CN116674949A - 一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法，涉及超高真空技术领域，包括轨道装置和设置在轨道装置上的装载小车，装载小车包括电动装载小车和恒温装载小车，电动装载小车通过取电臂与相邻电缆滑动连接，恒温装载小车通过导热线与低温导热接头连接，低温导热接头与相邻低温供应管滑动连接，相邻恒温装载小车通过车钩装置连接，车钩装置包括公头和母头，公头的一侧设置有长槽，与母头内部的弹舌连接，实现装载小车间的连接与分离。轨道装置包括道岔变轨装置和渡线变轨装置，实现装载小车在不同轨道之间的移动，本发明采用上述结构，在超高真空环境下，建立一种高并行上限，可适应实际需求灵活使用的多轨道和多装载小车运输体系。

Description

一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法

技术领域

本发明涉及超高真空技术领域，尤其是涉及一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法。

背景技术

真空传输系统主要应用在新型材料研究领域，通过真空传输管道和控制系统将样品制备装置和样品表征装置连接起来，为制备完成后，样品向表征装置的传输过程提供无水无氧的洁净环境。而近些年材料制备技术和表征技术不断发展，对真空传输系统的要求也逐渐升高，例如要制备多层的复杂异质结和分层材料等，就需要真空传输系统能够高效地在不同生长和处理腔体之间运输样品，充分利用各生长设备和处理设备的优势；要扫描隧道显微镜，X射线光电子能谱等基于表面表征的设备达到最佳分辨率的表征结果，就需要样品表面做到尽量平整和纯净，对真空传输系统的洁净程度和运输时间带来了挑战。在真空传输系统中，主要存在以下需要解决的问题：

(1)目前大部分真空输运轨道系统都为单轨道设计，并行上限较低，当两台需要互联的设备距离较远时，装载小车的运动所花费时间也较长，此时其他传样任务都无法进行，会较大程度地影响实验效率。如果要升级为多轨道设计，则需要重新设计腔体和轨道之间配套的传样装置，无法使用现有的成熟方案，成本较高；

(2)目前商用真空装载小车的移动主要通过两端的钢丝线牵引，但这种传动方式还有部分不足：只适合牵引单个装载小车，如果需要分别控制多个装载小车移动，则结构复杂程度会显著增加，故障率也随之提升；只允许装载小车在平直轨道上行驶，无法解决转弯问题；在牵引时容易发生装载小车脱轨问题，直接导致整条样品传输管路停止工作；手动的牵引机构对实验人员的操作要求较高，如果操作不当，如用力不均等，容易使装载小车急走急停，出现较大晃动，导致轨道磨损，甚至发生样品掉落；

(3)部分真空腔体可能具有较短的生长时间或表征时间，需要在一段时间内与装载小车之间进行持续的样品交换，但如果装载小车还有其他任务等待进行，则只能将样品全部转移至腔体内部的存储架中，待生长或表征结束后再全部送回装载小车，操作更为繁琐，而且需要在腔内安装存储架，不满足轻便化的实用需求；

(4)目前大部分的装载小车只能在室温运输样品，对于需要研究亚稳相的情况，例如在亚稳相上生长材料或测量亚稳相的性质，如果不能在生长完成后保持高温或低温恒温运输，可能会导致样品发生不可逆的相变，从亚稳相过渡到稳定相，影响实验的可行性；

(5)蒸发装置设置在腔体底部，需要很好地对准高温样品台中心，目前常用大小的样品制备腔体上蒸发装置一般都为同一种类，数量不超过8个。如果需要更多数量和种类的蒸发源来原位生长材料，完成大通量筛选、多层异质结制备等实验任务时，随着蒸发源数量和种类的增多，仪器的体积和复杂程度会呈指数上升，如果采用多个互联蒸发腔体进行生长，则材料需要在不同腔体之间传递，使实验过程变得复杂耗时，出问题的几率也指数增加，影响实验进度。

因此，提供一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法，在不更换传样装置的前提下对目前真空互联运输系统进行功能升级，建立高并行上限的多轨道运输和多装载小车运输体系。

为实现上述目的，本发明提供一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，包括轨道装置和设置在所述轨道装置上的装载小车，所述轨道装置的下方设置有轨道固定支架，所述轨道固定支架上设置有电缆，所述装载小车包括电动装载小车和恒温装载小车，所述电动装载小车通过取电臂与所述电缆滑动连接，通过电缆获取动力和控制信号，从而移动并带动恒温装载小车，所述恒温装载小车上设置有高温台和低温台，所述高温台与电阻丝连接，所述低温台通过导热线与低温导热接头连接，所述低温导热接头与相邻低温供应管滑动连接，相邻所述恒温装载小车通过车钩装置连接，所述车钩装置包括公头和母头，所述公头的一侧设置有长槽，所述母头的顶部设置有弹簧一，所述弹簧一的顶部与按动分离板连接，所述按动分离板的内壁底部设置有弹舌，所述弹舌与所述长槽连接，所述长槽和弹舌中均设置有若干电极接头，所述弹舌的底部设置有弹簧二，所述弹簧二与触发扳机连接。

优选的，所述轨道装置包括普通轨道装置和变轨装置，所述变轨装置包括道岔变轨装置和渡线变轨装置，所述道岔变轨装置和所述渡线变轨装置均与变轨指示系统连接，所述道岔变轨装置包括三段短轨道，三段所述短轨道与所述普通轨道装置连接，所述短轨道包括固定轨道一、固定轨道二和固定轨道三，所述固定轨道一和固定轨道二均设置为直轨道，所述固定轨道三设置为弧形轨道。

优选的，所述固定轨道一与所述固定轨道二之间设置有移动轨一、移动轨二和移动轨三，所述固定轨道一与所述移动轨一、所述移动轨一与所述移动轨二、所述移动轨二与所述移动轨三之间旋转连接，所述固定轨道一与固定长板的一端连接，所述固定长板的另一端上表面设置有变轨连接杆一，所述变轨连接杆一的另一端穿过可动滑槽一与限位纵轴一的上表面连接，所述可动滑槽一设置在移动轨二上，所述限位纵轴一远离所述变轨连接杆一的一侧与限位槽滑动连接，所述限位槽设置在所述变轨连接杆二上。

优选的，所述固定长板远离所述固定轨道一的一端下表面设置有变轨连接杆二，所述限位槽与所述限位纵轴一的下表面连接，所述变轨连接杆二靠近所述移动轨三的一端穿过固定滑槽一。

优选的，所述渡线变轨装置包括固定轨一、固定轨二、固定轨三和固定轨四，所述固定轨一和所述固定轨二设置在同一直线上，所述固定轨三和所述固定轨四平行于所述固定轨一设置在同一直线上，所述固定轨一与所述固定轨二之间从左到右依次设置有移动轨道一、移动轨道二和移动轨道三，所述固定轨三与所述固定轨四之间从左到右依次设置有移动轨道四和移动轨道五，所述移动轨道五与所述固定轨四之间设置有避让轨道，所述避让轨道的下表面与连动杆旋转连接，所述连动杆远离避让轨道的一端与所述移动轨道一的下表面旋转连接。

优选的，所述固定轨二与固定板一连接，所述固定板一上设置有圆孔，变轨连杆一的一端穿过所述圆孔与所述固定板一旋转连接，所述变轨连杆一的另一端穿过可动滑槽二通过限位纵轴二与变轨连杆二滑动连接，所述变轨连杆二的一端与所述固定板一的一端连接，所述变轨连杆二的另一端穿过固定滑槽二。

优选的，所述固定轨三的内侧表面设置有固定板二，所述固定板二与变轨连杆三和变轨连杆四的一端旋转连接，所述移动轨道四和移动轨道五上分别设置有固定滑槽三和固定滑槽四，所述固定滑槽三和所述固定滑槽四上分别设置有滑块一和滑块二，所述变轨连杆三远离固定板二的一端与所述滑块一连接，所述变轨连杆四远离固定板二的一端与所述滑块二连接。滑块一在固定滑槽三的两端时分别对应于移动轨道四的变轨状态和非变轨状态，滑块二在固定滑槽四的两端时分别对应移动轨道五的变轨状态和非变轨状态。

优选的，所述变轨指示系统通过传感、图像识别、与道岔控制机构耦合、手动记录，指示每个变轨点的轨道状态。

9.一种新型变轨真空恒温轨道运输装置实施方法，包括以下步骤：

S1：控制传样杆将样品从真空腔体传递到恒温装载小车上；

S2：操控电动装载小车带动恒温装载小车在轨道装置上移动；

S3：通过变轨指示系统检查变轨装置的轨道状态，利用道岔控制机构改变轨道状态；

S4：操控电动装载小车带动恒温装载小车通过变轨装置；

S5：重复步骤S2-S4，样品到达目标真空腔体，通过传样杆，将样品从恒温装载小车传递到真空腔体内部，根据装载小车是否需要长时间停留，控制车钩装置使装载小车间连接或者分离。

因此，本发明采用上述一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，具备以下

有益效果：

(1)本发明装载小车和轨道装置、变轨装置以及车钩装置可以实现装载小车的快速钩挂、分离和变轨，建立高并行上限的多轨道运输和多装载小车运输体系。

(2)本发明通过合理编组装载小车，可以实现灵活、高效率的样品传递，尤其适用于长距离，网络化的真空运输系统，同时还能够满足长时间停靠多个样品的需求。

(3)本发明高温台与电阻丝连接，低温台通过导热线与低温导热接头连接，低温导热接头滑动连接低温供应管，实现恒温加热及低温获得。

(4)本发明通过装载小车和轨道装置、高温台、电阻丝、低温台、低温供应管和车钩装置的配合，直接在一个真空互联管道里面实现一体化的样品制备过程，并通过材料分隔挡板将该真空管道分隔为不同的生长腔室。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的正视图；

图2是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置实施方法的流程图；

图3是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的车钩装置剖面图；

图4是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的道岔变轨装置变轨示意图；

图5是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的道岔变轨装置未变轨示意图；

图6是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的渡线变轨装置变轨示意图；

图7是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的渡线变轨装置未变轨示意图；

图8是本发明一种新型变轨真空恒温轨道运输装置的实施例一示意图；

附图标记

1、恒温装载小车；101、电动装载小车；102、取电臂；2、低温供应管；3、道岔变轨装置；311、固定轨道一；312、固定轨道二；313固定轨道三；321、移动轨一；322、移动轨二；323、移动轨三；33、固定长板；341、变轨连接杆一；342、变轨连接杆二；35、限位纵轴一；36、限位槽；37、固定滑槽一；38、可动滑槽一；4、电缆；5、渡线变轨装置；511、固定轨一；512、固定轨二；513、固定轨三；514、固定轨四；521、移动轨道三；522、移动轨道二；523、移动轨道一；524、移动轨道五；525、移动轨道四；53、避让轨道；541、固定板一；542、固定板二；551、变轨连杆一；552、变轨连杆二；553、变轨连杆四；554、变轨连杆三；555、连动杆；56、限位纵轴二；571、固定滑槽二；572、固定滑槽三；573、固定滑槽四；58、可动滑槽二；591、滑块一；592、滑块二；6、低温导热接头；7、轨道固定支架；8公头；9、母头；10、弹舌；11、按动分离板；12、触发扳机；13、电极接头；14、弹簧一；15、弹簧二；16、真空管道；17、蒸发源；18、材料分隔挡板开关；19、接驳传递腔；20、蒸发监控。

具体实施方式

以下通过附图和实施例对本发明的技术方案作进一步说明。

除非另外定义，本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

实施例

如图1-图7所示，本发明提供一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，包括轨道装置和设置在轨道装置上的装载小车，轨道装置的下方设置有轨道固定支架7，轨道固定支架7上设置有电缆4，装载小车包括电动装载小车101和恒温装载小车1，电动装载小车101通过取电臂102与电缆4滑动连接，恒温装载小车1上设置有高温台和低温台，高温台与电阻丝连接，低温台通过导热线与低温导热接头6连接，低温导热接头6与相邻低温供应管2滑动连接，相邻恒温装载小车1通过车钩装置连接，车钩装置包括公头8和母头9，公头8的一侧设置有长槽，母头9的顶部设置有弹簧一14，弹簧一14的顶部与按动分离板11连接，按动分离板11的内壁底部设置有弹舌10，弹舌10与长槽连接，长槽和弹舌10中均设置有若干电极接头13，弹舌10的底部设置有弹簧二15，弹簧二15与触发扳机12连接。车钩在分离状态下需要连接恒温装载小车1时，向目标恒温装载小车1靠近，车钩主体的母头9进入车钩主体公头8的长槽内，触动触发扳机12，弹舌10弹出并卡住，实现恒温装载小车1之间的钩挂，同时长槽和弹舌的电极接头相互连接，形成信号传输通路。

轨道装置包括普通轨道装置和变轨装置，变轨装置包括道岔变轨装置3和渡线变轨装置5，道岔变轨装置3和渡线变轨装置5均与变轨指示系统连接，道岔变轨装置3包括三段短轨道，三段短轨道与普通轨道装置连接，短轨道包括固定轨道一311、固定轨道二312和固定轨道三313，固定轨道一311和固定轨道二312均设置为直轨道，固定轨道三313设置为弧形轨道。

固定轨道一311与固定轨道二312之间设置有移动轨一321、移动轨二322和移动轨三323，固定轨道一311与移动轨一321、移动轨一321与移动轨二322、移动轨二322与移动轨三323之间旋转连接，固定轨道一311与固定长板33的一端连接，固定长板33的另一端上表面设置有变轨连接杆一341，变轨连接杆一341的另一端穿过可动滑槽一38与限位纵轴一35的上表面连接，可动滑槽一38设置在移动轨二322上，限位纵轴一35远离变轨连接杆一341的一侧与限位槽36滑动连接，限位槽36设置在变轨连接杆二342上。

固定长板33远离固定轨道一311的一端下表面设置有变轨连接杆二342，限位槽36与限位纵轴一35的下表面连接，变轨连接杆二342靠近移动轨三323的一端穿过固定滑槽一37。

渡线变轨装置5包括固定轨一511、固定轨二512、固定轨三513和固定轨四514，固定轨一511和固定轨二512设置在同一直线上，固定轨三513和固定轨四514平行于固定轨一511设置在同一直线上，固定轨一511与固定轨二512之间从左到右依次设置有移动轨道一523、移动轨道二522和移动轨道三521，固定轨三513与固定轨四514之间从左到右依次设置有移动轨道四525和移动轨道五524，移动轨道五524与固定轨四514之间设置有避让轨道53，避让轨道53的下表面与连动杆555旋转连接，连动杆555远离避让轨道53的一端与移动轨道一523的下表面旋转连接。

固定轨二512与固定板一541连接，固定板一541上设置有圆孔，变轨连杆一551的一端穿过圆孔与固定板一541旋转连接，变轨连杆一551的另一端穿过可动滑槽二58通过限位纵轴二56与变轨连杆二552滑动连接，变轨连杆二552的一端与固定板一541的一端连接，变轨连杆二552的另一端穿过固定滑槽二571。

固定轨三513的内侧表面设置有固定板二542，固定板二542的一端与变轨连杆三554和变轨连杆四553的一端旋转连接，移动轨道四525和移动轨道五524上分别设置有固定滑槽三572和固定滑槽四573，固定滑槽三572和固定滑槽四573上分别设置有滑块一591和滑块二592，变轨连杆三554远离固定板二542的一端与滑块一591连接，变轨连杆四553远离固定板二542的一端与滑块二592连接，滑块一591在固定滑槽三572的两端时分别对应于移动轨道四的变轨状态和非变轨状态，滑块二592在固定滑槽四573的两端时分别对应移动轨道五524的变轨状态和非变轨状态。

变轨指示系统通过传感、图像识别、与道岔控制机构耦合、手动记录，指示每个变轨点的轨道状态。

一种新型变轨真空恒温轨道运输装置实施方法，包括以下步骤：

S1：控制传样杆将样品从真空腔体传递到恒温装载小车上；

S2：操控电动装载小车带动恒温装载小车在轨道装置上移动；

S3：通过变轨指示系统检查变轨装置的轨道状态，利用道岔控制机构改变轨道状态；

S4：操控电动装载小车带动恒温装载小车通过变轨装置；

S5：重复步骤S2-S4，样品到达目标真空腔体，通过传样杆，将样品从装载小车传递到真空腔体内部，并根据装载小车是否需要长时间停留，控制车钩装置使装载小车间连接或者分离。

实施例一

如图8所示，一种新型变轨真空恒温轨道运输装置应用到一体化蒸发和多腔隔离装置中，利用其恒温运输优势，直接在一个真空互联管道里一体化实现多步的样品制备过程，适用的真空范围为1*10^-6mbar～1*10^-10mbar，包括以下步骤：

步骤一：使用传样杆将待生长的样品从准备腔传入生长管道，并放入恒温装载小车1中；

步骤二：根据实验需要，控制恒温装载小车1在轨道上移动到分腔室中心，使样品表面正对蒸发源17；

步骤三：控制材料分隔挡板开关18关闭相邻的两个材料分隔挡板，通过加热台或低温台、使样品达到需要的温度，其中加热温度的范围：300K～500K，低温的范围：150K～270K，设置合适的生长参数，进行蒸发，通过蒸发监控20进行监控，蒸发监控设备包括RHEED，膜厚仪，束流规；

步骤四：蒸发完成后，控制材料分隔挡板开关18打开相邻的材料分隔挡板；

步骤五：通过加热台或低温台保持样品温度恒定，将恒温装载小车1快速移动另一个位置进行下一次的蒸发操作；

步骤六：重复步骤二-步骤五，直到样品制备完成；

步骤七：样品生长完成后，将样品通过轨道运送至一端的接驳传递腔，使用传样杆将样品传出生长管道，移动至表征装置。

一体化蒸发和多腔隔离装置机构主要由以下几个部分组成：多级真空腔室、阀门和真空维持装置，包括进样腔、准备腔、生长管道等多个腔体和机械泵、分子泵、离子泵等配套泵体，腔体之间和腔体与泵体气路之间由阀门连接，其中进样腔可以在大气环境下打开以实现样品进入，生长管道内具备超高真空。

生长装置，分别设置在每个生长腔室的底部，一个生长腔室内可以同时有多个生长装置，其方向都对准生长腔室的中心，生长装置包括热蒸发沉积装置、磁控溅射沉积装置和分子束外延装置。

材料分隔挡板开关18，控制材料分隔挡板，将一个真空管道16分隔为多个生长腔室，防止不同材料之间交叉污染，设置在每两个相邻的生长腔室之间，其旋转轴向下方偏离对称中心，能在关闭状态下尽可能地隔离蒸发材料束流，并在打开状态下不影响恒温装载小车1通过。

接驳传递腔19，设置在真空管道的两端，用于在恒温装载小车1和其他腔室之间传递样品。

蒸发监控20，分别设置在每个生长腔室的侧面，其方向对准生长腔室的中心，蒸发监控设备包括RHEED、膜厚仪、束流规。

因此，本发明采用上述一种新型变轨真空恒温轨道运输装置及实施方法，可以发挥装载小车恒温，可分离的优势，在极大程度上简化复杂样品的制备流程，使得样品制备更加灵活和高效。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：包括轨道装置和设置在所述轨道装置上的装载小车，所述轨道装置的下方设置有轨道固定支架，所述轨道固定支架上设置有电缆，所述装载小车包括电动装载小车和恒温装载小车，所述电动装载小车通过取电臂与所述电缆滑动连接，所述恒温装载小车上设置有高温台和低温台，所述高温台与电阻丝连接，所述低温台通过导热线与低温导热接头连接，所述低温导热接头与相邻低温供应管滑动连接，相邻所述恒温装载小车通过车钩装置连接，所述车钩装置包括公头和母头，所述公头的一侧设置有长槽，所述母头的顶部设置有弹簧一，所述弹簧一的顶部与按动分离板连接，所述按动分离板的内壁底部设置有弹舌，所述弹舌与所述长槽连接，所述长槽和弹舌中均设置有若干电极接头，所述弹舌的底部设置有弹簧二，所述弹簧二与触发扳机连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述轨道装置包括普通轨道装置和变轨装置，所述变轨装置包括道岔变轨装置和渡线变轨装置，所述道岔变轨装置和所述渡线变轨装置均与变轨指示系统连接，所述道岔变轨装置包括三段短轨道，三段所述短轨道与所述普通轨道装置连接，所述短轨道包括固定轨道一、固定轨道二和固定轨道三，所述固定轨道一和固定轨道二均设置为直轨道，所述固定轨道三设置为弧形轨道。

3.根据权利要求2所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述固定轨道一与所述固定轨道二之间设置有移动轨一、移动轨二和移动轨三，所述固定轨道一与所述移动轨一、所述移动轨一与所述移动轨二、所述移动轨二与所述移动轨三之间旋转连接，所述固定轨道一与固定长板的一端连接，所述固定长板的另一端上表面设置有变轨连接杆一，所述变轨连接杆一的另一端穿过可动滑槽一与限位纵轴一的上表面连接，所述可动滑槽一设置在移动轨二上，所述限位纵轴一远离所述变轨连接杆一的一侧与限位槽滑动连接，所述限位槽设置在所述变轨连接杆二上。

4.根据权利要求3所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述固定长板远离所述固定轨道一的一端下表面设置有变轨连接杆二，所述限位槽与所述限位纵轴一的下表面连接，所述变轨连接杆二靠近所述移动轨三的一端穿过固定滑槽一。

5.根据权利要求2所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述渡线变轨装置包括固定轨一、固定轨二、固定轨三和固定轨四，所述固定轨一和所述固定轨二设置在同一直线上，所述固定轨三和所述固定轨四平行于所述固定轨一设置在同一直线上，所述固定轨一与所述固定轨二之间从左到右依次设置有移动轨道一、移动轨道二和移动轨道三，所述固定轨三与所述固定轨四之间从左到右依次设置有移动轨道四和移动轨道五，所述移动轨道五与所述固定轨四之间设置有避让轨道，所述避让轨道的下表面与连动杆旋转连接，所述连动杆远离避让轨道的一端与所述移动轨道一的下表面旋转连接。

6.根据权利要求5所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述固定轨二与固定板一连接，所述固定板一上设置有圆孔，变轨连杆一的一端穿过所述圆孔与所述固定板一旋转连接，所述变轨连杆一的另一端穿过可动滑槽二通过限位纵轴二与变轨连杆二滑动连接，所述变轨连杆二的一端与所述固定板一的一端连接，所述变轨连杆二的另一端穿过固定滑槽二。

7.根据权利要求5所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述固定轨三的内侧表面设置有固定板二，所述固定板二与变轨连杆三和变轨连杆四的一端旋转连接，所述移动轨道四和移动轨道五上分别设置有固定滑槽三和固定滑槽四，所述固定滑槽三和所述固定滑槽四上分别设置有滑块一和滑块二，所述变轨连杆三远离固定板二的一端与所述滑块一连接，所述变轨连杆四远离固定板二的一端与所述滑块二连接。

8.根据权利要求2所述的一种新型变轨真空恒温轨道运输装置，其特征在于：所述变轨指示系统通过传感、图像识别、与道岔控制机构耦合、手动记录，指示每个变轨点的轨道状态。

9.一种新型变轨真空恒温轨道运输装置实施方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：控制传样杆将样品从真空腔体传递到恒温装载小车上；

S2：操控电动装载小车带动恒温装载小车在轨道装置上移动；

S3：通过变轨指示系统检查变轨装置的轨道状态，利用道岔控制机构改变轨道状态；

S4：操控电动装载小车带动恒温装载小车通过变轨装置；

S5：重复步骤S2-S4，样品到达目标真空腔体，通过传样杆，将样品从恒温装载小车传递到真空腔体内部。