JP2024504498A - 壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置用の弁プレート - Google Patents

Abstract

壁（３）に設けられた開口（２）を真空密に閉鎖する閉鎖装置用の弁プレートは、壁（３）に対して密封するシールリング（８）を前面に有し、閉鎖装置の弁ロッド（４）に結合する凹部（２９）を裏面に有する。弁プレート（１）の裏面に配置された凹部（２９）に、少なくとも凹部（２９）の、互いに向かい合って位置する２つの側壁の領域で、それぞれ１つの拡張部（３０）が続いている。各々の拡張部（３０）に対してねじ山付き孔（３１）が存在しており、このねじ山付き孔（３１）は、各々の拡張部（３０）の側壁において拡張部（３０）に開口しており、各々のねじ山付き孔（３１）内にねじ込まれて、このねじ山付き孔（３１）から拡張部（３０）内に端部分でもって突出した各々の保持ピン（３９）によって、この保持ピン（３９）の端部分が、弁ロッド（４）の端部に結合された結合部分（３２）または弁ロッド（４）の端部で弁ロッド（４）と一体に形成された結合部分（３２）に配置された溝（３２ａ）と協働することにより、弁ロッド（４）が弁プレート（１）に結合可能である。

Description

本発明は、壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置用の弁プレートであって、壁に対して密封するシールリングを前面に有し、閉鎖装置の弁ロッドに結合する凹部を裏面に有する、弁プレートに関する。さらに、本発明は、閉鎖装置であって、このような弁プレートを備え、この弁プレートは、閉鎖装置の弁ロッドに結合されている、閉鎖装置に関する。

壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置は、特に真空弁の形態で形成されていてもよい。この真空弁は、弁プレートが内部に配置された弁ハウジングを有している。この弁ハウジングの複数の壁のうちの１つが、弁プレートにより閉鎖可能な開口を有しており、弁ハウジングの別の１つの壁には、真空弁の開放状態で弁ハウジングを貫く貫通路を形成するための別の開口が存在している。壁に設けられた開口を真空密に閉鎖する閉鎖装置を形成するための別の可能性は、真空チャンバに設けられた開口を、真空チャンバを取り囲む外側空間に対して遮蔽する真空ドアにある（この場合、真空ドアもまた一種の真空弁と見なすことができる）。この場合には、弁プレートにより閉鎖可能な開口が、閉鎖装置が取り付けられた真空チャンバの壁に直接配置されていてもよい。したがって、この場合、この壁は閉鎖装置の部分を成していない。

真空弁および真空ドアでは、時として、特に壁に配置された封止面に対する密封のために用いられる、弁プレートに配置されたシールリングの摩耗に基づき、弁プレートを保守することが必要になることがある。特に、例えば半導体産業で使用されるような侵食性のプロセスガスの使用時には、この摩耗が比較的高い。弁プレートを保守するためには、この弁プレートを弁ロッドから取り外すことができなければならない。このために、一般的には、弁ロッドと弁プレートとの間でねじ締結が行われている。

欧州特許第０４５３８５７号明細書には、真空弁であって、弁プレートを弁ロッドに結合する結合装置が弁プレートの裏面にねじ締結されている、真空弁が示されている。同明細書では、真空弁の閉鎖状態では誤差があるにもかかわらず、弁プレートの前面に配置された弾性的なシールリングの均一な圧縮を達成するために、結合装置が、弁プレートの長手延在方向に対して平行に位置する軸線だけでなく、弁プレートの長手延在方向に対して直角に位置する軸線も中心とした可動性を有している。

先使用によって、弁ロッドの一方の端部が雄ねじ山を有しており、この雄ねじ山によって、弁ロッドが、弁プレートの裏面に形成されたねじ山付き盲孔内に直接ねじ込まれるアングル弁の形態の真空弁も知られている。弁ロッドに対する弁プレートの可動性は、同先使用では与えられていない。

弁ロッドに対する弁プレートの運動可能性を許容する、弁プレートと弁ロッドとの間の別の結合装置は、米国特許第７１３４６４２号明細書および米国特許第３８３７６１７号明細書から明らかである。同明細書に示された弁プレートは、弁ロッドの端部分および／または結合装置の一部を収容するために、弁プレートの１つの狭幅面に開口を有している。

産業的に実施される真空プロセスでは、大抵、真空プロセスのクオリティを損なわないようにするために、使用される真空構成要素から真空中に放出されるパーティクルが可能な限り少ないことが所望されている。しかしながら、互いに滑動するように運動させられる部材では、多くのパーティクルが発生させられ、放出される。

本発明の課題は、冒頭に記載した形態の弁プレートを改良して、簡単かつ確実に弁ロッドに結合可能であり、また、弁ロッドから取外し可能であり、結合を弁ロッドに直接的に行うことができるかまたは弁ロッドに結合された結合装置を介して行うことができる、有利な弁プレートを提供することである。本発明によれば、このことは、請求項１の特徴を有する弁プレートによって達成される。

本発明に係る弁プレートでは、弁プレートの、前面と反対側の裏面に配置された凹部に、少なくとも凹部の、互いに向かい合って位置する２つの側壁の領域で、それぞれ１つの拡張部が続いている。存在する拡張部ごとに、弁プレートにねじ山付き孔が形成されており、このねじ山付き孔は、各々の拡張部の側壁において拡張部に開口している。各々のねじ山付き孔内にねじ込まれて、このねじ山付き孔から拡張部内に端部分でもって突出した各々の保持ピンによって、各々の保持ピンの端部が、弁ロッドの端部に結合された結合部分または弁ロッドの端部で弁ロッドと一体に形成された結合部分に配置された溝と協働することにより、弁プレートが弁ロッドに結合可能となる。したがって、弁プレートを弁ロッドから解離するためには、保持ピンの端部分が１つの溝または各々の溝から係合解除されるまで、保持ピンが緩められてもよい。

有利には、前述したねじ山付き孔は、弁プレートが位置する平面に対して平行に弁プレートに延在している。特に、ねじ山付き孔は、弁プレートの長手延在方向に対して４５°よりも大きな角度、好ましくは９０°の角度を成して配置されている。

凹部の拡張部の寸法は、有利には、弁プレートが位置する平面に対して平行なあらゆる方向に測定した場合、対応する方向への（これらの拡張部を含めない）凹部の寸法よりも小さい。拡張部は、弁プレートの凹部を起点として、好ましくは、弁プレートの長手延在方向に対して平行に位置する互いに離れる方向に向けられた方向に延在している。

有利には、弁プレートは、凹部を拡張部を含めて取り囲む封止面またはこのようなシールを有している。したがって、この封止面またはシールを介して、弁プレートと、弁ロッドの端部に結合されているかまたは弁ロッドの端部で弁ロッドと一体に形成されていて、少なくとも１つの結合部分が突き出ている結合片との間で密封を達成することができる。したがって、拡張部を含めた凹部の内室を、例えば弁ハウジングの内室を成す周辺の空間に対して密封することができる。弁プレートの凹部内に配置された部材同士の間の滑動相対運動時にパーティクルが形成される場合に、このパーティクルがこの内室から進出することは、密封によって防止することができる。

本発明に係る閉鎖装置は、本発明に係る弁プレートを有しており、この弁プレートは、閉鎖装置の弁ロッドに結合されており、保持ピンは、少なくとも１つの結合部分に配置された少なくとも１つの溝内に係合している。

好ましくは、少なくとも１つの結合部分が突き出ている結合片は、弁ロッドの端部に解離可能に結合されている。特に、結合片と弁ロッドとの間に可動性が設けられていてもよい。したがって、結合片は、弁プレートと弁ロッドとの間に配置された結合装置の一部であってもよい。しかしながら、基本的には、結合片が弁ロッドの端部と一体に形成されていることも考えられ、可能である。

結合片は、有利には、弁プレートの凹部内に突出した延長部を有しており、この延長部と弁プレートとの間に回動防止手段が形成されている。このことは、特に、結合片の延長部が、円形と異なる外周輪郭を有しており、この外周輪郭が、凹部の対応する外周輪郭と協働することによって達成することができる。

各々の保持ピンの端部分が係合する１つの溝もしくは各々の溝は、有利には（各々の保持ピンの長手延在方向に対して平行にかつ各々の保持ピンの長手方向中心軸線を通って延びる断面図で見て）、各々の保持ピンの円錐形に先細りになる端部分と協働する斜面を有している。これによって、少なくとも１つの結合部分への保持ピンの結合時に、結合片が弁プレートに押し付けられる。これによって、安定した結合が得られる。この場合、結合片と弁プレートとの間の、凹部を拡張部を含めて取り囲む環状のシールを圧縮することもできる。

以下に、本発明の更なる利点および詳細を添付の図面に基づき説明する。

開放位置における本発明に係る弁プレートを備えた閉鎖装置の一部の斜視図である。 弁プレートの閉鎖位置における図１に類似の斜視図である。 弁プレートの開放位置における閉鎖装置の側面図である。 弁プレートの開放位置における閉鎖装置を示す図である。 図４のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 結合装置を介して弁ロッドに結合された弁プレートを備えた弁ロッドの前方の端部の側面図である。 結合装置に結合された弁プレートの斜視図である。 図７と異なる方向から見た斜視図である。 弁ロッドの前方の端部と、結合装置と、弁プレートとを分解した状態で示す斜視図である。 弁プレートの裏面の平面図である。 図１０のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図１０のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 結合装置が結合された弁プレートの裏面の平面図である。 図１３のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図１３のＤ－Ｄ線に沿った断面図である。 図１３のＥ－Ｅ線に沿った断面図である。 図１３のＦ－Ｆ線に沿った断面図である。 結合装置の分解図である。 図１８と異なる方向から見た結合装置の分解図である。

図面は、それぞれ異なる縮尺を伴って部分的に簡略化して示してある。

以下に、本発明の実施例を図１～図１９に基づき説明する。

図面には、閉鎖装置が例示してある。この閉鎖装置は、開放位置（図１）と閉鎖位置（図２）との間で変位可能である弁プレート１を有している。この弁プレートの開放位置では、壁３に設けられた開口２が開放されており、閉鎖位置では、開口２が弁プレート１によって真空密に閉鎖されている。

真空密な閉鎖とは、少なくとも１０^－４ｍｂａｒ ｌ／ｓ未満の漏れ率Ｑを意味している。

弁プレート１は、長手方向軸線２６を有する弁ロッド４によって支持される。本実施例では、開放位置と閉鎖位置との間での弁プレート１の変位が、弁ロッド４の軸線方向の変位によってのみ行われる。

弁ロッド４を変位させて、弁プレート１を開放位置と閉鎖位置との間で変位させるために、本実施例では空気圧式のピストンシリンダユニットにより形成された駆動装置５が用いられる。弁ロッド４は、このピストンシリンダユニットのピストンロッドに結合されているかまたはピストンロッドと一体に形成されている。

閉鎖装置の閉鎖状態で弁プレート１と壁３との間を密封するために、エラストマー材料から成るシールリング８が用いられる。このシールリング８は、弁プレート１の前面に設けられている。壁３に設けられた開口２は、弁プレート１の閉鎖位置でシールリング８が接触する封止座を成す封止面１３によって取り囲まれている。

シールリング８は、弁プレート１の前面に設けられた溝内に配置されて、この溝内に保持されていてもよいし、弁プレート１の前面に加硫固着されていてもよい。

壁３は弁ハウジングの部分であってもよく、そのうち、図１～図４には、それぞれ一部だけが示してある。弁ハウジングの残りの部分は、図５に破線によって示してある。したがって、この弁ハウジングは、弁プレート１が配置された内室を有している。さらに、このような弁ハウジングは、図５に同じく示した第２の開口９、例えば、開口２に向かい合って位置していて、弁プレート１の開放位置で弁ハウジングを貫く貫通通路を形成する開口９を有している。したがって、閉鎖装置は、この実施例では、開口２を有する壁３を備えた弁ハウジングも含んでいて、真空弁を形成している。

弁ハウジングは、弁ロッド４を弁ハウジングの内室から導出した別の開口１１を有している。この開口１１は、駆動装置５が取り付けられた接続片１０によって真空密に閉鎖されている。弁ロッド４は、接続片１０に設けられた貫通通路を貫通していて、接続片１０によって軸線方向にガイドされている。弁ハウジングと接続片１０との間を密封するために、環状のシール１２が用いられる。接続片１０に設けられた貫通通路に対して弁ロッド４を密封するために、本実施例ではベローズ６が用いられる。密封のために、ベローズの代わりに、少なくとも１つのシールリングを備えたメカニカルシールが設けられていてもよい。

変更された実施形態では、図１～図４に示したように形成された、つまり、破線を有しない図５のように形成された閉鎖装置が、真空チャンバの壁の外側に設けられていてもよい。この場合には、開口２が、真空チャンバのこの壁に設けられた開口に整合しており、壁３が、開口２を取り囲む領域で真空チャンバの壁に対して密封されている。このような用途では、閉鎖装置をドアと呼ぶこともできる。

さらに別の実施形態では、開口２を有する壁３が、真空チャンバの一部であってもよい。したがって、この真空チャンバは、弁ロッド４を真空チャンバの内室から導出しかつ接続片１０により閉鎖された図示の開口１１に相応の別の開口を有している。この場合、接続片にやはり駆動装置５が取り付けられており、弁ロッドが、接続片に設けられた貫通通路を通って延在している。弁ロッドは、やはりベローズ（またはメカニカルシール）によって密封されて、真空チャンバの真空領域にガイドされていてもよい。つまり、この実施形態では、開口２を有する壁３が閉鎖装置の部分を成していない。

弁プレート１は、実質的に方形の外周輪郭を有して形成されている。なお、「実質的に方形」とは、本明細書では、弁プレートが、丸み付けられた角隅を有する方形で形成されていることを意味している。

開口２は、対応する輪郭を有している。

弁プレート１は、この弁プレートの中央平面または主平面と呼ぶこともできる平面１４内に位置している。シールリング８は、この平面１４に対して平行に延在している。

シールリング８が配置された弁プレート１の前面と反対側に位置する弁プレート１の裏面には、弁プレートが突出区分１ａを有している。この突出区分１ａには、以下でさらに詳しく説明するような凹部２９が配置されている。

弁ロッド４は、本実施例では、弁プレート１に結合装置１５によって結合されている。この結合装置１５によって、弁プレート１と弁ロッド４との間の可動性が可能となる。このために、結合装置１５はジョイントヘッド１６を有している。このジョイントヘッド１６は、弁ロッド４に固く結合されていて、ハウジング状のジョイントボディの内側の収容室１８内に配置されている。ジョイントボディは、ポット状の切欠きを有する結合片１７ａと、この結合片を閉鎖しかつ環状のシール２１によって結合片に対して密封されたカバー部分１７ｂとを備えている。結合片１７ａへのカバー部分１７ｂの結合は、ねじ２２を介して行われる。

以下でさらに詳しく説明するように、結合片１７ａを介して弁プレート１への結合が行われる。

ジョイントヘッド１６への弁ロッド４の結合は、結合ねじ２３によって行われる。この結合ねじ２３は、ジョイントヘッド１６に設けられた中心の貫通孔２４を貫通していて、弁ロッド４の端面側の端部に設けられたねじ山付き孔２５内にねじ込まれている。この場合、弁ロッドは、少なくとも実質的に正方形の横断面を有する結合区分４ａを有しており、ジョイントヘッド１６は、対応する外側輪郭を有する凹部１６ａを有していて、この凹部１６ａ内に弁ロッド４の結合区分４ａが突出して、弁ロッドがジョイントヘッドに対して回動防止されている。

弁ロッド４のねじ山付き孔２５内への結合ねじ２３のねじ込みを可能にするために、結合片１７ａは底部に窓開口２０を有している。

カバー部分１７ｂは窓開口２７を有していて、この窓開口２７を通して弁ロッド４が端部分の領域で突出している。弁プレート１が弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角な方向に向けられた（つまり、弁プレート１が位置する平面１４が長手方向軸線２６に対して直角に位置している）結合装置の中央位置では、弁ロッド４と、カバー部分１７ｂに設けられた窓開口２７の縁部との間に環状間隙ｓが存在している。これによって、中央位置を起点として、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置する任意の軸線を中心とした弁プレート１の（制限された）旋回が可能となる。

ジョイントボディ１７ａ，１７ｂの収容室１８内には、第１のジョイントソケット部分３５と第２のジョイントソケット部分３６とが配置されている。これらのジョイントソケット部分３５，３６は、それぞれ凹状のジョイント面３５ａ，３６ａを有している。この凹状のジョイント面３５ａ，３６ａは、それぞれ球内面の一区分の形態を有している。ジョイントソケット部分３５，３６の凹状のジョイント面３５ａ，３６ａは、互いに反対の側からジョイントヘッド１６に被せられていて、ジョイントヘッド１６のそれぞれ割り当てられた凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃと協働する。この凸状のジョイント面１６ｂ，１６ｃは、それぞれ球面の一区分の形態で形成されていて、それぞれジョイントヘッド１６の外側の表面の一区分を成している。

ジョイントソケット部分３５，３６は、ジョイントヘッド１６にばねディスクの形態のばね弾性要素３７によって押し付けられている。このばね弾性要素３７は、ねじ３８によって結合片１７ａにねじ締結されている。ばね弾性要素３７は、開口３７ａに続く領域に半径方向の切込みを有していて、この切込みにより切り離されたセグメントが上向きに曲げられている。この領域でばね弾性要素３７が第２のジョイントソケット部分３６に接触していて、この第２のジョイントソケット部分３６をジョイントヘッド１６に向かって押圧している。これによって、このジョイントヘッド１６が、結合片１７ａに設けられたポット状の凹部の底部における底面に載置された第１のジョイントソケット部分３５に向かって押圧される。

これによって、ジョイントヘッドが、まさに図示の位置で摩擦接続的に保持される。この摩擦接続は、これによって、ジョイントヘッド１６の位置を変化させずに、しかも、閉鎖装置の空間的な位置に左右されずに、弁プレート１の重さも受け止めることができるような強さである。

ばね弾性要素３７の開口３７ａは、カバー部分１７ｂの窓開口２７よりも大きい。したがって、ジョイントヘッド１６において、凹部１６ａを取り囲む領域に配置されたシールリング１９を、ばね弾性要素３７の開口３７ａを通過させて、窓開口２７を取り囲む領域でカバー部分１７ｂの内面に押し付けることができる。

ジョイントヘッド１６は、互いに反対の側で突出したピンを有している。各々のピン１６ｄは、結合片１７ａに設けられたそれぞれ割り当てられた溝１７ｃ内に突出している。各々の溝１７ｃは、ポット状の切欠きを画定する壁に形成されている。溝１７ｃは、結合装置の中央位置で弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して平行に延在している。

ジョイントヘッド１６は、溝と協働するピンによって、弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心としたジョイントボディに対する回動に関して防止されている。しかしながら、ジョイントヘッド１６を、弁ロッド４の長手方向軸線２６に対して直角に位置する任意の軸線を中心として（環状間隙ｓが無くなるまで）傾倒させることはできる。

したがって、結合装置は、ジョイントヘッド１６の赤道平面に対して直角に位置する軸線、つまり、ジョイントヘッドに結合された弁ロッド４の長手方向軸線２６を中心とした回動に関して防止されたボールジョイントを形成している。

弁プレート１の裏面に設けられた突出区分１ａには、凹部２９が配置されている。この凹部２９は、突出区分１ａの、弁プレート１の平面１４に対して平行に位置する上面から出発していて、この上面を起点として、弁プレート１の平面１４に対して直角な方向に延在している。弁プレートの前面に向かって、凹部はその底部によって画定されている。

凹部２９の、互いに向かい合って位置する２つの側壁の領域では、凹部２９から、それぞれ１つの拡張部３０が出発している。両方の拡張部の寸法は、弁プレートが位置する平面１４に対して平行なあらゆる方向に測定した場合、対応する方向に（これらの拡張部を含めない）凹部２９の寸法を測定した場合よりも大幅に小さく、好ましくは１／２未満のサイズである。拡張部３０は、凹部２９から、弁プレートの長手延在方向に対して平行に位置する逆方向に出発している。

各々の拡張部の側壁には、それぞれ１つのねじ山付き孔３１が開口している。このねじ山付き孔３１は、本実施例では、弁プレートの平面１４に対して平行にかつ弁プレートの長手延在方向に対して９０°の角度を成して位置している。各々のねじ山付き孔３１の、各々の拡張部３０への開口と反対側の端部は、突出区分１ａの側面に開口している。

結合片１７ａは、弁ロッド４から離れる方向に向けられた側に延長部１７ｅを有している。この延長部１７ｅは、弁プレート１に結合された状態で弁プレート１の凹部２９内に挿入されている。したがって、延長部１７ｅは、弁プレート１の平面１４に対して直角に位置する方向で凹部２９内に突出している。結合片１７ａのこの延長部１７ｅは、円形と異なる外周輪郭を有しており、凹部２９は、対応する外周輪郭を有している。これによって、（弁プレートの平面に対して直角に位置する軸線を基準として）結合片１７ａと弁プレート１との間に回動防止手段が形成されている。

延長部１７ｅと結合片１７ａの残りの部分との間には、段面１７ｄが位置している。この段面１７ｄは、弁プレート１への結合片１７ａの結合状態で弁プレート１の突出区分１ａの上面に接触している。段面１７ｄには、環状のシール３３が配置されている。このシール３３は、弁プレート１に結合された状態で弁プレート１の封止面３４に押し付けられている。この封止面３４は、凹部２９を拡張部３０と一緒に取り囲んでいて、弁プレート１の突出区分１ａの上面に配置されている。封止面３４が段面１７ｄに配置されていて、環状のシール３３が弁プレート１に配置されていてもよい。

結合片１７ａの段面１７ｄを越えて、ピン状の結合部分３２が突き出ている。このために、この結合部分３２は、本実施例では雄ねじ山を有している。この雄ねじ山によって、結合部分３２は、結合片１７ａに設けられた各々のねじ山付き孔４０内にねじ込まれている。

したがって、本実施例において存在する両方の拡張部３０に相応して、２つのピン状の結合部分３２が存在している。結合片１７ａがその延長部１７ｅで凹部２９内に挿入されている場合には、２つのピン状の結合部分３２のうち、一方の結合部分３２が一方の拡張部３０内に突出しており、他方の結合部分３２が他方の拡張部３０内に突出している。結合部分は、弁プレートの平面１４に対して直角な方向で各々の拡張部３０内に突出している。

ねじ山付き孔３１内には、保持ピン３９がねじ込まれている。弁プレート１の平面１４に対して平行に位置する各々の保持ピン３９の一方の端部分は、各々のねじ山付き孔３１から各々の拡張部３０の領域に突出していて、そこで、各々の結合部分３２の軸部に設けられた溝３２ａ内に突出している。各々の保持ピン３９の端部分は、ねじ山なしに形成されていて、その端部に向かって円錐形に先細りになっている。結合部分３２の溝３２ａは、横断面で見て溝の底部に向かって円錐形に先細りになる対応する形状を有している（特に図１７参照）。したがって、各々の溝３２ａの、結合片１７ａと反対側の側壁は、各々の保持ピン３９の端部分と協働する斜面を形成している。したがって、端部分が溝３２ａに進入する保持ピンのねじ込み時に、結合片１７ａが弁プレート１に向かって引っ張られる。このとき、シール３３が圧縮され、結合片１７ａの段面１７ｄが、弁プレート１の突出区分１ａの上面に当て付けられる。

したがって、弁プレート１と結合片１７ａとの間に安定した剛性的な結合が形成され、この結合は、保持ピン３９を緩めることによって簡単に解離可能となる。

ジョイントボディ１７ａ，１７ｂの収容室１８が、カバー部分１７ｂと結合片１７ａとの間のシール２１と、カバー部分１７ｂとジョイントヘッド１６との間のシールリング１９とにより密封されていて、弁プレート１の凹部２９が、シール３３により結合片１７ａに対して密封されていることによって、特にジョイントソケット部分３５，３６に対するジョイントヘッド１６の運動時に発生するパーティクルが、弁プレート１を取り囲む室内に達することがなくなる。また、有利には、保持ピン３９が、好ましくはそのヘッドの領域でシールによって弁プレート１の突出区分１ａに対して密封されていてもよい。このことは、特に図１７に認めることができる（シールには符号を付していない）。

特許請求の範囲に規定した本発明の範囲を逸脱することなしに、本発明の図示の実施例の種々異なる変更が考えられ、可能である。

したがって、弁プレート１と弁ロッド４との間に可動性を生じさせる結合装置が省かれてもよい。この場合には、結合片が、弁ロッドに固く結合されていて、例えば、弁ロッドにねじ締結されていてもよい。この場合には、溝を有するポット状の切欠きも、シール２１も、ねじ２２，３８用のねじ山付き孔も省かれてもよい。弁ロッドと反対の側では、このような結合片が、図面に示した結合片１７ａに類似して形成されていてもよい。また、例えば溶接によるこのような結合片との弁ロッドの一体形の構成も考えられ、可能である。

突出区分１ａの代わりに、弁プレート１が裏面に横梁を有していてもよい。この横梁はその長手延在方向の中央の区分で弁プレート１のプレート状のメインボディに対して解放されていて、両方の端部分でのみ弁プレートのメインボディに結合されている。この場合には、弁プレートの横梁の長手延在方向の中央の区分に凹部２９が配置されていてもよい。このような横梁は、両方の端部分で弁プレートのメインボディに溶接されていてもよいし、ねじ締結されていてもよい。凹部は、有利には、弁プレートの前面に向かって、やはり底部によって画定されている。この場合、凹部の内室は、周辺の空間に対して密封されていてもよい。

別の可能な変更された構成では、ピン状の結合部分３２を省き、その代わりに、結合片１７ａが、凹部２９内にも側方の拡張部３０内にも突出するような形状を備えた延長部を有していることが考えられ、可能である。この延長部は、側方の拡張部３０内に突出する領域に、保持ピン３９と協働する溝を備えていてもよいし、延長部を環状に取り囲む単一の溝が設けられていてもよい。この場合には、保持ピン３９が、この溝の各々の区分と協働する。したがって、この延長部は、各々の保持ピンの端部分と協働する少なくとも１つの溝を有する単一の結合部分を成している。このような構成では、結合片１７ａが、可動であってもよいし、弁ロッドに固く結合されていてもよいし、弁ロッドと一体に形成されていてもよい。

また、凹部２９が、２つよりも多くの拡張部を有していてもよく、これらの拡張部内に結合部分または各々の結合部分が弁ロッドの側から突出する。この場合には、保持ピンの端部分が、ねじ山付き孔の開口を通ってこれらの拡張部内に突出して、少なくとも１つの結合部分の少なくとも１つの溝内に係合する。

１ 弁プレート
１ａ 突出区分
２ 開口
３ 壁
４ 弁ロッド
４ａ 結合区分
５ 駆動装置
６ ベローズ
８ シールリング
９ 開口
１０ 接続片
１１ 開口
１２ シール
１３ 封止面
１４ 平面
１５ 結合装置
１６ ジョイントヘッド
１６ａ 凹部
１６ｂ ジョイント面
１６ｃ ジョイント面
１６ｄ ピン
１７ａ 結合片
１７ｂ カバー部分
１７ｃ 溝
１７ｄ 段面
１８ 収容室
１９ シールリング
２０ 窓開口
２１ シール
２２ ねじ
２３ 結合ねじ
２４ 貫通孔
２５ ねじ山付き孔
２６ 長手方向軸線
２７ 窓開口
２９ 凹部
３０ 拡張部
３１ ねじ山付き孔
３２ 結合部分
３２ａ 溝
３３ シール
３４ 封止面
３５ ジョイントソケット部分
３５ａ ジョイント面
３６ ジョイントソケット部分
３６ａ ジョイント面
３７ ばね弾性要素
３７ａ 開口
３８ ねじ
３９ 保持ピン
４０ ねじ山付き孔

Claims (15)

1. 壁（３）に設けられた開口（２）を真空密に閉鎖する閉鎖装置用の弁プレートであって、前記壁（３）に対して密封するシールリング（８）を前面に有し、前記閉鎖装置の弁ロッド（４）に結合する凹部（２９）を裏面に有する、弁プレートにおいて、
   前記弁プレート（１）の前記裏面に配置された前記凹部（２９）に、少なくとも該凹部（２９）の、互いに向かい合って位置する２つの側壁の領域で、それぞれ１つの拡張部（３０）が続いており、
   各々の拡張部（３０）に対してねじ山付き孔（３１）が存在しており、該ねじ山付き孔（３１）は、各々の前記拡張部（３０）の側壁において前記拡張部（３０）に開口しており、各々の前記ねじ山付き孔（３１）内にねじ込まれて、該ねじ山付き孔（３１）から前記拡張部（３０）内に端部分でもって突出した各々の保持ピン（３９）によって、該保持ピン（３９）の前記端部分が、前記弁ロッド（４）の端部に結合された結合部分（３２）または前記弁ロッド（４）の端部で前記弁ロッド（４）と一体に形成された結合部分（３２）に配置された溝（３２ａ）と協働することにより、前記弁ロッド（４）が前記弁プレート（１）に結合可能であることを特徴とする、弁プレート。
2. 前記ねじ山付き孔（３１）は、前記弁プレート（１）が位置する平面（１４）に対して平行に延在していることを特徴とする、請求項１記載の弁プレート。
3. 前記ねじ山付き孔（３１）は、それぞれ前記弁プレート（１）の長手延在方向に対して４５°よりも大きな角度を成して配置されていることを特徴とする、請求項１または２記載の弁プレート。
4. 前記ねじ山付き孔（３１）は、それぞれ前記弁プレート（１）の前記長手延在方向に対して９０°の角度を成して配置されていることを特徴とする、請求項３記載の弁プレート。
5. 前記弁プレート（１）が位置する平面（１４）に対して平行なあらゆる方向への前記拡張部（３０）の寸法が、対応する前記方向への前記拡張部（３０）を含めない前記凹部（２９）の寸法よりも小さいことを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載の弁プレート。
6. 前記拡張部（３０）は、前記弁プレート（１）に設けられた前記凹部（２９）を起点として、前記弁プレート（１）の長手延在方向に対して平行に位置する互いに離れる方向に向けられた方向に延在していることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載の弁プレート。
7. 前記弁プレート（１）は、前記凹部（２９）を前記拡張部（３０）を含めて取り囲む封止面（３４）またはシールであって、前記弁プレート（１）と、前記弁ロッド（４）の端部に取り付けられているかまたは前記弁ロッド（４）の端部で前記弁ロッド（４）と一体に形成されていて、前記少なくとも１つの結合部分（３２）が突き出ている結合片（１７ａ）との間を封止する封止面（３４）またはシールを有することを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載の弁プレート。
8. 前記凹部（２９）は、前記拡張部（３０）を含めて、前記弁プレート（１）の前記裏面に設けられた前記弁プレート（１）の突出区分（１ａ）に配置されていることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項記載の弁プレート。
9. 閉鎖装置であって、請求項１から８までのいずれか１項記載の弁プレート（１）を備え、該弁プレート（１）は、前記閉鎖装置の前記弁ロッド（４）に結合されており、前記保持ピン（３９）は、少なくとも１つの前記結合部分（３２）に配置された少なくとも１つの前記溝（３２ａ）内に係合している、閉鎖装置。
10. 結合片（１７ａ）が、前記弁ロッド（４）の端部に解離可能に結合されているかまたは前記弁ロッド（４）の端部で前記弁ロッド（４）と一体に形成されており、前記少なくとも１つの結合部分（３２）は、前記結合片（１７ａ）を越えて突き出ていることを特徴とする、請求項９記載の閉鎖装置。
11. 前記結合片（１７ａ）は延長部（１７ｅ）を有し、該延長部（１７ｅ）は、前記弁プレート（１）の前記凹部（２９）内に突出していて、該凹部（２９）の対応する外周輪郭と協働する、円形と異なる外周輪郭によって前記弁プレート（１）に対して回動防止されていることを特徴とする、請求項１０記載の閉鎖装置。
12. 前記保持ピン（３９）の前記端部分が係合する前記少なくとも１つの溝（３２ａ）は、前記各々の保持ピン（３９）の円錐形に先細りになる前記端部分と協働する斜面を有し、前記少なくとも１つの結合部分（３２）への前記保持ピン（３９）の結合時に、前記結合片（１７ａ）が前記弁プレート（１）に押し付けられることを特徴とする、請求項１０または１１記載の閉鎖装置。
13. 前記結合片（１７ａ）は、前記凹部（２９）を前記拡張部（３０）を含めて取り囲む領域において前記弁プレート（１）に対して環状のシール（３３）によって密封されていることを特徴とする、請求項１０から１２までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
14. 前記弁プレート（１）に設けられた前記凹部（２９）の各々の拡張部（３０）に対して、各々の結合部分（３２）が存在しており、該結合部分（３２）は、前記結合片（１７ａ）を越えて突き出ている軸部を有し、該軸部は、前記各々の保持ピン（３９）の前記端部分が内部に突出した各々の前記溝（３２ａ）によって環状に取り囲まれていることを特徴とする、請求項１０から１３までのいずれか１項記載の閉鎖装置。
15. 前記結合片（１７ａ）は、前記弁ロッド（４）に可動に結合されていることを特徴とする、請求項１０から１４までのいずれか１項記載の閉鎖装置。

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