CN116300734A - 一种搬运控制方法、装置、设备及介质 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种搬运控制方法、装置、设备及介质，该方法通过响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发该工艺结束信息，然后获取执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至搬送控制系统，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。如此，通过和执行制造系统进行交互，确定工艺已完成。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至搬送控制系统，避免搬运时可能存在工艺未完成的情况，从而提高设备的稼动率，提高搬运控制的效率。
Description
技术领域
本发明实施例涉及控制技术领域，尤其涉及一种搬运控制方法、装置、设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。
背景技术
在制造流程中，为了节约人力，通常可以采用机器进行自动搬运。以半导体制造中为例，设备自动化控制系统 （Equipment Automation Program，EAP）可以与设备进行交互，获取设备的搬运请求，然后与搬送控制系统（Transport Control System，TCS）进行交互，搬送控制系统根据搬运请求将物料（盒子）搬运至目标位置。
但是，在搬送控制系统将物料搬运至其他设备时，制造执行系统（ManufacturingExecution System，MES）可能并没有处理完成当前设备的LOT信息，导致LOT无法在下一个设备中进行加工，从而影响搬运控制的稼动率。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例期望提供一种搬运控制方法，该方法能够提高搬运控制的稼动率。本申请还提供了该方法对应的装置、设备、介质以及程序产品。
本发明实施例的技术方案是这样实现的：
第一方面，本发明实施例提供了一种搬运控制方法，所述方法包括：
响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；
获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；
获取目标设备发送的搬运请求；
将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬运系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
在一些可能的实现方式中，所述方法还包括：
响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；
在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；
从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；
根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；
将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
在一些可能的实现方式中，所述响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号，包括：
响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
在一些可能的实现方式中，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
在一些可能的实现方式中，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
在一些可能的实现方式中，所述方法由设备自动化控制系统执行。
第二方面，本发明实施例提供了一种搬运控制装置，所述装置包括：
结束模块，用于响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；
所述结束模块，还用于获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；
请求模块，用于获取目标设备发送的搬运请求；
转发模块，用于将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
在一些可能的实现方式中，所述装置还包括存储模块，用于：
响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；
在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；
从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；
根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；
将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
在一些可能的实现方式中，所述结束模块具体用于：
响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
在一些可能的实现方式中，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
在一些可能的实现方式中，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
在一些可能的实现方式中，所述方法由设备自动化控制系统执行。
第三方面，本发明实施例提供了一种设备，设备包括处理器和存储器。处理器、存储器进行相互的通信。处理器用于执行存储器中存储的指令，以使得设备执行如第一方面或第一方面的任一种实现方式中的搬运控制方法。
第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有指令，指令指示设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的搬运控制方法。
第五方面，本申请提供了一种包含指令的计算机程序产品，当其在设备上运行时，使得设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的搬运控制方法。
本申请在上述各方面提供的实现方式的基础上，还可以进行进一步组合以提供更多实现方式。
从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：
本发明实施例提供了一种搬运控制方法，该方法通过响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发该工艺结束信息，然后获取执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至搬送控制系统，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。如此，通过和执行制造系统进行交互，确定工艺已完成。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至搬送控制系统，避免搬运时可能存在工艺未完成的情况，从而提高设备的稼动率，提高搬运控制的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方法，下面将对实施例中所需使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种搬运控制方法的流程示意图；
图2为本发明实施例提供的另一种搬运控制方法的流程示意图；
图3为本发明实施例提供的又一种搬运控制方法的流程示意图；
图4为本发明实施例提供的一种搬运控制方法的交互示意图；
图5为本发明实施例提供的一种搬运控制装置的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的另一种搬运控制装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
本申请实施例中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
在半导体制造的搬运过程中，设备自动化控制系统 （Equipment AutomationProgram，EAP）可以与设备进行交互，获取设备的搬运请求，然后与搬送控制系统（Transport Control System，TCS）进行交互，搬送控制系统根据搬运请求将物料（盒子）搬运至目标位置。
具体地，设备向EAP发出请求下料（Ready To Unload，RTU）信号，EAP想TCS转发该信号，然后TCS根据该信号，将物料搬送至下一个站点（设备）。
但是可能存在执行制造系统（Manufacturing Execution System，MES）没有处理完成当前站点（设备）的批次（LOT）信息，导致LOT 不能在下个站点（设备）上进行加工，降低了设备的稼动率。
有鉴于此，本申请提供了一种搬运控制方法，该方法可以由EAP执行。EAP是制造业工厂设备自动化系统，用于控制半导体设备进行自动化生产，与MES整合，校验信息，同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据，提高工厂的生产效率，避免人工操作失误，是半导体制造业的标配系统。进一步地，EAP在印刷电路板（Printed circuit boards，PCB）、新能源等制造行业同样广泛应用。
具体地，EAP响应于目标设备发送的工艺结束信号，向MES转发该工艺结束信息，然后获取MES返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当EAP收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至TCS，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。
如此，EAP通过和MES进行交互，确定工艺已完成。当EAP收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至TCS，避免搬运时可能存在工艺未完成的情况，从而提高设备的稼动率，提高搬运控制的效率。
为了便于理解本申请的技术方案，下面结合图1对本申请提供的一种搬运控制方法进行介绍。
参见图1所示的一种搬运控制方法的流程图，该方法的具体步骤如下所示：
S102：EAP响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号。
在本方案中，EAP监听设备的工艺流程，当目标设备工艺结束后，向EAP发送工艺结束信号，表明目标设备工艺结束。
在接收到目标设备发送的工艺结束信号后，EAP向MES转发该工艺结束信号，以使MES获知目标设备的工艺结束。
其中，该工艺结束信号可以为LOTEND信号。具体地，目标设备向EAP发送半导体生产标准（SEMI Equipment Communication Standard，SECS ）格式的LOTEND信号，也可以向EAP发送可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller，PLC）格式的LOTEND信号。
基于系统之间的Tibcro、IBM消息队列（Message Queue，MQ）或者Highway101 协议，EAP向MES发送可扩展标记语言（eXtensible Markup Language，XML）格式的LOTEND信号。其中，目标设备向EAP发送的LOTEND信号与EAP向MES发送的LOTEND信号格式不同，但是所包括的关键参数信息相同。具体地，LOTEND信号中包括设备LOT，表示在该时间完成了工艺加工。S104：EAP获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息。
MES对于EAP所发送的工艺结束信号，会对该设备进行加工数据处理，当MES处理完加工数据处理后，会生成工艺结束数据完成信息，然后将该信息发送至EAP，以使EAP获取工艺结束数据完成信息。
其中，工艺结束数据完成信息可以为LOTEND信息，LOTEND信息为MES处理完数据加工后所返回的表示数据处理正常或异常的返回值。
由此，EAP可以根据MES返回的工艺结束数据完成信息确定MES对于设备LOT的加工处理完成，可以进行搬运。
S106：EAP获取目标设备发送的搬运请求。
当目标设备需要搬运时，会向EAP发送搬运请求。EAP受到目标设备的搬运请求后，会将该搬运请求转发，以便进行搬运。
需要说明的是，由于目标设备发送搬运请求和发送工艺结束信号不同步，MES加工处理数据也不同步，因此本方案中并不限制S102和S106的执行顺序。具体地，本方案中可以先执行S102和S104，然后再执行S106，或者，也可以先执行S106再执行S102和S104。
S108：EAP将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
当EAP收到目标设备的搬运请求以及MES发送的该目标设备对应的工艺结束数据完成信息后，可以将该搬运请求发送至TCS，以使该TCS可以根据该搬运请求进行搬运。
由于EAP是在接受到MES所发送的工艺结束数据完成信息后才向TCS发送的搬运请求，因此表明此时MES已经处理完目标设备的LOT信息，因此LOT可以在下一个设备中进行继续加工，从而提高搬运控制的稼动率。
由于MES加工数据和目标设备需要进行搬运可能不同步，因此可能存在EAP先收到MES返回的工艺结束数据完成信息，然后才收到目标设备发送的搬运请求。也可能存在EAP先收到目标设备发送的搬运请求，再收到MES返回的工艺结束数据完成信息。
在一些可能的实现方式中，当EAP没有收到搬运请求时，等待接收设备的EAP信号，如图2所示。
具体地，设备向EAP发送批次结束（LOTEND）信号表示工艺结束，EAP向MES发送LOTEND信号，MES向EAP返回LOTEND信息。EAP在接受到MES返回的LOTEND信息后，判断是否收到表征搬运请求的RTU信号，当EAP收到该设备发送的RTU信号时，EAP向TCS发送RTU信号。当EAP没有收到该设备发送的RTU信号时，进行等待，直至收到RTU信号，然后向TCS发送RTU信号，以指示TCS进行搬运。
在一些可能的情况中，例如半导体搬运中，设备给EAP所发送的搬运请求中可能不包含晶圆匣身份标识（Cassette Identity document，CSTID）。其中， CST用于实现晶圆（Wafer）储存和运输，CSTID是一种标识码（例如可以为二维码），主要功能唯一标识晶圆匣，不同晶圆匣的CSTID不同。在半导体搬运场景中，CST 是装晶圆（Wafer）的载体，CSTID 是载体的唯一标识码，例如可以为二维码。因此，在实际生产过程中，只有通过CSTID才能找到目标盒子。由此可能导致该搬运请求被发送至TCS后，TCS无法根据搬运请求将物料自动搬走，导致搬运无法正常执行，从而影响搬运的自动化程度。其中，晶圆匣可以为开放式晶圆匣。晶圆匣身份标识可以为晶圆匣编号。
由此，本申请还提供了一种搬运控制方法，EAP可以获得该标识，然后将该标识加入至搬运请求中，以克服部分设备发送的搬运请求中不包括标识的缺陷，提高搬运的自动化程度。
如图3所示，一些可能的实现方式中，该方法还包括：
S1012：EAP响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的CSTID和PortID。
到达信号是指盒子（CST）到达信号。具体地，EAP 通过SECSDriver 框架的解析协议和目标设备SECS（SEMI设备通信标准）消息中的特定CEID（收集事件 ID）和VID （值 ID）的逻辑关系，从而获取盒子的CSTID和PortID。其中，PortID为搬运设备装载口的身份标识（Identity document，ID），用于指示搬运设备装载口的位置，CSTID用于指示晶圆匣位置。
S1014：EAP在存储设备中存储所述CSTID和所述PortID。
其中，存储设备是指具有存储功能的设备，例如可以是计算机的内存。PortID 为常量，CSTID为变量。
对于所获取的CSTID和PortID，EAP可以将其对应关系存储再计算机内存中，以便后续调用。
S1072：EAP从所述搬运请求中获取PortID。
在一些可能的情况中，搬运请求中可能并不携带CSTID，因此可能存在TCS无法获取CSTID，因此无法进行正常搬运。
通常情况下，搬运请求中携带PortID，本方案中，可以根据PortID获取CSTID。
S1074：EAP根据所述PortID，从所述存储设备中获取所述PortID对应的CSTID。
具体地，由于存储设备中存储有目标设备对应的CSTID和PortID，因此，可以根据搬运请求中的PortID，在存储设备中查找获取对应的CSTID。
S1076：EAP将所述CSTID添加至所述搬运请求。
进一步地，EAP可以将从存储设备中获取的CSTID，将该CSTID添加至搬运请求中，然后将该搬运请求发送至TCS中，以便TCS根据该搬运请求进行搬运。
为了进一步说明本方案，如图4所示为本申请所提供的一种搬运控制方法的交互示意图。
S402：目标设备向EAP发送到达信号。
S404：EAP接收该到达信号，获取该目标设备的CSTID和PortID。
S406：EAP在存储设备中存储所述CSTID和所述PortID。
S408：目标设备向EAP发送工艺结束信号。
S410：EAP向MES转发该工艺结束信号。
S412：MES根据该工艺结束信号进行处理，生成工艺结束数据完成信息。
S414：MES向EAP返回工艺结束数据完成信息。
S416：目标设备向EAP发送搬运请求。
S418：EAP从搬运请求中获取PortID。
S420：EAP根据该PortID，从存储设备中获取该PortID对应的CSTID。
S422：EAP将CSTID添加至搬运请求。
S424：EAP将搬运请求发送至TCS。
S426：TCS根据该搬运请求进行物料搬运。
基于以上内容的描述，本申请实施例提供了一种搬运控制方法，该方法通过响应于目标设备发送的工艺结束信号，向MES转发该工艺结束信息，然后获取MES返回的工艺结束数据完成信息，以及获取目标设备发送的搬运请求。当EAP收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，将搬运请求发送至TCS，以使该搬送控制系统根据该搬运请求进行物料搬运。如此，通过和MES进行交互，确定工艺已完成。当收到搬运请求以及工艺结束数据完成信息后，才将搬运请求发送至TCS，降低了设备和MES 信息处理不同步导致的设备宕机的风险，从而提高设备的稼动率。提高搬运控制的效率。
与上述方法实施例相对应的，本申请还提供了一种搬运控制装置，该装置参见图5，该装置500包括：结束模块502、请求模块504和转发模块506。
结束模块，用于响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；
所述结束模块，还用于获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；
请求模块，用于获取目标设备发送的搬运请求；
转发模块，用于将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
在一些可能的实现方式中，所述装置还包括存储模块，如图6所示，该存储模块用于：
响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；
在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；
从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；
根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；
将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
在一些可能的实现方式中，所述结束模块具体用于：
响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
在一些可能的实现方式中，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
在一些可能的实现方式中，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
在一些可能的实现方式中，所述方法由设备自动化控制系统执行。
本申请提供一种设备，用于实现搬运控制方法。该设备包括处理器和存储器。处理器、存储器进行相互的通信。该处理器用于执行存储器中存储的指令，以使得设备执行上述搬运控制方法。
本申请提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有指令，当其在设备上运行时，使得设备执行上述搬运控制方法。
本申请提供了一种包含指令的计算机程序产品，当其在设备上运行时，使得设备执行上述搬运控制方法。
另外需说明的是，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。另外，本申请提供的装置实施例附图中，模块之间的连接关系表示它们之间具有通信连接，具体可以实现为一条或多条通信总线或信号线。
通过以上的实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到本申请可借助软件加必需的通用硬件的方式来实现，当然也可以通过专用硬件包括专用集成电路、专用CPU、专用存储器、专用元器件等来实现。一般情况下，凡由计算机程序完成的功能都可以很容易地用相应的硬件来实现，而且，用来实现同一功能的具体硬件结构也可以是多种多样的，例如模拟电路、数字电路或专用电路等。但是，对本申请而言更多情况下软件程序实现是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在可读取的存储介质中，如计算机的软盘、U盘、移动硬盘、ROM、RAM、磁碟或者光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，训练设备，或者网络设备等）执行本申请各个实施例所述的方法。
在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。
所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、训练设备或数据中心通过有线（例如同轴电缆、光纤、数字用户线（DSL））或无线（例如红外、无线、微波等）方式向另一个网站站点、计算机、训练设备或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的训练设备、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质，（例如，软盘、硬盘、磁带）、光介质（例如，DVD）、或者半导体介质（例如固态硬盘（Solid State Disk，SSD)）等。
需要说明的是：本发明实施例所记载的技术方案之间，在不冲突的情况下，可以任意组合。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种搬运控制方法，其特征在于，所述方法包括：
响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；
获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；
获取目标设备发送的搬运请求；
将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
响应于目标设备发送的到达信号，获取所述目标设备的晶圆匣身份标识和设备装载口身份标识；
在存储设备中存储所述晶圆匣身份标识和所述设备装载口身份标识的对应关系；
从所述搬运请求中获取设备装载口身份标识；
根据所述设备装载口身份标识，从所述存储设备中获取所述设备装载口身份标识对应的晶圆匣身份标识；
将所述晶圆匣身份标识添加至所述搬运请求。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号，包括：
响应于目标设备发送的第一格式的工艺结束信号，向执行制造系统转发第二格式的所述工艺结束信号。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述设备装载口身份标识用于指示搬运设备装载口位置，所述晶圆匣身份标识用于指示晶圆匣位置。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一格式为半导体生产标准格式或可编程逻辑控制器格式，所述第二格式为可扩展标记语言格式。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法由设备自动化控制系统执行。
7.一种搬运控制装置，其特征在于，所述装置包括：
结束模块，用于响应于目标设备发送的工艺结束信号，向执行制造系统转发所述工艺结束信号；
所述结束模块，还用于获取所述执行制造系统返回的工艺结束数据完成信息；
请求模块，用于获取目标设备发送的搬运请求；
转发模块，用于将所述搬运请求发送至搬送控制系统，以使所述搬送控制系统根据所述搬运请求进行物料搬运。
8.一种设备，其特征在于，所述设备包括处理器和存储器；
所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使得所述设备执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，包括指令，所述指令指示设备执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。
10.一种计算机程序产品，其特征在于，当所述计算机程序产品在计算机上运行时，使得计算机执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108946023A (zh) * | 2018-08-15 | 2018-12-07 | 东泰高科装备科技有限公司 | 派送处理方法及系统 |
| CN110414857A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-11-05 | 东方蓝天钛金科技有限公司 | 一种柔性生产现场智能物流管理系统及方法 |
| CN113112106A (zh) * | 2020-01-13 | 2021-07-13 | 北大方正集团有限公司 | 印制电路板生产管理系统、方法、装置及可读存储介质 |
| CN113934189A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-01-14 | 机科发展科技股份有限公司 | 一种移动搬运机器人调度系统及调度方法 |
| CN115352787A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-18 | 珠海格力精密模具有限公司 | 一种模具加工全流程的物流控制方法、装置和存储介质 |
| CN115703239A (zh) * | 2021-08-13 | 2023-02-17 | 株式会社东芝 | 机械手、搬运系统、机械手控制装置、机械手的控制方法以及存储介质 |
-
2023
- 2023-03-01 CN CN202310185915.3A patent/CN116300734A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108946023A (zh) * | 2018-08-15 | 2018-12-07 | 东泰高科装备科技有限公司 | 派送处理方法及系统 |
| CN110414857A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-11-05 | 东方蓝天钛金科技有限公司 | 一种柔性生产现场智能物流管理系统及方法 |
| CN113112106A (zh) * | 2020-01-13 | 2021-07-13 | 北大方正集团有限公司 | 印制电路板生产管理系统、方法、装置及可读存储介质 |
| CN115703239A (zh) * | 2021-08-13 | 2023-02-17 | 株式会社东芝 | 机械手、搬运系统、机械手控制装置、机械手的控制方法以及存储介质 |
| CN113934189A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-01-14 | 机科发展科技股份有限公司 | 一种移动搬运机器人调度系统及调度方法 |
| CN115352787A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-18 | 珠海格力精密模具有限公司 | 一种模具加工全流程的物流控制方法、装置和存储介质 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 严隽琪: "《虚拟制造的理论、技术基础与实践》", 上海交通大学出版社, pages: 223 - 224 * |
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