CN1172443A - 基体涂漆或涂膜用的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种利用具有毛细缝隙(13,14)的部件(12)对基体(29)进行涂漆或涂膜的装置,它配有一个盛漆或盛涂膜液的容器(10),在该容器中如此安置部件(12),使得毛细缝隙(13,14)浸没有漆或涂膜液中,而且漆或涂膜液可以从该容器(10)中输供给毛细缝隙(13,14),它还配有机构(44),用此机构可沿垂直方向(28)相对于容器(10)移动毛细缝隙(13)的出口(40)。

Description

基体涂漆或涂膜用的装置和方法
本发明涉及一种利用毛细缝隙对基体进行涂漆或涂膜的装置和方法。下面，为了简明起见，在描述本发明时虽然只谈到涂漆即涂漆过程，但也包括了其间使用适合的漆液进行涂膜或涂膜过程这层意思；但也包括了其间使用适合的涂膜液这层意思。
在薄膜技术领域中，尤其在生产LCD-显示器，半导体生产需用的掩模、半导体基体或陶瓷基体等的情况下，常常遇到这样的问题，即如何使矩形或圆形基片涂上一层或其它初始液态介质层，例如滤色层、感光漆层或特殊保护层。按照涂漆技术的现状，这时需要涂漆的基片水平地固定在一个转盘上。定量的漆从上面经过一喷嘴滴落在基片的中心部位上。然后使转盘转动。在转盘转动过程中，借助离心力，漆被分布到整个基体上(“旋涂法”)。这时，有很大一布放的漆从基体边缘被甩出去了。可以达到的漆厚度的均匀性取决于旋转加速的大小、旋转速度及漆的粘度。
采用上述已知的方法时，矩形的片状基体上企厚度均匀性是个难题，尤其在基体的边缘区。在这里通常形成漆厚度较大的带，即所谓的漆隆凸。这样，涂漆的均匀性就大大地降低了。
为了收集经基体边缘甩出来的漆，同时为了保护涂漆工位，将这种涂漆转盘通常安置在一种罐形器具中，例如可参看专利DE-GM9103494。在涂漆时，回溅的漆也有可能溅到基体的表面上。这一点对基体进一步的处理是很不利的。此外，采用上述已知的方法时，所用的漆量的90％以上都经过基体边缘被甩出去了；这一漆量的回收利用是很费事的，费用也很高。可以涂漆或涂膜的基片的尺寸大小是有上限的。此外，在这类装置的旋转部件上被碾碎而脱离开来的小的颗粒会沉压在基片的表面上，从而干扰继后的工序。再者，在旋转运作过程中，漆会甩在基体的棱边上，它在继后的各道工序中会造成很多麻烦。此外，这样一台转盘的装配和驱动既复杂又昂贵。
通过一种用于基片涂漆和涂膜的装置(PCT/DE93/00777)达到了改进涂漆和涂膜工序的目的，在该装置上，涂漆或涂膜液(以下简称液体)经过一个缩窄而成毛细管的缝隙从下方被导引到基体的朝下的表面上。基体以均匀的速度被引导过该缝隙。缝隙是这样设计的：它起着毛细管的作用，借此自动地以特别均匀的速度不断供给漆液。毛细作用是这样获得的，例如使缝隙的宽度小于0.5mm(毫米)。通过毛细作用，液体自动地以恒定速度逆着重力作用在毛细缝隙中上升，然后从缝隙出口处流出。在缝隙上方，漆流如同一条细窄的线与基体的需涂膜的表面相接触，并在基体相对于出口移动时沉积在该表面上而成均匀的薄层。
涂漆过程或涂膜过程因此是借助联合利用毛细管效应和粘附效应完成的。使用上述装置，可改善基体特别是矩形基体上漆层厚度的均匀性，并降低漆的消耗量。但它的缺点是会影响该装置的运转，这是因为在各个涂漆或涂膜过程之间较长时间停歇后，涂膜用的液体便固结在毛细缝隙的出口部位。这一点会对继后的涂漆或涂膜过程造成很不利的影响。此外，还可能带来的不利之处是，由于在被涂漆或涂膜基体的棱边上的粘附作用，会产生不希望出现的漆隆凸或涂膜材料隆凸。
本发明的一项任务是为基体的涂漆和涂膜提供一种新装置和一种新方法。
按照本发明，上述任务是通过提供这样一种装置加以解决的：该装置用于基体的涂漆或涂膜，它配有一个具有毛细缝隙的部件；一个盛漆和盛涂膜液(以下简称液体)用的容器，上述部件是这样安置在该容器中，使得毛细缝隙同容器中的液体相接触，此液体可输供给毛细缝隙；还配有一个机构，用来使毛细缝隙的出口沿垂直方向相对于该容器移动。由于毛细缝隙的出口是可移动的，所以开始涂漆时可将该出口特别紧密地引向基体，涂漆结束时又可将该出口移离基体。
这里最有利之处是，毛细缝隙的出口可以借助一个沿垂直方向进行的移动过程完全插进液体中。这样，在涂漆过程的间隔时间里，可将毛细缝隙的出口完全插进液体中，从而可防止于涂漆过程中残留在毛细缝隙上的液体干固，还可防止外来的异物沉积在毛细缝隙上。上述两种现象都可能在以后的涂漆过程中引起干扰。
依本发明提出的另一个特别有利的结构，为涂液容器配备了一个关闭机构，以便在涂漆装置不用时可以朝外关闭该容器。这样即可防止全部液体出现任何干燥过程。为此，关闭机构最好设计成气密式的。
另外，已证明很有利的做法是配备一个过滤装置和一个泵，以便对容器中循环的液体进行过滤。依此，可利用一个微粒过滤器来过滤液体(循环过滤法)，以保持液体洁净，使之处于适合涂漆要求的状态。随后在涂漆或涂膜过程中适宜地暂时停止过滤操作。
为了防止在被涂漆或涂膜的基体的端棱上出现漆隆凸，最好配置一种机构以达到快速降低容器中液体液位的目的，尤其在涂漆或涂膜过程结束时达到这一目的。借助液位的降低，液体被迅速吸回到毛细缝隙中，从而能减少或避免在基体的端棱上产生漆隆凸现象。
最有利的做法是采取下述措施来实现液体的上述回吸：在容器内的液体中安置一个体积可调的部件。当它的体积变小时，容器中液体的液位便下降。这在毛细缝隙中造成低压，这一低压将留存在毛细缝隙中的液体向下吸回。
本发明提出的使用一种液体对基体进行涂漆或涂膜的方法包括以下步骤：利用一个毛细缝隙，从盛有液体的容器中将液体输送到基体上；在涂漆或涂膜过程结束时，迅速降低容器中液体的液位，以便中止涂漆或涂膜过程。借助体液位的迅速降低，毛细缝隙中存留的液体被吸回，从而中止涂漆，并且不会在基体的有关边缘上形成漆隆凸。
本发明提出的另一个方法是利用一种通过毛细缝隙输供的液体对基体进行涂漆或涂膜的方法，其步骤如下：
a)在涂膜或涂漆过程开始时，将毛细缝隙的出口引导到紧贴基体的下表面，以使液体在出口处与该下表面相接触；
b)然后增大毛细缝隙出口和基体下表面之间的间距，增大的值正好满足涂漆或涂膜的要求。
借此可用简单的方式确保涂漆过程的开始及在毛细缝隙中液体输送过程的开始。
本发明的其它细节和优点见下文所述及附图中所示的实施例以及各项权利要求，但决不要认为本发明只局限于所提出的一些实施例。附图所示是：
图1本发明提出的装置的横断面图，在这里，构成毛细缝隙的部
   件处于一种浸没状态；
图2图1中所示装置的横断面图，沿图3中的II-II线观察，在这
   里，构成毛细缝隙的部件在涂漆过程中已从容器内的流体中
   露出；
图3本发明提出的装置正处于涂漆过程中的局部横断面图，其毛
   细缝隙部件已露出；
图4本发明提出的装置的一个优选实施例局部以横断面表示的透
   视图；
图5图4的一个局部详图，亦为透视/示意图；
图6一个横断面图，沿图8中的VI-VI线观察，对应于图8放大
   尺寸；
图7图6的细节VII的透视图；
图8图4中所示装置的纵剖面图；
图9图4中所示装置的透视图，系从上面观察，此时的毛细缝隙
   处于它的工作位置；以及
图10与图9相似的一个透视图，但从下面观察。
优选实施例的描述：
首先，借助图1至3中所示的示意图对本发明的基体原理加以说明。随后根据图4至10，说明本发明的一个实施例，该实施例是按照本发明的基本原理工作的。
图1示明容器10的一个横截面，容器的空腔10a大部分盛有漆或涂膜材料11(以下简称“液体”)。容器10略呈长槽形或长池形，其中有一个纵长的部件12，该部件具有涂漆过程所必需的毛细缝隙13。此毛细缝隙的宽度通常在0.1至0.8毫米范围内，是由部件12上的一条垂直延伸的缝构成的，该缝在13a处朝下逐渐扩大，以便使流体11不受阻碍地流向毛细缝隙13。
在部件12的上端，毛细缝隙13有一个出40，也可将此出口称之为喷嘴，随后还将借助图7对此做详细说明。根据被涂膜基体29的宽度之不同(图2和3)，该出40的长度可在例如50至75厘米范围内选择，当然再长一点或再短一点的情况也不排除。
部件12基本上具有其横截面略呈矩形的基体的形状，它向上由两个斜落的屋顶状的盖面41、42所限制，在它的中心部位有两个刀状的突起部43、44朝上耸立，每个突起部在喷嘴40的范围内仅有大约0.1～0.5毫米的宽度。这两个突起部43、43向上逐渐缩小，至顶端则变得特别窄小。
部件12在其底面与一杆件15相连。该杆件15借助一个仅以简图示出的装置44可以沿箭头16所示方向垂直地移动。通过此杆件15，部件12便可沿垂直方向运动。容器10的空腔10a在杆件15穿过它的底部时，借助一个伸缩软管17，依图示方式与该杆件实现密封。该伸缩性软管在横截面上示明于杆件15的左右。例如一个液动或气动工作缸适合于作装置44。
容器10的空腔10a由其右上方的一个固定的板18(图1和2)，及其左上方的一个可移动的角型材19所关闭。板18直接固定在容器10的右侧壁上。角型材件19借助一个仅由简图示出的直线性驱动装置46，可沿箭头20(图1)所示方向朝两侧移动。例如，上述移位运动的导向，可以如图所示，借助一个导栓21来加以实现，该导栓固定在容器10的左侧壁上。
空腔10a的关闭件由两个弹性型材件22和23加以密封。弹性型材件22镶嵌在板18的端面上的一个相配的凹槽中，并且按图1中所示方式由角型材件19的端面压进凹槽。密封件23嵌置在容器10的左侧壁上的一个相配的凹槽中，并且由角型材件19的一个垂直延伸的边19’压进凹槽挤压力是由装置46施加的，该装置推动角型材件19。板18和角型材件19也可以涂上一层合适的耐溶剂的合成材料，其厚度例如为0.5毫米，这一层塑料在封闭的位置亦起着密封作用。
带有毛细缝隙13的部件12如图1所示，完全浸没到流体11的液面24的下方。此对应于一种不进行涂漆状态，也就是说，部件12的出口40处于液体11的液面24之下。
图2示明图1中所示的容器10及其全部组件的同一横断面，不过，这是涂漆过程中的状况。空腔10a的由板18和角型材件19构成的封闭件是这样启开的：相对于图1所示，角型材件19沿箭头20所示方向项左推移即可。带有毛细缝隙13的部件12借助杆件15的垂直运动而沿箭头28所示方向向上移动。相应地，刀状的突起部43、44这时伸出容器10中的体的液面24，并穿过板18和角型材件19之间的窄口48。这对应于进行涂漆过程的状态。由于刀状突起部43、44的构形很窄，使得开口48也可以是很窄的，从而减小了异物通过该开口48进入液体11的危险。此外，还可借此减少体11的蒸发。
图2中还示明涂漆过程中的一个被涂漆的基体29(呈板形)。该基体29按均匀的速度，依箭头30所示方向，以很小的间距(例如0.2～0.5毫米)被引导经过毛细缝隙13的出口40。依此，借助毛细作用和粘附效应，便在基体29的下表面50上沉积处一极均匀的漆层31。在湿态时，漆层31的厚度正常在5至50μm(微米)范围中。
图3示明涂漆过程中的容器10和部件12的局部纵剖面。如在图2中所示的，部件12同样沿箭头28所示方向向上移动。在被涂漆的基体29的下表面50上沉积出一均匀的漆层31。为了清楚起见，漆层31的厚度大大地加以夸张示出。
图3所示的局部纵剖面图示明容器10与部件12的左半部52以及用于垂直驱动部件12的杆件15。与此镜面对称地，在容器10的右端还有一个与杆件15相对应的第二杆件，但在图3中未示出。以54象征性表示对称平面。如已述及的，部件12的总长度例如可达50至75厘米，但其如图3所示的外边缘区是不用于涂漆的。借助杆件15的平行上下运动，便可保证毛细缝隙13的出口(喷嘴)40永远处于所需的、准确的水平位置。
此外，在图3中还依横断面示明一条溢流管32。在泵34接通之后，一旦空腔10a中的液体11的灌注高度达到该溢流管32的上边沿，该处体即开始排泄。排出的液体由溢流管32、导入一个补偿容器33，例如一个贮存瓶，该容器例如可盛2.5升液体11。泵34经由一条管子34’而与容器33连通，并抽吸其间的液体11。该抽吸的液体11从泵34经过一个微粒过滤器35和一管道35a而流回到空腔10a中。泵34和过滤器35都是市售的组件，因此只以简图示明。
在涂漆或涂膜过程之间用泵吸送液体11，从而使液体得到净化，流体在容器10中的填充液位24恒定地保持在一个规定的高度。这两点对于涂漆或涂膜过程的质量都是很重要的。在涂漆或涂膜过程中体11不被泵吸送通过过滤器35，这是因为容器10中的液体流动会对涂漆或涂膜结果产生负作用。对一个基体29涂漆，一般说来，液体11的耗量在1～3毫升，因此液位24只下降极少，例如0.1至0.4毫米，这不妨碍涂漆过程。
在空腔10a内此外还有一个伸缩软管25。它的上连接板56经过一个穿过容器10底部的杆件57而与一工作缸60的活塞58相连，该活塞可利用一个在图上示意出的装置62来操纵。
通过装置62的启动(通常利用一个在图上未示出的微处理器进行中央控制来实现这一启动)，若活塞58依箭头63所示方向朝下推动，则伸缩软管25的上连接板56朝下移动，伸缩软管25的体积被缩小，从而使空气可经过容器10的底上的一个孔65向下排出。这样，容器10中的液位24便迅速下降。相反，若上连接板56借助工作缸60向上移动，则液位24即上升到一个最大值，这个最大值是由溢流管32来规定的。
因此，借助对装置62进行相应控制便可根据需要迅速调整容器10中的液位24。
                    工作方式
待涂漆的基体29为了开始涂漆过程一旦定位完毕，便可启开容器10的封盖，为此利用装置46将角型材件19向左推移。随即将部件12的刀状突起部43、44向上推到待涂漆基体29的前棱边下面，直到达到一个很小的例如0.05毫米的间距。由于这时的泵34是断开的，所以液位24略微下降，例如下降0.1至0.5毫米，但这没有妨碍。上述的液位微小下降是由于下述事实所致：从液体11中伸出的刀状突起部43、44只具有很小的体积，这一小体积在这里是很有利的。借助部件12的移动，就可在小的液体隆凸和被涂漆基体29的前下棱边之间实现接触。上述的流体隆凸是由于在毛细缝隙13的出口40上面的浸润而存留于出口上部的。在实现上述接触之后，部件12的出口40和被涂漆或涂膜基体29之间的间距又略被增大，例如增大到大约0.2至0.5毫米。借此便发生毛细管作用，这种毛细管作用可逆着重力作用以均匀塑性将液体11通过毛细缝隙13向上输送。这时，基体29以均匀塑性沿箭头30所示方向水平地移动。通过这一过程，一个均匀的液体薄层31便通过毛细缝隙13而沉积在基体29的下表面上。
一当达到被涂漆基体29的末端棱边(图中未示出)，伸缩软管25就按前述方式迅速缩小、例如在一秒钟之内。于是，空腔10a中的液位24迅速下降。(这时，泵34停止工作)。这样，在毛细缝隙13中产生一种负压，它将毛细缝隙13中所余留的液体11向下吸。这促使基片29的下表面上的液体沉积过程突然终止，从而保证防止在基体29的末端边上(未示出)出现并不希望出现的液体隆凸。由于在喷嘴40范围中的刀状突起部43、44的构形非常窄细，从而达到了在基体29的端边上不形成漆隆凸之类的目的。
然后再将部件12下降到容器10中，并再将由板18和角型材件19构成的封盖关闭好，以便朝外气密地封闭容器10的内腔，并防止空腔10a中的流体11蒸发。
向右推动角型材件19将封盖关闭之后，接通泵34。这时，涂漆所需用的液体11又输送给空腔10a。一当达到液体11的所需的液位高度，液体又开始通过溢流管32流入补偿容器33中。借助这种循环，液体11得到过滤。泵34接通的时间周期一般仅为几秒钟。如果测定液体11仍含有杂质，也可以让泵34运行较长时间，以便利用过滤器35来净化该液体。贮存容器33，当所盛液体被耗用时，须定时加以更换。本发明的一大优点是可以大大节约液体的消耗量，例如每一块被涂膜的基片29仅耗用大约1至3毫升。可以使用液体11的生产厂家所提供的盛液体的瓶子作为贮存容器33。
当然，还可以做许多修改和改进。举例来说，部件12也可以借助围绕其纵轴线的旋转运动，从图2所示的位置转移到它的浸润位置。然而，部件12垂直移动是可取的，以便在涂漆过程中尽可能地防止液体中产生不合要求的非对称流动过程。
本发明提出的装置可以作为大型涂漆设备例如在PCT/DE93/00777中所介绍的那种设备的一部分。为了省去冗长的描述，参看PCT申请书的内容便可知其梗概。
图4至10示明本发明提出的一种装置100的一个优选实施例。与图1至3中所示的相同部件仍用同一代号表示，但将数目增力100，例如用113代替13。
图4示明装置100的纵剖面透视图。本装置配有一个长方形的槽形容器110，它的底部用110’表示。该容器的空腔110a、如图8中所示，盛有一种液体111，液体液位达到一溢流管132的高度。在图8中，液位用124表示。
在容器110中有一个纵长的部件112，该部件依图5所示由两个对称的半部112a、112b组合而成，这两个半部彼此由一毛细缝隙113所分开。依图7所示，该毛细缝隙113具有一宽度d1，根据所用的液体111的情况，其宽度约为0.1至0.8毫米。毛细缝隙113在其下部区段逐渐扩大而成一个其断面呈漏斗形的扩展部113a，见图4、5和6中所示。该扩展部使流体111能顺利流入毛细缝隙113。
如图4、5、6和8特别清楚地示明的，两个对称的半部112a、112b在其中区域依垂直方向设计得较宽一些，借以防止挠曲。在它们的两端略有点低凹，并在此用合适方式例如用螺钉(未示出)将它们固定在安装板170及171上，安装板本身又与柱形杆件115及115’相连。这两个杆件穿过容器110的底110’，在它们的下端借助一个横连接件172而彼此连接起来。该横连接件利用一个装置144，可沿垂直方向移动，由此即可使部件112升降，这一点已借助图1和2就部件12做了详细描述。装置144可以是任一种线性驱动装置，例如一个缸体或者一个电动线性驱动装置。
杆件115、115’利用伸缩软管117、117’按所示方式加以密封，正如在如图1至3中就伸缩软管17所详细说明的。
如图5和6特别清楚地示明的，纵长体112的两个半部112a、112b在其上端各有一个刀状突起部143及144，该突起部基本上垂直向上伸出。每个突起部143、144在其上端最后形成一个窄的在工作时保持水平的表面177及178(图7)，毛细缝隙113就终止在这个表面上而成一个出口140。该出口140和包围它的表面177、178也可以被称为“喷嘴”。
依照图7，表面177的宽度为d2，在0.1至0.5毫米之间，最好为0.3毫米。表面178的宽度为d3(图7)，亦在0.1至0.5毫米之间，最好为0.3毫米。窄的表面177、178的优点在于：借助这两个表面，可以从根本上防止在被涂膜基体129的后棱边上产生液体隆凸。这样一个基体见图8中所示。它的宽度W小于部件12的长度，也就是说，为了实现均匀的涂膜，只能利用部件112的中心纵长部位W。在它的边缘部位可能出现不连续的流体层(图1至3中的31)。
如图9所示，容器110的顶面绝大部分被一盖板/密封板118所覆盖。该密封板有一个矩形的缺口118’，一块可沿箭头120所示方向水平移动的角型板119被嵌在该缺口118’，一块可沿箭头120所示方向水平移动的角型板119被嵌在该缺口中。在图9中，当角型板项前移动时便形成一个开口119’，刀状突起部143、144可以向上移动而穿过该开口而用于涂漆过程。在图9中，当角型板119向后移动时，它便完全封闭开口119’并实现密封。为此目的，两个板件118和119可以涂一层抗溶剂的合成材料(未示出)，其厚度例如可为0.5毫米，它在边缘上起着良好的密封作用。
为了水平推移角型板119，配用了两个直线性驱动机构146、146’(图10)，它们彼此同步起动，以实现角型板119的均衡移动。
在容器110的空腔110a中也有一个伸缩软管125，它的体积可利用一个操纵机构160来加以调整。当借助伸缩/软管125的操纵杆的向下推移来调整其体积时，促使容器110中的液体液位124迅速下降，从而将存留在毛细缝隙113中的液体朝下吸，并终止涂漆过程。若将操纵杆157向上推移，则液体液位124即迅速上升。
在溢流管132上连接着一根向下延伸的管子180，该管子穿过一个盖子133’伸入到盛液体111用的贮存瓶133内部。一根吸管182从该贮存瓶133中出来，也穿过盖子133’，而连通一个泵134，后者只有在不进行涂漆过程的条件下才能起动。泵134沿箭头183(图8)所示方向将液体输送给一微粒过滤器135，并从该过滤器经导管135a将液体送回到容器110的内腔110a。
当角型板119处于它的(未示出)关闭状态，亦即它气密地封闭着容器110的顶面时，才能开动泵134。这时，该泵将液体111从贮存容器133中抽出，经过微粒过滤器135，将液体送入容器110的空腔110a，并注满该空腔至溢流管132(图8)的高度处。(在一次涂漆过程中，流体液位124仅有微小下降，这是因为涂漆所耗用的液体用量极小之故)。
                    工作方式
一当待涂漆的基体129已定位好可以开始涂漆过程，就把容器110的盖子打开，为此借助两个装置146、146’沿开口方向推移角型板119。然后，利用驱动机构144将部件112的刀状突起部143、144向上推移，一直推移到待涂漆基体129的前棱边下面一个很小的距离处，例如0.05毫米。这样，在小的流体隆凸和被涂漆基体129的前下棱边之间实现接触，上述流体隆凸是由容器110中的流体111部分存留在毛细缝隙113的出口140上所致。实现这一接触后，部件112的出口140和被涂漆或被涂膜的基体129之间的间距又略被增大，例如增大到大约0.2至0.5毫米。于是，开始发生毛细管作用。毛细管作用逆着重力作用以均匀的速度，经毛细缝隙113将容器110中的体111向上输送。这时，基体129以均匀的速度水平地移动，正如图2中所详细描述的。通过这种操作，经由毛细缝隙113，在基体129的下表面上便沉积出一均匀的液体薄层。这一液体层在湿态时的厚度通常在5～50微米。
当被涂漆基体129的(未示出的)末端部棱边已达到毛细缝隙时，伸缩软管125就立即按照前述方式迅速地例如在一秒钟内缩小体积。于是，空腔110a中的液体液位124亦随之迅速下降。(这时泵134停止工作)。这样一来，在毛细缝隙113中产生一种负压，它将毛细缝隙中存留的液体111向下吸，从而促使在基体129下表面上的液体沉积过程突然终止，并可靠地防止在基体129的(未示出的)端部棱边上形成不符合要求的液体隆凸。由于在出口140的范围中刀状突起部143、144具有特别窄的构形，所以能达到在基体129的端部棱边上不形成漆隆凸的目的。
随后利用驱动机构144将部件112再向下推回到容器110中，该部件在这里完全浸没在液体111中，这时利用角型板119再气密地将开口119’关闭，从而朝外对容器110的内腔加以密封，以避免空腔110a中的液体111蒸发。
在关闭开口119’之后，便可开动泵134，于是涂漆过程所需用的液体111再次被输送给空腔110a。一当空腔中液体达到正确的液位高度，液体111又开始经过溢流管132而泄入贮存和补偿容器133。借助这种循环，液体111通过微粒过滤器135得到过滤。为此目的，泵通常只需要开动几秒钟，但为了净化液体111起见，泵也可开动稍长一些时间。当贮存容器133中的液体111用完了，可用一新瓶子替换该容器。为此将一只新瓶子133从下方拧紧在固定的盖子133’上。本发明的一大优点是特别节省液体111的耗用量，而且无须考虑液体的剩余。
当然，在本发明的范围内还可以做许多修改和改进。因此，可用不同方法来实现容器110的封闭，例如从上面安置一个盖子。另外，也可将基体129从上方放置到部件112的开口140上，而不是相反地把开口140移到基体129的下表面上。
同样地，例如可设置一个泵以替代伸缩软管125，该泵能迅速从容器110中将液体111吸下来，从而迅速降低液体液位124，为此该泵可以很简单地设计成工作缸的空腔。这种做法有点类似于在注射之前先将注射液吸进注射器中的吸液过程。在两种情况下(采用泵或工作缸)都能随即再将液体抽回到容器110中，例如通过该泵(未在图上示出)的输送装置换向来实现这一点。

Claims (23)

1.利用一个具有毛细缝隙(13，113)的部件(12；112)对基体(29；129)进行涂漆或涂膜的装置，
配有一个盛漆或涂膜液(以下简称液体(11；111))的容器(10，110)，在上述容器中这样安置了上述部件(12，112)，使得上述毛细缝隙(13，113)同上述容器中的液体相连通，而且该液体可以输供给毛细缝隙(13，113)；
配有机构(44，144)，用来沿垂直方向(16，28)相对于上述容器(10，110)移动上述毛细缝隙(13，113)的上述出口(40，40)。
2.按照权利要求1中所述的装置，其特征在于：上述毛细缝隙(13，113)的上述出口(14，140)借助沿垂直方向进行的移动可以完全浸没在液体(11，111)中(图1)。
3.按照权利要求1或2中所述的装置，其特征在于：上述毛细缝隙(13，113)的上述出口(40，140)借助沿垂直方向进行的移动可以靠紧基体(29，129)的下表面，或者反过来。
4.按照权利要求1至3中的一项或几项所述的装置，其特征在于：上述部件(12，112)的移动可以是垂直运动(16)的。
5.按照权利要求1所述的装置，其特征在于：上述容器(10，110)是按照一种槽形或池形设计的。
6.按照权利要求1至5的一项或几项中所述的装置，其特征在于：为容器(10，110)配备了一个封闭装置(19，119)，以便在涂漆设备(100)不用时封闭该容器。
7.如权利要求6所述装置，其中封闭装置包含一个用于容器(10；110)的可横向移动的上关闭机构(19，119)。
8.按照以上权利要求1项或多项所述的装置，其特征在于：容器(10，110)配有溢流管(32，132)，以便容器中的液体(11，111)的液位(24，124)保持在恒定的水平。
9.按照前面权利要求一项或多英所述的装置，其特征在于：配置了一个泵(34，134)，以便在涂膜时将所需的液体(11，111)从一贮存容器中输送给容器(10，110)的空腔(10a，110a)。
10.按照前面权利要求一项或多项所述的装置，其特征在于：配有一个过滤器(35，135)和一个泵(34，134)，以便对容器(10，110)的液体(11，111)在循环中进行过滤。
11.按照权利要求10中所述的装置，其特征在于：在涂膜或涂漆时过滤是中断的。
12.按照以上各项权利要求的一项或多项中所述的装置，其特征在于：配有机构(25，125)，以此可迅速降低容器中液体的液位(24，124)，特别在涂漆或涂膜过程结束时。
13.按照权利要求12所述的装置，其特征在于：在容器(10，110)所盛的液体(11，111)中安置了一个部件(25，125)，其体积是可以改变的。
14.按照权利要求13中所述的装置，其特征在于：上述部件(25，125)是作为伸缩软管加以设计的。
15.按照权利要求14中所述的装置，其特征在于：伸缩性软管(25，125)的体积是可以借助一个直线性驱动机构(60，160)来加以改变的。
16.按照前面权利要求一项或多项所述的装置，其特征在于：部件(12，112)在它的出口(40，140)处是由两个刀状部分(43，44；143，144)构成的，毛细缝隙(13，113)即形成于两个刀状部分之间，并向下延伸。
17.按照权利要求16所述的装置，其特征在于：设置在部件(12，112)的上表面上的开口(119′)的大型与刀状部分(143，144)的尺寸相匹配，从而上述开口可以紧密包绕着刀状部分。
18.按照权利要求16所述的装置，其特征在于：在出口(40，140)处的刀状部分(43，44；143，144)各自具有一个水平表面(177，178)，该水平表面的宽度(d2及d3)各自在0.1～0.5毫米范围内。
19.利用一个具有毛细缝隙(113)的部件(112)对基体(129)进行涂漆或涂膜的装置；配有一个盛液体(111)的容器(110)，在该容器中如此安置了部件(112)，使得毛细缝隙(113)与容器中的液体(111)相连，从而该液体可以输送给毛细缝隙(113)；配有设置在部件(112)上的两个刀状部分(143，144)。
20.按照权利要求19中所述的装置，其特征在于：刀状部分(143，144)在出口(140)处各自具有一个水平表面(177及178)，该水平表面的宽度(d2及d3)分别在0.1～0.5毫米范围内，最好约0.2毫米。
21.利用一种液体对基体进行涂漆或涂膜方法，包括以下步骤：
从盛有液体的容器中经过一毛细缝隙将液体输往基体；
在涂漆或涂膜结束时立即迅速降低容器中的液体液位，以结束涂漆或涂膜过程。
22.利用一种经毛细缝隙输供的液体对基体进行涂漆或涂膜的方法，包括以下步骤：
a)在开始准备进行涂膜或涂漆时，将毛细缝隙的出口移到紧靠在基体的下表面，使得液体在该出口处与基体的下表面相接触；
b)随后将该出口和基体下表面之间的间距增大，增大到一个满足涂漆或涂膜所需的值。
23.按照权利要求25中所述的方法，其特征在于：在完成步骤b)之后还包括引导该基体经过毛细缝隙的出口的步骤，或反过来引导毛细缝隙出口经过基体，以便完成涂漆或涂膜过程。
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