KR20240022442A - 프리웨트 모듈 - Google Patents

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미츠토시 야하기
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

상이한 전처리를 행할 수 있는 소형의 프리웨트 모듈을 실현한다.
프리웨트 모듈(200)은, 피처리면 WF-a를 상향으로 한 기판 WF의 이면을 보유 지지하도록 구성된 스테이지(220)와, 스테이지(220)를 회전시키도록 구성된 회전 기구(224)와, 스테이지(220)의 상방에 배치된 노즐(262)을 갖고, 노즐(262)을 통해 스테이지(220)의 방향으로 세정액을 공급하도록 구성된 세정액 공급 부재(260)와, 스테이지(220)에 보유 지지된 기판 WF의 피처리면 WF-a에 탈기액을 공급하도록 구성된 탈기액 공급 부재(250)이며, 노즐(262)과 기판 WF의 피처리면 WF-a 사이의 공급 위치 및 노즐(262)과 기판 WF의 피처리면 WF-a 사이로부터 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 구성된, 탈기액 공급 부재(250)를 포함한다.

Description

프리웨트 모듈
본원은 프리웨트 모듈에 관한 것이다.
기판(예를 들어 반도체 웨이퍼)에 도금 처리를 행하기 위한 도금 장치는, 탈기 처리 등의 각종 전처리를 기판에 대하여 행하는 프리웨트 모듈과, 전처리가 행해진 기판에 도금 처리를 행하는 도금 모듈을 구비하고 있다.
예를 들어 특허문헌 1에는, 제1 기판과 제2 기판을 동시에 보유 지지 가능한 기판 홀더를 구비한 프리웨트 모듈이 개시되어 있다.　이 프리웨트 모듈은, 제1 기판을 탈기조에 침지시켜 탈기 처리하면서 제2 기판에 세정액을 공급하여 세정 처리하는 등, 복수의 기판에 대하여 상이한 전처리를 병행하여 효율적으로 실행하도록 구성되어 있다.
일본 특허 제7008863호 공보
그러나, 종래 기술은, 프리웨트 모듈의 구조를 소형화하는 것에 대해서는 고려되어 있지 않다.
즉, 종래 기술에서는, 탈기액을 모은 탈기조와, 탈기조의 상방으로부터 세정액을 공급하는 노즐 사이에 기판 홀더를 배치하고, 기판 홀더를 상하 반전시키거나 상하 방향으로 이동시키거나 하면서 전처리를 행한다.　이 구성에서는, 기판 홀더를 상하 반전 및 상하 이동시키기 위해 넓은 스페이스가 필요하게 되므로, 프리웨트 모듈의 사이즈, 특히 높이 방향의 사이즈가 커진다.
그래서, 본원은 상이한 전처리를 행할 수 있는 소형의 프리웨트 모듈을 실현하는 것을 하나의 목적으로 하고 있다.
일 실시 형태에 따르면, 피처리면을 상향으로 한 기판의 이면을 보유 지지하도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지를 회전시키도록 구성된 회전 기구와, 상기 스테이지의 상방에 배치된 노즐을 갖고, 상기 노즐을 통해 상기 스테이지의 방향으로 세정액을 공급하도록 구성된 세정액 공급 부재와, 상기 스테이지에 보유 지지된 기판의 피처리면에 탈기액을 공급하도록 구성된 탈기액 공급 부재이며, 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이의 공급 위치 및 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이로부터 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 구성된, 탈기액 공급 부재를 포함하는, 프리웨트 모듈이 개시된다.
도 1은 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3은 일 실시 형태의 프리웨트 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 4a는 도 3에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4b는 도 3에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4c는 도 3에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 일 실시 형태의 프리웨트 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 6a는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6b는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7a는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7b는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7c는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8a는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8b는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9a는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9b는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9c는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9d는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9e는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9f는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9g는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9h는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.　이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 부여하여 중복된 설명을 생략한다.
<도금 장치의 전체 구성>
도 1은 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.　도 2는 본 실시 형태의 도금 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.　도 1, 2에 나타내는 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100), 반송 로봇(110), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200), 프리소크 모듈(300), 도금 모듈(400), 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 반송 장치(700), 및 제어 모듈(800)을 구비한다.
로드 포트(100)는, 도금 장치(1000)에 도시되어 있지 않은 FOUP 등의 카세트에 수납된 기판을 반입하거나, 도금 장치(1000)로부터 카세트로 기판을 반출하기 위한 모듈이다.　본 실시 형태에서는 4대의 로드 포트(100)가 수평 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 로드 포트(100)의 수 및 배치는 임의이다.　반송 로봇(110)은, 기판을 반송하기 위한 로봇이며, 로드 포트(100), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200) 및 스핀 린스 드라이어(600) 사이에서 기판을 주고받도록 구성된다.　반송 로봇(110) 및 반송 장치(700)는, 반송 로봇(110)과 반송 장치(700) 사이에서 기판을 주고받을 때에는, 도시되어 있지 않은 임시 거치대를 통해 기판의 수수를 행할 수 있다.
얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞추기 위한 모듈이다.　본 실시 형태에서는 2대의 얼라이너(120)가 수평 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 얼라이너(120)의 수 및 배치는 임의이다.　프리웨트 모듈(200)은, 도금 처리 전의 기판의 피도금면을 순수 또는 탈기수 등의 처리액으로 적심으로써, 기판 표면에 형성된 패턴 내부의 공기를 처리액으로 치환한다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 시에 패턴 내부의 처리액을 도금액으로 치환함으로써 패턴 내부에 도금액을 공급하기 쉽게 하는 프리웨트 처리를 실시하도록 구성된다.　본 실시 형태에서는 2대의 프리웨트 모듈(200)이 상하 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 프리웨트 모듈(200)의 수 및 배치는 임의이다.
프리소크 모듈(300)은, 예를 들어 도금 처리 전의 기판의 피도금면에 형성한 시드층 표면 등에 존재하는 전기 저항이 큰 산화막을 황산이나 염산 등의 처리액으로 에칭 제거하여 도금 하지 표면을 세정 또는 활성화하는 프리소크 처리를 실시하도록 구성된다.　본 실시 형태에서는 2대의 프리소크 모듈(300)이 상하 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 프리소크 모듈(300)의 수 및 배치는 임의이다.　도금 모듈(400)은, 기판에 도금 처리를 실시한다.　본 실시 형태에서는, 상하 방향으로 3대 또한 수평 방향으로 4대 나란히 배치된 12대의 도금 모듈(400)의 세트가 2개 있고, 합계 24대의 도금 모듈(400)이 마련되어 있지만, 도금 모듈(400)의 수 및 배치는 임의이다.
세정 모듈(500)은, 도금 처리 후의 기판에 남는 도금액 등을 제거하기 위해 기판에 세정 처리를 실시하도록 구성된다.　본 실시 형태에서는 2대의 세정 모듈(500)이 상하 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 세정 모듈(500)의 수 및 배치는 임의이다.　스핀 린스 드라이어(600)는, 세정 처리 후의 기판을 고속 회전시켜 건조시키기 위한 모듈이다.　본 실시 형태에서는 2대의 스핀 린스 드라이어가 상하 방향으로 나란히 배치되어 있지만, 스핀 린스 드라이어의 수 및 배치는 임의이다. 반송 장치(700)는, 도금 장치(1000) 내의 복수의 모듈 사이에서 기판을 반송하기 위한 장치이다.　제어 모듈(800)은, 도금 장치(1000)의 복수의 모듈을 제어하도록 구성되며, 예를 들어 오퍼레이터와의 사이의 입출력 인터페이스를 구비하는 일반적인 컴퓨터 또는 전용 컴퓨터로 구성할 수 있다.
도금 장치(1000)에 의한 일련의 도금 처리의 일례를 설명한다.　먼저, 로드 포트(100)에 카세트에 수납된 기판이 반입된다.　계속해서, 반송 로봇(110)은, 로드 포트(100)의 카세트로부터 기판을 취출하고, 얼라이너(120)에 기판을 반송한다. 얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞춘다.　반송 로봇(110)은, 얼라이너(120)로 방향을 맞춘 기판을 프리웨트 모듈(200)에 전달한다.
프리웨트 모듈(200)은, 기판에 프리웨트 처리를 실시한다.　반송 장치(700)는, 프리웨트 처리가 실시된 기판을 프리소크 모듈(300)에 반송한다.　프리소크 모듈(300)은, 기판에 프리소크 처리를 실시한다.　반송 장치(700)는, 프리소크 처리가 실시된 기판을 도금 모듈(400)에 반송한다.　도금 모듈(400)은, 기판에 도금 처리를 실시한다.
반송 장치(700)는, 도금 처리가 실시된 기판을 세정 모듈(500)에 반송한다. 세정 모듈(500)은, 기판에 세정 처리를 실시한다.　반송 장치(700)는, 세정 처리가 실시된 기판을 스핀 린스 드라이어(600)에 반송한다.　스핀 린스 드라이어(600)는, 기판에 건조 처리를 실시한다.　반송 로봇(110)은, 스핀 린스 드라이어(600)로부터 기판을 수취하고, 건조 처리를 실시한 기판을 로드 포트(100)의 카세트에 반송한다.　마지막으로, 로드 포트(100)로부터 기판을 수납한 카세트가 반출된다.
<프리웨트 모듈의 구성>
다음으로, 프리웨트 모듈(200)의 구성을 설명한다.　본 실시 형태에 있어서의 2대의 프리웨트 모듈(200)은 동일한 구성이므로, 1대의 프리웨트 모듈(200)만을 설명한다.
도 3은 일 실시 형태의 프리웨트 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.　도 3에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF를 보유 지지하도록 구성된 원판 형상의 스테이지(220)를 구비한다.　스테이지(220)는, 기판 WF의 피처리면 WF-a의 이면을 보유 지지하기 위한 기판 보유 지지면(220a)을 갖고 있으며, 피처리면 WF-a를 상향으로 한 상태에서 기판 WF를 보유 지지하도록 구성되어 있다.　스테이지(220)는, 도시되어 있지 않은 진공원에 접속되어 있고, 기판 WF의 이면을 진공 흡착함으로써 기판 WF를 보유 지지하도록 구성된다.　스테이지(220)의 하면의 중앙에는 연직 방향으로 신장되는 샤프트(222)가 설치되어 있다.　프리웨트 모듈(200)은, 샤프트(222)의 축 주위로 스테이지(220)를 회전시키도록 구성된 회전 기구(224)를 구비한다.　회전 기구(224)는, 예를 들어 모터 등 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.　회전 기구(224)는, 세정 처리 및 탈기 처리를 행하고 있을 때 스테이지(220)를 회전시키도록 구성된다.
프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF의 피처리면 WF-a를 세정하기 위한 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재(260)를 구비한다.　세정액 공급 부재(260)는, 기판 WF의 피처리면 WF-a와 대향하도록 스테이지(220)의 상방에 배치된 노즐(262)을 갖는다.　노즐(262)에는, 세정액을 공급하기 위한 배관(270)이 접속되어 있다.　배관(270)에는, 배관(270)을 개폐하기 위한 공급 밸브(272)가 마련된다.　공급 밸브(272)가 열려 있을 때 도시되어 있지 않은 저류 탱크로부터 노즐(262)로 세정액이 공급된다.　세정액 공급 부재(260)는, 노즐(262)을 통해 스테이지(220)의 방향으로 세정액을 공급하도록 구성되어 있다.　이에 의해, 스테이지(220)에 보유 지지된 기판 WF의 피처리면 WF-a를 세정할 수 있다.　세정액 공급 부재(260)는, 도시되어 있지 않은 구동 기구에 의해 수평 방향(기판 WF의 피처리면 WF-a를 따르는 방향)으로 요동하도록 구성되어도 된다.
프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF의 피처리면 WF-a에 탈기액을 공급하기 위한 탈기액 공급 부재(250)를 구비한다.　탈기액 공급 부재(250)는, 탈기액을 토출하기 위한 노즐(252)을 갖는다.　탈기액 공급 부재(250)는, 예를 들어 모터 등의 회전 기구(254)에 의해 이동 가능하게 구성되어 있다.　구체적으로는, 탈기액 공급 부재(250)는, 탈기액 공급 부재(250)를 지지하는 샤프트(256)의 주위로 선회함으로써, 노즐(262)과 기판 WF의 피처리면 WF-a 사이의 공급 위치 및 노즐(262)과 기판 WF의 피처리면 WF-a 사이로부터 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 구성되어 있다.
도 3은 탈기액 공급 부재(250)가 공급 위치에 있는 상태를 나타내고 있고, 후술하는 도 4a는 탈기액 공급 부재(250)가 퇴피 위치에 있는 상태를 나타내고 있다.　탈기액 공급 부재(250)가 공급 위치에 있는 상태에 있어서, 노즐(252)은, 기판 WF의 피처리면 WF-a의 중앙에 대응하는 위치에 배치된다.　회전 기구(224)에 의해 기판 WF를 회전시키면서 노즐(252)로부터 탈기액을 공급하면, 피처리면 WF-a의 중앙에 공급된 탈기액은 원심력에 의해 피처리면 WF-a의 전체에 퍼지므로, 피처리면 WF-a의 전체를 탈기 처리할 수 있다.
프리웨트 모듈(200)은, 탈기액을 저류하도록 구성된 순환조(202)와, 순환조(202)와 탈기액 공급 부재(250)를 접속하는 공급 배관(240)을 구비한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 배관(240)을 통해 순환조(202)에 저류된 탈기액을 탈기액 공급 부재(250)에 공급하기 위한 펌프(204)와, 펌프(204)로부터 토출된 탈기액에 포함되는 용존 산소를 제거하기 위한 탈기 유닛(206)과, 탈기 유닛(206)으로부터 토출된 탈기액에 포함되는 티끌 등을 제거하기 위한 필터(209)를 구비한다. 프리웨트 모듈(200)은, 공급 배관(240)의 펌프(204)의 하류측(구체적으로는 필터(209)의 하류측)으로부터 분기되어 순환조(202)에 접속되는 제1 순환 배관(244)과, 공급 배관(240)의 제1 순환 배관(244)의 분기 개소(240a)보다 하류측을 개폐하도록 구성된 공급 밸브(242)와, 제1 순환 배관(244)을 개폐하도록 구성된 제1 순환 밸브(246)를 구비한다.
프리웨트 모듈(200)은, 펌프(204)를 구동하고, 공급 밸브(242)를 열고, 제1 순환 밸브(246)를 닫음으로써, 탈기액 공급 부재(250)에 탈기액을 공급할 수 있다. 한편, 프리웨트 모듈(200)은, 펌프(204)를 구동하고, 공급 밸브(242)를 닫고, 제1 순환 밸브(246)를 엶으로써, 제1 순환 배관(244)을 통해 탈기액을 순환시키면서 탈기액에 포함되는 용존 산소를 제거할 수 있다.
프리웨트 모듈(200)은, 스테이지(220), 세정액 공급 부재(260), 및 탈기액 공급 부재(250)를 수용하는 프리웨트 챔버(210)의 저부에 접속된 배액 배관(280)과, 배액 배관(280)으로부터 분기되어 순환조(202)에 접속되는 제2 순환 배관(286)을 구비한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 배액 배관(280)의 제2 순환 배관(286)의 분기 개소(280a)보다 하류측을 개폐하도록 구성된 배액 밸브(282)와, 제2 순환 배관(286)을 개폐하도록 구성된 제2 순환 밸브(284)를 구비한다.
프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF의 세정 처리를 행하고 있을 때에는, 배액 밸브(282)를 열고, 제2 순환 밸브(284)를 닫는다.　이에 의해, 세정 처리에 사용된 세정액은, 배액 배관(280)을 통해 프리웨트 챔버(210)의 외부로 배출된다.　한편, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF의 탈기 처리를 행하고 있을 때에는, 배액 밸브(282)를 닫고, 제2 순환 밸브(284)를 연다.　이에 의해, 탈기 처리에 사용된 탈기액은, 제2 순환 밸브(284)를 통해 순환조(202)로 되돌려진다.
다음으로, 프리웨트 모듈(200)의 동작에 대하여 설명한다.　도 4a 내지 도 4c는 도 3에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4a는 프리웨트 모듈(200)의 아이들링 상태를 나타내고 있다.　도 4a에 나타내는 바와 같이, 아이들링 상태에서는, 프리웨트 모듈(200)은, 회전 기구(254)에 의해 탈기액 공급 부재(250)를 선회시켜, 탈기액 공급 부재(250)를 퇴피 위치에 배치한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 닫는다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 펌프(204)를 구동하고, 공급 밸브(242)를 닫고, 제1 순환 밸브(246)를 연다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 배액 밸브(282)를 닫고, 제2 순환 밸브(284)를 연다.　이에 의해, 프리웨트 모듈(200)은, 제1 순환 배관(244)을 통해 탈기액을 순환시키면서 탈기액에 포함되는 용존 산소를 제거한다.
도 4b는 아이들링 상태 후에 기판 WF의 세정 처리를 행하고 있는 상태를 나타내고 있다.　도 4b에 나타내는 바와 같이, 세정 처리 시에는, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF를 보유 지지하는 스테이지(220)를 회전시킨다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 연다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 배액 밸브(282)를 열고, 제2 순환 밸브(284)를 닫는다.　이에 의해, 세정액 공급 부재(260)의 노즐(262)로부터 기판 WF의 피처리면 WF-a로 세정액이 공급된다.　피처리면 WF-a에 공급된 세정액은, 기판 WF의 회전에 수반되는 원심력에 의해 피처리면 WF-a를 따라 퍼져, 피처리면 WF-a를 세정한다.　세정액은 기판 WF의 단부로부터 낙하하고, 프리웨트 챔버(210)의 저면의 경사에 의해 배액 배관(280)으로 유도되어, 프리웨트 챔버(210)의 외부로 배출된다.
도 4c는 세정 처리 후에 기판 WF의 탈기 처리를 행하고 있는 상태를 나타내고 있다.　도 4c에 나타내는 바와 같이, 탈기 처리 시에는, 프리웨트 모듈(200)은, 탈기액 공급 부재(250)를 선회시켜, 탈기액 공급 부재(250)를 공급 위치에 배치한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 닫는다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(242)를 열고, 제1 순환 밸브(246)를 닫는다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 배액 밸브(282)를 닫고, 제2 순환 밸브(284)를 연다.　이에 의해, 탈기액 공급 부재(250)의 노즐(252)로부터 기판 WF의 피처리면 WF-a의 중앙으로 탈기액이 공급된다.　피처리면 WF-a의 중앙에 공급된 탈기액은, 기판 WF의 회전에 수반되는 원심력에 의해 기판 WF의 단부 쪽으로 퍼져, 피처리면 WF-a가 탈기된다. 탈기액은 기판 WF의 단부로부터 낙하하고, 프리웨트 챔버(210)의 저면의 경사에 의해 배액 배관(280)으로 유도되어, 제2 순환 배관(286)을 통해 순환조(202)로 되돌려진다.
본 실시 형태에 따르면, 피처리면 WF-a를 상향으로 한 기판 WF에 대하여 탈기 처리를 행하므로, 피처리면을 하향으로 한 기판을 탈기액에 침지시키는 방식에 비하여, 피처리면에 WF-a에 기포가 고이는 것을 억제할 수 있다.　또한, 본 실시 형태에 따르면, 노즐(262)을 통해 피처리면 WF-a에 세정액을 공급하므로, 기판을 침지시키는 방식에 비하여, 세정액의 사용량이 적어져, 배액 처리도 간편하게 행할 수 있다.　또한, 본 실시 형태에 따르면, 스테이지(220)에 보유 지지된 기판 WF에 대하여 세정 처리 및 탈기 처리를 행할 수 있으므로, 종래 기술과 같이 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전시키거나 상하 이동시키거나 할 필요가 없다.　따라서, 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전 및 상하 이동시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되므로, 프리웨트 모듈(200)의 사이즈, 특히 높이 방향의 사이즈를 작게 할 수 있다.　그 결과, 본 실시 형태에 따르면, 상이한 전처리(세정 처리와 탈기 처리)를 행할 수 있는 소형의 프리웨트 모듈(200)을 실현할 수 있다.　또한, 본 실시 형태에서는, 도금 장치(1000)가, 상하 배치된 2대의 프리웨트 모듈(200)을 구비하는 예를 나타냈지만, 프리웨트 모듈(200)을 소형화할 수 있으므로, 예를 들어 3대의 프리웨트 모듈(200)을 상하 배치할 수도 있다.
다음으로, 프리웨트 모듈(200)의 다른 실시 형태를 설명한다.　도 5는 일 실시 형태의 프리웨트 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 종단면도이다.　도 3을 사용하여 설명한 프리웨트 모듈과 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 WF의 보유 지지 및 수수를 행하기 위한 기판 스테이션(230)을 구비한다.　기판 스테이션(230)은, 공급 위치에 배치된 탈기액 공급 부재(250)와 노즐(262) 사이의 세정 위치에 있어서 피처리면 WF-a를 상향으로 한 기판 WF를 보유 지지함과 함께, 스테이지(220)와의 사이에서 기판을 주고받기 위해 승강하도록 구성되어 있다.　구체적으로는, 기판 스테이션(230)은, 기판의 피처리면의 이면을 보유 지지하기 위한 제1 암 부재(230-1) 및 제2 암 부재(230-2)를 구비한다.　제1 암 부재(230-1)와 제2 암 부재(230-2)는 수평 방향으로 나란히 이격되어 배치되어 있다.　제1 암 부재(230-1)와 제2 암 부재(230-2)는, 서로 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.　제1 암 부재(230-1)와 제2 암 부재(230-2)는, 서로 가까워진 기판 보유 지지 위치에 있을 때 기판을 보유 지지하도록 구성된다.　제1 암 부재(230-1)와 제2 암 부재(230-2)는, 스테이지(220)에 대하여 기판의 수수를 행할 때, 승강하도록 구성되어 있다.
프리웨트 모듈(200)은, 기판 스테이션(230)의 승강로를 차폐 및 개방하도록 구성된 셔터 부재(290)를 구비한다.　셔터 부재(290)는, 세정 위치에 배치된 기판 스테이션(230)에 보유 지지된 기판 WF에 대하여 노즐(262)로부터 세정액을 공급할 때, 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 스테이션(230)의 승강로, 즉 기판 스테이션(230)과 스테이지(220) 사이를 차폐하도록 구성된다.　한편, 셔터 부재(290)는, 예를 들어 후술하는 도 9b에 나타내는 바와 같이, 기판 스테이션(230)과 스테이지(220) 사이에서 기판의 수수가 행해질 때, 기판 스테이션(230)의 승강로를 개방하도록 구성된다.
본 실시 형태에서는, 회전 기구(224)는, 탈기 처리를 행하고 있을 때 스테이지(220)를 회전시키도록 구성된다.　또한, 본 실시 형태에서는, 배액 배관(280)은 마련되어 있지 않고, 그 대신에, 제2 순환 배관(286)이 프리웨트 챔버(210)의 저부와 순환조(202)를 직접 접속하고 있다.　제2 순환 배관(286)에는 밸브는 마련되어 있지 않다.　이에 의해, 탈기 처리에 사용된 탈기액은 순환조(202)로 직접 순환된다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 노즐(262)로부터 공급되어 기판 WF를 세정한 후에 셔터 부재(290)로부터 적하한 세정액을 받도록 구성된 드레인 팬(296)을 구비한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 드레인 팬(296)이 받은 세정액을 프리웨트 챔버(210)의 외부로 배출하기 위한 드레인 배관(288)을 구비한다.　드레인 배관(288)은, 제2 순환 배관(286)과는 독립적으로 세정액을 배출하도록 구성되어 있다.　이에 의해, 세정액이 순환조(202)에 혼입되는 것을 억제할 수 있다.
다음으로, 셔터 부재(290)의 상세를 설명한다.　도 6a 및 도 6b는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.　도 6a에 나타내는 바와 같이, 셔터 부재(290)는, 좌우 대칭으로 배치된 제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)를 갖는다.　셔터 부재(290)는, 제1 셔터 부재(290a) 및 제2 셔터 부재(290b)를 개폐함으로써, 기판 스테이션(230)의 승강로를 개방 및 차폐하도록 구성된다.　제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)는 마찬가지의 구성을 가지므로, 제1 셔터 부재(290a)에 대해서만 설명한다.
도 6a 및 도 6b에 나타내는 바와 같이, 제1 셔터 부재(290a)는, 복수매(본 실시 형태에서는 4매)의 직사각형의 플레이트(293-1 내지 293-4)를 갖는다.　플레이트(293-1 내지 293-4)의 사이에는 레일 및 슬라이더가 마련되어 있다.　플레이트(293-1 내지 293-4)는, 레일 및 슬라이더를 통해 서로 슬라이드 이동할 수 있도록 연결되어 있다.　구체적으로는, 플레이트(293-2)의 상면에는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향으로 신장되는 레일(293-2b)와, 레일(293-2b)을 따라 이동 가능한 슬라이더(293-2c)가 마련되어 있다.　플레이트(293-1)는, 슬라이더(293-2c)를 통해 플레이트(293-2)에 연결되어 있다.　이에 의해, 플레이트(293-1)는, 플레이트(293-2)에 대하여 슬라이드 이동 가능하게 연결된다.　마찬가지로, 플레이트(293-2)는, 플레이트(293-3)에 대하여 슬라이드 이동 가능하게 연결되고, 플레이트(293-3)는, 플레이트(293-4)에 대하여 슬라이드 이동 가능하게 연결된다.　드레인 팬(296)은, 플레이트(293-4)의 하단부의 하방에 배치된다.
플레이트(293-1)는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향에 직교하는 방향의 양단부에 형성된 위어(293-1a)를 갖는다.　위어(293-1a)가 형성되어 있음으로써 플레이트(293-1)의 상면에 적하한 세정액이, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향에 직교하는 방향으로 흘러 떨어지는 것을 방지하고 있다.　이 점은 플레이트(293-2 내지 293-4)도 마찬가지이다.　또한, 플레이트(293-1 내지 293-4)의 상면은, 제1 셔터 부재(290a)를 닫았을 때, 드레인 팬(296)의 방향으로 내려가는 경사면을 형성한다. 이에 의해, 플레이트(293-1 내지 293-4)의 상면에 적하한 세정액은 드레인 팬(296)으로 유입된다.
플레이트(293-4)의 하단부는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향과 직교하는 수평 방향으로 신장되는 고정축(291)에 접속되어 있다.　플레이트(293-4)는, 고정축(291) 주위로 회전 가능하게 되어 있다.　한편, 플레이트(293-1)의 상단부는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향과 직교하는 수평 방향으로 신장되는 가동축(292)에 접속되어 있다.　가동축(292)의 양단부는 각각 지지 기둥(294)에 접속되어 있다. 지지 기둥(294)은 각각 회전 기구(295)에 접속되어 있고, 회전 기구(295)를 중심으로 회전 가능하게 되어 있다.　회전 기구(295)는, 플레이트(293-1 내지 293-4)를 펼치도록 슬라이드 이동시켜 기판 스테이션(230)의 승강로를 차폐함과 함께, 플레이트(293-1 내지 293-4)를 접도록 슬라이드 이동시켜 기판 스테이션(230)의 승강로를 개방하도록 구성된 구동 기구의 일례이다.　회전 기구(295)는, 예를 들어 로터리 실린더 등 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.
도 6b의 시점에 있어서 지지 기둥(294)을 시계 방향으로 회전시킴으로써, 제1 셔터 부재(290a)를 차폐 상태(기판 스테이션(230)의 승강로를 차폐한 상태)로 할 수 있다.　한편, 도 6b의 시점에 있어서 지지 기둥(294)을 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 플레이트(293-1 내지 293-4)를 접어서 제1 셔터 부재(290a)를 개방 상태(기판 스테이션(230)의 승강로를 개방한 상태)로 할 수 있다.　또한, 제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)는, 좌우 대칭으로 마찬가지의 구성을 갖지만, 도 6a에 나타내는 바와 같이, 차폐 상태에 있어서 플레이트(293-1)의 상단부끼리가 상하 방향으로 겹치도록 배치되어 있다.　이에 의해, 셔터 부재(290)에 적하한 세정액이, 제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b) 사이에서 낙하하는 것을 억제할 수 있다.
셔터 부재(290)는, 탈기액에 세정액이 혼입되는 것을 억제하는 기능을 갖는다.　즉, 제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)를 차폐 상태로 함으로써, 기판 스테이션(230)에 보유 지지된 기판 WF의 세정에 사용한 세정액이, 스테이지(220)에 보유 지지된 기판에 적하하거나, 프리웨트 챔버(210)의 저부에 혼입되거나 하는 것을 억제할 수 있다.　구체적으로는, 노즐(262)로부터 토출된 세정액은 기판 스테이션(230)에 보유 지지된 기판 WF를 세정한 후, 플레이트(293-1 내지 293-4)의 상면에 적하하고, 플레이트(293-1 내지 293-4)의 경사를 따라 드레인 팬(296)으로 흐른다.　드레인 팬(296)으로 흐른 세정액은, 드레인 배관(288)을 통해 프리웨트 챔버(210)의 외부로 배출된다.
또한, 상기에서는 일례로서 슬라이드식의 셔터 부재(290)를 설명했지만, 이 구조에 한정되지 않는다.　도 7a 내지 도 7c는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.　도 7a 내지 도 7c에 나타내는 바와 같이, 롤식의 셔터 부재(290)를 사용할 수도 있다.　즉, 셔터 부재(290)는, 좌우 대칭으로 배치된 제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)를 갖는다.　제1 셔터 부재(290a)와 제2 셔터 부재(290b)는 마찬가지의 구성을 가지므로, 제1 셔터 부재(290a)에 대해서만 설명한다.
제1 셔터 부재(290a)는, 권취 가능한 스크린 부재(297)를 갖는다.　스크린 부재(297)는, 일례에서는 수지제의 것을 사용할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 스크린 부재(297)의 하단부는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향과 직교하는 수평 방향으로 신장되는 고정축(291)에 접속되어 있다.　고정축(291)은, 태엽 스프링(298)에 접속되어 있다.　한편, 스크린 부재(297)의 상단부에는, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향과 직교하는 수평 방향으로 신장되는 봉 형상의 프레임(297-1)이 고정되어 있다.
도 7c에 나타내는 바와 같이, 프레임(297-1)은, 양단부가 중앙부보다 높아지도록 비스듬하게 위로 신장되는 경사부(297-1a)를 갖는다.　경사부(297-1a)가 형성되어 있음으로써 스크린 부재(297)의 상면에 적하한 세정액이, 제1 셔터 부재(290a)의 개폐 방향에 직교하는 방향으로 흘러 떨어지는 것을 방지하고 있다. 스크린 부재(297)의 상면은, 제1 셔터 부재(290a)를 닫았을 때, 드레인 팬(296)의 방향으로 내려가는 경사면을 형성한다.　이에 의해, 스크린 부재(297)의 상면에 적하한 세정액은 드레인 팬(296)으로 유입된다.
프레임(297-1)의 양단부는 각각 지지 기둥(294)에 접속되어 있다.　지지 기둥(294)은 각각 회전 기구(295)에 접속되어 있고, 회전 기구(295)를 중심으로 회전 가능하게 되어 있다.　회전 기구(295)는, 기판 스테이션(230)의 승강로를 차폐하도록 스크린 부재(297)를 펼치기 위한 구동력을 공급하는 구동 기구의 일례이다.　태엽 스프링(298)은, 이 구동력이 공급되어 있지 않을 때 스크린 부재(297)를 권취하기 위한 권취 기구의 일례이다.　상기의 실시 형태와 마찬가지로, 도 7a의 시점에서 지지 기둥(294)을 시계 방향으로 회전시킴으로써, 제1 셔터 부재(290a)를 차폐 상태로 할 수 있다.　또한, 지지 기둥(294)을 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 스크린 부재(297)가 태엽 스프링(298)에 의해 권취되어, 제1 셔터 부재(290a)를 개방 상태로 할 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 셔터 부재의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.　도 8a 및 도 8b에 나타내는 바와 같이, 셔터 부재(290)는 부채형의 커버 부재를 포함하고 있어도 된다.　즉, 셔터 부재(290)는, 복수매(본 실시 형태에서는 4매)의 부채 형상의 판상 커버 부재(298-1 내지 298-4)를 갖는다.　커버 부재(298-1 내지 298-4)는, 서로 각도를 비켜 놓아 상하 방향으로 겹쳐 배치된다.　커버 부재(298-1 내지 298-3)는, 연직 방향에 대하여 약간 경사진 샤프트(299-1)에 대하여 회전 가능하게 접속되어 있다.　커버 부재(298-1)는, 샤프트(299-1)에 대하여 회전 가능하게 접속된 주날개이며, 커버 부재(298-2, 3)는, 주날개의 회전에 연동되어 샤프트(299-1)에 대하여 회전하도록 구성된 부날개이다.　커버 부재(298-4)는, 샤프트(299-1)에 대하여 고정 접속된 고정 날개이다.　본 실시 형태에서는, 커버 부재(298-1)가 최상위에 배치되고, 커버 부재(298-4)가 최하위에 배치된다.
셔터 부재(290)는, 커버 부재(298-1)(주날개)를 샤프트(299-1)의 주위로 회전시키기 위한 회전 기구(299-2)를 갖는다.　회전 기구(299-2)는, 예를 들어 로터리 실린더 등 공지된 기구에 의해 실현할 수 있다.　회전 기구(299-2)에 의해 커버 부재(298-1)(주날개)를 회전시킴으로써, 셔터 부재(290)를 차폐 상태와 개방 상태 사이에서 전환할 수 있다.　즉, 회전 기구(299-2)는, 주날개를 한 방향으로 회전시켜 커버 부재(298-1 내지 298-4)를 펼침으로써 기판 스테이션(230)의 승강로를 차폐하도록 구성된다.　또한, 회전 기구(299-2)는, 주날개를 반대 방향으로 회전시켜 커버 부재(298-1 내지 298-4)를 접음으로써 기판 스테이션(230)의 승강로를 개방하도록 구성된다.
보다 구체적으로는, 커버 부재(298-1)는, 원호 형상의 외주부에 노치(298-1a)가 형성되어 있다.　이에 의해, 커버 부재(298-1)의 원호 형상의 외주부의 양단에는 돌기(298-1b, 298-1c)가 형성된다.　커버 부재(298-2)도 마찬가지로 원호 형상의 외주부의 양단에 돌기(298-2b, 298-2c)가 형성된다.　2개의 돌기(298-2b, 298-2c) 중, 커버 부재(298-1)와 겹치는 쪽의 돌기(298-2b)에는, 커버 부재(298-1)의 돌기(298-1c)의 높이까지 상측 방향으로 신장되는 핀(298-2d)이 형성되어 있다.
도 8a의 시점에서 커버 부재(298-1)(주날개)를 반시계 방향으로 회전시키면, 돌기(298-1c)가 핀(298-2d)에 접촉한다.　이에 의해, 커버 부재(298-1)(주날개)는 커버 부재(298-2)(부날개)를 동반하여 반시계 방향으로 회전시킨다.　또한, 커버 부재(298-3)(부날개)는 커버 부재(298-2)와 마찬가지의 구조를 갖고 있다.　따라서, 커버 부재(298-2)(부날개)는 커버 부재(298-3)(부날개)를 동반하여 반시계 방향으로 회전시킨다.　커버 부재(298-4)(고정 날개)는 샤프트(299-1)에 대하여 고정 접속되어 있으므로, 커버 부재(298-3)의 돌기가 커버 부재(298-4)의 핀에 접촉하면, 커버 부재(298-1 내지 298-3)의 회전은 멈춘다.　이에 의해, 커버 부재(298-1 내지 298-4)가 펼쳐져, 셔터 부재(290)는 차폐 상태로 된다.　샤프트(299-1)가 연직 방향에 대하여 경사져 있으므로, 커버 부재(298-1 내지 298-4)의 상면은, 도 8b에 나타내는 바와 같이 드레인 팬(296)의 방향으로 내려가는 경사면을 형성한다. 이에 의해, 커버 부재(298-1 내지 298-4)의 상면에 적하한 세정액은 드레인 팬(296)으로 유입된다.　또한, 본 실시 형태에서는, 샤프트(299-1)가 연직 방향에 대하여 경사진 예를 나타냈지만, 이에 한정되지 않고, 샤프트(299-1)는 연직 방향으로 신장되어 있어도 된다.　이 경우에도, 커버 부재(298-1 내지 298-4)는, 드레인 팬(296)의 방향으로 내려가는 경사면이 형성되어 있으면 된다.
한편, 차폐 상태로부터 도 8a의 시점에서 커버 부재(298-1)(주날개)를 시계 방향으로 회전시키면, 돌기(298-1b)가 핀(298-2d)에 접촉한다.　이에 의해, 커버 부재(298-1)(주날개)는 커버 부재(298-2)(부날개)를 끌어 시계 방향으로 회전시킨다.　마찬가지로 커버 부재(298-2)(부날개)는 커버 부재(298-3)(부날개)를 끌어 시계 방향으로 회전시킨다.　커버 부재(298-3)의 돌기가 커버 부재(298-4)의 핀에 접촉하면, 커버 부재(298-1 내지 298-3)의 회전은 멈춘다.　이에 의해, 커버 부재(298-1 내지 298-4)가 접혀, 셔터 부재(290)는 개방 상태로 된다.
본 실시 형태에 따르면, 종래 기술과 같이 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전시키거나 상하 이동시키거나 할 필요가 없다.　따라서, 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전 및 상하 이동시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되므로, 프리웨트 모듈(200)의 사이즈, 특히 높이 방향의 사이즈를 작게 할 수 있다.　또한, 본 실시 형태에 따르면, 기판 스테이션(230)과 셔터 부재(290)를 마련함으로써, 기판의 세정 영역과 탈기 영역을 분리할 수 있으므로, 세정 처리와 탈기 처리를 병행하여 효율적으로 행할 수 있는 소형의 프리웨트 모듈(200)을 실현할 수 있다.
다음으로, 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈(200)의 동작에 대하여 설명한다.　도 9a 내지 도 9h는 도 5에 나타낸 프리웨트 모듈의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 9a는 기판 WF의 세정 처리를 행하고 있는 상태를 나타내고 있다.　도 9a에 나타내는 바와 같이, 세정 처리 시에는, 프리웨트 모듈(200)은, 반송 로봇(110)으로부터 전달된 제1 기판 WF-1을 기판 스테이션(230)에 의해 보유 지지한다.　이때, 기판 스테이션(230)은, 노즐(262)의 바로 아래(노즐(262)과 셔터 부재(290) 사이)의 세정 위치에 배치되어 있고, 피처리면 WF-1a를 상향으로 하여 제1 기판 WF-1의 이면을 보유 지지한다.　프리웨트 모듈(200)은, 셔터 부재(290)를 차폐 상태로 한다.
프리웨트 모듈(200)은, 탈기액 공급 부재(250)를 퇴피 위치에 배치한다.　프리웨트 모듈(200)은, 펌프(204)를 구동하고, 공급 밸브(242)를 닫고, 제1 순환 밸브(246)를 연다.　이에 의해, 프리웨트 모듈(200)은, 탈기액을 순환시키면서 탈기액에 포함되는 용존 산소를 제거한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 연다.　이에 의해, 세정액 공급 부재(260)의 노즐(262)로부터 제1 기판 WF-1의 피처리면 WF-1a로 세정액이 공급된다.　세정액은 피처리면 WF-1a를 세정한 후에 셔터 부재(290)에 낙하하고, 셔터 부재(290)의 경사에 의해 드레인 팬(296)으로 흐른다.　드레인 팬(296)으로 흐른 세정액은, 드레인 배관(288)을 통해 프리웨트 챔버(210)의 외부로 배출된다.
제1 기판 WF-1의 세정 처리가 종료되면, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 닫는다.　계속해서, 프리웨트 모듈(200)은, 셔터 부재(290)를 개방 상태로 한다.　계속해서, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 스테이션(230)을 기판의 수수 위치까지 하강시켜 제1 기판 WF-1을 스테이지(220)에 전달한다.
계속해서, 도 9c에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 기판 스테이션(230)을 세정 위치까지 상승시킨다.　계속해서, 프리웨트 모듈(200)은, 탈기액 공급 부재(250)를 공급 위치에 배치한다.
계속해서, 도 9d에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 스테이지(220)를 회전시킴과 함께, 공급 밸브(242)를 열고, 제1 순환 밸브(246)를 닫는다.　이에 의해, 탈기액 공급 부재(250)의 노즐(252)로부터 제1 기판 WF-1의 피처리면 WF-1a의 중앙으로 탈기액이 공급된다.　피처리면 WF-1a의 중앙에 공급된 탈기액은, 제1 기판 WF-1의 회전에 의한 원심력에 의해 제1 기판 WF-1의 단부 쪽으로 퍼져, 피처리면 WF-1a를 탈기한다.　탈기액은 제1 기판 WF-1의 단부로부터 낙하하고, 프리웨트 챔버(210)의 저면의 경사에 의해 제2 순환 배관(286)으로 유도되어, 순환조(202)로 되돌려진다.
계속해서, 도 9e에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 반송 로봇(110)으로부터 전달된 제2 기판 WF-2를 기판 스테이션(230)에 의해 보유 지지한다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 셔터 부재(290)를 차폐 상태로 한다.
계속해서, 도 9f에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(272)를 연다.　이에 의해, 세정액 공급 부재(260)의 노즐(262)로부터 제2 기판 WF-2의 피처리면 WF-2a로 세정액이 공급되어, 피처리면 WF-2a가 세정된다.　본 실시 형태에 따르면, 제1 기판 WF-1을 탈기 처리함과 동시에 제2 기판 WF-2를 세정 처리할 수 있으므로, 복수의 기판에 대하여 상이한 전처리를 병행하여 효율적으로 실행할 수 있다.
계속해서, 도 9g에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 공급 밸브(242)를 닫고, 제1 순환 밸브(246)를 연다.　또한, 프리웨트 모듈(200)은, 탈기액 공급 부재(250)를 퇴피 위치에 배치한다.
계속해서, 도 9h에 나타내는 바와 같이, 프리웨트 모듈(200)은, 제1 기판 WF-1을 반송 장치(700)에 의해 프리웨트 모듈(200)로부터 반출한다.　프리웨트 모듈(200)은, 이후, 후속의 기판에 대하여 마찬가지의 처리를 반복한다.
본 실시 형태에 따르면, 종래 기술과 같이 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전시키거나 상하 이동시키거나 할 필요가 없다.　따라서, 기판을 보유 지지하는 기구를 상하 반전 및 상하 이동시키기 위한 스페이스가 불필요하게 되므로, 프리웨트 모듈(200)의 사이즈, 특히 높이 방향의 사이즈를 작게 할 수 있다.　그 결과, 본 실시 형태에 따르면, 상이한 전처리(세정 처리와 탈기 처리)를 병행하여 행할 수 있는 소형의 프리웨트 모듈(200)을 실현할 수 있다.
이상, 몇몇의 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것은 아니다.　본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다.　또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는 생략이 가능하다.
본원은, 일 실시 형태로서, 피처리면을 상향으로 한 기판의 이면을 보유 지지하도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지를 회전시키도록 구성된 회전 기구와, 상기 스테이지의 상방에 배치된 노즐을 갖고, 상기 노즐을 통해 상기 스테이지의 방향으로 세정액을 공급하도록 구성된 세정액 공급 부재와, 상기 스테이지에 보유 지지된 기판의 피처리면에 탈기액을 공급하도록 구성된 탈기액 공급 부재이며, 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이의 공급 위치, 및 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이로부터 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 구성된, 탈기액 공급 부재를 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 탈기액을 저류하도록 구성된 순환조와, 상기 순환조와 상기 탈기액 공급 부재를 접속하는 공급 배관과, 상기 공급 배관을 통해 상기 순환조에 저류된 탈기액을 상기 탈기액 공급 부재에 공급하기 위한 펌프와, 상기 공급 배관의 상기 펌프의 하류측으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제1 순환 배관과, 상기 공급 배관의 상기 제1 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 공급 밸브와, 상기 제1 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제1 순환 밸브를 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 스테이지, 상기 세정액 공급 부재, 및 상기 탈기액 공급 부재를 수용하는 프리웨트 챔버의 저부에 접속된 배액 배관과, 상기 배액 배관으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제2 순환 배관과, 상기 배액 배관의 상기 제2 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 배액 밸브와, 상기 제2 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제2 순환 밸브를 더 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 공급 위치에 배치된 상기 탈기액 공급 부재와 상기 노즐 사이의 세정 위치에 있어서 피처리면을 상향으로 한 기판을 보유 지지함과 함께, 상기 스테이지와의 사이에서 기판을 주고받기 위해 승강하도록 구성된 기판 스테이션과, 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐 및 개방하도록 구성된 셔터 부재를 더 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 셔터 부재는, 상기 세정 위치에 배치된 상기 기판 스테이션에 보유 지지된 기판에 대하여 상기 노즐로부터 세정액을 공급할 때 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐하고, 상기 기판 스테이션과 상기 스테이지 사이에서 기판의 수수가 행해질 때 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성되는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 셔터 부재는, 복수매의 플레이트와, 상기 복수매의 플레이트 사이에 마련된 레일과, 상기 레일을 따라 슬라이드 이동 가능한 슬라이더이며, 상기 복수매의 플레이트를 연결하는 슬라이더와, 상기 복수매의 플레이트를 슬라이드 이동시켜 펼침으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐함과 함께, 상기 복수매의 플레이트를 슬라이드 이동시켜 접음으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성된 구동 기구를 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 셔터 부재는, 권취 가능한 스크린 부재와, 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐하도록 상기 스크린 부재를 펼치기 위한 구동력을 공급하는 구동 기구와, 상기 구동력이 공급되어 있지 않을 때 상기 스크린 부재를 권취하기 위한 권취 기구를 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 셔터 부재는, 샤프트와, 상기 샤프트에 대하여 회전 가능하게 접속된 주날개, 및 상기 주날개의 회전에 연동되어 상기 샤프트에 대하여 회전하도록 구성된 부날개를 포함하는, 복수매의 커버 부재와, 상기 주날개를 한 방향으로 회전시켜 상기 복수의 커버 부재를 펼침으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐함과 함께, 상기 주날개를 반대 방향으로 회전시켜 상기 복수의 커버 부재를 접음으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성된 회전 기구를 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 탈기액을 저류하도록 구성된 순환조와, 상기 순환조와 상기 탈기액 공급 부재를 접속하는 공급 배관과, 상기 공급 배관을 통해 상기 순환조에 저류된 탈기액을 상기 탈기액 공급 부재에 공급하기 위한 펌프와, 상기 공급 배관의 상기 펌프의 하류측으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제1 순환 배관과, 상기 공급 배관의 상기 제1 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 공급 밸브와, 상기 제1 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제1 순환 밸브와, 상기 스테이지, 상기 세정액 공급 부재, 및 상기 탈기액 공급 부재를 수용하는 프리웨트 챔버의 저부와 상기 순환조를 접속하는 제2 순환 배관을 더 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
또한, 본원은, 일 실시 형태로서, 상기 노즐로부터 공급되어 상기 셔터 부재로부터 적하한 세정액을 받도록 구성된 드레인 팬과, 상기 드레인 팬이 받은 세정액을 상기 프리웨트 챔버의 외부로 배출하기 위한 드레인 배관을 더 포함하는, 프리웨트 모듈을 개시한다.
200: 프리웨트 모듈
202: 순환조
204: 펌프
210: 프리웨트 챔버
220: 스테이지
224: 회전 기구
230: 기판 스테이션
240: 공급 배관
240a: 분기 개소
242: 공급 밸브
244: 제1 순환 배관
246: 제1 순환 밸브
250: 탈기액 공급 부재
252: 노즐
254: 회전 기구
260: 세정액 공급 부재
262: 노즐
280: 배액 배관
280a: 분기 개소
282: 배액 밸브
284: 제2 순환 밸브
286: 제2 순환 배관
288: 드레인 배관
290: 셔터 부재
290a: 제1 셔터 부재
290b: 제2 셔터 부재
293-1 내지 293-4: 플레이트
293-2b: 레일
293-2c: 슬라이더
295: 회전 기구
296: 드레인 팬
297: 스크린 부재
298-1 내지 298-4: 커버 부재
299-1: 샤프트
299-2: 회전 기구
WF: 기판
WF-a: 피처리면

Claims (10)

  1. 피처리면을 상향으로 한 기판의 이면을 보유 지지하도록 구성된 스테이지와,
    상기 스테이지를 회전시키도록 구성된 회전 기구와,
    상기 스테이지의 상방에 배치된 노즐을 갖고, 상기 노즐을 통해 상기 스테이지의 방향으로 세정액을 공급하도록 구성된 세정액 공급 부재와,
    상기 스테이지에 보유 지지된 기판의 피처리면에 탈기액을 공급하도록 구성된 탈기액 공급 부재이며, 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이의 공급 위치, 및 상기 노즐과 상기 기판의 피처리면 사이로부터 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 구성된, 탈기액 공급 부재를
    포함하는,
    프리웨트 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    탈기액을 저류하도록 구성된 순환조와,
    상기 순환조와 상기 탈기액 공급 부재를 접속하는 공급 배관과,
    상기 공급 배관을 통해 상기 순환조에 저류된 탈기액을 상기 탈기액 공급 부재에 공급하기 위한 펌프와,
    상기 공급 배관의 상기 펌프의 하류측으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제1 순환 배관과,
    상기 공급 배관의 상기 제1 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 공급 밸브와,
    상기 제1 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제1 순환 밸브를
    포함하는,
    프리웨트 모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 스테이지, 상기 세정액 공급 부재, 및 상기 탈기액 공급 부재를 수용하는 프리웨트 챔버의 저부에 접속된 배액 배관과,
    상기 배액 배관으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제2 순환 배관과,
    상기 배액 배관의 상기 제2 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 배액 밸브와,
    상기 제2 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제2 순환 밸브를
    더 포함하는,
    프리웨트 모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 공급 위치에 배치된 상기 탈기액 공급 부재와 상기 노즐 사이의 세정 위치에 있어서 피처리면을 상향으로 한 기판을 보유 지지함과 함께, 상기 스테이지와의 사이에서 기판을 주고받기 위해 승강하도록 구성된 기판 스테이션과,
    상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐 및 개방하도록 구성된 셔터 부재를
    더 포함하는,
    프리웨트 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 셔터 부재는, 상기 세정 위치에 배치된 상기 기판 스테이션에 보유 지지된 기판에 대하여 상기 노즐로부터 세정액을 공급할 때 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐하고, 상기 기판 스테이션과 상기 스테이지 사이에서 기판의 수수가 행해질 때 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성되는,
    프리웨트 모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 셔터 부재는,
    복수매의 플레이트와,
    상기 복수매의 플레이트 사이에 마련된 레일과,
    상기 레일을 따라 슬라이드 이동 가능한 슬라이더이며, 상기 복수매의 플레이트를 연결하는 슬라이더와,
    상기 복수매의 플레이트를 슬라이드 이동시켜 펼침으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐함과 함께, 상기 복수매의 플레이트를 슬라이드 이동시켜 접음으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성된 구동 기구를
    포함하는,
    프리웨트 모듈.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 셔터 부재는,
    권취 가능한 스크린 부재와,
    상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐하도록 상기 스크린 부재를 펼치기 위한 구동력을 공급하는 구동 기구와,
    상기 구동력이 공급되어 있지 않을 때 상기 스크린 부재를 권취하기 위한 권취 기구를
    포함하는,
    프리웨트 모듈.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 셔터 부재는,
    샤프트와,
    상기 샤프트에 대하여 회전 가능하게 접속된 주날개, 및 상기 주날개의 회전에 연동되어 상기 샤프트에 대하여 회전하도록 구성된 부날개를 포함하는, 복수매의 커버 부재와,
    상기 주날개를 한 방향으로 회전시켜 상기 복수의 커버 부재를 펼침으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 차폐함과 함께, 상기 주날개를 반대 방향으로 회전시켜 상기 복수의 커버 부재를 접음으로써 상기 기판 스테이션의 승강로를 개방하도록 구성된 회전 기구를
    포함하는,
    프리웨트 모듈.
  9. 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    탈기액을 저류하도록 구성된 순환조와,
    상기 순환조와 상기 탈기액 공급 부재를 접속하는 공급 배관과,
    상기 공급 배관을 통해 상기 순환조에 저류된 탈기액을 상기 탈기액 공급 부재에 공급하기 위한 펌프와,
    상기 공급 배관의 상기 펌프의 하류측으로부터 분기되어 상기 순환조에 접속되는 제1 순환 배관과,
    상기 공급 배관의 상기 제1 순환 배관의 분기 개소보다 하류측을 개폐하도록 구성된 공급 밸브와,
    상기 제1 순환 배관을 개폐하도록 구성된 제1 순환 밸브와,
    상기 스테이지, 상기 세정액 공급 부재, 및 상기 탈기액 공급 부재를 수용하는 프리웨트 챔버의 저부와 상기 순환조를 접속하는 제2 순환 배관을
    더 포함하는,
    프리웨트 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 노즐로부터 공급되어 상기 셔터 부재로부터 적하한 세정액을 받도록 구성된 드레인 팬과,
    상기 드레인 팬이 받은 세정액을 상기 프리웨트 챔버의 외부로 배출하기 위한 드레인 배관을
    더 포함하는,
    프리웨트 모듈.
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