CN117072677A - 隔膜和隔膜阀 - Google Patents

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CN117072677A CN202310120792.5A CN202310120792A CN117072677A CN 117072677 A CN117072677 A CN 117072677A CN 202310120792 A CN202310120792 A CN 202310120792A CN 117072677 A CN117072677 A CN 117072677A
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饭村胜昭
三谷崇
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Abstract

本发明提供隔膜和隔膜阀。隔膜阀(100)包含有阀主体(10)、隔膜(20)、阀罩(40)以及压缩机(60)。隔膜(20)包含有：弯曲板状的第1部分(21)，其具有第1厚度(T1)；以及平面板状的第2部分(22)，其包围第1部分(21)的外侧，具有比第1厚度(T1)小的第2厚度(T2)而构成台阶。第2部分(22)包含有包围第1部分(21)的外侧的密封带(SB)。阀罩(40)具有收纳第1部分(21)的一部分的内阶部(43)，内阶部(43)的Z方向的大小(G)大于第1厚度与第2厚度之差(T1‑T2)。

Description

隔膜和隔膜阀
技术领域
本发明涉及隔膜和隔膜阀。
背景技术
图8A是现有的隔膜阀100a的剖视图。图8A的右半部分示出打开状态(S1)，左半部分示出关闭状态(S2)。隔膜阀100a具有阀主体10、隔膜20a、阀罩40a以及压缩机60。
阀主体10位于第1流路C1与第2流路C2之间。阀罩40a收纳压缩机60，通过螺栓30和螺母50而将隔膜20a的外周部以朝向阀主体10按压的状态固定于阀主体10。隔膜20a的中心部固定于压缩机60，压缩机60在阀罩40a的内部往复运动。由此，隔膜20a切换为打开状态(S1)和关闭状态(S2)，在该打开状态(S1)下，隔膜20a与阀主体10一同构成流路C1与C2之间的流体的连通路，在该关闭状态(S2)下，隔膜20a将流路C1与C2之间封堵。
隔膜阀100a所包含的部件中的仅阀主体10和隔膜20a与流体接触，包括压缩机60在内的驱动机构与连通路隔离。这样的隔膜阀具有流体不会与驱动机构接触而被污染并且驱动机构也不会与流体接触而劣化这样的特征，广泛用于医药品制造工厂、半导体制造工厂、化工厂等。
隔膜20a包含缓冲橡胶20c和密封部件20s。密封部件20s由作为氟树脂的PTFE(polytetrafluoroethylene：聚四氟乙烯)构成，耐药品性优异。缓冲橡胶20c由弹性模量比密封部件20s的弹性模量小的材料构成，即使阀主体10、压缩机60的形状存在微小的个体差异，也能够使隔膜20a无间隙地紧贴于阀主体10。
专利文献1：日本特公昭60-14232号公报
为了防止流体向隔膜阀100a的外部泄漏，即为了进行外部密封，重要的是，确保隔膜20a的外周部与阀主体10的密封面压。该密封面压是通过螺栓30和螺母50的紧固所引起的缓冲橡胶20c的压缩反作用力而产生的。
图8B是示出缓冲橡胶20c的压缩反作用力的变化的曲线图。图8B的横轴用对数刻度来表示从紧固螺栓30和螺母50时起的经过时间T，纵轴表示压缩反作用力F。折线F1表示初次紧固后的特性，直线F2表示第2次紧固后的特性。缓冲橡胶20c的压缩反作用力F在初次紧固之后立刻急剧降低，但在紧固后经过约1小时后，压缩反作用力F稳定，之后与经过时间T的对数大致成比例地降低。在压缩反作用力F稳定之后，若以与初次紧固时相同的紧固扭矩再次紧固螺栓30和螺母50，则压缩反作用力F恢复到某种程度，之后，不会急剧地降低，而是与经过时间T的对数大致成比例地降低。因此，隔膜阀100a的组装工序优选为包含在以规定的紧固扭矩紧固螺栓30和螺母50之后，例如4小时后，再次以规定的紧固扭矩进行的紧固。
但是，为了确保密封面压，需要隔开时间进行螺栓30和螺母50的2次紧固，有时导致组装工序繁杂，施工效率降低。
另一方面，如果增大螺栓30和螺母50的紧固扭矩，则隔膜20a的外周部与阀主体10的密封面压变高，外部密封性能有可能提高。
然而，若以过剩的紧固扭矩对螺栓30和螺母50进行紧固，则有时会产生缓冲橡胶20c的挤出，压缩反作用力F降低，隔膜20a的外周部与阀主体10的密封面压反而降低。图8C～图8E分别是图8A的包围部VIIICDE的放大图，图8C示出螺栓30和螺母50在紧固前的状态，图8D示出以适当扭矩进行紧固时的状态，图8E示出以过剩扭矩进行紧固时的状态。虽然在以适当扭矩进行紧固时，缓冲橡胶20c也稍微变形而挤出，但能够得到适当的压缩反作用力F。在以过剩扭矩进行紧固时，缓冲橡胶20c大幅挤出，无法得到适当的压缩反作用力F。
在专利文献1(日本特公昭60-14232号公报)中记载了如下的隔膜阀：在隔膜2的周边部分设置有台阶，将外侧设为薄壁的垫圈部2b，将内侧设为厚壁部2c。图9A～图9C示出专利文献1的几个图。根据专利文献1，隔膜2的周边部分被设为薄壁的垫圈部2b，由此抑制了隔膜2的周边部分在紧固螺栓3和螺母5时向外半径方向挤出。因此，通过紧固所赋予的垫圈部2b的紧固应力稳定。
如图9A和图9B所示，在专利文献1中，进行隔膜2与阀主体1的密封的密封带2a设置于厚壁部2c。
然而，要想进行基于密封带2a的密封，需要利用阀罩4的内阶部4c来按压包含密封带2a的厚壁部2c，使厚壁部2c产生充分的压缩反作用力F。若以大紧固扭矩对螺栓3和螺母5进行紧固，虽然隔膜2的垫圈部2b的密封面压升高，但隔膜2的厚壁部2c会向内侧挤出，压缩反作用力F降低，基于密封带2a的密封面压不会变高。图9D是图9A的包围部IXD的放大图，示出厚壁部2c的一部分因大紧固扭矩而向内侧挤出的情形。
发明内容
本发明的一个观点的隔膜是被按压于阀主体而构成隔膜阀的隔膜，其中，所述隔膜具有：弯曲板状的第1部分，其具有第1厚度；以及平面板状的第2部分，其包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述第2部分包含有包围所述第1部分的外侧的密封带。
本发明的一个观点的隔膜阀具有：阀主体，其位于第1流路与第2流路之间；隔膜，其包含有弯曲板状的第1部分和平面板状的第2部分，该第1部分具有第1厚度，该第2部分包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述第2部分包含有包围所述第1部分的外侧的密封带，所述隔膜能够切换为第1状态和第2状态，在该第1状态下，所述隔膜与所述阀主体一同构成所述第1流路与所述第2流路之间的连通路，在该第2状态下，所述隔膜将所述第1流路与所述第2流路之间封堵；压缩机，其将所述第1部分向朝向所述阀主体的按压方向按压而使所述隔膜成为所述第2状态，解除将所述第1部分朝向所述阀主体的按压而使所述隔膜成为所述第1状态；以及阀罩，其将所述第2部分朝向所述阀主体按压。
本发明的另一个观点的隔膜阀具有：阀主体，其位于第1流路与第2流路之间；隔膜，其包含有第1部分和第2部分，该第1部分具有第1厚度，该第2部分包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述隔膜能够切换为第1状态和第2状态，在该第1状态下，所述隔膜与所述阀主体一同构成所述第1流路与所述第2流路之间的连通路，在该第2状态下，所述隔膜将所述第1流路与所述第2流路之间封堵；压缩机，其将所述第1部分向朝向所述阀主体的按压方向按压而使所述隔膜成为所述第2状态，解除将所述第1部分朝向所述阀主体的按压而使所述隔膜成为所述第1状态；以及阀罩，其包含有收纳所述压缩机的筒状部，所述筒状部具有按压端面和内阶部，所述按压端面将所述第2部分朝向所述阀主体按压，所述内阶部收纳所述第1部分的一部分，所述内阶部的所述按压方向的大小大于所述第1厚度与所述第2厚度之差。
附图说明
图1是实施方式的隔膜阀100的剖视图。
图2是图1所示的阀主体10的俯视图。
图3A是图1所示的隔膜20的俯视图。图3B是沿图3A的IIIB-IIIB线的剖视图，图3C是沿图3A的IIIC-IIIC线的剖视图。图3D是隔膜20的仰视图。
图4是示出隔膜20的各部分的厚度的剖视图。
图5A和图5B分别示出图1所示的阀罩40的外观及一部分的截面。图5C是阀罩40的仰视图。
图6A和图6B分别是组合了隔膜20和阀罩40的剖视图。
图7示出将隔膜20的第1部分21和密封带SB的形状以及压缩机60的形状向-Z方向投影而重合的情形。
图8A是现有的隔膜阀100a的剖视图。图8B是示出缓冲橡胶20c的压缩反作用力的变化的曲线图。图8C～图8E分别是图8A的包围部VIIICDE的放大图，图8C示出螺栓30和螺母50在紧固前的状态，图8D示出以适当扭矩进行紧固时的状态，图8E示出以过剩扭矩进行紧固时的状态。
图9A～图9C示出专利文献1的几个图。图9D是图9A的包围部IXD的放大图，示出通过过剩的紧固而将厚壁部2c的一部分向内侧挤出的情形。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。以下所说明的实施方式示出本发明的一个例子，并不限定本发明的内容。并且，实施方式中所说明的结构和动作的全部并不是作为本发明的结构和动作所必须的。另外，对相同的构成要素标注相同的参照标号，并省略重复的说明。
1.隔膜阀100
图1是实施方式的隔膜阀100的剖视图。图1的右半部分示出打开状态(S1)，左半部分示出关闭状态(S2)。打开状态(S1)相当于本发明的第1状态，关闭状态(S2)相当于本发明的第2状态。隔膜阀100具有隔膜20和阀罩40来代替图8A所示的隔膜20a和阀罩40a，该点与现有的隔膜阀100a不同。关于隔膜20，在后文参照图3A～图3D及图4来叙述，关于阀罩40，在后文参照图5A～图5C来叙述。
将在阀主体10中流体流动的方向设为X方向或-X方向。将压缩机60在阀罩40的内部往复运动的方向设为Z方向或-Z方向。X方向与Z方向相互垂直。将与X方向和Z方向双方垂直的方向设为Y方向或-Y方向。图1相当于沿Y方向观察隔膜阀100的与XZ面平行的截面的图。
阀主体10位于第1流路C1与第2流路C2之间。隔膜20构成为能够切换为打开状态(S1)和关闭状态(S2)，在该打开状态(S1)下，隔膜20与阀主体10一同构成流路C1与C2之间的流体的连通路，在该关闭状态(S2)下，隔膜20将流路C1与C2之间封堵。阀罩40收纳压缩机60，通过螺栓30和螺母50而将隔膜20的外周部以朝向阀主体10按压的状态固定于阀主体10。压缩机60例如通过带螺纹的主轴70的动作而在阀罩40的内部往复运动，该主轴70的动作由手柄90来操作。通过固定于隔膜20的中心部的压缩机60往复运动，将隔膜20按压于阀主体10的阀座103而设为关闭状态(S2)，解除按压而设为打开状态(S1)。在伴随手柄90的操作而旋转的主轴70与不旋转的压缩机60之间配置有止推垫圈180。
2.阀主体10
图2是图1所示的阀主体10的俯视图。图2相当于沿-Z方向观察阀主体10的外观的图。阀主体10具有与流路C1连通的开口101、与流路C2连通的开口102以及位于开口101与102之间的阀座103。
3.隔膜20
图3A是图1所示的隔膜20的俯视图。图3A相当于沿-Z方向观察隔膜20的外观的图。图3B是沿图3A的IIIB-IIIB线的剖视图，图3C是沿图3A的IIIC-IIIC线的剖视图。在图3B和图3C中，省略了表示切断面的剖面线。图3D是隔膜20的仰视图。图3D相当于沿Z方向观察隔膜20的外观的图、或者将图3A的隔膜20翻过来观察的图。
隔膜20包含有缓冲橡胶20c和密封部件20s。在缓冲橡胶20c的内部配置有基布层BF。缓冲橡胶20c和密封部件20s的材质可以与参照图8A所说明的缓冲橡胶和密封部件相同。在密封部件20s形成有呈环状隆起的密封带SB和沿着密封带SB的直径呈Y方向的细长状隆起的接触线TL。
隔膜20如以下那样被按压于阀主体10而构成隔膜阀100。即，通过密封带SB被按压并固定在图2所示的阀主体10的包围开口101和102双方的位置，实现隔膜阀100的外部密封。通过接触线TL被按压在位于开口101与102之间的阀座103上，开口101与102之间被封堵而成为关闭状态(S2)，通过接触线TL的按压被解除，成为打开状态(S1)。
隔膜20包含有：弯曲板状的第1部分21，其具有第1厚度T1；以及平面板状的第2部分22，其包围第1部分21的外侧，具有比第1厚度T1小的第2厚度T2。缓冲橡胶20c和密封部件20s在第1厚度T1和第2厚度T2的方向上重叠。由缓冲橡胶20c的一部分和密封部件20s的一部分构成了具有厚度T1的第1部分21，由缓冲橡胶20c的另一部分和密封部件20s的另一部分构成了具有厚度T2的第2部分22。由于第1部分21具有比厚度T2大的厚度T1，因此即使阀主体10、压缩机60的形状存在微小的个体差异，也能够使接触线TL无间隙地紧贴于阀座103而设为关闭状态(S2)。
密封带SB以包围第1部分21的外侧的方式形成于第2部分22。因此，要想将密封带SB按压于阀主体10而实现外部密封，只要将具有比厚度T1小的厚度T2的第2部分22按压于阀主体10即可，无需将具有厚度T1的第1部分21按压于阀主体10。即使按压具有厚度T2的第2部分22，缓冲橡胶20c也不会大幅挤出，因此能够以更大的紧固扭矩对螺栓30和螺母50进行紧固。并且，即使在刚进行初次紧固之后，也能够抑制具有厚度T2的第2部分22处的缓冲橡胶20c的压缩反作用力的急剧降低，因此不需要再次的紧固。
图4是示出隔膜20的各部分的厚度的剖视图。在图4中，示出了与图3C相同的部分，但省略了一部分的标号。并且，省略了表示切断面的剖面线。缓冲橡胶20c中的构成第1部分21的一部分具有厚度Tc1，缓冲橡胶20c中的构成第2部分22的另一部分具有厚度Tc2。密封部件20s中的构成第1部分21的一部分具有厚度Ts1，密封部件20s中的构成第2部分22的另一部分具有厚度Ts2。
厚度Tc1比厚度Tc2大，厚度Tc1与厚度Tc2之差Tc1-Tc2比厚度Ts1与厚度Ts2之差|Ts1-Ts2|大。厚度Ts1和厚度Ts2可以相同。通过增大缓冲橡胶20c中的构成被压缩机60按压于阀主体10的第1部分21的上述一部分的厚度Tc1，即使阀主体10、压缩机60的形状存在微小的个体差异，也能够将隔膜20无间隙地紧贴于阀主体10。通过减小缓冲橡胶20c中的构成被阀罩40按压于阀主体10的第2部分22的上述另一部分的厚度Tc2，能够以大紧固扭矩对螺栓30和螺母50进行紧固而施加高密封面压。
缓冲橡胶20c中的构成第2部分22的上述另一部分的厚度Tc2比缓冲橡胶20c中的构成第1部分21的上述一部分的厚度Tc1小，并且比密封部件20s中的构成第2部分22的上述另一部分的厚度Ts2大。通过使厚度Tc2比厚度Tc1小，能够以大紧固扭矩对螺栓30和螺母50进行紧固而施加高密封面压。并且，通过使厚度Tc2比厚度Ts2大，能够确保缓冲橡胶20c的强度。
缓冲橡胶20c中的构成第2部分22的上述另一部分的厚度Tc2为缓冲橡胶20c中的构成第1部分21的上述一部分的厚度Tc1的二分之一以下。通过使厚度Tc2为厚度Tc1的二分之一以下，能够以大紧固扭矩对螺栓30和螺母50进行紧固而施加高密封面压。
4.阀罩40
图5A和图5B分别示出图1所示的阀罩40的外观及一部分的截面。图5A的左半部分是沿Y方向观察阀罩40的外观的图，右半部分是沿Y方向观察阀罩40的与XZ面平行的截面的图。图5B的左半部分是沿-X方向观察阀罩40的外观的图，右半部分是沿-X方向观察阀罩40的与YZ面平行的截面的图。图5C是阀罩40的仰视图，相当于沿Z方向观察阀罩40的图。
在阀罩40上形成有4个螺栓孔40h。如图2所示，在阀主体10的对应的位置也形成有4个螺栓孔10h，如图3A和图3D所示，在隔膜20的对应的位置也形成有4个螺栓孔20h。4根螺栓30分别贯通这些螺栓孔10h、20h及40h，分别用螺母50进行紧固。
螺栓孔的数量和螺栓根数表示一例，若隔膜20的尺寸变大，则螺栓孔的数量和螺栓根数增加。
阀罩40包含有收纳压缩机60的筒状部41。筒状部41具有：按压端面42，其将隔膜20的第2部分22朝向阀主体10向-Z方向按压；以及内阶部43，其在比按压端面42靠内侧的位置收纳隔膜20的第1部分21的一部分。内阶部43的-Z方向的大小G大于隔膜20的第1部分21的厚度T1与第2部分22的厚度T2之差T1-T2。由此，抑制了在按压端面42按压第2部分22时内阶部43按压第1部分21，能够对第2部分22施加高密封面压。-Z方向相当于本发明的按压方向。
内阶部43包含有：第1台阶部431，其沿着阀罩40的筒状部41的内周面与按压端面42之间的棱线的一部分形成；以及第2台阶部432，其沿着上述棱线的另一部分形成。由于第1台阶部431和第2台阶部432相互分离，因此在第1台阶部431与第2台阶部432的断缝处，压缩机60能够按压隔膜20的第1部分21。因此，能够使在Y方向上较长的接触线TL(参照图3D)的整体紧贴于阀主体10，将第1流路C1及第2流路C2之间封堵。
5.隔膜20和阀罩40的位置关系
图6A和图6B分别是组合了隔膜20和阀罩40的剖视图。图6A是沿Y方向观察隔膜20和阀罩40的与XZ面平行的截面的图，图6B是沿-X方向观察隔膜20和阀罩40的与YZ面平行的截面的图。省略了表示隔膜20的切断面的剖面线。
如图6A和图6B所示，形成于隔膜20的密封带SB位于阀罩40的比内阶部43靠外侧的按压端面42与阀主体10之间。由于在内阶部43与阀主体10之间没有形成密封带SB，因此内阶部43无需按压隔膜20。因此，即使由于螺栓30和螺母50的紧固而使按压端面42按压隔膜20，隔膜20的一部分也不会从内阶部43向内侧挤出，因此抑制了压缩反作用力降低。
6.隔膜20和压缩机60的位置关系
图7示出将隔膜20的第1部分21和密封带SB的形状以及压缩机60的形状向-Z方向投影而重合的情形。在图7中，仅示出第1部分21、密封带SB以及压缩机60各自的外缘21p、SBp及60p。
如图7所示，第1部分21的外缘21p位于比压缩机60的外缘60p靠外侧且比密封带SB的外缘SBp靠内侧的位置。即，压缩机60按压比外缘21p靠内侧的位置，而不按压比第1部分21的外缘21p靠外侧的位置。通过将隔膜20中的被压缩机60按压的部分设为第1厚度T1并将其外侧的设置有密封带SB的部分设为比第1厚度T1小的第2厚度T2，能够在第1厚度T1的部分借助压缩机60而使隔膜20无间隙地紧贴于阀主体10，能够在具有第2厚度T2的部分将隔膜20强力地按压于阀主体10而施加高密封面压。
7.其他
在上述的实施方式中，对隔膜20包含PTFE的密封部件20s的情况进行了说明，但本发明不限于此。也可以将缓冲橡胶20c和密封部件20s置换为一体成型的橡胶。
在上述的实施方式中，对压缩机60借助利用手柄90使其旋转的主轴70而往复运动的情况进行了说明，但本发明不限于此。隔膜阀100也可以具有气压式或电动式的驱动机构。

Claims (10)

1.一种隔膜，其被按压于阀主体而构成隔膜阀，其中，
所述隔膜具有：
弯曲板状的第1部分，其具有第1厚度；以及
平面板状的第2部分，其包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述第2部分包含有包围所述第1部分的外侧的密封带。
2.根据权利要求1所述的隔膜，其中，
所述隔膜包含有在所述第1厚度和所述第2厚度的方向上重叠的缓冲橡胶和密封部件，
所述缓冲橡胶的一部分和所述密封部件的一部分构成所述第1部分，
所述缓冲橡胶的另一部分和所述密封部件的另一部分构成所述第2部分，
所述缓冲橡胶中的构成所述第1部分的所述一部分与构成所述第2部分的所述另一部分的厚度之差比所述密封部件中的构成所述第1部分的所述一部分与构成所述第2部分的所述另一部分的厚度之差大。
3.根据权利要求1所述的隔膜，其中，
所述隔膜包含有在所述第1厚度和所述第2厚度的方向上重叠的缓冲橡胶和密封部件，
所述缓冲橡胶的一部分和所述密封部件的一部分构成所述第1部分，
所述缓冲橡胶的另一部分和所述密封部件的另一部分构成所述第2部分，
所述缓冲橡胶中的构成所述第2部分的所述另一部分的厚度比所述缓冲橡胶中的构成所述第1部分的所述一部分的厚度小，并且比所述密封部件中的构成所述第2部分的所述另一部分的厚度大。
4.根据权利要求1所述的隔膜，其中，
所述隔膜包含有在所述第1厚度和所述第2厚度的方向上重叠的缓冲橡胶和密封部件，
所述缓冲橡胶的一部分和所述密封部件的一部分构成所述第1部分，
所述缓冲橡胶的另一部分和所述密封部件的另一部分构成所述第2部分，
所述缓冲橡胶中的构成所述第2部分的所述另一部分的厚度为所述缓冲橡胶中的构成所述第1部分的所述一部分的厚度的二分之一以下。
5.一种隔膜阀，其具有：
阀主体，其位于第1流路与第2流路之间；
隔膜，其包含有弯曲板状的第1部分和平面板状的第2部分，该第1部分具有第1厚度，该第2部分包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述第2部分包含有包围所述第1部分的外侧的密封带，所述隔膜能够切换为第1状态和第2状态，在该第1状态下，所述隔膜与所述阀主体一同构成所述第1流路与所述第2流路之间的连通路，在该第2状态下，所述隔膜将所述第1流路与所述第2流路之间封堵；
压缩机，其将所述第1部分向朝向所述阀主体的按压方向按压而使所述隔膜成为所述第2状态，解除将所述第1部分朝向所述阀主体的按压而使所述隔膜成为所述第1状态；以及
阀罩，其将所述第2部分朝向所述阀主体按压。
6.根据权利要求5所述的隔膜阀，其中，
所述阀罩包含有收纳所述压缩机的筒状部，
所述筒状部具有：
按压端面，其将所述第2部分朝向所述阀主体按压；以及
内阶部，其在比所述按压端面靠内侧的位置收纳所述第1部分的一部分，
所述内阶部的所述按压方向的大小大于所述第1厚度与所述第2厚度之差。
7.一种隔膜阀，其具有：
阀主体，其位于第1流路与第2流路之间；
隔膜，其包含有第1部分和第2部分，该第1部分具有第1厚度，该第2部分包围所述第1部分的外侧，具有比所述第1厚度小的第2厚度而构成台阶，所述隔膜能够切换为第1状态和第2状态，在该第1状态下，所述隔膜与所述阀主体一同构成所述第1流路与所述第2流路之间的连通路，在该第2状态下，所述隔膜将所述第1流路与所述第2流路之间封堵；
压缩机，其将所述第1部分向朝向所述阀主体的按压方向按压而使所述隔膜成为所述第2状态，解除将所述第1部分朝向所述阀主体的按压而使所述隔膜成为所述第1状态；以及
阀罩，其包含有收纳所述压缩机的筒状部，所述筒状部具有按压端面和内阶部，所述按压端面将所述第2部分朝向所述阀主体按压，所述内阶部收纳所述第1部分的一部分，所述内阶部的所述按压方向的大小大于所述第1厚度与所述第2厚度之差。
8.根据权利要求7所述的隔膜阀，其中，
所述隔膜包含有密封带，该密封带位于比所述内阶部靠外侧的所述按压端面与所述阀主体之间。
9.根据权利要求8所述的隔膜阀，其中，
在将所述隔膜和所述压缩机的形状向所述按压方向投影而重合时，所述第1部分的外缘位于比所述压缩机的外缘靠外侧且比所述密封带的外缘靠内侧的位置。
10.根据权利要求6或7所述的隔膜阀，其中，
所述内阶部包含有：
第1台阶部，其沿着所述阀罩的内周面与所述按压端面之间的棱线的一部分形成；以及
第2台阶部，其沿着所述棱线的另一部分形成，
所述第1台阶部和所述第2台阶部相互分离。
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