CN116913831A - 反应管输送治具和反应管的输送方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及反应管输送治具和反应管的输送方法。提供一种能够容易地更换反应管的技术。本公开的一技术方案的反应管输送治具是在与基板处理装置所具备的多个处理部之间输送反应管的反应管输送治具，其中，该反应管输送治具具备：第1台车，其能够在第1平面上移动；第2台车，其堆叠在所述第1台车之上，能够在与所述第1平面不同的高度的第2平面上移动；以及第3台车，其堆叠在所述第2台车之上，能够在与所述第2平面不同的高度的第3平面之上移动，该第3台车保持所述反应管。

Description

反应管输送治具和反应管的输送方法
技术领域
本公开涉及反应管输送治具和反应管的输送方法。
背景技术
在成批地处理多张基板的纵型热处理装置中，公知有针对一个装载组件设置多个处理组件的结构(例如，参照专利文献1)。各处理组件在反应管的内部收容并处理多张基板。另外，公知有载置并输送作为半导体制造装置的结构部件的反应管的台车(例如，参照专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2020-113746号公报
专利文献2：日本特开2019-201048号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开提供一种能够容易地更换反应管的技术。
用于解决问题的方案
本公开的一技术方案的反应管输送治具是在与基板处理装置所具备的多个处理部之间输送反应管的反应管输送治具，其中，该反应管输送治具具备：第1台车，其能够在第1平面上移动；第2台车，其堆叠在所述第1台车之上，能够在与所述第1平面不同的高度的第2平面上移动；以及第3台车，其堆叠在所述第2台车之上，能够在与所述第2平面不同的高度的第3平面上移动，该第3台车保持所述反应管。
发明的效果
根据本公开，能够容易地更换反应管。
附图说明
图1是表示基板处理装置的一个例子的立体图(1)。
图2是表示基板处理装置的一个例子的立体图(2)。
图3是表示基板处理装置的一个例子的立体图(3)。
图4是表示基板输送部和批量处理部的概略图。
图5是表示反应管输送治具的一个例子的立体图。
图6是表示第1台车的概略图(1)。
图7是表示第1台车的概略图(2)。
图8是表示第1台车的概略图(3)。
图9是表示第1台车的概略图(4)。
图10是表示第1台车的概略图(5)。
图11是表示第2台车的概略图(1)。
图12是表示第2台车的概略图(2)。
图13是表示第2台车的概略图(3)。
图14是表示第2台车的概略图(4)。
图15是表示第2台车的概略图(5)。
图16是表示第3台车的概略图。
图17是说明反应管的安装方法的图(1)。
图18是说明反应管的安装方法的图(2)。
图19是说明反应管的安装方法的图(3)。
图20是说明反应管的安装方法的图(4)。
图21是说明反应管的安装方法的图(5)。
图22是说明反应管的安装方法的图(6)。
图23是说明反应管的安装方法的图(7)。
图24是说明反应管的安装方法的图(8)。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的非限定性的例示的实施方式。在所有附图中，对相同或对应的构件或部件标注相同或对应的附图标记，并省略重复的说明。
〔基板处理装置〕
参照图1～图4，说明实施方式的基板处理装置1。图1～图3是表示实施方式的基板处理装置1的立体图，分别是自不同的方向观察基板处理装置1时的图。图4是表示基板输送部3和批量处理部4的概略图，且是从后方观察基板输送部3和批量处理部4的内部时的图。
基板处理装置1例如设置于洁净室内。基板处理装置1具备送入送出部2、基板输送部3、以及多个批量处理部4。
送入送出部2设置于地面F。送入送出部2具有供盒C送入或送出的前表面2a和与前表面2a相反的一侧的后表面2b。前表面2a位于送入送出部2的Y轴方向负侧。后表面2b位于送入送出部2的Y轴方向正侧。盒C是收容多张(例如25张)基板W的容器。盒C例如是FOUP(Front-Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)。基板W例如是半导体晶圆。送入送出部2的内部例如处于大气气氛下。
送入送出部2具有装载口21。装载口21设于送入送出部2的X轴方向负侧且Y轴方向负侧。装载口21沿着X轴方向设有两个。在装载口21载置盒C。盒C相对于装载口21送入或送出。装载口21也可以在铅垂方向(Z轴方向)上设为多层。装载口21的数量没有特别限定。
基板输送部3配置于送入送出部2的Y轴方向正侧。基板输送部3沿着与送入送出部2的后表面2b正交的第1方向(Y轴方向)延伸。基板输送部3设置于地面F。基板输送部3相对于多个批量处理部4共用地设有一个。即，多个批量处理部4具有共用的基板输送部3。基板输送部3具有基板输送装置31。基板输送装置31在送入送出部2与多个批量处理部4的各批量处理部4之间输送基板W。基板输送装置31具有多个拾取件31p。在该情况下，基板输送装置31能够同时输送多张基板W。因此，能够缩短基板W的输送所需要的时间。拾取件31p的数量没有特别限定。
多个批量处理部4配置于基板输送部3的X轴方向负侧。多个批量处理部4沿着基板输送部3的长边方向(Y轴方向)相邻地设置。在图示的例子中，沿着基板输送部3的长边方向相邻地配置有4个批量处理部4。各批量处理部4成批地处理多张(例如25张～150张)基板W。各批量处理部4的内部设为非活性气体气氛，例如氮气气氛。在该情况下，能够抑制批量处理部4中的基板W的氧化。批量处理部4是处理部的一个例子。各批量处理部4具有热处理单元41、装载单元42、气体供给单元43、排气单元44、处理组件控制单元45、强制空气冷却单元46、气体控制单元47、地面盒48、以及导轨49a、49b。
热处理单元41对多张基板W进行规定的热处理。热处理单元41具有反应管411和加热器412。
反应管411收容基板保持件414。基板保持件414将基板W在上下方向上具有规定间隔地保持为大致水平。基板保持件414例如由石英、碳化硅等耐热材料形成。在反应管411设有气体导入口411a和排气口411b。
气体导入口411a向反应管411内导入气体。气体导入口411a设于反应管411的X轴方向正侧。设置气体导入口411a的位置优选在多个批量处理部4之间相同。在该情况下，能够使气体供给单元43与气体导入口411a之间的配管长度在多个批量处理部4之间一致。因此，能够减小由机差导致的处理偏差。
排气口411b对反应管411内的气体进行排气。排气口411b设于反应管411的X轴方向负侧。即，排气口411b设于与气体导入口411a相反的一侧。设置排气口411b的位置优选在多个批量处理部4之间相同。在该情况下，能够在多个批量处理部4之间使排气传导性一致。因此，能够减小由机差导致的处理偏差。
加热器412设于反应管411的周围。加热器412例如具有圆筒形状。加热器412对收容于反应管411内的各基板W进行加热。在反应管411的下方设有闸门415。闸门415构成为在封堵反应管411的下端的开口的位置与不封堵反应管411的下端的开口的位置之间水平移动。闸门415在自反应管411内送出基板保持件414且送入下一基板保持件414之前的期间封堵反应管411的下端的开口。
装载单元42设于热处理单元41的下方。装载单元42隔着地面盒48设置于地面F。地面盒48也可以是组装于装载单元42而与装载单元42一体化的结构。装载单元42在与基板输送部3之间交接收容于反应管411的各基板W。在装载单元42，基板保持件414隔着保温筒416载置于盖体417之上。盖体417被升降机构418支承。升降机构418使盖体417升降，从而使基板保持件414相对于反应管411送入或送出。升降机构418例如包括滚珠丝杠。装载单元42还作为对在热处理单元41处理后的各基板W进行冷却的空间发挥功能。升降机构418保持后述的第3台车150并使其升降。
气体供给单元43设于热处理单元41的配置有基板输送部3的那侧。气体供给单元43向气体导入口411a供给处理气体。气体供给单元43优选配置于与气体导入口411a相同的一侧。在该情况下，能够缩短气体供给单元43与气体导入口411a之间的配管长度。因此，能够获得降低配管构件、配管加热器的使用量、降低配管加热器的电力消耗、降低维护时的清理范围、降低杂质向反应管411内的混入风险等效果。气体供给单元43配置于与反应管411大致相同的高度位置。气体供给单元43包括流量控制器、开闭阀等。
排气单元44配置于热处理单元41的与配置有基板输送部3的那侧相反的一侧。排气单元44优选配置于与排气口411b相同的一侧。在从Y轴方向观察时，排气单元44具有倒L字状。排气单元44在与装载单元42之间形成维护通路B1。维护通路B1是能够供作业人员进入退出的维护通路。作业人员能够在维护通路B1容易地对在前后方向上排列的多个批量处理部4实施维护。
排气单元44的一端与排气口411b连接，另一端向下方延伸并贯穿地面F，与配置于地面F的下方的未图示的排气装置连接。排气装置经由排气口411b和排气单元44对反应管411内进行排气而使其减压。排气装置包括真空泵、阀等。
强制空气冷却单元46是生成向加热器412供给的制冷剂的单元。制冷剂例如为空气。强制空气冷却单元46包括换热器、鼓风机、阀、配管等。强制空气冷却单元46设于热处理单元41的X轴方向负侧。自强制空气冷却单元46送入的制冷剂向反应管411与加热器412之间的空间供给。由此，能够在短时间内冷却反应管411。
处理组件控制单元45和气体控制单元47配置于热处理单元41的顶部。处理组件控制单元45和气体控制单元47控制批量处理部4的各部分的动作。处理组件控制单元45和气体控制单元47包括各种控制设备。
地面盒48设置于地面F。地面盒48具有第1上表面48a和第2上表面48b。在第1上表面48a设置有装载单元42。第2上表面48b暴露于维护通路B1。第2上表面48b的高度低于第1上表面48a的高度。
导轨49a以能够装卸的方式安装于维护通路B1的靠X轴方向正侧的侧面。例如，导轨49a安装于地面盒48的侧面。导轨49b以能够装卸的方式安装于维护通路B1的靠X轴方向负侧的侧面。例如，导轨49b安装于排气单元44的侧面。导轨49a、49b分别沿着Y轴方向延伸。例如在更换反应管411时安装导轨49a、49b。在导轨49a设有多个卡合部49c。多个卡合部49c在Y轴方向上设于与多个批量处理部4的各批量处理部4对应的位置。卡合部49c与后述的第2台车130的被卡合部140卡合，从而将第2台车130向装载单元42侧牵拉并固定。
如以上说明的那样，根据基板处理装置1，针对一个基板输送部3配置有多个批量处理部4，因此，与针对一个基板输送部3配置有一个批量处理部4的情况相比，能够减小基板处理装置1的设置面积。因此，每单位面积的生产率得到提高。
〔反应管输送治具〕
参照图5～图16说明实施方式的反应管输送治具100。
图5是表示反应管输送治具100的一个例子的立体图。反应管输送治具100在与多个批量处理部4之间保持并输送反应管411。反应管输送治具100例如在洁净室内使用。反应管输送治具100具备第1台车110、第2台车130、以及第3台车150。
图6～图10是表示第1台车110的概略图。图6是第1台车110的立体图。图7是从图6的箭头A11的方向观察第1台车110时的图。图8是从图6的箭头A12的方向观察第1台车110时的图。图9是从图6的箭头A13的方向观察第1台车110时的图。图10是从图6的箭头A14的方向观察第1台车110时的图。
第1台车110构成为能够在第1平面上移动。第1平面例如是洁净室内的地面F。第1台车110具有框架111、脚轮112、手柄113、调整脚114、导轨115、连结用模块116、以及支架117。
框架111形成为矩形的框状。在框架111安装有脚轮112、手柄113、调整脚114、导轨115、连结用模块116、以及支架117。框架111是第1框架的一个例子。
脚轮112安装于框架111的四角。脚轮112例如是适用于洁净室的脚轮。脚轮112使第1台车110在第1平面上沿水平方向自如地移动。脚轮112例如可以包括行驶方向能转弯的万向轮和行驶方向固定的固定轮。脚轮112例如可以包括带锁定机构的脚轮。脚轮112的车轮的材质例如是充气橡胶。在该情况下，能够抑制第1台车110行驶时的振动。脚轮112的车轮的直径例如是210mm。
手柄113安装于框架111的X轴方向正侧。手柄113沿着Y轴方向延伸。作业人员能够握住手柄113使第1台车110沿着X轴方向和Y轴方向移动。
调整脚114与脚轮112同样地安装于框架111的四角。调整脚114与第1平面接触，从而使脚轮112离开第1平面并调整框架111的高度。通过使脚轮112离开第1平面并且使调整脚114与第1平面接触，从而将第1台车110固定于第1平面上。调整脚114以使导轨115上的供第2台车130移动的面与后述的第2平面成为相同的高度的方式调整框架111的高度。调整脚114例如构成为能够在基准位置±5mm的范围内调整框架111的高度。调整脚114是高度调整机构的一个例子。
导轨115在X轴方向上空开间隔地设有两个。各导轨115安装于框架111的上表面。各导轨115沿着Y轴方向延伸。导轨115以使第2台车130沿着Y轴方向移动的方式引导该第2台车130。导轨115是第1导轨的一个例子。
连结用模块116安装于框架111的Y轴方向负侧。连结用模块116用于将第1台车110固定于地面盒48。连结用模块116是第1固定件的一个例子。
支架117安装于框架111的上表面且是导轨115的Y轴方向正侧。支架117用于固定搭载于导轨115上的第2台车130。
图11～图15是表示第2台车130的概略图。图11是第2台车130的立体图。图12是从图11的箭头A21的方向观察第2台车130时的图。图13是从图11的箭头A22的方向观察第2台车130时的图。图14是从图11的箭头A23的方向观察第2台车130时的图。图15是从图11的箭头A24的方向观察第2台车130时的图。
第2台车130堆叠在第1台车110之上。第2台车130构成为能够在第2平面上移动。第2平面是与第1平面不同的高度的平面，例如是位于比第1平面高的位置的平面。第2平面例如是地面盒48的第2上表面48b。第2台车130具有框架131、脚轮132、手柄133、止动件134、保持部135、导轨136、补充轨道137、支架138、支架139、以及被卡合部140。
框架131形成为长方体的框状。在框架131安装有脚轮132、手柄133、止动件134、保持部135、补充轨道137、支架138、以及支架139。框架131是第2框架的一个例子。
脚轮132安装于框架131的下部的四角。脚轮132例如是适用于洁净室的脚轮。脚轮132使第2台车130在导轨115上和第2平面上沿水平方向移动。脚轮132例如是行驶方向固定的固定轮。脚轮132例如也可以包括带锁定机构的脚轮。脚轮132的车轮的材质例如是尼龙。脚轮132的车轮的直径例如是100mm以上。
手柄133安装于框架131的上部的Y轴方向正侧。手柄133沿着X轴方向延伸。作业人员能够握住手柄133使第2台车130沿着Y轴方向移动。
止动件134安装于框架131的下部的Y轴方向正侧。止动件134与第2平面接触，从而将第2台车130固定在第2平面上。止动件134安装于与手柄133相同的一侧，因此，作业人员能够自第2台车130的同一侧进行使用手柄133的第2台车130的移动以及使用止动件134的第2台车130的固定。
保持部135安装于框架131的上部。保持部135将第3台车150保持为能够相对于框架131水平旋转。保持部135具有固定台135a、旋转机构135b、旋转台135c、以及止转件135d。保持部135也可以具有减震器，以缓和旋转台135c的旋转冲击。
固定台135a固定于框架131的上部。固定台135a具有矩形板状。固定台135a例如能够相对于框架131升降。在该情况下，能够以使导轨136上的供第3台车150移动的面与后述的第3平面成为相同的高度的方式调整框架131的高度。固定台135a例如构成为能够在基准位置±10mm的范围内调整高度。
旋转机构135b将旋转台135c支承为能够相对于固定台135a水平旋转。
旋转台135c具有矩形板状。旋转台135c构成为能够借助旋转机构135b在0°位置与90°位置之间旋转。90°位置是相对于0°位置向逆时针方向旋转了90°的位置。旋转台135c例如利用静止位置型的柱塞固定于固定台135a。在旋转台135c位于0°位置的情况下的X轴方向正侧且Y轴方向负侧的角部形成有缺口135e。
止转件135d使旋转台135c的旋转停止。
导轨136在旋转台135c的上表面互相空开间隔地设有两个。在旋转台135c位于0°位置的情况下，导轨136沿着Y轴方向延伸。导轨136未设于与缺口135e对应的位置。导轨136引导第3台车150的移动。导轨136是第2导轨的一个例子。
补充轨道137安装于固定台135a的X轴方向正侧且Y轴方向正侧。补充轨道137能够水平旋转。在旋转台135c位于90°位置的情况下，补充轨道137对导轨136进行补充，与导轨136一起引导第3台车150的移动。
支架138安装于旋转台135c。支架138用于将堆叠在第2台车130之上的第3台车150相对于旋转台135c固定。
支架139安装于框架131的上部的不同的三个边。在堆叠在第2台车130之上的第3台车150上载置有反应管411时，支架139用于将该反应管411相对于框架131固定。通过将反应管411相对于框架131固定，从而能够在使第1台车110、第2台车130移动时防止反应管411破损。支架139是第2固定件的一个例子。
被卡合部140安装于框架131的下部的X轴方向正侧。被卡合部140构成为能够与上述的安装于导轨49a的卡合部49c卡合。卡合部49c与被卡合部140卡合，从而将第2台车130向装载单元42侧牵拉并固定。
图16是表示第3台车150的概略图，且是第3台车150的立体图。
第3台车150堆叠在第2台车130之上。第3台车150构成为能够在第3平面移动。第3平面是与第1平面以及第2平面不同的高度的平面，例如是位于比第2平面高的位置的平面。第3平面例如是升降机构418的上表面。第3台车150具有框架151、车轮152、以及手柄153。
框架151具有形成有圆形的开口部151a的矩形板状。框架151在上表面保持反应管411。
车轮152安装于框架151的下部的四角。车轮152使第3台车150在导轨136上和第3平面上沿水平方向移动。车轮152例如是工程塑料轴承。
手柄153安装于框架151。作业人员能够握住手柄153使第3台车150移动。
〔反应管的输送方法〕
在图1～图16的基础上，参照图17～图24，作为在与基板处理装置1所具备的多个批量处理部4之间输送反应管411的方法的一个例子，说明向批量处理部4安装反应管411的方法。以下，列举向多个批量处理部4中的与送入送出部2相邻的批量处理部4安装反应管411的情况为例进行说明。但是，对于多个批量处理部4中的其他批量处理部4，也能够同样地安装反应管411。
首先，如图5所示，在第1台车110之上堆叠第2台车130，使用支架117将第2台车130固定在第1台车110之上。接着，在第2台车130之上堆叠第3台车150，使用支架138将第3台车150固定在第2台车130之上。接着，在第3台车150之上载置反应管411，使用支架139将反应管411固定在第2台车130之上。
接着，如图17所示，使第1台车110向地面盒48的靠Y轴方向正侧的侧面且是与维护通路B1的入口相邻的位置移动。接着，利用调整脚114(参照图6)，以使第1台车110上的供第2台车130移动的面与地面盒48的第2上表面48b成为相同的高度的方式调整框架111的高度。接着，使用连结用模块116(参照图6)将第1台车110固定在地面盒48的靠Y轴方向正侧的侧面。此外，也可以在将反应管411载置于第3台车150上之前将第1台车110固定于地面盒48的靠Y轴方向正侧的侧面。接着，解除支架117对第2台车130的固定。
接着，如图18所示，使第2台车130在地面盒48的第2上表面48b向Y轴方向负侧移动，并在与作为反应管411的安装对象的批量处理部4对应的位置停止。此时，在地面盒48的第2上表面48b存在间隙、台阶的情况下，也可以在第2上表面48b上的供脚轮132通过的区域设置垫板，以使第2台车130的移动顺畅地进行。
接着，如图19所示，使卡合部49c(参照图4)与第2台车130的被卡合部140(参照图11)卡合，从而将第2台车130向装载单元42侧牵拉并固定。另外，利用止动件134(参照图11)固定第2台车130。接着，解除支架139(参照图11)对反应管411的固定。
接着，如图20的(a)和图20的(b)所示，使旋转台135c向逆时针方向旋转90°，并利用柱塞固定于固定台135a。接着，使补充轨道137旋转而对导轨136进行补充。接着，解除支架138对第3台车150的固定。
接着，如图21所示，使第3台车150向与Y轴方向正交的X轴方向正侧移动，并在装载单元42内的升降机构418之上停止。在使第3台车150移动之前，预先使升降机构418移动到台车交接位置。台车交接位置是反应管411的安装位置的正下方。
接着，如图22的(a)和图22的(b)所示，利用升降机构418，使第3台车150在装载单元42内上升。此外，图22的(b)是从图22的(a)的箭头A31的方向观察第3台车150时的图。
接着，如图23的(a)和图23的(b)所示，使反应管411停止在安装位置，在热处理单元41内安装反应管411。此外，图23的(b)是从图23的(a)的箭头A32的方向观察第3台车150时的图。
接着，如图24的(a)和图24的(b)所示，利用升降机构418，使第3台车150下降，并在台车交接位置停止。此外，图24的(b)是从图24的(a)的箭头A33的方向观察第3台车150时的图。
接着，使第3台车150向X轴方向负侧移动，并在第2台车130之上停止。接着，使用支架138将第3台车150固定在第2台车130之上。
接着，使第2台车130向Y轴方向正侧移动，并在第1台车110之上停止。接着，使用支架117将第2台车130固定在第1台车110之上。
接着，解除连结用模块116对第1台车110的固定。接着，使调整脚114离开地面F，使脚轮112设置于地面F。接着，使第1台车110移动到规定的退避位置。
根据以上的步骤，能够向基板处理装置1所具备的批量处理部4安装反应管411。
此外，利用与反应管411的安装方法相反的步骤，能够拆卸在基板处理装置1所具备的批量处理部4安装的反应管411。
根据以上说明的那样，实施方式的反应管输送治具100具备第1台车110、堆叠在第1台车110之上的第2台车130、以及堆叠在第2台车130之上并保持反应管411的第3台车150。第1台车110能够在第1平面上移动，第2台车130能够在与第1平面不同的高度的第2平面上移动，第3台车150能够在与第2平面不同的高度的第3平面上移动。由此，能够沿着包含高度不同的平面的输送路径输送反应管411，并且能够在狭窄的作业空间内变更反应管411的移动方向。因此，能够容易地更换反应管411。
应该认为，此次公开的实施方式在所有方面均为例示，并不是限制性的。上述的实施方式也可以在不脱离所附的权利要求书及其主旨的范围内以各种各样的形态进行省略、置换、变更。
在上述的实施方式中，说明了批量处理部所具有的反应管为单管构造的情况，但本公开并不限定于此。例如，该反应管也可以是包括内管和外管的双层管构造。在该情况下，使用能够保持内管的台车作为第3台车，从而能够利用与前述的反应管的输送方法同样的方法进行内管的安装和拆卸。另外，使用能够保持外管的台车作为第3台车，从而能够利用与前述的反应管的输送方法同样的方法进行外管的安装和拆卸。另外，也可以使用能够保持反应管、内管以及外管的台车作为第3台车。

Claims (10)

1.一种反应管输送治具，其在与基板处理装置所具备的多个处理部之间输送反应管，其中，
该反应管输送治具具备：
第1台车，其能够在第1平面上移动；
第2台车，其堆叠在所述第1台车之上，能够在与所述第1平面不同的高度的第2平面上移动；以及
第3台车，其堆叠在所述第2台车之上，能够在与所述第2平面不同的高度的第3平面上移动，该第3台车保持所述反应管。
2.根据权利要求1所述的反应管输送治具，其中，
所述第1台车具有：
第1框架；
高度调整机构，其安装于所述第1框架，用于调整所述第1框架的高度；以及
第1导轨，其安装于所述第1框架，用于引导所述第2台车的移动。
3.根据权利要求2所述的反应管输送治具，其中，
所述第1台车具有第1固定件，该第1固定件安装于述第1框架，用于将所述第1框架相对于所述基板处理装置固定。
4.根据权利要求2所述的反应管输送治具，其中，
所述第2台车具有：
第2框架；
旋转台，其能够相对于所述第2框架水平旋转；以及
第2导轨，其安装于所述旋转台，用于引导所述第3台车的移动。
5.根据权利要求4所述的反应管输送治具，其中，
所述第2台车具有第2固定件，该第2固定件安装于所述第2框架，用于将所述反应管相对于所述第2框架固定。
6.一种反应管的输送方法，其为在与基板处理装置所具备的多个处理部之间输送反应管的方法，其中，
该反应管的输送方法具有以下工序：
工序a，使堆叠有第2台车和第3台车的第1台车向第1平面上且是与所述基板处理装置相邻的位置移动；
工序b，在所述工序a之后，使所述第2台车向形成于所述基板处理装置的第2平面上且是与所述多个处理部中的一个处理部相邻的位置移动；
工序c，在所述工序b之后，使所述第3台车向形成于所述一个处理部的第3平面上且是安装所述反应管的安装位置的正下方移动；以及
工序d，在所述工序c之后，使所述第3台车上升。
7.根据权利要求6所述的反应管的输送方法，其中，
该反应管的输送方法具有以下工序：
工序e，在所述工序b与所述工序c之间，使所述第2台车水平旋转。
8.根据权利要求6所述的反应管的输送方法，其中，
所述工序c包括以下动作：使所述第3台车沿着与所述第2台车的移动方向正交的方向移动。
9.根据权利要求6所述的反应管的输送方法，其中，
该反应管的输送方法具有以下工序：
工序f，在所述工序b之前，在所述第3台车之上载置所述反应管；以及
工序g，在所述工序d之后，将所述反应管安装于所述一个处理部。
10.根据权利要求6所述的反应管的输送方法，其中，
该反应管的输送方法具有以下工序：
工序h，在所述工序d之后，在所述第3台车之上载置所述反应管。
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