盘；297...帘幕部件；298-1～298-4...罩部件；299-1...轴体；299-2...旋转机构；WF...基板；WF-a...被处理面。

Claims (10)

1.一种预湿模块，其特征在于，包括：
工作台，所述工作台构成为对使被处理面向上的基板的背面进行保持；
旋转机构，所述旋转机构构成为使所述工作台旋转；
清洗液供给部件，所述清洗液供给部件构成为具有配置于所述工作台的上方的喷嘴，经由所述喷嘴向所述工作台的方向供给清洗液；以及
脱气液供给部件，所述脱气液供给部件构成为向被所述工作台保持的基板的被处理面供给脱气液，所述脱气液供给部件构成为能够在所述喷嘴与所述基板的被处理面之间的供给位置、及从所述喷嘴与所述基板的被处理面之间退避的退避位置之间移动。
2.根据权利要求1所述的预湿模块，其特征在于，包括：
循环槽，所述循环槽构成为存积脱气液；
供给配管，所述供给配管连接所述循环槽与所述脱气液供给部件；
泵，所述泵用于经由所述供给配管将存积于所述循环槽的脱气液供给至所述脱气液供给部件；
第1循环配管，所述第1循环配管从所述供给配管的所述泵的下游侧分支并与所述循环槽连接；
供给阀，所述供给阀构成为对所述供给配管的比所述第1循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；以及
第1循环阀，所述第1循环阀构成为对所述第1循环配管进行开闭。
3.根据权利要求2所述的预湿模块，其特征在于，进一步包括：
排液配管，所述排液配管与收容所述工作台、所述清洗液供给部件以及所述脱气液供给部件的预湿室的底部连接；
第2循环配管，所述第2循环配管从所述排液配管分支并与所述循环槽连接；
排液阀，所述排液阀构成为对所述排液配管的比所述第2循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；以及
第2循环阀，所述第2循环阀构成为对所述第2循环配管进行开闭。
4.根据权利要求1所述的预湿模块，其特征在于，进一步包括：
基板站，所述基板站构成为在配置于所述供给位置的所述脱气液供给部件与所述喷嘴之间的清洗位置保持使被处理面向上的基板，并且为了在与所述工作台之间交接基板而升降；和
开闭器部件，所述开闭器部件构成为遮蔽以及敞开所述基板站的升降路径。
5.根据权利要求4所述的预湿模块，其特征在于，
所述开闭器部件构成为，当从所述喷嘴相对于配置于所述清洗位置的所述基板站所保持的基板供给清洗液时，遮蔽所述基板站的升降路径，当在所述基板站与所述工作台之间进行基板的交接时，敞开所述基板站的升降路径。
6.根据权利要求5所述的预湿模块，其特征在于，
所述开闭器部件包括：
多张板；
导轨，所述导轨设置于所述多张板之间；
滑动件，所述滑动件能够沿着所述导轨滑动移动，且连结所述多张板；以及
驱动机构，所述驱动机构构成为通过使所述多张板滑动移动并展开来遮蔽所述基板站的升降路径，并且通过使所述多张板滑动移动并折叠来敞开所述基板站的升降路径。
7.根据权利要求5所述的预湿模块，其特征在于，
所述开闭器部件包括：
帘幕部件，所述帘幕部件能够卷取；
驱动机构，所述驱动机构供给驱动力，所述驱动力用于以遮蔽所述基板站的升降路径的方式使所述帘幕部件展开；以及
卷取机构，所述卷取机构用于在没有被供给所述驱动力时卷取所述帘幕部件。
8.根据权利要求5所述的预湿模块，其特征在于，
所述开闭器部件包括：
轴体；
多张罩部件，所述多张罩部件包括相对于所述轴体能够旋转地连接的主翼、及构成为随着所述主翼的旋转而相对于所述轴体旋转的副翼；以及
旋转机构，所述旋转机构构成为通过使所述主翼向一个方向旋转并展开所述多张罩部件来遮蔽所述基板站的升降路径，并且通过使所述主翼向相反方向旋转并折叠所述多张罩部件来敞开所述基板站的升降路径。
9.根据权利要求4～8中任一项所述的预湿模块，其特征在于，进一步包括：
循环槽，所述循环槽构成为存积脱气液；
供给配管，所述供给配管连接所述循环槽与所述脱气液供给部件；
泵，所述泵用于经由所述供给配管将存积于所述循环槽的脱气液供给至所述脱气液供给部件；
第1循环配管，所述第1循环配管从所述供给配管的所述泵的下游侧分支并与所述循环槽连接；
供给阀，所述供给阀构成为对所述供给配管的比所述第1循环配管的分支部位靠下游侧进行开闭；
第1循环阀，所述第1循环阀构成为对所述第1循环配管进行开闭；以及
第2循环配管，所述第2循环配管将收容所述工作台、所述清洗液供给部件以及所述脱气液供给部件的预湿室的底部与所述循环槽连接。
10.根据权利要求9所述的预湿模块，其特征在于，进一步包括：
排水盘，所述排水盘构成为接受从所述喷嘴被供给并从所述开闭器部件滴下的清洗液；和
排水配管，所述排水配管用于将所述排水盘接受到的清洗液向所述预湿室的外部排出。
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