TW202405880A - 反應管搬送治具及反應管的搬送方法 - Google Patents

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鄉右近清彥
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日商東京威力科創股份有限公司
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Abstract

提供一種可容易地更換反應管之技術。 本揭露一樣態之反應管搬送治具係在與基板處理裝置所具備的多個處理部間搬送反應管；該反應管搬送治具係具備：第1台車，係可在第1平面上移動；第2台車，係承載於該第1台車上，可在與該第1平面不同高度的第2平面上移動；以及第3台車，係承載於該第2台車上，可在與該第2平面不同高度的第3平面上移動來保持該反應管。

Description

反應管搬送治具及反應管的搬送方法
本揭露係關於一種反應管搬送治具及反應管的搬送方法。
已知有一種在一次對多片基板進行處理的縱型熱處理裝置中相對於1個載置模組設置有多個製程模組之構成(例如參照專利文獻1)。各製程模組將多片基板收容在反應管的內部來進行處理。又，已知有一種會載置並搬送作為半導體製造裝置的構成零件的反應管之台車(例如參照專利文獻2)。
專利文獻1：日本特開2020-113746號公報 專利文獻2：日本特開2019-201048號公報
本揭露係提供一種可容易地更換反應管之技術。
本揭露一態樣之反應管搬送治具係在與基板處理裝置所具備的多個處理部間搬送反應管；該反應管搬送治具係具備：第1台車，係可在第1平面上移動；第2台車，係承載於該第1台車上，可在與該第1平面不同高度的第2平面上移動；以及第3台車，係承載於該第2台車上，可在與該第2平面不同高度的第3平面上移動來保持該反應管。
根據本揭露，便可容易地更換反應管。
以下，參照圖式對本揭露之非限定的例示性實施型態進行說明。各圖式中，對於相同或對應的構件或零件係標示相同或對應的參照符號以省略重複說明。
〔基板處理裝置〕 參照圖1~圖4對實施型態相關的基板處理裝置1進行說明。圖1~圖3係顯示實施型態相關的基板處理裝置1之立體圖且為分別從不同方向觀看基板處理裝置1時之圖。圖4係顯示基板搬送部3及批次處理部4之概略圖且為從後方觀看基板搬送部3及批次處理部4的內部時之圖。
基板處理裝置1係設置在例如潔淨室內。基板處理裝置1具備搬入搬出部2、基板搬送部3及多個批次處理部4。
搬入搬出部2係設置在地板F。搬入搬出部2係具有能讓匣盒C搬入或搬出的前面2a及與前面2a相反側的後面2b。前面2a位在搬入搬出部2的Y軸方向負側。後面2b位在搬入搬出部2的Y軸方向正側。匣盒C為收容多片(例如25片)基板W之容器。匣盒C為例如FOUP(Front-Opening Unified Pod；前開式晶圓傳送盒)。基板W為例如半導體晶圓。使搬入搬出部2的內部成為例如大氣環境氣氛。
搬入搬出部2具有載置埠21。載置埠21係設置在搬入搬出部2的X軸方向負側且為Y軸方向負側。載置埠21沿X軸方向設置為2個。載置埠21上載置有匣盒C。匣盒C相對於載置埠21被搬入或搬出。載置埠21也可以在鉛直方向(Z軸方向)上設置為多層。載置埠21的數量未特別限制。
基板搬送部3係配置在搬入搬出部2的Y軸方向正側。基板搬送部3沿著和搬入搬出部2的後面2b正交之第1方向(Y軸方向)延伸。基板搬送部3係設置在地板F。基板搬送部3係相對於多個批次處理部4共通地設置為1個。亦即，多個批次處理部4具有共通的基板搬送部3。基板搬送部3具有基板搬送裝置31。基板搬送裝置31會在搬入搬出部2與多個批次處理部4的每一個之間搬送基板W。基板搬送裝置31具有多個拾取器31p。此情況下，基板搬送裝置31便可同時搬送多片基板W。從而，可縮短基板W的搬送所需之時間。拾取器31p的數量未特別限制。
多個批次處理部4係配置在基板搬送部3的X軸方向負側。多個批次處理部4係沿基板搬送部3的長邊方向(Y軸方向)相鄰配置。圖示之範例中，4個批次處理部4係沿基板搬送部3的長邊方向相鄰配置。各批次處理部4會一次對多片(例如25片~150片)基板W進行處理。使各批次處理部4的內部成為非活性氣體環境氣氛，例如氮氣環境氣氛。此情況下，可抑制批次處理部4中之基板W的氧化。批次處理部4為處理部的一例。各批次處理部4具有熱處理單元41、載置單元42、氣體供應單元43、排氣單元44、製程模組控制單元45、強制風冷單元46、氣體控制單元47、地板箱48、及導軌49a,49b。
熱處理單元41會對多片基板W進行既定熱處理。熱處理單元41具有反應管411及加熱器412。
反應管411係收容基板保持具414。基板保持具414將基板W在上下方向上具有既定間隔地保持為大致水平。基板保持具414由例如石英、碳化矽等耐熱材料形成。反應管411係設置有氣體導入埠411a及排氣埠411b。
氣體導入埠411a會向反應管411內導入氣體。氣體導入埠411a係設置在反應管411的X軸方向正側。氣體導入埠411a的設置位置較佳在多個批次處理部4間為相同。此情況下，可使氣體供應單元43與氣體導入埠411a間的配管長度在多個批次處理部4間一致。從而，可縮小機械誤差造成的處理偏差。
排氣埠411b會排出反應管411內的氣體。排氣埠411b係設置在反應管411的X軸方向負側。亦即，排氣埠411b係設置在與氣體導入埠411a為相反側。較佳宜使設置有排氣埠411b的位置在多個批次處理部4間為相同。此情況下，可使排氣的傳導在多個批次處理部4間一致。從而，可縮小機械誤差造成的處理偏差。
加熱器412係設置在反應管411的周圍。加熱器412為例如圓筒狀。加熱器412會加熱反應管411內所收容的各基板W。在反應管411的下方設置有擋門415。擋門415係構成為能在會堵塞反應管411下端的開口之位置與不會堵塞反應管411下端的開口之位置間水平移動。擋門415在基板保持具414從反應管411內被搬出起到下個基板保持具414被搬入的期間會堵塞反應管411下端的開口。
載置單元42係設置在熱處理單元41的下方。載置單元42係透過地板箱48設置在地板F。地板箱48也可以是組裝在載置單元42而一體化的構成。載置單元42會將收容在反應管411的各基板W在與基板搬送部3之間進行收授。在載置單元42中，基板保持具414係透過保溫筒416被載置於蓋體417上。蓋體417被支撐在升降機構418上。升降機構418會使蓋體417升降，藉此將基板保持具414相對於反應管411進行搬入或搬出。升降機構418包含有例如滾珠螺桿。載置單元42亦作用為能夠讓在熱處理單元41中被處理後的各基板W冷卻之空間。升降機構418會保持後述第3台車150並使其升降。
氣體供應單元43係配置在熱處理單元41之配置有基板搬送部3的一側。氣體供應單元43會將處理氣體供應至氣體導入埠411a。氣體供應單元43較佳宜配置在和氣體導入埠411a相同一側。此情況下，可縮短氣體供應單元43與氣體導入埠411a間的配管長度。從而，可獲得減少配管構件或配管加熱器的使用量、減少配管加熱器的消耗功率、減少維護時的清潔範圍、減少雜質朝反應管411內混入的風險等效果。氣體供應單元43係配置在與反應管411大致相同高度的位置。氣體供應單元43包含有流量控制器、開閉閥等。
排氣單元44係配置在與熱處理單元41之配置有基板搬送部3的一側為相反側。排氣單元44較佳宜配置在和排氣埠411b相同一側。排氣單元44從Y軸方向觀看時呈倒L字狀。排氣單元44在與載置單元42之間形成維護通道B1。維護通道B1為作業員可進入或退出的維護通道。藉此作業員便可在維護通道B1中容易地對排列在前後方向上的多個批次處理部4實施維護。
排氣單元44的一端連接於排氣埠411b，另一端向下方延伸、貫通地板F且連接於配置在地板F下方的排氣裝置(未圖示)。排氣裝置會透過排氣埠411b及排氣單元44將反應管411內排氣並減壓。排氣裝置包含有真空泵、閥等。
強制風冷單元46為會生成被供應至加熱器412的冷媒之單元。冷媒為例如空氣。強制風冷單元46包含有熱交換器、送風機、閥、配管等。強制風冷單元46係設置在熱處理單元41的X軸方向負側。從強制風冷單元46送入的冷媒被供應至反應管411與加熱器412間的空間。藉此，能使反應管411在短時間內冷卻。
製程模組控制單元45及氣體控制單元47係配置在熱處理單元41的頂部。製程模組控制單元45及氣體控制單元47會控制批次處理部4之各部位的動作。製程模組控制單元45及氣體控制單元47包含有各種控制機器。
地板箱48係設置在地板F。地板箱48具有第1上面48a及第2上面48b。在第1上面48a上設置有載置單元42。第2上面48b露出於維護通道B1。第2上面48b的高度比第1上面48a低。
導軌49a係可裝卸地安裝在維護通道B1的X軸方向正側的側面。例如，導軌49a係安裝在地板箱48的側面。導軌49b係可裝卸地安裝在維護通道B1的X軸方向負側的側面。例如，導軌49b係安裝在排氣單元44的側面。導軌49a,49b分別沿Y軸方向延伸。導軌49a,49b係在例如更換反應管411時進行安裝。在導軌49a上設置有多個卡合部49c。多個卡合部49c係設置在Y軸方向上和多個批次處理部4的每一個相對應之位置處。卡合部49c藉由與後述第2台車130的被卡合部140卡合，來使第2台車130靠近並固定在載置單元42一側。
如以上的說明，藉由基板處理裝置1，由於是相對於1個基板搬送部3配置有多個批次處理部4，因此和相對於1個基板搬送部3配置有1個批次處理部4的情況相比，可縮小基板處理裝置1的設置面積。從而，可提高每單位面積的產能。
〔反應管搬送治具〕 參照圖5~圖16，對實施型態相關之反應管搬送治具100進行說明。
圖5係顯示反應管搬送治具100的一例之立體圖。反應管搬送治具100在與多個批次處理部4之間保持並搬送反應管411。反應管搬送治具100被使用在例如潔淨室內。反應管搬送治具100係具備第1台車110、第2台車130及第3台車150。
圖6~圖10係顯示第1台車110之概略圖。圖6為第1台車110的立體圖。圖7為從圖6的箭頭A11的方向觀看第1台車110時之圖。圖8為從圖6的箭頭A12的方向觀看第1台車110時之圖。圖9為從圖6的箭頭A13的方向觀看第1台車110時之圖。圖10為從圖6的箭頭A14的方向觀看第1台車110時之圖。
第1台車110係構成為可在第1平面上移動。第1平面為例如潔淨室內的地板F。第1台車110具有框架111、腳輪112、把手113、調節腳114、導軌115、連結用塊體116、及支架117。
框架111形成為矩形的框狀。腳輪112、把手113、調節腳114、導軌115、連結用塊體116及支架117安裝在框架111上。框架111為第1框架的一例。
腳輪112係安裝在框架111的四個角落。腳輪112為例如潔淨室對應的腳輪。腳輪112能使第1台車110在第1平面上沿水平方向移動自如。腳輪112也可以包含例如行走方向為迴旋的萬向輪與行走方向為固定的固定輪。腳輪112也可以包含例如附鎖定機構的腳輪。腳輪112的車輪的材質為例如充氣橡膠。此情況下，便可抑制第1台車110在行走時的震動。腳輪112的車輪直徑為例如210mm。
把手113係安裝在框架111的X軸方向正側。把手113沿著Y軸方向延伸。作業員可握住把手113來使第1台車110沿X軸方向及Y軸方向移動。
調節腳114係與腳輪112同樣地安裝在框架111的四個角落。調節腳114藉由與第1平面接觸，來使腳輪112自第1平面分離以調整框架111的高度。藉由使腳輪112自第1平面分離且使調節腳114與第1平面接觸，以將第1台車110固定在第1平面上。調節腳114會調整框架111的高度來使導軌115上的第2台車130所移動之面與後述第2平面成為相同高度。調節腳114係構成為例如可在基準位置±5mm的範圍內調整框架111的高度。調節腳114為高度調整機構的一例。
導軌115係在X軸方向上相距間隔地設置為2個。各導軌115係安裝在框架111的上面。各導軌115沿著Y軸方向延伸。導軌115會引導第2台車130來使其沿Y軸方向移動。導軌115為第1導軌的一例。
連結用塊體116係安裝在框架111的Y軸方向負側。連結用塊體116用於將第1台車110固定在地板箱48。連結用塊體116為第1固定具的一例。
支架117係安裝在框架111的上面且為導軌115的Y軸方向正側。支架117係使用於固定導軌115上所搭載的第2台車130。
圖11~圖15係顯示第2台車130之概略圖。圖11為第2台車130的立體圖。圖12為從圖11的箭頭A21的方向觀看第2台車130時之圖。圖13為從圖11的箭頭A22的方向觀看第2台車130時之圖。圖14為從圖11的箭頭A23的方向觀看第2台車130時之圖。圖15為從圖11的箭頭A24的方向觀看第2台車130時之圖。
第2台車130被承載於第1台車110上。第2台車130係構成為可在第2平面上移動。第2平面為與第1平面不同高度的平面，例如位在比第1平面高的位置之平面。第2平面為例如地板箱48的第2上面48b。第2台車130具有框架131、腳輪132、把手133、止擋件134、保持部135、導軌136、輔助軌道137、支架138、支架139、及被卡合部140。
框架131形成為框狀的長方體。在框架131安裝有腳輪132、把手133、止擋件134、保持部135、輔助軌道137、支架138、及支架139。框架131為第2框架的一例。
腳輪132係安裝在框架131的下部的四個角落。腳輪132為例如潔淨室對應的腳輪。腳輪132會使第2台車130在導軌115上及第2平面上移動於水平方向。腳輪132為例如行走方向固定的固定輪。腳輪132也可以包含例如附鎖定機構的腳輪。腳輪132的車輪的材質為例如尼龍。腳輪132的車輪直徑為例如100mm以上。
把手133係安裝在框架131的上部的Y軸方向正側。把手133沿X軸方向延伸。作業員可握住把手133來使第2台車130沿Y軸方向移動。
止擋件134係安裝在框架131的下部的Y軸方向正側。止擋件134藉由與第2平面接觸來使第2台車130被固定在第2平面上。由於止擋件134是安裝在和把手133相同一側，因此作業員可由第2台車130的相同一側使用把手133進行第2台車130的移動及使用止擋件134進行第2台車130的固定。
保持部135係安裝在框架131的上部。保持部135將第3台車150保持為能夠相對於框架131水平旋轉。保持部135具有固定台135a、旋轉機構135b、旋轉台135c、及旋轉止動件135d。保持部135為了緩和旋轉台135c的旋轉衝撃，也可以具有減震器。
固定台135a被固定在框架131的上部。固定台135a呈矩形板狀。固定台135a例如可相對於框架131升降。此情況下，可調整框架131的高度來使導軌136上的第3台車150所移動之面與後述第3平面成為相同高度。固定台135a係構成為例如可在基準位置±10mm的範圍內調整高度。
旋轉機構135b將旋轉台135c支撐為能夠相對於固定台135a水平旋轉。
旋轉台135c呈矩形板狀。旋轉台135c係構成為透過旋轉機構135b能在0°位置與90°位置間旋轉。90°位置為相對於0°位置逆時針旋轉90°的位置。旋轉台135c係藉由例如靜止位置型(rest position type)的栓塞被固定在固定台135a。在旋轉台135c位於0°位置的情況下，在X軸方向正側且為Y軸方向負側的角落形成切口135e。
旋轉止動件135d會使旋轉台135c的旋轉停止。
2個導軌136彼此相距間隔地設置在旋轉台135c的上面。導軌136在旋轉台135c位於0°位置的情況下係沿著Y軸方向延伸。導軌136並未設置在和切口135e對應的位置。導軌136會引導第3台車150的移動。導軌136為第2導軌的一例。
輔助軌道137係安裝在固定台135a的X軸方向正側且為Y軸方向正側。輔助軌道137可水平旋轉。輔助軌道137在旋轉台135c位於90°位置的情況下會輔助導軌136並和導軌136一同引導第3台車150的移動。
支架138係安裝在旋轉台135c。支架138係用於將第2台車130上承載的第3台車150固定在旋轉台135c。
支架139係安裝在框架131的上部的3個不同邊。支架139係用於當反應管411被載置於第2台車130上所承載的第3台車150上時會將該反應管411固定在框架131。藉由使反應管411被固定在框架131，則在移動第1台車110或第2台車130時，可防止反應管411發生破損。支架139為第2固定具的一例。
被卡合部140係安裝在框架131的下部的X軸方向正側。被卡合部140係構成為可和上述導軌49a上安裝的卡合部49c卡合。藉由使卡合部49c卡合於被卡合部140，來使第2台車130靠近並固定在載置單元42一側。
圖16係顯示第3台車150之概略圖，為第3台車150的立體圖。
第3台車150承載於第2台車130上。第3台車150係構成為可在第3平面上移動。第3平面為與第1平面及第2平面不同高度的平面，例如位在比第2平面高的位置之平面。第3平面為例如升降機構418的上面。第3台車150具有框架151、車輪152、及把手153。
框架151呈矩形板狀且形成有圓形的開口部151a。框架151會將反應管411保持在其上面。
車輪152係安裝在框架151下部的四個角落。車輪152會使第3台車150在導軌136上及第3平面上移動於水平方向。車輪152為例如工程塑膠軸承。
把手153係安裝在框架151。作業員可握住把手153來使第3台車150移動。
〔反應管的搬送方法〕 除了圖1~圖16外，參照圖17~圖24來對將反應管411安裝在批次處理部4之方法加以說明，其為在與基板處理裝置1所具備的多個批次處理部4間搬送反應管411之方法的一例。以下，例舉將反應管411安裝在多個批次處理部4中與搬入搬出部2相鄰的批次處理部4的情況加以說明。此外，對於多個批次處理部4中的其他批次處理部4，也可以同樣地安裝反應管411。
首先，如圖5所示，將第2台車130承載於第1台車110上，且使用支架117將第2台車130固定在第1台車110上。接著，將第3台車150承載於第2台車130上，且使用支架138將第3台車150固定在第2台車130上。接著，將反應管411載置於第3台車150上，且使用支架139將反應管411固定在第2台車130上。
接著，如圖17所示，使第1台車110移動至地板箱48的Y軸方向正側的側面且為和維護通道B1的入口相鄰之位置。接著，藉由調節腳114(參照圖6)調整框架111的高度以使第1台車110上的第2台車130所移動之面與地板箱48的第2上面48b成為相同高度。接著，使用連結用塊體116(參照圖6)將第1台車110固定在地板箱48的Y軸方向正側的側面。此外，也可以在將反應管411載置於第3台車150上之前先將第1台車110固定在地板箱48的Y軸方向正側的側面。接著，解除支架117所致之第2台車130的固定。
接著，如圖18所示，使第2台車130在地板箱48的第2上面48b移動至Y軸方向負側，並停止在和反應管411的安裝對象的批次處理部4相對應之位置處。此時，當地板箱48的第2上面48b具有縫隙或段差的情況，為了順暢地進行第2台車130的移動，也可以在第2上面48b上的腳輪132所通過之區域設置墊板。
接著，如圖19所示，藉由使卡合部49c(參照圖4)卡合於第2台車130的被卡合部140(參照圖11)，來使第2台車130靠近並固定在載置單元42一側。又，藉由止擋件134(參照圖11)來固定第2台車130。接著，解除支架139(參照圖11)所致之反應管411的固定。
接著，如圖20(a)及圖20(b)所示，使旋轉台135c逆時針旋轉90°並藉由栓塞固定在固定台135a。接著，使輔助軌道137旋轉來輔助導軌136。接著，解除支架138所致之第3台車150的固定。
接著，如圖21所示，使第3台車150移動至和Y軸方向正交的X軸方向正側並停止在載置單元42內的升降機構418上。升降機構418在使第3台車150移動前會使其預先移動至台車收授位置。台車收授位置為反應管411的安裝位置的正下方。
接著，如圖22(a)及圖22(b)所示，藉由升降機構418來使第3台車150在載置單元42內上升。此外，圖22(b)為從圖22(a)的箭頭A31的方向觀看第3台車150時之圖。
接著，如圖23(a)及圖23(b)所示，使反應管411停止在安裝位置，將反應管411安裝在熱處理單元41內。此外，圖23(b)為從圖23(a)的箭頭A32的方向觀看第3台車150時之圖。
接著，如圖24(a)及圖24(b)所示，藉由升降機構418來使第3台車150下降並停止在台車收授位置。此外，圖24(b)為從圖24(a)的箭頭A33的方向觀看第3台車150時之圖。
接著，使第3台車150移動至X軸方向負側並停止在第2台車130上。接著，使用支架138將第3台車150固定在第2台車130上。
接著，使第2台車130移動至Y軸方向正側並停止在第1台車110上。接著，使用支架117將第2台車130固定在第1台車110上。
接著，解除連結用塊體116所致之第1台車110的固定。接著，使調節腳114自地板F分離來使腳輪112設置在地板F。接著，使第1台車110移動至既定退避位置。
藉由以上的程序，便能將反應管411安裝在基板處理裝置1所具備的批次處理部4。
此外，能以和反應管411的安裝方法相反的程序來將被安裝在基板處理裝置1所具備的批次處理部4之反應管411卸下。
如以上的說明，實施型態相關之反應管搬送治具100係具備第1台車110、承載於第1台車110上之第2台車130、及承載於第2台車130上且會保持反應管411之第3台車150。第1台車110可在第1平面上移動，第2台車130可在與第1平面不同高度的第2平面上移動，第3台車150可在與第2平面不同高度的第3平面上移動。藉此，便可沿著包含有高度不同的平面之搬送路徑來搬送反應管411，且可在狹窄的作業空間改變反應管411的移動方向。從而，可容易地更換反應管411。
本說明書所揭示之實施型態應被認為在所有方面僅為例示而非用以限制本揭露之內容。上述實施型態可在未脫離申請專利範圍及其要旨的範圍內，以各種型態進行省略、置換或變更。
上述實施型態中雖是以批次處理部所具有的反應管為單管構造之情況進行說明，惟本揭露不限於此。例如，該反應管也可以是包含有內管與外管的雙管構造。此情況下，藉由使用可保持內管之台車作為第3台車，便能以和前述反應管的搬送方法相同之方法來進行內管的安裝及拆卸。又，藉由使用可保持外管之台車作為第3台車，便能以和前述反應管的搬送方法相同之方法來進行外管的安裝及拆卸。又，也可以使用可保持反應管、內管及外管之台車作為第3台車。
1:基板處理裝置 4:批次處理部 100:反應管搬送治具 110:第1台車 130:第2台車 150:第3台車 411:反應管
圖1為顯示基板處理裝置的一例之立體圖(1)。 圖2為顯示基板處理裝置的一例之立體圖(2)。 圖3為顯示基板處理裝置的一例之立體圖(3)。 圖4為顯示基板搬送部及批次處理部之概略圖。 圖5為顯示反應管搬送治具的一例之立體圖。 圖6為顯示第1台車之概略圖(1)。 圖7為顯示第1台車之概略圖(2)。 圖8為顯示第1台車之概略圖(3)。 圖9為顯示第1台車之概略圖(4)。 圖10為顯示第1台車之概略圖(5)。 圖11為顯示第2台車之概略圖(1)。 圖12為顯示第2台車之概略圖(2)。 圖13為顯示第2台車之概略圖(3)。 圖14為顯示第2台車之概略圖(4)。 圖15為顯示第2台車之概略圖(5)。 圖16為顯示第3台車之概略圖。 圖17為說明反應管的安裝方法之圖(1)。 圖18為說明反應管的安裝方法之圖(2)。 圖19為說明反應管的安裝方法之圖(3)。 圖20為說明反應管的安裝方法之圖(4)。 圖21為說明反應管的安裝方法之圖(5)。 圖22為說明反應管的安裝方法之圖(6)。 圖23為說明反應管的安裝方法之圖(7)。 圖24為說明反應管的安裝方法之圖(8)。
100:反應管搬送治具
110:第1台車
111:框架
112:腳輪
113:把手
114:調節腳
115:導軌
117:支架
130:第2台車
131:框架
132:腳輪
133:把手
134:止擋件
135:保持部
136:導軌
137:輔助軌道
138:支架
139:支架
140:被卡合部
150:第3台車
151:框架
152:車輪
153:把手
411:反應管
411b:排氣埠

Claims (10)

  1. 一種反應管搬送治具，係在與基板處理裝置所具備的多個處理部間搬送反應管； 該反應管搬送治具係具備： 第1台車，係可在第1平面上移動； 第2台車，係承載於該第1台車上，可在與該第1平面不同高度的第2平面上移動；以及 第3台車，係承載於該第2台車上，可在與該第2平面不同高度的第3平面上移動來保持該反應管。
  2. 如申請專利範圍第1項之反應管搬送治具，其中該第1台車係具有： 第1框架； 高度調整機構，係安裝在該第1框架來調整該第1框架的高度；以及 第1導軌，係安裝在該第1框架來引導該第2台車的移動。
  3. 如申請專利範圍第2項之反應管搬送治具，其中該第1台車係具有安裝在該第1框架且會將該第1框架固定在該基板處理裝置之第1固定具。
  4. 如申請專利範圍第2項之反應管搬送治具，其中該第2台車係具有： 第2框架； 旋轉台，係可相對於該第2框架水平旋轉；以及 第2導軌，係安裝在該旋轉台來引導該第3台車的移動。
  5. 如申請專利範圍第4項之反應管搬送治具，其中該第2台車係具有安裝在該第2框架且會將該反應管固定在該第2框架之第2固定具。
  6. 一種反應管的搬送方法，係在與基板處理裝置所具備的多個處理部間搬送反應管之方法； 該反應管的搬送方法係具有： 工序(a)，係使承載有第2台車及第3台車的第1台車移動至第1平面上且和該基板處理裝置相鄰的位置處； 工序(b)，係在該工序(a)後使該第2台車移動至形成於該基板處理裝置之第2平面上且和該多個處理部當中的1個處理部相鄰的位置處； 工序(c)，係在該工序(b)後使該第3台車移動至形成於該1個處理部的第3平面上且供安裝該反應管之安裝位置的正下方；以及 工序(d)，係在該工序(c)後使該第3台車上升。
  7. 如申請專利範圍第6項之反應管的搬送方法，其具有工序(e)，係在該工序(b)與該工序(c)間使該第2台車水平旋轉。
  8. 如申請專利範圍第6項之反應管的搬送方法，其中該工序(c)係包含使該第3台車沿著和該第2台車的移動方向正交之方向移動的動作。
  9. 如申請專利範圍第6項之反應管的搬送方法，其具有： 工序(f)，係在該工序(b)前將該反應管載置於該第3台車上；以及 工序(g)，係在該工序(d)後將該反應管安裝在該1個處理部。
  10. 如申請專利範圍第6項之反應管的搬送方法，其具有工序(h)，係在該工序(d)後將該反應管載置於該第3台車上。
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