CN116351741A - 一种分选控制方法、装置、设备、介质及产品 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种分选控制方法、装置、设备、介质及产品，该方法应用于设备自动化控制系统，通过响应于设备所发送的第一到达指令，其中该第一到达指令表征目标晶圆到达该设备，由此可以向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，从而可以从该执行制造系统获取目标执行任务。在目标晶圆到达设备指定传输单元后，设备向设备自动化控制系统发送第二到达指令，响应于该第二到达指令，设备自动控制系统向该设备发送目标执行任务指令，该目标执行任务指令用于指示该设备执行目标执行任务，从而实现对于晶圆的准确移动，以保证半导体制造的品质。

Description

一种分选控制方法、装置、设备、介质及产品

技术领域

本发明实施例涉及控制技术领域，尤其涉及一种分选控制方法、装置、设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。

背景技术

分选是通过对于产品的重量进行分级筛选的过程。通常情况下，物料在风力输送的作用下，经过关风机、进料斗落在高速旋转的分料盘上，在离心力的作用下，物料被充分分散并甩向缓冲环，在下落过程中，较重的物料在转子产生的交叉气流的作用下，经过调节环的叶片，滑落到分选器的粗料收集器中收集，然后经过关风机排出。

具体地，在半导体领域的晶圆分选中，通过晶圆分选机对晶圆进行分选，在分选控制中，需要对于晶圆进行移动。相关技术中，对于晶圆的移动以盒子为整体进行移动，而无法将盒子中的具体晶圆进行移动，从而可能导致将盒子中不满足条件的晶圆加入目标盒子中，影响半导体制造的品质。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例期望提供一种分选控制方法，该方法能够提高晶圆分选的效率。本申请还提供了该方法对应的装置、设备、介质以及程序产品。

本发明实施例的技术方案是这样实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种分选控制方法，所述方法应用于设备自动化控制系统，包括：

响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，所述第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备；

从所述制造执行系统获取目标执行任务；

响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，所述目标执行任务指令用于指示所述设备执行所述目标执行任务，所述第二到达指令表征目标晶圆到达设备指定传输单元。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务的类型包括交换行为和移动行为，所述方法还包括：

根据所述目标执行任务的类型，确定所述设备需要调用的目标机械臂数量；

所述向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

向所述设备发送目标执行任务指令与所述目标机械臂数量。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标晶圆包括两个晶圆；

所述响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

响应于所述设备发送的第二到达指令，确定发送时间；

在所述发送时间，向所述设备发送目标执行任务指令。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标机械臂数量为2。

在一些可能的实现方式中，所述目标晶圆包括处于不同盒子中的晶圆。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务为用户在所述制造执行系统中配置的。

第二方面，本发明实施例提供了一种分选控制装置，所述装置部署于设备自动化控制系统，包括：

请求模块，用于响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，所述第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备；

获取模块，用于从所述制造执行系统获取目标执行任务；

发送模块，用于响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，所述目标执行任务指令用于指示所述设备执行所述目标执行任务，所述第二到达指令表征目标晶圆到达设备指定传输单元。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务的类型包括交换行为和移动行为，所述装置还包括：

数量确定模块，用于根据所述目标执行任务的类型，确定所述设备需要调用的目标机械臂数量；

所述发送模块，用于：

向所述设备发送目标执行任务指令与所述目标机械臂数量。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标晶圆包括两个晶圆；

所述发送模块具体用于：

响应于所述设备发送的第二到达指令，确定发送时间；

在所述发送时间，向所述设备发送目标执行任务指令。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标机械臂数量为2。

在一些可能的实现方式中，所述目标晶圆包括处于不同盒子中的晶圆。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务为用户在所述制造执行系统中配置的。

第三方面，本发明实施例提供了一种设备，设备包括处理器和存储器。处理器、存储器进行相互的通信。处理器用于执行存储器中存储的指令，以使得设备执行如第一方面或第一方面的任一种实现方式中的分选控制方法。

第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有指令，指令指示设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的分选控制方法。

第五方面，本申请提供了一种包含指令的计算机程序产品，当其在设备上运行时，使得设备执行上述第一方面或第一方面的任一种实现方式所述的分选控制方法。

本申请在上述各方面提供的实现方式的基础上，还可以进行进一步组合以提供更多实现方式。

从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：

本发明实施例提供了一种分选控制方法，该方法通过设备自动化控制系统响应于设备所发送的第一到达指令，其中该第一到达指令表征目标晶圆到达该设备，由此可以向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，从而可以从该执行制造系统获取目标执行任务。在目标晶圆到达设备指定传输单元后，设备向设备自动化控制系统发送第二到达指令，响应于该第二到达指令，设备自动胡控制系统向该设备发送目标执行任务指令，该目标执行任务指令用于指示该设备执行目标执行任务，从而实现对于晶圆的准确移动，以保证半导体制造的品质。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方法，下面将对实施例中所需使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种分选控制方法的流程示意图；

图2为本发明实施例提供的一种目标执行任务类型为移动的分选控制方法的流程示意图；

图3为一种晶圆位置交换的示意图；

图4为本发明实施例提供的一种晶圆位置交换的示意图；

图5为本发明实施例提供的一种目标执行任务类型为交换的分选控制方法的流程示意图；

图6为本发明实施例提供的另一种分选控制方法的流程示意图；

图7为本发明实施例提供的一种分选控制方法的交互示意图；

图8为本发明实施例提供的一种分选控制装置的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的另一种分选控制装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本申请实施例中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在半导体领域的晶圆分选中，特别是在分选控制中，需要对于晶圆进行移动。相关技术中，对于晶圆的移动以盒子为整体进行移动，而无法将盒子中的具体晶圆进行移动，从而可能导致将盒子中不满足条件的晶圆加入盒子中，影响晶圆的品质。

有鉴于此，本申请提供了一种准确的分选控制方法，该方法应用于设备自动化控制系统。其中，设备自动化控制系统(Equipment Automation Program，EAP)用于控制半导体设备进行自动化生产，与制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)整合，校验产品信息，自动做账，同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据，帮助提高半导体工厂的生产效率，避免人工操作失误，提供产品良率。在本方案中，设备自动化控制系统可以为任何具有数据处理能力的设备，例如可以是服务器，或者是台式机、笔记本电脑或者智能手机等终端设备。

具体地，设备自动化控制系统响应于设备发送的表征目标晶圆到达该设备的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，然后从制造执行系统获取目标执行任务，然后当目标晶圆到达设备指定传输单元时，响应于该设备发送的表征目标晶圆到达设备指定传输单元的第二到达指令，向该设备发送目标执行任务指令，其中该目标执行任务指令用于指示该设备执行目标执行任务。由此，本方案可以实现对于晶圆的准确移动，从而保证半导体制造的品质。

为了便于理解本申请的技术方案，下面结合图1对本申请提供的一种分选控制方法进行介绍。

参见图1所示的一种分选控制方法的流程图，该方法的具体步骤如下所示：

S102：设备自动化控制系统响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求。

其中，第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备。具体地，当目标晶圆到达设备时，设备会向EAP发送第一到达指令，表征目标晶圆已经到达设备。EAP收到该第一到达指令后，向MES发送目标执行任务获取请求，以获取需要执行的行为。

其中，目标执行任务是用户在MES中配置的。具体地，目标执行任务包括位置(port)信息和任务(job)信息，用于表示设备需要执行的任务。

具体地，用户可以在设备或MES中配置port信息，当用户在设备中配置port信息时，设备可以将用户配置的port信息发送至MES，以便MES获取该port信息。

在一些情况中，用户配置的port信息中包括当前晶圆所在的位置，以及空晶圆的位置，以便将该晶圆从当前位置转移至该空晶圆的位置。示例性地，当前晶圆的位置在a处，b处为空，需要将该晶圆由a处移动至b处，因此port信息中包括a处和b处。

在这种限制中，如果需要对两个位置的晶圆进行交换，则需要引入一个空位置。示例性地，需要将a处的晶圆1和b处的晶圆2进行交换，则需要引入一个空的c处。具体地，需要先将a处的晶圆1移动至c处，然后将b处的晶圆2移动至a处，再将c处的晶圆1移动至b处。如此，不仅需要引入一个空的c处，增加了空盒子的使用率，而且需要较多的步骤，影响搬运效率。

而在本方案中，不需要将交换分解为三个步骤，而可以直接执行。因此，本方案中的用户配置的port信息中可以包括当前晶圆所在的位置，以及空晶圆的位置，也可以包括当前两个晶圆所在的位置，直接进行交换。

其中，晶圆所在的位置可以包括晶圆匣(Cassette，CST)身份标识ID和晶圆片槽位置号(SLOTID)，通过CSTID和SLOTID可以确定晶圆所在的位置。

在一些情况中，用户可以在配置port信息时配置目标执行任务的类型，例如可以包括交换和移动，其中交换可以通过load表示，移动可以通过unload表示。

Job信息为需要用户在MES中配置的信息，其中job信息包括配方(recipe)身份标识(Identity document，ID)、搬运力度以及搬运角度等。其中，配方是机台加工不同产品时的对应程式；是由制造工程师提前在机台上设置，EAP控制生产时会自动根据货的类型选择并通知机台按照预选的方式进行加工。由于晶圆的不同，对应不同的搬运力度与搬运角度，因此需要预先进行配置。

具体地，用户预先在设备或MES中配置port信息，当用户在设备配置port信息时，设备将port信息发送至MES。并且，用户在MES配置Job信息。当目标晶圆到达该设备时，该设备向EAP发送第一到达指令，EAP响应于该第一到达指令，向MES发送目标执行任务获取请求，以请求获取port信息和job信息。

S104：设备自动化控制系统从所述制造执行系统获取目标执行任务。

MES接收到EAP所发送的目标执行任务获取请求后，响应于该目标执行任务获取请求，将目标执行任务发送至EAP，由此，EAP可以从MES获取目标执行任务。其中，目标执行任务包括port信息和job信息。

S106：设备自动化控制系统响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令。

当目标晶圆到达设备指定传输单元时，设备向EAP发送第二到达指令，当EAP收到该第二到达指令时，响应于该第二到达指令，向设备发送目标执行任务指令，以使设备执行该目标执行任务。

其中，设备指定传输单元可以为前开式接口机械单元(front-openinginterfacemechanical standard，FIMS)。FIMS是半导体工艺设备及立式热处理设备的传输系统中的一个重要组成部分，目前半导体行业中多使用前开式晶圆片盒作为晶圆传送及暂存的容器，在放入和取出晶圆(wafer)的过程中，需要使用FIMS固定、吹扫、打开、关闭片盒，保证片盒开门前后与外界的密封，使晶圆、晶圆可以被清洁地在工艺腔室与片盒之间进行传输。

因此，当目标晶圆到达设备指定传输单元时，设备向EAP发送第二到达指令，表征目标晶圆已经到达该设备指定传输单元，可以对目标晶圆进行操作。

在一些可能的实现方式中，EAP通过E40和E94标准协议和设备的格式要求向设备发送目标执行任务指令。其中E40和E94为SEMI所发布通信标准，用于对设备行为和场景的更高级的要求时，提供更高的复杂度和灵活度。其中，E40主要用于进程任务管理(ProcessJob Management)，E94主要用户控制任务管理(Control Job Management)。

基于以上内容的描述，本申请实施例提供了分选控制方法，该方法应用于设备自动化控制系统，设备自动化控制系统响应于设备发送的表征目标晶圆到达该设备的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，然后从制造执行系统获取目标执行任务，然后当目标晶圆到达设备指定传输单元时，响应于该设备发送的表征目标晶圆到达设备指定传输单元的第二到达指令，向该设备发送目标执行任务指令，其中该目标执行任务指令用于指示该设备执行目标执行任务。由此，本方案可以实现对于晶圆的准确移动，从而保证半导体制造的品质。

在一些可能的实现方式中，本方案中的目标执行任务的类型包括交换行为和移动行为。具体地，设备或MES可以通过用户配置的port信息获取该目标执行任务的类型。例如，当用户所配置的port信息中的两个位置均有晶圆时，则可以认为该目标执行任务的类型为交换行为，当用户所配置的port信息中的一个位置有晶圆，一个位置为空时，则可以认为该目标执行任务的类型为移动行为。或者，用户也可以在配置port信息时即表明该目标执行任务的类型，即目标执行任务中包括目标执行任务的类型。

由此，所述方法还包括：

根据所述目标执行任务的类型，确定所述设备需要调用的目标机械臂数量。

交换行为和移动行为对应不同的目标机械臂数量，其中，交换行为可以通过2个机械臂实现，移动行为可以通过1个机械臂实现，因此EAP可以根据目标执行任务的类型，确定需要调用的目标机械臂数量。

进一步地，EAP向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

EAP向所述设备发送目标执行任务指令与所述目标机械臂数量。

当EAP根据目标执行任务的类型确定需要调用的目标机械臂的数量后，将该目标机械臂数量发送至设备，以指示设备调用对应数量的机械臂执行目标执行任务。

当目标执行任务的类型为交换行为时，需要执行对于两个晶圆的交换，因此目标晶圆包括两个晶圆。其中，目标晶圆到达设备指定传输单元包括两个目标晶圆均到达设备指定传输单元。

在一些可能的实现方式中，当需要对两个晶圆进行交换时，所述响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

响应于所述设备发送的第二到达指令，确定发送时间；

在所述发送时间，向所述设备发送目标执行任务指令。

在对目标晶圆执行交换时，需要两个晶圆均到达设备指定传输单元以及满足其他条件，因此，EAP在获取到两个晶圆均到达设备指定传输单元的第二到达指令后，还需要根据晶圆到达设备指定传输单元的时间，确定发送时间，在该发送时间时，向设备发送目标执行任务指令，以便设备执行。其中，该发送时间是指EAP经过计算的，满足设备执行条件的时间。由此，设备可以在接收到目标执行任务指令后即执行该目标执行任务，避免由于条件不足导致执行失败。

本方案中，可以将执行的对象精确到晶圆。具体地，可以执行将同一盒子中的晶圆移动到该盒子的其他位置，也可以将同一盒子中的晶圆进行交换。或者，可以将a盒子中的晶圆移动至b盒子处，也可以将a盒子中的晶圆和b盒子中的晶圆进行交换。

以上对于本方案中分选控制方法的流程进行了介绍，下面结合图2，对于目标执行任务的类型为移动行为时的流程进行介绍。

用户设置目标执行任务(port信息与job信息)，EAP获取port信息，确定目标执行任务的类型。当目标执行任务的类型为移动时，EAP接收设备原始盒子对应的位置信息，请求并接收MES所发送的job信息。当原始盒子中的目标晶圆到达设备指定传输单元时，向设备发送目标执行任务指令，设备执行目标执行任务，EAP更新job状态信息。

当仅有一个机械臂的情况下，需要将两个晶圆的位置进行交换时，需要因为一个空位置(盒子)，如图3所示。

在该场景下，需要将盒子A中与盒子B中的内容进行交换。为了进行交换，需要引入盒子C，(1)将盒子A中的晶圆移动至盒子C中，(2)将盒子B中的晶圆移动至盒子A中，(3)再将盒子C中的晶圆移动至盒子B中，从而实现盒子A中与盒子B中的内容交换。

而本方案中，则可以通过两个机械臂实现对于两个晶圆位置的交换，如图4所示中的三个盒子：盒子A、盒子B和盒子C。其中，本方案可以实现两个盒子指定晶圆位置的互换。例如可以将盒子A中的晶圆和盒子B中的晶圆进行互换，或者，将盒子A中的晶圆和盒子C中的晶圆进行互换。进一步地，本方案还可以实现将盒子A中第一位置的晶圆移动至盒子B，并且同时，可以将盒子A中第二位置的晶圆移动至盒子C中。类似地，本方案还可以实现将盒子B中的晶圆移动至盒子A中的第一位置，并且同时将盒子C中的晶圆移动至盒子A中的第二位置。

如图5所示为通过两个机械臂对于目标执行任务的类型为交换行为时的流程。用户设置目标执行任务(port信息与job信息)，EAP获取port信息，确定目标执行任务的类型。当目标执行任务的类型为交换时，EAP接收设备原始盒子对应的位置信息，请求并接收MES所发送的job信息。当盒子中的两个目标晶圆到达设备指定传输单元时，向设备发送目标执行任务指令，设备执行目标执行任务，EAP更新job状态信息。

如图6所示为本方案所提供的另一种分选控制方法。具体地，用户在设备或MES设置port信息，其中包括目标执行任务的类型。EAP通过解析设备中的port信息，确定设备是进行移动还是进行交换。MES根据port信息确定job信息，并传递至EAP。当目标晶圆均到达设备指定传输单元时，EAP将job信息发送至设备，设备存储job信息，并反馈至EAP。当设备完成该目标执行任务时，更新job状态，以便用户通过客户端确认job信息。

在一些情况下，EAP可以通过E94将job信息发送至设备。

以上对于本方案所提供的一种分选控制方法在流程上进行了介绍，下面对于本申请的分选控制方法从交互的角度进行介绍，如图7所示。

具体地，用户在设备中配置port信息，设备将用户配置的port信息发送至MES。或者，用户直接在MES中配置port信息。并且，用户在MES配置job信息，如此MES可以获取目标执行任务。

目标晶圆到达该设备后，设备向EAP发送第一到达指令，EAP在收到该第一到达指令后，向MES发送目标执行任务获取请求，MES响应于该目标执行任务获取请求，向EAP返回目标执行任务。

当目标晶圆到达设备指定传输单元时，设备向EAP发送第二到达指令，EAP响应于该第二到达指令，向设备发送目标执行任务指令，设备收到该目标执行任务指令后控制机械臂执行该目标执行任务。

与上述方法实施例相对应的，本申请还提供了一种分选控制装置，该装置参见图8，该装置部署于设备自动化系统，该装置800包括：请求模块802、获取模块804和发送模块806。

请求模块802，用于响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，所述第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备；

获取模块804，用于从所述制造执行系统获取目标执行任务；

发送模块806，用于响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，所述目标执行任务指令用于指示所述设备执行所述目标执行任务，所述第二到达指令表征目标晶圆到达设备指定传输单元。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务的类型包括交换行为和移动行为，所述装置还包括：

数量确定模块808，如图9所示，用于根据所述目标执行任务的类型，确定所述设备需要调用的目标机械臂数量；

所述发送模块806，用于：

向所述设备发送目标执行任务指令与所述目标机械臂数量。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标晶圆包括两个晶圆；

所述发送模块具体用于：

响应于所述设备发送的第二到达指令，确定发送时间；

在所述发送时间，向所述设备发送目标执行任务指令。

在一些可能的实现方式中，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标机械臂数量为2。

在一些可能的实现方式中，所述目标晶圆包括处于不同盒子中的晶圆。

在一些可能的实现方式中，所述目标执行任务为用户在所述制造执行系统中配置的。

本申请提供一种设备，用于实现物流控制方法。该设备包括处理器和存储器。处理器、存储器进行相互的通信。该处理器用于执行存储器中存储的指令，以使得设备执行上述分选控制方法。

本申请提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质中存储有指令，当其在设备上运行时，使得设备执行上述分选控制方法。

本申请提供了一种包含指令的计算机程序产品，当其在设备上运行时，使得设备执行上述分选控制方法。

另外需说明的是，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。另外，本申请提供的装置实施例附图中，模块之间的连接关系表示它们之间具有通信连接，具体可以实现为一条或多条通信总线或信号线。

通过以上的实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到本申请可借助软件加必需的通用硬件的方式来实现，当然也可以通过专用硬件包括专用集成电路、专用CPU、专用存储器、专用元器件等来实现。一般情况下，凡由计算机程序完成的功能都可以很容易地用相应的硬件来实现，而且，用来实现同一功能的具体硬件结构也可以是多种多样的，例如模拟电路、数字电路或专用电路等。但是，对本申请而言更多情况下软件程序实现是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在可读取的存储介质中，如计算机的软盘、U盘、移动硬盘、ROM、RAM、磁碟或者光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，训练设备，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述的方法。

在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。

所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、训练设备或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DSL))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、训练设备或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的训练设备、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，DVD)、或者半导体介质(例如固态硬盘(Solid State Disk，SSD))等。

需要说明的是：本发明实施例所记载的技术方案之间，在不冲突的情况下，可以任意组合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种分选控制方法，其特征在于，所述方法应用于设备自动化控制系统，所述方法包括：

响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，所述第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备；

从所述制造执行系统获取目标执行任务；

响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，所述目标执行任务指令用于指示所述设备执行所述目标执行任务，所述第二到达指令表征目标晶圆到达设备指定传输单元。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标执行任务的类型包括交换行为和移动行为，所述方法还包括：

根据所述目标执行任务的类型，确定所述设备需要调用的目标机械臂数量；

所述向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

向所述设备发送目标执行任务指令与所述目标机械臂数量。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标晶圆包括两个晶圆；

所述响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，包括：

响应于所述设备发送的第二到达指令，确定发送时间；

在所述发送时间，向所述设备发送目标执行任务指令。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当所述目标执行任务的类型为交换行为时，所述目标机械臂数量为2。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标晶圆包括处于不同盒子中的晶圆。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标执行任务为用户在所述制造执行系统中配置的。

7.一种分选控制装置，其特征在于，所述装置部署于设备自动化控制系统，包括：

请求模块，用于响应于设备所发送的第一到达指令，向制造执行系统发送目标执行任务获取请求，所述第一到达指令表征目标晶圆到达所述设备；

获取模块，用于从所述制造执行系统获取目标执行任务；

发送模块，用于响应于所述设备发送的第二到达指令，向所述设备发送目标执行任务指令，所述目标执行任务指令用于指示所述设备执行所述目标执行任务，所述第二到达指令表征目标晶圆到达设备指定传输单元。

8.一种设备，其特征在于，所述设备包括处理器和存储器；

所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使得所述设备执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，包括指令，所述指令指示设备执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。

10.一种计算机程序产品，其特征在于，当所述计算机程序产品在计算机上运行时，使得计算机执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。

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