CN116783418A - 用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板 - Google Patents

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Abstract

一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)连接的凹陷(29)。布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(29)，至少在所述凹陷(29)的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部(30)。对于相应的加宽部(30)存在有螺纹孔(31)，该螺纹孔在相应的所述加宽部(30)的侧壁上通入所述加宽部(30)，其中，通过相应的保持螺栓(39)—所述保持螺栓旋入相应的所述螺纹孔(31)中并且以端部部分从所述螺纹孔(31)突伸到所述加宽部(30)中，通过所述保持螺栓(39)的端部部分与凹槽(32a)的配合作用，所述阀杆(4)可与所述阀板(1)连接，所述凹槽设置在连接部件(32)上，该连接部件与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其一体地构造。

Description

用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板
技术领域
本发明涉及一种用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板，其中，该阀板在其前侧具有用来相对于壁密封的密封圈，并且在其后侧具有用于与封闭装置的阀杆连接的凹陷。此外，本发明涉及一种具有这种阀板的封闭装置，该阀板与封闭装置的阀杆连接。
背景技术
用于真空密封地封闭壁中的开口的封闭装置可以特别设计为真空阀的形式，该真空阀具有阀壳体，阀板布置在该阀壳体中。阀壳体的壁之一具有能够被阀板封闭的开口，在阀壳体的另一壁中存在另一开口，以在真空阀的打开状态下形成穿过阀壳体的通道。设计用于真空密封地封闭壁中的开口的封闭装置的另一种可能性在于真空门，由该真空门将真空室中的开口相对于围绕真空室的外部空间封闭(其中，真空门也可以视为真空阀的一种)。在这里，能由阀板封闭的开口可以直接布置在真空室的壁中，在该壁上安置有封闭装置。那么壁就不是封闭装置的一部分。
真空阀和真空门可能需要不时地维护阀板，特别是由于设置在其上的密封圈的磨损，用来相对于设置在壁上的密封面密封。特别是当使用腐蚀性工艺气体时，例如在半导体工业中使用这些工艺气体，这种磨损相对较高。为了维护阀板，必须能够将其从阀杆上拆下。为此，阀杆和阀板之间通常设有螺纹连接。
于是，EP 0 453 857 B1示出了一种真空阀，其中，连接装置被拧到阀板的背面上，阀板通过该连接装置与阀杆连接。连接装置既可绕平行于阀板纵向延伸的轴线移动，又可绕垂直于阀板纵向延伸的轴线移动，以便尽管在真空阀的关闭状态下存在公差，但仍实现设置在阀板前侧的弹性密封圈的均匀压缩。
从以前的使用中还已知一种角阀形式的真空阀，其中，阀杆的一端具有外螺纹，利用该外螺纹将阀杆直接旋入形成在阀板后侧上的盲螺纹孔中。在这里，阀板不能相对阀杆移动。
在US7,134,642B2和US3,837,617中公开了在阀板和阀杆之间的允许阀板相对于阀杆移动的其他连接装置。其中所示的阀板在其窄侧之一上具有开口，以便容纳阀杆的端部和/或连接装置的部件。
在工业上进行的真空过程中，通常希望所使用的真空组件将尽可能少的颗粒释放到真空中，以免损害真空过程的质量。然而，在部件以滑动方式彼此相对移动的情况下，会产生并释放许多颗粒。
发明内容
本发明的目的是，提供一种开头提到的类型的有利的阀板，其能够以简单的方式且可靠地与阀杆连接，且可从阀杆移除，其中，该连接能够直接利用阀杆进行，或通过与阀杆连接的连接装置进行。根据本发明，这通过具有权利要求1的特征的阀板来实现。
在根据本发明的阀板中，布置在阀板的与前侧相对的后侧上的凹陷，至少在凹陷的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部。在阀板中为每个存在的加宽部构造有螺纹孔，该螺纹孔在相应加宽部的侧壁上通入加宽部。通过相应的保持螺栓——保持螺栓旋入相应螺纹孔中并且以端部部分从螺纹孔突伸到加宽部中，阀板可与阀杆连接，确切地说，通过相应的保持螺栓的端部部分与凹槽的配合作用而连接，凹槽设置在连接部件上，该连接部件与阀杆的端部连接或者在阀杆的端部与其一体地构造。为了从阀杆松开阀板，保持螺栓因而可被拧紧至一定程度，使得其端部部分与所述的或相应的凹槽脱离接合。
有利地，阀板中的所述螺纹孔平行于阀板所在的平面延伸。特别地，它们布置成与阀板的纵向延伸部成大于45°的角度，优选地成90°的角度。
有益地，凹陷的加宽部在平行于阀板所在平面的所有方向上测量的尺寸小于凹陷的(没有这些加宽部)在对应方向上测量的尺寸。从阀板的凹陷开始，加宽部优选地沿彼此远离的方向延伸，这些方向平行于阀板的纵向延伸部。
有利地，阀板具有围绕带有加宽部的凹陷的密封面或这种密封件。因此，通过该密封面或密封件，可以实现在阀板和连接件之间的密封，该连接件与阀杆的端部连接，或者在阀杆的端部与其一体地形成，至少一个连接部件从该连接件突出。具有加宽部的凹陷的内部空间因此可以相对于周围空间密封，该周围空间例如是阀壳体的内部空间。如果在布置于阀板的凹陷中的那些部件之间的相对滑动运动期间形成颗粒，则可以通过密封件来防止这些颗粒从该内部空间逸出。
根据本发明的封闭装置具有根据本发明的阀板，该阀板与封闭装置的阀杆连接，其中，保持螺栓接合到布置在至少一个连接部件上的至少一个凹槽中。
优选地，至少一个连接部件从连接件突出，该连接件可松开地与阀杆的端部连接。特别地，可以在连接件和阀杆之间提供活动性。连接件因此可以是布置在阀板和阀杆之间的连接装置的一部分。然而，原则上，连接件与阀杆的端部一体地构造也是可以想象和可能的。
连接件有利地具有突伸到阀板的凹陷中的突伸部，其中，在突伸部和阀板之间形成有抗扭转。这尤其可以通过以下方式实现：连接件的突伸部具有不同于圆形形状的外围轮廓，该外围轮廓与凹陷的对应外围轮廓配合作用。
相应的保持螺栓的端部部分伸入所述的或相应的凹槽中，该凹槽有利地具有(在平行于相应的保持螺栓的纵向延伸并穿过其纵向中心轴线延伸的截面中观察)倾斜面，该倾斜面与相应的保持螺栓的锥形会聚的端部部分配合作用。结果，当保持螺栓与至少一个连接件连接时，连接件被压靠在阀板上。由此产生稳定的连接，其中，连接件和阀板之间的环形密封件也能够被压缩，该密封件围绕具有加宽部的凹陷。
附图说明
下面参考附图解释本发明的其他优点和细节。
图1示出了具有根据本发明的阀板的封闭装置的一部分的斜视图，该阀板处于打开位置；
图2示出了与图1类似的、在阀板关闭位置的斜视图；
图3和图4示出了封闭装置在阀板打开位置的侧视图和视图；
图5是沿图4的A-A线的剖视图；
图6是阀板通过连接装置与阀杆连接时阀杆前端的侧视图；
图7是阀板的斜视图，其中，连接装置与阀板连接；
图8是从与图7不同的观察方向观察的斜视图；
图9是阀杆前端、连接装置和阀板在这些部件的分解状态下的斜视图；
图10是阀板后侧的俯视图；
图11是沿图10的A-A线的剖视图；
图12是沿图10的B-B线的剖视图；
图13是阀板的后侧的平面图，其中，连接装置与阀板连接；
图14是沿图13的C-C线的剖视图；
图15是沿图13的D-D线的剖视图；
图16是沿图13的E-E线的剖视图；
图17是沿图13的F-F线的剖视图；
图18和图19是连接装置的从不同观察方向观察的分解图。
附图具有不同的比例，并且部分地以简化的方式示出。
具体实施方式
下面参照图1至图19解释本发明的实施例。
在这些附图中示范性地示出了封闭装置，其具有阀板1，该阀板可以在打开位置(图1)和关闭位置(图2)之间移调。在阀板的打开位置，壁3中的开口2被释放，在关闭位置，开口2被阀板1以真空密封的方式封闭。
真空密封是指泄漏率Q至少小于10-4mbar1/s。
阀板1由具有纵向轴线26的阀杆4承载。在该实施例中，仅通过轴向移调阀杆4即可在打开位置和关闭位置之间移调阀板1。
为了移调阀杆4以便在打开位置和关闭位置之间移调阀板1，使用驱动器5，驱动器5在该实施例中由气动的活塞缸单元形成。阀杆4与该活塞缸单元的活塞杆连接，或者与其一体地构造。
由弹性体材料制成的密封圈8用于在封闭装置的关闭状态下在阀板1和壁3之间进行密封，密封圈安置在阀板1的前侧上。壁3中的开口2被密封面13围绕，该密封面形成密封座，在阀板1的关闭位置，密封圈8靠在该密封座上。
密封圈8可以布置在阀板1的前侧上的凹槽中并保持在其中，或者可以将其硫化到阀板1的前侧上。
壁3可以是阀壳体的一部分，图1至图4中分别仅示出了阀壳体的一部分。阀壳体的其余部分在图5中用虚线表示。因此，该阀壳体具有内部空间，阀板1布置在该内部空间中。另外，这种阀壳体具有也在图5中示出的第二开口9，其例如与开口2相对，以便在阀板1的打开位置中形成穿过阀壳体的贯通通道。在该实施例中，封闭装置因此还包括具有带开口2的壁3的阀壳体，并且形成真空阀。
阀壳体具有另一开口11，阀杆4通过该另一开口11从阀壳体的内部空间伸出。该开口11由连接件10以真空密封的方式封闭，驱动器5安置在该连接件10上，其中，阀杆4穿过贯穿连接件10的贯通通道并轴向地由其引导。环形密封件12用于在阀壳体和连接件10之间进行密封。在该实施例中，波纹管6用于将阀杆4相对于穿过连接件10的贯通通道密封。代替波纹管，还可以设置具有至少一个密封圈的滑动密封件来进行密封。
在改型的实施方式中，如图1至图4所示设计的、即如图5所示没有虚线地设计的封闭装置也可以安置在真空室的壁的外侧，其中，开口2与在真空室的该壁中的开口对准，并且壁3在围绕开口2的区域中相对于真空室的壁被密封。在这样的应用中，封闭装置也可以被称为门。
在又一实施方式中，具有开口2的壁3也可以是真空室的一部分。因此，该真空室具有另一开口，对应于图中所示的开口11，阀杆4穿过该开口从真空室的内部空间中伸出，并且该开口由连接件10封闭，其中，在连接件上也安置有驱动器5，并且阀杆本身延伸穿过连接件中的贯通通道。阀杆又可以通过波纹管(或通过滑动密封件)以密封方式引导到真空室的真空区域中。因此，在该实施方式中，具有开口2的壁3不是封闭装置的一部分。
阀板1形成有基本上矩形的外围轮廓。这里的“基本上矩形”是指，阀板构造成具有倒圆角的矩形。
开口2具有相应的轮廓。
阀板1位于平面14内，该平面也可称为阀板的中心平面或主平面。密封圈8平行于该平面14延伸。
在阀板1的后侧(其与阀板1的布置有密封圈8的前侧相对)，阀板具有突出部分1a，在该突出部分1a中布置有凹陷29，如下面还将更详细地解释的。
在该实施例中，阀杆4通过连接装置15与阀板1连接，连接装置15能实现阀板1和阀杆4之间的移动。为此，连接装置15具有活节头16，活节头16与阀杆4刚性地连接，并且布置在壳体状活节本体的内部容纳空间18中，活节本体包括连接件17a和盖部件17b，连接件17a具有杯形凹部，盖部件将连接件封闭并且通过环形密封件21相对于它密封。盖部件17b与连接件17a的连接通过螺钉22进行。
与阀板1的连接经由连接件17a进行，如将在下面更详细地描述的。
阀杆4通过连接螺钉23与活节头16连接，连接螺钉23穿过活节头16的中心通孔24并旋入在阀杆4前端的螺纹孔25中。在这种情况下，阀杆具有连接部件4a，该连接部件带有至少基本上正方形的横截面，并且活节头16具有凹陷16a，该凹部具有对应的外轮廓，阀杆4的连接部件4a伸入该凹陷16a中，以防止阀杆相对于活节头旋转。
为了能够将连接螺钉23拧入阀杆4的螺纹孔25中，连接件17a在底部具有窗口开口20。
盖部件17b具有窗口开口27，阀杆4在端部区域中通过窗口开口27突出。在连接装置的中心位置，在该中心位置阀板1与阀杆4的纵向轴线26成直角地朝向(即，阀板1所在的平面14与纵向轴线26成直角)，在阀杆4与窗口开口27的边缘之间在盖部件17b中存在环形间隙s。从中心位置开始，这使得阀板1能够绕与阀杆4的纵向轴线26成直角的任何轴线(有限地)枢转。
在活节本体17a、17b的容纳空间18中，布置有第一活节窝部件35和第二活节窝部件36。活节窝部件35、36均具有凹形的活节面35a、36a。该凹形的活节面35a、36a均具有球形内面的一部分的形状。活节窝部件35、36的凹形的活节面35a、36a从相对侧放置在活节头16上，并且与活节头16的分别指配的凸出的活节面16b、16c配合作用。凸形活节面16b、16c均呈球面的一部分的形式，并且均形成活节头16的外表面的一部分。
活节窝部件35、36通过弹簧垫圈形式的弹簧弹性元件37压靠在活节头16上。弹簧弹性元件37通过螺钉38螺纹连接至连接件17a。在邻接开口37a的区域中，其具有径向切口，并且被切口切断的片段向上弯曲。在该区域中，弹簧弹性元件37搁置在第二活节窝部件36上，并将其压靠在活节头16上，由此活节头16压靠在第一活节窝部件35上，第一活节窝部件35搁置在连接件17a中的杯形凹部的底部的底面上。
因此，活节头以摩擦配合方式保持在当前位置。这种摩擦配合非常强，使得无论封闭装置的空间位置如何，阀板1的重量也可以在活节头16的位置不改变的情况下被接受。
弹性元件37的开口37a大于盖部件17b的窗口开口27。因此，在活节头16上布置在围绕凹陷16a的区域中的密封圈19可以穿过弹性元件37的开口37a，并且在围绕窗口开口27的区域中压靠在盖部件17b的内侧上。
活节头16具有在相对侧突出的销。相应的销16d突伸到连接件17a中的分别指配的凹槽17c中。相应的凹槽17c形成在限定杯形凹部的壁中。在连接装置的中心位置，凹槽17c平行于阀杆4的纵向轴线26延伸。
活节头16通过与凹槽配合作用的销而被阻止相对于活节本体围绕阀杆4的纵向轴线26的旋转。然而，活节头16可绕垂直于阀杆4的纵向轴线26的任何轴线倾斜(直到环形间隙s用完为止)。
因此，连接装置形成球活节，该球活节被阻止绕垂直于活节头16的赤道面的轴线、即绕与活节头连接的阀杆4的纵向轴线26的旋转。
在阀板1的后侧在突出部分1a中设置有凹陷29。凹陷29从突出部分1a的平行于阀板1的平面14的顶侧开始，并且从该顶侧沿与阀板1的平面14成直角的方向延伸。在阀板的前侧的方向上，凹陷是从凹陷的底部被限定的。
在凹陷29的两个相对侧壁的区域中，从这些区域分别伸出一个延伸部30。在平行于阀板所在平面14的所有方向上测量，两个延伸部的尺寸显著小于凹陷29(没有这些延伸部)的在对应方向上测量的尺寸，优选地为其一半。延伸部30从凹陷29沿平行于阀板的纵向延伸部的相反方向延伸。
在相应延伸部的侧壁上分别通入螺纹孔31。在该实施例中，螺纹孔31平行于阀板的平面14，并且与阀板的纵向延伸部成90°的角度。相应螺纹孔31的与通入相应延伸部30的通口相对的端部在突出部分1a的侧面上通入。
在远离阀杆4的一侧，连接件17a具有突伸部17e，在与阀板1连接的状态下，该突伸部插入到阀板1的凹陷29中。因此，突伸部17e在垂直于阀板1的平面14的方向上突伸到凹陷29中。连接件17a的该突伸部17e具有不同于圆形形状的外周轮廓，并且凹陷29具有对应的外周轮廓，从而防止连接件17a和阀板1之间的旋转(相对于垂直于阀板平面的轴线)。
在突伸部17e和连接件17a的其余部分之间存在台阶面17d。在连接件17a与阀板1的连接状态下，该台阶面搁置在阀板1的突出部分1a的顶侧上。在台阶面17d上布置了环形的密封件33，在与阀板1连接的状态下，该环形密封件33压靠阀板1的密封面34，该密封面34与加宽部30一起围绕凹部29并且设置在阀板1的突出部分1a的顶侧上。密封面34也可以设置在台阶面17d上，环形密封件33设置在阀板1上。
销状的连接部件32从连接件17a的台阶面17d突出。为此，在该实施例中，连接部件32具有外螺纹，通过该外螺纹，连接部件32被拧入连接件17a中的相应螺纹孔40中。
对应于在该实施例中存在的两个加宽部30，因此存在两个销形的连接部件32，当连接件17a以其突伸部17e插入凹陷29时，其中一个连接部件突伸到一个加宽部30中，另一个连接部件突伸到另一加宽部30中。连接部件在垂直于阀板的平面14的方向上突伸到相应的加宽部30中。
保持螺栓39拧入螺纹孔31中。相应的保持螺栓39的端部因此平行于阀板1的平面14，从相应的螺纹孔31突伸到相应的加宽部30的区域中，并在那里伸入在相应的连接部件32的柄部中的凹槽32a内。相应的保持螺栓39的端部被设计成没有螺纹，并且朝其端部呈圆锥形逐渐变细。连接部件32的凹槽32a具有对应的在横截面中朝向凹槽底部圆锥形逐渐变细的形状，特别参见图17。相应凹槽32a的远离连接件17a的侧壁因此形成与相应的保持螺栓39的端部配合作用的倾斜面。因此，当保持螺栓被旋入且端部进入凹槽32a时，连接件17a被拉向阀板1，其中，密封件33被压缩，并且导致连接件17a的台阶面17d贴靠在阀板1的突出部分1a的顶侧上。
因此，在阀板1和连接件17a之间形成稳定的刚性连接，该连接可以按简单的方式通过旋拧保持螺栓39而可拆卸。
通过利用在盖部件17b与连接件17a之间的密封件21以及在盖部件17b与活节头16之间的密封圈19将活节本体17a、17b的容纳空间18密封，并且阀板1的凹陷29通过密封件33相对于连接件17a密封，特别是在活节头16相对于活节窝部件35、36运动期间产生的颗粒不能进入围绕阀板1的空间中。保持螺栓39可以有益地通过密封件相对于阀板1的突出部分1a密封，优选地在它们的头部区域中密封。这尤其在图17中可见(密封件未标出)。
在不脱离如权利要求中所限定的本发明的范围的情况下，本发明所示实施例的不同改型是可以想到的并且是可能的。
于是，可以省去在阀板1和阀杆4之间提供活动性的连接装置。然后，连接件可以刚性地与阀杆连接，例如与其拧紧。然后，可以省去带有凹槽的杯形凹部，也可以省去密封件21和用于螺钉22、38的螺纹孔。在远离阀杆的一侧，可以将这种连接件设计成与图中所示的连接件17a。阀杆与这种连接件的一体式设计(例如通过焊接)也是可以想到的并且是可能的。
代替突出部分1a，阀板1还可以在背面具有横梁，该横梁在其纵向延伸的中心部分相对于阀板1的板形主体自由调整，并且仅在两个端部与阀板主体连接。凹陷29于是布置在阀板的横梁的纵向延伸范围的中心部分中。这种横梁可以在两个端部与阀板的主体焊接或拧紧。凹陷将有益地在朝向阀板前侧的方向上再次由底部界定，其中，凹陷的内部空间可以相对于周围空间密封。
在另一种可能的改型的设计中，可以想到并且可能的是，销形连接部件32被省略，并且替代地，连接件17a具有突伸部，该突伸部的形状使得该突伸部不仅伸入凹陷29中而且还伸入侧向加宽部30中。在突伸到侧向加宽部30中的这些区域内，突伸部可设置有与保持螺栓39配合作用的凹槽，或者可设置环形地围绕突伸部的单个凹槽，其中，保持螺栓39与该凹槽的相应部分配合作用。因此，该突伸部将形成具有至少一个凹槽的单个连接部件，保持螺栓的相应一个的端部与该凹槽配合作用。在这样的设计中，连接件17a又可以可移动地或刚性地与阀杆连接，或者与阀杆设计成一体。
凹陷29还可以具有两个以上的加宽部，连接部件或相应的连接部件从阀杆的侧面突伸到加宽部中，其中，保持螺栓的端部部分穿过螺纹孔的开口突伸到这些加宽部中，并且接合到至少一个连接部件的至少一个凹槽中。
附图标记清单
1阀板 21密封件
1a突出部分 22螺钉
2开口 23连接螺钉
3壁 24通孔
4阀杆 25螺纹孔
4a连接部件 26纵向轴线
5驱动器 27窗口开口
6波纹管 29凹陷
8密封圈 30加宽部
9开口 31螺纹孔
10连接件 32连接部件
11开口 32a凹槽
12密封件 33密封件
13密封面 34密封面
14平面 35活节窝部件
15连接装置 35a活节面
16活节头 36活节窝部件
16a凹陷 36a活节面
16b活节面 37弹簧弹性元件
16c活节面 37a开口
16d销 38螺钉
17a连接件 39保持螺栓
17b盖部件 40螺纹孔
17c凹槽
17d台阶面
18容纳空间
19密封圈
20窗口开口

Claims (15)

1.一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，其中，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)的连接的凹陷(29)，其特征在于，布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(29)，至少在所述凹陷(29)的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部(30)，对于相应的加宽部(30)存在有螺纹孔(31)，该螺纹孔在相应的所述加宽部(30)的侧壁上通入所述加宽部(30)，其中，借助相应的保持螺栓(39)通过所述保持螺栓(39)的端部部分与凹槽(32a)的配合作用，所述阀杆(4)能与所述阀板(1)连接，其中所述保持螺栓旋入相应的所述螺纹孔(31)中并且以端部部分从所述螺纹孔(31)突伸到所述加宽部(30)中，所述凹槽设置在连接部件(32)上，该连接部件与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其一体地构造。
2.根据权利要求1所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)平行于所述阀板(1)所在的平面(14)延伸。
3.根据权利要求1或2所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)各自布置成与所述阀板(1)的纵向延伸部成大于45°的角度。
4.根据权利要求3所述的阀板，其特征在于，所述螺纹孔(31)各自布置成与所述阀板(1)的纵向延伸部成90°的角度。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的阀板，其特征在于，所述加宽部(30)的在平行于所述阀板(1)所在平面(14)的所有方向上的尺寸小于所述凹陷(29)的在对应方向上没有所述加宽部(30)的尺寸。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的阀板，其特征在于，所述加宽部(30)从所述阀板(1)中的凹陷(29)开始沿彼此远离的方向延伸，所述方向平行于所述阀板(1)的纵向延伸。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的阀板，其特征在于，所述阀板(1)具有围绕带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)的密封面(34)或密封件用于在所述阀板(1)与连接件(17a)之间的密封，所述连接件(17a)安置在所述阀杆(4)的端部上或者在所述阀杆(4)的端部上与其一体地构造，至少一个连接部件(32)从所述连接件(17a)突出。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的阀板，其特征在于，带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)布置在所述阀板(1)的在所述阀板(1)的背面上突出的部分(1a)中。
9.一种具有根据权利要求1至8中任一项所述的阀板(1)的封闭装置，所述阀板与所述封闭装置的阀杆(4)连接，其中，所述保持螺栓(39)接合到布置在至少一个连接部件(32)上的至少一个所述凹槽(32a)中。
10.根据权利要求9所述的封闭装置，其特征在于，连接件(17a)可拆卸地与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其形成为一体，并且至少一个连接部件(32)从所述连接件(17a)突出。
11.根据权利要求10所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)具有突伸部(17e)，所述突伸部伸入所述阀板(1)的凹陷(29)中，并且通过不同于圆形形状的外周轮廓被固定以防止相对于所述阀板(1)旋转，所述外周轮廓与所述凹陷(29)的对应的外围轮廓配合作用。
12.根据权利要求10或11所述的封闭装置，其特征在于，所述至少一个凹槽(32a)具有倾斜面，所述保持螺栓(39)的端部部分接合到所述至少一个凹槽中，该倾斜面与相应的保持螺栓(39)的锥形会聚的端部部分配合作用，其中，当所述保持螺栓(39)与所述至少一个连接部件(32)连接时，所述连接件(17a)压靠到所述阀板(1)上。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)在围绕带有所述加宽部(30)的所述凹陷(29)的区域中通过环形密封件(33)相对于所述阀板(1)密封。
14.根据权利要求10至13中任一项所述的封闭装置，其特征在于，对于在所述阀板(1)中的所述凹陷(29)的相应加宽部(30)，存在相应的连接部件(32)，所述连接部件具有从所述连接件(17a)突出的柄部，所述柄部由相应的凹槽(32a)以环形方式包围，相应的所述保持螺栓(39)的端部部分伸入所述凹槽中。
15.根据权利要求10至14中任一项所述的封闭装置，其特征在于，所述连接件(17a)可移动地与所述阀杆(4)连接。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021102283A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 Vat Holding Ag Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2848187A (en) * 1958-08-19 Ball type swivel valve seat
US3344807A (en) * 1965-08-27 1967-10-03 Lehrer Fritz Shut-off valve
US3837617A (en) 1973-04-19 1974-09-24 Westinghouse Electric Corp Gate valve
CA1051508A (en) * 1975-03-07 1979-03-27 Continental Oil Company Port closure apparatus for differentially pressured vessels
US5225308A (en) 1990-04-11 1993-07-06 Kao Corporation Encapsulated toner for heat-and-pressure fixing
US5226632A (en) * 1990-04-20 1993-07-13 Applied Materials, Inc. Slit valve apparatus and method
EP0453867B1 (en) 1990-04-20 1994-08-10 Applied Materials, Inc. Slit valve apparatus and method
US5385334A (en) * 1993-07-16 1995-01-31 Carten Controls Inc. Fluid flow valve
US5738333A (en) * 1996-06-13 1998-04-14 Flow Safe, Inc. Relief valve
US6032419A (en) * 1997-04-08 2000-03-07 Tokyo Electron Limited Vacuum processing apparatus with low particle generating vacuum seal
JP2000349031A (ja) * 1999-05-27 2000-12-15 Applied Materials Inc 半導体製造装置
JP2002089737A (ja) * 2000-09-18 2002-03-27 Smc Corp 真空排気弁
CH694279A5 (fr) * 2001-03-13 2004-10-29 Parker Lucifer Sa Valve à commande électromagnétique pour fluide.
JP2002286162A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Megatorr Corp 広帯域可変コンダクタンスバルブ
JP2003166655A (ja) * 2001-09-19 2003-06-13 Smc Corp ポペット形弁シール機構
US6698719B2 (en) * 2002-06-26 2004-03-02 Vat Holding Ag Seal arrangement for a vacuum valve
JP3994117B2 (ja) * 2002-11-07 2007-10-17 Ｓｍｃ株式会社 ヒーター付きポペット弁
KR100960030B1 (ko) 2004-03-12 2010-05-28 배트 홀딩 아게 진공 게이트 밸브
JP4506437B2 (ja) * 2004-04-30 2010-07-21 Ｓｍｃ株式会社 真空圧用２ポートバルブ
US7422653B2 (en) * 2004-07-13 2008-09-09 Applied Materials, Inc. Single-sided inflatable vertical slit valve
JP4491737B2 (ja) * 2005-05-27 2010-06-30 Ｓｍｃ株式会社 真空バルブ
US20070007475A1 (en) * 2005-07-07 2007-01-11 Peter Zvokelj Vacuum valve
CH699258B1 (de) * 2006-07-11 2010-02-15 Vat Holding Ag Vakuumventil und Verschlussteller
JP5066724B2 (ja) * 2007-01-17 2012-11-07 Ｓｍｃ株式会社 高真空バルブ
US8196893B2 (en) * 2008-04-09 2012-06-12 Mks Instruments, Inc. Isolation valve with corrosion protected and heat transfer enhanced valve actuator and closure apparatus and method
EP2146122A1 (de) * 2008-07-18 2010-01-20 VAT Holding AG Vakuumventil und Verschlussteller für ein Vakuumventil
JP5664846B2 (ja) 2010-05-25 2015-02-04 Smc株式会社 真空用バルブ
DE102011100218A1 (de) * 2011-05-02 2012-11-08 Vat Holding Ag Ventil
EP2912358B1 (en) * 2012-10-23 2017-12-06 MKS Instruments, Inc. Corrosion and deposition protected valve apparatus and method
KR200476559Y1 (ko) * 2014-03-31 2015-03-12 한익수 인라인 밸브
KR101595217B1 (ko) * 2014-09-16 2016-02-17 프리시스 주식회사 고정히터블럭이 구비된 앵글밸브
DE102015213298A1 (de) * 2015-07-15 2017-01-19 Zf Friedrichshafen Ag Kugelgelenk
KR102523112B1 (ko) * 2016-08-22 2023-04-18 삼성전자주식회사 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비
EP3287681B1 (en) * 2016-08-26 2020-02-19 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Right angle valve
JP6759905B2 (ja) * 2016-09-09 2020-09-23 アイシン精機株式会社 流体制御弁
JP2019002463A (ja) * 2017-06-14 2019-01-10 アイシン精機株式会社 流体制御弁
DE102017123231A1 (de) * 2017-10-06 2019-04-11 Aixtron Se Verschlusselement zum Verschlließen einer Beladeöffnung eines Innengehäuses eines CVD-Reaktors
JP7057584B2 (ja) * 2018-01-10 2022-04-20 Smc株式会社 弁ロッドに対する弁板の取付構造
JP7106062B2 (ja) * 2018-06-22 2022-07-26 Smc株式会社 真空バルブ
JP7350342B2 (ja) * 2018-09-27 2023-09-26 株式会社フジキン バルブ、バルブの弁体ユニットの交換方法、および、バルブの組立方法
DE102020102081A1 (de) * 2020-01-29 2021-07-29 Vat Holding Ag Verbindungsvorrichtung zur Verbindung einer Ventilstange mit einem Verschlussglied eines Vakuumventils

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