CN117415213A - 一种探针卡成型设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种探针卡成型设备，包括具有工作平台的机架，探针卡成型设备还包括供料装置、引料装置和冲料装置，供料装置、引料装置和冲料装置依次设置于工作平台的相邻位置，冲料装置包括用于对探针料进行冲压成型并裁切为成品探针卡的探针卡冲裁模具和向探针卡冲裁模具提供动力的动力组件，引料装置用于使供料装置提供的探针料进行校直并向冲料装置中递送，冲料装置用于对探针料进行冲压成型并裁切为成品探针卡。所述探针卡成型设备采用了自动化技术，因此解决了以往探针卡生产依靠人工操作冲床生产效率低，耗费人工，且质量不稳定的问题，从而体现了该探针卡成型设备在性能上的优越性。

Description

一种探针卡成型设备

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种探针卡成型设备。

背景技术

探针卡是一种用于半导体行业的关键测试工具，用于在晶圆或芯片生产过程中接触测试电子器件的性能。以往探针卡的生产依靠人手工依靠冲床进行冲压成型并冲裁成成品这两个步骤来进行探针卡的生产，因此存在着生产效率低、耗费人工、产品一致性差且质量不稳定的问题。因此探针卡生产技术人员希望有一种新的装置对上述问题进行解决。

发明内容

有鉴于此，提供一种探针卡成型设备，其采用了一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡模具，并使用自动化的生产技术，对探针料的供料和上料以及冲裁成成品探针卡等整个生产过程实现了自动化生产，因此其不但提高了生产效率，节省了人工，更提高了探针卡生产的质量和成品探针卡产品的一致性。

一种探针卡成型设备，包括具有工作平台的机架，所述探针卡成型设备还包括供料装置、引料装置和冲料装置，所述供料装置、所述引料装置和所述冲料装置依次设置于所述工作平台的相邻位置。

具体地，所述供料装置包括由供料电机驱动而进行转动的卷料筒，所述卷料筒通过缠绕探针料而储存探针料，所述卷料筒转动时，缠绕在所述卷料筒上的探针料被释放出而向所述探针卡成型设备供料。

具体地，所述引料装置包括具有送料轮的送料组件、送料电机、具有能转动的压料轮的下压组件、具有前引导轴的前引导组件，所述送料电机驱动所述送料轮旋转，所述下压组件通过所述压料轮挤压接触所述送料轮而使所述压料轮旋转，所述送料轮与所述压料轮挤压接触旋转使位于所述送料轮与所述压料轮挤压接触之间的探针料向前递送，所述前引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的前导孔。

具体地，所述冲料装置包括用于对探针料进行冲压成型并裁切为成品探针的探针卡冲裁模具和向所述探针卡冲裁模具提供动力的动力组件，所述引料装置用于使所述供料装置提供的探针料进行校直并向所述探针卡冲裁模具中递送。

进一步地，所述探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上。

具体地，所述定模机构包括设有多个定模缓冲导向组件的底座、定模组件、多个调高垫块、成型下模块、U形夹块和用于定位引导探针料的导引块，所述定模组件固定安装于所述底座上侧中间位置，所述成型下模块与所述导引块固定安装于所述定模组件上侧，所述U形夹块滑动卡接于所述定模组件上侧，所述定模组件具有向下延伸至所述底座的落料通道，所述落料通道贴于所述U形夹块一侧设置，多个所述调高垫块分别设于所述定模组件上侧并露出于所述定模组件表面。

具体地，所述动模机构包括上侧连接有连接座的上盖、动模上板组件、动模下板组件、多个弹簧连接组件、多个冲模导向件、成型上模块和切刃，多个所述弹簧连接组件分别依此穿置连接于所述上盖、所述动模上板组件、所述动模下板组件，所述弹簧连接组件使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙，所述成型上模块固定安装于所述动模下板组件下侧，所述切刃固定安装于所述动模上板组件并贯穿于所述动模下板组件，多个所述冲模导向件分别固定连接于所述动模上板组件并滑动贯穿并露出于所述动模下板组件。

具体地，多个所述调高垫块用于冲压时使所述定模组件与所述动模下板组件之间保持间隙，所述成型下模块与所述成型上模块对应设置用于将探针料冲压成形，当所述成型下模块与所述成型上模块将探针料冲压成形后，所述二次压缩间隙被压缩，所述切刃从所述动模下板组件中露出并与所述U形夹块外侧贴合滑动使冲压成型的探针料切断为成品探针卡掉入所述落料通道，所述U形夹块用于所述切刃切断探针料时夹住不被切断的探针料。

在一些优选实施方案中，所述冲料装置还包括调整座、放置在所述调整座上的底托和用于对所述底托进行位置调节的调整组件，所述调整座安装于所述工作平台，所述探针卡冲裁模具固定安装于所述底托，所述调整组件安装于所述调整座以对所述探针卡冲裁模具进行位置调节，所述动力组件包括动力支架、动力缸、动力护罩和动力接头，所述动力支架安装于所述工作平台，所述动力缸安装于所述动力支架，所述动力缸通过所述动力接头连接于所述连接座以向所述探针卡冲裁模具提供动力，所述动力护罩安装于所述动力支架，所述动力缸为电缸或气缸。

进一步地，所述调整组件包括至少两个调整螺钉，至少为两个所述调整螺钉分别设置于所述底托对应两侧以对所述底托位置进行定位调节。

优选地，所述供料装置还包括供料支架，所述供料支架安装于所述工作平台，所述供料电机安装于所述供料支架，所述卷料筒固定安装于所述供料电机能旋转的供料电机轴，所述卷料筒具有两侧带有挡边的板状圆柱面的料槽，所述料槽用以缠绕探针料而储存探针料。

优选地，所述引料装置还包括安装于所述工作平台的引料底座、安装于所述引料底座上的引料前支架和引料后支架、后引导组件，所述送料组件还包括送料轴，所述送料轮固定安装于所述送料轴，所述送料轴能旋转地贯穿安装于所述引料前支架，所述送料电机安装于所述引料后支架，所述送料电机的能旋转的送料电机轴通过联轴器与所述送料轴固定连接以使所述送料轮旋转。

具体地，所述下压组件还包括左导块、右导块、压料块、至少一个压料弹簧、至少一个调压螺钉、固定盖和压料轴，所述左、右导块固定安装于所述引料前支架，所述压料轮能旋转连接于所述压料轴一端，所述压料轴另一端固定连接于压料块，所述压料块滑动卡接与所述左、右导块构成的空腔中，所述压料弹簧的个数与所述调压螺钉的个数相同，所述固定盖两端分别固定安装于所述左导块或所述右导块，每个调压螺钉通过螺纹连接贯穿过所述固定盖后穿过所述压料弹簧进而螺纹连接于所述压料块，所述调压螺钉用于调整所述压料轮与所述送料轮相互之间的间隙，所述压料轮和所述送料轮为弹性构件。

具体地，所述前引导组件还包括前引导支架，所述前引导支架固定于所述引料前支架，所述前引导轴固定贯穿于所述前引导支架，所述后引导组件包括固定于所述引料前支架的后引导支架和固定贯穿于所述后引导支架的后引导轴，所述后引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的后导孔。

所具体地，述后导孔和所述前导孔基本同轴并对应于所述导引块引导探针料部位，所述探针料递送时，依次穿过所述后导孔和所述前导孔并定位引导于所述导引块。

优选地，所述后导孔直径大于所述前导孔。

具体地，所述送料电机为伺服电机。

在一些具体实施方案中，所述探针卡成型设备还包括具有安装杆的触摸屏，所述触摸屏安装于所述工作平台，所述触摸屏用于输入并显示所述探针卡成型设备的控制指令和设备信息。

在一些优选实施方案中，所述探针卡成型设备还包括调速器，所述调速器安装于所述工作平台，所述调速器用于对供料电机转速进行调节。

上述探针卡成型设备，其采用了一次完成冲压成型并裁切为满足高精度尺寸要求的成品探针卡模具，由供料电机驱动卷料筒转动进行供料，由送料电机驱动引料装置进行上料，大量使用自动化的生产技术，使探针料的供料和上料以及冲裁为成品探针卡等整个生产过程实现了自动化生产，提高了生产效率，节省了人工，又因为全程采用自动化生产，减少了因为人手工操作而产生的人为误差，因此更提高了探针卡生产的质量和成品探针卡产品的一致性，对比传统技术需要30个人工单位时间完成的工作量，而采用该探针卡成型设备，仅需一名员工操作设备便可完成。因此达到了减少人工成本，极大地提高了生产效率和质量的效果，具有广泛的应用前景。

附图说明

所包括的附图用来提供对本发明实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本发明的实施方式，并与文字描述一起来阐释本发明的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。在附图中：

图1是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备整体立体示意图。

图2是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备供料装置立体示意图。

图3是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备引料装置立体示意图。

图4是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备引料装置正面示意图

图5是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备冲料装置立体示意图。

图6是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备冲料装置侧面局部剖视示意图。

图7是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备探针卡冲裁模具立体示意图。

图8是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备定模机构俯视示意图。

图9是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备定模机构俯视局部放大示意图。

图10是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备定模机构剖视示意图。

图11是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备动模机构立体示意图。

图12是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备动模机构剖视示意图1。

图13是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备动模机构仰视示意图。

图14是本发明实施例提供的一种探针卡成型设备动模机构剖视示意图2。

其中：

101、机架；102、探针料；112、工作平台；121、供料装置；125、供料电机；

130、卷料筒；132、供料支架；135、料槽；201、引料装置；202、引料底座；

203、引料前支架；205、引料后支架；207、送料轮；208、送料轴；210、送料组件；

220、送料电机；222、压料轮；223、左导块；224、右导块；225、压料块；

226、压料弹簧；227、调压螺钉；228、固定盖；229、压料轴；230、下压组件；

245、前引导轴；246、前导孔；247、前引导组件；250、联轴器；251、前引导支架；

265、后引导组件；267、后引导支架；270、后引导轴；271、后导孔；401、冲料装置；

402、探针卡冲裁模具；405、动力组件；406、动力支架；408、动力缸；410、动力护罩；

412、动力接头；415、调整座；418、底托；420、调整组件；422、调整螺钉；

501、定模机构；503、底座；505、定模组件；511、调高垫块；512、成型下模块；

515、U形夹块；517、导引块；522、定模缓冲导向组件；550、动模机构；551、连接座；

553、上盖；555、动模上板组件；560、动模下板组件；575、弹簧连接组件；

583、冲模导向件；585、成型上模块；587、切刃；589、二次压缩间隙；597、落料通道；

601、调速器；701、触摸屏。

具体实施方式

以下将结合具体实施例和附图对本发明进行详细说明。

请参阅图1-图14，示出本发明的实施例提供的一种探针卡成型设备，如图1所示，包括具有工作平台112的机架101，所述探针卡成型设备还包括供料装置121、引料装置201和冲料装置401，所述供料装置121、所述引料装置201和所述冲料装置401依次设置于所述工作平台112的相邻位置。

具体地，如图2所示，所述供料装置121包括由供料电机125驱动而进行转动的卷料筒130，所述卷料筒130通过缠绕探针料102而储存探针料102，所述卷料筒130转动时，缠绕在所述卷料筒130上的探针料102被释放出而向所述探针卡成型设备供料。具体地，所述探针料102为直径不到0.1毫米的极细的金属丝，所述探针料102缠绕在所述卷料筒130上，当所述卷料筒130向着所述探针料102缠绕的相反方向转动时，缠绕在所述卷料筒130上的探针料102被释放出来而向所述探针卡成型设备供料。

具体地，如图3、图4所示，所述引料装置201包括具有送料轮207的送料组件210、送料电机220、具有能转动的压料轮的下压组件230、具有前引导轴245的前引导组件247，所述送料电机220驱动所述送料轮207旋转，所述下压组件230通过所述压料轮222挤压接触所述送料轮207而使所述压料轮222旋转，所述送料轮207与所述压料轮222挤压接触旋转使位于所述送料轮207与所述压料轮222挤压接触之间的探针料102向前递送，所述前引导轴245具有使探针料102穿过并对探针料102进行定位并校直的前导孔246。具体地，所述送料轮207通过与所述压料轮222挤压转动使得处于其挤压区内的探针料102被带动，而探针料102随着所述送料轮207的转动而向着转动方向向前递送，所述前引导轴245是细长的圆柱体，而所述前导孔246是直径比所述探针料102大的细长孔，当所述探针料102穿过所述前导孔246向前递送时，所述探针料102就被所述前导孔246定位并校直了。

具体地，如图5、图6所示，所述冲料装置401包括用于对探针料102进行冲压成型并裁切为成品探针的探针卡冲裁模具402和向所述探针卡冲裁模具402提供动力的动力组件405，所述引料装置201用于使所述供料装置121提供的探针料102进行校直并向所述探针卡冲裁模具402中递送。

进一步地，如图7所示，所述探针卡冲裁模具402包括定模机构501和动模机构550，所述动模机构550滑动连接套接于所述定模机构501上。具体地，所述动模机构550滑动连接套接于所述定模机构501上有利于所述探针卡冲裁模具402安装与维护修理。

具体地，如图8-图10所示，所述定模机构501包括设有多个定模缓冲导向组件522的底座503、定模组件505、多个调高垫块511、成型下模块512、U形夹块515和用于定位引导探针料102的导引块517，所述定模组件505固定安装于所述底座503上侧中间位置，所述成型下模块512与所述导引块517固定安装于所述定模组件505上侧，所述U形夹块515滑动卡接于所述定模组件505上侧，所述定模组件505具有向下延伸至所述底座503的落料通道597，所述落料通道597贴于所述U形夹块515一侧设置，多个所述调高垫块511分别设于所述定模组件505上侧并露出于所述定模组件505表面。具体地，所述落料通道597贴于所述U形夹块515一侧设置，其利于冲裁后的探针卡成品落入所述落料通道597进而收集成品探针卡。在本实施例中，所述定模缓冲导向组件522数量为四组，所述调高垫块511数量为四个。

具体地，如图11-图14所示，所述动模机构550包括上侧连接有连接座551的上盖553、动模上板组件555、动模下板组件560、多个弹簧连接组件575、多个冲模导向件583、成型上模块585和切刃587，多个所述弹簧连接组件575分别依此穿置连接于所述上盖553、所述动模上板组件555、所述动模下板组件560，所述弹簧连接组件575使所述动模上板组件555与所述动模下板组件560之间具有二次压缩间隙589，所述成型上模块585固定安装于所述动模下板组件560下侧，所述切刃587固定安装于所述动模上板组件555并贯穿于所述动模下板组件560，多个所述冲模导向件583分别固定连接于所述动模上板组件555并滑动贯穿并露出于所述动模下板组件560。具体地，所述连接座551用于连接使所述探针卡冲裁模具产生两次动作的动力机构，所述动力机构可为伺服电缸机构或组合气缸机构或其它能使所述探针卡冲裁模具产生两次动作的动力机构，优选的可用伺服电缸机构，这样有利于保证所述探针卡冲裁模具的动作精确度，在本实施例中，所述弹簧连接组件575数量为四组，所述冲模导向件583数量为4个。

具体地，多个所述调高垫块511用于冲压时使所述定模组件505与所述动模下板组件560之间保持间隙，所述成型下模块512与所述成型上模块585对应设置用于将探针料102冲压成形，当所述成型下模块512与所述成型上模块585将探针料102冲压成形后，所述二次压缩间隙589被压缩，所述切刃587从所述动模下板组件560中露出并与所述U形夹块515外侧贴合滑动使冲压成型的探针料102切断为成品探针卡掉入所述落料通道597，所述U形夹块515用于所述切刃587切断探针料102时夹住不被切断的探针料102。具体地，通过所述定模缓冲导向组件522和使所述动模上板组件555与所述动模下板组件560之间具有二次压缩间隙589的所述弹簧连接组件575，使得所述探针卡冲裁模具402能在冲压过程中实现两次动作，从而使得所述探针卡冲裁模具402能够实现对探针料102进行冲压成型和裁切为成品探针卡的功能，并通过所述调高垫块511保证所述定模组件505与所述动模下板组件560之间保持高精度间隙，以及所述定模缓冲导向组件522和所述冲模导向件583两组导向来保证所述探针卡冲裁模具402的精度。

在一些优选实施方案中，如图5-图6所示，所述冲料装置401还包括调整座415、放置在所述调整座415上的底托418和用于对所述底托418进行位置调节的调整组件420，所述调整座415安装于所述工作平台112，所述探针卡冲裁模具402固定安装于所述底托418，所述调整组件420安装于所述调整座415以对所述探针卡冲裁模具402进行位置调节，所述动力组件405包括动力支架406、动力缸408、动力护罩410和动力接头412，所述动力支架406安装于所述工作平台112，所述动力缸408安装于所述动力支架406，所述动力缸408通过所述动力接头412连接于所述连接座551以向所述探针卡冲裁模具402提供动力，所述动力护罩410安装于所述动力支架406，所述动力缸408为电缸或气缸。在本实施例中，所述动力缸408为伺服电缸，采用伺服电缸优点实现冲压动作更加精准，且不需气源，结构更紧凑。伺服电缸可选用安川、松下、亚德客等品牌伺服电缸。

进一步地，所述调整组件420包括至少两个调整螺钉422，至少为两个所述调整螺钉422分别设置于所述底托418对应两侧以对所述底托418位置进行定位调节。在本实施例中，所述调整组件420为四个调整螺钉422，所述调整座415两侧分别各安装两个所调整螺钉422对所述底托418位置进行调节。

优选地，如图2所示，所述供料装置121还包括供料支架132，所述供料支架132安装于所述工作平台112，所述供料电机125安装于所述供料支架132，所述卷料筒130固定安装于所述供料电机125能旋转的供料电机轴，所述卷料筒130具有两侧带有挡边的板状圆柱面的料槽135，所述料槽135用以缠绕探针料102而储存探针料102。在本实施例中，所述卷料筒130由工程塑料制成，其优点重量轻，所述工程塑料可选尼龙、赛钢等材料，所述卷料筒130通过键连接和顶丝固定而固定安装于所述供料电机轴。

优选地，如图3-图4所示，所述引料装置201还包括安装于所述工作平台112的引料底座202、安装于所述引料底座202上的引料前支架203和引料后支架205、后引导组件265，所述送料组件210还包括送料轴208，所述送料轮207固定安装于所述送料轴208，所述送料轴208能旋转地贯穿安装于所述引料前支架203，所述送料电机220安装于所述引料后支架205，所述送料电机220的能旋转的送料电机220轴通过联轴器250与所述送料轴208固定连接以使所述送料轮207旋转。具体地，所述送料轴208与所述引料前支架203旋转连接，所述旋转连接可采用通过滚动轴承的滚动旋转连接或是通过滑动轴套的滑动旋转连接。

具体地，所述下压组件230还包括左导块223、右导块224、压料块225、至少一个压料弹簧226、至少一个调压螺钉227、固定盖228和压料轴229，所述左、右导块224固定安装于所述引料前支架203，所述压料轮222能旋转连接于所述压料轴229一端，所述压料轴229另一端固定连接于压料块225，所述压料块225滑动卡接与所述左、右导块224构成的空腔中，所述压料弹簧226的个数与所述调压螺钉227的个数相同，所述固定盖228两端分别固定安装于所述左导块223或所述右导块224，每个调压螺钉227通过螺纹连接贯穿过所述固定盖228后穿过所述压料弹簧226进而螺纹连接于所述压料块225，所述调压螺钉227用于调整所述压料轮222与所述送料轮207相互之间的间隙，所述压料轮222和所述送料轮207为弹性构件。在本实施例中，所述压料弹簧226和所述调压螺钉227数量分别为两个，所述左、右导块用于使所述压料块225滑动卡接于所述左、右导块围成的轨道空间中。

具体地，所述前引导组件247还包括前引导支架251，所述前引导支架251固定于所述引料前支架203，所述前引导轴245固定贯穿于所述前引导支架251，所述后引导组件265包括固定于所述引料前支架203的后引导支架267和固定贯穿于所述后引导支架267的后引导轴270，所述后引导轴270具有使探针料102穿过并对探针料102进行定位并校直的后导孔271。具体地，所述后引导轴270是细长的圆柱体，而所述后导孔271是直径比所述探针料102大的细长孔，当所述探针料102穿过所述后导孔271向前递送时，所述探针料102就被所述后导孔271定位并校直了。因为探针料102在所述供料装置121中以缠绕在所述卷料筒130的方式存放，当所述探针料102从所述供料装置121释放出来时为带有曲率的直径不到0.1毫米的金属丝，在进入所述探针卡冲裁模具402前需要进行校直才能保证最终加工出来的成品探针卡的质量，最后经过前、后引导孔的校直，使得所述探针料102达到加工为成品探针卡所需的直线度。

具体地，所述后导孔271和所述前导孔246基本同轴并对应于所述导引块517引导探针料102部位，所述探针料102递送时，依次穿过所述后导孔271和所述前导孔246并定位引导于所述导引块517。在本实施例中，所述后引导轴270采用的是钢结构构件，所述前引导轴245采用的是工程塑料构件，因为所述后导孔271是第一个对所述探针料102进行校直的构件，因此后引导轴270选用强度和耐磨性更好的钢结构构件，前引导轴245选用工程塑料构件因为工程塑料对所述探针料102的磨损小。

优选地，所述后导孔271直径大于所述前导孔246。具体地，因为所述探针料102先通过所述后导孔271初步校直，再通过所述前导孔246进一步校直，因此所述后导孔271直径大于所述前导孔246，这样做保证了校直质量。

具体地，所述送料电机220为伺服电机。具体地，所述送料电机220选用伺服电机可以精确控制所述所述送料轮207旋转速度，进而精确地控制所述探针料102递送量，从而保证所述探针卡成型设备加工出合格的探针卡成品。

在一些具体实施方案中，如图1所示，所述探针卡成型设备还包括具有安装杆的触摸屏701，所述触摸屏701安装于所述工作平台112，所述触摸屏701用于输入并显示所述探针卡成型设备的控制指令和设备信息。

在一些优选实施方案中，所述探针卡成型设备还包括调速器601，所述调速器601安装于所述工作平台112，所述调速器601用于对供料电机125转速进行调节。

具体使用时，首先操作者先将缠绕在所述卷料筒130上的所述探针料102依次穿过所述后导孔271、所述送料轮207与所述压料轮222挤压接触处和所述前导孔246，然后在所述触摸屏701上设置好所述探针卡成型设备的各项参数，然后启动设备，设备运行时注意通过所述调速器601调整所述供料电机125使所述探针料102进入所述后导孔271前为适度弯曲不受拉力的状态，当所述探针卡成型设备冲裁到一定数量的成品探针卡时会自动停机，待操作人员取出收集在所述探针卡冲裁模具402内的成品探针卡后，可重新启动所述探针卡成型设备自动运行。

需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式，根据本发明的创造精神，本领域技术人员还可以做出其他变化，这些依据本发明的创造精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种探针卡成型设备，包括具有工作平台的机架，其特征在于，所述探针卡成型设备还包括供料装置、引料装置和冲料装置，所述供料装置、所述引料装置和所述冲料装置依次设置于所述工作平台的相邻位置；

所述供料装置包括由供料电机驱动而进行转动的卷料筒，所述卷料筒通过缠绕探针料而储存探针料，所述卷料筒转动时，缠绕在所述卷料筒上的探针料被释放出而向所述探针卡成型设备供料；

所述引料装置包括具有送料轮的送料组件、送料电机、具有能转动的压料轮的下压组件、具有前引导轴的前引导组件，所述送料电机驱动所述送料轮旋转，所述下压组件通过所述压料轮挤压接触所述送料轮而使所述压料轮旋转，所述送料轮与所述压料轮挤压接触旋转使位于所述送料轮与所述压料轮挤压接触之间的探针料向前递送，所述前引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的前导孔；

所述冲料装置包括用于对探针料进行冲压成型并裁切为成品探针的探针卡冲裁模具和向所述探针卡冲裁模具提供动力的动力组件，所述引料装置用于使所述供料装置提供的探针料进行校直并向所述探针卡冲裁模具中递送。

2.如权利要求1所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述探针卡冲裁模具包括定模机构和动模机构，所述动模机构滑动连接套接于所述定模机构上；

所述定模机构包括设有多个定模缓冲导向组件的底座、定模组件、多个调高垫块、成型下模块、U形夹块和用于定位引导探针料的导引块，所述定模组件固定安装于所述底座上侧中间位置，所述成型下模块与所述导引块固定安装于所述定模组件上侧，所述U形夹块滑动卡接于所述定模组件上侧，所述定模组件具有向下延伸至所述底座的落料通道，所述落料通道贴于所述U形夹块一侧设置，多个所述调高垫块分别设于所述定模组件上侧并露出于所述定模组件表面；

所述动模机构包括上侧连接有连接座的上盖、动模上板组件、动模下板组件、多个弹簧连接组件、多个冲模导向件、成型上模块和切刃，多个所述弹簧连接组件分别依此穿置连接于所述上盖、所述动模上板组件、所述动模下板组件，所述弹簧连接组件使所述动模上板组件与所述动模下板组件之间具有二次压缩间隙，所述成型上模块固定安装于所述动模下板组件下侧，所述切刃固定安装于所述动模上板组件并贯穿于所述动模下板组件，多个所述冲模导向件分别固定连接于所述动模上板组件并滑动贯穿并露出于所述动模下板组件；

多个所述调高垫块用于冲压时使所述定模组件与所述动模下板组件之间保持间隙，所述成型下模块与所述成型上模块对应设置用于将探针料冲压成形，当所述成型下模块与所述成型上模块将探针料冲压成形后，所述二次压缩间隙被压缩，所述切刃从所述动模下板组件中露出并与所述U形夹块外侧贴合滑动使冲压成型的探针料切断为成品探针卡掉入所述落料通道，所述U形夹块用于所述切刃切断探针料时夹住不被切断的探针料。

3.如权利要求2所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述冲料装置还包括调整座、放置在所述调整座上的底托和用于对所述底托进行位置调节的调整组件，所述调整座安装于所述工作平台，所述探针卡冲裁模具固定安装于所述底托，所述调整组件安装于所述调整座以对所述探针卡冲裁模具进行位置调节，所述动力组件包括动力支架、动力缸、动力护罩和动力接头，所述动力支架安装于所述工作平台，所述动力缸安装于所述动力支架，所述动力缸通过所述动力接头连接于所述连接座以向所述探针卡冲裁模具提供动力，所述动力护罩安装于所述动力支架，所述动力缸为电缸或气缸。

4.如权利要求3所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述调整组件包括至少两个调整螺钉，至少为两个所述调整螺钉分别设置于所述底托对应两侧以对所述底托位置进行定位调节。

5.如权利要求1所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述供料装置还包括供料支架，所述供料支架安装于所述工作平台，所述供料电机安装于所述供料支架，所述卷料筒固定安装于所述供料电机能旋转的供料电机轴，所述卷料筒具有两侧带有挡边的板状圆柱面的料槽，所述料槽用以缠绕探针料而储存探针料。

6.如权利要求2所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述引料装置还包括安装于所述工作平台的引料底座、安装于所述引料底座上的引料前支架和引料后支架、后引导组件，所述送料组件还包括送料轴，所述送料轮固定安装于所述送料轴，所述送料轴能旋转地贯穿安装于所述引料前支架，所述送料电机安装于所述引料后支架，所述送料电机的能旋转的送料电机轴通过联轴器与所述送料轴固定连接以使所述送料轮旋转；

所述下压组件还包括左导块、右导块、压料块、至少一个压料弹簧、至少一个调压螺钉、固定盖和压料轴，所述左、右导块固定安装于所述引料前支架，所述压料轮能旋转连接于所述压料轴一端，所述压料轴另一端固定连接于压料块，所述压料块滑动卡接与所述左、右导块构成的空腔中，所述压料弹簧的个数与所述调压螺钉的个数相同，所述固定盖两端分别固定安装于所述左导块或所述右导块，每个调压螺钉通过螺纹连接贯穿过所述固定盖后穿过所述压料弹簧进而螺纹连接于所述压料块，所述调压螺钉用于调整所述压料轮与所述送料轮相互之间的间隙，所述压料轮和所述送料轮为弹性构件；

所述前引导组件还包括前引导支架，所述前引导支架固定于所述引料前支架，所述前引导轴固定贯穿于所述前引导支架，所述后引导组件包括固定于所述引料前支架的后引导支架和固定贯穿于所述后引导支架的后引导轴，所述后引导轴具有使探针料穿过并对探针料进行定位并校直的后导孔；

所述后导孔和所述前导孔基本同轴并对应于所述导引块引导探针料部位，所述探针料递送时，依次穿过所述后导孔和所述前导孔并定位引导于所述导引块。

7.如权利要求6所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述后导孔直径大于所述前导孔。

8.如权利要求1所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述送料电机为伺服电机。

9.如权利要求1所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述探针卡成型设备还包括具有安装杆的触摸屏，所述触摸屏安装于所述工作平台，所述触摸屏用于输入并显示所述探针卡成型设备的控制指令和设备信息。

10.如权利要求1所述的探针卡成型设备，其特征在于，所述探针卡成型设备还包括调速器，所述调速器安装于所述工作平台，所述调速器用于对供料电机转速进行调节。