CN116341886A - 光罩资源处理方法及系统、装置、设备和介质 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种光罩资源处理方法及系统、装置、设备和介质，涉及半导体生产与制造技术领域，可以应用于对光罩资源进行管理的场景。该方法包括：响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。本公开可以使用机台的光罩盒暂存光罩资源，可以减少空光罩盒进出光罩存储设备的次数，减少光罩存储资源负荷，提高光罩搬运效率。

Description

光罩资源处理方法及系统、装置、设备和介质

技术领域

本公开涉及半导体生产与制造技术领域，具体而言，涉及一种光罩资源处理方法、光罩资源处理系统、光罩资源处理装置、电子设备以及计算机可读存储介质。

背景技术

目前，半导体产业中通常使用光罩储料器（Reticle Pod Stocker，简称R-STK）作为光罩的存储设备，主要应用行为如下：黄光机台需要使用光罩或用完光罩时，都需要从Reticle Pod Stocker传出或存放。通过使用上述存储设备，无论是从R-STK中搬出光罩或者是从R-STK中请求出空光罩盒，去机台装载要退出黄光制程机台的光罩，机台都需要等待较长时间，影响机台排货，造成产能的损失，甚至需要人为干预，且存在错误操作（mistakeoperation，MO）风险。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

有鉴于此，本公开提供了一种光罩资源处理方法、光罩资源处理系统、光罩资源处理装置、电子设备以及计算机可读存储介质，可至少在一定程度上克服使用光罩存储设备存储光罩资源造成机台长时间等待，降低光罩资源搬运效率，造成产能损失的问题。

根据本公开的第一方面，提供一种光罩资源处理方法，包括：响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，所述光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；在所述空光罩盒总量大于零的情况下，从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；在所述空光罩盒总量等于零的情况下，将所述光罩存储至光罩存储设备。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩调度指令通过下述步骤生成：获取基于光罩管理系统提交的光罩预约操作；由物料管理系统根据所述光罩预约操作创建所述光罩调度任务；基于所述光罩调度任务生成所述光罩调度指令。

在本公开的一种示例性实施例中，在响应于光罩调度指令之前，所述方法还包括：确定各所述曝光制程机台的机台信息，将多个所述机台信息存储至资源数据表；获取预先配置的光罩资源的离机时长阈值，将所述离机时长阈值存储至所述资源数据表。

在本公开的一种示例性实施例中，所述确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量，包括：确定各所述曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态；如果所述装载口状态为空闲可用状态，且所述光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将所述光罩盒作为空闲光罩盒，所述空闲光罩盒的离机时长小于离机时长阈值；统计所述多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为所述空光罩盒总量。

在本公开的一种示例性实施例中，所述从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，包括：确定所述多个曝光制程机台的机台类型，所述机台类型包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；基于所述机台类型，确定各所述曝光制程机台对应的调度优先级；根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，所述调度优先级为所述当前制程机台高于所述未配置制程机台，所述未配置制程机台高于所述已配置制程机台。

在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒，包括：根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台确定空闲制程机台；如果确定出的所述空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，则确定各所述空闲制程机台与所述当前制程机台的机台距离；将所述机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台；从所述目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台确定空闲制程机台，包括：确定所述当前制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述当前制程机台存在空闲光罩盒，则将所述当前制程机台作为所述空闲制程机台；如果所述当前制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述未配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述未配置制程机台作为所述空闲制程机台；如果所述未配置制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述已配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述已配置制程机台作为所述空闲制程机台。

在本公开的一种示例性实施例中，所述采用所述目标光罩盒暂存所述光罩，包括：获取所述目标光罩盒，所述目标光罩盒放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口；将所述目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口；将所述光罩放置于所述目标光罩盒内，将所述目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。

在本公开的一种示例性实施例中，在采用所述目标光罩盒暂存所述光罩之后，所述方法还包括：确定所述目标光罩盒所处的目标制程机台，由所述目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源；确定所述待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备；如果所述目标存储机台是所述光罩存储设备，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；如果所述目标存储机台不是所述光罩存储设备，则确定所述待回收光罩资源的离机时长；根据所述离机时长对所述待回收光罩资源进行存储处理。

在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述离机时长对所述待回收光罩资源进行存储处理，包括：获取预先配置的离机时长阈值，确定所述离机时长是否超过所述离机时长阈值；如果所述离机时长超过所述离机时长阈值，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；如果所述离机时长未超过所述离机时长阈值，则采用所述曝光制程机台存储所述待回收光罩资源。

在本公开的一种示例性实施例中，所述采用所述曝光制程机台存储所述待回收光罩资源，包括：确定与所述待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台；如果所述第一曝光制程机台是所述已配置制程机台，则确定所述第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果所述第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述待回收光罩资源对应的资源回收调度任务；如果所述第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定所述待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果所述第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述资源回收调度任务；如果所述第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备。

根据本公开的第二方面，提供一种光罩资源处理系统，包括：曝光制程机台，用于提供光罩装载口，通过所述光罩装载口暂存光罩盒，所述光罩盒用于存放光罩；机台控制系统，用于获取所述光罩装载口的装载口状态，基于所述装载口状态确定所述曝光制程机台对应的空光罩盒总量；资源调度系统，用于响应于光罩调度指令，在所述空光罩盒总量大于零的情况下，基于多个所述曝光制程机台的调度优先级确定目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；光罩存储设备，用于在所述空光罩盒总量等于零的情况下，存储光罩资源，所述光罩资源包括所述光罩盒与所述光罩。

根据本公开的第三方面，提供一种光罩资源处理装置，包括：机台获取模块，被配置为执行响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，所述光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；空盒总量确定模块，被配置为执行确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；第一存储模块，被配置为执行在所述空光罩盒总量大于零的情况下，从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；第二存储模块，被配置为执行在所述空光罩盒总量等于零的情况下，将所述光罩存储至光罩存储设备。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩资源处理装置还包括调度指令生成模块，被配置为执行获取基于光罩管理系统提交的光罩预约操作；由物料管理系统根据所述光罩预约操作创建所述光罩调度任务；基于所述光罩调度任务生成所述光罩调度指令。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩资源处理装置还包括信息存储模块，被配置为执行：确定各所述曝光制程机台的机台信息，将多个所述机台信息存储至资源数据表；获取预先配置的光罩资源的离机时长阈值，将所述离机时长阈值存储至所述资源数据表。

在本公开的一种示例性实施例中，所述空盒总量确定模块包括空盒总量确定单元，被配置为执行：确定各所述曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态；如果所述装载口状态为空闲可用状态，且所述光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将所述光罩盒作为空闲光罩盒，所述空闲光罩盒的离机时长小于离机时长阈值；统计所述多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为所述空光罩盒总量。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一存储模块包括光罩盒选取单元，被配置为执行：确定所述多个曝光制程机台的机台类型，所述机台类型包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；基于所述机台类型，确定各所述曝光制程机台对应的调度优先级；根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩盒选取单元包括光罩盒选取子单元，被配置为执行：根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台确定空闲制程机台；如果确定出的所述空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，则确定各所述空闲制程机台与所述当前制程机台的机台距离；将所述机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台；从所述目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩盒选取子单元包括空闲机台确定子单元，被配置为执行：确定所述当前制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述当前制程机台存在空闲光罩盒，则将所述当前制程机台作为所述空闲制程机台；如果所述当前制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述未配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述未配置制程机台作为所述空闲制程机台；如果所述未配置制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述已配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果所述已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述已配置制程机台作为所述空闲制程机台。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一存储模块包括第一存储单元，被配置为执行：获取所述目标光罩盒，所述目标光罩盒放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口；将所述目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口；将所述光罩放置于所述目标光罩盒内，将所述目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光罩资源处理装置还包括回收资源存储模块，被配置为执行：确定所述目标光罩盒所处的目标制程机台，由所述目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源；确定所述待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备；如果所述目标存储机台是所述光罩存储设备，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；如果所述目标存储机台不是所述光罩存储设备，则确定所述待回收光罩资源的离机时长；根据所述离机时长对所述待回收光罩资源进行存储处理。

在本公开的一种示例性实施例中，所述回收资源存储模块包括回收资源存储单元，被配置为执行：获取预先配置的离机时长阈值，确定所述离机时长是否超过所述离机时长阈值；如果所述离机时长超过所述离机时长阈值，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；如果所述离机时长未超过所述离机时长阈值，则采用所述曝光制程机台存储所述待回收光罩资源。

在本公开的一种示例性实施例中，所述回收资源存储单元包括回收资源存储子单元，被配置为执行：确定与所述待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台；如果所述第一曝光制程机台是所述已配置制程机台，则确定所述第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果所述第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述待回收光罩资源对应的资源回收调度任务；如果所述第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定所述待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果所述第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述资源回收调度任务；如果所述第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备。

根据本公开的第四方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，所述存储器上存储有计算机可读指令，所述计算机可读指令被所述处理器执行时实现根据上述任意一项所述的光罩资源处理方法。

根据本公开的第五方面，提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现根据上述任意一项所述的光罩资源处理方法。

本公开的光罩资源处理方法，一方面，在曝光制程机台的空光罩盒总量大于零的情况下，采用曝光制程机台的目标光罩盒存储光罩，可以减少光罩资源进入光罩存储设备的次数，减轻光罩存储设备的负荷。另一方面，采用曝光制程机台作为光罩暂存设备，可以提高光罩搬运效率，避免光罩资源等待过久，从而提高生产效率。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1示意性示出了相关方案中从机台退出光罩，并将光罩退回R-STK的流程图。

图2示意性示出了相关方案中从R-STK中拿取光罩资源后，将空光罩盒搬回至R-STK的流程图。

图3示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩资源处理方法的流程图。

图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩预约机台装载口，并挑选空光罩盒的流程图。

图5示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩预约机台装载口并存储后，存放空光罩盒的流程图。

图6示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩资源处理装置的方框图。

图7示意性示出了根据本公开一示例性实施例的电子设备的框图。

图8示意性示出了根据本公开一示例性实施例的计算机可读存储介质的示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作以避免模糊本公开的各方面。

附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个软件硬化的模块中实现这些功能实体或功能实体的一部分，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

黄光机台需要使用光罩或用完光罩时，均需要从Reticle Pod Stocker传出或存放光罩。参考图1，图1示意性示出了相关方案中从机台退出光罩，并将光罩退回R-STK的流程图。当从制程机台中获取光罩资源时，可以通过下述步骤进行：在步骤S110中，通过人为发起光罩预约；在步骤S120中，ARHS搬运空光罩盒（Pod）到机台端；在步骤S130中，机台退光罩；在步骤S140中，搬运装有机台退出的光罩回R-STK。

参考图2，图2示意性示出了相关方案中从R-STK中拿取光罩资源后，将空光罩盒搬回至R-STK的流程图。在步骤S210中，通过人为发起光罩预约；在步骤S220中，从R-STK找到所需光罩搬运到机台端；在步骤S230中，光罩进机台；在步骤S240中，空光罩盒搬回R-STK。

基于使用上述存储方案，无论是从R-STK中搬出光罩或者是从R-STK中请求出空光罩盒，去机台装载要退出黄光制程机台的光罩，机台都需要等待较长时间，影响机台排货，造成产能的损失，甚至需要人为干预，存在MO风险。

基于此，在本示例实施例中，首先提供了一种光罩资源处理方法，可以利用服务器来实现本公开的光罩资源处理方法，也可以利用终端设备来实现本公开所述的方法，其中，本公开中描述的终端可以包括诸如手机、平板电脑、笔记本电脑、掌上电脑、个人数字助理（Personal Digital Assistant，PDA）等移动终端，以及诸如台式计算机等固定终端。图3示意性示出了根据本公开的一些实施例的光罩资源处理方法流程的示意图。参考图3，该光罩资源处理方法可以包括以下步骤：

步骤S310，响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成。

根据本公开的一些示例性实施例，光罩调度指令（Reticle Dispatch Job，RDJ）可以是对光罩资源进行拉取或存储等调度操作的控制指令。曝光制程机台可以是半导体生产制造过程中进行曝光工艺的制程机台。光罩调度任务可以是对光罩资源进行调度的处理任务。

在半导体生产制造过程中，在曝光工艺中，由于工艺需求可能需要使用光罩等资源，此时，可以通过提交的光罩预约操作生成对应的光罩调度任务。在生成光罩调度任务时，可以基于光罩调度任务生成相应的光罩调度指令，光罩调度指令可以用于对光罩资源在曝光制程机台与光罩存储设备之间进行调度控制。响应于光罩调度指令，获取曝光工艺中具有光罩盒的所有曝光制程机台，通常，曝光制程机台的数量为多个。

步骤S320，确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量。

根据本公开的一些示例性实施例，空光罩盒总量可以是曝光制程机台中所有空闲光罩盒的数量。

在确定出所有的曝光制程机台后，可以确定出上述曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的总数量，通常而言，一个曝光制程机台可以容纳两个光罩盒，在本公开的其他示例性实施例中，一个曝光制程机台还可以容纳其他数量个光罩盒。对于每个曝光制程机台，可以分别确定上述机台中包含的各个光罩盒的是否处于空闲可用状态，如果曝光制程机台中的光罩盒处于空闲可用状态，则可以将该光罩盒作为空闲光罩盒。

步骤S330，在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩。

根据本公开的一些示例性实施例，目标光罩盒可以是从多个曝光制程机台中选取的用于承载且暂存光罩的光罩盒。

在统计出所有曝光制程机台的空光罩盒总量后，可以根据空光罩盒总量的具体数量，选取合适的存储位置对光罩进行存储。例如，在空光罩盒总量大于零的情况下，说明曝光制程机台中存在空闲光罩盒，此时，可以从多个曝光制程机台中选取一个空闲光罩盒作为目标光罩盒，并采用目标光罩盒暂存光罩。

步骤S340，在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。

根据本公开的一些示例性实施例，光罩存储设备可以是用于存储资源资源的存储设备，例如，光罩存储设备可以是光罩储料器。

在空光罩盒总量等于零的情况下，说明曝光制程机台中不存在空闲光罩盒，此时，已经无法使用曝光制程机台暂存光罩，因此，可以将光罩存储至光罩存储设备中。例如，从光罩存储设备中挑空光罩盒，挑中的空光罩盒再经光罩自动搬运系统（Automated ReticleHandling System，ARHS）搬运到机台后，完成装载该光罩。

根据本示例实施例中的光罩资源处理方法，一方面，在曝光制程机台的空光罩盒总量大于零的情况下，采用曝光制程机台的目标光罩盒存储光罩，可以减少光罩资源进入光罩存储设备的次数，减轻光罩存储设备的负荷。另一方面，采用曝光制程机台作为光罩暂存设备，可以提高光罩搬运效率，避免光罩资源等待过久，从而提高生产效率。

下面，将对本示例实施例中的光罩资源处理方法进行进一步的说明。

在本公开的一种示例性实施例中，对于步骤S310，光罩调度指令通过下述步骤生成：获取基于光罩管理系统提交的光罩预约操作；由物料管理系统根据光罩预约操作创建光罩调度任务；基于光罩调度任务生成光罩调度指令。

其中，光罩管理系统（E-Reticle）可以是用于调度光罩资源的应用系统。光罩预约操作可以是通过预先提交的用于进行获取和存储光罩的操作。物料管理系统（MaterialManagement，MM）可以用于支持半导体生产制造中日常发生的业务处理功能和过程。

在半导体生产过程中，工艺工程师可以通过光罩管理系统发起光罩预约，提交光罩预约操作，例如，光罩预约操作可以包括本次工艺过程中对所需的光罩资源的预约操作，例如，曝光制程机台1需要一个光罩，曝光制程机台2需要一个光罩等，对于上述资源获取内容，均可基于光罩管理系统提交光罩预约操作。物料管理系统在接收到光罩预约操作后，可以基于光罩预约操作创建对应的光罩调度任务，进而基于光罩调度任务生成光罩调度指令。基于生成的光罩调度指令，可以进行后续的光罩获取或存储操作。

在本公开的一种示例性实施例中，确定各曝光制程机台的机台信息，将多个机台信息存储至资源数据表；获取预先配置的光罩资源的离机时长阈值，将离机时长阈值存储至资源数据表。

其中，机台信息可以是曝光制程机台的相关信息。资源数据表可以是用于存储预先配置信息的数据表。光罩资源可以是与光罩相关的物料资源，光罩资源可以包括光罩、光罩盒等。离机时长阈值可以是预先配置的用于与光罩资源离开光罩存储设备的时长进行对比的数值。

在进行光罩资源调度之前，可以预先配置与资源调度的相关信息，并将配置好的信息存储至资源数据表。例如，对于可以用作空光罩盒存放的曝光制程机台，可以对每个曝光制程机台的机台信息进行配置，并将配置得到的机台信息在指定数据库表内。例如，机台信息可以包括机台标识、机台类型、机台用户等信息。

另外，为了确保光罩资源的充分利用，避免光罩盒长时间离开光罩存储设备，可以预先配置光罩存储设备（Reticle Stocker）外的空光罩盒返回Reticle Stocker的时间，即光罩资源的离机时长阈值，例如，离机时长阈值可以是2小时、3小时等，并将离机时长阈值存储至资源数据表。通过预先配置离机时长阈值，可以避免光罩资源长时间远离光罩存储设备，提升光罩资源的利用率。

在本公开的一种示例性实施例中，对于步骤S320，确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量，包括：确定各曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态；如果装载口状态为空闲可用状态，且光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将光罩盒作为空闲光罩盒，空闲光罩盒的离机时长小于离机时长阈值；统计多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为空光罩盒总量。

其中，光罩装载口（Reticle Load Port，RLP）可以是曝光制程机台中用于承载光罩的装载口。装载口状态可以是光罩装载口是否可用的状态。空闲可用状态可以是光罩装载口当前处于空闲状态且未被任意调度任务预定的状态。空闲光罩盒可以是当前未被占用且未被预定的光罩盒。

在统计空光罩盒总量时，可以确定各曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态，例如，如果某一光罩装载口当前已经装载有具有光罩的光罩盒，此时光罩装载口的装载口状态为已占用状态。如果某一光罩装载口当前未装载有具有光罩的光罩盒，则该光罩装载口的装载口状态为空闲可用状态；并且，该光罩装载口未被其他调度任务所占用，即光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将光罩盒作为空闲光罩盒。另外，本实施例中的空闲光罩盒的离机（Stocker Out，SO）时长需小于离机时长阈值。

例如，空光罩盒装载至未配置机台（Scanner机台）的光罩装载口（Reticle LoadPort）时，机台控制系统（Tool Control System，TCS）可以检查此空光罩盒（Pod）。如果该Pod不存在RDJ，则TCS执行另一流程，发送取消空光罩盒（Cancel Pod）命令至机台自动化控制程序（Equipment Automation Process，EAP），并等待EAP发送准备卸载报告（ReadyToUnload Report），此时等待制造执行系统（Manufacturing Execution System，MES）挑选此空Pod。MES可以将光罩装载口的状态切换为卸载请求（UnloadReq），分发状态（Dispatch Status）切换为需求状态（Required）。

根据上述空闲光罩盒的特征，可以统计出多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为空光罩盒总量。基于空光罩盒总量，可以进一步确定光罩的目标存储设备。

在本公开的一种示例性实施例中，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，包括：确定多个曝光制程机台的机台类型，机台类型包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；基于机台类型，确定各曝光制程机台对应的调度优先级；根据调度优先级，从多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。

其中，机台类型可以是曝光制程机台的具体类型。当前制程机台，又称当前机台，可以是当前生产制造过程中被占用的制程机台。未配置制程机台可以是未被其他光罩资源调度任务占用的曝光制程机台，即曝光制程机台未被配置使用。已配置制程机台可以是已被光罩资源调度任务占用的曝光制程机台，即曝光制程机台已被配置使用。调度优先级可以是不同光罩盒被调用的优先级。

在从多个曝光制程机台确定目标光罩盒时，可以先确定所有曝光制程机台的机台类型，具体的，机台类型可以包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；当前制程机台可以是当前进行工艺加工的制程机台，未配置制程机台可以是未被占用的机台，已配置制程机台可以是已被占用的机台。

在确定出所有曝光制程机台的机台类型后，可以根据机台类型确定各曝光制程机台对应的调度优先级。例如，调度优先级可以是当前制程机台高于未配置制程机台，未配置制程机台高于已配置制程机台。由于当前制程机台可以是当前曝光工艺当前所作用的机台，因此，当前制程机台的调度优先级为最高。另外，由于未配置制程机台未被其他用户占用，已配置制程机台已被其他用户占用，因此，未配置制程机台的调度优先级高于已配置制程机台的调度优先级。

例如，光罩退出曝光制程机台时，可以优先从当前制程机台的光罩进出口上寻找空的光罩盒，没有时从未配置制程机台（非CFG的Scanner机台）光罩进出口上挑空的光罩盒，再没有时从已配置制程机台（CFG的Scanner机台）光罩的进出口上挑空光罩盒，作为目标光罩盒。

根据上述确定出的不同制程机台的调度优先级，可以从多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。通过上述方式确定出目标光罩盒后，可以使用目标光罩盒装载光罩，以进行后续的光罩资源调度任务。

在本公开的一种示例性实施例中，根据调度优先级，从多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒，包括：根据调度优先级，从多个曝光制程机台确定空闲制程机台；如果确定出的空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，则确定各空闲制程机台与当前制程机台的机台距离；将机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台；从目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。

其中，空闲制程机台可以是未被占用的曝光制程机台。机台距离可以是其他空闲制程机台与当前制程机台的距离。目标制程机台可以是用于提供目标光罩盒的制程机台。

在确定出多个曝光制程机台的调度优先级后，可以根据调度优先级，从多个曝光制程机台确定空闲制程机台。例如，空闲制程机台的数量可以是一个或多个。如果确定出的空闲制程机台的数量为一个，则可以从该空闲制程机台中确定一空闲光罩盒作为目标光罩盒。如果确定出的空闲制程机台的数量为多个，则判断多个空闲制程机台的调度优先级，例如，可以通过光罩装载口状态（Reticle Load Port Status）以及机台操作类型（OperationMode）等信息判断制程机台的调度优先级。

如果确定出的空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，例如，从多个曝光制程机台中确定出多个空闲制程机台，且每个空闲制程机台的类型均为未配置制程机台，即多个空闲制程机台均为同一调度优先级。然后，进一步确定各个空闲制程机台与当前制程机台的机台距离，并将机台距离当前制程机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台。在确定出目标制程机台后，可以从目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。通过上述处理步骤，可以从多个空闲制程机台中确定目标制程机台，并使用目标制程机台中的目标光罩盒承载光罩。

在本公开的一种示例性实施例中，根据调度优先级，从多个曝光制程机台确定空闲制程机台，包括：确定当前制程机台是否存在空闲光罩盒；如果当前制程机台存在空闲光罩盒，则将当前制程机台作为空闲制程机台；如果当前制程机台不存在空闲光罩盒，则确定未配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将未配置制程机台作为空闲制程机台；如果未配置制程机台不存在空闲光罩盒，则确定已配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将已配置制程机台作为空闲制程机台。

在根据调度优先级确定空闲制程机台之前，可以获取制程机台的调度优先级，由于调度优先级的先后顺序为当前制程机台高于未配置制程机台，未配置制程机台高于已配置制程机台，因此，可以通过下述步骤确定空闲制程机台，参考图4，图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩预约机台装载口，并挑选空光罩盒的流程图。在步骤S401中，发起光罩预约。工程师可以通过光罩管理系统发起光罩预约操作，生成光罩资源的光罩调度指令。在步骤S402中，光罩调度指令创建成功。在步骤S403中，执行光罩调度指令。在光罩调度指令创建完成后，开始执行光罩调度指令。

在步骤S404中，判断当前机台是否有满足条件的空光罩盒。判断前制程机台是否存在空闲光罩盒，且该空闲光罩盒没有被其他调度任务占用。如果当前机台有满足条件的空光罩盒，则将当前制程机台作为空闲制程机台，并在步骤S405中，执行光罩及光罩盒退出操作。如果当前机台不存在满足条件的空光罩盒，即空闲光罩盒，则在步骤S406中，判断非配置机台有满足条件的空光罩盒，即判断未被占用的制程机台是否存在空闲光罩盒。如果未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将未配置制程机台作为空闲制程机台，并在步骤S407中，将空光罩盒搬运至当前机台（即选择出的未配置制程机台）的机台装载口。在步骤S408中，判断配置机台是否有满足条件的空光罩盒，即判断已被占用的制程机台是否存在空闲光罩盒。如果已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将已配置制程机台作为空闲制程机台，并在步骤S409中，空光罩盒搬运至当前机台（即选择出的已配置制程机台）的机台装载口。

如果已配置制程机台不存在空闲光罩盒，则在步骤S410中，将光罩存储设备作为光罩的目标存储设备。在步骤S411中，将空光罩盒搬运至当前机台（即光罩存储设备）的机台装载口。对于步骤S407、步骤S409以及步骤S411，将空光罩盒搬运至当前机台的机台装载口后，均需执行光罩资源退出步骤，即执行步骤S405，光罩及光罩盒退出。

在确定空闲制程机台时，可以通过自动化探测技术，在产线生产过程中，动态查询CFG的Scanner机台的光罩装载口是否空闲且为可用状态，不影响机台生产使用，无须人工介入，用来暂存此情形下的空光罩盒（Reticle Pod）。

光罩送进光刻制程机台后（Store），空的光罩盒（Reticle Pod）优先存放在CFG的Scanner机台的光罩装载口上，若CFG机台的光罩进出口状态不符等造成无法暂存时，则通过自动物料搬送系统（Automatic Material Handling System，AMHS）搬送回ReticleStoker存放。通过上述处理步骤，可以根据调度优先级确定出空闲制程机台。

在本公开的一种示例性实施例中，采用目标光罩盒暂存光罩，包括：获取目标光罩盒，目标光罩盒放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口；将目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口；将光罩放置于目标光罩盒内，将目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。

其中，目标装载口可以是用于装载光罩的装载口。已占用状态可以是光罩装载口已被占用的状态。

在确定出目标光罩盒后，目标光罩盒通常放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口，可以从光罩装载口中获取目标光罩盒，将目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口。对于目标装载口，可以将光罩放置于目标装载口上的目标光罩盒内，在光罩放置操作完成后，可以将目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。通过上述过程，可以完成将光罩放置于目标光罩盒中的处理步骤。

在本公开的一种示例性实施例中，确定目标光罩盒所处的目标制程机台，由目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源；确定待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备；如果目标存储机台是光罩存储设备，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备；如果目标存储机台不是光罩存储设备，则确定待回收光罩资源的离机时长；根据离机时长对待回收光罩资源进行存储处理。

其中，光罩资源退出操作可以是将光罩资源从目标制程机台中退出的操作。待回收光罩资源可以是等待进行回收处理的光罩资源。目标存储机台可以是用于存储待回收光罩资源的存储机台。

在光罩调度任务中，包括将曝光制程机台中的光罩回收至光罩存储设备的调度任务（即存储操作），还包括从其他曝光制程机台或光罩存储设备获取光罩的调度任务（即拿取操作）。在进行光罩资源调度操作时，可以先确定目标光罩盒所处的目标制程机台，由目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源。例如，从目标制程机台中可以退出光罩，将退出的光罩作为待回收光罩资源。

对于得到的待回收光罩资源，可以确定待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备。如果目标存储机台是光罩存储设备，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备；如果目标存储机台不是光罩存储设备，则确定待回收光罩资源的离机时长，判断待回收光罩资源的离机时长是否超过离机时长阈值，根据离机时长是否超过离机时长阈值的判断结果，确定对待回收光罩资源进行存储处理的具体方案。通过上述处理步骤，可以对得到的待回收光罩资源进行回收处理。

继续参考图4，在光罩资源退出完成后，可以将推出的光罩资源作为待回收光罩资源，并确定待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备。如果待回收光罩资源的目标存储机台是光罩存储设备，则继续执行步骤S412，将光罩的目标机台确定为光罩存储设备。在步骤S413中，光罩盒存储至光罩存储设备。如果目标存储机台不是光罩存储设备，则将后续光罩的存储步骤确定为步骤1。如果光罩未存储至任何制程机台以及光罩存储设备中，则认为光罩调度指令执行失败，即在步骤S414中，光罩调度指令执行失败并报告。

参考图5，图5示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的光罩预约机台装载口并存储后，存放空光罩盒的流程图。在步骤S501中，发起光罩预约。在步骤S502中，创建光罩调度指令。光罩调度指令创建完成后，继续通过步骤1执行步骤S503，即执行机台光罩盒装载以及光罩存储。在步骤S504中，判断离机时长是否超时。确定待回收光罩资源的离机时长，判断待回收光罩资源离开光罩存储设备的时间是否已超过离机时长阈值，根据两者数值大小的判断结果确定对待回收光罩资源的存储方案。

在本公开的一种示例性实施例中，根据离机时长对待回收光罩资源进行存储处理，包括：获取预先配置的离机时长阈值，确定离机时长是否超过离机时长阈值；如果离机时长超过离机时长阈值，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备；如果离机时长未超过离机时长阈值，则采用曝光制程机台存储待回收光罩资源。

在根据离机时长对待回收光罩资源进行存储处理时，可以获取预先配置的离机时长阈值，例如，离机时长阈值可以是2小时。此时，可以确定待回收光罩资源的离机时长是否超过离机时长阈值。如果离机时长超过离机时长阈值，即待回收光罩资源的离机时长超过2小时，则说明待回收光罩资源离开光罩存储设备的时间较久，则需将待回收光罩资源存储至光罩存储设备。如果离机时长未超过离机时长阈值，即待回收光罩资源的离机时长未超过2小时，则仍然可以采用曝光制程机台存储待回收光罩资源。通过上述处理步骤，可以确定出待回收光罩资源的目标存储位置。

在本公开的一种示例性实施例中，采用曝光制程机台存储待回收光罩资源，包括：确定与待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台；如果第一曝光制程机台是已配置制程机台，则确定第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行待回收光罩资源对应的资源回收调度任务；如果第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行资源回收调度任务；如果第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备。

其中，第一曝光制程机台与第二曝光制程机台可以是分别与待回收光罩资源对应的曝光制程机台。空闲光罩装载口可以是曝光制程机台中空闲的光罩装载口。资源回收调度任务可以是对光罩资源进行回收处理的调度任务。

继续参考图5，如果待回收光罩资源的离机时长未超过离机时长阈值，则在步骤S505中，判断当前机台是已配置机台，即确定与待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台。在步骤S506中，判断当前机台满足空光罩盒存放条件。如果第一曝光制程机台是已配置制程机台，则确定第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口。如果第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行待回收光罩资源对应的资源回收调度任务，并在步骤S507中，当前光罩调度指令结束。

进一步地，如果当前机台不满足空光罩盒存放条件，则在步骤S508中，判断其他已配置机台满足空光罩盒存放条件。如果第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口。如果第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行资源回收调度任务，并认为如果第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则认为当前光罩调度指令结束。如果第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备，在步骤S509中，执行机台光罩盒装载以及光罩存储。上述处理步骤，提供了一种使用制程机台或光罩存储设备对待回收光罩资源进行存储的方案。

需要说明的是，在本公开的其他示例性实施例中，还可以采用其他与光罩盒相容的设备暂存空的光罩盒，以减少光罩存储设备的使用量。

综上所述，本公开的光罩资源处理方法，响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。一方面，在曝光制程机台的空光罩盒总量大于零的情况下，采用曝光制程机台的目标光罩盒存储光罩，可以减少光罩资源进入光罩存储设备的次数，减轻光罩存储设备的负荷。另一方面，采用曝光制程机台作为光罩暂存设备，可以提高光罩搬运效率，避免光罩资源等待过久，从而提高生产效率。又一方面，使用制程机台闲置的光罩装载口暂存光罩，可以减少光罩存储设备的数量，节约成本。再一方面，利用机台的光罩装载口或与光罩盒相容的设备暂存空的光罩盒，通过设定空光罩盒的调度优先级，可以加快机台吞吐光罩过程的时间，提高效率。

需要说明的是，尽管在附图中以特定顺序描述了本发明中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。

进一步地，在本示例实施例中，还提供一种光罩资源处理系统，包括：曝光制程机台，用于提供光罩装载口，通过光罩装载口暂存光罩盒，光罩盒用于存放光罩；机台控制系统，用于获取光罩装载口的装载口状态，基于装载口状态确定曝光制程机台对应的空光罩盒总量；资源调度系统，用于响应于光罩调度指令，在空光罩盒总量大于零的情况下，基于多个曝光制程机台的调度优先级确定目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；光罩存储设备，用于在空光罩盒总量等于零的情况下，存储光罩资源，光罩资源包括光罩盒与光罩。

此外，在本示例实施例中，还提供了一种光罩资源处理装置。参考图6，该光罩资源处理装置600可以包括：机台获取模块610，空盒总量确定模块620，第一存储模块630以及第二存储模块640。

具体的，机台获取模块610，被配置为执行响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；空盒总量确定模块620，被配置为执行确定多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；第一存储模块630，被配置为执行在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；第二存储模块640，被配置为执行在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。

在本公开的一种示例性实施例中，光罩资源处理装置600还包括调度指令生成模块，被配置为执行获取基于光罩管理系统提交的光罩预约操作；由物料管理系统根据光罩预约操作创建光罩调度任务；基于光罩调度任务生成光罩调度指令。

在本公开的一种示例性实施例中，光罩资源处理装置600还包括信息存储模块，被配置为执行：确定各曝光制程机台的机台信息，将多个机台信息存储至资源数据表；获取预先配置的光罩资源的离机时长阈值，将离机时长阈值存储至资源数据表。

在本公开的一种示例性实施例中，空盒总量确定模块620包括空盒总量确定单元，被配置为执行：确定各曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态；如果装载口状态为空闲可用状态，且光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将光罩盒作为空闲光罩盒，空闲光罩盒的离机时长小于离机时长阈值；统计多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为空光罩盒总量。

在本公开的一种示例性实施例中，第一存储模块630包括光罩盒选取单元，被配置为执行：确定多个曝光制程机台的机台类型，机台类型包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；基于机台类型，确定各曝光制程机台对应的调度优先级；根据调度优先级，从多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，光罩盒选取单元包括光罩盒选取子单元，被配置为执行：根据调度优先级，从多个曝光制程机台确定空闲制程机台；如果确定出的空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，则确定各空闲制程机台与当前制程机台的机台距离；将机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台；从目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为目标光罩盒。

在本公开的一种示例性实施例中，光罩盒选取子单元包括空闲机台确定子单元，被配置为执行：确定当前制程机台是否存在空闲光罩盒；如果当前制程机台存在空闲光罩盒，则将当前制程机台作为空闲制程机台；如果当前制程机台不存在空闲光罩盒，则确定未配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将未配置制程机台作为空闲制程机台；如果未配置制程机台不存在空闲光罩盒，则确定已配置制程机台是否存在空闲光罩盒；如果已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将已配置制程机台作为空闲制程机台。

在本公开的一种示例性实施例中，第一存储模块630包括第一存储单元，被配置为执行：获取目标光罩盒，目标光罩盒放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口；将目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口；将光罩放置于目标光罩盒内，将目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。

在本公开的一种示例性实施例中，光罩资源处理装置600还包括回收资源存储模块，被配置为执行：确定目标光罩盒所处的目标制程机台，由目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源；确定待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备；如果目标存储机台是光罩存储设备，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备；如果目标存储机台不是光罩存储设备，则确定待回收光罩资源的离机时长；根据离机时长对待回收光罩资源进行存储处理。

在本公开的一种示例性实施例中，回收资源存储模块包括回收资源存储单元，被配置为执行：获取预先配置的离机时长阈值，确定离机时长是否超过离机时长阈值；如果离机时长超过离机时长阈值，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备；如果离机时长未超过离机时长阈值，则采用曝光制程机台存储待回收光罩资源。

在本公开的一种示例性实施例中，回收资源存储单元包括回收资源存储子单元，被配置为执行：确定与待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台；如果第一曝光制程机台是已配置制程机台，则确定第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行待回收光罩资源对应的资源回收调度任务；如果第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；如果第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行资源回收调度任务；如果第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将待回收光罩资源存储至光罩存储设备。

上述中各光罩资源处理装置的虚拟模块的具体细节已经在对应的光罩资源处理方法中进行了详细的描述，因此此处不再赘述。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了光罩资源处理装置的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

此外，在本公开的示例性实施例中，还提供了一种能够实现上述方法的电子设备。

所属技术领域的技术人员能够理解，本发明的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本发明的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施例、完全的软件实施例（包括固件、微代码等），或硬件和软件方面结合的实施例，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。

下面参考图7来描述根据本公开的这种实施例的电子设备700。图7显示的电子设备700仅仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图7所示，电子设备700以通用计算设备的形式表现。电子设备700的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理单元710、上述至少一个存储单元720、连接不同系统组件（包括存储单元720和处理单元710）的总线730、显示单元740。

其中，所述存储单元存储有程序代码，所述程序代码可以被所述处理单元710执行，使得所述处理单元710执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施例的步骤。

存储单元720可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元（RAM）721和/或高速缓存存储单元722，还可以进一步包括只读存储单元（ROM）723。

存储单元720可以包括具有一组（至少一个）程序模块725的程序/实用工具724，这样的程序模块725包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。

总线730可以表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储单元控制器、外围总线、图形加速端口、处理单元或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。

电子设备700也可以与一个或多个外部设备770（例如键盘、指向设备、蓝牙设备等）通信，还可与一个或者多个使得用户能与该电子设备700交互的设备通信，和/或与使得该电子设备700能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备（例如路由器、调制解调器等等）通信。这种通信可以通过输入/输出（I/O）接口750进行。并且，电子设备700还可以通过网络适配器760与一个或者多个网络（例如局域网（LAN），广域网（WAN）和/或公共网络，例如因特网）通信。如图所示，网络适配器760通过总线730与电子设备700的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备700使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

通过以上的实施例的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施例可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开实施例的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质（可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等）中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备（可以是个人计算机、服务器、终端装置、或者网络设备等）执行根据本公开实施例的方法。

在本公开的示例性实施例中，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有能够实现本说明书上述方法的程序产品。在一些可能的实施例中，本发明的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当所述程序产品在终端设备上运行时，所述程序代码用于使所述终端设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施例的步骤。

参考图8所示，描述了根据本发明的实施例的用于实现上述方法的程序产品800，其可以采用便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码，并可以在终端设备，例如个人电脑上运行。然而，本发明的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。

所述程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子（非穷举的列表）包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器（RAM）、只读存储器（ROM）、可擦式可编程只读存储器（EPROM或闪存）、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本发明操作的程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网（LAN）或广域网（WAN），连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备（例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接）。

此外，上述附图仅是根据本发明示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施例。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。

Claims (15)

1.一种光罩资源处理方法，其特征在于，包括：

响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，所述光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；

确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；

在所述空光罩盒总量大于零的情况下，从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；

在所述空光罩盒总量等于零的情况下，将所述光罩存储至光罩存储设备。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光罩调度指令通过下述步骤生成：

获取基于光罩管理系统提交的光罩预约操作；

由物料管理系统根据所述光罩预约操作创建所述光罩调度任务；

基于所述光罩调度任务生成所述光罩调度指令。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在响应于光罩调度指令之前，所述方法还包括：

确定各所述曝光制程机台的机台信息，将多个所述机台信息存储至资源数据表；

获取预先配置的光罩资源的离机时长阈值，将所述离机时长阈值存储至所述资源数据表。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量，包括：

确定各所述曝光制程机台中光罩装载口的装载口状态；

如果所述装载口状态为空闲可用状态，且所述光罩装载口的光罩盒无预约调度任务，则将所述光罩盒作为空闲光罩盒，所述空闲光罩盒的离机时长小于离机时长阈值；

统计所述多个曝光制程机台中包含的空闲光罩盒的数量，作为所述空光罩盒总量。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，包括：

确定所述多个曝光制程机台的机台类型，所述机台类型包括当前制程机台、未配置制程机台与已配置制程机台；

基于所述机台类型，确定各所述曝光制程机台对应的调度优先级；

根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒；

其中，所述调度优先级为所述当前制程机台高于所述未配置制程机台，所述未配置制程机台高于所述已配置制程机台。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台中选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒，包括：

根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台确定空闲制程机台；

如果确定出的所述空闲制程机台的数量为多个且均为同一调度优先级，则确定各所述空闲制程机台与所述当前制程机台的机台距离；

将所述机台距离最小的空闲制程机台作为目标制程机台；

从所述目标制程机台选取一空闲光罩盒，作为所述目标光罩盒。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述调度优先级，从所述多个曝光制程机台确定空闲制程机台，包括：

确定所述当前制程机台是否存在空闲光罩盒；

如果所述当前制程机台存在空闲光罩盒，则将所述当前制程机台作为所述空闲制程机台；

如果所述当前制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述未配置制程机台是否存在空闲光罩盒；

如果所述未配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述未配置制程机台作为所述空闲制程机台；

如果所述未配置制程机台不存在空闲光罩盒，则确定所述已配置制程机台是否存在空闲光罩盒；

如果所述已配置制程机台存在空闲光罩盒，则将所述已配置制程机台作为所述空闲制程机台。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用所述目标光罩盒暂存所述光罩，包括：

获取所述目标光罩盒，所述目标光罩盒放置于装载口状态处于空闲可用状态的光罩装载口；

将所述目标光罩盒对应的光罩装载口作为目标装载口；

将所述光罩放置于所述目标光罩盒内，将所述目标装载口的装载口状态修改为已占用状态。

9.根据权利要求1或8所述的方法，其特征在于，在采用所述目标光罩盒暂存所述光罩之后，所述方法还包括：

确定所述目标光罩盒所处的目标制程机台，由所述目标制程机台执行光罩资源退出操作，得到待回收光罩资源；

确定所述待回收光罩资源的目标存储机台是否为光罩存储设备；

如果所述目标存储机台是所述光罩存储设备，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；

如果所述目标存储机台不是所述光罩存储设备，则确定所述待回收光罩资源的离机时长；

根据所述离机时长对所述待回收光罩资源进行存储处理。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述离机时长对所述待回收光罩资源进行存储处理，包括：

获取预先配置的离机时长阈值，确定所述离机时长是否超过所述离机时长阈值；

如果所述离机时长超过所述离机时长阈值，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备；

如果所述离机时长未超过所述离机时长阈值，则采用所述曝光制程机台存储所述待回收光罩资源。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述采用所述曝光制程机台存储所述待回收光罩资源，包括：

确定与所述待回收光罩资源对应的第一曝光制程机台是否为已配置制程机台；

如果所述第一曝光制程机台是所述已配置制程机台，则确定所述第一曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；

如果所述第一曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述待回收光罩资源对应的资源回收调度任务；

如果所述第一曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则确定所述待回收光罩资源对应的第二曝光制程机台是否存在空闲光罩装载口；

如果所述第二曝光制程机台存在空闲光罩装载口，则执行所述资源回收调度任务；

如果所述第二曝光制程机台不存在空闲光罩装载口，则将所述待回收光罩资源存储至所述光罩存储设备。

12.一种光罩资源处理系统，其特征在于，包括：

曝光制程机台，用于提供光罩装载口，通过所述光罩装载口暂存光罩盒，所述光罩盒用于存放光罩；

机台控制系统，用于获取所述光罩装载口的装载口状态，基于所述装载口状态确定所述曝光制程机台对应的空光罩盒总量；

资源调度系统，用于响应于光罩调度指令，在所述空光罩盒总量大于零的情况下，基于多个所述曝光制程机台的调度优先级确定目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；

光罩存储设备，用于在所述空光罩盒总量等于零的情况下，存储光罩资源，所述光罩资源包括所述光罩盒与所述光罩。

13.一种光罩资源处理装置，其特征在于，包括：

机台获取模块，被配置为执行响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个曝光制程机台，所述光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；

空盒总量确定模块，被配置为执行确定所述多个曝光制程机台对应的空光罩盒总量；

第一存储模块，被配置为执行在所述空光罩盒总量大于零的情况下，从所述多个曝光制程机台中选取目标光罩盒，采用所述目标光罩盒暂存所述光罩；

第二存储模块，被配置为执行在所述空光罩盒总量等于零的情况下，将所述光罩存储至光罩存储设备。

14.一种电子设备，其特征在于，包括：

处理器；以及

存储器，所述存储器上存储有计算机可读指令，所述计算机可读指令被所述处理器执行时实现根据权利要求1至11中任一项所述的光罩资源处理方法。

15.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现根据权利要求1至11中任一项所述的光罩资源处理方法。

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