CN117068756B - 精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及精密金属掩膜版加工技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法，包括机架、取料平台、翻转平台、转轴机构和顶升机构，取料平台和翻转平台间隔并列的设置在机架上，且取料平台的顶面高度略低于翻转平台的顶面高度；转轴机构设置在机架上，且位于取料平台和翻转平台之间，驱动翻转平台执行翻转动作；顶升机构设置在机架上，且位于取料平台的正下方，驱动取料平台执行升降动作；取料平台和翻转平台均包括底板、静电吸盘组件和展平组件，静电吸盘组件设置在底板的上方，且通过展平组件与底板连接，取料平台的底板底端与顶升机构的顶端连接；本发明结构设计简单，翻转效率高，翻转过程中均匀受力，且具有展平功能。

Description

精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法

技术领域

本发明涉及精密金属掩膜版加工技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法。

背景技术

精密金属掩膜版（FMM）是用于OLED生产的核心耗材，其厚度仅有20um左右，但长度可达到1400mm，宽度可达到400mm。精密金属掩膜版的激光加工需要双面加工，因此对精密金属掩膜版进行加工的过程中通常会涉及到翻转工序。

在翻转工序中，传统方法主要采用人工手动翻转，其劳动强度大，效率低下，人与产品的接触容易造成二次污染，且翻转过程中因人的不可控性容易导致产品出现折伤受损，从而带来很大的经济损失。目前，市面上也有专门的翻转机构对精密金属掩膜版进行翻转，其主要通过机械抓手、真空吸盘或电磁方式夹持精密金属掩膜版，然后通过中心翻转进行180°翻转。此种翻转机构存在如下缺陷：（1）机械抓手和真空吸盘在对精密金属掩膜版进行夹持的过程中，精密金属掩膜版的受力不均匀，接触处会出现应力集中，由于精密金属掩膜版的厚度较薄，易导致其接触处易出现折痕或裂痕，而电磁会将产品磁化；（2）翻转过程中精密金属掩膜版没有保持张紧状态，可能会出现褶皱。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种结构设计简单，翻转效率高，翻转过程中均匀受力，且具有展平功能的精细金属掩膜版翻转装置及其翻转方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架，还包括：

取料平台和翻转平台，间隔并列的设置在机架上，且取料平台的顶面高度略低于翻转平台的顶面高度；

转轴机构，设置在机架上，且位于取料平台和翻转平台之间，驱动翻转平台执行翻转动作；

顶升机构，设置在机架上，且位于取料平台的正下方，驱动取料平台执行升降动作；

所述取料平台和翻转平台均包括底板、静电吸盘组件和展平组件，所述静电吸盘组件设置在底板的上方，且通过展平组件与底板连接，所述取料平台的底板底端与顶升机构的顶端连接。

进一步地，所述静电吸盘组件包括吸附静电吸盘、展平静电吸盘和滑动组，所述吸附静电吸盘为两个，且两个吸附静电吸盘相邻并列的设置在底板的中部，所述展平静电吸盘沿底板的长度方向分别设置在吸附静电吸盘的两侧，所述吸附静电吸盘和展平静电吸盘之间通过滑动组连接。

进一步地，所述取料平台的展平静电吸盘、翻转平台的吸附静电吸盘以及翻转平台的展平静电吸盘上分别设置有PI膜，所述取料平台的吸附静电吸盘上设置有PET膜，所述取料平台的吸附静电吸盘上沿底板长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块。

进一步地，所述展平组件包括长度展平组和宽度展平组，所述长度展平组和宽度展平组均包括连接板、连杆、力传感器、张紧电机和安装板，所述连接板为两块，且其底端与安装板的顶端滑动连接，所述连杆的两端分别与连接板连接，所述张紧电机的输出端通过力传感器与连杆的中部连接，所述长度展平组的连接板顶端与展平静电吸盘连接，所述宽度展平组的连接板顶端与吸附静电吸盘连接，所述长度展平组的安装板底端滑动安装有中板，所述中板与底板滑动连接，所述宽度展平组的安装板底端与底板连接。

进一步地，所述连接板的顶端安装有调平组件，所述调平组件包括螺套和螺栓，所述螺套安装在连接板的顶端，所述螺栓螺纹穿设于螺套，且其顶端与静电吸盘组件连接。

进一步地，所述转轴机构包括翻转轴、翻转电机和全闭环圆光栅，所述翻转轴的两端分别通过轴承座转动安装在机架上，所述翻转电机的输出端通过减速机与翻转轴的一端连接，所述全闭环圆光栅安装在翻转轴的另一端，所述翻转轴与翻转平台的底板连接。

进一步地，所述翻转轴为中空结构，所述翻转轴的外壁沿轴向开设有凹槽，所述翻转轴上开设有若干通孔，所述凹槽通过若干通孔与翻转轴的内腔连通。

进一步地，所述顶升机构包括安装架、升降板、导向组件、连接架、丝杆、丝杆螺母、驱动组件和距离感应组件，所述安装架安装在机架的下方，所述升降板设置在安装架的中部，所述导向组件安装在安装架的顶端，所述导向组件的顶端通过连接架与取料平台的底板连接，且其底端与升降板连接，所述丝杆螺母安装在升降板的中心，且套设于丝杆的中部，所述丝杆竖直设置，且其两端分别与安装架转动连接，所述驱动组件安装在安装架的底端，并与丝杆的底端传动连接，所述距离感应组件分布在取料平台和翻转平台上。

进一步地，所述距离感应组件包括距离感应器和感应块，所述距离感应器分别安装在取料平台的底板两端，所述感应块分别安装在翻转平台的底板两端，所述距离感应器和感应块相对应。

一种基于上述精细金属掩膜版翻转装置的翻转方法，包括如下步骤：

S1、翻转前展平：所述翻转平台上放置产品，所述翻转平台的静电吸盘组件吸附产品，并由其展平组件进行展平；

S2、翻转：所述转轴机构驱动翻转平台翻转，直至取料平台和翻转平台面对面，翻转速度先高速再低速，所述顶升机构驱动取料平台升降，直至取料平台和翻转平台之间的间距达到容许范围；

S3、翻转后展平：所述翻转平台的静电吸盘组件释放产品，产品落在取料平台上，所述转轴机构驱动翻转平台翻转复位，所述取料平台的静电吸盘组件吸附产品，并由其展平组件进行展平。

本发明的有益效果是：

（1）本发明通过取料平台、翻转平台、转轴机构和顶升机构的设置，实现产品的自动精准翻转，结构设计简单，翻转效率高，在翻转过程中通过静电吸盘组件吸附产品，与机械抓手、真空吸盘或电磁方式夹持产品相比，产品的受力更加均匀，不易出现折痕或裂痕，且不会磁化产品，结合展平组件对产品的张紧，使得产品在整个取放以及翻转过程中不会出现褶皱；

（2）本发明通过吸附静电吸盘和展平静电吸盘的设置，实现对产品长度方向和宽度方向的张平，保证产品的有效展平；

（3）本发明通过在取料平台的展平静电吸盘、翻转平台的吸附静电吸盘以及翻转平台的展平静电吸盘上均设置PI膜，一方面减小膜表面的粗糙度，增大产品附着力，保证翻转过程中产品不会掉落，另一方面增大膜与产品间的摩擦力，进一步保证了产品有效展平，且通过摩擦力的展平，可以有效避免产品被过度拉伸的问题，当展平距离过大时，产品和PI膜会发生相对滑动，从而避免产品被拉坏；

（4）本发明通过在取料平台的吸附静电吸盘上设置PET膜，使得对产品的吸附力不会过大，结合多孔陶瓷块的设置，多孔陶瓷块可吹气，当产品翻转后需要取走时，使得产品与吸盘之间快速产生缝隙，避免产品与吸盘之间因静电力或真空负压紧密贴合，从而使得产品可以轻易的被取料吸头吸走。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的正视图；

图3是本发明中取料平台的爆炸图；

图4是本发明中宽度展平组的结构示意图；

图5是图4中A部的放大图；

图6是本发明中长度展平组的结构示意图；

图7是本发明中滑动组的结构示意图；

图8是本发明中转轴机构的结构示意图；

图9是图8中B部的放大图；

图10是本发明中顶升机构的结构示意图。

图中：100、取料平台；200、翻转平台；300、转轴机构；301、翻转轴；302、翻转电机；303、全闭环圆光栅；304、轴承座；305、减速机；400、顶升机构；401、安装架；402、升降板；403、导向组件；404、连接架；405、丝杆；406、丝杆螺母；407、驱动组件；408、距离感应组件；4081、距离感应器；4082、感应块；500、底板；600、静电吸盘组件；601、吸附静电吸盘；602、展平静电吸盘；603、滑动组；6031、导柱；6032、导套；700、展平组件；701、长度展平组；702、宽度展平组；800、多孔陶瓷块；900、连接板；1000、连杆；1100、力传感器；1200、张紧电机；1300、安装板；1400、中板；1500、调平组件；1501、螺套；1502、螺栓；1600、凹槽；1700、通孔；1800、取料吸头；1900、托板；2000、立柱；2100、缓冲器。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本发明作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

实施例1。

如图1和图3所示，一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架（图中未示出）、取料平台100、翻转平台200、转轴机构300和顶升机构400，取料平台100和翻转平台200间隔并列的设置在机架上，且取料平台100的顶面高度略低于翻转平台200的顶面高度，避免翻转平台200翻转过程中取料平台100的干扰；转轴机构300设置在机架上，且位于取料平台100和翻转平台200之间，驱动翻转平台200执行翻转动作；顶升机构400设置在机架上，且位于取料平台100的正下方，驱动取料平台100执行升降动作；取料平台100和翻转平台200均包括底板500、静电吸盘组件600和展平组件700，静电吸盘组件600设置在底板500的上方，且通过展平组件700与底板500连接，取料平台100的底板500底端与顶升机构400的顶端连接。通过取料平台100、翻转平台200、转轴机构300和顶升机构400的设置，实现产品的自动精准翻转，结构设计简单，翻转效率高，在翻转过程中通过静电吸盘组件600吸附产品，与机械抓手、真空吸盘或电磁方式夹持产品相比，产品的受力更加均匀，不易出现折痕或裂痕，且不会磁化产品，结合展平组件700对产品的张紧，使得产品在整个取放以及翻转过程中不会出现褶皱。翻转平台200设计为同一象限的偏心翻转，相比中心翻转，可完全省去其他多余运动部件，结构进一步简化，翻转效率极高。

如图3所示，静电吸盘组件600包括吸附静电吸盘601、展平静电吸盘602和滑动组603，吸附静电吸盘601为两个，且两个吸附静电吸盘601相邻并列的设置在底板500的中部，展平静电吸盘602沿底板500的长度方向分别设置在吸附静电吸盘601的两侧，吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602之间通过滑动组603连接。通过吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602的设置，实现对产品长度方向和宽度方向的张平，保证产品的有效展平。静电吸盘组件600的设置，与真空吸盘相比，避免产品尺寸影响导致的真空漏气，可实现任意尺寸产品的翻转，通用性强。

如图3和图7所示，具体的，静电吸盘组件600包括2个吸附静电吸盘601和4个展平静电吸盘602，吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602均为现有的静电吸盘，在此对其具体结构不再赘述；滑动组603包括导柱6031和导套6032，导套6032为两个，分别滑动套设于导柱6031的两端，一个导套6032与吸附静电吸盘601的底端连接，另一个导套6032与展平静电吸盘602的底端连接，滑动组603的设置，一方面避免了展平过程中吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602出现相对偏移，导致产品产生撕裂应力，另一方面保证了产品长度方向或宽度方向展平的一致性，避免出现局部未展平。

如图1和图3所示，取料平台100的展平静电吸盘602、翻转平台200的吸附静电吸盘601以及翻转平台200的展平静电吸盘602上分别设置有PI膜（聚酰亚胺膜），取料平台100的吸附静电吸盘601上设置有PET膜（聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜），取料平台100的吸附静电吸盘601上沿底板500长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块800。通过在取料平台100的展平静电吸盘602、翻转平台200的吸附静电吸盘601以及翻转平台200的展平静电吸盘602上均设置PI膜，一方面减小膜表面的粗糙度，增大产品附着力，保证翻转过程中产品不会掉落，另一方面增大膜与产品间的摩擦力，进一步保证了产品有效展平，且通过摩擦力的展平，可以有效避免产品被过度拉伸的问题，当展平距离过大时，产品和PI膜会发生相对滑动，从而避免产品被拉坏。同时，通过在取料平台100的吸附静电吸盘601上设置PET膜，使得对产品的吸附力不会过大，结合多孔陶瓷块800的设置，多孔陶瓷块800可吸附和可吹气，当产品翻转后需要取走时，使得产品与吸盘之间快速产生缝隙，避免产品与吸盘之间因静电力或真空负压紧密贴合，从而使得产品可以轻易的被取料吸头1800吸走。具体的，多孔陶瓷块800中的孔与气源设备（图中未示出）连通，多孔陶瓷块800的顶面与吸附静电吸盘601的顶面齐平。

如图3-图6所示，展平组件700包括长度展平组701和宽度展平组702，长度展平组701和宽度展平组702均包括连接板900、连杆1000、力传感器1100、张紧电机1200和安装板1300，连接板900为两块，且其底端与安装板1300的顶端滑动连接，连杆1000的两端分别与连接板900连接，张紧电机1200的输出端通过力传感器1100与连杆1000的中部连接，长度展平组701的连接板900顶端与展平静电吸盘602连接，宽度展平组702的连接板900顶端与吸附静电吸盘601连接，长度展平组701的安装板1300底端滑动安装有中板1400，中板1400与底板500滑动连接，宽度展平组702的安装板1300底端与底板500连接。通过吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602的设置，实现对产品长度方向和宽度方向的张平，保证产品的有效展平。具体的，中板1400沿底板500的宽度方向可滑动；长度展平组701的安装板1300沿底板500的长度方向可滑动；宽度展平组702的连接板900沿底板500的宽度方向可滑动。展平时，长度展平组701的张紧电机1200通过连杆1000驱动连接板900移动，进而同步带动展平静电吸盘602沿底板500的长度方向慢慢移动，实现产品长度方向的展平，然后宽度展平组702的张紧电机1200通过连杆1000驱动连接板900移动，进而同步带动吸附静电吸盘601和展平静电吸盘602沿底板500的宽度方向慢慢移动，实现产品宽度方向的展平。其中，力传感器1100的设置，保证产品有效展平的同时，避免对产品的过度张拉。

如图5所示，连接板900的顶端安装有调平组件1500，调平组件1500包括螺套1501和螺栓1502，螺套1501安装在连接板900的顶端，螺栓1502螺纹穿设于螺套1501，且其顶端与静电吸盘组件600连接。在进行翻转工序前，分别旋转螺栓1502调整静电吸盘组件600的平面度，保证取料平台100和翻转平台200的平面度和平行度。

如图8所示，转轴机构300包括翻转轴301、翻转电机302和全闭环圆光栅303，翻转轴301的两端分别通过轴承座304转动安装在机架上，翻转电机302的输出端通过减速机305与翻转轴301的一端连接，全闭环圆光栅303安装在翻转轴301的另一端，翻转轴301与翻转平台200的底板500连接。通过全闭环圆光栅303的设置，翻转过程中实现双重闭环全反馈，保证翻转平台200的位置精准，翻转精度高度可靠。具体的，翻转轴301通过托板1900与翻转平台200的底板500连接。

如图9所示，翻转轴301为中空结构，翻转轴301的外壁沿轴向开设有凹槽1600，翻转轴301上开设有若干通孔1700，凹槽1600通过若干通孔1700与翻转轴301的内腔连通。具体的，翻转轴301的另一端通过旋转接头（图中未示出）与气源设备连通，旋转接头与翻转轴301的内腔连通。通过凹槽1600吹出离子风，用于清洁取料平台100和翻转平台200，并去除静电残留。

如图1、图2和图10所示，顶升机构400包括安装架401、升降板402、导向组件403、连接架404、丝杆405、丝杆螺母406、驱动组件407和距离感应组件408，安装架401安装在机架的下方，升降板402设置在安装架401的中部，导向组件403安装在安装架401的顶端，导向组件403的顶端通过连接架404与取料平台100的底板500连接，且其底端与升降板402连接，丝杆螺母406安装在升降板402的中心，且套设于丝杆405的中部，丝杆405竖直设置，且其两端分别与安装架401转动连接，驱动组件407安装在安装架401的底端，并与丝杆405的底端传动连接，距离感应组件408分布在取料平台100和翻转平台200上。升降时，驱动组件407驱动丝杆405转动，使得丝杆螺母406沿着丝杆405轴向移动，进而同步带动升降板402升降，从而通过导向组件403和连接架404带动取料平台100升降。具体的，安装架401通过立柱2000安装在机架的下方；导向组件403为滑套滑轴结构，驱动组件407为电机、皮带以及皮带轮结构，均为现有技术，在此不再赘述。

如图2所示，距离感应组件408包括距离感应器4081和感应块4082，距离感应器4081分别安装在取料平台100的底板500两端，感应块4082分别安装在翻转平台200的底板500两端，距离感应器4081和感应块4082相对应。通过距离感应器4081和感应块4082的配合设置，保证了翻转平台200翻转到位后，取料平台100和翻转平台200之间平行且间距精确可控。具体的，取料平台100和翻转平台200面对面时，其间距控制在200-700um之间。

如图2所示，为了避免取料平台100升降过程中以及翻转平台200翻转过程中与机架发生刚性碰撞，机架上安装有缓冲器2100进行缓冲。

实施例2。

一种基于实施例1中所述精细金属掩膜版翻转装置的翻转方法，包括如下步骤：

S1、翻转前展平：翻转平台200上放置产品，翻转平台200的静电吸盘组件600吸附产品，并由其展平组件700进行展平；

S2、翻转：转轴机构300驱动翻转平台200翻转，直至取料平台100和翻转平台200面对面，翻转速度先高速再低速，顶升机构400驱动取料平台100升降，直至取料平台100和翻转平台200之间的间距达到容许范围；

S3、翻转后展平：翻转平台200的静电吸盘组件600释放产品，产品落在取料平台100上，转轴机构300驱动翻转平台200翻转复位，取料平台100的静电吸盘组件600吸附产品，并由其展平组件700进行展平。

在进行步骤S1前，可通过调平组件1500调整取料平台100和翻转平台200的平面度和平行度。在步骤S3过后，取料吸头1800来到多孔陶瓷块800上方，取料平台100的静电吸盘组件600释放产品，且多孔陶瓷块800吹气，取料吸头1800将产品吸走。

步骤S1和S3中展平的具体步骤如下：首先展平静电吸盘602开启将产品两端吸住，然后长度展平组701驱动展平静电吸盘602移动实现产品长度方向展平，再然后吸附静电吸盘601开启将产品吸住，最后宽度展平组702驱动吸附静电吸盘601进而同步带动展平静电吸盘602移动实现产品宽度方向展平。

步骤S2的具体步骤如下：

S21、翻转电机302根据全闭环圆光栅303得到的实时翻转角度精确控制翻转平台200的翻转角度，直至翻转平台200翻转到位，即取料平台100和翻转平台200面对面；

S22、顶升机构400根据距离感应组件408得到的实时间距精确控制取料平台100的高度，直至取料平台100和翻转平台200间距在200-700um之间。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种精细金属掩膜版翻转装置，包括机架，其特征在于，还包括：

取料平台（100）和翻转平台（200），间隔并列的设置在机架上，且取料平台（100）的顶面高度略低于翻转平台（200）的顶面高度；

转轴机构（300），设置在机架上，且位于取料平台（100）和翻转平台（200）之间，驱动翻转平台（200）执行翻转动作；

顶升机构（400），设置在机架上，且位于取料平台（100）的正下方，驱动取料平台（100）执行升降动作；

所述取料平台（100）和翻转平台（200）均包括底板（500）、静电吸盘组件（600）和展平组件（700），所述静电吸盘组件（600）设置在底板（500）的上方，且通过展平组件（700）与底板（500）连接，所述取料平台（100）的底板（500）底端与顶升机构（400）的顶端连接；

所述展平组件（700）包括长度展平组（701）和宽度展平组（702），所述长度展平组（701）和宽度展平组（702）均包括连接板（900）、连杆（1000）、力传感器（1100）、张紧电机（1200）和安装板（1300），所述连接板（900）为两块，且其底端与安装板（1300）的顶端滑动连接，所述连杆（1000）的两端分别与连接板（900）连接，所述张紧电机（1200）的输出端通过力传感器（1100）与连杆（1000）的中部连接，所述长度展平组（701）的连接板（900）顶端与展平静电吸盘（602）连接，所述宽度展平组（702）的连接板（900）顶端与吸附静电吸盘（601）连接，所述长度展平组（701）的安装板（1300）底端滑动安装有中板（1400），所述中板（1400）与底板（500）滑动连接，所述宽度展平组（702）的安装板（1300）底端与底板（500）连接；

所述静电吸盘组件（600）包括吸附静电吸盘（601）、展平静电吸盘（602）和滑动组（603），所述吸附静电吸盘（601）为两个，且两个吸附静电吸盘（601）相邻并列的设置在底板（500）的中部，所述展平静电吸盘（602）沿底板（500）的长度方向分别设置在吸附静电吸盘（601）的两侧，所述吸附静电吸盘（601）和展平静电吸盘（602）之间通过滑动组（603）连接；

所述滑动组（603）包括导柱（6031）和导套（6032），所述导套（6032）为两个，分别滑动套设于导柱（6031）的两端，一个导套（6032）与吸附静电吸盘（601）的底端连接，另一个导套（6032）与展平静电吸盘（602）的底端连接。

2.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述取料平台（100）的展平静电吸盘（602）、翻转平台（200）的吸附静电吸盘（601）以及翻转平台（200）的展平静电吸盘（602）上分别设置有PI膜，所述取料平台（100）的吸附静电吸盘（601）上设置有PET膜，所述取料平台（100）的吸附静电吸盘（601）上沿底板（500）长度方向的两端分别安装有多孔陶瓷块（800）。

3.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述连接板（900）的顶端安装有调平组件（1500），所述调平组件（1500）包括螺套（1501）和螺栓（1502），所述螺套（1501）安装在连接板（900）的顶端，所述螺栓（1502）螺纹穿设于螺套（1501），且其顶端与静电吸盘组件（600）连接。

4.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述转轴机构（300）包括翻转轴（301）、翻转电机（302）和全闭环圆光栅（303），所述翻转轴（301）的两端分别通过轴承座（304）转动安装在机架上，所述翻转电机（302）的输出端通过减速机（305）与翻转轴（301）的一端连接，所述全闭环圆光栅（303）安装在翻转轴（301）的另一端，所述翻转轴（301）与翻转平台（200）的底板（500）连接。

5.根据权利要求4所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述翻转轴（301）为中空结构，所述翻转轴（301）的外壁沿轴向开设有凹槽（1600），所述翻转轴（301）上开设有若干通孔（1700），所述凹槽（1600）通过若干通孔（1700）与翻转轴（301）的内腔连通。

6.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述顶升机构（400）包括安装架（401）、升降板（402）、导向组件（403）、连接架（404）、丝杆（405）、丝杆螺母（406）、驱动组件（407）和距离感应组件（408），所述安装架（401）安装在机架的下方，所述升降板（402）设置在安装架（401）的中部，所述导向组件（403）安装在安装架（401）的顶端，所述导向组件（403）的顶端通过连接架（404）与取料平台（100）的底板（500）连接，且其底端与升降板（402）连接，所述丝杆螺母（406）安装在升降板（402）的中心，且套设于丝杆（405）的中部，所述丝杆（405）竖直设置，且其两端分别与安装架（401）转动连接，所述驱动组件（407）安装在安装架（401）的底端，并与丝杆（405）的底端传动连接，所述距离感应组件（408）分布在取料平台（100）和翻转平台（200）上。

7.根据权利要求6所述的精细金属掩膜版翻转装置，其特征在于，所述距离感应组件（408）包括距离感应器（4081）和感应块（4082），所述距离感应器（4081）分别安装在取料平台（100）的底板（500）两端，所述感应块（4082）分别安装在翻转平台（200）的底板（500）两端，所述距离感应器（4081）和感应块（4082）相对应。

8.一种基于权利要求1-7任一所述一种精细金属掩膜版翻转装置的翻转方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、翻转前展平：所述翻转平台（200）上放置产品，所述翻转平台（200）的静电吸盘组件（600）吸附产品，并由其展平组件（700）进行展平；

S2、翻转：所述转轴机构（300）驱动翻转平台（200）翻转，直至取料平台（100）和翻转平台（200）面对面，翻转速度先高速再低速，所述顶升机构（400）驱动取料平台（100）升降，直至取料平台（100）和翻转平台（200）之间的间距达到容许范围；

S3、翻转后展平：所述翻转平台（200）的静电吸盘组件（600）释放产品，产品落在取料平台（100）上，所述转轴机构（300）驱动翻转平台（200）翻转复位，所述取料平台（100）的静电吸盘组件（600）吸附产品，并由其展平组件（700）进行展平。